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特開2022-105993レーザ結晶化装置

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022105993

(43)【公開日】2022-07-15

(54)【発明の名称】レーザ結晶化装置

(51)【国際特許分類】

H01L 21/268 20060101AFI20220708BHJP

H01L 21/20 20060101ALI20220708BHJP

B23K 26/04 20140101ALI20220708BHJP

【ＦＩ】

H01L21/268 J

H01L21/20

B23K26/04

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021214695

(22)【出願日】2021-12-28

(31)【優先権主張番号】10-2021-0000899

(32)【優先日】2021-01-05

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(71)【出願人】

【識別番号】512187343

【氏名又は名称】三星ディスプレイ株式會社

【氏名又は名称原語表記】ＳａｍｓｕｎｇＤｉｓｐｌａｙＣｏ．，Ｌｔｄ．

【住所又は居所原語表記】１，Ｓａｍｓｕｎｇ－ｒｏ，Ｇｉｈｅｕｎｇ－ｇｕ，Ｙｏｎｇｉｎ－ｓｉ，Ｇｙｅｏｎｇｇｉ－ｄｏ，ＲｅｐｕｂｌｉｃｏｆＫｏｒｅａ

(74)【代理人】

【識別番号】110002619

【氏名又は名称】特許業務法人ＰＯＲＴ

(72)【発明者】

【氏名】三宮暁史

(72)【発明者】

【氏名】リュウ，ジェキル

(72)【発明者】

【氏名】パク，チョルホ

(72)【発明者】

【氏名】イ，ヘスク

(72)【発明者】

【氏名】ジョン，ジンホン

(72)【発明者】

【氏名】チェ，ヨンス

(72)【発明者】

【氏名】ハン，ギュワン

【テーマコード（参考）】

4E168

5F152

【Ｆターム（参考）】

4E168CB07

4E168CB18

4E168DA33

4E168JA12

4E168JA14

5F152AA20

5F152BB02

5F152CC02

5F152CE05

5F152EE02

5F152FF01

5F152FF28

5F152FG23

5F152FH03

(57)【要約】（修正有）

【課題】製造費用を増加させずに大面積にレーザビームを照射することができるレーザ結晶化装置を提供する。
【解決手段】レーザ結晶化装置は、光源部ＬＳ及び光源部から照射されたレーザビームＢが入射されるミラーＭを含む。ミラーは、接合面で互いに接合された第１部分Ｍａと第２部分Ｍｂを含み、レーザビームの入射される方向と平行な方向を基準として、接合面で第１部分の第１幅と第２部分の第２幅は互いに同一であってもよい。レーザビームの入射される方向と垂直な方向を基準として、第１部分の第１長さＬａと第２部分の第２長さＬｂは互いに異なっていてもよい。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

光源部、および
前記光源部から照射されたレーザビームが入射される光学部を含み、
前記光学部は、接合面で互いに接合された第１部分と第２部分を含み、
前記レーザビームの前記入射される方向と平行な方向を基準として、前記接合面で前記第１部分の第１幅と前記第２部分の第２幅は互いに同一であるレーザ結晶化装置。

【請求項2】

前記レーザビームの前記入射される方向と垂直な方向を基準として、前記第１部分の第１長さと前記第２部分の第２長さは互いに異なる、請求項１に記載のレーザ結晶化装置。

【請求項3】

前記第１部分と前記第２部分は、オプティカルコンタクト接合又は溶接で接合されている、請求項１に記載のレーザ結晶化装置。

【請求項4】

前記接合面は、前記レーザビームの前記入射される方向と平行である、請求項１に記載のレーザ結晶化装置。

【請求項5】

前記接合面は、前記レーザビームの前記入射される方向と一定の角度をなすように傾いている、請求項１に記載のレーザ結晶化装置。

【請求項6】

前記レーザビームの前記入射される方向と垂直な方向を基準として、前記接合面の幅は、前記光学部の長さの０．３％以上０．６％以下である、請求項５に記載のレーザ結晶化装置。

【請求項7】

光源部、および
前記光源部から照射されたレーザビームが入射され、複数のサブ光学部を含む光学部を含み、
前記複数のサブ光学部のそれぞれは、接合面で互いに接合された第１部分と第２部分を含み、
前記複数のサブ光学部は、前記レーザビームの前記入射される方向と平行な方向を基準として、順次配列されるレーザ結晶化装置。

【請求項8】

前記複数のサブ光学部は、第１サブ光学部と第２サブ光学部を含み、
前記第１サブ光学部の前記第１部分の長さは、前記第２サブ光学部の前記第１部分の長さと異なる、請求項７に記載のレーザ結晶化装置。

【請求項9】

前記第１サブ光学部の前記接合面と前記第２サブ光学部の前記接合面は、前記レーザビームの前記入射される方向と平行な方向を基準として、互いにずれるように配置されている、請求項８に記載のレーザ結晶化装置。

【請求項10】

前記レーザビームの前記入射される方向と平行な方向を基準として、前記接合面で前記第１部分の第１幅と前記第２部分の第２幅は、互いに同一である、請求項９に記載のレーザ結晶化装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、レーザ結晶化装置に関する。

【背景技術】

【0002】

フラットパネル表示装置の一種である液晶表示装置（ｌｉｑｕｉｄｃｒｙｓｔａｌｄｉｓｐｌａｙ；ＬＣＤ）と有機発光表示装置（ｏｒｇａｎｉｃｌｉｇｈｔｅｍｉｔｔｉｎｇｄｉｓｐｌａｙ；ＯＬＥＤ）は、小型化および軽量化が可能であるため、携帯用電子機器の表示装置として広く使用されており、大面積の表示装置にも適用領域を拡張している。特に、最近は高速動作特性が要求される表示装置の必要性が高まり、その研究が活発に行われている。

【0003】

高速動作特性を満足するために非晶質シリコン（ａｍｏｒｐｈｏｕｓｓｉｌｉｃｏｎ）の代わりに多結晶シリコン（ｐｏｌｙ－ｓｉｌｉｃｏｎ）を利用して薄膜トランジスタのチャンネル部を形成する。

【0004】

多結晶シリコンを形成する方法としてレーザを利用したアニーリング（ａｎｎｅａｌｉｎｇ）方法が開示されている。

【0005】

一方、表示装置を形成するためのガラス基板が大型化されることに伴い、広い面積にレーザビームを照射することが重要である。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明の一実施形態の目的は、製造費用を増加させずに大面積にレーザビームを照射することができるレーザ結晶化装置を提供することにある。

【0007】

本発明の一実施形態の目的は、前述した目的に限定されず、本発明の思想および範囲から逸脱しない範囲で多様に拡張され得ることが自明である。

【課題を解決するための手段】

【0008】

一実施形態によるレーザ結晶化装置は、光源部、および前記光源部から照射されたレーザビームが入射される光学部を含み、前記光学部は、接合面で互いに接合された第１部分と第２部分を含み、前記レーザビームの前記入射される方向と平行な方向を基準として、前記接合面で前記第１部分の第１幅と前記第２部分の第２幅は互いに同一であってもよい。

【0009】

前記レーザビームの前記入射される方向と垂直な方向を基準として、前記第１部分の第１長さと前記第２部分の第２長さは互いに異なっていてもよい。

【0010】

前記第１部分と前記第２部分は、オプティカルコンタクト接合又は溶接で接合されていてもよい。

【0011】

前記接合面は、前記レーザビームの前記入射される方向と平行であってもよい。

【0012】

前記接合面は、前記レーザビームの前記入射される方向と一定の角度をなすように傾いていてもよい。

【0013】

前記レーザビームの前記入射される方向と垂直な方向を基準として、前記接合面の幅は、前記光学部の長さの０．３％以上０．６％以下であり得る。

【0014】

前記レーザビームの前記入射される方向と垂直な方向を基準として、前記光学部の長さは、２０００ｍｍ以上２５００ｍｍ以下であり得る。

【0015】

他の一実施形態によるレーザ結晶化装置は、光源部、および前記光源部から照射されたレーザビームが入射され、複数のサブ光学部を含む光学部を含み、前記複数のサブ光学部のそれぞれは、接合面で互いに接合された第１部分と第２部分を含み、前記複数のサブ光学部は、前記レーザビームの前記入射される方向と平行な方向を基準として、順次配列されてもよい。

