特開 2022-106198 加圧装置及び加圧力の調整方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022106198

(43)【公開日】2022-07-19

(54)【発明の名称】加圧装置及び加圧力の調整方法

(51)【国際特許分類】

   H05K 3/46 20060101AFI20220711BHJP

【ＦＩ】

H05K3/46 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】15

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021001041

(22)【出願日】2021-01-06

(71)【出願人】

【識別番号】000003296

【氏名又は名称】デンカ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100128381

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 義憲

(74)【代理人】

【識別番号】100185591

【弁理士】

【氏名又は名称】中塚 岳

(74)【代理人】

【識別番号】100133307

【弁理士】

【氏名又は名称】西本 博之

(72)【発明者】

【氏名】湯浅 晃正

(72)【発明者】

【氏名】中村 貴裕

(72)【発明者】

【氏名】江嶋 善幸

(72)【発明者】

【氏名】五十嵐 厚樹

【テーマコード（参考）】

5E316

【Ｆターム（参考）】

5E316AA02

5E316AA12

5E316CC02

5E316DD02

5E316EE01

5E316GG28

5E316HH40

(57)【要約】

【課題】対象物に対して適切な加圧力を付与し易くなる加圧装置及び加圧力の調整方法を提供することを目的とする。
【解決手段】積層体Ｂを加圧して保持する加圧治具１Ａであって、積層体Ｂが載置されるベースプレート２と、ベースプレート２に対向して配置され、ベースプレート２との間で積層体Ｂを挟持するカバープレート３と、カバープレート３上に配置された複数のコイルスプリング４１、４２と、複数のコイルスプリング４１、４２上に配置された加圧プレート５と、加圧プレート５を介して弾性部４Ａを圧縮して積層体Ｂを加圧する加圧構造６と、を備え、複数のコイルスプリング４１、４２の少なくとも一部は、カバープレート３と加圧プレート５との間で、直列に配置されると共に、圧縮方向に沿った同一直線Ｌａ上に配置されている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

対象物を加圧して保持する加圧装置であって、
前記対象物が載置される土台部と、
前記土台部に対向して配置され、前記土台部との間で前記対象物を挟持するカバー部と、
前記カバー部上に配置された複数の圧縮バネと、
前記複数の圧縮バネ上に配置された加圧部と、
前記加圧部を介して前記複数の圧縮バネを圧縮して前記対象物を加圧する加圧構造と、を備え、
前記複数の圧縮バネの少なくとも一部は、前記カバー部と前記加圧部との間で、直列に配置されると共に、圧縮方向に沿った同一直線上に配置されている、加圧装置。

【請求項2】

前記カバー部と前記加圧部との間に配置された中間部を更に備え、
前記複数の圧縮バネは、前記カバー部と前記中間部との間に配置された第１の圧縮バネ群と、前記中間部と前記加圧部との間に配置されると共に、前記第１の圧縮バネ群に対して直列に配置された第２の圧縮バネ群と、に分けられ、
前記第１の圧縮バネ群に属する少なくとも一部の前記圧縮バネは、前記第２の圧縮バネ群の前記圧縮バネに対して前記同一直線上に配置されている、請求項１記載の加圧装置。

【請求項3】

前記第１の圧縮バネ群に属する前記複数の圧縮バネの数に対し、前記第２の圧縮バネ群に属する前記複数の圧縮バネの数の比率は、６０％以上で、且つ１００％以下である請求項２記載の加圧装置。

【請求項4】

前記同一直線上に配置されている前記複数の圧縮バネのバネ定数は同じである、請求項１～３のいずれか一項記載の加圧装置。

【請求項5】

前記同一直線上に配置されている前記複数の圧縮バネのバネ定数は異なる、請求項１～３のいずれか一項項記載の加圧装置。

【請求項6】

前記圧縮バネを位置決めする位置決め部を更に備えている、請求項１～５のいずれか一項記載の加圧装置。

【請求項7】

前記位置決め部は、前記カバー部、前記加圧部の少なくとも一に設けられ、前記圧縮バネの少なくとも一部を収容する溝部である請求項６記載の加圧装置。

【請求項8】

前記圧縮バネはコイルスプリングであり、
前記位置決め部は、前記コイルスプリングに挿通された支柱部である、請求項６記載の加圧装置。

【請求項9】

前記同一直線上に配置されている前記複数の圧縮バネは、互いに当接されている、請求項１記載の加圧装置。

【請求項10】

前記加圧構造は、前記土台部から立設され、前記カバー部及び前記加圧部を貫通する複数の支柱部と、前記支柱部の軸方向に移動自在に挿通され、且つ前記支柱部の軸方向の所定位置で固定されると共に、前記加圧部に干渉して前記加圧部を保持する複数の係止部とを備えており、
前記複数の支柱部は、前記カバー部の周縁に沿って配置されると共に、前記第１の圧縮バネ群に属する複数の前記圧縮バネを囲むように配置されている、請求項２または３記載の加圧装置。

【請求項11】

前記第１の圧縮バネ群に属する前記複数の圧縮バネのうち、前記複数の支柱部それぞれに最も近い複数の前記圧縮バネは、前記第２の圧縮バネ群に属する前記複数の圧縮バネに対して前記同一直線上に配置されている、請求項１０記載の加圧装置。

【請求項12】

前記第１の圧縮バネ群に属する前記複数の圧縮バネのうち、前記複数の支柱部それぞれに最も近い前記複数の圧縮バネ以外の前記圧縮バネは、前記第２の圧縮バネ群に属する前記複数の圧縮バネに対して前記同一直線上に配置されている、請求項１０または１１記載の加圧装置。

【請求項13】

圧縮バネを介して対象物を加圧して保持する加圧装置において、前記対象物に付与する加圧力を調整する方法であって、
複数の前記圧縮バネを直列に配置すると共に、圧縮方向に沿った同一直線上に配置して前記加圧力を調整する、加圧力の調整方法。

【請求項14】

バネ定数が同じ前記複数の圧縮バネを前記同一直線上に配置する、請求項１３記載の加圧力の調整方法。

【請求項15】

バネ定数が異なる前記複数の圧縮バネを前記同一直線上に配置する、請求項１３記載の加圧力の調整方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、積層体などの対象物を加圧して保持する加圧装置及び加圧力の調整方法に関する。

【背景技術】

【0002】

回路基板等に使用される積層体等の対象物を、加圧した状態で保持する加圧装置が知られている。この種の加圧装置では、加圧する積層体を上下の板材で挟み、更に、上方の板材をコイルスプリングで押圧することで対象物を保持している（特許文献１、２、３参照）。加圧装置は、例えば、加熱炉に供給されて対象物の接合等が行われる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１０－２３８９９号公報

【特許文献2】特開２０１２－２００７３０号公報

【特許文献3】特開２０１３－７１８８０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、従来の加圧装置において、加圧力を調整する必要性については何ら考慮されておらず、特に、過度の加圧力、あるいは不十分な加圧力の付与によって対象物に与える影響などについては、考慮されていなかった。

