特許 6985534 圧力センサ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6985534

(24)【登録日】2021年11月29日

(45)【発行日】2021年12月22日

(54)【発明の名称】圧力センサ

(51)【国際特許分類】

   G01L 23/10 20060101AFI20211213BHJP

   G01L 19/14 20060101ALI20211213BHJP

   G01L 23/22 20060101ALI20211213BHJP

   G01L 19/06 20060101ALI20211213BHJP

   F02D 45/00 20060101ALI20211213BHJP

【ＦＩ】

   G01L23/10

   G01L19/14

   G01L23/22

   G01L19/06 Z

   F02D45/00 368S

【請求項の数】13

【全頁数】32

(21)【出願番号】特願2020-565101(P2020-565101)

(86)(22)【出願日】2019年1月10日

(86)【国際出願番号】JP2019000493

(87)【国際公開番号】WO2020144803

(87)【国際公開日】20200716

【審査請求日】2021年4月26日

(73)【特許権者】

【識別番号】000177612

【氏名又は名称】株式会社ミクニ

(74)【代理人】

【識別番号】100106312

【弁理士】

【氏名又は名称】山本 敬敏

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 友也

(72)【発明者】

【氏名】福井 克彦

【審査官】 森 雅之

(56)【参考文献】

【文献】 特許第６２５３６１６（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】 特許第２８２２７２６（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】 実開平０５−０９４７４２（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 実公平５−２８５０３（ＪＰ，Ｙ２）

【文献】 実開昭６３−２００７４２（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特許第５８７８３６７（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】 特許第６３８１５０６（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】 特許第６４６０９６５（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】 特開２０１８−９６９４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特許第６４０８８４４（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】 特開２０１６−１４５７０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特許第６１４３９２６（ＪＰ，Ｂ１）

【文献】 特許第６１９５６４３（ＪＰ，Ｂ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｌ２３／１０

Ｆ０２Ｄ４５／００

Ｇ０１Ｌ１９／０６

Ｇ０１Ｌ１９／１４

Ｇ０１Ｌ２３／２２

本件特許出願に対応する国際特許出願ＰＣＴ／ＪＰ２０１９／０００４９３の調査結果が利用された。

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

筒状のハウジングと、
前記ハウジングの先端に固定されて圧力媒体に曝されるダイヤフラムと、
前記ハウジングの内側において順次積層された第１電極、圧電素子、及び第２電極からなる圧力計測部材と、
前記第１電極に電気的に接続された長尺な第１導電体と、
前記第２電極に電気的に接続された長尺な第２導電体と、
前記第１導電体と前記第２導電体との相対的な移動を規制するべく前記ハウジング内に配置された絶縁性の規制部材と、を備え、
前記規制部材は、ゴム材料を用いて成型された成型ゴムであり、前記ハウジングの内壁面に圧入されると共に前記第１導電体及び前記第２導電体を密接に嵌合させるように形成されている、
ことを特徴とする圧力センサ。

【請求項2】

前記ダイヤフラムに向けて前記圧力計測部材を押圧して予荷重を付与するべく、前記ハウジングの内側に配置された予荷重付与部材を含み、
前記規制部材は、前記予荷重付与部材から外れた領域に配置されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。

【請求項3】

前記ハウジングは、外部ハウジングと、前記外部ハウジングの内側に嵌め込まれて固定されるサブハウジングを含み、
前記ダイヤフラム、前記圧力計測部材、及び前記予荷重付与部材は、前記サブハウジング内に配置され、
前記規制部材は、前記外部ハウジング内に配置されている、
ことを特徴とする請求項２に記載の圧力センサ。

【請求項4】

前記第１導電体は、前記ハウジングの内側に配置された第１リード線であり、
前記第２導電体は、前記ハウジングの内側に配置された第２リード線である、
ことを特徴とする請求項２又は３に記載の圧力センサ。

【請求項5】

前記ハウジングの末端に固定されたコネクタを含み、
前記第１リード線は、前記コネクタの第１端子に電気的に接続され、
前記第２リード線は、前記コネクタの第２端子に電気的に接続され、
前記規制部材は、前記第１端子及び第２端子と前記予荷重付与部材との間に配置されている、
ことを特徴とする請求項４に記載の圧力センサ。

【請求項6】

前記規制部材は、前記ハウジングの軸線方向に長尺な柱状に形成され、前記第１リード線を密接に嵌合させて挿通させるべく前記軸線方向に伸長して貫通する第１嵌合孔と、前記第２リード線を密接に嵌合させて挿通させるべく前記軸線方向に伸長して貫通する第２嵌合孔を有する、
ことを特徴とする請求項４又は５に記載の圧力センサ。

【請求項7】

前記規制部材は、前記ハウジングの軸線方向に長尺な柱状に形成され、前記第１リード線を密接に嵌合させて挿通させるべく前記軸線方向に伸長する第１嵌合溝と、前記第２リード線を密接に嵌合させて挿通させるべく前記軸線方向に伸長する第２嵌合溝を有する、
ことを特徴とする請求項４又は５に記載の圧力センサ。

【請求項8】

前記規制部材は、前記ハウジングの内壁面と部分的に接触するように形成されている、
ことを特徴とする請求項６又は７に記載の圧力センサ。

【請求項9】

筒状のハウジングと、
前記ハウジングの先端に固定されて圧力媒体に曝されるダイヤフラムと、
前記ハウジングの内側において順次積層された第１電極、圧電素子、及び第２電極からなる圧力計測部材と、
前記第１電極に電気的に接続された長尺な第１導電体と、
前記第２電極に電気的に接続された長尺な第２導電体と、
前記第１導電体と前記第２導電体との相対的な移動を規制するべく前記ハウジング内に配置された絶縁性の規制部材と、を備え、
前記ハウジングは、前記第１導電体を兼ねるように形成され、
前記第２導電体は、前記ハウジングの内側に配置されたリード線であり、
前記規制部材は、ゴム材料を用いて成型された成型ゴムであり、前記ハウジングの内壁面に圧入されると共に前記リード線を密接に嵌合させるように形成されている、
ことを特徴とする圧力センサ。

【請求項10】

前記ハウジングの末端に固定されたコネクタを含み、
前記リード線は、前記コネクタの端子に電気的に接続され、
前記規制部材は、前記端子と前記予荷重付与部材との間に配置されている、
ことを特徴とする請求項９に記載の圧力センサ。

【請求項11】

前記規制部材は、前記ハウジングの軸線方向に長尺な柱状に形成され、前記リード線を密接に嵌合させて挿通させるべく前記軸線方向に伸長して貫通する嵌合孔を有する、
ことを特徴とする請求項９又は１０に記載の圧力センサ。

【請求項12】

前記規制部材は、前記ハウジングの軸線方向に長尺な柱状に形成され、前記リード線を密接に嵌合させて挿通させるべく前記軸線方向に伸長する嵌合溝を有する、
ことを特徴とする請求項９又は１０に記載の圧力センサ。

【請求項13】

前記規制部材は、前記ハウジングの内壁面と部分的に接触するように形成されている、
ことを特徴とする請求項１１又は１２に記載の圧力センサ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、圧力媒体の圧力を検出する圧力センサに関し、特に、エンジンの燃焼室内における燃焼ガス等の圧力媒体の圧力を検出する圧力センサに関する。

【背景技術】

【0002】

従来の圧力センサとしては、筒状のハウジング、ハウジングの先端に結合されたダイヤフラム、ダイヤフラムと一体形成された第１電極としての伝達部、伝達部に接触して配置された圧電素子、伝達部と協働して圧電素子を挟持するように配置された第２電極、第２電極に電気的に接続された導電性のリード部、ハウジングの内側に挿入されると共にその挿入孔にリード部が挿入された絶縁性のパイプを備え、エンジンの燃焼室における燃焼ガスの圧力を検出する圧力センサが知られている（例えば、特許文献１）。

【0003】

この圧力センサにおいて、リード部は絶縁性のパイプに挿入され、パイプはハウジングに挿入されている。
したがって、エンジンの振動がリード部に伝わり、リード部がハウジングに対して相対的に移動すると、ハウジングとリード部との間の寄生容量（浮遊容量）が変化し、出力信号にノイズが発生する虞がある。

【0004】

また、他の圧力センサとしては、筒状のハウジング、ハウジングの先端に結合されたダイヤフラム、ダイヤフラムに接触して配置された第１電極、第１電極に接触して配置された圧電素子、第１電極と協働して圧電素子を挟持するように配置された第２電極、第２電極から突出する導電体としての突出部、突出部を非接触にて通すと共に圧電素子に予荷重を印加する予荷重印加部、予荷重印加部に対して突出部をラジアル方向に支持するＯリング、突出部に電気的に接続されたスプリングピン及びコイルスプリング、コイルスプリングに接触して配置された棒状の導電部、導電部がインサート成形される共にハウジング内において隙間をおいて挿入された樹脂部を備え、燃焼室における燃焼ガスの燃焼圧を検出する燃焼圧センサが知られている（例えば、特許文献２）。

【0005】

この燃焼圧センサにおいて、スプリングピン及びコイルスプリングはハウジングの内側に配置され、樹脂部はハウジングの内壁と隙間をおいてハウジングに挿入されている。
したがって、エンジンの振動が、スプリングピン、コイルスプリング及び導電部からなる導電体に伝わり、導電部がハウジングに対して相対的に移動すると、ハウジングと導電体との間の寄生容量（浮遊容量）が変化し、出力信号にノイズが発生する虞がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特許第５００６６９５号公報

