特許 6986916 検査装置及び検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6986916

(24)【登録日】2021年12月2日

(45)【発行日】2021年12月22日

(54)【発明の名称】検査装置及び検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01B 11/02 20060101AFI20211213BHJP

   G01N 21/956 20060101ALI20211213BHJP

【ＦＩ】

   G01B11/02 H

   G01N21/956 Z

【請求項の数】6

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2017-193996(P2017-193996)

(22)【出願日】2017年10月4日

(65)【公開番号】特開2019-66400(P2019-66400A)

(43)【公開日】2019年4月25日

【審査請求日】2020年9月2日

(73)【特許権者】

【識別番号】510281944

【氏名又は名称】新東エスプレシジョン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100112427

【弁理士】

【氏名又は名称】藤本 芳洋

(72)【発明者】

【氏名】福山 智博

【審査官】 續山 浩二

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１５−０１７９３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−０１４２２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−１９００２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−２３３２９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−２５３５４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 中国特許出願公開第１０２７１７１８７（ＣＮ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１５６７０９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｂ １１／０２

Ｇ０１Ｎ ２１／９５６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

メタルマスクフレームに取り付ける前のメタルマスクシートを検査する検査装置であって、
前記メタルマスクシートに形成されている管理ポイントを測定する測定部と、
前記測定部による測定結果に基づいて、前記メタルマスクシートをランク分けするランク判定部と、
前記ランク判定部により判定されたランク毎に前記メタルマスクシートを収容する収容部と、
前記ランク判定部により判定された前記ランクに基づいて、前記収容部に前記メタルマスクシートを搬送する搬送部と、
前記収容部に収容されている前記メタルマスクシートを搬出する搬出部と、を備え、
前記収容部は、前記ランク判定部により第１ランクと判定された前記メタルマスクシートを収容する第１の段及び第２の段を有し、
前記搬送部は、前記第１ランクの前記メタルマスクシートを前記第１の段に搬送し、前記第１の段に空きがない場合、前記第１ランクの前記メタルマスクシートを前記第２の段に搬送し、
前記搬出部は、前記第１の段に空きがない場合、前記第１の段に収容されている前記メタルマスクシートを前記収容部から搬出することを特徴とする検査装置。

【請求項2】

前記メタルマスクシートの外観を検査する外観検査部を更に備え、
前記ランク判定部は、前記外観検査部による検査結果に基づいて、前記メタルマスクシートがメタルマスクの製造に用いる部材として適切か否かを判定し、
前記搬送部は、前記ランク判定部により前記メタルマスクシートが前記メタルマスクの製造に用いる部材として適切でないと判定された場合、適切でない前記メタルマスクシートを収容するランク外収容部に前記メタルマスクシートを搬送することを特徴とする請求項１記載の検査装置。

【請求項3】

前記ランク判定部は、前記測定部による測定結果に基づいて、前記メタルマスクシートがメタルマスクの製造に用いる部材として適切か否かを判定し、
前記搬送部は、前記ランク判定部により前記メタルマスクシートが前記メタルマスクの製造に用いる部材として適切でないと判定された場合、適切でない前記メタルマスクシートを収容するランク外収容部に前記メタルマスクシートを搬送することを特徴とする請求項１記載の検査装置。

【請求項4】

メタルマスクフレームに取り付ける前のメタルマスクシートを検査する検査方法であって、
前記メタルマスクシートに形成されている管理ポイントを測定する測定工程と、
前記測定工程による測定結果に基づいて、前記メタルマスクシートをランク分けするランク判定工程と、
前記ランク判定工程により判定された前記メタルマスクシートのランクに基づいて、前記ランク毎の前記メタルマスクシートを収容する収容部に前記メタルマスクシートを搬送する搬送工程と、
前記収容部に収容されている前記メタルマスクシートを搬出する搬出工程と、を含み、
前記搬送工程は、前記ランク判定工程において第１ランクと判定された前記メタルマスクシートを収容する第１の段及び第２の段を有する前記収容部の前記第１の段に前記第１ランクの前記メタルマスクシートを搬送し、前記第１の段に空きがない場合、前記第１ランクの前記メタルマスクシートを前記第２の段に搬送し、
前記搬出工程は、前記第１の段に空きがない場合、前記第１の段に収容されている前記メタルマスクシートを前記収容部から搬出することを特徴とする検査方法。