【0005】

本発明は、以上の課題を解決することを目的としており、対象物に対して適切な加圧力を付与し易くなる加圧装置及び加圧力の調整方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明者らは、加圧装置にて保持された対象物を加熱炉に供給して加熱接合する際、加熱炉内の雰囲気に依存して適切な加圧状態が異なるとの知見を得て本発明に想到した。つまり、本発明は、対象物を加圧して保持する加圧装置であって、対象物が載置される土台部と、土台部に対向して配置され、土台部との間で前記対象物を挟持するカバー部と、カバー部上に配置された複数の圧縮バネと、複数の圧縮バネ上に配置された加圧部と、加圧部を介して複数の圧縮バネを圧縮して対象物を加圧する加圧構造と、を備え、複数の圧縮バネの少なくとも一部は、カバー部と加圧部との間で、直列に配置されると共に、圧縮方向に沿った同一直線上に配置されている。

【0007】

圧縮バネはバネ定数を有するが、本発明では、複数の圧縮バネを直列に配置しており、単一の圧縮バネを配置する態様に比べ、圧縮バネ全体としてのバネ定数を抑え易く、更に複数の圧縮バネは圧縮方向に沿った同一直線上に配置されているので適切な加圧力を付与し易くなる。

【0008】

上記の加圧装置において、カバー部と加圧部との間に配置された中間部を更に備え、複数の圧縮バネは、カバー部と中間部との間に配置された第１の圧縮バネ群と、中間部と加圧部との間に配置されると共に、第１の圧縮バネ群に対して直列に配置された第２の圧縮バネ群と、に分けられ、第１の圧縮バネ群に属する少なくとも一部の圧縮バネは、第２の圧縮バネ群の圧縮バネに対して、圧縮方向に沿った同一直線上に配置されていてもよい。中間部を設ける事で、複数の圧縮バネを圧縮方向に沿った同一直線上に配置し易くなり、また、同一直線上の複数の圧縮バネが干渉して破損してしまうのを抑制できる。

【0009】

上記の加圧装置において、第１の圧縮バネ群に属する複数の圧縮バネの数に対し、第２の圧縮バネ群に属する複数の圧縮バネの数の比率は、６０％以上で、且つ１００％以下であってもよい。第２の圧縮バネ群の圧縮バネの数が少なくとも第１の圧縮バネ群の圧縮バネの数の６０％以上にすることで、適切な加圧力を付与するための調整を行い易くなる。

【0010】

上記の加圧装置において、圧縮方向に沿った同一直線上に配置されている複数の圧縮バネのバネ定数は同じであってもよい。複数の圧縮バネのバネ定数を同じにすることで扱い易くなり、加圧力の調整を行い易くなる。

【0011】

上記の加圧装置において、圧縮方向に沿った同一直線上に配置されている複数の圧縮バネのバネ定数は異なっていてもよい。バネ定数が異なる複数の圧縮バネを使用することで、加圧力の複雑な調整にも対応し易くなる。

【0012】

上記の加圧装置において圧縮バネを位置決めする位置決め部を備えていてもよい。複数の圧縮バネがずれ難くなり、対象物を安定して加圧するのに有利になる。

【0013】

上記の位置決め部は、カバー部及び加圧部の少なくとも一方に設けられ、圧縮バネの少なくとも一部を収容する溝部であってもよい。溝部内に圧縮バネを収容させることで、圧縮バネのずれを効果的に抑制できる。

【0014】

上記の加圧装置において、圧縮バネはコイルスプリングであり、位置決め部は、コイルスプリングに挿通された支柱部であってもよい。直列に配置されたコイルスプリングを支柱部に挿通することにより、コイルスプリングは安定して位置決めされ、更に、支柱部に案内されながら圧縮されるので、適切な加圧力の付与に有利になる。

【0015】

上記の加圧装置において、圧縮方向に沿った同一直線上に配置されている複数の圧縮バネは、互いに当接されていてもよい。圧縮方向に沿った同一直線上に配置されている複数の圧縮バネを互いに当接させることで、簡素な構造を実現し易くなる。

【0016】

上記の加圧装置において、加圧構造は、土台部から立設され、カバー部及び加圧部を貫通する複数の支柱部と、支柱部の軸方向に移動自在に挿通され、且つ支柱部の軸方向の所定位置で固定されると共に、加圧部に干渉して加圧部を保持する複数の係止部とを備えており、複数の支柱部は、カバー部の周縁に沿って配置されると共に、第１の圧縮バネ群に属する複数の圧縮バネを囲むように配置されていてもよい。係止部は、支柱部の軸方向の所定位置で保持されることで、この位置で加圧部を安定的に保持でき、対象物に対して適切な加圧力を付与するのに有利になる。また、複数の支柱部は、カバー部の周縁に沿って配置されると共に、第１の圧縮バネ群に属する複数の圧縮バネを囲むように配置されているので、第１の圧縮バネ群に属する圧縮バネの圧縮に偏りが少なくなる。

【0017】

上記の加圧装置において、第１の圧縮バネ群に属する複数の圧縮バネのうち、複数の支柱部それぞれに最も近い複数の圧縮バネは、第２の圧縮バネ群に属する複数の圧縮バネに対して、圧縮方向に沿った同一直線上に配置されていてもよい。支柱部に近い圧縮バネは、遠い圧縮バネに比べ、加圧部からより強い力を受け易い。上記構成によれば、第１の圧縮バネ群において支柱部に近い圧縮バネは、第２の圧縮バネ群の圧縮バネに対して圧縮方向に沿った同一直線上に並ぶことになり、より強い力を加圧部から受けて対象物を加圧し易くなる。

【0018】

上記の加圧装置において、第１の圧縮バネ群に属する複数の圧縮バネのうち、複数の支柱部それぞれに最も近い複数の圧縮バネ以外の圧縮バネは、第１の圧縮バネ群に属する複数の圧縮バネに対して同一直線上に配置されていてもよい。複数の支柱部から遠い方が、加圧部から受ける力が安定し均一になり易い。上記構成によれば、第１の圧縮バネ群において支柱部に近い圧縮バネ以外の圧縮バネは、第２の圧縮バネ群の圧縮バネに対して圧縮方向に沿った同一直線上に並ぶことになり、より安定した力を加圧部から受けて対象物を適切に加圧し易くなる。

【0019】

また、本発明は、圧縮バネを介して対象物を加圧して保持する加圧装置において、対象物に付与する加圧力を調整する方法であって、複数の圧縮バネを直列に配置すると共に、圧縮方向に沿った同一直線上に配置して加圧力を調整する、加圧力の調整方法である。

【0020】

本発明に係る加圧力の調整方法によれば、複数の圧縮バネを直列に配置すると共に、圧縮方向に沿った同一直線上に配置して加圧力を調整することで、単一の圧縮バネを配置する態様に比べ、弾性部としてのバネ定数を抑えることができ、更に複数の圧縮バネが縦に並ぶように圧縮方向に沿った同一直線上に配置することで適切な加圧力を付与し易くなる。

【0021】

上記の加圧力の調整方法において、バネ定数が同じ複数の圧縮バネを同一直線上に配置してもよい。複数の圧縮バネのバネ定数が同じであれば、簡素な構造にて加圧力の調整を行い易くなる。

【0022】

上記の加圧力の調整方法において、バネ定数が異なる複数の圧縮バネを同一直線上に配置してもよい。複数の圧縮バネのバネ定数が異なっていれば、加圧力の複雑な調整を行い易くなる。

