特開 2022-101018 活性エネルギ照射装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022101018

(43)【公開日】2022-07-06

(54)【発明の名称】活性エネルギ照射装置

(51)【国際特許分類】

   B01J 19/12 20060101AFI20220629BHJP

   B41J 2/01 20060101ALI20220629BHJP

【ＦＩ】

B01J19/12 C

B41J2/01 129

【審査請求】未請求

【請求項の数】12

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020215352

(22)【出願日】2020-12-24

(71)【出願人】

【識別番号】000236436

【氏名又は名称】浜松ホトニクス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100140442

【弁理士】

【氏名又は名称】柴山 健一

(72)【発明者】

【氏名】村山 恭一

(72)【発明者】

【氏名】梅野 圭太

【テーマコード（参考）】

2C056

4G075

【Ｆターム（参考）】

2C056HA44

4G075AA23

4G075AA33

4G075BA04

4G075CA33

4G075CA39

4G075CA63

4G075DA02

4G075EB32

4G075EC06

4G075EC09

4G075FA08

4G075FB02

4G075FB12

(57)【要約】

【課題】被照射物と活性エネルギ照射部との間の領域に酸素が混入するのを抑制することが可能な活性エネルギ照射装置を提供する。
【解決手段】活性エネルギ照射装置１は、Ｘ方向及びＹ方向の両方向に拡がっている出射面３０であってＺ方向の一方側に紫外線を出射する出射面３０を有する活性エネルギ照射部３と、出射面３０に対してＹ方向の一方側に位置している噴出口８３であってＺ方向の一方側に不活性ガスを噴出する噴出口８３を有する不活性ガス供給部８と、出射面３０に対してＹ方向の他方側に位置している突出部分９０であって出射面３０に対してＺ方向の一方側に突出している突出部分９０を含む不活性ガス吸引部９と、を備える。Ｙ方向における突出部分９０の幅９０ｙは、Ｚ方向における突出部分９０の幅９０ｚよりも大きい。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１方向及び前記第１方向に垂直な第２方向の両方向に拡がっている出射面であって前記第１方向及び前記第２方向の両方向に垂直な第３方向の一方側に活性エネルギ線を出射する前記出射面を有する活性エネルギ照射部と、
前記出射面に対して前記第２方向の一方側に位置している噴出口であって前記第３方向の前記一方側に不活性ガスを噴出する前記噴出口を有する不活性ガス供給部と、
前記出射面に対して前記第２方向の他方側に位置している突出部分であって前記出射面に対して前記第３方向の前記一方側に突出している前記突出部分を含む構造体と、を備え、
前記第２方向における前記突出部分の幅は、前記第３方向における前記突出部分の幅よりも大きい、活性エネルギ照射装置。

【請求項2】

前記不活性ガス供給部は、前記噴出口が設けられた噴出部分であって前記出射面に対して前記第３方向の前記一方側に突出している前記噴出部分を含む、請求項１に記載の活性エネルギ照射装置。

【請求項3】

前記第３方向における前記噴出部分の幅は、前記第３方向における前記突出部分の幅よりも大きい、請求項２に記載の活性エネルギ照射装置。

【請求項4】

前記活性エネルギ照射部、前記不活性ガス供給部及び前記構造体を支持している支持体を更に備え、
前記第１方向における前記活性エネルギ照射部の幅、前記第１方向における前記不活性ガス供給部の幅、及び前記第１方向における前記構造体の幅のそれぞれは、前記第１方向における前記支持体の幅以下である、請求項１～３のいずれか一項に記載の活性エネルギ照射装置。

【請求項5】

前記第１方向における前記噴出口の幅、及び前記第１方向における前記突出部分の幅のそれぞれは、前記第１方向における前記出射面の幅と同等である、請求項４に記載の活性エネルギ照射装置。

【請求項6】

前記構造体は、前記支持体に着脱可能に取り付けられている、請求項４又は５に記載の活性エネルギ照射装置。

【請求項7】

少なくとも前記突出部分は、前記活性エネルギ線を吸収する表面を有する、請求項１～６のいずれか一項に記載の活性エネルギ照射装置。

【請求項8】

前記構造体は、箱体又はブロック体を含む、請求項１～７のいずれか一項に記載の活性エネルギ照射装置。

【請求項9】

前記構造体は、複数の板体を含む、請求項１～７のいずれか一項に記載の活性エネルギ照射装置。

【請求項10】

前記構造体は、前記不活性ガスを吸引する吸引口を有する、請求項１～９のいずれか一項に記載の活性エネルギ照射装置。

【請求項11】

前記出射面に対して前記第１方向の一方側及び他方側に配置された一対の遮蔽板を更に備える、請求項１～１０のいずれか一項に記載の活性エネルギ照射装置。

【請求項12】

前記活性エネルギ照射部は、前記活性エネルギ線として紫外線又は電子線を出射する、請求項１～１１のいずれか一項に記載の活性エネルギ照射装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、活性エネルギ照射装置に関する。

【背景技術】

【0002】

活性エネルギ線を被照射物に照射する活性エネルギ照射部と、被照射物と活性エネルギ照射部との間の領域に不活性ガスを供給する不活性ガス供給部と、を備える活性エネルギ照射装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。このような活性エネルギ照射装置では、活性エネルギ線の照射によって被照射物において生じる作用が空気中の酸素によって阻害されるのを抑制するために、被照射物と活性エネルギ照射部との間の領域に不活性ガスが供給される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】国際公開第２０１７／１７０９４９号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述したような活性エネルギ照射装置では、例えば、活性エネルギ照射部に対する被照射物の搬送速度が高くなると、被照射物と活性エネルギ照射部との間の領域に酸素が混入し易くなり、活性エネルギ線の照射によって被照射物において生じる作用が酸素によって阻害されるおそれがある。

【0005】

本発明は、被照射物と活性エネルギ照射部との間の領域に酸素が混入するのを抑制することが可能な活性エネルギ照射装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明に係る活性エネルギ照射装置は、第１方向及び第１方向に垂直な第２方向の両方向に拡がっている出射面であって第１方向及び第２方向の両方向に垂直な第３方向の一方側に活性エネルギ線を出射する出射面を有する活性エネルギ照射部と、出射面に対して第２方向の一方側に位置している噴出口であって第３方向の一方側に不活性ガスを噴出する噴出口を有する不活性ガス供給部と、出射面に対して第２方向の他方側に位置している突出部分であって出射面に対して第３方向の一方側に突出している突出部分を含む構造体と、を備え、第２方向における突出部分の幅は、第３方向における突出部分の幅よりも大きい。