【請求項5】

前記メタルマスクシートの外観を検査する外観検査工程を含み、
前記ランク判定工程は、前記外観検査工程による検査結果に基づいて、前記メタルマスクシートがメタルマスクの製造に用いる部材として適切か否かを判定し、
前記搬送工程は、前記ランク判定工程により前記メタルマスクシートが前記メタルマスクの製造に用いる部材として適切でないと判定された場合、適切でない前記メタルマスクシートを収容するランク外収容部に前記メタルマスクシートを搬送することを特徴とする請求項４記載の検査方法。

【請求項6】

前記ランク判定工程は、前記測定工程による測定結果に基づいて、前記メタルマスクシートがメタルマスクの製造に用いる部材として適切か否かを判定し、
前記搬送工程は、前記ランク判定工程により前記メタルマスクシートが前記メタルマスクの製造に用いる部材として適切でないと判定された場合、適切でない前記メタルマスクシートを収容するランク外収容部に前記メタルマスクシートを搬送することを特徴とする請求項４記載の検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、メタルマスクシートを検査する検査装置及び該検査装置を用いた検査方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、有機ＥＬ素子の製造工程において有機発光層を真空蒸着する際に使用されるメタルマスクの外観検査等を行うメタルマスク検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００４−０３７１３４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、メタルマスクは帯状のメタルマスクシートに所定の張力を付与した状態で枠状のメタルマスクフレームにメタルマスクシートを貼り付けることにより製造される。メタルマスクシートに形成されている開口パターンは、メタルマスクシートに付与される張力を加味して縮尺されている。また、メタルマスクフレームの形状も、メタルマスクシートに付与される張力による変形を加味して形成されている。したがって、メタルマスクシートに付与する張力を調べるために、メタルマスクフレームに貼り付ける前にメタルマスクシートを検査する必要がある。

【0005】

メタルマスクシートの検査では、メタルマスクシートに形成されている管理ポイントの寸法が計測され、計測結果に基づいてメタルマスクシートに付与する張力が決定される。具体的には、検査装置において、顕微鏡等を用いて管理ポイントを計測し、計測結果に基づいてメタルマスクシートのランク決めを行う。ランク決めされたメタルマスクシートは、作業者により手作業で製品棚に戻され、作業者により手作業でマスク製造装置にセットされていた。しかしながら、高精度なメタルマスクを高効率に製造するために、メタルマスクシートをランク分けした後、予め検査装置においてランク別にメタルマスクシートを収容することが所望されている。

【0006】

本発明の目的は、メタルマスクシートを検査した後、メタルマスクシートをランク別に収容することができる検査装置及び該検査装置を用いた検査方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の検査装置は、メタルマスクフレームに取り付ける前のメタルマスクシートを検査する検査装置であって、前記メタルマスクシートに形成されている管理ポイントを測定する測定部と、前記測定部による測定結果に基づいて、前記メタルマスクシートをランク分けするランク判定部と、前記ランク判定部により判定された前記メタルマスクシートのランクに基づいて、前記ランク毎の前記メタルマスクシートを収容する収容部に前記メタルマスクシートを搬送する搬送部とを備えることを特徴とする。

【0008】

また、本発明の検査装置は、前記メタルマスクシートの外観を検査する外観検査部を更に備え、前記ランク判定部は、前記外観検査部による検査結果に基づいて、前記メタルマスクシートがメタルマスクの製造に用いる部材として適切か否かを判定し、前記搬送部は、前記ランク判定部により前記メタルマスクシートが前記メタルマスクの製造に用いる部材として適切でないと判定された場合、適切でない前記メタルマスクシートを収容するランク外収容部に前記メタルマスクシートを搬送することを特徴とする。

【0009】

また、本発明の検査装置は、前記ランク判定部が前記測定部による測定結果に基づいて、前記メタルマスクシートがメタルマスクの製造に用いる部材として適切か否かを判定し、前記搬送部は、前記ランク判定部により前記メタルマスクシートが前記メタルマスクの製造に用いる部材として適切でないと判定された場合、適切でない前記メタルマスクシートを収容するランク外収容部に前記メタルマスクシートを搬送することを特徴とする。

【0010】

また、本発明の検査方法は、メタルマスクフレームに取り付ける前のメタルマスクシートを検査する検査方法であって、前記メタルマスクシートに形成されている管理ポイントを測定する測定工程と、前記測定工程による測定結果に基づいて、前記メタルマスクシートをランク分けするランク判定工程と、前記ランク判定工程により判定された前記メタルマスクシートのランクに基づいて、前記ランク毎の前記メタルマスクシートを収容する収容部に前記メタルマスクシートを搬送する搬送工程とを含むことを特徴とする。