【0016】

前記複数のサブ光学部は、第１サブ光学部と第２サブ光学部を含むことができ、前記第１サブ光学部の前記第１部分の長さは、前記第２サブ光学部の前記第１部分の長さと異なっていてもよい。

【0017】

前記第１サブ光学部の前記接合面と前記第２サブ光学部の前記接合面は、前記レーザビームの前記入射される方向と平行な方向を基準として、互いにずれるように配置されていてもよい。

【0018】

前記レーザビームの前記入射される方向と平行な方向を基準として、前記接合面で前記第１部分の第１幅と前記第２部分の第２幅は、互いに同一であってもよい。

【0019】

前記第１サブ光学部の前記接合面と前記第２サブ光学部の前記接合面は、前記レーザビームの前記入射される方向と平行であってもよい。

【0020】

前記第１サブ光学部の前記接合面と前記第２サブ光学部の前記接合面は、前記レーザビームの前記入射される方向と一定の角度をなすように傾いていてもよい。

【0021】

前記レーザビームの前記入射される方向と垂直な方向を基準として、前記第１サブ光学部の前記接合面の幅は、前記第１サブ光学部の長さの０．３％以上０．６％以下であり得る。

【0022】

前記第１サブ光学部の長さは、２０００ｍｍ以上２５００ｍｍ以下であり得る。

【0023】

前記複数のサブ光学部は、前記レーザビームの前記入射される方向に沿って接合されて配置されてもよい。

【0024】

前記複数のサブ光学部は、前記レーザビームの前記入射される方向に沿って互いに離隔して配置されてもよい。

【0025】

実施例によるレーザ結晶化装置は、光源部、そして前記光源部から照射されたレーザビームが入射される光学部を含み、前記光学部は、接合面で互いに接合された第１部分と第２部分を含み、前記接合面は、前記レーザビームの前記入射される方向と一定の角度をなすように傾いていてもよい。

【発明の効果】

【0026】

一実施形態によるレーザ結晶化装置によれば、製造費用を増加させずに大面積にレーザビームを照射することができる。

【0027】

本発明の効果は、前述した効果に限定されず、本発明の思想および範囲から逸脱しない範囲で多様に拡張され得ることが自明である。

【図面の簡単な説明】

【0028】

【図1】一実施形態によるレーザ結晶化装置を示す概略的な斜視図である。

【図2】図１のレーザ結晶化装置の一部を示した図面である。

【図3】一実施形態によるレーザ結晶化装置の配置図である。

【図4】図３のレーザ結晶化装置の光学部を概念的に示した斜視図である。

【図5】他の一実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部の一例を示した図面である。

【図6】図５の光学部の分解斜視図である。

【図7】一実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部を通過したレーザビームの強度変化を概念的に示したグラフである。

【図8】他の一実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部の一例を示した図面である。

【図9】他の一実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部の一例を示した図面である。

【図10】図９の光学部の分解斜視図である。

【図11】他の一実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部を通過したレーザビームの強度変化を概念的に示したグラフである。

【図12】他の一実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部の一例を示した図面である。

【発明を実施するための形態】

【0029】

以下、添付した図面を参照して本発明の多様な実施形態について本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施することができるように詳細に説明する。本発明は、多様な異なる形態に実現することができ、ここで説明する実施形態に限定されない。

【0030】

本発明を明確に説明するために、説明上不要な部分は省略し、明細書全体にわたって同一または類似の構成要素については同一の参照符号を付した。

【0031】

また、図面に示された各構成の大きさおよび厚さは、説明の便宜のために任意に示したため、本発明が必ずしも図示されたところに限定されるのではない。図面において、複数の層および領域を明確に表現するために厚さを拡大して示した。そして図面において、説明の便宜のために、一部の層および領域の厚さを誇張して示した。

【0032】

また、層、膜、領域、基板などの部分が他の部分の「上」にあるという時、これは他の部分の「直上」にある場合だけでなく、その中間に他の部分がある場合も含む。反対に、ある部分が他の部分の「直上」にあるという時には、中間に他の部分がないことを意味する。また、基準となる部分の「上」にあるということは、基準となる部分の上または下に位置することであり、必ずしも重力の反対方向に向かって「上」に位置することを意味するのではない。

【0033】

また、明細書全体において、ある部分がある構成要素を「含む」という時、これは特に反対になる記載がない限り、他の構成要素を除外せず、他の構成要素をさらに含むことができることを意味する。

【0034】

また、明細書全体において、「平面状」という時、これは対象部分を上方から見た時を意味し、「断面状」という時、これは対象部分を垂直に切断した断面を側方から見た時を意味する。

【0035】

また、明細書全体において、「接続される」という時、これは二以上の構成要素が直接的に接続されることだけを意味するのではなく、二以上の構成要素が他の構成要素を通じて間接的に接続されること、物理的に接続されることだけでなく、電気的に接続されること、または位置や機能により異なる名称で称されたが一体であることを意味し得る。

【0036】

また、明細書全体において、「平行」とは、完全に平行である場合だけでなく、実質的に平行とみなせる場合を含む。また、明細書全体において、「垂直」とは、完全に垂直である場合だけでなく、実質的に垂直とみなせる場合を含む。さらに、明細書全体において、「同一」とは、完全に同一である場合だけでなく、実質的に同一とみなせる場合を含む。

【0037】

図１および図２を参照して、一実施形態による結晶化装置について説明する。図１は本発明の一実施形態によるレーザ結晶化装置を示す概略的な斜視図であり、図２は図１のレーザ結晶化装置の一部を示した図面である。

【0038】

まず、図１を参照すると、本実施形態によるレーザ結晶化装置は、光源部ＬＳ、第１光学部ＯＰ１、第２光学部Ｍ、第３光学部ＯＰ２、第４光学部Ｗ１、第５光学部Ｗ２と移送ステージ１８を含む。

【0039】

第３方向ｄｚに沿って、非晶質シリコン薄膜１６を含む基板１４が移送ステージ１８の上に位置し、非晶質シリコン薄膜１６には本実施形態によるレーザ結晶化装置で発生したライン形態のレーザビーム２０が第３方向ｄｚと平行な方向に上から下へ照射され、スキャン方向に沿って走査（ｓｃａｎｎｉｎｇ）される。

【0040】

この時、レーザビーム２０の位置は固定されており、移送ステージ１８が移送方向ａ２に移動することができる。つまり、移送ステージ１８の移動によってレーザビーム２０が非晶質シリコン薄膜１６を移送方向ａ２の反対方向であるスキャン方向にスキャニングしながら走査され、走査された領域１６ａの非晶質シリコンは溶融後固相化過程を経て多結晶シリコンに変化され得る。

【0041】

レーザビーム２０は、第１方向ｄｘに延びているライン形態を有することができ、第１方向ｄｘと第２方向ｄｙに均一な強さのレーザビームが照射されてこそ多結晶シリコンに変化する結晶化段階が均一に行われ得る。

【0042】

第１光学部ＯＰ１は、長軸用レンズであり、第２光学部Ｍは、ミラー（ｍｉｒｒｏｒ）であり、第３光学部ＯＰ２は、短軸用レンズであり、第４光学部Ｗ１と第５光学部Ｗ２は、ウィンドウ（ｗｉｎｄｏｗ）であり得る。短軸用レンズは、集光レンズ（ｃｏｎｄｅｎｓｅｒｌｅｎｓ）または結像（ｉｍａｇｅｆｏｒｍａｔｉｏｎ）レンズであり得る。しかし、第１光学部ＯＰ１、第２光学部Ｍ、第３光学部ＯＰ２、第４光学部Ｗ１、第５光学部Ｗ２は、これに限定されず、他の光学装置であり得る。

【0043】

光源部ＬＳから供給されたレーザビームＢは、第１光学部ＯＰ１を通過して、長軸方向に集光され、第２光学部Ｍで経路が変換された後、第３光学部ＯＰ２を通過して短軸方向に拡散されて第４光学部Ｗ１と第５光学部Ｗ２を通過してライン形態のレーザビーム２０として供給される。

