特開 2022-107300 搬送装置および荷電粒子線装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022107300

(43)【公開日】2022-07-21

(54)【発明の名称】搬送装置および荷電粒子線装置

(51)【国際特許分類】

   H01J 37/20 20060101AFI20220713BHJP

【ＦＩ】

H01J37/20 B

H01J37/20 C

【審査請求】有

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021002166

(22)【出願日】2021-01-08

(71)【出願人】

【識別番号】000004271

【氏名又は名称】日本電子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100090387

【弁理士】

【氏名又は名称】布施 行夫

(74)【代理人】

【識別番号】100090398

【弁理士】

【氏名又は名称】大渕 美千栄

(74)【代理人】

【識別番号】100161540

【弁理士】

【氏名又は名称】吉田 良伸

(72)【発明者】

【氏名】湯浅 修一

【テーマコード（参考）】

5C001

【Ｆターム（参考）】

5C001AA02

5C001AA03

5C001AA07

5C001CC03

5C001DD02

(57)【要約】

【課題】試料ドリフトを低減できる搬送装置を提供する。
【解決手段】第２搬送装置１００は、荷電粒子線装置において、試料ホルダーにカートリッジを受け渡す搬送装置であって、カートリッジ６を着脱可能な取付け部１１２と、取付け部１１２を支持するシャフト部１０２と、シャフト部１０２と取付け部１１２とを接続する弾性部材１４０と、取付け部１１２を移動させる移動機構１５０と、を含む。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

荷電粒子線装置において、試料ホルダーにカートリッジを受け渡す搬送装置であって、
前記カートリッジを着脱可能な取付け部と、
前記取付け部を支持するシャフト部と、
前記シャフト部と前記取付け部とを接続する弾性部材と、
前記取付け部を移動させる移動機構と、
を含む、搬送装置。

【請求項2】

請求項１において、
前記取付け部が固定される軸部材と、
前記軸部材の直線運動をガイドする軸受けと、
を含み、
前記弾性部材は、前記軸部材に接続され、
前記軸受けは、前記シャフト部に固定されている、搬送装置。

【請求項3】

請求項２において、
前記カートリッジを前記取付け部に固定するチャック装置を含み、
前記チャック装置は、
前記カートリッジを固定するレバーと、
前記レバーに接続された操作シャフトと、
を含み、
前記操作シャフトが前記シャフト部の中心軸に沿って移動することによって、前記レバーが前記カートリッジを前記取付け部に固定する状態と、前記レバーが前記カートリッジを開放する状態と、を切り替える、搬送装置。

【請求項4】

請求項３において、
前記レバーが前記操作シャフトの第１部分に接触しているときに、前記レバーは、前記カートリッジを固定し、
前記レバーが前記操作シャフトの第２部分に接触しているときに、前記レバーは、前記カートリッジを開放し、
前記第１部分の前記中心軸に沿った長さおよび前記第２部分の前記中心軸に沿った長さは、前記弾性部材の最大弾性変形量よりも大きい、搬送装置。

【請求項5】

請求項１ないし４のいずれか１項に記載の搬送装置を含む、荷電粒子線装置。

【請求項6】

請求項５において、
試料ホルダーが配置される試料室と、
前記試料室に接続された試料交換室と、
を含み、
前記搬送装置は、前記試料室と前記試料交換室との間において、前記カートリッジを搬送する、荷電粒子線装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送装置および荷電粒子線装置に関する。

【背景技術】

【0002】

透過電子顕微鏡などの荷電粒子線装置において、試料を保持するカートリッジを試料室に搬送する搬送装置が知られている。

【0003】

例えば、特許文献１には、試料交換室と試料室との間において、カートリッジを搬送する搬送ロッドを備えた荷電粒子線装置が開示されている。搬送ロッドは、カートリッジを、試料室に配置された試料ホルダーの試料保持部に搬送する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１５－８８２３７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