【0007】

この活性エネルギ照射装置では、活性エネルギ照射部の出射面に対して被照射物が第２方向の一方側から第２方向の他方側に搬送されると、不活性ガス供給部の噴出口から噴出された不活性ガスが、被照射物と活性エネルギ照射部との間の領域に供給される。このとき、活性エネルギ照射部の出射面に対して第２方向の他方側に、第２方向における幅が第３方向における幅よりも大きい突出部分が位置しているため、被照射物と活性エネルギ照射部との間の領域から被照射物の搬送方向における下流側（第２方向の他方側）に不活性ガスが流出し難くなる。よって、この活性エネルギ照射装置によれば、被照射物と活性エネルギ照射部との間の領域に酸素が混入するのを抑制することが可能となる。

【0008】

本発明に係る活性エネルギ照射装置では、不活性ガス供給部は、噴出口が設けられた噴出部分であって出射面に対して第３方向の一方側に突出している噴出部分を含んでもよい。これにより、被照射物の搬送方向における上流側（第２方向の一方側）から被照射物と活性エネルギ照射部との間の領域に空気が流入し難くなる。したがって、被照射物と活性エネルギ照射部との間の領域に酸素が混入するのをより確実に抑制することが可能となる。

【0009】

本発明に係る活性エネルギ照射装置では、第３方向における噴出部分の幅は、第３方向における突出部分の幅よりも大きくてもよい。これにより、不活性ガス供給部の噴出口が被照射物に近付くため、被照射物の搬送方向における上流側から被照射物と活性エネルギ照射部との間の領域に空気が流入し難くなる。したがって、被照射物と活性エネルギ照射部との間の領域に酸素が混入するのをより確実に抑制することが可能となる。

【0010】

本発明に係る活性エネルギ照射装置は、活性エネルギ照射部、不活性ガス供給部及び構造体を支持している支持体を更に備え、第１方向における活性エネルギ照射部の幅、第１方向における不活性ガス供給部の幅、及び第１方向における構造体の幅のそれぞれは、第１方向における支持体の幅以下であってもよい。これにより、第１方向において支持体同士が接触するように複数の活性エネルギ照射装置を並べることができ、第１方向に幅が広い被照射物に対応することが可能となる。

【0011】

本発明に係る活性エネルギ照射装置では、第１方向における噴出口の幅、及び第１方向における突出部分の幅のそれぞれは、第１方向における出射面の幅と同等であってもよい。これにより、第１方向において支持体同士が接触するように並べられた複数の活性エネルギ照射装置において、被照射物と複数の活性エネルギ照射部との間の領域に酸素が混入するのを抑制しつつ、第１方向に幅が広い被照射物に活性エネルギ線を均一に照射することができる。

【0012】

本発明に係る活性エネルギ照射装置では、構造体は、支持体に着脱可能に取り付けられていてもよい。これにより、構造体の交換及びメンテナンスを容易に行うことができる。

【0013】

本発明に係る活性エネルギ照射装置では、少なくとも突出部分は、活性エネルギ線を吸収する表面を有してもよい。これにより、突出部分で活性エネルギ線が反射されて不要の箇所に活性エネルギ線が照射されるのを抑制することができる。

【0014】

本発明に係る活性エネルギ照射装置では、構造体は、箱体又はブロック体を含んでもよい。これにより、被照射物と活性エネルギ照射部との間の領域から被照射物の搬送方向における下流側に不活性ガスが流出するのを抑制することができる。

【0015】

本発明に係る活性エネルギ照射装置では、構造体は、複数の板体を含んでもよい。これにより、被照射物と活性エネルギ照射部との間の領域から被照射物の搬送方向における下流側に不活性ガスが流出するのを抑制することができる。

【0016】

本発明に係る活性エネルギ照射装置では、構造体は、不活性ガスを吸引する吸引口を有してもよい。これにより、被照射物と活性エネルギ照射部との間の領域に供給された不活性ガスを効率良く回収することができる。

【0017】

本発明に係る活性エネルギ照射装置は、出射面に対して第１方向の一方側及び他方側に配置された一対の遮蔽板を更に備えてもよい。これにより、被照射物と活性エネルギ照射部との間の領域から第１方向の一方側及び他方側に不活性ガスが流出し難くなる。したがって、被照射物と活性エネルギ照射部との間の領域に酸素が混入するのをより確実に抑制することが可能となる。

【0018】

本発明に係る活性エネルギ照射装置では、活性エネルギ照射部は、活性エネルギ線として紫外線又は電子線を出射してもよい。これにより、活性エネルギ照射装置を、被照射物に紫外線又は電子線を照射する装置として用いることができる。

【発明の効果】

【0019】

本発明によれば、被照射物と活性エネルギ照射部との間の領域に酸素が混入するのを抑制することが可能な活性エネルギ照射装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】図１は、一実施形態の活性エネルギ照射システムの斜視図である。

【図2】図２は、図１に示される活性エネルギ照射装置の斜視図である。

【図3】図３は、図２に示される活性エネルギ照射装置を下側から見た斜視図である。

【図4】図４は、図２に示される活性エネルギ照射装置の分解斜視図である。

【図5】図５は、図２に示される活性エネルギ照射装置における筐体の内部の構成を示す斜視図である。

【図6】図６は、図２に示される活性エネルギ照射装置におけるエアの流れを示す正面図である。

【図7】図７は、図６に示されるＡ－Ａ線に沿っての活性エネルギ照射装置の断面図である。

【図8】図８は、図７に示されるＢ－Ｂ線に沿っての活性エネルギ照射装置の端面図である。

【図9】図９は、図１に示される活性エネルギ照射装置の不活性ガス供給部の断面図である。

【図10】図１０は、図１に示される活性エネルギ照射装置の一部の断面図である。

【図11】図１１は、実験結果を示す図である。

【図12】図１２は、実験結果を示す図である。

【図13】図１３は、変形例の構造体の斜視図である。

【図14】図１４は、変形例の活性エネルギ照射装置を下側から見た斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

【0022】

図１に示されるように、活性エネルギ照射システム１００は、例えばＵＶ（ultraviolet）プリンタに搭載されるシステムであって、複数の活性エネルギ照射装置１を備える。活性エネルギ照射装置１は、例えば印刷用途向けの高出力の空冷ＬＥＤ光源である。活性エネルギ照射装置１は、紫外線（活性エネルギ線）を被照射物に照射し、被照射物のインク乾燥等を行う。被照射物としては、例えば光硬化型インクが付着している印刷物が挙げられる。