【0044】

図示した実施形態によるレーザ結晶化装置によれば、レーザ結晶化装置は、第１光学部ＯＰ１、第２光学部Ｍ、第３光学部ＯＰ２、第４光学部Ｗ１、第５光学部Ｗ２を含むものと説明したが、これに限定されず、他の複数の光学系をさらに含むことができ、第１光学部ＯＰ１、第２光学部Ｍ、第３光学部ＯＰ２、第４光学部Ｗ１、第５光学部Ｗ２のうちの一部は省略されることもできる。

【0045】

以下、図３と図４を参照して、一実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部についてより具体的に説明する。図３は一実施形態によるレーザ結晶化装置の配置図であり、図４は図３のレーザ結晶化装置の光学部を概念的に示した斜視図である。

【0046】

まず、図３を参照すると、前述したように、一実施形態によるレーザ結晶化装置は、光源部ＬＳから供給されたレーザビームＢが通過する第１光学部ＯＰ１、第２光学部Ｍ、第３光学部ＯＰ２、第４光学部Ｗ１、第５光学部Ｗ２を含む。

【0047】

第１光学部ＯＰ１は、第１部分ＯＰ１ａと第２部分ＯＰ１ｂを含む。第１光学部ＯＰ１の第１部分ＯＰ１ａと第１光学部ＯＰ１の第２部分ＯＰ１ｂは互いに接合される。第１光学部ＯＰ１の第１部分ＯＰ１ａと第１光学部ＯＰ１の第２部分ＯＰ１ｂは、オプティカルコンタクト接合（ｏｐｔｉｃａｌｃｏｎｔａｃｔｂｏｎｄｉｎｇ）または溶接を通じて互いに接合され得る。

【0048】

第１光学部ＯＰ１の第１部分ＯＰ１ａの第１長さＬａと第１光学部ＯＰ１の第２部分ＯＰ１ｂの第２長さＬｂは、互いに異なっていてもよい。しかし、第１光学部ＯＰ１の第１部分ＯＰ１ａの第１長さＬａと第１光学部ＯＰ１の第２部分ＯＰ１ｂの第２長さＬｂは、互いに同一であってもよい。ここで、第１長さＬａと第２長さＬｂは、レーザビームＢが入射される方向と垂直な方向を基準として測定した長さである。

【0049】

第１光学部ＯＰ１の第１部分ＯＰ１ａの第１長さＬａと第１光学部ＯＰ１の第２部分ＯＰ１ｂの第２長さＬｂの合計（Ｌａ＋Ｌｂ）は、約２０００ｍｍ以上２５００ｍｍ以下であり得る。

【0050】

第１光学部ＯＰ１の第１部分ＯＰ１ａと第１光学部ＯＰ１の第２部分ＯＰ１ｂの接合部は、レーザビームＢの入射方向と平行であってもよく、第１光学部ＯＰ１の第１部分ＯＰ１ａと第１光学部ＯＰ１の第２部分ＯＰ１ｂの接合部で、レーザビームＢの入射方向と平行な方向に測定した第１光学部ＯＰ１の第１部分ＯＰ１ａの幅と第１光学部ＯＰ１の第２部分ＯＰ１ｂの幅は、互いに同一であってもよい。

【0051】

これと類似して、第２光学部Ｍは、互いに接合されている第１部分Ｍａと第２部分Ｍｂを含み、第２光学部Ｍの第１部分Ｍａの第１長さＬａと第２光学部Ｍの第２部分Ｍｂの第２長さＬｂは、互いに異なっていてもよい。しかし、第２光学部Ｍの第１部分Ｍａの第１長さＬａと第２光学部Ｍの第２部分Ｍｂの第２長さＬｂは、互いに同一であってもよい。第２光学部Ｍの第１部分Ｍａの第１長さＬａと第２光学部Ｍの第２部分Ｍｂの第２長さＬｂの合計（Ｌａ＋Ｌｂ）は、約２０００ｍｍ以上２５００ｍｍ以下であり得る。ここで、第１長さＬａと第２長さＬｂは、レーザビームＢが入射される方向と垂直な方向を基準として測定した長さである。

【0052】

また、第２光学部Ｍの第１部分Ｍａと第２光学部Ｍの第２部分Ｍｂの接合部は、レーザビームＢの入射方向と平行であってもよく、第２光学部Ｍの第１部分Ｍａと第２光学部Ｍの第２部分Ｍｂの接合部で、レーザビームＢの入射方向と平行な方向に測定した第２光学部Ｍの第１部分Ｍａの幅と第２光学部Ｍの第２部分Ｍｂの幅は、互いに同一であってもよい。

【0053】

これと類似して、第３光学部ＯＰ２は、互いに接合されている第１部分ＯＰ２ａと第２部分ＯＰ２ｂを含み、第３光学部ＯＰ２の第１部分ＯＰ２ａの第１長さＬａと第３光学部ＯＰ２の第２部分ＯＰ２ｂの第２長さＬｂは、互いに異なっていてもよい。しかし、第３光学部ＯＰ２の第１部分ＯＰ２ａの第１長さＬａと第３光学部ＯＰ２の第２部分ＯＰ２ｂの第２長さＬｂは、互いに同一であってもよい。第３光学部ＯＰ２の第１部分ＯＰ２ａの第１長さＬａと第３光学部ＯＰ２の第２部分ＯＰ２ｂの第２長さＬｂの合計（Ｌａ＋Ｌｂ）は、約２０００ｍｍ以上２５００ｍｍ以下であり得る。ここで、第１長さＬａと第２長さＬｂは、レーザビームＢが入射される方向と垂直な方向を基準として測定した長さである。

【0054】

また、第３光学部ＯＰ２の第１部分ＯＰ２ａと第３光学部ＯＰ２の第２部分ＯＰ２ｂの接合部は、レーザビームＢの入射方向と平行であってもよく、第３光学部ＯＰ２の第１部分ＯＰ２ａと第３光学部ＯＰ２の第２部分ＯＰ２ｂの接合部で、レーザビームＢの入射方向と平行な方向に測定した第３光学部ＯＰ２の第１部分ＯＰ２ａの幅と第３光学部ＯＰ２の第２部分ＯＰ２ｂの幅は、互いに同一であってもよい。

【0055】

また、第４光学部Ｗ１は、互いに接合されている第１部分Ｗ１ａと第２部分Ｗ１ｂを含み、第４光学部Ｗ１の第１部分Ｗ１ａの第１長さＬａと第４光学部Ｗ１の第２部分Ｗ１ｂの第２長さＬｂは、互いに異なっていてもよい。しかし、第４光学部Ｗ１の第１部分Ｗ１ａの第１長さＬａと第４光学部Ｗ１の第２部分Ｗ１ｂの第２長さＬｂは、互いに同一であってもよい。第４光学部Ｗ１の第１部分Ｗ１ａの第１長さＬａと第４光学部Ｗ１の第２部分Ｗ１ｂの第２長さＬｂの合計（Ｌａ＋Ｌｂ）は、約２０００ｍｍ以上２５００ｍｍ以下であり得る。ここで、第１長さＬａと第２長さＬｂは、レーザビームＢが入射される方向と垂直な方向を基準として測定した長さである。

【0056】

また、第４光学部Ｗ１の第１部分Ｗ１ａと第４光学部Ｗ１の第２部分Ｗ１ｂの接合部は、レーザビームＢの入射方向と平行であってもよく、第４光学部Ｗ１の第１部分Ｗ１ａと第４光学部Ｗ１の第２部分Ｗ１ｂの接合部で、レーザビームＢの入射方向と平行な方向に測定した第４光学部Ｗ１の第１部分Ｗ１ａの幅と第４光学部Ｗ１の第２部分Ｗ１ｂの幅は、互いに同一であってもよい。