搬送ロッドを用いて、カートリッジを試料ホルダーに受け渡す際には、試料ホルダーに力が加わる。これにより、試料ホルダーが変形し、試料にドリフトが発生してしまう場合がある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明に係る搬送装置の一態様は、
荷電粒子線装置において、試料ホルダーにカートリッジを受け渡す搬送装置であって、
前記カートリッジを着脱可能な取付け部と、
前記取付け部を支持するシャフト部と、
前記シャフト部と前記取付け部とを接続する弾性部材と、
前記取付け部を移動させる移動機構と、
を含む。

【0007】

このような搬送装置では、カートリッジを試料ホルダーに受け渡す際に、弾性部材が弾性変形することによって、試料ホルダーに加わる力を低減できる。これにより、試料のドリフトを低減できる。

【0008】

本発明に係る荷電粒子線装置の一態様は、
上記の試料ホルダーを含む。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】実施形態に係る搬送装置を含む電子顕微鏡の構成を示す図。

【図2】実施形態に係る搬送装置を含む電子顕微鏡の構成を示す図。

【図3】実施形態に係る搬送装置を模式的に示す平面図。

【図4】実施形態に係る搬送装置を模式的に示す平面図。

【図5】実施形態に係る搬送装置の動作を説明するための図。

【図6】実施形態に係る搬送装置の動作を説明するための図。

【図7】弾性部材の機能を説明するための図。

【図8】弾性部材の機能を説明するための図。

【図9】実施形態に係る電子顕微鏡の動作を説明するための図。

【図10】実施形態に係る電子顕微鏡の動作を説明するための図。

【図11】実施形態に係る電子顕微鏡の動作を説明するための図。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。

【0011】

以下では、本発明に係る荷電粒子線装置として、電子線を用いる電子顕微鏡を例に挙げて説明するが、本発明に係る荷電粒子線装置は、電子線以外の荷電粒子線（イオンビームなど）を用いる装置であってもよい。

【0012】

１． 電子顕微鏡
１．１． 電子顕微鏡の構成
まず、本発明の一実施形態に係る搬送装置を含む電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図１および図２は、本発明の一実施形態に係る第２搬送装置１００を含む電子顕微鏡１の構成を示す図である。なお、図１は、図２のＩ－Ｉ線断面図である。

【0013】

電子顕微鏡１は、図１に示すように、第２搬送装置１００を含む。電子顕微鏡１は、さらに、試料容器２と、試料室１０と、試料ホルダー２０と、試料交換室３０と、第１搬送装置４０と、真空排気装置６０と、制御部７０と、を含む。電子顕微鏡１は、例えば、透過電子顕微鏡である。

【0014】

試料室１０は、鏡筒１２に設けられている。鏡筒１２内には、図示はしないが、電子源、電子源から放出された電子線を試料に照射するための照射光学系、および試料を透過した電子線で透過電子顕微鏡像を結像するための結像系が配置されている。また、電子顕微鏡１は、図示はしないが、結像系で結像された像を検出するための検出器や、試料から放出されたＸ線を検出するための検出器などを備えている。

【0015】

試料室１０は、不図示の対物レンズのポールピースの上極と下極との間の空間を含む。試料室１０は、真空排気装置によって真空排気されている。試料室１０には、試料ホルダー２０の取付け部２２が配置されており、取付け部２２にカートリッジ６が取り付けられる。

【0016】

試料ホルダー２０は、ゴニオメーターステージ２４によって位置決めされる。ゴニオメーターステージ２４は、試料ホルダー２０に保持された試料を傾斜させることができる。例えば、電子顕微鏡１では、互いに直交する２軸に関して試料を傾斜させることができる。

【0017】

試料ホルダー２０は、カートリッジ６が取り付けられる取付け部２２を有している。カートリッジ６には試料が固定されている。カートリッジ６が取付け部２２に取り付けられることで、電子顕微鏡１において、試料を観察することができる。