【0023】

活性エネルギ照射装置１は、直方体状の外形を呈する。活性エネルギ照射装置１は、所定方向において互いに当接するように並べられている。所定方向に並べられた複数の活性エネルギ照射装置１は、固定プレート１１に固定されて保持されている。図示される例では、活性エネルギ照射システム１００は、固定プレート１１に固定された複数の活性エネルギ照射装置１からなるユニットを備えている。図２、図３、図４及び図５に示されるように、活性エネルギ照射装置１は、筐体（支持体）２、活性エネルギ照射部３、ヒートシンク４、吸気部５、排気部６、ダクト７、不活性ガス供給部８及び不活性ガス吸引部（構造体）９を備えている。

【0024】

なお、説明の便宜上、複数の活性エネルギ照射装置１が並ぶ所定方向を「Ｘ方向」（第１方向）とし、活性エネルギ照射装置１による紫外線の出射方向であってＸ方向に垂直な方向を「Ｚ方向」（第１方向及び第２方向の両方向に垂直な第３方向）とし、Ｘ方向及びＺ方向に直交する方向を「Ｙ方向」（第１方向に垂直な第２方向）とする。活性エネルギ照射装置１が紫外線を出射する側を「下側」（Ｚ方向の一方側）とし、その反対側を「上側」とする。Ｙ方向の一方側を「前側」とし、Ｙ方向の他方側を「後側」とする。

【0025】

筐体２は、Ｚ方向に長尺状の矩形状を呈する。筐体２は、金属で形成されている。筐体２は、活性エネルギ照射部３、ヒートシンク４およびダクト７を収容するとともに支持する。筐体２は、前ケース２１及び後ケース２２が互いに組み付けられて構成されている。筐体２の上壁２ａには、筐体２を掴むための把持部２３が設けられている。筐体２の内部における後側には、Ｙ方向を厚さ方向とするドライバ基板１２が配置されている。ドライバ基板１２は、活性エネルギ照射装置１を駆動するための駆動用の電気回路基板である。ドライバ基板１２上には、ドライバ基板１２のトランジスタ等を冷却するドライバ基板用ヒートシンク１３が配置されている。ドライバ基板用ヒートシンク１３は、ドライバ基板１２のトランジスタ等に熱的に接続されている。

【0026】

活性エネルギ照射部３は、所定回路を構成する矩形板状の基板３１と、基板３１上においてＸ方向及びＹ方向に所定ピッチで並設された発光素子であるＬＥＤ素子３２と、を含む。ＬＥＤ素子３２は、紫外線を下方へ向けて出射する。活性エネルギ照射部３は、筐体２の内部における下端部に、基板３１の厚さ方向をＺ方向にして配置されている。複数の基板３１は、Ｘ方向に並べられている。これにより、筐体２の内部には、数個～数百個のＬＥＤ素子３２がＸ方向及びＹ方向に並べられる。活性エネルギ照射部３の各ＬＥＤ素子３２から出射された紫外線は、筐体２の下壁２ｂに設けられたガラス板からなる光照射窓２４を介して、Ｙ方向に移動する被照射物に照射される。なお、複数の基板３１は、Ｘ方向及びＹ方向に並べられていてもよい。

【0027】

ヒートシンク４は、活性エネルギ照射部３のＬＥＤ素子３２と熱的に接続された放熱部材である。ヒートシンク４は、エアとの熱交換により放熱する空冷式のヒートシンクである。エアは、ＬＥＤ素子３２の冷却用の熱媒体（冷媒）を構成する。ヒートシンク４は、ベースプレート４１、放熱フィン４２、ヒートパイプ４３及び仕切り板（仕切り部材）４４を有する。

【0028】

ベースプレート４１は、矩形板状を呈する。ベースプレート４１の下面には、活性エネルギ照射部３が設けられている。ベースプレート４１の下面は、活性エネルギ照射部３の基板３１と当接する。放熱フィン４２は、Ｙ方向を厚さ方向とする平板状を呈する。放熱フィン４２は、ベースプレート４１の上面（表面）上に立設されている。放熱フィン４２は、Ｙ方向において隙間をあけて積層するように並べられている。

【0029】

ヒートパイプ４３は、複数の放熱フィン４２に埋め込まれるように設けられている。ヒートパイプ４３は、複数の放熱フィン４２と熱的に接続されている。仕切り板４４は、複数の放熱フィン４２と交差するように設けられている。仕切り板４４は、Ｘ方向を厚さ方向とする平板状を呈する。仕切り板４４は、Ｘ方向において複数の放熱フィン４２を仕切る。仕切り板４４は、複数の放熱フィン４２にＸ方向に互いに離れて一対設けられている。一対の仕切り板４４は、複数の放熱フィン４２を、Ｘ方向における外側に位置する一対の外側部分４２ｘと、一対の外側部分の間に位置する内側部分４２ｙと、に仕切る。

【0030】

仕切り板４４におけるベースプレート４１側の端は、ベースプレート４１から離れている。つまり、仕切り板４４は、複数の放熱フィン４２の間において下側（ベースプレート４１側）が上側（ベースプレート４１側とは反対側）よりもエアがＸ方向に通過するように、複数の放熱フィン４２を仕切る。仕切り板４４は、複数の放熱フィン４２にロウ付けされて固定されている。ヒートシンク４は、ブラケット２５及び支持フレーム２６（図７参照）を介して筐体２に取り付けられている。

【0031】

吸気部５は、筐体２の外部から筐体２の内部へエアを導入する。吸気部５は、筐体２の内部の後述するバッファ空間ＢＦにエアを導入する。吸気部５は、筐体２における前側の壁部２ｃの中央上方寄りの部分に設けられている。吸気部５は、吸気フィルタ（フィルタ部）５１、フィルタ保持部５２及び吸気口５３を有する。