【特許文献2】特開２０１６−１２１９５５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

本発明は、上記の事情に鑑みて成されたものであり、その目的とするところは、従来の問題点を解消し、寄生容量の変化を抑制ないし防止して、ノイズの発生を抑制ないし防止できる圧力センサを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の圧力センサは、筒状のハウジングと、ハウジングの先端に固定されて圧力媒体に曝されるダイヤフラムと、ハウジングの内側において順次積層された第１電極、圧電素子、及び第２電極からなる圧力計測部材と、第１電極に電気的に接続された長尺な第１導電体と、第２電極に電気的に接続された長尺な第２導電体と、第１導電体と第２導電体との相対的な移動を規制するべくハウジング内に配置された絶縁性の規制部材を備え、規制部材は、ゴム材料を用いて成型された成型ゴムであり、ハウジングの内壁面に圧入されると共に第１導電体及び第２導電体を密接に嵌合させるように形成されている、構成となっている。

【0010】

上記圧力センサにおいて、ダイヤフラムに向けて圧力計測部材を押圧して予荷重を付与するべくハウジングの内側に配置された予荷重付与部材を含み、規制部材は、予荷重付与部材から外れた領域に配置されている、構成を採用してもよい。

【0011】

上記圧力センサにおいて、ハウジングは、外部ハウジングと、外部ハウジングの内側に嵌め込まれて固定されるサブハウジングを含み、ダイヤフラム、圧力計測部材、及び予荷重付与部材は、サブハウジング内に配置され、規制部材は、外部ハウジング内に配置されている、構成を採用してもよい。

【0012】

上記圧力センサにおいて、第１導電体は、ハウジングの内側に配置された第１リード線であり、第２導電体は、ハウジングの内側に配置された第２リード線である、構成を採用してもよい。

【0014】

上記圧力センサにおいて、ハウジングの末端に固定されたコネクタを含み、第１リード線は、コネクタの第１端子に電気的に接続され、第２リード線は、コネクタの第２端子に電気的に接続され、規制部材は、第１端子及び第２端子と予荷重付与部材との間に配置されている、構成を採用してもよい。

【0015】

上記圧力センサにおいて、規制部材は、ハウジングの軸線方向に長尺な柱状に形成され、第１リード線を密接に嵌合させて挿通させるべく軸線方向に伸長して貫通する第１嵌合孔と、第２リード線を密接に嵌合させて挿通させるべく軸線方向に伸長して貫通する第２嵌合孔を有する、構成を採用してもよい。

【0016】

上記圧力センサにおいて、規制部材は、ハウジングの軸線方向に長尺な柱状に形成され、第１リード線を密接に嵌合させて挿通させるべく軸線方向に伸長する第１嵌合溝と、第２リード線を密接に嵌合させて挿通させるべく軸線方向に伸長する第２嵌合溝を有する、構成を採用してもよい。

【0017】

上記圧力センサにおいて、規制部材は、ハウジングの内壁面と部分的に接触するように形成されている、構成を採用してもよい。

【0018】

また、本発明の圧力センサは、筒状のハウジングと、ハウジングの先端に固定されて圧力媒体に曝されるダイヤフラムと、ハウジングの内側において順次積層された第１電極、圧電素子、及び第２電極からなる圧力計測部材と、第１電極に電気的に接続された長尺な第１導電体と、第２電極に電気的に接続された長尺な第２導電体と、第１導電体と第２導電体との相対的な移動を規制するべくハウジング内に配置された絶縁性の規制部材を備え、ハウジングは第１導電体を兼ねるように形成され、第２導電体はハウジングの内側に配置されたリード線であり、規制部材は、ゴム材料を用いて成型された成型ゴムであり、ハウジングの内壁面に圧入されると共にリード線を密接に嵌合させるように形成されている、構成となっている。

【0019】

上記圧力センサにおいて、ハウジングの末端に固定されたコネクタを含み、リード線は、コネクタの端子に電気的に接続され、規制部材は、端子と予荷重付与部材との間に配置されている、構成を採用してもよい。

【0020】

上記圧力センサにおいて、規制部材は、ハウジングの軸線方向に長尺な柱状に形成され、リード線を密接に嵌合させて挿通させるべく軸線方向に伸長して貫通する嵌合孔を有する、構成を採用してもよい。

【0021】

上記圧力センサにおいて、規制部材は、ハウジングの軸線方向に長尺な柱状に形成され、リード線を密接に嵌合させて挿通させるべく軸線方向に伸長する嵌合溝を有する、構成を採用してもよい。

【0022】

上記圧力センサにおいて、規制部材は、ハウジングの内壁面と部分的に接触するように形成されている、構成を採用してもよい。

【発明の効果】

【0023】

上記構成をなす圧力センサによれば、寄生容量の変化を抑制ないし防止して、ノイズの発生を抑制ないし防止できる圧力センサを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】本発明の第１実施形態に係る圧力センサを示す外観斜視図である。

【図2】第１実施形態に係る圧力センサの軸線を通る断面図である。

【図3】第１実施形態に係る圧力センサに含まれるセンサモジュール及び規制部材を示す外観斜視図である。

【図4】第１実施形態に係る圧力センサに含まれるセンサモジュール及び規制部材を示す分解斜視図である。

【図5】第１実施形態に係る圧力センサに含まれるセンサモジュールの分解斜視図である。

【図6】図２に示す断面図の先端側を部分的に拡大した拡大断面図である。

【図7】第１実施形態に係る圧力センサに含まれるセンサモジュールの断面図である。

【図8】図７に示す断面に対して軸線Ｓ回りに９０度回転した位置におけるセンサモジュールの断面図である。

【図9】第１実施形態に係る圧力センサにおいて、規制部材が含まれる領域を軸線に垂直な平面で切断した断面図である。

【図10】第１実施形態に係る圧力センサに適用できる規制部材の第１変形例及びセンサモジュールを示す外観斜視図である。

【図11】図１０に示す第１変形例の規制部材を示す外観斜視図である。

【図12】図１０に示す第１変形例の規制部材を採用した圧力センサにおいて、規制部材が含まれる領域を軸線に垂直な平面で切断した断面図である。

【図13】第１実施形態に係る圧力センサに適用できる規制部材の第２変形例を示す外観斜視図である。

【図14】第１実施形態に係る圧力センサに適用できる規制部材の第３変形例を示す外観斜視図である。

【図15】図１４に示す第３変形例の規制部材を採用した圧力センサにおいて、規制部材が含まれる領域を軸線に垂直な平面で切断した断面図である。

【図16】第１実施形態に係る圧力センサに適用できる規制部材の第４変形例を示す外観斜視図である。

【図17】第１実施形態に係る圧力センサに適用できる規制部材の第５変形例を示す外観斜視図である。

【図18】図１７に示す第５変形例の規制部材を採用した圧力センサにおいて、規制部材が含まれる領域を軸線に垂直な平面で切断した断面図である。

【図19】本発明の第２実施形態に係る圧力センサを示す外観斜視図である。

【図20】第２実施形態に係る圧力センサの軸線を通る断面図である。

【図21】第２実施形態に係る圧力センサに含まれるセンサモジュール及び規制部材を示す外観斜視図である。

【図22】第２実施形態に係る圧力センサに含まれるセンサモジュール及び規制部材を示す分解斜視図である。

【図23】第２実施形態に係る圧力センサに含まれるセンサモジュールの分解斜視図である。

【図24】図２０に示す断面図の先端側を部分的に拡大した拡大断面図である。

【図25】第２実施形態に係る圧力センサに含まれるセンサモジュールの断面図である。

【図26】第２実施形態に係る圧力センサにおいて、規制部材が含まれる領域を軸線に垂直な平面で切断した断面図である。

【図27】第２実施形態に係る圧力センサに適用できる規制部材の第１変形例を示す外観斜視図である。

【図28】第２実施形態に係る圧力センサに適用できる規制部材の第２変形例を示す外観斜視図である。

【図29】図２８に示す第２変形例の規制部材を採用した圧力センサにおいて、規制部材が含まれる領域を軸線に垂直な平面で切断した断面図である。

【図30】第２実施形態に係る圧力センサに適用できる規制部材の第３変形例を示す外観斜視図である。

【図31】第２実施形態に係る圧力センサに適用できる規制部材の第４変形例を示す外観斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0025】

以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
第１実施形態に係る圧力センサは、図２に示すように、エンジンのシリンダヘッドＨに取り付けられて、圧力媒体としての燃焼室内の燃焼ガスの圧力を検出するものである。

【0026】

第１実施形態に係る圧力センサは、図１ないし図３、図６に示すように、筒状のハウジングとしての外部ハウジング１０及びサブハウジング２０、ダイヤフラム３０、保持板４０、位置決め部材５０、断熱部材６０、圧力計測部材７０、予荷重付与部材８０、第１導電体としての第１リード線９１、第２導電体としての第２リード線９２、規制部材１００、コネクタ１１０を備えている。

【0027】

圧力計測部材７０は、ハウジングの先端側から軸線Ｓ方向に順次積層された、第１電極７１、圧電素子７２、及び第２電極７３により構成されている。
予荷重付与部材８０は、固定部材８１、及び絶縁部材８２により構成されている。

【0028】

外部ハウジング１０は、析出硬化系やフェライト系のステンレス鋼等の金属材料を用いて、図１及び図２に示すように、軸線Ｓ方向に伸長する円筒状に形成されている。
また、外部ハウジング１０は、先端側に位置する円筒状の嵌合内周壁１１、円環状の段差部１２、円筒状の貫通路１３、外周面に形成された雄ネジ部１４、フランジ部１５、末端に位置するコネクタ連結部１６を備えている。

【0029】

サブハウジング２０は、析出硬化系やフェライト系のステンレス鋼等の金属材料を用いて、図５ないし図８に示すように、軸線Ｓ方向に伸長する円筒状に形成されている。
また、サブハウジング２０は、嵌合内周壁１１に嵌合される円筒状の外周壁２１、軸線Ｓを中心とする円筒状の内周壁２２、円環状の先端面２３、円環状の奥側端面２４を備えている。
そして、サブハウジング２０は、ダイヤフラム３０、保持板４０、位置決め部材５０、断熱部材６０、圧力計測部材７０、予荷重付与部材８０、第１リード線９１、及び第２リード線９２が組み込まれた状態で、外部ハウジング１０の内側に嵌め込まれて溶接等により固定されるようになっている。

