特開 2022-106199 加圧装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022106199

(43)【公開日】2022-07-19

(54)【発明の名称】加圧装置

(51)【国際特許分類】

   B25B 11/00 20060101AFI20220711BHJP

【ＦＩ】

B25B11/00 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021001042

(22)【出願日】2021-01-06

(71)【出願人】

【識別番号】000003296

【氏名又は名称】デンカ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100128381

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 義憲

(74)【代理人】

【識別番号】100185591

【弁理士】

【氏名又は名称】中塚 岳

(74)【代理人】

【識別番号】100133307

【弁理士】

【氏名又は名称】西本 博之

(72)【発明者】

【氏名】湯浅 晃正

(72)【発明者】

【氏名】中村 貴裕

(72)【発明者】

【氏名】江嶋 善幸

(72)【発明者】

【氏名】五十嵐 厚樹

(72)【発明者】

【氏名】橘 正晴

(72)【発明者】

【氏名】松村 和

【テーマコード（参考）】

3C020

【Ｆターム（参考）】

3C020XX07

(57)【要約】

【課題】連続炉で積層体を加熱するのに有効な加圧装置を提供することを目的とする。
【解決手段】積層体Ｂを加圧した状態で保持する加圧治具１であって、積層体Ｂが載置されるベースプレート２と、ベースプレート２に対向して配置され、ベースプレート２との間で積層体Ｂを挟持するカバープレート３と、カバープレート３上に配置されたスプリングワッシャ４と、スプリングワッシャ４上に配置された加圧プレート５によってスプリングワッシャ４を圧縮して積層体Ｂを加圧する加圧構造６と、を備え、ベースプレート２から加圧プレート５に至る高さ方向Ｄｈにおいて、非圧縮状態でのスプリングワッシャ４の高さＨは、ベースプレート２の高さ方向Ｄｈの厚みＴａとカバープレート３の高さ方向Ｄｈの厚みＴｂとの合計値よりも小さい。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

積層体を加圧保持した状態で連続炉内に導入される加圧装置であって、
前記積層体が載置される土台部と、
前記土台部に対向して配置され、前記土台部との間で前記積層体を挟持するカバー部と、
前記カバー部上に配置された弾性部と、
前記弾性部上に配置された加圧部によって前記弾性部を圧縮して前記積層体を加圧する加圧構造と、を備え、
前記土台部から前記加圧部に至る高さ方向において、非圧縮状態での前記弾性部の高さは、前記土台部の前記高さ方向の厚みと前記カバー部の前記高さ方向の厚みとの合計値よりも小さい、加圧装置。

【請求項2】

非圧縮状態での前記弾性部の高さは、前記カバー部の前記高さ方向の厚みよりも小さい、請求項１記載の加圧装置。

【請求項3】

前記弾性部は、スプリングワッシャである、請求項１または２記載の加圧装置。

【請求項4】

前記カバー部には、前記弾性部を収容して保持する座ぐりが形成されている、請求項１または２記載の加圧装置。

【請求項5】

前記弾性部は、前記カバー部上に、複数配置されている、請求項１または２記載の加圧装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、積層体を加圧保持した状態で連続炉内に導入される加圧装置に関する。

【背景技術】

【0002】

回路基板等に使用される積層体を加圧した状態で保持する加圧装置が知られている。この種の加圧装置では、積層体を上下の板材で挟持し、上方の板材にコイルスプリングを載置し、このコイルスプリングを圧縮することで積層体を挟持している（特許文献１、２、３参照）。加圧装置は、積層体を保持した状態のままバッチ式の加熱炉に導入され、積層体の接合が行われる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１０－２３８９９号公報

【特許文献2】特開２０１２－２００７３０号公報

【特許文献3】特開２０１３－７１８８０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述の通り、従来技術ではバッチ式の加熱炉を利用するので高さ方向の寸法に対する配慮の必要性は少ない。しかしながら、積層体を連続炉に導入して接合する場合には高さ方向の制限が厳しく、従って、従来の加圧装置では、積層体の積層数を減らすなどの工夫が必要となり、効率化を阻害して実質的に利用しにくい構造になっていた。