【0032】

図４、図５、図６及び図７に示されるように、吸気フィルタ５１は、筐体２の内部へ導入されるエアに含まれる異物（塵等）を捕集する。吸気フィルタ５１は、例えばウレタン等で形成されている。吸気フィルタ５１は、矩形板状の外形を呈する。吸気フィルタ５１は、前側から見て、壁部２ｃの中央上方寄りの部分に拡がっている。フィルタ保持部５２は、吸気フィルタ５１を収容して保持する。フィルタ保持部５２は、Ｙ方向を厚さ方向とする矩形板状の外板５２ｘを有する。外板５２ｘの前面は、筐体２の壁部２ｃの前面と同一平面上に位置する。フィルタ保持部５２は、ダクト７及びダクト７に設けられた支持フレーム２７に着脱可能に取り付けられている。

【0033】

吸気口５３は、Ｙ方向（ヒートシンク４から排気部６に向かう方向と交差する方向）に沿って開口し且つ筐体２の内部に通じる貫通孔である。吸気口５３は、外板５２ｘにおけるＸ方向の両端部の領域に、互いに近接して並設されている。吸気口５３は、Ｚ方向を長手方向とする長孔形状の貫通孔である。吸気口５３から吸い込まれたエアは、吸気フィルタ５１を介して、筐体２の内部のバッファ空間ＢＦへ導入される（図８参照）。

【0034】

排気部６は、筐体２の内部から筐体２の外部へエアを排出する。排気部６は、筐体２の上端部に設けられている。排気部６は、ファン６１を有する。ファン６１としては、例えば軸流ファンが用いられている。ファン６１は、下側からＺ方向に沿って吸い込んだエアを、上側へＺ方向に沿って圧送する。ファン６１は、筐体２の内部における上端部に固定されている。ファン６１の吐出側であって筐体２の上壁２ａには、例えばウレタン等で形成された排気フィルタ６２が取り付けられている。なお、排気フィルタ６２については、便宜上、図２のみにおいて示し、他の図での表示を省略する。排気部６におけるファン６１の吐出側には、例えば室外への排気用の外部配管（不図示）が接続される。

【0035】

ダクト７は、筐体２の内部におけるヒートシンク４と排気部６との間に設けられている。ダクト７は、ヒートシンク４を通過したエアを排気部６へ流通させる。ダクト７は、ヒートシンク４を通過した不活性ガスを排気部６へ流通させる。ダクト７は、矩形管形状を呈する。ダクト７は、断面積一定でＺ方向に延びる直線部７１と、直線部７１の下流側に設けられ断面積が下流に行くに従って大きくなるようにＺ方向に延びる拡大部７２と、を有する。

【0036】

筐体２の内部におけるダクト７のＸ方向の一方側及び他方側には、吸気部５により外部からエアが導入される空間であるバッファ空間ＢＦ（図８参照）が設けられている。バッファ空間ＢＦは、筐体２の内面とダクト７の直線部７１及び拡大部７２の外面とにより画成された空間である。ダクト７の下端部は、ヒートシンク４の放熱フィン４２に形成された溝４７に差し込まれて固定されている。ダクト７の上端部は、ファン６１の吸込側に固定されている。ダクト７は、支持フレーム２７を介して筐体２に取り付けられている。

【0037】

図２、図３、図４及び図５に示されるように、不活性ガス供給部８は、筐体２の外部に不活性ガスを供給する。不活性ガスとしては、例えば窒素が挙げられる。不活性ガス供給部８は、不活性ガスを供給することにより、複数のＬＥＤ素子３２からの紫外線の照射領域を含む領域に、不活性ガスが支配的な領域（酸素濃度が低い領域）を形成する。不活性ガス供給部８は、筐体２の前側の壁部２ｃにおける下端部に取り付けられている。不活性ガス供給部８は、矩形箱状のパージ筐体８１と、パージ筐体８１の上端面に設けられたソケット８２と、パージ筐体８１の下端部に設けられた噴出口８３と、を有する。不活性ガス供給部８では、ソケット８２から不活性ガスがパージ筐体８１に導入され、当該不活性ガスが噴出口８３から噴出される。

【0038】

不活性ガス吸引部９は、筐体２の外部の不活性ガスを吸引して筐体２の内部に流入させる。不活性ガス吸引部９は、筐体２に取り付けられた構造体である。不活性ガス吸引部９は、筐体２の下壁２ｂにおける後側に、ネジ等の締結具により着脱可能に取り付けられている。不活性ガス吸引部９は、矩形箱状の吸引部筐体９１と、吸引部筐体９１の下面に設けられた吸引口９２と、吸引部筐体９１の内部に設けられた回収流路９３と、を有する（図７参照）。不活性ガス吸引部９では、吸引口９２を介して吸引部筐体９１の内部に不活性ガスが吸引され、当該不活性ガスが回収流路９３により筐体２の内部へ流通される。

【0039】

図６、図７及び図８に示されるように、活性エネルギ照射装置１では、外部のエアが吸気部５により筐体２の内部のバッファ空間ＢＦに導入される。バッファ空間ＢＦに導入されたエアは、Ｚ方向に沿って下方へ流れた後、ヒートシンク４を通過してダクト７内に流入する。このとき、ヒートシンク４では、エアは、一対の外側部分４２ｘそれぞれの複数の放熱フィン４２の間をＺ方向に沿って下方へ流れた後、仕切り板４４とベースプレート４１との間を通って上方に折り返すように流れ、内側部分４２ｙにて合流する。そして、エアは、内側部分４２ｙの複数の放熱フィン４２の間をＺ方向に沿って上方に流れ、ダクト７内へ流入する。

【0040】

また、バッファ空間ＢＦに導入されたエアは、Ｚ方向に沿って下方へ流れた後、ドライバ基板用ヒートシンク１３を通過する。ドライバ基板用ヒートシンク１３を通過したエアは、筐体２の内部における下方後側の空間を介して、ヒートシンク４の内側部分４２ｙの流れに合流し、内側部分４２ｙの複数の放熱フィン４２の間をＺ方向に沿って上方に流れ、ダクト７内へ流入する。ダクト７の内部に流入したエアは、Ｚ方向に沿って上方へ流れ、ファン６１を介して筐体２の外部へ排出される。

【0041】

図７に示されるように、活性エネルギ照射装置１では、不活性ガス供給部８から噴出された不活性ガスは、不活性ガス吸引部９により吸引されて筐体２の内部に流入する。筐体２の内部に流入した不活性ガスは、筐体２の内部における下方後側の空間を介して、ヒートシンク４の内側部分４２ｙの流れに合流し、内側部分４２ｙの複数の放熱フィン４２の間をＺ方向に沿ってエアとともに上方に流れ、ダクト７内へ流入する。ダクト７の内部に流入した不活性ガスは、Ｚ方向に沿ってエアとともに上方に流れ、ファン６１を介してエアとともに筐体２の外部へ排出される。