【0030】

ダイヤフラム３０は、析出硬化性を有するステンレス鋼等の金属材料を用いて形成され、図６ないし図８に示すように、可撓板状部３１、可撓板状部３１に連続して形成された突出部３２を備えている。
可撓板状部３１は、弾性変形可能な円板状に形成され、その外縁領域がサブハウジング２０の先端面２３に対して溶接等により固定される。
可撓板状部３１には、燃焼ガスの圧力に応じた荷重が作用し、その荷重に応じて軸線Ｓ方向に弾性変形するようになっている。
すなわち、ダイヤフラム３０は、ハウジングの一部をなすサブハウジング２０の先端に固定されて、高温の圧力媒体に曝されるようになっている。

【0031】

突出部３２は、可撓板状部３１の軸線Ｓを中心とする中央領域からサブハウジング２０の内側に向けて軸線Ｓ方向に伸長する円柱状に形成されている。
突出部３２の外周面は、サブハウジング２０の内周壁２２と円環状の隙間をおいて配置されている。
そして、突出部３２は、可撓板状部３１が受けた力を、保持板４０、断熱部材６０及び第１電極７１を介して、圧電素子７２に伝達する役割をなす。

【0032】

保持板４０は、図７及び図８に示すように、析出硬化系やフェライト系のステンレス鋼等の金属材料、機械的剛性の高い絶縁材料等を用いて、突出部３２の外径よりも大きい外径をなす円板状に形成されている。
そして、保持板４０は、ダイヤフラム３０の突出部３２と断熱部材６０の間に挟持されて、位置決め部材５０を可撓板状部３１から離隔するように保持し、ダイヤフラム３０の可撓板状部３１と位置決め部材５０の間に空間を画定する役割をなす。

【0033】

位置決め部材５０は、絶縁性及び断熱性を有する絶縁材料を用いて、図７及び図８に示すように、軸線Ｓ方向に伸長する略円筒状に形成され、貫通孔５１、嵌合凹部５２、外周面５３、第１リード線９１及び第２リード線９２を非接触にて通す二つの切り欠き溝５４を備えている。
貫通孔５１は、軸線Ｓを中心としかつ軸線Ｓ方向に伸長する円形孔として形成されている。
嵌合凹部５２は、保持板４０を受け入れるべく、軸線Ｓを中心とする円形凹部として形成されている。
外周面５３は、サブハウジング２０の内周壁２２に嵌合されるべく、軸線Ｓを中心とする円筒面として形成されている。
二つの切り欠き溝５４は、軸線Ｓ方向において同一の深さ寸法をなし、かつ、軸線Ｓ回りにおいて１８０度離れた点対称の位置に設けられている。

【0034】

そして、位置決め部材５０は、突出部３２に当接した保持板４０により支持されかつサブハウジング２０の内周壁２２に嵌合されると共に、貫通孔５１内において断熱部材６０と、第１電極７１、圧電素子７２及び第２電極７３からなる圧力計測部材７０と、絶縁部材８２とを積層した状態で、軸線Ｓ上に位置決めして保持する。

【0035】

断熱部材６０は、絶縁性及び断熱性を有する絶縁材料を用いて、図５、図７及び図８に示すように、突出部３２及び第１電極７１の外径と同等の外径をなす所定高さの円柱状に形成されている。
そして、断熱部材６０は、サブハウジング２０の内側において、ダイヤフラム３０の突出部３２に当接する保持板４０と第１電極７１の間に密接して配置される。
ここで、断熱部材６０を形成する絶縁材料としては、熱容量が大きく、熱伝導率の小さいものが好ましい。熱伝導率は、例えば１５Ｗ／ｍ・Ｋ以下が好ましく、より好ましくは５Ｗ／ｍ・Ｋ以下である。具体的な材料としては、例えば、石英ガラス、ステアタイト、ジルコニア、コージライト、フォルステライト、ムライト、イットリア等のセラミックス、又は、導電性材料に絶縁処理を施したものが挙げられる。

【0036】

すなわち、ダイヤフラム３０が受けた圧力による荷重は、保持板４０、断熱部材６０及び第１電極７１を介して圧電素子７２に伝達され、一方、ダイヤフラム３０から第１電極７１への伝熱は、断熱部材６０により抑制される。よって、第１電極７１と隣接する圧電素子７２に対する熱の影響が抑制され、センサ出力の基準点（零点）の変動を防止でき、所期のセンサ精度を得ることができる。

【0037】

圧力計測部材７０は、圧力を検出するべく機能するものであり、図５ないし図８に示すように、サブハウジング２０の内側において、先端側から軸線Ｓ方向に順次積層された、第１電極７１、圧電素子７２、及び第２電極７３を備えている。

【0038】

第１電極７１は、析出硬化系やフェライト系のステンレス鋼等の導電性の金属材料を用いて、位置決め部材５０の貫通孔５１に嵌め込まれる外径をなす円柱又は円板状に形成されている。そして、第１電極７１は、位置決め部材５０の貫通孔５１内において、一方の面が断熱部材６０と密接し、他方の面が圧電素子７２と密接するように配置される。

【0039】

圧電素子７２は、位置決め部材５０の貫通孔５１に接触しない寸法をなす四角柱状に形成されている。そして、圧電素子７２は、位置決め部材５０の貫通孔５１内において、一方の面が第１電極７１と密接し、他方の面が第２電極７３と密接するように配置される。
これにより、圧電素子７２は、軸線Ｓ方向において受けた荷重による歪に基づいて電気信号を出力する。
尚、圧電素子７２としては、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等によるセラミックス、水晶等が適用される。

【0040】

第２電極７３は、析出硬化系やフェライト系のステンレス鋼等の導電性の金属材料を用いて、位置決め部材５０の貫通孔５１に嵌め込まれる外径をなす円柱又は円板状に形成されている。そして、第２電極７３は、位置決め部材５０の貫通孔５１内において、一方の面が圧電素子７２と密接し、他方の面が絶縁部材８２と密接するように配置される。

【0041】

予荷重付与部材８０は、図５ないし図７に示すように、固定部材８１及び絶縁部材８２により構成され、ハウジングの一部をなすサブハウジング２０の内側に配置されて、ダイヤフラム３０に向けて圧力計測部材７０を押圧して予荷重を付与し、圧力計測部材７０に対してセンサとしての直線特性を与える役割をなす。

【0042】

固定部材８１は、析出硬化系やフェライト系のステンレス鋼等の金属材料を用いて、軸線Ｓを中心としかつ貫通孔５１と同等以上の面積を占める中央領域において空洞や肉抜きが存在しない中実の略円柱状に形成され、中央領域から外れた外周領域において、２つの縦溝８１ａを備えている。
２つの縦溝８１ａは、それぞれ、第１リード線９１及び第２リード線９２を非接触にて通すべく、軸線Ｓ回りにおいて１８０度離れた点対称の位置にいて肉抜きされて形成されている。

【0043】

絶縁部材８２は、電気的に絶縁性の高い絶縁材料を用いて、位置決め部材５０の貫通孔５１に嵌め込まれる外径をなす円柱又は円板状に形成されている。すなわち、絶縁部材８２は、貫通孔５１と同等の面積を占める全領域において空洞や肉抜きが存在しない中実形状に形成されている。
そして、絶縁部材８２は、第２電極７３と固定部材８１との電気的絶縁を維持すると共に、圧電素子７２に伝わった熱を固定部材８１へ導いて放熱させるように機能する。
絶縁部材８２の絶縁材料としては、熱容量が小さく、熱伝導率が大きいものが好ましい。具体的な材料としては、例えば、アルミナ、サファイア、窒化アルミニウム、炭化珪素等のセラミックス、又は、導電性材料に絶縁処理を施したものが挙げられる。
この実施形態において、断熱部材６０、第１電極７１、第２電極７３、絶縁部材８２は、略同一の外径寸法でかつ略同一の厚さ寸法に、すなわち、略同一形状に形成されている。尚、断熱部材６０、第１電極７１、第２電極７３、絶縁部材８２は、略同一形状に限るものではなく、要求される仕様に応じて、適宜異なる形状及び寸法に形成されてもよい。

【0044】

予荷重付与部材８０の組み付けにおいては、図７及び図８に示すように、圧力計測部材７０が位置決め部材５０内に配置された状態で、絶縁部材８２が第２電極７２に当接するように貫通孔５１に嵌め込まれる。そして、固定部材８１が絶縁部材８２に当接するように圧力計測部材７０を軸線Ｓ方向のダイヤフラム３０に向けて押し付けられ、予荷重が付与された状態で、固定部材８１がサブハウジング２０に溶接等により固定される。
このように、予荷重付与部材８０で予荷重を付与することで、圧力計測部材７０に対してセンサとしての直線特性を与えることができる。

【0045】

第１リード線９１は、ニッケル等の溶接性の高い導線がフッ素系等の絶縁材料により覆われて、図２及び図７に示すように、軸線Ｓ方向に長尺に形成された細線である。
そして、第１リード線９１は、一端部９１ａが圧力計測部材７０の第１電極７１に電気的に接続され、他端部９１ｂがコネクタ１１０の第１端子１１２に電気的に接続され、外部コネクタを介して電気回路に対して電気的にグランド側（マイナス側）に接続される。
また、第１リード線９１は、位置決め部材５０の一方の切り欠き溝５４及び固定部材８１の一方の縦溝８１ａを非接触にて通過するように配設される。
さらに、第１リード線９１は、一端部９１ａと他端部９１ｂの間の領域でかつ予荷重付与部材８０から外れた領域が規制部材１００の第１嵌合孔１０１に嵌合されて挿通されている。