【0005】

本発明は、以上の課題を解決することを目的としており、連続炉で積層体を加熱するのに有効な加圧装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、積層体を加圧した状態で保持する加圧装置であって、積層体が載置される土台部と、土台部に対向して配置され、土台部との間で積層体を挟持するカバー部と、カバー部上に配置された弾性部と、弾性部上に配置された加圧部によって弾性部を圧縮して積層体を加圧する加圧構造と、を備え、土台部から加圧部に至る高さ方向において、非圧縮状態での弾性部の高さは、土台部の高さ方向の厚みとカバー部の高さ方向の厚みとの合計値よりも小さい。

【0007】

この加圧装置では、非圧縮状態での弾性部の高さは、土台部の高さ方向の厚みとカバー部の高さ方向の厚みとの合計値よりも小さい。従って、弾性部で積層体を加圧している圧縮状態において、加圧装置が連続炉に導入されたとしても、連続炉の高さ方向での制約を受け難い。その結果、連続炉で積層体を加熱するのに有効である。

【0008】

また、非圧縮状態での弾性部の高さは、カバー部の高さ方向の厚みよりも小さくてもよい。カバー部の厚みよりも、弾性部の高さが小さければ、加圧装置の高さ方向のコンパクト化に更に有利となる。

【0009】

また、弾性部は、スプリングワッシャであってもよい。複数巻きのコイルスプリングに比べ、スプリングワッシャであれば高さ方向の寸法を抑え易い。更に、スプリングワッシャであれば、圧縮状態で潰れて平坦になるので、積層体を安定的に加圧し、更に保持するのに有利になる。

【0010】

また、カバー部には、弾性部を収容して保持する座ぐりが形成されていてもよい。座ぐりによって、弾性部が定位置に保持され易くなり、積層体の適切な加圧を行えるので、弾性部のコンパクト化に起因した不具合を生じ難い。

【0011】

また、弾性部は、カバー部上に、複数配置されていてもよい。弾性部を複数配置することにより、積層体の加圧場所のバラツキを抑え易くなり、弾性部のコンパクト化に起因した不具合を生じ難い。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、連続炉で積層体を加熱するのに有効である。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本発明の実施形態に係る加圧治具の斜視図である。

【図2】実施形態に係る加圧治具を一部破断して示す平面図である。

【図3】実施形態に係る加圧治具を一部破断して示す正面図である。

【図4】実施形態に係る加圧治具を一部破断して示す側面図である。

【図5】図２のV－V線に沿った断面図である。

【図6】連続炉を模式的に示す説明図である。

【図7】積層体を連続炉に導入した場合の温度のばらつきを示すグラフである。

【図8】他の実施形態に係る加圧治具の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、図面を参照しつつ本発明の実施形態について詳細に説明する。

【0015】

まず、図１、図２、図３及び図４を参照して、実施形態に係る加圧治具１（加圧装置の一例）について説明する。加圧治具１は、半導体の基板等に使用される積層体Ｂを加圧保持した状態で窒素連続炉５０内に導入される。窒素連続炉５０内において、積層体Ｂは加熱され、ろう付けにより接合される。なお、窒素連続炉５０は連続炉の一例であり、連続炉は窒素連続炉に限定されず、他の連続炉であってもよく、積層体Ｂの種類や用途に応じて適宜に選択される。

【0016】

本実施形態では、複数の基板ユニットＢａがスペーサＳを挟んで積層されており、基板ユニットＢａと加圧治具１との間にもスペーサＳが配置されている。また、接合前の状態において、基板ユニットＢａは、セラミック板ｂ２を一対の銅板ｂ１で挟んで形成された積層体構造（図５参照）になっている。本実施形態に係る積層体Ｂは、スペーサＳ及び複数の基板ユニットＢａによって形成されるが、単体の基板ユニットＢａを加圧治具１によって保持する場合には、単体の基板ユニットＢａが積層体Ｂを形成することになる。本実施形態に係る積層体Ｂは平面視で矩形であるが、他の形状であってもよい。スペーサＳは、基板ユニットＢａ同士の接合及び基板ユニットＢａと加圧治具１との接合を阻止できればよく、本実施形態ではカーボンスペーサを利用している。