【0057】

これと類似して、第５光学部Ｗ２は、互いに接合されている第１部分Ｗ２ａと第２部分Ｗ２ｂを含み、第５光学部Ｗ２の第１部分Ｗ２ａの第１長さＬａと第５光学部Ｗ２の第２部分Ｗ２ｂの第２長さＬｂは、互いに異なっていてもよい。しかし、第５光学部Ｗ２の第１部分Ｗ２ａの第１長さＬａと第５光学部Ｗ２の第２部分Ｗ２ｂの第２長さＬｂは、互いに同一であってもよい。第５光学部Ｗ２の第１部分Ｗ２ａの第１長さＬａと第５光学部Ｗ２の第２部分Ｗ２ｂの第２長さＬｂの合計（Ｌａ＋Ｌｂ）は、約２０００ｍｍ以上２５００ｍｍ以下であり得る。ここで、第１長さＬａと第２長さＬｂは、レーザビームＢが入射される方向と垂直な方向を基準として測定した長さである。

【0058】

また、第５光学部Ｗ２の第１部分Ｗ２ａと第５光学部Ｗ２の第２部分Ｗ２ｂの接合部は、レーザビームＢの入射方向と平行であってもよく、第５光学部Ｗ２の第１部分Ｗ２ａと第５光学部Ｗ２の第２部分Ｗ２ｂの接合部で、レーザビームＢの入射方向と平行な方向に測定した第５光学部Ｗ２の第１部分Ｗ２ａの幅と第５光学部Ｗ２の第２部分Ｗ２ｂの幅は、互いに同一であってもよい。

【0059】

第１光学部ＯＰ１の第１部分ＯＰ１ａの第１長さＬａは、第２光学部Ｍの第１部分Ｍａの第１長さＬａと互いに異なっていてもよく、互いに同一であってもよい。また、第１光学部ＯＰ１の第２部分ＯＰ１ｂの第２長さＬｂは、第２光学部Ｍの第２部分Ｍｂの第２長さＬｂと互いに異なっていてもよく、互いに同一であってもよい。

【0060】

第２光学部Ｍの第１部分Ｍａの第１長さＬａは、第３光学部ＯＰ２の第１部分ＯＰ２ａの第１長さＬａと互いに異なっていてもよく、互いに同一であってもよい。また、第２光学部Ｍの第２部分Ｍｂの第２長さＬｂは、第３光学部ＯＰ２の第２部分ＯＰ２ｂの第２長さＬｂと互いに異なっていてもよく、互いに同一であってもよい。

【0061】

第３光学部ＯＰ２の第１部分ＯＰ２ａの第１長さＬａは、第４光学部Ｗ１の第１部分Ｗ１ａの第１長さＬａと互いに異なっていてもよく、互いに同一であってもよい。また、第３光学部ＯＰ２の第２部分ＯＰ２ｂの第２長さＬｂは、第４光学部Ｗ１の第２部分Ｗ１ｂの第２長さＬｂと互いに異なっていてもよく、互いに同一であってもよい。

【0062】

第４光学部Ｗ１の第１部分Ｗ１ａの第１長さＬａは、第５光学部Ｗ２の第１部分Ｗ２ａの第１長さＬａと互いに異なっていてもよく、互いに同一であってもよい。また、第４光学部Ｗ１の第２部分Ｗ１ｂの第２長さＬｂは、第５光学部Ｗ２の第２部分Ｗ２ｂの第２長さＬｂと互いに異なっていてもよく、互いに同一であってもよい。

【0063】

第５光学部Ｗ２の第１部分Ｗ２ａの第１長さＬａは、第１光学部ＯＰ１の第１部分ＯＰ１ａの第１長さＬａと互いに異なっていてもよく、互いに同一であってもよい。また、第５光学部Ｗ２の第２部分Ｗ２ｂの第２長さＬｂは、第１光学部ＯＰ１の第２部分ＯＰ１ｂの第２長さＬｂと互いに異なっていてもよく、互いに同一であってもよい。

【0064】

図３の実施例によれば、レーザ結晶化装置の光学部ＯＰ１、Ｍ、ＯＰ２、Ｗ１、Ｗ２のそれぞれは、全て互いに接合された第１部分と第２部分を含むものと説明したが、これに限定されず、レーザ結晶化装置の光学部ＯＰ１、Ｍ、ＯＰ２、Ｗ１、Ｗ２のうちの少なくとも一つは、互いに接合された第１部分と第２部分を含むことができる。

【0065】

以下、図４を参照して、図３の実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部ＯＰ１、Ｍ、ＯＰ２、Ｗ１、Ｗ２の構造についてより具体的に説明する。

【0066】

図３の実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部ＯＰ１、Ｍ、ＯＰ２、Ｗ１、Ｗ２は、図４に示した光学部ＯＰのような構造を有することができる。

【0067】

図４を参照すると、実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部ＯＰは、互いに接合された第１部分Ｐａと第２部分Ｐｂを含む。光学部ＯＰの第１部分Ｐａと第２部分Ｐｂは、ガラスを含むことができる。

【0068】

光学部ＯＰの第１部分Ｐａと第２部分Ｐｂは、オプティカルコンタクト接合（ｏｐｔｉｃａｌｃｏｎｔａｃｔｂｏｎｄｉｎｇ）または溶接を通じて互いに接合され得る。また、光学部ＯＰの第１部分Ｐａと第２部分Ｐｂの接合面Ｓａｂは、レーザビームＢの入射方向と平行であってもよい。光学部ＯＰの第１部分Ｐａと第２部分Ｐｂの接合面Ｓａｂで、レーザビームＢの入射方向と平行な方向に測定した第１部分Ｐａの第１幅Ｗａと第２部分Ｐｂの第２幅Ｗｂは、互いに同一であってもよい。

【0069】

表示装置を形成するためのガラス基板が大型化されることに伴い、レーザ結晶化装置は広い面積にレーザビームを照射しなければならず、このために、レーザ結晶化装置の光学部のサイズも大きくならなければならない。一つのガラスを利用して大きいサイズを有する光学部を形成する場合、製造費用が増加する。

【0070】

しかし、本実施形態によるレーザ結晶化装置は、互いに接合された第１部分と第２部分を含む光学部を含み、第１部分と第２部分の接合部は、オプティカルコンタクト接合または溶接を通じて互いに接合され得る。したがって、レーザ結晶化装置の製造費用を増加させずに、大きいサイズを有する光学部を含むレーザ結晶化装置を形成することができる。

【0071】

以下、図５を参照して、他の一実施形態によるレーザ結晶化装置について説明する。図５は他の一実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部の一例を示した図面である。

【0072】

前述したように、本実施形態によるレーザ結晶化装置は、複数の光学部ＯＰ１、Ｍ、ＯＰ２、Ｗ１、Ｗ２を含み、レーザ結晶化装置の複数の光学部ＯＰ１、Ｍ、ＯＰ２、Ｗ１、Ｗ２のうちの少なくとも一つは、図５に示した光学部ＯＰの構造を有することができる。

【0073】

図５を参照すると、本実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部ＯＰは、互いに接合されている複数のサブ光学部Ｏ１、Ｏ２、Ｏ３、Ｏ４、Ｏ５を含むことができる。

【0074】

光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１、第２サブ光学部Ｏ２、第３サブ光学部Ｏ３、第４サブ光学部Ｏ４、そして第５サブ光学部Ｏ５は、互いに接続され得る。

【0075】

光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１は、互いに接合された第１部分Ｏ１ａと第２部分Ｏ１ｂを含み、光学部ＯＰの第２サブ光学部Ｏ２は、互いに接合された第３部分Ｏ２ａと第４部分Ｏ２ｂを含み、光学部ＯＰの第３サブ光学部Ｏ３は、互いに接合された第５部分Ｏ３ａと第６部分Ｏ３ｂを含み、光学部ＯＰの第４サブ光学部Ｏ４は、互いに接合された第７部分Ｏ４ａと第８部分Ｏ４ｂを含み、光学部ＯＰの第５サブ光学部Ｏ５は、互いに接合された第９部分Ｏ５ａと第１０部分Ｏ５ｂを含むことができる。