【0018】

試料交換室３０は、試料室１０に接続されている。試料交換室３０と試料室１０との間には、仕切り弁３２が設けられている。

【0019】

試料交換室３０には、試料容器２が接続される。図示の例では、試料容器２が接続部材３６を介して、試料交換室３０に接続されている。試料容器２は、接続部材３６に対して
着脱可能である。試料交換室３０と試料容器２との間には、仕切り弁３４が設けられている。試料交換室３０および試料容器２は、真空排気装置６０によって真空排気される。

【0020】

接続部材３６に試料容器２が接続された状態において、接続部材３６と試料容器２との間には、真空シール３８が配置される。真空シール３８は、例えば、Ｏリングである。真空シール３８によって、試料交換室３０に試料容器２が接続された場合に、試料交換室３０内および試料容器２内を気密にできる。

【0021】

試料容器２は、試料を収容するための容器である。図示の例では、試料容器２には、マガジン４が収容されている。マガジン４には、複数のカートリッジ６を取付け可能である。なお、ここでは、試料容器２内にカートリッジ６が取り付けられたマガジン４を収容する場合について説明するが、試料容器２内にカートリッジ６を、直接、収容してもよい。

【0022】

第１搬送装置４０は、試料容器２と試料交換室３０との間において、マガジン４を搬送する。第１搬送装置４０は、チャック装置４２と、チャック装置４２を移動させる移動機構４４と、を有している。チャック装置４２は、マガジン４を掴む。移動機構４４は、チャック装置４２を上下方向に移動させる。移動機構４４は、チャック装置４２が先端に取り付けられたシャフト部４５を移動させることによって、チャック装置４２を移動させる。移動機構４４は、モーターや、エアーシリンダーなどの動力によってチャック装置４２を移動させる。

【0023】

第２搬送装置１００は、試料交換室３０と試料室１０との間において、カートリッジ６を搬送する。第２搬送装置１００は、試料ホルダー２０にカートリッジ６を受け渡す。

【0024】

第２搬送装置１００は、第１搬送装置４０が掴んだマガジン４からカートリッジ６を取り出す。第２搬送装置１００は、取り出したカートリッジ６を試料交換室３０から試料室１０に搬送し、試料ホルダー２０の取付け部２２に取り付ける。

【0025】

第２搬送装置１００は、シャフト部１０２と、チャック装置１２０と、チャック装置１２０を移動させる移動機構１５０と、を有している。

【0026】

移動機構１５０は、チャック装置１２０が先端に取り付けられたシャフト部１０２を移動させることによって、チャック装置１２０を移動させる。移動機構１５０は、チャック装置１２０を水平方向に移動させる。移動機構１５０は、モーターや、エアーシリンダーなどの動力によってチャック装置１２０を移動させる。

【0027】

第２搬送装置１００は、図２に示すように、カートリッジ６を試料ホルダー２０の中心軸に対して、斜め方向Ｃに移動させることによって、カートリッジ６を試料ホルダー２０の取付け部２２に取り付ける。

【0028】

真空排気装置６０は、排気管６２を介して、試料容器２を真空排気する。排気管６２には、電磁弁６４が設けられている。真空排気装置６０は、さらに、試料交換室３０を真空排気する。真空排気装置６０は、排気管６６を介して、試料交換室３０を真空排気する。排気管６６には、電磁弁６８が設けられている。真空排気装置６０で真空排気されることによって、試料交換室３０は真空状態に維持される。

【0029】

制御部７０は、仕切り弁３２、仕切り弁３４、第１搬送装置４０、第２搬送装置１００、電磁弁６４、および電磁弁６８を制御する。制御部７０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）および記憶装置（ＲＡＭ（Random Access Memory）およびＲＯＭ（Read Only Memory）など）を含む。制御部７０では、ＣＰＵで記憶装置に記憶されたプログ
ラムを実行することにより、各種制御処理を行う。

【0030】

１．２． 第２搬送装置
図３および図４は、本発明の一実施形態に係る第２搬送装置１００を模式的に示す平面図である。なお、図４では、第２搬送装置１００が、カートリッジ６を掴んでいる状態、すなわち、カートリッジ６が取付け部１１２に取り付けられた状態を示している。