【0017】

加圧治具１は、積層体Ｂが載置される板状のベースプレート２（土台部）と、ベースプレート２に対向して配置されたカバープレート３（カバー部）とを備えている。カバープレート３は、ベースプレート２との間で積層体Ｂを挟持する。また、加圧治具１は、カバープレート３上に配置された複数のスプリングワッシャ４と、スプリングワッシャ４上に配置された加圧プレート５（加圧部）とを備えている。また、加圧治具１は、加圧プレート５によってスプリングワッシャ４を圧縮して積層体Ｂを加圧する加圧構造６を有する。

【0018】

ベースプレート２は例えば矩形状であり、平面視で積層体Ｂからはみ出た領域、つまり積層体Ｂに重なっていない張出領域２ａを有する。ベースプレート２の張出領域２ａには、ベースプレート２の短辺に沿うように二本の支柱８が立設されている。また、支柱８は、ベースプレート２の長手方向（左右方向）の両側で対向して配置されており、左右で対向する一対の支柱８同士の間に積層体Ｂが配置されている。支柱８の上部には、係止爪９が挿通される係合孔８ａが形成されている。

【0019】

カバープレート３は、積層体Ｂの形状に対応した矩形状であり、一方の表面３ａ（以下、「下面」と称する）と他方の表面３ｂ（以下、「上面」と称する）とを有する。下面３ａは平坦面であり、積層体Ｂに当接する。上面３ｂには、座ぐり３ｃが形成されており、座ぐり３ｃ内にはスプリングワッシャ４が収納されるように配置されている。座ぐり３ｃの深さは、例えば螺旋状のスプリングワッシャ４が圧縮されて平坦になった際に、スプリングワッシャ４の全体が収まる程度の寸法であると望ましい。座ぐり３ｃは、平面視でドーナツ状（環状）を呈し、平面視で環状のスプリングワッシャ４が収まり、スプリングワッシャ４の位置ずれを防止する。座ぐり３ｃは、スプリングワッシャ４の位置決め部として機能する。スプリングワッシャ４は弾性部の一例である。

【0020】

加圧プレート５は、平面視でベースプレート２の張出領域２ａに対向する余剰領域５ａを有する。余剰領域５ａには、支柱８が貫通する支柱貫通孔５ｂが形成されている。また、余剰領域５ａの上面には、支柱貫通孔５ｂを通るように収納溝５ｃが設けられている。収納溝５ｃには、係止爪９が収まる。

【0021】

加圧プレート５は、カバープレート３に重ねるように配置され、更に、スプリングワッシャ４に当接するように押し下げられる。加圧プレート５を押し下げる際、加圧プレート５の余剰領域５ａに設けられた支柱貫通孔５ｂには支柱８（支柱部）が通される。支柱８の上部は支柱貫通孔５ｂの上方に突き出る。支柱８の上部には、係合孔８ａが設けられており、係合孔８ａには係止爪９（係止部）が挿通される。係止爪９は、横方向から係合孔８ａを貫通すると共に、加圧プレート５のスプリングワッシャ４に当接する側の表面（下面）とは反対側の表面（上面）に当接して加圧プレート５を係止する。加圧プレート５の上面には、係止爪９の軌跡に沿うように収納溝５ｃが形成されており、係止爪９は収納溝５ｃに沿ってスライドする。

【0022】

係止爪９が加圧プレート５を係止すると、加圧プレート５は上方への移動を規制される。加圧プレート５の移動の規制により、スプリングワッシャ４の復元が阻止され、スプリングワッシャ４は圧縮状態で保持される。本実施形態に係る加圧構造６は、少なくとも加圧プレート５、支柱８、係合孔８ａ及び係止爪９を備えて構成されている。

【0023】

次に、ベースプレート２から加圧プレート５に至る高さ方向Ｄｈを基準にして、スプリングワッシャ４の高さと、ベースプレート２の厚みＴａ及びカバープレート３の厚みＴｂとの関係について、図５を参照しながら説明する。ベースプレート２の厚みＴａとは、上記の高さ方向Ｄｈにおける寸法を意味し、基本的には、ベースプレート２が積層体Ｂに重なる領域において、最も寸法の大きくなる厚みを意味する。なお、本実施形態では、ベースプレート２は平坦な板状であり、全ての部分で同じ厚みを有する。また、カバープレート３の厚みＴｂとは、上記の高さ方向Ｄｈにおける寸法を意味し、基本的には、カバープレート３が積層体Ｂに重なることを想定された領域において、最も寸法の大きくなる厚みを意味する。なお、本実施形態のカバープレート３には座ぐり３ｃが形成されており、カバープレート３の厚みＴｂは、座ぐり３ｃが形成されていない領域の寸法を意味する。