【0076】

光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１の第１部分Ｏ１ａと第２部分Ｏ１ｂは第１接合面Ｓａｂ１で互いに接合され、光学部ＯＰの第２サブ光学部Ｏ２の第３部分Ｏ２ａと第４部分Ｏ２ｂは第２接合面Ｓａｂ２で互いに接合され、光学部ＯＰの第３サブ光学部Ｏ３の第５部分Ｏ３ａと第６部分Ｏ３ｂは第３接合面Ｓａｂ３で互いに接合され、光学部ＯＰの第４サブ光学部Ｏ４の第７部分Ｏ４ａと第８部分Ｏ４ｂは第４接合面Ｓａｂ４で互いに接合され、光学部ＯＰの第５サブ光学部Ｏ５の第９部分Ｏ５ａと第１０部分Ｏ５ｂは第５接合面Ｓａｂ５で互いに接合される。

【0077】

光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１の第１接合面Ｓａｂ１、光学部ＯＰの第２サブ光学部Ｏ２の第２接合面Ｓａｂ２、光学部ＯＰの第３サブ光学部Ｏ３の第３接合面Ｓａｂ３、光学部ＯＰの第４サブ光学部Ｏ４の第４接合面Ｓａｂ４、光学部ＯＰの第５サブ光学部Ｏ５の第５接合面Ｓａｂ５は、それぞれ光学部ＯＰに入射されるレーザビームＢの入射方向と平行であってもよい。また、光学部ＯＰに入射されるレーザビームＢの入射方向と平行な方向を基準として、光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１の第１接合面Ｓａｂ１、光学部ＯＰの第２サブ光学部Ｏ２の第２接合面Ｓａｂ２、光学部ＯＰの第３サブ光学部Ｏ３の第３接合面Ｓａｂ３、光学部ＯＰの第４サブ光学部Ｏ４の第４接合面Ｓａｂ４、光学部ＯＰの第５サブ光学部Ｏ５の第５接合面Ｓａｂ５は、互いに一列配置されず、互いにずれるように配置され得る。

【0078】

以下、図５と共に図６を参照して、図５の光学部のサブ光学部についてより具体的に説明する。図６は図５の光学部の分解斜視図である。

【0079】

図５と共に図６を参照すると、本実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部ＯＰは、複数のサブ光学部Ｏ１、Ｏ２、Ｏ３、Ｏ４、Ｏ５を含む。

【0080】

光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１は、第１接合面Ｓａｂ１で互いに接合される第１部分Ｏ１ａと第２部分Ｏ１ｂを含み、光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１の第１部分Ｏ１ａの第１長さＬ０１と光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１の第２部分Ｏ１ｂの第２長さＬ１１は、互いに異なっていてもよく、互いに同一であってもよい。

【0081】

光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１の第１接合面Ｓａｂ１は、レーザビームＢの入射方向とほぼ平行な面であってもよく、レーザビームＢの入射方向と平行な方向を基準として、第１接合面Ｓａｂ１で第１サブ光学部Ｏ１の第１部分Ｏ１ａの第１幅Ｗａと第１サブ光学部Ｏ１の第２部分Ｏ１ｂの第２幅Ｗｂは、互いに同一であってもよい。

【0082】

光学部ＯＰの第２サブ光学部Ｏ２は、第２接合面Ｓａｂ２で互いに接合される第３部分Ｏ２ａと第４部分Ｏ２ｂを含み、光学部ＯＰの第２サブ光学部Ｏ２の第３部分Ｏ２ａの第３長さＬ０２と光学部ＯＰの第２サブ光学部Ｏ２の第４部分Ｏ２ｂの第４長さＬ１２は、互いに異なっていてもよく、互いに同一であってもよい。

【0083】

光学部ＯＰの第２サブ光学部Ｏ２の第２接合面Ｓａｂ２は、レーザビームＢの入射方向とほぼ平行な面であってもよく、レーザビームＢの入射方向と平行な方向を基準として、第２接合面Ｓａｂ２で第２サブ光学部Ｏ２の第３部分Ｏ２ａの第１幅Ｗａと第２サブ光学部Ｏ２の第４部分Ｏ２ｂの第２幅Ｗｂは、互いに同一であってもよい。

【0084】

光学部ＯＰの第３サブ光学部Ｏ３は、第３接合面Ｓａｂ３で互いに接合される第５部分Ｏ３ａと第６部分Ｏ３ｂを含み、光学部ＯＰの第３サブ光学部Ｏ３の第５部分Ｏ３ａの第５長さＬ０３と光学部ＯＰの第３サブ光学部Ｏ３の第６部分Ｏ３ｂの第６長さＬ１３は、互いに異なっていてもよく、互いに同一であってもよい。

【0085】

光学部ＯＰの第３サブ光学部Ｏ３の第３接合面Ｓａｂ３は、レーザビームＢの入射方向とほぼ平行な面であってもよく、レーザビームＢの入射方向と平行な方向を基準として、第３接合面Ｓａｂ３で第３サブ光学部Ｏ３の第５部分Ｏ３ａの第１幅Ｗａと第３サブ光学部Ｏ３の第６部分Ｏ３ｂの第２幅Ｗｂは、互いに同一であってもよい。

【0086】

光学部ＯＰの第４サブ光学部Ｏ４は、第４接合面Ｓａｂ４で互いに接合される第７部分Ｏ４ａと第８部分Ｏ４ｂを含み、光学部ＯＰの第４サブ光学部Ｏ４の第７部分Ｏ４ａの第７長さＬ０４と光学部ＯＰの第４サブ光学部Ｏ４の第８部分Ｏ４ｂの第８長さＬ１４は、互いに異なっていてもよく、互いに同一であってもよい。

【0087】

光学部ＯＰの第４サブ光学部Ｏ４の第４接合面Ｓａｂ４は、レーザビームＢの入射方向とほぼ平行な面であってもよく、レーザビームＢの入射方向と平行な方向を基準として、第４接合面Ｓａｂ４で第４サブ光学部Ｏ４の第７部分Ｏ４ａの第１幅Ｗａと第４サブ光学部Ｏ４の第８部分Ｏ４ｂの第２幅Ｗｂは、互いに同一であってもよい。

【0088】

光学部ＯＰの第５サブ光学部Ｏ５は、第５接合面Ｓａｂ５で互いに接合される第９部分Ｏ５ａと第１０部分Ｏ５ｂを含み、光学部ＯＰの第５サブ光学部Ｏ５の第９部分Ｏ５ａの第９長さＬ０５と光学部ＯＰの第５サブ光学部Ｏ５の第１０部分Ｏ５ｂの第１０長さＬ１５は、互いに異なっていてもよく、互いに同一であってもよい。

【0089】

光学部ＯＰの第５サブ光学部Ｏ５の第５接合面Ｓａｂ５は、レーザビームＢの入射方向とほぼ平行な面であってもよく、レーザビームＢの入射方向と平行な方向を基準として、第５接合面Ｓａｂ５で第５サブ光学部Ｏ５の第９部分Ｏ５ａの第１幅Ｗａと第５サブ光学部Ｏ５の第１０部分Ｏ５ｂの第２幅Ｗｂは、互いに同一であってもよい。

【0090】

光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１の第１部分Ｏ１ａの第１長さＬ０１、光学部ＯＰの第２サブ光学部Ｏ２の第３部分Ｏ２ａの第３長さＬ０２、光学部ＯＰの第３サブ光学部Ｏ３の第５部分Ｏ３ａの第５長さＬ０３、光学部ＯＰの第４サブ光学部Ｏ４の第７部分Ｏ４ａの第７長さＬ０４、光学部ＯＰの第５サブ光学部Ｏ５の第９部分Ｏ５ａの第９長さＬ０５は、互いに異なっていてもよい。ここで、第１長さＬ０１、第３長さＬ０２、第５長さＬ０３、第７長さＬ０４、第９長さＬ０５は、レーザビームＢが入射される方向と垂直な方向に測定した長さであり得る。

【0091】

これと類似して、光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１の第２部分Ｏ１ｂの第２長さＬ１１、光学部ＯＰの第２サブ光学部Ｏ２の第４部分Ｏ２ｂの第４長さＬ１２、光学部ＯＰの第３サブ光学部Ｏ３の第６部分Ｏ３ｂの第６長さＬ１３、光学部ＯＰの第４サブ光学部Ｏ４の第８部分Ｏ４ｂの第８長さＬ１４、光学部ＯＰの第５サブ光学部Ｏ５の第１０部分Ｏ５ｂの第１０長さＬ１５は、互いに異なっていてもよい。ここで、第２長さＬ１１、第４長さＬ１２、第６長さＬ１３、第８長さＬ１４、第１０長さＬ１５は、レーザビームＢが入射される方向と垂直な方向に測定した長さであり得る。