【発明の効果】

【0023】

本発明によれば、対象物に対して適切な加圧力を付与し易くなる。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】第１の実施形態に係る加圧治具の側断面図である。

【図2】第２の実施形態に係る加圧治具の側断面図である。

【図3】第３の実施形態に係る加圧治具の側断面図である。

【図4】第４の実施形態に係る加圧治具の側断面図である。

【図5】図４のＶ－Ｖ線に沿った断面図である。

【図6】他の実施形態に係る加圧治具の側断面図であり、（ａ）の図は第５の実施形態に係る側断面図であり、（ｂ）の図は第６の実施形態に係る側断面図であり、（ｃ）の図は第７の実施形態に係る側断面図である。

【図7】他の実施形態に係る加圧治具の側断面図であり、（ａ）の図は第８の実施形態に係る側断面図であり、（ｂ）の図は第９の実施形態に係る側断面図であり、（ｃ）の図は第１０の実施形態に係る側断面図である。

【図8】他の実施形態に係る加圧治具の側断面図であり、（ａ）の図は第１１の実施形態に係る側断面図であり、（ｂ）の図は第１２の実施形態に係る側断面図であり、（ｃ）の図は第１３の実施形態に係る側断面図である。

【図9】他の実施形態に係る加圧治具の側断面図であり、（ａ）の図は第１４の実施形態に係る側断面図であり、（ｂ）の図は第１５の実施形態に係る側断面図であり、（ｃ）の図は第１６の実施形態に係る側断面図である。

【図10】他の実施形態に係る加圧治具の側断面図であり、（ａ）の図は第１７の実施形態に係る側断面図であり、（ｂ）の図は第１８の実施形態に係る側断面図であり、（ｃ）の図は第１９の実施形態に係る側断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0025】

以下、図面を参照しつつ本発明の実施形態について詳細に説明する。

【0026】

まず、図１を参照して、第１の実施形態に係る加圧治具１Ａ（加圧装置の一例）について説明する。加圧治具１Ａは、半導体の基板等に使用される積層体Ｂを加圧保持した状態で加熱炉内に導入される。加熱炉内において、積層体Ｂは加熱され、ろう付けにより接合される。本実施形態において積層体Ｂは、加圧治具１Ａが加圧して保持する対象物の一例である。

【0027】

本実施形態では、複数の基板ユニットＢａがスペーサＳを挟んで積層されており、基板ユニットＢａと加圧治具１Ａとの間にもスペーサＳが配置されている。また、接合前の状態において、基板ユニットＢａは、セラミック板ｂ２を一対の銅板ｂ１で挟んで形成された積層体構造になっている。本実施形態に係る積層体Ｂは、スペーサＳ及び複数の基板ユニットＢａによって形成される。本実施形態に係る積層体Ｂは平面視で矩形であるが、他の形状であってもよい。スペーサＳは、基板ユニットＢａ同士の接合及び基板ユニットＢａと加圧治具１Ａとの接合を阻止できればよく、本実施形態ではカーボンスペーサを利用している。

【0028】

加圧治具１Ａは、積層体Ｂが載置される板状のベースプレート２（土台部の一例）と、ベースプレート２に対向して配置されたカバープレート３（カバー部の一例）とを備えている。カバープレート３は、ベースプレート２との間で積層体Ｂを挟持する。また、加圧治具１Ａは、カバープレート３上に配置された複数の弾性部４Ａと、弾性部４Ａ上に配置された加圧プレート５（加圧部の一例）とを備えている。また、加圧治具１Ａは、加圧プレート５によって弾性部４Ａを圧縮して積層体Ｂを加圧する加圧構造６を有する。

【0029】

ベースプレート２は、例えば矩形状であり、平面視で積層体Ｂからはみ出た領域、つまり積層体Ｂに重なっていない張出領域２ａを有する。ベースプレート２の張出領域２ａには、積層体Ｂを囲むように複数の支柱８が立設されている。支柱８は、例えば、矩形のベースプレート２の各角部に設けられていたり、積層体Ｂの縁に沿うように等間隔に並んで配置されていたりしてもよい。支柱８の上部には、ナット６１（締結部）が螺合するための雄ネジ部６２が設けられている。

【0030】

カバープレート３は、例えば矩形状であり、平面視で積層体Ｂからはみ出た領域、つまり、平面視でベースプレート２の張出領域２ａに重なる張出領域３ａを有する。カバープレート３の張出領域３ａには、支柱８が挿通する複数の中間ガイド孔３１が形成されている。支柱８は、中間ガイド孔３１に挿通されることでカバープレート３を貫通している。カバープレート３は、中間ガイド孔３１に挿通された支柱８に案内されながら、支柱８の軸方向Ｌ、つまり上下方向に移動可能である。

【0031】

カバープレート３は、一方の表面（以下、「下面３ｂ」と称する）と他方の表面（以下、「上面３ｃ」と称する）とを有する。下面３ｂは平坦面であり、積層体Ｂに当接する。上面３ｃには、弾性部４Ａが配置されている。

【0032】

加圧プレート５は、例えば矩形状であり、平面視で積層体Ｂからはみ出た領域、つまり、平面視でカバープレート３の張出領域３ａに重なる張出領域５ａを有する。加圧プレート５の張出領域５ａには、支柱８が挿通する複数の上部ガイド孔５１が形成されている。支柱８は、上部ガイド孔５１に挿通されることで加圧プレート５を貫通している。加圧プレート５は、上部ガイド孔５１に挿通された支柱８に案内されながら、支柱８の軸方向Ｌ、つまり上下方向に移動可能である。

【0033】

加圧プレート５は、一方の表面（以下、「下面５ｂ」と称する）と他方の表面（以下、「上面５ｃ」と称する）とを有する。下面５ｂは弾性部４Ａに直接的、あるいは間接的に当接する。上面５ｃはナット６１に直接的、あるいは間接的に当接する。

【0034】

加圧構造６は、上記の複数の支柱８（支柱部の一例）と、支柱８の軸方向Ｌに移動自在に挿通され、且つ支柱８の軸方向Ｌの所定位置で固定される複数のナット６１（係止部の一例）とを備えている。支柱８の上部には雄ネジ部６２が設けられており、雄ネジ部６２の一部分は、加圧プレート５の上部ガイド孔５１を貫通して上方に突出している。ナット６１は、加圧プレート５の上方に突出している雄ネジ部６２の一部分に螺合する。

【0035】

ナット６１を雄ネジ部６２に螺合して締結していくと、ナット６１の下面は加圧プレート５の上面５ｃに直接的または間接的に当接して干渉する。ナット６１は螺合により、所定位置まで進行（降下）し、所定位置で螺合を停止することで実質的に固定される。加圧プレート５は、ナット６１による干渉を受けて下方へ押し下げられ、所定位置にて保持される。加圧プレート５の下方には弾性部４Ａが配置されており、弾性部４Ａは、加圧プレート５からの加圧力を受けて圧縮される。弾性部４Ａの下方にはカバープレート３が配置されており、更にカバープレート３の下方には、積層体Ｂを挟持するようにベースプレート２が配置されている。カバープレート３は、弾性部４Ａの反発力を受けて下方の積層体Ｂを加圧し、ベースプレート２との間で積層体Ｂを保持している。