【0024】

スプリングワッシャ４は、例えば、インコネル７５０、インコネル７１８、窒化ケイ素、カーボンコンポジット等によって形成されている。スプリングワッシャ４は、カバープレート３に当接していない状態で非圧縮状態である。スプリングワッシャ４は、重なることなく螺旋状に巻かれ、且つ両端部４ａ、４ｂが離間している圧縮バネの一例である。より具体的に説明すると、スプリングワッシャ４はＣ字状の形状を呈し、両端部４ａ、４ｂは、互いに離間すると共に、螺旋状を仮定した場合の軸線方向（例えば上下方向）にずれている。ここで、カバープレート３の座ぐり３ｃ内で、座ぐり３ｃの底に当接している一方の端部を下端部４ａとし、反対側の他方の端部を上端部４ｂとする。そして、スプリングワッシャ４の高さとは、スプリングワッシャ４の下端部４ａと上端部４ｂとの高さ方向Ｄｈの高低差、つまり下端部４ａから上端部４ｂまでの高さ方向Ｄｈの距離を意味する。

【0025】

本実施形態では、スプリングワッシャ４の高さＨは、ベースプレート２の厚みＴａとカバープレート３の厚みＴｂとの合計値よりも小さい。更に本実施形態では、スプリングワッシャ４の高さＨは、ベースプレート２の厚みＴａよりも小さく、また、カバープレート３の厚みＴｂよりも小さい。更に、本実施形態では、座ぐり３ｃが形成されている部分の厚み（厚みが最も小さくなる部分）よりもスプリングワッシャ４の高さＨの方が小さくなっている。なお、スプリングワッシャ４の高さＨは、座ぐり３ｃが形成されている部分の厚みよりも大きく、且つ座ぐり３ｃを避けた部分の厚みよりも小さくすることも可能である。

【0026】

次に、図６を参照し、積層体Ｂの接合方法について説明する。本実施形態に係る積層体Ｂの接合方法は、例えば、治具積層工程Ｓ１、接合工程Ｓ２、及び治具離脱工程Ｓ３を備えている。本実施形態に係る積層体Ｂの接合方法は、バッチ式ではなく、連続式である。バッチ式とは、例えば、複数の積層体に対して治具積層工程を実施し、治具積層工程が完了した複数の積層体に対して接合工程を実施し、接合工程が完了した複数の積層体に対して治具離脱工程を実施するような方法である。これに対し、連続式とは、例えば、積層体Ｂごとに、治具積層工程Ｓ１から治具離脱工程Ｓ３までを連続して実施するような方法である。また、連続式を実施するシステム１００は、治具積層工程Ｓ１を実施する積層装置１１、接合工程Ｓ２を実施する接合装置１２、治具離脱工程Ｓ３を実施する離脱装置１３を備えている。また、このシステム１００は、積層体Ｂを保持する複数の加圧治具１を搬送し、治具積層工程Ｓ１、接合工程Ｓ２、及び治具離脱工程Ｓ３に連続的に導入する搬送部１４を備えている。

【0027】

治具積層工程Ｓ１では、積層体Ｂが加圧治具１に設置される。具体的には、治具積層工程Ｓ１では、ろう材の印刷が完了した接合前の積層体Ｂ（未接合積層体）が搬送部１４によって積層装置１１に供給される。積層装置１１は、未接合積層体Ｂを加圧治具１のベースプレート２上に載置し、未接合積層体Ｂ上にカバープレート３及びスプリングワッシャ４を設置し、カバープレート３及びスプリングワッシャ４上に加圧プレート５を設置する。加圧プレート５は、スプリングワッシャ４を圧縮するように押し下げられ、加圧構造６によって所定位置に保持される。加圧プレート５によって圧縮されたスプリングワッシャ４はカバープレート３を加圧し、カバープレート３を介して未接合積層体Ｂが加圧され、所定位置に保持される。