【0046】

第２リード線９２は、ニッケル等の溶接性の高い導線がフッ素系等の絶縁材料により覆われて、図２及び図７に示すように、第１リード線９１と同一の外径寸法で軸線Ｓ方向に長尺に形成された細線である。
そして、第２リード線９２は、一端部９２ａが圧力計測部材７０の第２電極７３に電気的に接続され、他端部９２ｂがコネクタ１１０の第２端子１１３に電気的に接続され、外部コネクタを介して電気回路に対して電気的に出力側（プラス側）に接続される。
また、第２リード線９２は、位置決め部材５０の他方の切り欠き溝５４及び固定部材８１の他方の縦溝８１ａを非接触にて通過するように配設される。
さらに、第２リード線９２は、一端部９２ａと他端部９２ｂの間の領域でかつ予荷重付与部材８０から外れた領域が規制部材１００の第２嵌合孔１０２に嵌合されて挿通されている。

【0047】

規制部材１００は、シリコーンゴムやフッ素ゴム等の耐熱性に優れたゴム材料を用いて、金型等により、軸線Ｓ方向に長尺な円柱状をなす成型ゴムとして形成されている。
規制部材１００は、図２及び図４に示すように、外部ハウジング１０の貫通路１３の軸線Ｓ方向の長さ寸法Ｌ１よりも僅かに短い長さ寸法Ｌ２で、外周嵌合面１００ａ、第１嵌合孔１０１、第２嵌合孔１０２を備えている。
ここで、貫通孔１３の長さ寸法Ｌ１は、図２に示すように、外部ハウジング１０内において、段差部１２からコネクタ連結部１６の凹部の底面までの軸線Ｓ方向における長さである。尚、規制部材１００の長さ寸法Ｌ２は、貫通孔１３の長さ寸法Ｌ１と同じでもよい。

【0048】

外周嵌合面１００ａは、外部ハウジング１０の貫通孔１３の内壁面に密接して嵌合される、ここでは圧入される、外径寸法に形成されている。
第１嵌合孔１０１は、第１リード線９１を密接して嵌合させて挿通させるべく、軸線Ｓ方向に伸長して貫通する。
第２嵌合孔１０２は、第２リード線９２を密接して嵌合させて挿通させるべく、軸線Ｓ方向に伸長して貫通する。
ここで、第１嵌合孔１０１及び第２嵌合孔１０２は、軸線Ｓに平行であり、軸線Ｓを中心として点対称な位置に配置されて同一の形状に形成されているため、第２リード線９２が第１嵌合孔１０１に嵌合され、第１リード線９１が第２嵌合孔１０２に嵌合されてもよい。

【0049】

そして、規制部材１００は、外部ハウジング１０の貫通孔１３に対して、外周嵌合面１００ａの外径を僅かに縮めるように弾性変形させつつ嵌合して固定されると共に、第１リード線９１が第１嵌合孔１０１に隙間なく密接に嵌合して固定され、第２リード線９２が第２嵌合孔１０２に隙間なく密接に嵌合して固定される。
このように、規制部材１００が弾性変形可能な成型ゴムであるため、貫通孔１３の内壁面が機械加工されていなくても、規制部材１００を容易に嵌合させることができる。

【0050】

規制部材１００を設けたことにより、エンジンの振動が圧力センサの外部ハウジング１０に伝わっても、規制部材１００により振動が減衰され、又、第１リード線９１及び第２リード線９２は、規制部材１００により相対的な移動が規制されて両者の間隔が一定に維持される。
したがって、第１リード線９１と第２リード線９２との間の寄生容量の変化が防止される。その結果、寄生容量の変化に伴うノイズの発生を防止でき、高精度な出力信号を得ることができる。

【0051】

また、規制部材１００は、サブハウジング２０から軸線Ｓ方向の奥側に外れた領域、特に、予荷重付与部材８０から外れた領域において、外部ハウジング１０内に配置されているため、予荷重付与部材８０により予め設定された予荷重に対して影響を及ぼすことなく、第１リード線９１及び第２リード線９２の相対的な移動のみを規制することができる。

【0052】

コネクタ１１０は、図２に示すように、結合部１１１、第１端子１１２、第２端子１１３を備えている。
結合部１１１は、外部ハウジング１０の末端に位置するコネクタ連結部１６に結合される。
第１端子１１２は、結合部１１１に固定されると共に第１リード線９１の他端部９１ｂと電気的に接続され、又、外部コネクタの接続端子と電気的に接続される。
第２端子１１３は、絶縁部材を介して第１端子１１２に固定されると共に第２リード線９２の他端部９２ｂと電気的に接続され、又、外部コネクタの接続端子と電気的に接続される。

【0053】

次に、上記構成をなす圧力センサの組み立て作業について説明する。
作業に際して、外部ハウジング１０、サブハウジング２０、ダイヤフラム３０、保持板４０、位置決め部材５０、断熱部材６０、第１電極７１、圧電素子７２、第２電極７３、固定部材８１、絶縁部材８２、第１リード線９１、第２リード線９２、規制部材１００、及びコネクタ１１０が準備される。

【0054】

先ず、ダイヤフラム３０が、サブハウジング２０の先端面２３に溶接等により固定される。
次に、保持板４０及び位置決め部材５０がサブハウジング２０内に嵌め込まれる。続いて、位置決め部材５０の内側に、断熱部材６０、第１リード線９１の一端部９１ａが接続された第１電極７１、圧電素子７２、第２リード線９２の一端部９２ａが接続された第２電極７３、及び絶縁部材８２が、順次積層して嵌め込まれる。
尚、第１リード線９１及び第２リード線９２は、後の工程で、第１電極７１及び第２電極７３にそれぞれ接続されてもよい。

【0055】

その後、固定部材８１が、絶縁部材８２を押し付けるようにしてサブハウジング２０内に嵌め込まれ、予荷重が付与された状態で、固定部材８１がサブハウジング２０に溶接等により固定される。これにより、図６及び図７に示すように、センサモジュールＭ１が形成される。尚、センサモジュールＭ１の組付け方法は、上記手順に限るものではない。

【0056】

続いて、センサモジュールＭ１が外部ハウジング１０に組み込まれる。すなわち、第１リード線９１及び第２リード線９２が外部ハウジング１０の貫通路１３に通されると共に、サブハウジング２０が外部ハウジング１０の嵌合内周壁１１に嵌め込まれて、奥側端面２４が段差部１２に当接させられる。
その後、サブハウジング２０が、外部ハウジング１０に対し溶接により固定される。

【0057】

続いて、規制部材１００が、コネクタ連結部１６の開口から外部ハウジング１０の貫通路１３内に押し込まれて、図２及び図９に示すように、外周嵌合面１００ａが貫通孔１３に嵌合されると共に、第１リード線９１が第１嵌合孔１０１に密接するように嵌合して挿通され、第２リード線９２が第２嵌合孔１０２に密接するように嵌合して挿通される。
規制部材１００の組み付けに際して、規制部材１００が成型ゴムであるため、規制部材１００を弾性変形させつつ押し込むことができ、組付け作業を円滑に行うことができる。

【0058】

続いて、第１リード線９１の他端部９１ｂが、第１端子１１２と結合し得る形態に屈曲され、又、第２リード線９２の他端部９２ｂが、第２端子１１３と結合し得る形態に屈曲される。
続いて、第１リード線９１の他端部９１ｂが第１端子１１２に電気的に接続され、第２リード線９２の他端部９２ｂが第２端子１１３に電気的に接続され、結合部１０１が外部ハウジング１０のコネクタ連結部１６に固定される。これにより、図２に示すように、コネクタ１１０が外部ハウジング１０の末端に固定される。以上により、圧力センサの組付けが完了する。
尚、上記組み付け手順は、一例であって、これに限定されるものではなく、その他の組付け手順を採用してもよい。

【0059】

上記第１実施形態に係る圧力センサによれば、ダイヤフラム３０に伝達した熱は、断熱部材６０により断熱されて、ダイヤフラム３０から第１電極７１及び圧電素子７２への伝熱が抑制される。したがって、圧電素子７２に対する熱の影響が抑制され、センサ出力の基準点（零点）の変動を防止でき、所期のセンサ精度を得ることができる。

【0060】

また、ハウジングは、外部ハウジング１０と、外部ハウジング１０の内側に嵌め込まれて固定されるサブハウジング２０を含み、サブハウジング２０には、ダイヤフラム３０、保持板４０、位置決め部材５０、断熱部材６０、圧力計測部材７０、及び予荷重付与部材８０が配置される。
これによれば、サブハウジング２０に対して、ダイヤフラム３０、保持板４０、位置決め部材５０、断熱部材６０、圧力計測部材７０、及び予荷重付与部材８０を予め組み込んで、センサモジュールＭ１を形成することができる。
したがって、適用対象物に応じて取付け形状等が異なる場合は、外部ハウジング１０のみを適用対象毎に設定して、センサモジュールＭ１を共用することができる。

【0061】

さらに、規制部材１００により、軸線Ｓ方向において長尺な形状をなす第１リード線９１及び第２リード線９２の相対的な移動が規制されて両者の間隔が一定に維持される。
したがって、第１リード線９１と第２リード線９２との間の寄生容量の変化を防止できる。それ故に、寄生容量の変化に伴うノイズの発生を防止でき、高精度な出力信号を得ることができる。
また、規制部材１００が成型ゴムであるため、組付け作業が容易になり、又、エンジンから外部ハウジング１０を経て第１リード線９１及び第２リード線９２に伝わる振動を低減ないし防止ができ、所期の電気的な接続状態を維持することができる。

【0062】

図１０ないし図１２は、第１実施形態に係る圧力センサに適用される規制部材の第１変形例を示すものである。
第１変形例に係る規制部材１２０は、前述同様のゴム材料を用いて、金型等により、軸線Ｓ方向に長尺な円柱状をなす成型ゴムとして形成されている。
規制部材１２０は、前述同様の長さ寸法Ｌ２で、外周嵌合面１２０ａ、第１嵌合溝１１１、第２嵌合溝１２２を備えている。