【0031】

第２搬送装置１００は、図３および図４に示すように、シャフト部１０２と、取付け部１１２と、チャック装置１２０と、軸部材１３０と、軸受け１３２と、弾性部材１４０と、を含む。

【0032】

シャフト部１０２は、棒状の部材である。シャフト部１０２は、取付け部１１２を支持している。移動機構１５０でシャフト部１０２を移動させることによって、取付け部１１２を移動させることができる。

【0033】

取付け部１１２は、シャフト部１０２の先端に設けられている。取付け部１１２は、軸部材１３０に固定されている。取付け部１１２には、カートリッジ６を取付け可能である。取付け部１１２は、カートリッジ６を載置するための載置面１１４を有している。

【0034】

チャック装置１２０は、取付け部１１２に設けられている。チャック装置１２０は、カートリッジ６を取付け部１１２に固定することができる。チャック装置１２０は、レバー１２２と、操作シャフト１２４と、を含む。

【0035】

レバー１２２は、取付け部１１２に設けられている。レバー１２２の先端部１２１はフック状になっており、先端部１２１がカートリッジ６の切り欠き８に係合することによって、カートリッジ６が固定される。レバー１２２の後端部１２３は、操作シャフト１２４に接している。図示の例では、後端部１２３は、操作シャフト１２４に接するボールである。レバー１２２は、後端部１２３が操作シャフト１２４に押し当てられるように、不図示のバネによって付勢されている。図示の例では、レバー１２２は、バネによって、時計回りに回転するように付勢されている。

【0036】

操作シャフト１２４は、レバー１２２を操作するための部材である。操作シャフト１２４は、先端がレバー１２２に接している。操作シャフト１２４は、軸部材１３０内およびシャフト部１０２内を通っている。操作シャフト１２４は、軸部材１３０内およびシャフト部１０２内を移動可能である。操作シャフト１２４の中心軸は、例えば、シャフト部１０２の中心軸Ｌと平行である。操作シャフト１２４は、不図示の駆動部に接続されている。駆動部は、例えば、エアーシリンダーの動力で、操作シャフト１２４を、シャフト部１０２の中心軸Ｌに沿って移動させる。操作シャフト１２４を中心軸Ｌに沿って移動させることによって、カートリッジ６を開放した状態と、カートリッジ６を固定した状態と、を切り替えることができる。チャック装置１２０の動作の詳細については後述する。

【0037】

弾性部材１４０は、シャフト部１０２と取付け部１１２とを接続している。弾性部材１４０の一端は、軸部材１３０に固定され、弾性部材１４０の他端は、シャフト部１０２に固定されている。

【0038】

図示の例では、シャフト部１０２には、弾性部材１４０および操作シャフト１２４を収容する空間が設けられており、当該空間は、径の大きい部分と、径の小さい部分と、を有している。弾性部材１４０は、径の大きい部分に収容されている。径の大きい部分と径の小さい部分との境界には突出部１０３が形成され、突出部１０３で弾性部材１４０が止まっている。弾性部材１４０は、軸部材１３０と突出部１０３に挟まれている。

【0039】

弾性部材１４０は、例えば、圧縮ばねである。弾性部材１４０は、圧縮されることで、圧縮方向の力を緩和する。弾性部材１４０は、中心軸Ｌに沿って弾性変形する。第２搬送装置１００では、カートリッジ６を試料ホルダー２０に受け渡す際に、弾性部材１４０が弾性変形することによって、試料ホルダー２０に加わる力を低減できる。

【0040】

なお、弾性部材１４０は、弾性変形することによってシャフト部１０２に加わる力を低減できれば、バネに限定されず、バネ以外の弾性体であってもよい。

【0041】

軸部材１３０の先端には、取付け部１１２が接続されている。軸部材１３０の後端には、弾性部材１４０が固定されている。このように、取付け部１１２は、軸部材１３０および弾性部材１４０を介して、シャフト部１０２に接続されている。軸部材１３０は、例えば、筒状であり、軸部材１３０内を操作シャフト１２４が通っている。