【0036】

加圧治具１Ａにおいて、積層体Ｂを保持する際に適切な加圧力を付与することは非常に重要である。例えば、加圧治具１Ａにて保持された積層体Ｂを加熱炉に供給して加熱接合する際、加熱炉内の雰囲気に依存して適切な加圧状態が異なる。この適切な加圧状態から外れた状態、例えば、不十分な加圧力や過度な加圧力を付与した状態で加熱炉に供給して加熱接合等が行われると、接合品質を低下させるおそれがある。そこで、本実施形態では、適切な加圧力を付与するために弾性部４Ａの形態に工夫を施している。以下、弾性部４Ａについて詳しく説明する。

【0037】

加圧治具１Ａは、複数の弾性部４Ａを備え、弾性部４Ａは、下段のコイルスプリング４１（圧縮バネの一例）と上段のコイルスプリング４２（圧縮バネの一例）を備えている。下段のコイルスプリング４１はカバープレート３上に載置され、上段のコイルスプリング４２は、下段のコイルスプリング４１上に重なるように配置され、更に上段のコイルスプリング４２の上端は、加圧プレート５の下面５ｂに当接している。下段のコイルスプリング４１と上段のコイルスプリング４２とは、支柱８に挿入されており、支柱８の軸方向Ｌに沿って圧縮され、加圧が解かれると復元する。つまり、下段のコイルスプリング４１と上段のコイルスプリング４２とは、コイルスプリング４１、４２の圧縮方向に沿った仮想の同一直線Ｌａ上に配置されている。なお、本実施形態では、支柱８の軸方向Ｌと同一直線Ｌａとは一致している。

【0038】

下段のコイルスプリング４１と上段のコイルスプリング４２とは、カバープレート３とベースプレート２との間で直列に配置されている。なお、本実施形態では、上下二段（複数）のコイルスプリング４１、４２が一組となって一つの弾性部４Ａを形成するが、３個以上のコイルスプリング（圧縮バネ）が直列に配置されて一つの弾性部を形成するようにしてもよい。また、本実施形態に係る弾性部４Ａは、複数形成されているが、単一の弾性部であってもよい。

【0039】

次に、下段のコイルスプリング４１と上段のコイルスプリング４２とが「直列に配置されている」という技術的意義について説明する。例えば、下段のコイルスプリング４１のバネ定数をｋ１とし、上段のコイルスプリング４２のバネ定数をｋ２とし、下段のコイルスプリング４１と上段のコイルスプリング４２との合成バネ定数をｋ３とする。そして、下段のコイルスプリング４１と上段のコイルスプリング４２とが「直列に配置されている」とは、実質的に以下の式（１）の関係が成立する配置関係を意図する。

【0040】

１／ｋ３＝（１／ｋ１）＋（１／ｋ２） （１）

【0041】

例えば、本実施形態においては、一つの弾性部４Ａを形成する下段のコイルスプリング４１と上段のコイルスプリング４２は上記式（１）の関係が成立するので、直列に配置されているということができる。また、例えば、複数の下段のコイルスプリング４１をまとめて一つの下段圧縮バネ群４０Ａとして把握し、複数の上段のコイルスプリング４２をまとめて一つの上段圧縮バネ群４０Ｂとして把握することもできる。この場合に、下段圧縮バネ群４０Ａのバネ定数をｋ１とし、上段圧縮バネ群４０Ｂのバネ定数をｋ２とし、両者の合成バネ定数をｋ３とすると、上記式（１）の関係を満たすので、下段圧縮バネ群４０Ａと上段圧縮バネ群４０Ｂとは直列に配置されていると説明することもできる。なお、隣り合う弾性部４Ａ同士は並列に配置されており、直列に配置されているとは言えない。

【0042】

本実施形態に係る加圧治具１Ａの弾性部４Ａは、直列に配置された複数のコイルスプリング４１、４２を備えている。各コイルスプリング４１、４２はバネ定数を有するが、複数のコイルスプリング４１、４２を直列に配置することで、単一の圧縮バネを配置する態様に比べ、弾性部４Ａとしてのバネ定数を抑えることができる。その結果、適切な加圧力を付与し易くなる。

【0043】

また、本実施形態に係る加圧治具１Ａは、直列に配置された複数のコイルスプリング４１、４２を位置決めする位置決め部として支柱８を備えている。支柱８で位置決めすることにより、複数のコイルスプリング４１、４２は、ずれ難くなり、積層体Ｂを安定して加圧するのに有利になる。更にコイルスプリング４１、４２は支柱８に案内されながら圧縮されるので、適切な加圧力の付与に有利になる。

【0044】

次に、積層体Ｂに付与する加圧力を調整する方法について説明する。上述の通り、加圧治具１Ａは弾性部４Ａを備えている。弾性部４Ａは下段のコイルスプリング４１を備えているが、弾性部４Ａの加圧力を調整するために、バネ定数が異なる単体の別のコイルスプリングに置き換えるのではなく、下段のコイルスプリング４１の上に上段のコイルスプリング４２を直列に配置するようにする。その結果、弾性部４Ａのバネ定数を、下段のコイルスプリング４１のバネ定数ｋ１から、合成バネ定数「ｋ３＝１／（１／ｋ１＋１／ｋ２）」に変更して積層体Ｂに付与する加圧力を調整することができる。なお、本実施形態では、下段のコイルスプリング４１と上段のコイルスプリング４２とは実質的に同一のコイルスプリングであり、バネ定数も同一であるが、下段のコイルスプリング４１と上段のコイルスプリング４２とを異なる材料あるいは異なるバネ定数にして、調整することも可能である。

【0045】

上記の加圧力の調整方法によれば、複数のコイルスプリング４１、４２を直列に配置することで、単一の圧縮バネを配置する態様に比べ、弾性部４Ａとしてのバネ定数を抑えることができる。その結果、適切な加圧力を付与し易くなる。

【0046】

次に、図２を参照し、第２の実施形態に係る加圧治具１Ｂを説明する。本実施形態に係る加圧治具１Ｂは、第１の実施形態に係る加圧治具１Ａと同様の構造や要素を備えている。以下の説明では、相違点を中心に説明し、共通の構造や要素については、同じ符号を付して詳細な説明は省略する。

【0047】

本実施形態に係る加圧治具１Ｂは、ベースプレート２（土台部の一例）と、ベースプレート２に対向して配置されたカバープレート３（カバー部の一例）と、カバープレート３上に配置された複数の弾性部４Ｂと、弾性部４Ｂ上に配置された加圧プレート５（加圧部）とを備えている。また、加圧治具１Ｂは、加圧プレート５によって弾性部４Ｂを圧縮して積層体Ｂを加圧する加圧構造６を有する。一つの弾性部４Ｂは、上下に直列に配置された一組の下段のコイルスプリング４１と上段のコイルスプリング４２とによって形成されている。また、一組の下段のコイルスプリング４１と上段のコイルスプリング４２とは、コイルスプリング４１、４２の圧縮方向に沿った仮想の同一直線Ｌａ上に配置されている。

