発明の名称 半導体装置の製造方法
出願人 国立大学法人 筑波大学 (識別番号 504171134)
特許公開件数ランキング 494 位(95件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 429 位(75件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6985711
公報発行日 2021年12月22
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6985711
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