【0011】

また、本発明の検査方法は、前記メタルマスクシートの外観を検査する外観検査工程を含み、前記ランク判定工程は、前記外観検査工程による検査結果に基づいて、前記メタルマスクシートがメタルマスクの製造に用いる部材として適切か否かを判定し、前記搬送工程は、前記ランク判定工程により前記メタルマスクシートが前記メタルマスクの製造に用いる部材として適切でないと判定された場合、適切でない前記メタルマスクシートを収容するランク外収容部に前記メタルマスクシートを搬送することを特徴とする。

【0012】

また、本発明の検査方法は、前記ランク判定工程が前記測定工程による測定結果に基づいて、前記メタルマスクシートがメタルマスクの製造に用いる部材として適切か否かを判定し、前記搬送工程は、前記ランク判定工程により前記メタルマスクシートが前記メタルマスクの製造に用いる部材として適切でないと判定された場合、適切でない前記メタルマスクシートを収容するランク外収容部に前記メタルマスクシートを搬送することを特徴とする。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、メタルマスクシートを検査した後、メタルマスクシートをランク別に収容することができる検査装置及び該検査装置を用いた検査方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】実施の形態に係る検査装置の構成を示す図である。

【図2】実施の形態に係るメタルマスクシートの構成を示す図である。

【図3】実施の形態に係る検査後シート収容部の構成を示す図である。

【図4】実施の形態に係るトレーの構成を示す図である。

【図5】実施の形態に係る検査装置のシステム構成を示すブロック図である。

【図6】実施の形態に係る検査装置を用いてメタルマスクシートを検査する検査方法について説明するためのフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態に係る検査装置について、有機ＥＬ素子の製造工程において有機発光層を真空蒸着する際に使用されるメタルマスクシート（メタルマスクフレームに取り付ける前のメタルマスクシート）を検査する検査装置を例に挙げて説明する。

【0016】

図１は、この実施の形態に係る検査装置の概略構成を示す図である。なお、以下の説明においては、図１に示すＸＹＺ直交座標系を設定し、この直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係等について説明する。ＸＹ平面は、検査装置を載置する水平面に平行な面に設定されており、Ｚ軸は、鉛直方向に設定されている。検査装置２は、図１に示すように、テーブル部５、ガラステーブル部６、検査部８、フレーム１０、一対のガイドレール１２、グリッパー１４、テーブル部１５、吸着部１６、一対のガイドレール１７、検査後シート一時収容部２０、検査後シート収容部２２、及びロボット２４を備えている。

【0017】

テーブル部５は、検査部８により検査されたメタルマスクシート４（図２参照）を一時的に載置する矩形状の平板である。また、ガラステーブル部６は、検査部８により検査する際にメタルマスクシート４（図２参照）を載置する矩形状の平板である。メタルマスクシート４は、図２に示すように、帯状の金属薄膜により構成されており、メタルマスクシート４の各領域４ａには、複数の正方形状、円形状、長方形状等の開口パターンがエッチングなどにより形成されている。また、各領域４ａの周囲には、図２に示すように、複数の管理ポイント４ｂが形成されている。複数のメタルマスクシート４の両端部を枠状のメタルマスクフレームを構成する対向する二辺に順次貼り付けることによりメタルマスクが製造され、メタルマスクは有機ＥＬ素子の製造工程において有機材の真空蒸着を行う際に使用される。

【0018】

検査部８は、顕微鏡及びカメラを備えており、ガラステーブル部６に載置されたメタルマスクシート４を検査する。具体的には、検査部８は、顕微鏡及びカメラを用いてメタルマスクシート４に形成されている管理ポイント４ｂの位置を測定する。また、検査部８は、顕微鏡及びカメラを用いてメタルマスクシート４の外観、例えばメタルマスクシート４に異物が付着していないか、開口パターンに欠けがないか等を検査する。フレーム１０は、検査部８をＸ方向（ガラステーブル部６に載置されるメタルマスクシート４の長手方向）にスライド可能に支持する。一対のガイドレール１２は、フレーム１０をＹ方向（ガラステーブル部６に載置されるメタルマスクシート４の幅方向）にスライド可能に支持する。