【0042】

不活性ガス供給部８の構成について、図９及び図１０を参照して、より詳細に説明する。

【0043】

図９及び図１０に示されるように、不活性ガス供給部８は、コンベア（不図示）によって前側から後側に搬送されている被照射物Ｓ上に不活性ガス（図９及び図１０に示される一点鎖線）を噴出することで、被照射物Ｓと活性エネルギ照射部３との間の領域Ｒに不活性ガスを供給する。領域Ｒに不活性ガスを供給するのは、活性エネルギ照射部３から出射された紫外線の照射によって被照射物Ｓにおいて生じる作用が空気中の酸素によって阻害されるのを抑制するためである。

【0044】

一例として、被照射物Ｓは、光硬化型インクが付着している印刷物である。当該インクは、活性エネルギ照射装置１の上流側（前側）においてインクヘッド（不図示）から被照射物Ｓ上に噴射されたものであり、活性エネルギ照射部３から出射された紫外線の照射によって硬化させられる。このとき、当該インクの硬化が空気中の酸素によって阻害されるのを抑制するために、不活性ガス供給部８は、被照射物Ｓと活性エネルギ照射部３との間の領域Ｒに不活性ガスを供給する。

【0045】

図９に示されるように、不活性ガス供給部８は、パージ筐体８１内に整流板８４を有している。パージ筐体８１のパージ上面８１ａには、ソケット８２が設けられている。パージ筐体８１のパージ前面８１ｂには、整流板８４が固定されている。整流板８４は、第１垂直面８５、斜面８６及び第２垂直面８７を含んでいる。パージ筐体８１のパージ底面８１ｃは、噴出口８３の一部を形成している。パージ筐体８１のパージ背面８１ｄは、筐体２の壁部２ｃの前面に接触している。整流板８４は、パージ筐体８１と協働して、不活性ガスが通る流路を形成している。

【0046】

不活性ガス供給部８は、第１流路部８ａ及び第２流路部８ｂを含んでいる。ソケット８２から受け入れられた不活性ガスは、第１流路部８ａを通過した後に、第２流路部８ｂを通過し、最終的に噴出口８３から噴出される。

【0047】

第１流路部８ａは、ソケット８２から不活性ガスを受け入れて第２流路部８ｂに不活性ガスを提供する。第１流路部８ａは、パージ上面８１ａ、第１垂直面８５、斜面８６及びパージ背面８１ｄに囲まれた領域である。第１流路部８ａは、不活性ガスが流れる方向に沿って流路面積が減少する部分を含んでいる。具体的には、第１流路部８ａは、第１垂直面８５とパージ背面８１ｄとの間の部分、及び斜面８６とパージ背面８１ｄとの間の部分を含んでいる。第１垂直面８５とパージ背面８１ｄとの間隔は一定である。したがって、流路面積は一定である。一方、斜面８６は、Ｚ方向に対して傾いている。換言すると、斜面８６の下辺８６ａは、斜面８６の上辺８６ｂよりもＹ方向における後側に位置している。これにより、流路面積は、第２流路部８ｂに近付くに従って次第に減少する。

【0048】

ソケット８２は、ソケット８２の軸線Ｌがパージ前面８１ｂとパージ背面８１ｄとの間の略中央に位置するように、パージ上面８１ａに設けられている。つまり、ソケット８２の軸線Ｌは、斜面８６と交差している。換言すると、ソケット８２の軸線Ｌは、Ｙ方向において斜面８６の下辺８６ａと上辺８６ｂとの間に位置している。これにより、ソケット８２から受け入れられた不活性ガスの流れは、斜面８６に衝突する。そして、不活性ガスは、斜面８６に沿ってＹ方向における後側に向かって流れ、第２流路部８ｂに至る。

【0049】

第２流路部８ｂは、第１流路部８ａから不活性ガスを受け入れて、噴出口８３に不活性ガスを提供する。換言すると、第２流路部８ｂは、Ｚ方向に沿って不活性ガスを被照射物Ｓ側に導く。第２流路部８ｂは、第２垂直面８７及びパージ背面８１ｄに囲まれた領域である。第２垂直面８７の上辺（つまり、斜面８６の下辺８６ａ）とパージ背面８１ｄとの間の領域は、圧縮された不活性ガスを受け入れる。第２垂直面８７とパージ背面８１ｄとの間隔は一定である。つまり、第２流路部８ｂの流路面積は一定である。第２流路部８ｂの流路面積は、第１流路部８ａのうちの第１垂直面８５とパージ背面８１ｄとの間の部分の流路面積よりも小さい。第２流路部８ｂの流路面積は、第１流路部８ａのうちの斜面８６の下辺８６ａとパージ背面８１ｄとの間の部分の流路面積と同じである。

【0050】

第２流路部８ｂの末端は、噴出口８３に相当する。噴出口８３は、第２垂直面８７の下端８７ａとパージ背面８１ｄの下端８１ｅとの間に形成されている。パージ底面８１ｃの後端８１ｆが、噴出口８３を構成するものの一部であってもよい。噴出口８３から被照射物Ｓ上に噴出された不活性ガスは、被照射物Ｓに衝突した後に、流れ方向を変える。一部の不活性ガスは、後側に向かって流れ、被照射物Ｓと活性エネルギ照射部３との間の領域Ｒ（図１０参照）に供給される。別の一部の不活性ガスは、前側に向かって流れ、被照射物Ｓと活性エネルギ照射部３との間の領域Ｒ（図１０参照）に空気が流入するのを抑制する。

【0051】

以上のように構成された不活性ガス供給部８では、第１流路部８ａの流路面積が、ソケット８２及び第２流路部８ｂのそれぞれの流路面積よりも大きくなっており、第１流路部８ａにおいてソケット８２の軸線Ｌと交差するように配置された整流板８４が、ソケット８２から受け入れた不活性ガスの流れを妨げる。これにより、ソケット８２から受け入れられた不活性ガスの流れがＸ方向に広がり、その結果、噴出口８３から噴出される不活性ガスの流量の分布がＸ方向において均一化される。したがって、被照射物Ｓと活性エネルギ照射部３との間の領域Ｒ（図１０参照）に不活性ガスを効率良く供給することができる。更に、整流板８４が、不活性ガスの流れを妨げる面として斜面８６を有している。つまり、整流板８４が、流路面積が徐々に減少する流路構成を実現している。これにより、不活性ガス供給部８の動作音を小さくすることができる。