【0063】

外周嵌合面１２０ａは、外部ハウジング１０の貫通孔１３の内壁面に密接して嵌合される、ここでは圧入される外径寸法に形成されている。
第１嵌合溝１２１は、図１２に示すように、軸線Ｓに垂直な面において溝の底側が円形状でかつ開口側が円形状の部分の直径よりも幅狭い断面形状に形成されて、第１リード線９１を密接して嵌合させて挿通させるべく軸線Ｓ方向に伸長する。
第２嵌合溝１２２は、第１嵌合溝１２１と同様に、軸線Ｓに垂直な面において溝の底側が円形状でかつ開口側が円形状の部分の直径よりも幅狭い断面形状に形成されて、第２リード線９２を密接して嵌合させて挿通させるべく軸線Ｓ方向に伸長する。
ここで、第１嵌合溝１２１と第２嵌合溝１２２とは、軸線Ｓに平行であり、軸線Ｓを中心として点対称な位置に配置されて同一の形状に形成されているため、第２リード線９２が第１嵌合溝１２１に嵌合され、第１リード線９１が第２嵌合溝１２２に嵌合されてもよい。

【0064】

そして、規制部材１２０は、外部ハウジング１０の貫通孔１３に対して、外周嵌合面１２０ａの外径を僅かに縮めるように弾性変形させつつ嵌合して固定されると共に、第１リード線９１が第１嵌合溝１２１に密接するように嵌合して挿通され、第２リード線９２が第２嵌合溝１２２に密接するように嵌合して挿通される。
このように、規制部材１２０が弾性変形可能な成型ゴムであるため、貫通孔１３の内壁面が機械加工されていなくても、規制部材１２０を容易に嵌合させることができる。
また、第１嵌合溝１２１及び第２嵌合溝１２２は、孔形状に比べて弾性変形の自由度が高くなると共に接触面積が減るため、第１リード線９１及び第２リード線９２を嵌合させる際に、嵌合動作を円滑に行うことができ、組付け作業が容易になる。

【0065】

規制部材１２０を設けたことにより、エンジンの振動が圧力センサの外部ハウジング１０に伝わっても、規制部材１２０により振動が減衰され、又、第１リード線９１及び第２リード線９２は、規制部材１２０により相対的な移動が規制されて両者の間隔が一定に維持される。
したがって、第１リード線９１と第２リード線９２との間の寄生容量の変化が防止される。その結果、寄生容量の変化に伴うノイズの発生を防止でき、高精度な出力信号を得ることができる。

【0066】

図１３は、第１実施形態に係る圧力センサに適用される規制部材の第２変形例を示すものである。
第２変形例に係る規制部材１３０は、前述同様のゴム材料を用いて、金型等により、軸線Ｓ方向に長尺な多段円柱状をなす成型ゴムとして形成されている。
規制部材１３０は、前述同様の長さ寸法Ｌ２で、三つの外周嵌合面１３０ａ、二つの肉抜き部１３０ｂ、第１嵌合溝１３１、第２嵌合溝１３２を備えている。

【0067】

三つの外周嵌合面１３０ａは、軸線Ｓ方向に等間隔で離隔して配置され、外部ハウジング１０の貫通孔１３の内壁面に密接して嵌合される、ここでは圧入される外径寸法に形成されている。
二つの肉抜き部１３０ｂは、軸線Ｓ方向に離隔すると共に三つの外周嵌合面１３０ａの間に配置され、外周嵌合面１３０ａよりも小さい外径の円柱状をなすように肉抜きして形成されている。
二つの肉抜き部１３０ｂは、規制部材１３０が外部ハウジング１０の貫通孔１３に嵌合された状態で、貫通孔１３の内壁面と非接触となる領域である。
すなわち、規制部材１３０は、ハウジングの内壁面と部分的に接触するように形成されている。

【0068】

第１嵌合溝１３１は、嵌合溝１３１ａ及び嵌合溝１３１ｂにより画定され、第１リード線９１を密接して嵌合させて挿通させるべく軸線Ｓ方向に伸長する。
嵌合溝１３１ａは、外周嵌合面１３０ａの領域において、図１２に示す形態と同様に、軸線Ｓに垂直な面において溝の底側が円形状でかつ開口側が円形状の部分の直径よりも幅狭い断面形状に形成されている。
嵌合溝１３１ｂは、肉抜き部１３０ｂの領域において、嵌合溝１３１ａに比べて、開口側の幅狭い領域がない断面形状に形成されている。
第２嵌合溝１３２は、嵌合溝１３２ａ及び嵌合溝１３２ｂにより画定され、第２リード線９２を密接して嵌合させて挿通させるべく軸線Ｓ方向に伸長する。
嵌合溝１３２ａは、外周嵌合面１３０ａの領域において、図１２に示す形態と同様に、軸線Ｓに垂直な面において溝の底側が円形状でかつ開口側が円形状の部分の直径よりも幅狭い断面形状に形成されている。
嵌合溝１３２ｂは、肉抜き部１３０ｂの領域において、嵌合溝１３２ａに比べて、開口側の幅狭い領域がない断面形状に形成されている。
ここで、第１嵌合溝１３１と第２嵌合溝１３２とは、軸線Ｓに平行であり、軸線Ｓを中心として点対称な位置に配置されて同一の形状に形成されているため、第２リード線９２が第１嵌合溝１３１に嵌合され、第１リード線９１が第２嵌合溝１３２に嵌合されてもよい。

【0069】

第２変形例の規制部材１３０によれば、前述の規制部材１２０と同様の作用効果が得られる他に、規制部材１３０を外部ハウジング１０に嵌合させる際に、肉抜き部１３０ｂが貫通孔１３の内壁面と非接触となる部分の摩擦抵抗が減り、より円滑に嵌合させることができる。

【0070】

図１４及び図１５は、第１実施形態に係る圧力センサに適用される規制部材の第３変形例を示すものである。
第３変形例に係る規制部材１４０は、前述同様のゴム材料を用いて、金型等により、軸線Ｓ方向に長尺な多段円柱状をなす成型ゴムとして形成されている。
規制部材１４０は、前述同様の長さ寸法Ｌ２で、三つの外周嵌合面１４０ａ、二つの肉抜き部１４０ｂ、第１嵌合溝１４１、第２嵌合溝１４２を備えている。

【0071】

三つの外周嵌合面１４０ａは、軸線Ｓ方向に等間隔で離隔して配置され、外部ハウジング１０の貫通孔１３の内壁面に密接して嵌合される、ここでは圧入される外径寸法に形成されている。
二つの肉抜き部１４０ｂは、軸線Ｓ方向に離隔すると共に三つの外周嵌合面１４０ａの間に配置され、外周嵌合面１４０ａよりも小さい外径の円柱状をなすように肉抜きして形成されている。
二つの肉抜き部１４０ｂは、規制部材１４０が外部ハウジング１０の貫通孔１３に嵌合された状態で、貫通孔１３の内壁面と非接触となる領域である。
すなわち、規制部材１４０は、ハウジングの内壁面と部分的に接触するように形成されている。

【0072】

第１嵌合溝１４１は、軸線Ｓ方向に離隔して配列された三つの嵌合溝１４１ａにより画定され、第１リード線９１を密接して嵌合させて挿通させるべく軸線Ｓ方向に伸長する。
嵌合溝１４１ａは、図１５に示すように、外周嵌合面１４０ａの領域において、軸線Ｓに垂直な面において略半円の断面形状に形成されている。
第２嵌合溝１４２は、軸線Ｓ方向に離隔して配列された三つの嵌合溝１４２ａにより画定され、第２リード線９２を密接して嵌合させて挿通させるべく軸線Ｓ方向に伸長する。
嵌合溝１４２ａは、図１５に示すように、外周嵌合面１４０ａの領域において、軸線Ｓに垂直な面において略半円の断面形状に形成されている。
ここで、第１嵌合溝１４１と第２嵌合溝１４２とは、軸線Ｓに平行であり、軸線Ｓを中心として点対称な位置に配置されて同一の形状に形成されているため、第２リード線９２が第１嵌合溝１４１に嵌合され、第１リード線９１が第２嵌合溝１４２に嵌合されてもよい。

【0073】

第３変形例の規制部材１４０によれば、前述の規制部材１２０と同様の作用効果が得られる他に、規制部材１４０を外部ハウジング１０に嵌合させる際に、肉抜き部１４０ｂが貫通孔１３の内壁面と非接触となる部分の摩擦抵抗が減り、より円滑に嵌合させることができる。
また、第１嵌合溝１４１及び第２嵌合溝１４２が略半円状の断面であり、第１リード線９１が第１嵌合溝１４１と貫通孔１３の内壁面に挟まれて固定され、第２リード線９２が第２嵌合溝１４２と貫通孔１３の内壁面に挟まれて固定されるため、規制部材１４０の嵌合動作をさらに円滑に行うことができる。

【0074】

図１６は、第１実施形態に係る圧力センサに適用される規制部材の第４変形例を示すものである。
第４変形例に係る規制部材１５０は、前述同様のゴム材料を用いて、金型等により、軸線Ｓ方向に長尺な多段円柱状をなす成型ゴムとして形成されている。
規制部材１５０は、前述同様の長さ寸法Ｌ２で、複数の環状嵌合部１５０ａ、複数の肉抜き部１５０ｂ、第１嵌合溝１５１、第２嵌合溝１５２を備えている。

【0075】

複数の環状嵌合部１５０ａは、軸線Ｓ方向に等間隔で離隔して配置され、外部ハウジング１０の貫通孔１３の内壁面に密接して嵌合される、ここでは圧入される外径寸法に形成されている。
複数の肉抜き部１５０ｂは、軸線Ｓ方向に等間隔で離隔すると共に複数の環状嵌合部１５０ａの間に配置され、環状嵌合部１５０ａよりも小さい外径の円柱状をなすように肉抜きして形成されている。
複数の肉抜き部１５０ｂは、規制部材１５０が外部ハウジング１０の貫通孔１３に嵌合された状態で、貫通孔１３の内壁面と非接触となる領域である。
すなわち、規制部材１５０は、ハウジングの内壁面と部分的に接触するように形成されている。