【0048】

カバープレート３の上面３ｃには、下段のコイルスプリング４１の個数に対応した複数の溝部３２が設けられている。また、加圧プレート５の下面５ｂには、上段のコイルスプリング４２の個数に対応した複数の溝部５２が設けられている。複数の溝部３２と複数の溝部５２とは平面視で重なるように、互いが対面する位置に設けられている。カバープレート３の溝部３２には、下段のコイルスプリング４１の下部の一部分が収容され、加圧プレート５の溝部５２には、上段のコイルスプリング４２の上部の一部分が収容されている。

【0049】

溝部３２は、下段のコイルスプリング４１の外周形状に倣った形状（平面視で円形）を有し、下段のコイルスプリング４１の位置決め部として機能する。また、溝部５２は、上段のコイルスプリング４２の外周形状に倣った形状（平面視で円形）を有し、上段のコイルスプリング４２の位置決め部として機能する。なお、溝部３２内に、下段のコイルスプリング４１が挿通される軸部（支柱部）を設けたり、溝部５２内に、上段のコイルスプリング４２が挿通される軸部（支柱部）を設けたりしてもよい。

【0050】

次に、図３を参照し、第３の実施形態に係る加圧治具１Ｃを説明する。本実施形態に係る加圧治具１Ｃは、第１、第２の実施形態に係る加圧治具１Ａ、１Ｂと同様の構造や要素を備えている。以下の説明では、相違点を中心に説明し、共通の構造や要素については、同じ符号を付して詳細な説明は省略する。

【0051】

本実施形態に係る加圧治具１Ｃは、ベースプレート２（土台部の一例）と、ベースプレート２に対向して配置されたカバープレート３（カバー部の一例）と、カバープレート３上に配置された複数の弾性部４Ｃと、弾性部４Ｃ上に配置された加圧プレート５（加圧部）とを備えている。また、加圧治具１Ｃは、加圧プレート５によって弾性部４Ｃを圧縮して積層体Ｂを加圧する加圧構造６を有する。また、加圧治具１Ｂは、ベースプレート２とカバープレート３との間に、中間プレート７（中間部の一例）を備えている。弾性部４Ｃは、中間プレート７を介して上下に直列に配置された複数の下段のコイルスプリング４１と複数の上段のコイルスプリング４２とによって形成されている。

【0052】

複数の下段のコイルスプリング４１は、下段圧縮バネ群４０Ａ（第１の圧縮バネ群）であり、複数の上段のコイルスプリング４２は、上段圧縮バネ群４０Ｂ（第２の圧縮バネ群）である。下段圧縮バネ群４０Ａに属する少なくとも一部のコイルスプリング４１は、上段圧縮バネ群４０Ｂのコイルスプリング４２に対して同一直線Ｌａ上に配置されている。なお、本実施形態では、下段圧縮バネ群４０Ａの全てのコイルスプリング４１が上段圧縮バネ群４０Ｂのコイルスプリング４２に対して同一直線Ｌａ上に配置されている。

【0053】

中間プレート７は、例えば矩形状であり、平面視で積層体Ｂからはみ出た領域、つまり、平面視でカバープレート３の張出領域３ａや加圧プレート５の張出領域５ａに重なる張出領域７ａを有する。中間プレート７の張出領域７ａには、支柱８が挿通する複数の中間ガイド孔７１が形成されている。支柱８は、中間ガイド孔７１に挿通されることで中間プレート７を貫通している。中間プレート７は、中間ガイド孔７１に挿通された支柱８に案内されながら、支柱８の軸方向Ｌ、つまり上下方向に移動可能である。

【0054】

中間プレート７は、一方の表面（以下、「下面７ｂ」と称する）と他方の表面（以下、「上面７ｃ」と称する）とを有する。下面７ｂは下段のコイルスプリング４１の上端に直接的または間接的に当接し、上面７ｃは上段のコイルスプリング４２の下端に直接的または間接的に当接する。

【0055】

本実施形態では、下段のコイルスプリング４１と上段のコイルスプリング４２とは直接的には当接していないが、中間プレート７を介して複数の下段のコイルスプリング４１と複数の上段のコイルスプリング４２とが直列に配置されている。例えば、複数の下段のコイルスプリング４１が属する下段圧縮バネ群４０Ａを単体の圧縮バネとして把握し、複数の上段のコイルスプリング４２が属する上段圧縮バネ群４０Ｂを単体の圧縮バネとして把握することができる。そして、下段圧縮バネ群４０Ａのバネ定数をｋ１とし、上段圧縮バネ群４０Ｂのバネ定数をｋ２とし、両者の合成バネ定数をｋ３とすると、上記式（１）の関係を満たすので、下段圧縮バネ群４０Ａと上段圧縮バネ群４０Ｂとは直列に配置されていると説明することができる。

【0056】

次に、図４を参照し、第４の実施形態に係る加圧治具１Ｄを説明する。本実施形態に係る加圧治具１Ｄは、第１～第３の実施形態に係る加圧治具１Ａ～１Ｃと同様の構造や要素を備えている。以下の説明では、相違点を中心に説明し、共通の構造や要素については、同じ符号を付して詳細な説明は省略する。

【0057】

加圧治具１Ｄは、第３の実施形態に係る加圧治具１Ｃと同様に中間プレート７（中間部の一例）を備えている。カバープレート３と中間プレート７との間に配置された複数の下段のコイルスプリング４１は、下段圧縮バネ群４０Ａ（第１の圧縮バネ群）である。また、中間プレート７と加圧プレート５との間に配置された複数の上段のコイルスプリング４２は、上段圧縮バネ群４０Ｂ（第２の圧縮バネ群）である。上段圧縮バネ群４０Ｂは下段圧縮バネ群４０Ａに対して直列に配置されている。下段圧縮バネ群４０Ａに属する少なくとも一部のコイルスプリング４１は、上段圧縮バネ群４０Ｂのコイルスプリング４２に対して同一直線Ｌａ上に配置されている。なお、本実施形態では、下段圧縮バネ群４０Ａの全てのコイルスプリング４１が上段圧縮バネ群４０Ｂのコイルスプリング４２に対して同一直線Ｌａ上に配置されている。

【0058】

図５に示されるように、本実施形態に係る加圧治具１Ｄは、下段圧縮バネ群４０Ａに属する複数のコイルスプリング４１の数は９個であり、上段圧縮バネ群４０Ｂに属する複数のコイルスプリング４２の数は、同数の９個である。つまり、下段圧縮バネ群４０Ａに属する複数のコイルスプリング４１の数に対し、上段圧縮バネ群４０Ｂに属する複数のコイルスプリング４２の数の比率は１００％である。

【0059】

ここで、下段圧縮バネ群４０Ａに属する複数のコイルスプリング４１の数に対し、上段圧縮バネ群４０Ｂに属する複数のコイルスプリング４２の数の比率は１００％（同数）に限定されず、１００％以下で、且つ６０％以上にすることができ、また、８０％以上にすると好ましく、９０％以上にすると更に好ましい。

【0060】

また、本実施形態に係る加圧治具１Ｄでは、四本（複数）の支柱８が設けられており、複数の支柱８は、カバープレート３の周縁に沿って配置されている。例えば、本実施形態では、カバープレート３は平面視で矩形であり、四本の支柱８は、カバープレート３の四隅（角部）に配置されている。なお、支柱８はカバープレート３の角部ではなく、カバープレート３の辺の部分に沿って配置されていても良い。