【0052】

筐体２、活性エネルギ照射部３、不活性ガス供給部８及び不活性ガス吸引部９について、図３及び図１０を参照して、より詳細に説明する。

【0053】

図３及び図１０に示されるように、活性エネルギ照射部３は、下側に紫外線を出射する出射面３０を有している。活性エネルギ照射装置１では、出射面３０は、光照射窓２４における下側の表面（外側の表面）である。出射面３０は、Ｘ方向及びＹ方向の両方向に拡がっている。活性エネルギ照射装置１では、出射面３０は、Ｚ方向に垂直な面であり、Ｘ方向を長手方向とする長方形状を呈している。一例として、Ｘ方向における出射面３０の幅３０ｘは１００ｍｍ程度であり、Ｙ方向における出射面３０の幅３０ｙは２５ｍｍ程度である。

【0054】

不活性ガス供給部８は、下側に不活性ガスを噴出する噴出口８３を有している。活性エネルギ照射装置１では、噴出口８３は、Ｘ方向に延在するスリット状を呈している。噴出口８３は、出射面３０に対して前側に位置している。不活性ガス供給部８は、噴出口８３が設けられた噴出部分８０を含んでいる。噴出部分８０は、不活性ガス供給部８のうち、出射面３０に対して下側に突出している部分（図３及び図１０に示される二点鎖線よりも下側の部分）である。活性エネルギ照射装置１では、噴出部分８０の外形は、Ｘ方向を長手方向とし且つＺ方向を厚さ方向とする長方形板状を呈している。不活性ガス供給部８は、Ｚ方向において噴出部分８０が出射面３０よりも下側に位置するように、筐体２（具体的には、前側の壁部２ｃ）に取り付けられている。

【0055】

なお、「噴出口８３が下側に不活性ガスを噴出する」とは、噴出口８３から噴出される不活性ガスの噴出の向きが下向きの成分を有していることを意味する。つまり、噴出口８３は、真下に不活性ガスを噴出するものは勿論、例えば、真下から後側に傾斜した向きに不活性ガスを噴出するものであってもよい。

【0056】

不活性ガス吸引部９は、出射面３０に対して下側に突出している突出部分９０を含んでいる。突出部分９０は、出射面３０に対して後側に位置している。活性エネルギ照射装置１では、不活性ガス吸引部９の全体が突出部分９０である。不活性ガス吸引部９は、Ｚ方向において突出部分９０（すなわち、不活性ガス吸引部９の全体）が出射面３０よりも下側に位置するように、筐体２（具体的には、下壁２ｂ）に取り付けられている。不活性ガス吸引部９は、複数の吸引口９２が設けられた吸引部筐体（箱体）９１を含んでいる。活性エネルギ照射装置１では、吸引部筐体９１の外形は、Ｘ方向を長手方向とし且つＺ方向を厚さ方向とする長方形板状を呈している。

【0057】

活性エネルギ照射装置１では、下壁２ｂの下側の表面（外側の表面）が、出射面３０と噴出部分８０との間、及び、出射面３０と突出部分９０との間において露出している。Ｙ方向における出射面３０と突出部分９０との間隔は、Ｙ方向における出射面３０と噴出部分８０との間隔よりも小さい。一例として、Ｙ方向における出射面３０と噴出部分８０との間隔は４０ｍｍ程度であり、Ｙ方向における出射面３０と突出部分９０との間隔は２０ｍｍ程度である。下壁２ｂの下側の表面及び突出部分９０の表面は、紫外線を吸収する表面となっている。一例として、下壁２ｂの下側の表面及び突出部分９０の表面は、黒色の塗装面であってもよいし、黒色の処理面であってもよいし、或いは、黒色の材料の表面であってもよい。

【0058】

Ｙ方向における突出部分９０の幅９０ｙは、Ｚ方向における突出部分９０の幅９０ｚよりも大きい。Ｙ方向における突出部分９０の幅９０ｙは、Ｚ方向における突出部分９０の幅９０ｚの９倍以上である。幅９０ｙは、幅９０ｚの８倍以上であることが好ましく、１０倍以上であることがより好ましい。Ｚ方向における噴出部分８０の幅８０ｚは、Ｚ方向における突出部分９０の幅９０ｚよりも大きい。一例として、Ｘ方向における突出部分９０の幅９０ｘは１００ｍｍ程度であり、Ｙ方向における突出部分９０の幅９０ｙは４５ｍｍ程度であり、Ｚ方向における突出部分９０の幅９０ｚは５ｍｍ程度である。一例として、Ｘ方向における噴出部分８０の幅８０ｘは１００ｍｍ程度であり、Ｙ方向における噴出部分８０の幅８０ｙは２５ｍｍ程度であり、Ｚ方向における噴出部分８０の幅８０ｚは５ｍｍ程度である。

【0059】

Ｘ方向における活性エネルギ照射部３の幅、Ｘ方向における不活性ガス供給部８の幅、及びＸ方向における不活性ガス吸引部９の幅のそれぞれは、Ｘ方向における筐体２の幅以下である。Ｘ方向における噴出口８３の幅８３ｘ、及びＸ方向における突出部分９０の幅９０ｘのそれぞれは、Ｘ方向における出射面３０の幅３０ｘと同等である。ここで、同等とは、実質的に等しいことを意味し、例えば、幅８３ｘ及び幅９０ｘのそれぞれが、幅３０ｘの９５％以上、幅３０ｘの１０５％以下であることを意味する。なお、Ｘ方向における噴出口８３の幅８３ｘ、及びＸ方向における突出部分９０の幅９０ｘのそれぞれは、Ｘ方向における出射面３０の幅３０ｘよりも小さくてもよい。幅８３ｘ及び幅９０ｘのそれぞれは、幅３０ｘの９０％以上であることが好ましく、１００％以上であることがより好ましく、１１０％以上であることが更により好ましい。