【0019】

グリッパー１４は、少なくとも検査部８による検査が行われている間、ガラステーブル部６に載置されているメタルマスクシート４の両端部を挟持する。また、グリッパー１４は、Ｙ方向に移動可能に構成されており、検査部８による検査を終えた後、ガラステーブル部６に載置されているメタルマスクシート４の両端部を挟持してテーブル部５に移動させる。

【0020】

テーブル部１５は、図示しないメタルマスクシートケースを載置する矩形状の平板である。メタルマスクシートケース内には、検査前のメタルマスクシート４が紙、メタルマスクシート４、紙、メタルマスクシート４の順に複数枚積み重ねて収容されている。吸着部１６は、メタルマスクシートケース内に収容されている最上のメタルマスクシート４の上面を吸着し、一対のガイドレール１７は、吸着部１６をＹ方向にスライド可能に支持する。吸着部１６により吸着保持されたメタルマスクシート４は、吸着部１６が一対のガイドレール１７上をＹ方向に移動することにより、ガラステーブル部６まで搬送される。

【0021】

検査後シート一時収容部２０は、検査部８において検査を終えたメタルマスクシート４を一時的に収容する。また、検査後シート収容部２２は、ロボット２４を用いて検査後シート一時収容部２０から搬送されたメタルマスクシート４をランク別に収容する。図３は、検査後シート収容部２２の構成を示す図である。検査後シート収容部２２には、図３に示すように、ランクＡのメタルマスクシート４を収容する段２２ａ，２２ｂ、ランクＢのメタルマスクシート４を収容する段２２ｃ，２２ｄ、ランクＣのメタルマスクシート４を収容する段２２ｅ，２２ｆ、ランクＮＧのメタルマスクシート４を収容する段２２ｇ，２２ｈが設けられている。メタルマスクシート４のランクについては後述する。

【0022】

ランクＡのメタルマスクシート４は、図４に示すようなトレー２３上に載置された状態で、段２２ａ，２２ｂに収容される。同様に、ランクＢのメタルマスクシート４はトレー２３に載置された状態で段２２ｃ，２２ｄに、ランクＣのメタルマスクシート４はトレー２３に載置された状態で段２２ｅ，２２ｆに、ランクＮＧのメタルマスクシート４はトレー２３に載置された状態で段２２ｇ，２２ｈに収容される。

【0023】

ロボット２４は、メタルマスクシート４を載置し搬送するための搬送部であり、支持体２４ａ、腕部２４ｂ及びハンド２４ｃを備えている。支持体２４ａは、Ｚ方向を軸として回転可能且つ上下方向（Ｚ方向）に移動可能に構成されている。腕部２４ｂは、支持体２４ａに固定されており、伸縮可能に構成されている。また、腕部２４ｂは、支持体２４ａが回転することによりＸ方向及びＹ方向に移動し、支持体２４ａが上下移動することによりＺ方向に移動する。腕部２４ｂの先端部にはハンド２４ｃが設けられており、ハンド２４ｃはメタルマスクシート４を載置する。ロボット２４は、検査を終えたメタルマスクシート４をテーブル部５から検査後シート一時収容部２０に搬送する。また、ロボット２４は、検査後シート一時収容部２０に収容されているメタルマスクシート４を検査後シート収容部２２に搬送する。

【0024】

図５は、検査装置２のシステム構成を示すブロック図である。検査装置２は、図５に示すように、検査装置２の各部を統括的に制御する制御部２６を備えている。制御部２６には、検査部８、ロボット駆動部２８、グリッパー駆動部２９、Ｘ方向駆動部３０、Ｙ方向駆動部３２、吸着部駆動部３３、記憶部３４、及び入力部３６が接続されている。

【0025】

制御部２６は、検査部８から検査結果（寸法測定結果及び外観検査結果）を取得し、検査結果に基づいてメタルマスクシート４をランク分けする。例えば、メタルマスクシート４に形成されている領域４ａの寸法の設計値に対する差が第１所定範囲内のものをランクＡ、第１所定範囲より大きく第２所定範囲（＞第１所定範囲）内のものをランクＢ、第２所定範囲より大きく第３所定範囲（＞第２所定範囲）内のものをランクＣ、第３所定範囲より大きいもの（不良品）をランクＮＧとしたとき、制御部２６は、検査部８により測定された管理ポイント４ｂの位置に基づき算出される領域４ａの寸法に基づいて、メタルマスクシート４がランクＡ、Ｂ、ＣまたはＮＧの何れに該当するかを判定する。また、制御部２６は、検査部８による外観検査結果に基づいて、メタルマスクシート４がメタルマスクの製造に用いる部材として適切か否かを判定する。制御部２６は、メタルマスクシート４がメタルマスクの製造に用いる部材として適切でないと判定した場合には、不良品であるランクＮＧに該当すると判定する。なお、第１所定範囲、第２所定範囲及び第３所定範囲等を含むメタルマスクシート４のランクに関する情報は、予め記憶部３４に記憶されている。