【0061】

また、複数の支柱８は、下段圧縮バネ群４０Ａに属する複数のコイルスプリング４１を囲むように配置されている。具体的には、平面視で複数の支柱８の中心を通る円を描くことができる場合には、その円を仮定し、その円の内側に全てのコイルスプリング４１が配置されている。または、複数の支柱８を直線で結んで形成される領域（本実施形態では四角の領域）を仮定し、その領域内に全てのコイルスプリング４１が配置されている。

【0062】

また、上述の通り、本実施形態に係る加圧治具１Ｄは、下段圧縮バネ群４０Ａに属する９個（複数）のコイルスプリング４１を備え、９個のコイルスプリング４１は、四本（複数）の支柱８に囲まれている。９個のコイルスプリング４１は、三行、三列に並び、角に配置された４個のコイルスプリング４１は、四本の支柱８のそれぞれから最も近い位置に配置されている。この４個のコイルスプリング４１は、上段圧縮バネ群４０Ｂに属するコイルスプリング４２に対し、コイルスプリング４１の圧縮方向に沿った同一直線Ｌａ上に配置されている。

【0063】

加圧プレート５は、コイルスプリング４１及びコイルスプリング４２を圧縮した状態で、支柱８に螺合するナット６１（係止部の一例）に当接し、所定位置に保持されている。その結果、加圧プレート５は、支柱８に近いほど、コイルスプリング４１及びコイルスプリング４２に付与する力は大きくなる。一方で、加圧プレート５は、支柱８から離れると僅かな撓みを生じる可能性もあって相対的にコイルスプリング４１及びコイルスプリング４２に付与する力は小さくなる。つまり、支柱８に近いコイルスプリング４１及びコイルスプリング４２は、支柱８から遠いコイルスプリング４１及びコイルスプリング４２に比べて加圧プレート５から、より強い力を受け易い。そして、本実施形態では、下段圧縮バネ群４０Ａのコイルスプリング４１のうち、少なくとも支柱８に最も近い４個のコイルスプリング４１は、上段圧縮バネ群４０Ｂに属するコイルスプリング４２に対し、圧縮方向に沿った同一直線Ｌａ上に配置されているので、より強い力を加圧プレート５から受けて積層体Ｂを加圧し易くなる。

【0064】

一方で、加圧プレート５は、支柱８に近い位置に比べ、支柱８から離れた位置の方がコイルスプリング４１、コイルスプリング４２に付与する力が安定し、均一になり易い。そして、本実施形態では、下段圧縮バネ群４０Ａのコイルスプリング４１のうち、支柱８に最も近い４個のコイルスプリング４１以外のコイルスプリング４１も、上段圧縮バネ群４０Ｂに属するコイルスプリング４２に対し、圧縮方向に沿った同一直線Ｌａ上に配置されている。その結果、コイルスプリング４１及びコイルスプリング４２は、安定した力を加圧プレート５から受けることができ、積層体Ｂを適切に加圧し易くなる。

【0065】

なお、本実施形態において、例えば、支柱８に最も近い４個のコイルスプリング４１以外のコイルスプリング４１は、上段圧縮バネ群４０Ｂのコイルスプリング４２に対し、圧縮方向に沿った同一直線Ｌａからずらして配置することも可能である。また、例えば、支柱８に最も近い４個のコイルスプリング４１を上段圧縮バネ群４０Ｂのコイルスプリング４２に対し、圧縮方向に沿った同一直線Ｌａからずらして配置し、支柱８に最も近い４個のコイルスプリング４１以外のコイルスプリング４１を、上段圧縮バネ群４０Ｂのコイルスプリング４２に対し、圧縮方向に沿った同一直線Ｌａ上に配置することも可能である。

【0066】

図４に示されるように、本実施形態に係る加圧治具１Ｄの中間プレート７の下面７ｂには、下段のコイルスプリング４１の上部の一部分が収容される溝部７２が設けられている。中間プレート７の上面７ｃには、上段のコイルスプリング４２の下部の一部分が収容される溝部７３が設けられている。溝部７２は、下段のコイルスプリング４１の外周形状に倣った形状（平面視で円形）を有し、下段のコイルスプリング４１の位置決め部として機能する。また、溝部７３は、上段のコイルスプリング４２の外周形状に倣った形状（平面視で円形）を有し、上段のコイルスプリング４２の位置決め部として機能する。なお、溝部７２内に、下段のコイルスプリング４１が挿通される軸部（支柱部）を設けたり、溝部７３内に、上段のコイルスプリング４２が挿通される軸部（支柱部）を設けたりしてもよい。

【0067】

また、カバープレート３の上面３ｃには、下段のコイルスプリング４１の下部の一部分を収容する溝部３２が設けられている。また、加圧プレート５の下面５ｂには、上段のコイルスプリング４２の上部の一部分を収容する溝部５２が設けられている。つまり、下段のコイルスプリング４１は、下部がカバープレート３の溝部３２に収容され、上部が中間プレート７の溝部７２に収容されて位置決めされている。また、上段のコイルスプリング４２は、下部が中間プレート７の溝部７３に収容され、上部が加圧プレート５の溝部５２に収容されて位置決めされている。

【0068】

次に、図６を参照し、第５、第６及び第７の実施形態に係る加圧治具１Ｅ、１Ｆ、１Ｇを説明する。第５、第６及び第７の実施形態に係る加圧治具１Ｅ、１Ｆ、１Ｇは、他の実施形態と同様の構造や要素を備えている。特に、加圧治具１Ｅ、１Ｆ、１Ｇは、中間プレート７及び中間プレート７に設けられた溝部７２、７３を備えているので、第４の実施形態に係る加圧治具１Ｄと比較しながら、相違点を中心に説明し、共通の構造や要素については、同じ符号を付して詳細な説明は省略する。

【0069】

加圧治具１Ｅ（図６の（ａ）図参照）、加圧治具１Ｆ（図６の（ｂ）図参照）、および加圧治具１Ｇ（図６の（ｃ）図参照）は、下段圧縮バネ群４０Ａに属する下段の複数のコイルスプリング４１と、上段圧縮バネ群４０Ｂに属する上段の複数のコイルスプリング４２とを備えている。下段圧縮バネ群４０Ａと上段圧縮バネ群４０Ｂとは直列に配置されている。

【0070】

加圧治具１Ｅでは、支柱８に最も近い複数の下段のコイルスプリング４１は、中間プレート７を介し、上段のコイルスプリング４２に対して圧縮方向に沿った同一直線Ｌａ上に並ぶように配置されている。また、加圧治具１Ｅでは、支柱８に最も近い複数の下段のコイルスプリング４１以外の下段のコイルスプリング４１に対して、同一直線Ｌａ上となる位置のコイルスプリング４２は省略されている。

【0071】

加圧治具１Ｆでは、支柱８に最も近い複数の下段のコイルスプリング４１以外のコイルスプリング４１（中央のコイルスプリング４１）は、中間プレート７を介し、上段のコイルスプリング４２に対して圧縮方向に沿った同一直線Ｌａ上に並ぶように配置されている。また、加圧治具１Ｆでは、支柱８に最も近い複数の下段のコイルスプリング４１に対して、同一直線Ｌａ上となる位置の上段のコイルスプリング４２は省略されている。