【0076】

第１嵌合溝１５１は、軸線Ｓ方向に離隔して配列された複数の嵌合溝１５１ａにより画定され、第１リード線９１を密接して嵌合させて挿通させるべく軸線Ｓ方向に伸長する。
嵌合溝１５１ａは、環状嵌合部１５０ａの領域において、図１２に示す形態と同様に、軸線Ｓに垂直な面において溝の底側が円形状でかつ開口側が円形状の部分の直径よりも幅狭い断面形状に形成されている。
第２嵌合溝１５２は、軸線Ｓ方向に離隔して配列された複数の嵌合溝１５２ａにより画定され、第２リード線９２を密接して嵌合させて挿通させるべく軸線Ｓ方向に伸長する。
嵌合溝１５２ａは、環状嵌合部１５０ａの領域において、図１２に示す形態と同様に、軸線Ｓに垂直な面において溝の底側が円形状でかつ開口側が円形状の部分の直径よりも幅狭い断面形状に形成されている。
ここで、第１嵌合溝１５１と第２嵌合溝１５２とは、軸線Ｓに平行であり、軸線Ｓを中心として点対称な位置に配置されて同一の形状に形成されているため、第２リード線９２が第１嵌合溝１５１に嵌合され、第１リード線９１が第２嵌合溝１５２に嵌合されてもよい。

【0077】

第４変形例の規制部材１５０によれば、前述の規制部材１２０と同様の作用効果が得られる他に、規制部材１５０を外部ハウジング１０に嵌合させる際に、肉抜き部１５０ｂが貫通孔１３の内壁面と非接触となる部分の摩擦抵抗が減り、より円滑に嵌合させることができる。

【0078】

図１７及び図１８は、第１実施形態に係る圧力センサに適用される規制部材の第５変形例を示すものである。
第５変形例に係る規制部材１６０は、前述同様のゴム材料を用いて、金型等により、軸線Ｓ方向に長尺な略十字断面の柱状をなす成型ゴムとして形成されている。
規制部材１６０は、前述同様の長さ寸法Ｌ２で、四つの外周嵌合面１６０ａ、四つの肉抜き部１６０ｂ、第１嵌合溝１６１、第２嵌合溝１６２を備えている。

【0079】

四つの外周嵌合面１６０ａは、円柱状の外周面の一部を画定するべく、軸線Ｓ回りに等間隔で離隔して配置され、外部ハウジング１０の貫通孔１３の内壁面に密接して嵌合される、ここでは圧入される外径寸法に形成されている。
四つの肉抜き部１６０ｂは、軸線Ｓ回りに等間隔で離隔すると共に四つの外周嵌合面１６０ａの間に配置され、中心角が約９０度の扇状断面をなすと共に軸線Ｓ方向に伸長するように肉抜きして形成されている。
四つの肉抜き部１６０ｂは、規制部材１６０が外部ハウジング１０の貫通孔１３に嵌合された状態で、貫通孔１３の内壁面と非接触となる領域である。
すなわち、規制部材１６０は、ハウジングの内壁面と部分的に接触するように形成されている。

【0080】

第１嵌合溝１６１は、図１８に示すように、外周嵌合面１６０ａにおいて、軸線Ｓに垂直な面において溝の底側が円形状でかつ開口側が円形状の部分の直径よりも幅狭い断面形状に形成されて、第１リード線９１を密接して嵌合させて挿通させるべく軸線Ｓ方向に伸長する。
第２嵌合溝１６２は、第１嵌合溝１６１と同様に、外周嵌合面１６０ａにおいて、軸線Ｓに垂直な面において溝の底側が円形状でかつ開口側が円形状の部分の直径よりも幅狭い断面形状に形成されて、第２リード線９２を密接して嵌合させて挿通させるべく軸線Ｓ方向に伸長する。
ここで、第１嵌合溝１６１と第２嵌合溝１６２とは、軸線Ｓに平行であり、軸線Ｓを中心として点対称な位置に配置されて同一の形状に形成されているため、第２リード線９２が第１嵌合溝１６１に嵌合され、第１リード線９１が第２嵌合溝１６２に嵌合されてもよい。

【0081】

第５変形例の規制部材１６０によれば、前述の規制部材１２０と同様の作用効果が得られる他に、規制部材１６０を外部ハウジング１０に嵌合させる際に、肉抜き部１６０ｂが貫通孔１３の内壁面と非接触となる部分の摩擦抵抗が減り、より円滑に嵌合させることができる。

【0082】

図１９ないし図２６は、本発明に係る圧力センサの第２実施形態を示すものであり、前述の第１実施形態に係る圧力センサと同一の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
第２実施形態に係る圧力センサは、筒状のハウジングとしての外部ハウジング２１０及びサブハウジング２０、ダイヤフラム３０、位置決め部材２５０、断熱部材２６０、圧力計測部材２７０、予荷重付与部材２８０、第２導電体としてのリード線２９０、規制部材３００、コネクタ３１０を備えている。
圧力計測部材２７０は、ハウジングの先端側から軸線Ｓ方向に順次積層された、第１電極７１、圧電素子７２、及び第２電極２７３により構成されている。
予荷重付与部材２８０は、固定部材２８１及び絶縁部材２８２により構成されている。

【0083】

外部ハウジング２１０は、第１導電体を兼ねるものであり、析出硬化系やフェライト系のステンレス鋼等の金属材料を用いて、軸線Ｓ方向に伸長する円筒状に形成され、先端側に位置する嵌合内周壁１１、段差部１２、貫通路１３、雄ネジ部１４、フランジ部１５、末端に位置するコネクタ連結部２１６を備えている。
コネクタ連結部２１６は、コネクタ３１０を連結するように形成されている。

【0084】

位置決め部材２５０は、位置決め部材５０と同様の絶縁性及び断熱性を有する絶縁材料を用いて、軸線Ｓ方向に伸長する略円筒状に形成され、軸線Ｓを中心とする円筒状の貫通孔５１、円筒状の外周面５３、ダイヤフラム３０の可撓平板部３１に接する環状の端面２５２を備えている。

【0085】

そして、位置決め部材２５０は、サブハウジング２０の内周壁２２に嵌合されると共に、貫通孔５１内において、ダイヤフラム３０の突出部３２と、断熱部材２６０と、第１電極７１、圧電素子７２及び第２電極２７３からなる圧力計測部材２７０と、絶縁部材２８２とを積層した状態で、軸線Ｓ上に位置決めして保持する。

【0086】

また、位置決め部材２５０の熱伝導率は、断熱部材２６０の熱伝導率と同等で、絶縁部材２８２の熱伝導率よりも小さいことが好ましい。これにより、位置決め部材２５０を断熱部材としても機能させることができる。
さらに、位置決め部材２５０は、断熱部材２６０及び圧力計測部材２７０を囲繞するように形成されているため、ダイヤフラム３０及びハウジングの壁部から圧電素子７２に向かう伝熱をより効率良く抑制することができる。

【0087】

断熱部材２６０は、電導性を有しかつ断熱性を有するものであり、突出部３２及び第１電極７１の外径と同等の外径をなす所定高さの円柱状に形成されている。
ここで、断熱部材２６０としては、熱容量が大きく、熱伝導率の小さいものが好ましい。熱伝導率は、例えば１５Ｗ／ｍ・Ｋ以下が好ましく、より好ましくは５Ｗ／ｍ・Ｋ以下である。具体的な材料としては、例えば、低熱伝導性材料により形成されたセラミックス等の部材の表面に導電性の薄膜を設けた導電被膜絶縁材料、又は、シリコン層及びゲルマニウム層を交互に並べた層状構造の断熱導電材料、その他の断熱導電材料等である。

【0088】

そして、断熱部材２６０は、サブハウジング２０の内側において、ダイヤフラム３０の突出部３２と第１電極７１の間に密接して配置される。
これにより、断熱部材２６０は、ダイヤフラム３０を介して第１電極７１を第１導電体としてのハウジング（外部ハウジング１１０及びサブハウジング２０）と電気的に接続すると共に、ダイヤフラム３０から第１電極７１への伝熱を抑制するように機能する。

【0089】

圧力計測部材２７０は、圧力を検出するべく機能するものであり、サブハウジング２０の内側において、先端側から軸線Ｓ方向に順次積層された、第１電極７１、圧電素子７２、及び第２電極２７３を備えている。
第１電極７１は、位置決め部材２５０の貫通孔５１内において、一方の面が断熱部材２６０と密接し、他方の面が圧電素子７２と密接するように配置される。
そして、第１電極７１は、断熱部材２６０、ダイヤフラム３０、及び第１導電体を兼ねるハウジング（外部ハウジング１１０及びサブハウジング２０）を介して、電気回路に対して電気的にグランド側（マイナス側）に接続される。

【0090】

第２電極２７３は、析出硬化系やフェライト系のステンレス鋼等の導電性の金属材料を用いて、位置決め部材２５０の貫通孔５１に嵌め込まれる外径をなす円柱又は円板状に形成され、一端面においてリード線２９０の一端部２９０ａを接続する円筒状の接続部２７３ａを備えている。
そして、第２電極２７３は、位置決め部材２５０の貫通孔５１内において、一方の面が圧電素子７２と密接し、他方の面が絶縁部材２８２と密接するように配置される。

【0091】

予荷重付与部材２８０は、固定部材２８１及び絶縁部材２８２により構成され、ハウジングの一部をなすサブハウジング２０の内側に配置されて、ダイヤフラム３０に向けて圧力計測部材２７０を押圧して予荷重を付与し、圧力計測部材２７０に対してセンサとしての直線特性を与える役割をなす。

【0092】

固定部材２８１は、析出硬化系やフェライト系のステンレス鋼等の金属材料を用いて略円柱状に形成され、軸線Ｓを中心とする中央領域においてリード線２９０を非接触にて通す貫通孔２８１ａを備えている。
絶縁部材２８２は、電気的に絶縁性の高い絶縁材料を用いて、位置決め部材２５０の貫通孔５１に嵌め込まれる外径をなす円柱又は円板状に形成され、軸線Ｓを中心とする中央領域において第２電極２７３の接続部２７３ａ及びリード線２９０を通す貫通孔２８２ａを備えている。