【0092】

光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１の第１部分Ｏ１ａと第２部分Ｏ１ｂは、オプティカルコンタクト接合または溶接を通じて互いに接合され、光学部ＯＰの第２サブ光学部Ｏ２の第３部分Ｏ２ａと第４部分Ｏ２ｂはオプティカルコンタクト接合または溶接を通じて互いに接合され、光学部ＯＰの第３サブ光学部Ｏ３の第５部分Ｏ３ａと第６部分Ｏ３ｂは、オプティカルコンタクト接合または溶接を通じて互いに接合され、光学部ＯＰの第４サブ光学部Ｏ４の第７部分Ｏ４ａと第８部分Ｏ４ｂは、オプティカルコンタクト接合または溶接を通じて互いに接合され、光学部ＯＰの第５サブ光学部Ｏ５の第９部分Ｏ５ａと第１０部分Ｏ５ｂは、オプティカルコンタクト接合または溶接を通じて互いに接合され得る。

【0093】

また、光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１、第２サブ光学部Ｏ２、第３サブ光学部Ｏ３、第４サブ光学部Ｏ４、第５サブ光学部Ｏ５は、レーザビームＢの入射方向と平行な方向に沿って順次に配置され、光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１、第２サブ光学部Ｏ２、第３サブ光学部Ｏ３、第４サブ光学部Ｏ４、第５サブ光学部Ｏ５は、オプティカルコンタクト接合または溶接を通じて互いに接合され得る。

【0094】

光学部ＯＰに入射されるレーザビームＢの入射方向と平行な方向を基準として、光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１の第１接合面Ｓａｂ１、光学部ＯＰの第２サブ光学部Ｏ２の第２接合面Ｓａｂ２、光学部ＯＰの第３サブ光学部Ｏ３の第３接合面Ｓａｂ３、光学部ＯＰの第４サブ光学部Ｏ４の第４接合面Ｓａｂ４、光学部ＯＰの第５サブ光学部Ｏ５の第５接合面Ｓａｂ５は、互いに一列配置されず、互いにずれるように配置され得る。

【0095】

先に図５および図６に示した実施形態によれば、一実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部は、５個のサブ光学部Ｏ１、Ｏ２、Ｏ３、Ｏ４、Ｏ５を含むものと説明したが、これに限定されず、複数のサブ光学部の数は変化可能である。

【0096】

以下、図５および図６と共に図７を参照して、一実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部を通過したレーザビームの強度変化について説明する。図７は一実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部を通過したレーザビームの強度変化を概念的に示したグラフである。

【0097】

図５および図６と共に図７を参照すると、レーザビームＢが光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１、第２サブ光学部Ｏ２、第３サブ光学部Ｏ３、第４サブ光学部Ｏ４、第５サブ光学部Ｏ５を通過しながら、レーザビームＢの強度ＢＬは光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１の第１接合面Ｓａｂ１、光学部ＯＰの第２サブ光学部Ｏ２の第２接合面Ｓａｂ２、光学部ＯＰの第３サブ光学部Ｏ３の第３接合面Ｓａｂ３、光学部ＯＰの第４サブ光学部Ｏ４の第４接合面Ｓａｂ４、光学部ＯＰの第５サブ光学部Ｏ５の第５接合面Ｓａｂ５で減少し得る。

【0098】

先に図５および図６を参照して説明したように、本実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部ＯＰに入射されるレーザビームＢの入射方向と平行な方向を基準として、光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１の第１接合面Ｓａｂ１、光学部ＯＰの第２サブ光学部Ｏ２の第２接合面Ｓａｂ２、光学部ＯＰの第３サブ光学部Ｏ３の第３接合面Ｓａｂ３、光学部ＯＰの第４サブ光学部Ｏ４の第４接合面Ｓａｂ４、光学部ＯＰの第５サブ光学部Ｏ５の第５接合面Ｓａｂ５は、互いに一列配置されず、互いにずれるように配置されるため、レーザビームＢの強度ＢＬが変化する第１接合面Ｓａｂ１、第２接合面Ｓａｂ２、第３接合面Ｓａｂ３、第４接合面Ｓａｂ４、第５接合面Ｓａｂ５が互いに重ならない。

【0099】

したがって、光学部ＯＰを通過したレーザビームＢの強度ＢＬ変化が特定の一位置に集中しないため、位置にかかわらず均一なレーザビームＢが供給され得る。

【0100】

以下、図８を参照して、他の一実施形態によるレーザ結晶化装置について説明する。図８は他の一実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部の一例を示した図面である。

【0101】

前述したように、本実施形態によるレーザ結晶化装置は、複数の光学部ＯＰ１、Ｍ、ＯＰ２、Ｗ１、Ｗ２を含み、レーザ結晶化装置の複数の光学部ＯＰ１、Ｍ、ＯＰ２、Ｗ１、Ｗ２のうちの少なくとも一つは、図８に示した光学部ＯＰの構造を有することができる。
図８を参照すると、本実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部ＯＰは、互いに離隔されている複数のサブ光学部Ｏ１、Ｏ２、Ｏ３、Ｏ４、Ｏ５を含むことができる。

【0102】

【0103】

【0104】

【0105】

図８に示した実施形態によれば、一実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部は、５個のサブ光学部Ｏ１、Ｏ２、Ｏ３、Ｏ４、Ｏ５を含むものと説明したが、これに限定されず、複数のサブ光学部の数は変化可能である。

【0106】

先に図１～図７を参照して説明した実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部の多くの特徴は、本実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部に全て適用可能である。

【0107】

以下、図９を参照して、他の一実施形態によるレーザ結晶化装置について説明する。図９は他の一実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部の一例を示した図面である。

【0108】

前述したように、本実施形態によるレーザ結晶化装置は、複数の光学部ＯＰ１、Ｍ、ＯＰ２、Ｗ１、Ｗ２を含み、レーザ結晶化装置の複数の光学部ＯＰ１、Ｍ、ＯＰ２、Ｗ１、Ｗ２のうちの少なくとも一つは、図９に示した光学部ＯＰの構造を有することができる。

【0109】

図９を参照すると、本実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部ＯＰは、複数のサブ光学部Ｏ１、Ｏ２、Ｏ３、Ｏ４、Ｏ５を含むことができる。

【0110】

光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１、第２サブ光学部Ｏ２、第３サブ光学部Ｏ３、第４サブ光学部Ｏ４、そして第５サブ光学部Ｏ５は、レーザビームＢの入射方向と平行な方向に沿って順次に配置されて互いに接続され得る。

【0111】

【0112】

【0113】

光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１の第１接合面Ｓａｂ１は、レーザビームＢの入射方向と第１角度θ１をなし、光学部ＯＰの第２サブ光学部Ｏ２の第２接合面Ｓａｂ２は、レーザビームＢの入射方向と第２角度θ２をなし、光学部ＯＰの第３サブ光学部Ｏ３の第３接合面Ｓａｂ３は、レーザビームＢの入射方向と第３角度θ３をなし、光学部ＯＰの第４サブ光学部Ｏ４の第４接合面Ｓａｂ４は、レーザビームＢの入射方向と第４角度θ４をなし、光学部ＯＰの第５サブ光学部Ｏ５の第５接合面Ｓａｂ５は、レーザビームＢの入射方向と第５角度θ５をなすことができる。

【0114】

第１角度θ１、第２角度θ２、第３角度θ３、第４角度θ４、第５角度θ５は、約４５度より小さくてもよく、互いに同一でも異なっていてもよい。

【0115】

また、光学部ＯＰに入射されるレーザビームＢの入射方向と平行な方向を基準として、光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１の第１接合面Ｓａｂ１、光学部ＯＰの第２サブ光学部Ｏ２の第２接合面Ｓａｂ２、光学部ＯＰの第３サブ光学部Ｏ３の第３接合面Ｓａｂ３、光学部ＯＰの第４サブ光学部Ｏ４の第４接合面Ｓａｂ４、光学部ＯＰの第５サブ光学部Ｏ５の第５接合面Ｓａｂ５は、互いに一列配置されず、互いにずれるように配置され得る。