【0072】

加圧治具１Ｇでは、支柱８に最も近い複数の下段のコイルスプリング４１は、中間プレート７を介し、上段のコイルスプリング４２に対して圧縮方向に沿った同一直線Ｌａ上に並ぶように配置されている。また、中間プレート７には、逃げ孔７４が形成されている。支柱８に最も近い複数の下段のコイルスプリング４１以外の下段のコイルスプリング４１（中央のコイルスプリング４１）は、逃げ孔７４を通り、上段のコイルスプリング４２に直接当接している。

【0073】

次に、図７を参照し、第８、第９及び第１０の実施形態に係る加圧治具１Ｈ、１Ｉ及び１Ｊを説明する。加圧治具１Ｈ～１Ｊは、他の実施形態と同様の構造や要素を備えており、他の実施形態との相違点を中心に説明し、共通の構造や要素については、同じ符号を付して詳細な説明は省略する。

【0074】

加圧治具１Ｈ（図７の（ａ）図参照）、加圧治具１Ｉ（図７の（ｂ）図参照）、及び加圧治具１Ｊ（図７の（ｃ）図参照）は、下段圧縮バネ群４０Ａに属する下段の複数のコイルスプリング４１と、上段圧縮バネ群４０Ｂに属する上段の複数のコイルスプリング４２とを備えている。加圧治具１Ｈ～１Ｊは、カバープレート３と加圧プレート５との間に配置された中間プレート７Ｘ（中間部の一例）を備えている。加圧治具１Ｈ～１Ｊの下段圧縮バネ群４０Ａと上段圧縮バネ群４０Ｂとは、中間プレート７Ｘを介して直列に配置されている。

【0075】

中間プレート７Ｘは、支柱８を避けるような形状及び寸法にて形成されており、実質的に、複数の下段のコイルスプリング４１と複数の下段のコイルスプリング４２とに挟まれた状態で保持されている。

【0076】

加圧治具１Ｈ（図７（ａ）図参照）では、支柱８に最も近い複数の下段のコイルスプリング４１は、中間プレート７を介し、上段のコイルスプリング４２に対して圧縮方向に沿った同一直線Ｌａ上に並ぶように配置されている。また、加圧治具１Ｈでは、支柱８に最も近い複数の下段のコイルスプリング４１以外の下段のコイルスプリング４１（中央のコイルスプリング４１）は、中間プレート７を介し、上段のコイルスプリング４２に対して圧縮方向に沿った同一直線Ｌａ上に並ぶように配置されている。

【0077】

加圧治具１Ｉ（図７（ｂ）図参照）では、支柱８に最も近い複数の下段のコイルスプリング４１は、中間プレート７を介し、上段のコイルスプリング４２に対して圧縮方向に沿った同一直線Ｌａ上に並ぶように配置されている。また、加圧治具１Ｉでは、支柱８に最も近い複数の下段のコイルスプリング４１以外の下段のコイルスプリング４１に対して、同一直線Ｌａ上となる位置のコイルスプリング４２は省略されている。

【0078】

加圧治具１Ｊ（図７（ｃ）図参照）では、支柱８に最も近い複数の下段のコイルスプリング４１以外のコイルスプリング４１（中央のコイルスプリング４１）は、中間プレート７を介し、上段のコイルスプリング４２に対して圧縮方向に沿った同一直線Ｌａ上に並ぶように配置されている。また、加圧治具１Ｊでは、支柱８に最も近い複数の下段のコイルスプリング４１に対して、同一直線Ｌａ上となる位置の上段のコイルスプリング４２は省略されている。

【0079】

次に、図８、図９、図１０を参照し、第１１～第１９の実施形態に係る加圧治具１Ｋ～１Ｓを説明する。加圧治具１Ｋ～１Ｓは、他の実施形態と同様の構造や要素を備えており、他の実施形態との相違点を中心に説明し、共通の構造や要素については、同じ符号を付して詳細な説明は省略する。

【0080】

第１１の実施形態に係る加圧治具１Ｋ（図８の（ａ）図参照）は第１の実施形態に係る加圧治具１Ａの変形例である。第１２の実施形態に係る加圧治具１Ｌ（図８の（ｂ）図参照）は第２の実施形態に係る加圧治具１Ｂの変形例である。第１３の実施形態に係る加圧治具１Ｍ（図８の（ｃ）図参照）は第３の実施形態に係る加圧治具１Ｃの変形例である。第１４の実施形態に係る加圧治具１Ｎ（図９の（ａ）図参照）は第４の実施形態に係る加圧治具１Ｄの変形例である。第１５の実施形態に係る加圧治具１Ｏ（図９の（ｂ）図参照）は第５の実施形態に係る加圧治具１Ｅの変形例である。第１６の実施形態に係る加圧治具１Ｐ（図９の（ｃ）図参照）は第６の実施形態に係る加圧治具１Ｆの変形例である。第１７の実施形態に係る加圧治具１Ｑ（図１０の（ａ）図参照）は第８の実施形態に係る加圧治具１Ｈの変形例である。第１８の実施形態に係る加圧治具１Ｒ（図１０の（ｂ）図参照）は第９の実施形態に係る加圧治具１Ｉの変形例である。第１９の実施形態に係る加圧治具１Ｓ（図１０の（ｃ）図参照）は第１０の実施形態に係る加圧治具１Ｊの変形例である。

【0081】

先に説明した第１～第１０の実施形態に係る加圧治具１Ａ～１Ｊは、下段のコイルスプリング４１のバネ定数と上段のコイルスプリング４２のバネ定数とが同じであった。これらに対し、第１１～第１９の実施形態に係る加圧治具１Ｋ～１Ｓは、下段のコイルスプリング４１のバネ定数と上段のコイルスプリング４２のバネ定数とが異なっている。具体的には、上段のコイルスプリング４２の巻き数が下段のコイルスプリング４１の巻き数よりも少なく、上段のコイルスプリング４２のバネ定数が下段のコイルスプリング４１のバネ定数よりも大きくなっている。

【0082】

上記の各実施形態に係る加圧治具１Ａ～１Ｓは、複数のコイルスプリング４１、４２を備えている。複数のコイルスプリング４１、４２は、カバープレート３と加圧プレート５との間で、直列に配置されると共に、圧縮方向に沿った同一直線Ｌａ上に配置されている。各コイルスプリング４１、４２はバネ定数を有するが、複数のコイルスプリング４１、４２を直列に配置することで、単一の圧縮バネを配置する態様に比べ、コイルスプリング４１及びコイルスプリング４２の全体としてのバネ定数を抑え易くなる。更にコイルスプリング４１とコイルスプリング４２とが圧縮方向に沿った同一直線Ｌａ上に配置され、縦に並ぶように配置されているので適切な加圧力を付与し易くなる。