【0060】

以上説明したように、活性エネルギ照射装置１では、活性エネルギ照射部３の出射面３０に対して被照射物Ｓが前側から後側に搬送されると、不活性ガス供給部８の噴出口８３から噴出された不活性ガスが、被照射物Ｓと活性エネルギ照射部３との間の領域Ｒに供給される。このとき、活性エネルギ照射部３の出射面３０に対して後側に、Ｙ方向における幅９０ｙがＺ方向における幅９０ｚよりも大きい突出部分９０が位置しているため、被照射物Ｓと活性エネルギ照射部３との間の領域Ｒから被照射物Ｓの搬送方向における下流側（後側）に不活性ガスが流出し難くなる。よって、活性エネルギ照射装置１によれば、被照射物Ｓと活性エネルギ照射部３との間の領域Ｒに酸素が混入するのを抑制することが可能となる。活性エネルギ照射装置１によれば、被照射物Ｓの搬送速度が高くなっても、不活性ガス供給部８に対する不活性ガスの供給量を大幅に増やすことなく、被照射物Ｓと活性エネルギ照射部３との間の領域Ｒを高濃度で且つ均一な窒素ガス雰囲気とすることが可能となる。

【0061】

活性エネルギ照射装置１では、不活性ガス供給部８が、噴出口８３が設けられた噴出部分８０であって出射面３０に対して下側に突出している噴出部分８０を含んでいる。これにより、被照射物Ｓの搬送方向における上流側（前側）から被照射物Ｓと活性エネルギ照射部３との間の領域Ｒに空気が流入し難くなる。したがって、被照射物Ｓと活性エネルギ照射部３との間の領域Ｒに酸素が混入するのをより確実に抑制することが可能となる。

【0062】

活性エネルギ照射装置１では、Ｚ方向における噴出部分８０の幅８０ｚが、Ｚ方向における突出部分９０の幅９０ｚよりも大きい。これにより、不活性ガス供給部８の噴出口８３が被照射物Ｓに近付くため、被照射物Ｓの搬送方向における上流側から被照射物Ｓと活性エネルギ照射部３との間の領域Ｒに空気が流入し難くなる。したがって、被照射物Ｓと活性エネルギ照射部３との間の領域Ｒに酸素が混入するのをより確実に抑制することが可能となる。

【0063】

活性エネルギ照射装置１では、Ｘ方向における活性エネルギ照射部３の幅、Ｘ方向における不活性ガス供給部８の幅、及びＸ方向における不活性ガス吸引部９の幅のそれぞれが、Ｘ方向における筐体２の幅以下である。これにより、Ｘ方向において筐体２同士が接触するように複数の活性エネルギ照射装置１を並べることができ、Ｘ方向に幅が広い被照射物Ｓに対応することが可能となる。

【0064】

活性エネルギ照射装置１では、Ｘ方向における噴出口８３の幅８３ｘ、及びＸ方向における突出部分９０の幅９０ｘのそれぞれが、Ｘ方向における出射面３０の幅と同等である。これにより、Ｘ方向において筐体２同士が接触するように並べられた複数の活性エネルギ照射装置１において、被照射物Ｓと複数の活性エネルギ照射部３との間の領域Ｒに酸素が混入するのを抑制しつつ、Ｘ方向に幅が広い被照射物Ｓに紫外線を均一に照射することができる。

【0065】

活性エネルギ照射装置１では、不活性ガス吸引部９が、筐体２に着脱可能に取り付けられている。これにより、不活性ガス吸引部９の交換及びメンテナンスを容易に行うことができる。

【0066】

活性エネルギ照射装置１では、突出部分９０が、紫外線を吸収する表面を有している。これにより、突出部分９０で紫外線が反射されて不要の箇所に紫外線が照射されるのを抑制することができる。例えば、突出部分９０で反射された紫外線が、活性エネルギ照射装置１の上流側に配置されたインクヘッド（不図示）に照射されるのを防止することができ、当該インクヘッドにおいて光硬化型インクが硬化するのを防止することが可能となる。

【0067】

活性エネルギ照射装置１では、不活性ガス吸引部９が、箱体である吸引部筐体９１を含んでいる。これにより、被照射物Ｓと活性エネルギ照射部３との間の領域Ｒから被照射物Ｓの搬送方向における下流側に不活性ガスが流出するのを抑制することができる。

【0068】

活性エネルギ照射装置１では、不活性ガス吸引部９が、不活性ガスを吸引する吸引口９２を有している。これにより、被照射物Ｓと活性エネルギ照射部３との間の領域Ｒに供給された不活性ガスを効率良く回収することができる。

【0069】

活性エネルギ照射装置１では、活性エネルギ照射部３が、活性エネルギ線として紫外線を出射する。これにより、活性エネルギ照射装置１を、被照射物Ｓに紫外線を照射する装置として用いることができる。

【0070】

活性エネルギ照射装置１では、Ｙ方向における出射面３０と突出部分９０との間隔が、Ｙ方向における出射面３０と噴出部分８０との間隔よりも小さい。これにより、被照射物Ｓと活性エネルギ照射部３との間の領域Ｒにおいて不活性ガスの濃度が低くなるのを抑制することができる。

【0071】

作用及び効果を確認するための実験結果について、図１１及び図１２を参照して説明する。

【0072】

実施例の活性エネルギ照射装置１として、図１１の（ａ）に示されるように、Ｙ方向（図における水平方向）における幅が４５ｍｍであり且つＺ方向（図における鉛直方向）における幅が５ｍｍである突出部分９０を有する活性エネルギ照射装置１を用意した。実施例の活性エネルギ照射装置１では、噴出口８３と突出部分９０との間隔を８５ｍｍとした。実施例の活性エネルギ照射装置１において、不活性ガス供給部８に２７Ｌ／minで窒素ガスを供給しつつ、被照射物Ｓを図における左から右に１５０ｍ／minで搬送した。その結果、被照射物Ｓと活性エネルギ照射部３との間の領域Ｒは、図１１の（ａ）に示されるように、高濃度で且つ均一な窒素ガス雰囲気となった。

【0073】

比較例１の活性エネルギ照射装置１として、図１１の（ｂ）に示されるように、突出部分９０に対応する構成を有しない活性エネルギ照射装置１を用意した。その他の構成は、実施例の活性エネルギ照射装置１と同様である。比較例１の活性エネルギ照射装置１において、不活性ガス供給部８に２７Ｌ／minで窒素ガスを供給しつつ、被照射物Ｓを図における左から右に１５０ｍ／minで搬送した。その結果、被照射物Ｓと活性エネルギ照射部３との間の領域Ｒは、図１１の（ｂ）に示されるように、十分な窒素ガス雰囲気とはならなかった。