【0093】

絶縁部材２８２の絶縁材料としては、熱容量が小さく、熱伝導率が大きいものが好ましく、具体的な材料としては、例えば、アルミナ、サファイア、窒化アルミニウム、炭化珪素等のセラミックス、又は、導電性材料に絶縁処理を施したものが挙げられる。
また、絶縁部材２８２としては、断熱部材２６０の熱伝導率よりも大きい熱伝導率を有するもの、例えば３０Ｗ／ｍ・Ｋ以上のものが好ましい。また、絶縁部材２８２としては、断熱部材２６０よりも熱容量が小さいものが好ましい。これによれば、断熱部材２６０により圧電素子７２に伝わる伝熱量をできるだけ抑える一方で、圧電素子７２に伝わった熱は絶縁部材２８２を通して放熱を促進させることができる。

【0094】

リード線２９０は、図２０及び図２４に示すように、ニッケル等の溶接性の高い導線がフッ素系等の絶縁材料により覆われて軸線Ｓ方向に長尺に形成された細線である。
そして、リード線２９０は、一端部２９０ａが圧力計測部材２７０の第２電極２７３に電気的に接続され、他端部２９０ｂがコネクタ３１０の端子３１２に電気的に接続され、外部コネクタを介して電気回路に対して電気的に出力側（プラス側）に接続される。
また、リード線２９０は、固定部材２８０の貫通孔２８１ａを非接触にて通過するように配設される。
さらに、リード線２９０は、一端部２９０ａと他端部２９０ｂの間の領域でかつ予荷重付与部材２８０から外れた領域が規制部材３００の嵌合孔３０１に密接して嵌合されて挿通されている。

【0095】

規制部材３００は、前述同様のゴム材料を用いて、金型等により、軸線Ｓ方向に長尺な多段円柱状をなす成型ゴムとして形成されている。
規制部材３００は、図２０及び図２２に示すように、外部ハウジング２１０の貫通路１３の軸線Ｓ方向における長さ寸法Ｌ３よりも短い長さ寸法Ｌ４で、三つの外周嵌合面３００ａ、二つの肉抜き部３００ｂ、嵌合孔３０１を備えている。
ここで、貫通孔１３の長さ寸法Ｌ３は、図２０に示すように、外部ハウジング１０内において、段差部１２からコネクタ連結部２１６に連結されたコネクタ３１０の端子３１２の内側端部までの軸線Ｓ方向における長さである。尚、規制部材３００の長さ寸法Ｌ４は、貫通孔１３の長さ寸法Ｌ３と同じでもよい。

【0096】

三つの外周嵌合面３００ａは、図２６に示すように、軸線Ｓ方向に等間隔で離隔して配置され、外部ハウジング２１０の貫通孔１３の内壁面に密接して嵌合される、ここでは圧入される外径寸法に形成されている。
二つの肉抜き部３００ｂは、軸線Ｓ方向に離隔すると共に三つの外周嵌合面３００ａの間に配置され、外周嵌合面３００ａよりも小さい外径の円柱状をなすように肉抜きして形成されている。
二つの肉抜き部３００ｂは、規制部材３００が外部ハウジング２１０の貫通孔１３に嵌合された状態で、貫通孔１３の内壁面と非接触となる領域である。
すなわち、規制部材３００は、ハウジングの内壁面と部分的に接触するように形成されている。
嵌合孔３０１は、軸線Ｓと同軸上に配置され、リード線２９０を密接して嵌合させて挿通させるべく、軸線Ｓ方向に伸長して貫通する。

【0097】

そして、規制部材３００は、外部ハウジング２１０の貫通孔１３に対して、外周嵌合面３００ａの外径を僅かに縮めるように弾性変形させつつ嵌合して固定されると共に、リード線２９０が嵌合孔３０１に隙間なく密接して嵌合して固定される。
このように、規制部材３００が弾性変形可能な成型ゴムであるため、貫通孔１３の内壁面が機械加工されていなくても、規制部材３００を容易に嵌合させることができる。

【0098】

規制部材３００を設けたことにより、エンジンの振動が圧力センサの外部ハウジング２１０に伝わっても、規制部材３００により振動が減衰され、又、外部ハウジング２１０及びリード線２９０は、規制部材３００により相対的な移動が規制されて両者の間隔が一定に維持される。
したがって、外部ハウジング２１０とリード線２９０との間の寄生容量の変化が防止される。その結果、寄生容量の変化に伴うノイズの発生を防止でき、高精度な出力信号を得ることができる。

【0099】

また、規制部材３００は、サブハウジング２０から軸線Ｓ方向の奥側に外れた領域、特に、予荷重付与部材２８０から外れた領域において、外部ハウジング２１０内に配置されているため、予荷重付与部材２８０により予め設定された予荷重に対して影響を及ぼすことなく、外部ハウジング２１０に対するリード線２９０の相対的な移動のみを規制することができる。

【0100】

コネクタ３１０は、図２０に示すように、結合部３１１、端子３１２を備えている。
結合部３１１は、外部ハウジング２１０の末端に位置するコネクタ連結部２１６に結合される。
端子３１２は、絶縁部材を介して結合部３１１に固定されると共にリード線２９０の他端部２９０ｂと電気的に接続され、又、外部コネクタの接続端子と電気的に接続される。

【0101】

次に、上記構成をなす圧力センサの組み立て作業について説明する。
作業に際して、外部ハウジング２１０、サブハウジング２０、ダイヤフラム３０、位置決め部材２５０、断熱部材２６０、第１電極７１、圧電素子７２、第２電極２７３、固定部材２８１、絶縁部材２８２、リード線２９０、規制部材３００、及びコネクタ３１０が準備される。

【0102】

先ず、ダイヤフラム３０が、サブハウジング２０の先端面２３に溶接等により固定される。
次に、位置決め部材２５０がサブハウジング２０内に嵌め込まれる。続いて、位置決め部材２５０の内側に、断熱部材２６０、第１電極７１、圧電素子７２、リード線２９０の一端部２９０ａが接続された第２電極２７３、及び絶縁部材２８２が順次積層して嵌め込まれる。尚、リード線２９０は、後の工程で、第２電極２７３に接続されてもよい。

【0103】

その後、固定部材２８１が、絶縁部材２８２を押し付けるようにしてサブハウジング２０内に嵌め込まれ、予荷重が付与された状態で、固定部材２８１がサブハウジング２０に溶接等により固定される。これにより、図２４及び図２５に示すように、センサモジュールＭ２が形成される。尚、センサモジュールＭ２の組付け方法は、上記手順に限るものではない。

【0104】

続いて、センサモジュールＭ２が外部ハウジング２１０に組み込まれる。すなわち、リード線２９０が外部ハウジング２１０の貫通路１３に通されると共に、サブハウジング２０が外部ハウジング２１０の嵌合内周壁１１に嵌め込まれて、奥側端面２４が段差部１２に当接させられる。
その後、サブハウジング２０が、外部ハウジング２１０に対し溶接により固定される。

【0105】

続いて、規制部材３００が、コネクタ連結部２１６の開口から外部ハウジング２１０の貫通路１３内に押し込まれて、図２０及び図２６に示すように、外周嵌合面３００ａが貫通孔１３に嵌合されると共に、リード線２９０が嵌合孔３０１に密接するように嵌合して挿通される。
規制部材３００の組み付けに際して、規制部材３００が成型ゴムであるため、規制部材３００を弾性変形させつつ押し込むことができ、組付け作業を円滑に行うことができる。

【0106】

続いて、リード線２９０の他端部２９０ｂが、端子３１２に電気的に接続され、結合部３１１が外部ハウジング２１０のコネクタ連結部２１６に固定される。これにより、図２０に示すように、コネクタ３１０が外部ハウジング２１０の末端に固定される。以上により、圧力センサの組付けが完了する。
尚、上記組み付け手順は、一例であって、これに限定されるものではなく、その他の組付け手順を採用してもよい。

【0107】

上記第２実施形態に係る圧力センサによれば、ダイヤフラム３０に伝達した熱は、断熱部材２６０により断熱されて、ダイヤフラム３０から第１電極７１及び圧電素子７２への伝熱が抑制される。したがって、圧電素子７２に対する熱の影響が抑制され、センサ出力の基準点（零点）の変動を防止でき、所期のセンサ精度を得ることができる。

【0108】

また、ハウジングは、外部ハウジング２１０と、外部ハウジング２１０の内側に嵌め込まれて固定されるサブハウジング２０を含み、サブハウジング２０には、ダイヤフラム３０、位置決め部材２５０、断熱部材２６０、圧力計測部材２７０、及び予荷重付与部材２８０が配置される。
これによれば、サブハウジング２０に対して、ダイヤフラム３０、位置決め部材２５０、断熱部材２６０、圧力計測部材２７０、及び予荷重付与部材２８０を予め組み込んで、センサモジュールＭ２を形成することができる。
したがって、適用対象物に応じて取付け形状等が異なる場合は、外部ハウジング２１０のみを適用対象毎に設定して、センサモジュールＭ２を共用することができる。

【0109】

さらに、規制部材３００により、軸線Ｓ方向において長尺な形状をなす第１導電体を兼ねる外部ハウジング２１０及びリード線２９０の相対的な移動が規制されて両者の間隔が一定に維持される。
したがって、外部ハウジング２１０とリード線２９０との間の寄生容量の変化を防止できる。それ故に、寄生容量の変化に伴うノイズの発生を防止でき、高精度な出力信号を得ることができる。
また、規制部材３００が成型ゴムであるため、組付け作業が容易になり、又、エンジンから外部ハウジング２１０を経てリード線２９０に伝わる振動を低減ないし防止ができ、所期の電気的な接続状態を維持することができる。

