特許6987066光干渉性ガス不純物の量を定量化する方法

発明の名称　光干渉性ガス不純物の量を定量化する方法

出願人　インフィコン・ホールディング・アーゲー　（識別番号 520330386）

　　　　特許公開件数ランキング 14225 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12103 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6987066

公報発行日　2021年12月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6987066

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