【0116】

以下、図９と共に図１０を参照して、図９の光学部のサブ光学部についてより具体的に説明する。図１０は図９の光学部の分解斜視図である。

【0117】

図９と共に図１０を参照すると、本実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部ＯＰは、複数のサブ光学部Ｏ１、Ｏ２、Ｏ３、Ｏ４、Ｏ５を含む。

【0118】

光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１は、第１接合面Ｓａｂ１で互いに接合される第１部分Ｏ１ａと第２部分Ｏ１ｂを含み、第１サブ光学部Ｏ１の第１部分Ｏ１ａの第１面の第１長さＬ０１および第２部分Ｏ１ｂの第１面の第２長さＬ１１は、第１サブ光学部Ｏ１の第１部分Ｏ１ａの第１面と向き合う第２面の第１長さＬ０１－Ｌおよび第１サブ光学部Ｏ１の第２部分Ｏ１ｂの第２面の第２長さＬ１１＋Ｌと互いに異なっていてもよい。

【0119】

より具体的に、第１サブ光学部Ｏ１の第１部分Ｏ１ａの第１面の第１長さＬ０１より第１サブ光学部Ｏ１の第１部分Ｏ１ａの第２面の第１長さＬ０１－Ｌは、長さの差Ｌだけ短くてもよく、第１サブ光学部Ｏ１の第２部分Ｏ１ｂの第１面の第２長さＬ１１より第１サブ光学部Ｏ１の第２部分Ｏ１ｂの第２面の第２長さＬ１１＋Ｌは、長さの差Ｌだけ長くてもよい。つまり、レーザビームＢが入射される方向と垂直な方向を基準として、第１サブ光学部Ｏ１は、第１接合面Ｓａｂ１の幅は長さの差Ｌと同一であってもよい。

【0120】

長さの差Ｌおよび第１接合面Ｓａｂ１の幅は、第１サブ光学部Ｏ１の全体長さの約０．３％以上約０．６％以下であり得る。例えば、第１サブ光学部Ｏ１の全体長さが約２２００ｍｍである場合、長さの差Ｌおよび第１接合面Ｓａｂ１の幅は、約１０ｍｍであり得る。

【0121】

前述した全ての長さは、レーザビームＢが入射される方向と垂直な方向に測定した長さである。

【0122】

また、光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１の第１接合面Ｓａｂ１は、レーザビームＢの入射方向と第１角度θ１をなすことができ、レーザビームＢの入射方向と平行な方向を基準として、第１接合面Ｓａｂ１で第１サブ光学部Ｏ１の第１部分Ｏ１ａの第１幅Ｗａと第１サブ光学部Ｏ１の第２部分Ｏ１ｂの第２幅Ｗｂは、互いに同一であってもよい。

【0123】

これと類似して、光学部ＯＰの第２サブ光学部Ｏ２は、第２接合面Ｓａｂ２で互いに接合される第３部分Ｏ２ａと第４部分Ｏ２ｂを含み、第２サブ光学部Ｏ２の第３部分Ｏ２ａの第１面の第３長さＬ０２および第２サブ光学部Ｏ２の第４部分Ｏ２ｂの第１面の第４長さＬ１２は、第２サブ光学部Ｏ２の第３部分Ｏ２ａの第２面の第３長さＬ０２－Ｌおよび第２サブ光学部Ｏ２の第４部分Ｏ２ｂの第２面の第４長さＬ１２＋Ｌと長さの差Ｌだけ差があり得る。つまり、レーザビームＢが入射される方向と垂直な方向を基準として、第２サブ光学部Ｏ２は、第２接合面Ｓａｂ２の幅は長さの差Ｌと同一であってもよい。

【0124】

長さの差Ｌおよび第２接合面Ｓａｂ２の幅は、第２サブ光学部Ｏ２の全体長さの約０．３％以上約０．６％以下であり得る。例えば、第２サブ光学部Ｏ２の全体長さが約２２００ｍｍである場合、長さの差Ｌおよび第２接合面Ｓａｂ２の幅は、約１０ｍｍであり得る。

【0125】

前述した長さは全てレーザビームＢが入射される方向と垂直な方向に測定した長さである。

【0126】

また、光学部ＯＰの第２サブ光学部Ｏ２の第２接合面Ｓａｂ２は、レーザビームＢの入射方向と第２角度θ２をなすことができ、レーザビームＢの入射方向と平行な方向を基準として、第２接合面Ｓａｂ２で第２サブ光学部Ｏ２の第３部分Ｏ２ａの第１幅Ｗａと第２サブ光学部Ｏ２の第４部分Ｏ２ｂの第２幅Ｗｂは、互いに同一であってもよい。

【0127】

光学部ＯＰの第３サブ光学部Ｏ３は、第３接合面Ｓａｂ３で互いに接合される第５部分Ｏ３ａと第６部分Ｏ３ｂを含み、第３サブ光学部Ｏ３の第５部分Ｏ３ａの第１面の第５長さＬ０３および第３サブ光学部Ｏ３の第６部分Ｏ３ｂの第１面の第６長さＬ１３は、第３サブ光学部Ｏ３の第５部分Ｏ３ａの第２面の第５長さＬ０３－Ｌおよび第３サブ光学部Ｏ３の第６部分Ｏ３ｂの第２面の第６長さＬ１３＋Ｌと長さの差Ｌだけ差があり得る。つまり、レーザビームＢが入射される方向と垂直な方向を基準として、第３サブ光学部Ｏ３は、第３接合面Ｓａｂ３の幅は長さの差Ｌと同一であってもよい。

【0128】

長さの差Ｌおよび第３接合面Ｓａｂ３の幅は、第３サブ光学部Ｏ３の全体長さの約０．３％以上約０．６％以下であり得る。例えば、第３サブ光学部Ｏ３の全体長さが約２２００ｍｍである場合、長さの差Ｌおよび第３接合面Ｓａｂ３の幅は、約１０ｍｍであり得る。

【0129】

前述した全ての長さは、レーザビームＢが入射される方向と垂直な方向に測定した長さである。

【0130】

また、光学部ＯＰの第３サブ光学部Ｏ３の第３接合面Ｓａｂ３は，レーザビームＢの入射方向と第３角度θ３をなすことができ、レーザビームＢの入射方向と平行な方向を基準として、第３接合面Ｓａｂ３で第３サブ光学部Ｏ３の第５部分Ｏ３ａの第１幅Ｗａと第３サブ光学部Ｏ３の第６部分Ｏ３ｂの第２幅Ｗｂは、互いに同一であってもよい。

【0131】

光学部ＯＰの第４サブ光学部Ｏ４は、第４接合面Ｓａｂ４で互いに接合される第７部分Ｏ４ａと第８部分Ｏ４ｂを含み、第４サブ光学部Ｏ４の第７部分Ｏ４ａの第１面の第７長さＬ０４および第４サブ光学部Ｏ４の第８部分Ｏ４ｂの第１面の第８長さＬ１４は、第４サブ光学部Ｏ４の第７部分Ｏ４ａの第２面の第７長さＬ０４－Ｌおよび第４サブ光学部Ｏ４の第８部分Ｏ４ｂの第２面の第８長さＬ１４＋Ｌと長さの差Ｌだけ差があり得る。つまり、レーザビームＢが入射される方向と垂直な方向を基準として、第４サブ光学部Ｏ４は、第４接合面Ｓａｂ４の幅は長さの差Ｌと同一であってもよい。

【0132】

長さの差Ｌおよび第４接合面Ｓａｂ４の幅は、第４サブ光学部Ｏ４の全体長さの約０．３％以上約０．６％以下であり得る。例えば、第４サブ光学部Ｏ４の全体長さが約２２００ｍｍである場合、長さの差Ｌおよび第４接合面Ｓａｂ４の幅は、約１０ｍｍであり得る。