【0028】

接合工程Ｓ２では、窒素連続炉５０において未接合積層体Ｂの接合が行われる。具体的には、本実施形態の窒素連続炉５０は、窒素雰囲気を形成可能な室部５１、室部５１内に設けられた加熱部５２を備えている。搬送部１４は、未接合積層体Ｂを保持している加圧治具１を窒素連続炉５０の室部５１内に導入する。室部５１内では、積層体Ｂの温度を、積層体Ｂの接合が可能となる所定温度（接合温度）以上にまで上げ、更に適切な接合が可能となるように、所定時間（接合時間）だけ接合温度を維持する必要がある。

【0029】

例えば、本実施形態では、接合温度として８００℃以上にする必要があり、接合時間として６分以上が必要である。図７は、窒素連続炉５０内での経過時間と温度との関係を示しており、「０：００：００」は加熱のスタート時、つまり窒素連続炉５０の入口近傍を示し、「１：００：００」は加熱の終了時、つまり窒素連続炉５０の出口近傍を示している。また、符号Ｘは、窒素連続炉５０内の温度を測定した複数の結果（グラフ）を炉内温度群の結果として示している。図７の炉内温度群の結果Ｘによれば、複数の結果（グラフ）は概ね一致しており、ピーク温度は８７０℃程度である。また、符号Ｙは、窒素連続炉５０内で加熱される積層体Ｂの温度を測定した複数の結果（グラフ）を積層体温度群の結果として示している。図７の積層体温度群の結果Ｙによれば、複数の結果（グラフ）は、ピーク温度に多少のばらつきはあるものの、８００℃の温度状態を、少なくとも６分以上維持できていることを確認できる。

【0030】

治具離脱工程Ｓ３では、接合が完了した積層体Ｂに対する加圧治具１の加圧が解除され、積層体Ｂが加圧治具１から取り外される。離脱装置１３は、加圧治具１の加圧構造６による加圧プレート５の係止状態を解き、スプリングワッシャ４を復元させる。スプリングワッシャ４の復元により、積層体Ｂは、ベースプレート２及びカバープレート３から取り外し可能（剥離可能）な状態になり、離脱装置１３は積層体Ｂを加圧治具１から取り外し、次工程に搬送する。

【0031】

次に、図８を参照し、他の実施形態に係る加圧治具１Ａを説明する。加圧治具１Ａは、基本的に上述の実施形態に係る加圧治具１と共通する構造や要素を備えている。従って、以下の説明では、相違点を中心に説明し、共通する構造や要素については同一の符号を付して詳細な説明を省略する。

【0032】

カバープレート３は、弾性部としてスプリングワッシャ４に代えてコイルスプリング４Ａを使用している。コイルスプリング４Ａは複数の巻き数を有するので、スプリングワッシャ４に比べて弾性力は大きくなるが、スプリングワッシャ４に比べて高さ方向Ｄｈの寸法は大きくなり易い。コイルスプリング４Ａの高さＨは、ベースプレート２の厚みＴａ及びカバープレート３の厚みＴｂの合計値よりも小さい。なお、本実施形態に係るコイルスプリング４Ａの高さＨは、カバープレート３の厚みＴｂよりも小さいが、大きくすることもできる。

【0033】

カバープレート３には、コイルスプリング４Ａの一部を収容する座ぐり３ｃが形成されている。座ぐり３ｃの深さは、少なくともコイルスプリング４Ａの位置ズレを防止できる深さであるとよく、更に、圧縮状態でのコイルスプリング４Ａ全体が収まる深さであると望ましい。

【0034】

上述の通り、上記の各実施形態では、連続式の接合方法で使用される加圧治具１、１Ａを説明している。ここで、例えば、バッチ式の接合方法によって積層体Ｂを加熱する場合、炉内の温度条件を一定に保持するのは窒素連続炉５０に比べて容易であり、加圧装置の高さや寸法等に配慮する必要性は少ない。これに対し、窒素連続炉５０に加圧治具１、１Ａを導入する場合には、加圧治具１、１Ａの高さや寸法等に応じて室部５１を大きくすると、室部５１内の温度や環境を維持するための条件が厳しくなる。その結果、積層体Ｂの温度を接合温度以上とし、更に接合時間を維持するようにする制御や調整は、困難になり易い。