【0026】

ロボット駆動部２８は、メタルマスクシート４を、テーブル部５から検査後シート一時収容部２０に移動させるとき、及び検査後シート一時収容部２０から検査後シート収容部２２に移動させるとき、ロボット２４を駆動させる。制御部２６は、ロボット駆動部２８を用いて、ランクＡに該当すると判別されたメタルマスクシート４を検査後シート収容部２２の段２２ａまたは２２ｂに搬送する。同様に、制御部２６は、ロボット駆動部２８を用いて、ランクＢに該当すると判別されたメタルマスクシート４を検査後シート収容部２２の段２２ｃまたは２２ｄに、ランクＣに該当すると判別されたメタルマスクシート４を検査後シート収容部２２の段２２ｅまたは２２ｆに、ランクＮＧに該当する（メタルマスクの製造に用いる部材として適切でない）と判別されたメタルマスクシート４を検査後シート収容部２２の段２２ｇまたは２２ｈに搬送する。

【0027】

グリッパー駆動部２９は、グリッパー１４をＹ方向に移動させる。Ｘ方向駆動部３０は、フレーム１０に支持されている検査部８をＸ方向にスライドさせる。Ｙ方向駆動部３２は、ガイドレール１２に支持されているフレーム１０（ひいてはフレーム１０に支持されている検査部８）をＹ方向にスライドさせる。吸着部駆動部３３は、吸着部１６をＹ方向に移動させる。記憶部３４は、上述したメタルマスクシート４のランクに関する情報を記憶する。また、記憶部３４は、他のメタルマスクシートのランクに関する情報も記憶する。入力部３６は、作業者により入力されるメタルマスクシートのランクに関する情報を制御部２６に対して出力する。制御部２６は、入力部３６より取得したメタルマスクシートのランクに関する情報を記憶部３４に記憶させる。

【0028】

次に、図面を参照して、この実施の形態に係る検査装置２において、メタルマスクシート４を検査する検査方法について説明する。図６は、検査装置２においてメタルマスクシート４を検査する際の処理について説明するためのフローチャートである。なお、メタルマスクシート４は、検査装置２における検査前に、他のメタルマスクシート（複数枚のメタルマスクシート）４と共にメタルマスクシートケースに収容された状態でテーブル部１５上に作業者等によりセットされる。

【0029】

まず、制御部２６は、メタルマスクシート４をテーブル部１５からガラステーブル部６へ搬送する（ステップＳ１０）。即ち、制御部２６は、吸着部駆動部３３を介して吸着部１６を移動させ、テーブル部１５に載置されている（メタルマスクシートケース内に収容されている）メタルマスクシート４の上面を吸着部１６により吸着保持させ、更に吸着部駆動部３３を介して吸着部１６を移動させることにより、メタルマスクシート４をガラステーブル部６まで移動させる。

【0030】

次に、制御部２６は、メタルマスクシート４に形成されている管理ポイント４ｂを測定する（ステップＳ１１）。具体的には、制御部２６は、Ｘ方向駆動部３０及びＹ方向駆動部３２を介して検査部８をフレーム１０及びガイドレール１２に沿って移動させることにより、検査部８を測定位置（測定する領域４ａ上）まで移動させる。そして、制御部２６は、検査部８に対して領域４ａの周囲に形成されている各管理ポイント４ｂの位置を測定するよう指示する。検査部８は、顕微鏡及びカメラを用いて各管理ポイント４ｂの位置を測定し、測定結果を制御部２６に対して出力する。制御部２６は、検査部８において測定された各管理ポイント４ｂの位置に基づいて領域４ａの寸法を算出する。制御部２６は、検査部８に他の領域４ａの周囲に形成されている管理ポイント４ｂの位置を測定させる場合には、ステップＳ１１の処理を繰り返す。なお、少なくとも１つの領域４ａの寸法が測定されていればよい。