【0042】

軸受け１３２は、軸部材１３０の直線運動をガイドする。軸受け１３２および軸部材１３０は、例えば、ボールスプラインを構成している。すなわち、軸部材１３０は、ボールスプラインのスプライン軸であり、軸受け１３２は、ボールスプラインの外筒である。例えば、軸部材１３０の外周面には、中心軸に沿って溝が設けられており、軸受け１３２に組み込まれたリテーナが保持する不図示のボールが当該溝を転がることで、軸部材１３０の回転を抑制しつつ、軸部材１３０を直線運動させることができる。

【0043】

カートリッジ６は、試料を保持する。カートリッジ６は、試料台７を有している。試料台７は、試料が固定される。試料台７には、貫通孔が形成されており、貫通孔上に試料が固定される。試料は、例えば、Ｃリングや板バネを用いて試料台７に固定される。試料台７は、傾斜可能であってもよい。カートリッジ６には、チャック装置１２０の先端部１２１に係合する切り欠き８が設けられている。

【0044】

２． 動作
２．１． 搬送装置の動作
図５および図６は、第２搬送装置１００の動作を説明するための図である。図５は、チャック装置１２０がカートリッジ６を取付け部１１２に固定している状態を図示している。図６は、チャック装置１２０がカートリッジ６を開放している状態を図示している。

【0045】

操作シャフト１２４は、第１部分１２４ａと、第２部分１２４ｂと、を有している。第２部分１２４ｂは、操作シャフト１２４の切り欠き部分である。第１部分１２４ａは、切り欠きが無い部分である。図示の例では、第２部分１２４ｂは、第１部分１２４ａよりも操作シャフト１２４の先端に位置している。

【0046】

操作シャフト１２４を、シャフト部１０２の中心軸Ｌに沿って移動させることによって、レバー１２２の後端部１２３が操作シャフト１２４に接する位置が変わり、レバー１２２を動作させることができる。

【0047】

図５に示すように、レバー１２２が第１部分１２４ａに接している状態では、チャック装置１２０がカートリッジ６を固定する。具体的には、レバー１２２の先端部１２１がカートリッジ６の切り欠き８に係合することで、カートリッジ６が取付け部１１２に固定される。

【0048】

図６に示すように、レバー１２２が第２部分１２４ｂに接している状態では、チャック装置１２０がカートリッジ６を開放する。具体的には、レバー１２２の先端部１２１とカートリッジ６の切り欠き８との係合が解除されることで、カートリッジ６が開放される。

【0049】

図５に示すように、レバー１２２の後端部１２３が操作シャフト１２４の第１部分１２４ａに接している状態から、操作シャフト１２４を第１方向Ａに移動させると、レバー１２２の後端部１２３は、第２部分１２４ｂに接する。これにより、レバー１２２が時計回りに回転し、図６に示すように、レバー１２２が切り欠き８から離れる。この結果、カートリッジ６が開放される。

【0050】

また、図６に示すように、レバー１２２の後端部１２３が操作シャフト１２４の第２部分１２４ｂに接している状態から、操作シャフト１２４を第２方向Ｂに移動させると、レバー１２２の後端部１２３は、第１部分１２４ａに接する。これにより、レバー１２２が反時計まわりに回転し、図５に示すように、レバー１２２の先端部１２１が切り欠き８に係合する。この結果、カートリッジ６が取付け部１１２に固定される。

【0051】

図７および図８は、弾性部材１４０の機能を説明するための図である。図７は、チャック装置１２０がカートリッジ６を取付け部１１２に固定している状態を図示している。図８は、チャック装置１２０がカートリッジ６を開放している状態を図示している。

【0052】

図７に示すように、操作シャフト１２４の第１部分１２４ａは中心軸Ｌに沿って長さＬ１を有し、第２部分１２４ｂは中心軸Ｌに沿って長さＬ２を有している。弾性部材１４０の中心軸Ｌに沿った最大の弾性変形量は、第１部分１２４ａの長さＬ１および第２部分１２４ｂの長さＬ２よりも小さい。