【0035】

しかしながら、上記の各実施形態に係る加圧治具１、１Ａには、好適に高さを抑える工夫が施されており、従って、窒素連続炉５０に導入して積層体Ｂを接合する場合の優位性が高い。具体的には、非圧縮状態でのスプリングワッシャ４やコイルスプリング４Ａの高さＨは、ベースプレート２の高さ方向Ｄｈの厚みＴａとカバープレート３の高さ方向Ｄｈの厚みＴｂとの合計値よりも小さい。従って、スプリングワッシャ４やコイルスプリング４Ａで積層体Ｂを加圧している圧縮状態において、加圧治具１Ａが窒素連続炉５０に導入されたとしても、窒素連続炉５０の高さ方向Ｄｈでの制約を受け難い。

【0036】

更に、本実施形態において、非圧縮状態でのスプリングワッシャ４やコイルスプリング４Ａの高さＨは、カバープレート３の高さ方向Ｄｈの厚みＴｂよりも小さいので、加圧治具１Ａの高さ方向Ｄｈのコンパクト化に更に有利となる。

【0037】

補足として、本実施形態では、ベースプレート２の厚みやカバープレート３の厚みの単体ではなく、両者の合計値あるいは一方と弾性部（スプリングワッシャ４やコイルスプリング４Ａ等）の高さＨとの関係性に着目することで、好適に加圧治具１Ａの高さを抑えており、その優位性は高く、単なる設計事項であるとは言えない。例えば、積層体Ｂを挟持するベースプレート２及びカバープレート３の機能は、スプリングワッシャ４やコイルスプリング４Ａの弾性機能とは本質的に異なる。従って、本来であれば、ベースプレート２及びカバープレート３の設計条件と、スプリングワッシャ４やコイルスプリング４Ａの設計条件とは本質的に異なる。しかしながら、本実施形態の如く、両者の相関性に着目することで、例えば、スプリングワッシャ４やコイルスプリング４Ａとして必要な最低限の弾性機能を実現しつつ、ベースプレート２の厚みＴａやカバープレート３の厚みＴｂをできるだけ小さくすることが可能になり、好適に加圧治具１Ａの高さを抑え易くなる。

【0038】

また、上記の実施形態に係る加圧治具１では、弾性部としてスプリングワッシャ４を使用しているので、他の実施形態に係る複数巻きのコイルスプリング４Ａに比べ、高さ方向Ｄｈの寸法を抑え易い。更に、スプリングワッシャ４であれば、圧縮状態で潰れて平坦になるので、積層体Ｂを安定的に加圧し、更に保持するのに有利になる。

【0039】

また、カバープレート３には、スプリングワッシャ４やコイルスプリング４Ａを収容して保持する座ぐり３ｃが形成されている。そして、この座ぐり３ｃによって、スプリングワッシャ４やコイルスプリング４Ａは定位置に保持され易くなり、積層体Ｂの適切な加圧を行える。したがって、弾性部のコンパクト化のために、例えば、スプリングワッシャ４等を使用したとしても、そのコンパクト化に起因した位置ズレ等の不具合を生じ難い。

【0040】

また、スプリングワッシャ４やコイルスプリング４Ａは、カバープレート３上に、複数配置されている。スプリングワッシャ４等を複数配置することにより、積層体Ｂの加圧場所のバラツキを抑え易くなる。したがって、弾性部のコンパクト化のために、例えば、スプリングワッシャ４等を使用したとしても、そのコンパクト化に起因した不均一あるいは不十分な加圧等の不具合を生じ難い。

【0041】

以上、各実施形態に基づいて、加圧装置を説明したが、本発明は、これらの実施形態のみには限定されない。例えば、上記の実施形態では、弾性部としてスプリングワッシャやコイルスプリングを例に説明したが、板バネその他の弾性機能を有する部材を広く使用することができる。

【符号の説明】

【0042】

１、１Ａ…加圧治具（加圧装置）、２…ベースプレート（土台部）、３…カバープレート（カバー部）、３ｃ…座ぐり、４…スプリングワッシャ（弾性部）、４Ａ…コイルスプリング（弾性部）、５…加圧プレート（加圧部）、６…加圧構造、Ｂ…積層体、Ｄｈ…高さ方向、Ｈ…非圧縮状態での前記弾性部の高さ、Ｔａ…ベースプレートの厚み、Ｔｂ…カバープレートの厚み。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】