【0031】

次に、制御部２６は、ステップＳ１１において測定された測定結果に基づいて、メタルマスクシート４をランク分けする（ステップＳ１２）。即ち、制御部２６は、検査部８において測定された管理ポイント４ｂの位置に基づき算出された領域４ａの寸法に基づいて、メタルマスクシート４がランクＡ、Ｂ、ＣまたはＮＧの何れに該当するかを判定する。領域４ａの寸法の設計値に対する差が第３所定範囲より大きいもの等、ランクＡ、ＢまたはＣの何れにも該当しない場合には、制御部２６は、メタルマスクシート４がランクＮＧ（不良品：メタルマスクの製造に用いる部材として不適切）であると判定し（ステップＳ１３：Ｙｅｓ）、ステップＳ１６の処理に進む。

【0032】

一方、メタルマスクシート４がランクＮＧでないと判定された場合には（ステップＳ１３：Ｎｏ）、制御部２６は、メタルマスクシート４の外観を検査する（ステップＳ１４）。具体的には、制御部２６は、検査部８に対してメタルマスクシート４の外観を検査するよう指示し、検査部８は、顕微鏡及びカメラを用いてメタルマスクシート４の外観、例えばメタルマスクシート４に異物が付着していないか、開口パターンに欠けがないか等を検査し、検査結果を制御部２６に対して出力する。

【0033】

次に、制御部２６は、ステップＳ１４において検査されたメタルマスクシート４の外観の検査結果に基づいて、メタルマスクシート４が不良品か否かを判定する（ステップＳ１５）。即ち、制御部２６は、メタルマスクシート４がメタルマスクの製造に用いる部材として適切か否かを判定する。例えばメタルマスクシート４に異物が付着している場合、開口パターンに欠けがある場合等においては、制御部２６は、メタルマスクシート４がメタルマスクの製造に用いる部材として適切でない（不良品である）と判定する。

【0034】

次に、制御部２６は、検査部８による検査を終えたメタルマスクシート４を、ガラステーブル部６からテーブル部５へグリッパー１４を用いて搬送した後、テーブル部５から検査後シート一時収容部２０へ搬送する（ステップＳ１６）。即ち、制御部２６は、ロボット駆動部２８を介してロボット２４の支持部２４ａを回転・移動及びロボット２４の腕部２４ｂを伸縮させることにより、テーブル部５に載置されているメタルマスクシート４をロボット２４のハンド２４ｃに載置させ、メタルマスクシート４を検査後シート一時収容部２０まで移動させる。

【0035】

次に、制御部２６は、ステップＳ１６において検査後シート一時収容部２０に収容されたメタルマスクシート４がステップＳ１２においてランクＡと判定され且つステップＳ１５において不良品でないと判定されたものである場合には（ステップＳ１７：Ｙｅｓ）、メタルマスクシート４を検査後シート一時収容部２０から検査後シート収容部２２に搬送し、検査後シート収容部２２のランクＡの段２２ａまたは段２２ｂに収容する（ステップＳ１８）。具体的には、制御部２６は、ロボット駆動部２８を介してロボット２４の腕部２４ｂを伸縮及び移動させ、検査後シート一時収容部２０に収容されているメタルマスクシート４をロボット２４のハンド２４ｃに載置させ、更にロボット２４の支持部２４ａを回転・移動及びロボット２４の腕部２４ｂを伸縮させることにより、メタルマスクシート４を検査後シート収容部２２まで移動させ、段２２ａまたは段２２ｂに収容する。

【0036】

なお、段２２ａに空きがある場合（段２２ａのトレー２３上にメタルマスクシート４を収容するスペースがある場合）には、制御部２６は、ランクＡのメタルマスクシート４を段２２ａに収容する。一方、段２２ａに空きがない場合（段２２ａのトレー２３上に他のメタルマスクシート４が収容されているためメタルマスクシート４を収容するスペースがない場合）には、制御部２６は、ランクＡのメタルマスクシート４を段２２ｂに収容する。メタルマスクシート４を空きなく収容したトレー２３は、ＭＧＶ（manual guided vehicle）等を用いて検査装置２から搬出される。

【0037】

一方、ステップＳ１６において検査後シート一時収容部２０に収容されたメタルマスクシート４がステップＳ１２においてランクＡと判定されず（ステップＳ１７：Ｎｏ）、ランクＢと判定され且つステップＳ１５において不良品でないと判定されたものである場合には（ステップＳ１９：Ｙｅｓ）、制御部２６は、メタルマスクシート４を検査後シート一時収容部２０から検査後シート収容部２２に搬送し、検査後シート収容部２２のランクＢの段２２ｃまたは段２２ｄに収容する（ステップＳ２０）。