【0083】

また、第３、第４、第５～第１０、第１３～第１９の実施形態に係る加圧治具１Ｃ、１Ｄ、１Ｅ～１Ｊ、１Ｍ～１Ｓは、中間プレート７，７Ｘを備えており、下段のコイルスプリング４１と上段のコイルスプリング４２とを圧縮方向に沿った同一直線Ｌａ上に配置し易くなり、また、中間プレート７、７Ｘを介在させるので、同一直線Ｌａ上のコイルスプリング４１と上段のコイルスプリング４２とが干渉して破損してしまうのを抑制できる。

【0084】

また、各実施形態に係る加圧治具１Ａ～１Ｓは、下段圧縮バネ群４０Ａに属する複数のコイルスプリング４１の数に対し、上段圧縮バネ群４０Ｂに属する複数のコイルスプリング４２の比率は、６０％以上で、且つ１００％以下である。その結果、適切な加圧力を付与するための調整を行い易くなる。

【0085】

また、第１～第１０の実施形態に係る加圧治具１Ａ～１Ｊは、下段のコイルスプリング４１のバネ定数と上段のコイルスプリング４２のバネ定数とが同じである。これらの実施形態によれば、弾性部４Ａ～４Ｊとしての合成バネ定数を把握し易くなって扱い易くなり、加圧力の調整を行い易くなる。

【0086】

また、第１１～第１９の実施形態に係る加圧治具１Ｋ～１Ｓは、下段のコイルスプリング４１のバネ定数と上段のコイルスプリング４２のバネ定数とが異なる。これらの実施形態によれば、所望の加圧力を得るためにバネ定数の微妙な調整を実現でき、加圧力の複雑な調整にも対応し易くなる。

【0087】

また、上記の各実施形態に係る加圧治具１Ａ～１Ｓは、各コイルスプリング４１、４２の位置決め部として機能する支柱８や溝部３２、５２、７２、７３を備えている。その結果、直列に配置された複数のコイルスプリング４１、４２は位置決め部の作用によってずれ難なり、積層体Ｂを安定して加圧するのに有利になる。特に、位置決め部として溝部３２、５２、７２、７３を備えた実施形態では、溝部３２、５２、７２、７３内に各コイルスプリング４１、４２を収容させることで、コイルスプリング４１、４２のずれを効果的に抑制できる。また、位置決め部として支柱８を備えた実施形態では、コイルスプリング４１、４２を支柱８に挿通することにより、コイルスプリング４１、４２は安定して位置決めされ、更に、支柱８に案内されながら圧縮されるので、適切な加圧力の付与に有利になる。

【0088】

また、第１、第２、第１１、及び第１２の実施形態に係る加圧治具１Ａ、１Ｂ、１Ｋ、１Ｌでは、直列に配置された複数のコイルスプリング４１、４２は、圧縮方向に沿った同一直線Ｌａ上に並び、且つ互いに当接しているので、簡素な構造を実現し易くなる。

【0089】

また、各実施形態に係る加圧治具１Ａ～１Ｓの加圧構造６は、カバープレート３、加圧プレート５、及び中間プレート７を貫通する複数の支柱８（支柱部）と、支柱８の雄ネジ部６２に螺合する複数のナット６１（係止部）とを備えている。複数の支柱８は、カバープレート３の周縁に沿って配置されると共に、下段圧縮バネ群４０Ａに属する複数のコイルスプリング４１を囲むように配置されている。ナット６１は、支柱８の軸方向Ｌの所定位置で保持されることで、この位置で加圧プレート５を安定的に保持でき、積層体Ｂに対して適切な加圧力を付与するのに有利になる。また、複数の支柱８は、カバープレート３の周縁に沿って配置されると共に、下段圧縮バネ群４０Ａに属する複数のコイルスプリング４１を囲むように配置されているので、下段圧縮バネ群４０Ａに属するコイルスプリング４１の圧縮に偏りが少なくなる。

【0090】

また、第４、第５、第７、第８、第９、第１４、第１５、第１７、第１８の実施形態に係る加圧治具１Ｄ、１Ｅ、１Ｇ、１Ｈ，１Ｉ、１Ｎ、１Ｏ、１Ｑ，１Ｒによれば、下段圧縮バネ群４０Ａにおいて支柱８に近いコイルスプリング４１は、上段圧縮バネ群４０Ｂのコイルスプリング４２に対して圧縮方向に沿った同一直線Ｌａ上に並ぶことになり、より強い力を加圧プレート５から受けて積層体Ｂを加圧し易くなる。

【0091】

また、第４、第６、第８、第１０、第１４、第１６、第１７、第１９の実施形態に係る加圧治具１Ｄ、１Ｆ、１Ｈ、１Ｊ、１Ｎ、１Ｐ、１Ｑ、１Ｓによれば、下段圧縮バネ群４０Ａにおいて支柱８に近いコイルスプリング４１以外のコイルスプリング４１は、上段圧縮バネ群４０Ｂのコイルスプリング４２に対して圧縮方向に沿った同一直線Ｌａ上に並ぶことになり、より安定した力を加圧プレート５部から受けて積層体Ｂを適切に加圧し易くなる。

【0092】

また、上記の各実施形態に係る加圧治具１Ａ～１Ｓを用いることで、下段のコイルスプリング４１と上段のコイルスプリング４２とを直列に配置して積層体Ｂに付与する加圧力を調整する調整方法を実施できる。この加圧力の調整方法によれば、単一の圧縮バネを配置する態様に比べ、弾性部４Ａ～４Ｓとしてのバネ定数を抑えることができる。その結果、適切な加圧力を付与し易くなる。

【0093】

また、この加圧力の調整方法において、バネ定数が同じである下段のコイルスプリング４１と上段のコイルスプリング４２とを用いるようにすれば、簡素な構造にて加圧力の調整を行い易くなる。

【0094】

また、この加圧力の調整方法において、バネ定数が異なる下段のコイルスプリング４１と上段のコイルスプリング４２とを用いるようにすれば、加圧力の複雑な調整を行い易くなる。

【0095】

以上、各実施形態に係る加圧治具に基づいて加圧装置を説明したが、本発明は、これらの実施形態のみには限定されない。例えば、弾性部を形成する複数の圧縮バネはコイルスプリングに限定されず、スプリングワッシャや板バネであってもよく、また、断面が蛇腹状に蛇行している形状のバネ（例えばＺバネ）などであってもよい。

【0096】

また、加圧構造としてはボルトやナットに限定されず、例えば、支柱に係止され、その位置で加圧部に干渉して加圧部を留めておく爪構造やラチェット構造などであってもよい。

【0097】

また、対象物としては半導体の基板等に使用される積層体に限定されず、例えば、ヒートシンクとセラミック基板との接合物等であってもよい。

【符号の説明】

【0098】

１Ａ～１Ｓ…加圧治具（加圧装置）、２…ベースプレート（土台部）、３…カバープレート（カバー部）、４Ａ～４Ｓ…弾性部、５…加圧プレート、６…加圧構造、７，７Ｘ…中間プレート、８…支柱（支柱部、位置決め部）、３２，５２，７２，７３…（溝部、位置決め部）、４０Ａ…下段圧縮バネ群（圧縮バネ）、４０Ｂ…上段圧縮バネ群（圧縮バネ）、４１…下段のコイルスプリング（圧縮バネ）、４２…上段のコイルスプリング（圧縮バネ）、６１…ナット（係止部）、Ｂ…積層体、Ｌ…軸方向。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】