特許6989191プラズマエッチング装置用の電極に設けられたガス導入孔の測定方法、電極の再生方法およびプラズマエッチング装置

発明の名称　プラズマエッチング装置用の電極に設けられたガス導入孔の測定方法、電極の再生方法およびプラズマエッチング装置

出願人　エーサット株式会社　（識別番号 314016328）

　　　　特許公開件数ランキング 30226 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24536 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6989191

公報発行日　2022年1月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6989191

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