【0038】

更に、ステップＳ１６において検査後シート一時収容部２０に収容されたメタルマスクシート４がステップＳ１２においてランクＢと判定されず（ステップＳ１９：Ｎｏ）、ランクＣと判定され且つステップＳ１５において不良品でないと判定されたものである場合には（ステップＳ２１：Ｙｅｓ）、制御部２６は、メタルマスクシート４を検査後シート一時収容部２０から検査後シート収容部２２に搬送し、検査後シート収容部２２のランクＣの段２２ｅまたは段２２ｆに収容する（ステップＳ２２）。一方、メタルマスクシート４がステップＳ１２においてランクＣと判定されず（ステップＳ２１：Ｎｏ）、ステップＳ１２またはステップＳ１５においてランクＮＧと判定されたものである場合には、制御部２６は、検査後シート一時収容部２０から検査後シート収容部２２に搬送し、検査後シート収容部２２のランクＮＧの段２２ｇまたは段２２ｈに収容する（ステップＳ２３）。

【0039】

ステップＳ２０、Ｓ２２及びＳ２３の処理においては、ステップＳ１８の処理と同様に、制御部２６は、ロボット駆動部２８を介してロボット２４の支持部２４ａを回転・移動及びロボット２４の腕部２４ｂを伸縮させることにより、検査後シート一時収容部２０に収容されているメタルマスクシート４をロボット２４のハンド２４ｃに載置させ、メタルマスクシート４を検査後シート収容部２２まで移動させる。また、段２２ｃ，２２ｅ，２２ｇに空きがある場合には、制御部２６は、メタルマスクシート４を段２２ｃ，２２ｅ，２２ｇに収容する。一方、段２２ｃ，２２ｅ，２２ｇに空きがない場合には、制御部２６は、メタルマスクシート４を段２２ｄ，２２ｆ，２２ｈに収容する。

【0040】

なお、上述の検査方法において、ステップＳ１０〜Ｓ１７の処理を所定回数繰り返した後、ステップＳ１８の処理に移行してもよい。例えば、検査を終えた複数枚のメタルマスクシート４を検査後シート一時収容部２０に一時的に収容した後（作業者の目視による点検等のため）、複数枚のメタルマスクシート４を検査後シート収容部２２に搬送し、ランク別に収容するようにしてもよい。

【0041】

この実施の形態に係る検査装置２及び該検査装置２を用いた検査方法によれば、検査結果に基づいてメタルマスクシート４のランクを判定する制御部２６と、メタルマスクシート４をランク別に収容可能な検査後シート収容部２２を備えている。したがって、メタルマスクシート４を検査部８において検査した後、メタルマスクシート４を検査後シート収容部２２にランク別に収容することができるため、メタルマスクシート４を用いてメタルマスクを製造する際に高効率で高精度なメタルマスクを製造するのに有用である。

【0042】

なお、上述の実施の形態においては、管理ポイント４ｂを測定した後、メタルマスクシート４の外観を検査しているが、メタルマスクシート４の外観を検査した後、管理ポイント４ｂを測定してもよい。

【0043】

また、上述の実施の形態においては、作業者の目視による点検等のため、検査後シート一時収容部２０を備えているが、検査後シート一時収容部２０を備えない構成にしてもよい。検査後シート一時収容部２０を備えない場合には、メタルマスクシート４は、検査を終えてグリッパー１４によりテーブル部５に載置された後、ロボット２４により検査後シート収容部２２に搬送され、ランク別に収容される。

【符号の説明】

【0044】

２…検査装置、４…メタルマスクシート、４ｂ…管理ポイント、５…テーブル部、６…ガラステーブル部、８…検査部、１０…フレーム、１２…ガイドレール、１４…グリッパー、１５…テーブル部、１６…吸着部、１７…ガイドレール、２０…検査後シート一時収容部、２２…検査後シート収容部、２４…ロボット、２４ａ…支持部、２４ｂ…腕部、２４ｃ…ハンド、２６…制御部、２８…ロボット駆動部、２９…グリッパー駆動部、３０…Ｘ方向駆動部、３２…Ｙ方向駆動部、３３…吸着部駆動部、３４…記憶部、３６…入力部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】