【0133】

前述した全ての長さはレーザビームＢが入射される方向と垂直な方向に測定した長さである。

【0134】

また、光学部ＯＰの第４サブ光学部Ｏ４の第４接合面Ｓａｂ４は、レーザビームＢの入射方向と第４角度θ４をなすことができ、レーザビームＢの入射方向と平行な方向を基準として、第４接合面Ｓａｂ４で第４サブ光学部Ｏ４の第７部分Ｏ４ａの第１幅Ｗａと第４サブ光学部Ｏ４の第８部分Ｏ４ｂの第２幅Ｗｂは、互いに同一であってもよい。

【0135】

これと類似して、光学部ＯＰの第５サブ光学部Ｏ５は、第５接合面Ｓａｂ５で互いに接合される第９部分Ｏ５ａと第１０部分Ｏ５ｂを含み、第５サブ光学部Ｏ５の第９部分Ｏ５ａの第１面の第９長さＬ０５および第５サブ光学部Ｏ５の第１０部分Ｏ５ｂの第１面の第１０長さＬ１５は、第５サブ光学部Ｏ５の第９部分Ｏ５ａの第２面の第９長さＬ０５－Ｌおよび第５サブ光学部Ｏ５の第１０部分Ｏ５ｂの第２面の第１０長さＬ１５＋Ｌと長さの差Ｌだけ差があり得る。つまり、レーザビームＢが入射される方向と垂直な方向を基準として、第５サブ光学部Ｏ５は、第５接合面Ｓａｂ５の幅は長さの差Ｌと同一であってもよい。

【0136】

長さの差Ｌおよび第５接合面Ｓａｂ５の幅は、第５サブ光学部Ｏ５の全体長さの約０．３％以上約０．６％以下であり得る。例えば、第５サブ光学部Ｏ５の全体長さが約２２００ｍｍである場合、長さの差Ｌおよび第５接合面Ｓａｂ５の幅は、約１０ｍｍであり得る。

【0137】

前述した全ての長さは、レーザビームＢが入射される方向と垂直な方向に測定した長さである。

【0138】

光学部ＯＰの第５サブ光学部Ｏ５の第５接合面Ｓａｂ５は、レーザビームＢの入射方向と第５角度θ５をなすことができ、レーザビームＢの入射方向と平行な方向を基準として、第５接合面Ｓａｂ５で第５サブ光学部Ｏ５の第９部分Ｏ５ａの第１幅Ｗａと第５サブ光学部Ｏ５の第１０部分Ｏ５ｂの第２幅Ｗｂは、互いに同一であってもよい。

【0139】

【0140】

【0141】

光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１の第１部分Ｏ１ａと第２部分Ｏ１ｂは、オプティカルコンタクト接合または溶接を通じて互いに接合され、光学部ＯＰの第２サブ光学部Ｏ２の第３部分Ｏ２ａと第４部分Ｏ２ｂは、オプティカルコンタクト接合または溶接を通じて互いに接合され、光学部ＯＰの第３サブ光学部Ｏ３の第５部分Ｏ３ａと第６部分Ｏ３ｂは、オプティカルコンタクト接合または溶接を通じて互いに接合され、光学部ＯＰの第４サブ光学部Ｏ４の第７部分Ｏ４ａと第８部分Ｏ４ｂは、オプティカルコンタクト接合または溶接を通じて互いに接合され、光学部ＯＰの第５サブ光学部Ｏ５の第９部分Ｏ５ａと第１０部分Ｏ５ｂは、オプティカルコンタクト接合または溶接を通じて互いに接合され得る。

【0142】

【0143】

【0144】

図９および図１０に示した実施形態によれば、一実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部は、５個のサブ光学部Ｏ１、Ｏ２、Ｏ３、Ｏ４、Ｏ５を含むものと説明したが、これに限定されず、複数のサブ光学部の数は変化可能である。

【0145】

以下、図９および図１０と共に図１１を参照して、一実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部を通過したレーザビームの強度変化について説明する。図１１は一実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部を通過したレーザビームの強度変化を概念的に示したグラフである。

【0146】

図９および図１０と共に図１１を参照すると、レーザビームＢが光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１、第２サブ光学部Ｏ２、第３サブ光学部Ｏ３、第４サブ光学部Ｏ４、第５サブ光学部Ｏ５を通過しながら、レーザビームＢの強度ＢＬは、光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１の第１接合面Ｓａｂ１、光学部ＯＰの第２サブ光学部Ｏ２の第２接合面Ｓａｂ２、光学部ＯＰの第３サブ光学部Ｏ３の第３接合面Ｓａｂ３、光学部ＯＰの第４サブ光学部Ｏ４の第４接合面Ｓａｂ４、光学部ＯＰの第５サブ光学部Ｏ５の第５接合面Ｓａｂ５で減少し得る。

【0147】

先に図９および図１０を参照して説明したように、本実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部ＯＰに入射されるレーザビームＢの入射方向と平行な方向を基準として、光学部ＯＰの第１サブ光学部Ｏ１の第１接合面Ｓａｂ１、光学部ＯＰの第２サブ光学部Ｏ２の第２接合面Ｓａｂ２、光学部ＯＰの第３サブ光学部Ｏ３の第３接合面Ｓａｂ３、光学部ＯＰの第４サブ光学部Ｏ４の第４接合面Ｓａｂ４、光学部ＯＰの第５サブ光学部Ｏ５の第５接合面Ｓａｂ５は、互いに一列配置されず、互いにずれるように配置されるため、レーザビームＢの強度ＢＬが変化する第１接合面Ｓａｂ１、第２接合面Ｓａｂ２、第３接合面Ｓａｂ３、第４接合面Ｓａｂ４、第５接合面Ｓａｂ５が互いに重ならない。

【0148】

【0149】

以下、図１２を参照して、他の一実施形態によるレーザ結晶化装置について説明する。図１２は他の一実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部の一例を示した図面である。

【0150】

前述したように、本実施形態によるレーザ結晶化装置は、複数の光学部ＯＰ１、Ｍ、ＯＰ２、Ｗ１、Ｗ２を含み、レーザ結晶化装置の複数の光学部ＯＰ１、Ｍ、ＯＰ２、Ｗ１、Ｗ２のうちの少なくとも一つは、図１２に示した光学部ＯＰの構造を有することができる。
図１２を参照すると、本実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部ＯＰは、互いに離隔されている複数のサブ光学部Ｏ１、Ｏ２、Ｏ３、Ｏ４、Ｏ５を含むことができる。

【0151】

【0152】

【0153】

【0154】

【0155】

図１２に示した実施形態によれば、一実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部は、５個のサブ光学部Ｏ１、Ｏ２、Ｏ３、Ｏ４、Ｏ５を含むものと説明したが、これに限定されず、複数のサブ光学部の数は変化可能である。

【0156】

前述した実施形態によるレーザ結晶化装置らの光学部の多くの特徴は、本実施形態によるレーザ結晶化装置の光学部に全て適用可能である。

【0157】

前述したように、一実施形態によるレーザ結晶化装置は、複数の光学部を含み、複数の光学部のうちの少なくとも一つは、互いに接合された第１部分および第２部分を含み、複数の光学部のうちの少なくとも一つは、互いに接合された第１部分および第２部分を含む複数のサブ光学部を含むことができ、複数のサブ光学部は、互いに接合されたり互いに離隔されたりし得る。また、複数のサブ光学部の接合面は、レーザビームの入射方向と平行な方向に沿って一列配置されず、互いにずれるように配置され得る。したがって、レーザ結晶化装置の製造費用を増加させずに、大きいサイズを有する光学部を含むレーザ結晶化装置を形成することができ、レーザビームの均一度減少を低減させることができる。

【0158】

以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されず、特許請求の範囲で定義している本発明の基本概念を利用した当業者の多様な変形および改良形態も本発明の権利範囲に属する。

【符号の説明】

【0159】

Ｂ：レーザビーム
ＯＰ１、ＯＰ２：レンズ
Ｍ：ミラー
Ｗ１、Ｗ２：ウィンドウ
ＯＰ：光学部
Ｓａｂ１、Ｓａｂ２、Ｓａｂ３、Ｓａｂ４、Ｓａｂ５：接合面
Ｏ１、Ｏ２、Ｏ３、Ｏ４、Ｏ５：サブ光学部

【図1】