【0053】

そのため、図５に示すチャック装置１２０がカートリッジ６を取付け部１１２に固定している状態において、弾性部材１４０が弾性変形しても、図７に示すように、チャック装置１２０がカートリッジ６を固定している状態を維持できる。同様に、図６に示すチャック装置１２０がカートリッジ６を開放している状態において、弾性部材１４０が弾性変形しても、図８に示すように、チャック装置１２０がカートリッジ６を開放している状態を維持できる。

【0054】

２．２． 電子顕微鏡の動作
２．２．１． カートリッジの取り付け
電子顕微鏡１では、自動で、試料容器２に収容されたカートリッジ６を、試料室１０に搬送して取付け部１１２に取り付けることができる。図９～図１１は、電子顕微鏡１の動作を説明するための図である。

【0055】

図９に示すように、マガジン４に装着されたカートリッジ６は、試料容器２に収容される。カートリッジ６を収容した試料容器２は、接続部材３６に取り付けられる。このとき、仕切り弁３４は、閉じられている。そして、ユーザーは、カートリッジ６を導入する指示を制御部７０に入力する。

【0056】

制御部７０は、カートリッジ６を導入する指示を受け付けると、電磁弁６４を開き、試料容器２内を真空排気する。制御部７０は、試料容器２内が所定の圧力以下になると、仕切り弁３４を開く。

【0057】

制御部７０は、図１０に示すように、第１搬送装置４０に、試料容器２内のマガジン４を掴ませて、マガジン４を試料交換室３０に搬送させる。制御部７０は、図１１に示すように、第１搬送装置４０にマガジン４を試料交換室３０に搬送させた後、仕切り弁３４を閉じ、仕切り弁３２を開く。

【0058】

制御部７０は、図１に示すように、第２搬送装置１００に、第１搬送装置４０が掴んだ
マガジン４から指定されたカートリッジ６を掴ませて、カートリッジ６を試料室１０に搬送させる。このとき、チャック装置１２０によってカートリッジ６が固定される。カートリッジ６は、対物レンズのポールピースの上極と下極の隙間を通って、試料室１０に搬送される。

【0059】

制御部７０は、図２に示すように、第２搬送装置１００に、カートリッジ６を斜め方向Ｃに移動させ、カートリッジ６を試料ホルダー２０に受け渡す。具体的には、第２搬送装置１００がカートリッジ６を試料ホルダー２０の取付け部２２に押し込んだ後、チャック装置１２０がカートリッジ６の固定を解除する。これにより、カートリッジ６を試料ホルダー２０に受け渡すことができる。

【0060】

カートリッジ６を試料ホルダー２０に受け渡す際には、カートリッジ６は、試料ホルダー２０の取付け部２２に押し込まれる。そのため、試料ホルダー２０に力が加わるが、第２搬送装置１００の弾性部材１４０が弾性変形することによって、試料ホルダー２０に加わる力を低減できる。したがって、試料ホルダー２０における試料のドリフトを低減できる。また、第２搬送装置１００では、弾性部材１４０が弾性変形しても、チャック装置１２０がカートリッジ６を固定している状態を維持できる。

【0061】

制御部７０は、カートリッジ６を試料ホルダー２０に受け渡した後、チャック装置１２０を試料交換室３０内に戻し、仕切り弁３２を閉じる。

【0062】

以上の処理により、カートリッジ６を試料ホルダー２０に受け渡すことができる。これにより、カートリッジ６に保持された試料を電子顕微鏡１で観察することができる。

【0063】

２．２．２． カートリッジの取り外し
電子顕微鏡１では、自動で、カートリッジ６を試料ホルダー２０の取付け部２２から取り外し、試料交換室３０に搬送することができる。

