特開2022-100954硬質炭素膜とその成膜方法

発明の名称　硬質炭素膜とその成膜方法

出願人　日本アイ・ティ・エフ株式会社　（識別番号 591029699）

　　　　特許公開件数ランキング 30447 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 5520 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-100954

公報発行日　2022年7月6

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-100954

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