【0110】

図２７は、第２実施形態に係る圧力センサに適用される規制部材の第１変形例を示すものである。
第１変形例に係る規制部材３２０は、前述同様のゴム材料を用いて、金型等により、軸線Ｓ方向に長尺な多段円柱状をなす成型ゴムとして形成されている。
規制部材３２０は、前述同様の長さ寸法Ｌ４で、複数の環状嵌合部３２０ａ、複数の肉抜き部３２０ｂ、嵌合孔３２１を備えている。

【0111】

複数の環状嵌合部３２０ａは、軸線Ｓ方向に等間隔で離隔して配置され、外部ハウジング２１０の貫通孔１３の内壁面に密接して嵌合される、ここでは圧入される外径寸法に形成されている。
複数の肉抜き部３２０ｂは、軸線Ｓ方向に等間隔で離隔すると共に複数の環状嵌合部３２０ａの間に配置され、環状嵌合部３２０ａよりも小さい外径の円柱状をなすように肉抜きして形成されている。
複数の肉抜き部３２０ｂは、規制部材３２０が外部ハウジング２１０の貫通孔１３に嵌合された状態で、貫通孔１３の内壁面と非接触となる領域である。
すなわち、規制部材３２０は、ハウジングの内壁面と部分的に接触するように形成されている。
嵌合孔３２１は、軸線Ｓと同軸上に配置され、リード線２９０を密接して嵌合させて挿通させるべく、軸線Ｓ方向に伸長して貫通する。
第１変形例の規制部材３２０によれば、前述の規制部材３００と同様の作用効果が得られる。

【0112】

図２８及び図２９は、第２実施形態に係る圧力センサに適用される規制部材の第２変形例を示すものである。
第２変形例に係る規制部材３３０は、前述同様のゴム材料を用いて、金型等により、軸線Ｓ方向に長尺な略十字断面の柱状をなす成型ゴムとして形成されている。
規制部材３３０は、前述同様の長さ寸法Ｌ４で、四つの外周嵌合面３３０ａ、四つの肉抜き部３３０ｂ、嵌合孔３３１を備えている。

【0113】

四つの外周嵌合面３３０ａは、円柱状の外周面の一部を画定するべく、軸線Ｓ回りに等間隔で離隔して配置され、外部ハウジング２１０の貫通孔１３の内壁面に密接して嵌合される、ここでは圧入される外径寸法に形成されている。
四つの肉抜き部３３０ｂは、図２９に示すように、軸線Ｓ回りに等間隔で離隔すると共に四つの外周嵌合面３３０ａの間に配置され、中心角が約９０度の扇状断面をなすと共に軸線Ｓ方向に伸長するように肉抜きして形成されている。
四つの肉抜き部３３０ｂは、規制部材３３０が外部ハウジング２１０の貫通孔１３に嵌合された状態で、貫通孔１３の内壁面と非接触となる領域である。
すなわち、規制部材３３０は、ハウジングの内壁面と部分的に接触するように形成されている。
嵌合孔３３１は、軸線Ｓと同軸上に配置され、リード線２９０を密接して嵌合させて挿通させるべく、軸線Ｓ方向に伸長して貫通する。
第２変形例の規制部材３３０によれば、前述の規制部材３００，３１０と同様の作用効果が得られる。

【0114】

図３０は、第２実施形態に係る圧力センサに適用される規制部材の第３変形例を示すものである。
第３変形例に係る規制部材３４０は、前述同様のゴム材料を用いて、金型等により、軸線Ｓ方向に長尺な円柱状をなす成型ゴムとして形成されている。
規制部材３４０は、前述同様の長さ寸法Ｌ４で、外周嵌合面３４０ａ、嵌合孔３４１を備えている。
外周嵌合面３４０ａは、貫通路１３の内壁面に密接して嵌合される、ここでは圧入される外径寸法に形成されている。
嵌合孔３４１は、軸線Ｓと同軸上に配置され、リード線２９０を密接して嵌合させて挿通させるべく、軸線Ｓ方向に伸長して貫通する。
第３変形例の規制部材３４０によれば、より堅固にリード線２９０を固定して保持することができる。

【0115】

図３１は、第２実施形態に係る圧力センサに適用される規制部材の第４変形例を示すものである。
第４変形例に係る規制部材３５０は、前述同様のゴム材料を用いて、金型等により、軸線Ｓ方向に長尺な多段円柱状をなす成型ゴムとして形成されている。
規制部材３５０は、前述同様の長さ寸法Ｌ４で、三つの外周嵌合面３５０ａ、二つの肉抜き部３５０ｂ、嵌合溝３５１を備えている。

【0116】

三つの外周嵌合面３５０ａは、軸線Ｓ方向に等間隔で離隔して配置され、外部ハウジング２１０の貫通孔１３の内壁面に密接して嵌合される、ここでは圧入される外径寸法に形成されている。
二つの肉抜き部３５０ｂは、軸線Ｓ方向に離隔すると共に三つの外周嵌合面３５０ａの間に配置され、外周嵌合面３５０ａよりも小さい外径の円柱状をなすように肉抜きして形成されている。
二つの肉抜き部３５０ｂは、規制部材３５０が外部ハウジング２１０の貫通孔１３に嵌合された状態で、貫通孔１３の内壁面と非接触となる領域である。
すなわち、規制部材３５０は、ハウジングの内壁面と部分的に接触するように形成されている。

【0117】

嵌合溝３５１は、軸線Ｓ方向に離隔して配列された三つの嵌合溝３５１ａにより画定され、リード線２９０を密接して嵌合させて挿通させるべく軸線Ｓ方向に伸長する。
嵌合溝３５１ａは、外周嵌合面３５０ａの領域において、図１５に示す場合と同様に、軸線Ｓに垂直な面において略半円の断面形状に形成されている。

【0118】

第４変形例の規制部材３５０によれば、前述の規制部材３００，３２０，３３０と同様の作用効果が得られる。
また、嵌合溝３５１が略半円状の断面であり、リード線２９０が嵌合溝３５１と貫通孔１３の内壁面に挟まれて固定されるため、規制部材３５０の嵌合動作をさらに円滑に行うことができる。

【0119】

上記第１及び第２実施形態において、規制部材１００，１２０，１３０，１４０，１５０，１６０，３００，３２０，３３０，３４０，３５０の長さ寸法Ｌ２，Ｌ４は、貫通孔１３の長さ寸法Ｌ１，Ｌ３よりも僅かに短いものを示したが、これに限定されるものではなく、第１導電体（第１リード線９１，外部ハウジング２１０）と第２導電体（第２リード線９２，リード線２９０）との相対的な移動を規制できる限り、より短い寸法の規制部材を採用してもよい。

【0120】

上記第１及び第２実施形態においては、ダイヤフラムとして、可撓板状部３１及び突出部３２を一体的に備えたダイヤフラム３０を示したが、これに限定されるものではなく、可撓板状部３１と突出部３２が別個に形成されて、可撓板状部３１がダイヤフラムとして機能し、突出部３２が力伝達部材として機能する構成を採用してもよい。

【0121】

上記第１及び第２実施形態においては、ハウジングとして、外部ハウジング１０，２１０と、サブハウジング２０を含む構成を示したが、これに限定されるものではなく、一つのハウジングを採用してもよい。
上記第１及び第２実施形態においては、断熱部材６０，２６０を備えた圧力センサを示したが、これに限定されるものではなく、断熱部材６０，２６０を廃止した構成であってもよい。

【0122】

上記第１実施形態においては、第１導電体として第１リード線９１及び第２導電体として第２リード線９２を示し、第２実施形態においては、第２導電体としてリード線２９０を示したが、これに限定されるものではなく、軸線Ｓ方向に長尺な導電体であれば、ピン状の導電体、その他の形態をなす導電体を採用してもよい。
上記第１及び第２実施形態においては、規制部材として、弾性材料である成型ゴムを採用した場合を示したが、これに限定されるものではなく、予荷重付与部材８０，２８０の領域に流れ込まないようにして、流動性のある充填剤を充填して硬化させてもよい。

【0123】

上記第１実施形態においては、規制部材１００，１２０，１３０，１４０，１５０，１６０が、外部ハウジング１０の貫通孔１３に密接に嵌合される構成を示したが、これに限定されるものではなく、第１リード線９１と第２リード線９２との相対的な移動を規制できる限り、貫通孔１３の内壁面と非接触な状態で外部ハウジング１０内に配置される規制部材を採用してもよい。

【0124】

以上述べたように、本発明の圧力センサは、寄生容量の変化を抑制ないし防止して、ノイズの発生を抑制ないし防止できるため、特に振動を伴うエンジンの燃焼室内の燃焼ガス等の圧力を検出する圧力センサとして適用できるのは勿論のこと、エンジン以外の振動する環境に配置される機器の圧力媒体の圧力を検出する圧力センサとしても有用である。

【符号の説明】

【0125】

Ｓ 軸線
１０ 外部ハウジング（ハウジング）
２０ サブハウジング（ハウジング）
３０ ダイヤフラム
７０ 圧力計測部材
７１ 第１電極
７２ 圧電素子
７３ 第２電極
８０ 予荷重付与部材
９１ 第１リード線（第１導電体）
９２ 第２リード線（第２導電体）
１００，１２０，１３０，１４０，１５０，１６０ 規制部材
１０１ 第１嵌合孔
１０２ 第２嵌合孔
１２１，１３１，１４１，１５１，１６１ 第１嵌合溝
１２２，１３２，１４２，１５２，１６２ 第２嵌合溝
１１０ コネクタ
１１２ 第１端子
１１３ 第２端子
２１０ 外部ハウジング（ハウジング、第１導電体）
２７０ 圧力計測部材
２７３ 第２電極
２８０ 予荷重付与部材
２９０ リード線（第２導電体）
３１０ コネクタ
３１２ 端子
３００，３２０，３３０，３４０，３５０ 規制部材
３０１，３２１，３３１，３４１ 嵌合孔
３５１ 嵌合溝

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】

【図29】

【図30】

【図31】