【0074】

比較例２の活性エネルギ照射装置１として、図１２の（ａ）に示されるように、Ｙ方向における幅が１ｍｍであり且つＺ方向における幅が５ｍｍである突出部分９０に対応する構成を有する活性エネルギ照射装置１を用意した。比較例２の活性エネルギ照射装置１では、噴出口８３と突出部分９０に対応する構成との間隔を８５ｍｍとした。その他の構成は、実施例の活性エネルギ照射装置１と同様である。比較例２の活性エネルギ照射装置１において、不活性ガス供給部８に２７Ｌ／minで窒素ガスを供給しつつ、被照射物Ｓを図における左から右に１５０ｍ／minで搬送した。その結果、被照射物Ｓと活性エネルギ照射部３との間の領域Ｒは、図１２の（ａ）に示されるように、十分な窒素ガス雰囲気とはならなかった。

【0075】

比較例３の活性エネルギ照射装置１として、図１２の（ｂ）に示されるように、Ｙ方向における幅が１ｍｍであり且つＺ方向における幅が５ｍｍである突出部分９０に対応する構成を有する活性エネルギ照射装置１を用意した。比較例３の活性エネルギ照射装置１では、噴出口８３と突出部分９０に対応する構成との間隔を１３９ｍｍとした。その他の構成は、実施例の活性エネルギ照射装置１と同様である。比較例３の活性エネルギ照射装置１において、不活性ガス供給部８に２７Ｌ／minで窒素ガスを供給しつつ、被照射物Ｓを図における左から右に１５０ｍ／minで搬送した。その結果、被照射物Ｓと活性エネルギ照射部３との間の領域Ｒは、図１２の（３）に示されるように、十分な窒素ガス雰囲気とはならなかった。

【0076】

以上の実験結果から、活性エネルギ照射部３の出射面３０に対して後側（図における右側）に、Ｙ方向における幅がＺ方向における幅よりも大きい突出部分９０が位置していると（実施例の活性エネルギ照射装置１）、被照射物Ｓと活性エネルギ照射部３との間の領域Ｒから被照射物Ｓの搬送方向における下流側（図における右側）に窒素ガスが流出し難くなることが分かった。活性エネルギ照射部３の出射面３０に対して後側に、Ｙ方向における幅がＺ方向における幅よりも小さい突出部分９０に対応する構成が位置していても（比較例２の活性エネルギ照射装置１及び比較例３の活性エネルギ照射装置１）、突出部分９０に対応する構成が位置していないもの（比較例１の活性エネルギ照射装置１）と同程度の効果しか得られないことが分かった。

【0077】

本発明は、上述した実施形態に限定されない。例えば、突出部分９０を含む構造体は、不活性ガス吸引部９に限定されない。一例として、図１３の（ａ）に示される構造体９Ａ、図１３の（ｂ）に示される構造体９Ｂ、又は図１３の（ｃ）に示される構造体９Ｃが、不活性ガス吸引部９に代えて活性エネルギ照射装置１に適用されてもよい。構造体９Ａは、図１３の（ａ）に示されるように、箱体９４又はブロック体９５を含んでいる。箱体９４又はブロック体９５の外形は、Ｘ方向を長手方向とし且つＺ方向を厚さ方向とする長方形板状を呈している。構造体９Ｂは、図１３の（ｂ）に示されるように、Ｙ方向に並んだ複数の板体９６を含んでいる。各板体９６は、例えば、Ｘ方向を長手方向とし且つＹ方向を厚さ方向とする長方形板状を呈している。構造体９Ｃは、図１３の（ｃ）に示されるように、Ｘ方向に並んだ複数の板体９７を含んでいる。各板体９７は、例えば、Ｙ方向を長手方向とし且つＸ方向を厚さ方向とする長方形板状を呈している。

【0078】

突出部分９０を含む構造体（例えば、不活性ガス吸引部９、構造体９Ａ，９Ｂ，９Ｃ）において、出射面３０に対して下側に突出している突出部分９０は、当該構造体の一部分であってもよい。その場合、少なくとも突出部分９０が紫外線を吸収する表面を有していればよい。

【0079】

突出部分９０を含む構造体（例えば、不活性ガス吸引部９、構造体９Ａ，９Ｂ，９Ｃ）は、筐体２にネジ等の締結具により着脱可能に取り付けられたものに限定されず、着脱可能な取付構造は、その他の公知の取付構造であってもよい。例えば、当該構造体が、筐体２の案内部に対してスライド可能な被案内部を有しており、それにより、当該構造体が、筐体２に着脱可能に取り付けられていてもよい。

【0080】

不活性ガス供給部８は、出射面３０に対して下側に突出している部分を含んでいなくてもよい。噴出口８３は、不活性ガス供給部８のうち、出射面３０に対して上側に位置している部分に設けられていてもよい。

【0081】

活性エネルギ照射部３、不活性ガス供給部８、及び構造体（例えば、不活性ガス吸引部９、構造体９Ａ，９Ｂ，９Ｃ）を支持している支持体は、筐体２に限定されず、フレーム等の他の支持構造を有するものであってもよい。

【0082】

活性エネルギ照射装置１は、図１４に示されるように、活性エネルギ照射部３の出射面３０に対してＸ方向の一方側及び他方側に配置された一対の遮蔽板１０を備えていてもよい。これにより、例えば、活性エネルギ照射装置１が単独で使用された場合であっても、被照射物Ｓと活性エネルギ照射部３との間の領域ＲからＸ方向の一方側及び他方側に不活性ガスが流出し難くなる。したがって、被照射物Ｓと活性エネルギ照射部３との間の領域Ｒに酸素が混入するのをより確実に抑制することが可能となる。

【0083】

活性エネルギ照射部３は、紫外線に限定されず、電子線等の他の活性エネルギ線を出射するものであってもよい。つまり、以上の記載において、「紫外線」を「電子線」又は「活性エネルギ線」と読み替えることができる。

【0084】

上述した実施形態及び変形例における各構成には、上述した材料及び形状に限定されず、様々な材料及び形状を適用することができる。上述した実施形態又は変形例における各構成は、他の実施形態又は変形例における各構成に任意に適用することができる。

【符号の説明】

【0085】

１…活性エネルギ照射装置、２…筐体（支持体）、３…活性エネルギ照射部、３０…出射面、８…不活性ガス供給部、１０…遮蔽板、８０…噴出部分、８３…噴出口、９…不活性ガス吸引部（構造体）、９Ａ，９Ｂ，９Ｃ…構造体、９０…突出部分、９１…吸引部筐体（箱体）、９２…吸引口。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】