【0064】

制御部７０は、図１に示すように、仕切り弁３２を開き、第２搬送装置１００のチャック装置１２０を試料室１０に移動させる。制御部７０は、チャック装置１２０を試料ホルダー２０の取付け部２２に移動させ、チャック装置１２０で固定する。制御部７０は、移動機構１５０に斜め方向Ｃとは反対方向にカートリッジ６を移動させる。これにより、試料ホルダー２０の取付け部２２からカートリッジ６が取り外される。

【0065】

制御部７０は、第２搬送装置１００に、カートリッジ６を試料交換室３０に搬送させる。制御部７０は、試料交換室３０にカートリッジ６を搬送させた後、仕切り弁３２を閉じる。次に、制御部７０は、図１１に示すように、第２搬送装置１００にカートリッジ６を、第１搬送装置４０が掴んだマガジン４に装着させる。

【0066】

以上の処理により、カートリッジ６を試料交換室３０に搬送することができる。

【0067】

３． 作用効果
第２搬送装置１００は、カートリッジ６を着脱可能な取付け部１１２と、取付け部１１２を支持するシャフト部１０２と、シャフト部１０２と取付け部１１２とを接続する弾性部材１４０と、を含む。そのため、第２搬送装置１００では、カートリッジ６を試料ホルダー２０に受け渡す際に、弾性部材１４０が弾性変形することによって、試料ホルダー２０に加わる力を低減できる。したがって、第２搬送装置１００では、試料ホルダー２０に力が加わって、試料ホルダー２０が変形することによって生じる試料のドリフトを低減できる。

【0068】

第２搬送装置１００は、取付け部１１２が固定される軸部材１３０と、軸部材１３０の直線運動をガイドする軸受け１３２と、を含み、弾性部材１４０は、軸部材１３０に接続され、軸受け１３２は、シャフト部１０２に固定されている。そのため、第２搬送装置１００では、取付け部１１２が固定される軸部材１３０を直線運動させることができ、弾性部材１４０によってシャフト部１０２に加わる力を、効率よく低減できる。

【0069】

第２搬送装置１００では、カートリッジ６を取付け部１１２に固定するチャック装置１２０を含み、チャック装置１２０は、カートリッジ６を固定するレバー１２２と、レバー１２２に接続された操作シャフト１２４と、を含み、操作シャフト１２４がシャフト部１０２の中心軸Ｌに沿って移動することによって、レバー１２２がカートリッジ６を取付け部１１２に固定する状態と、レバー１２２がカートリッジ６を開放する状態と、を切り替える。そのため、第２搬送装置１００では、カートリッジ６を取付け部１１２に固定することができる。

【0070】

第２搬送装置１００では、レバー１２２が操作シャフト１２４の第１部分１２４ａに接触しているときに、レバー１２２は、カートリッジ６を固定し、レバー１２２が操作シャフト１２４の第２部分１２４ｂに接触しているときに、レバー１２２は、カートリッジ６を開放する。また、第１部分１２４ａの中心軸Ｌに沿った長さＬ１および第２部分１２４ｂの中心軸Ｌに沿った長さＬ２は、弾性部材１４０の最大弾性変形量（弾性部材１４０が中心軸Ｌに沿って弾性的に変形できる変形量の最大値）よりも大きい。そのため、チャック装置１２０がカートリッジ６を取付け部１１２に固定している状態において、弾性部材１４０が弾性変形しても、チャック装置１２０がカートリッジ６を固定している状態を維持できる。同様に、チャック装置１２０がカートリッジ６を開放している状態において、弾性部材１４０が弾性変形しても、チャック装置１２０がカートリッジ６を開放している状態を維持できる。

【0071】

４． 変形例
上述した実施形態では、本発明に係る荷電粒子線装置が電子線を用いて試料の観察や分析を行う電子顕微鏡を例に挙げて説明したが、本発明に係る荷電粒子線装置は、電子線以外の荷電粒子線（イオンビーム等）を用いて試料の観察や分析を行う装置であってもよい。例えば、本発明に係る荷電粒子線装置は、走査透過電子顕微鏡、走査電子顕微鏡、オージェ電子分光装置、集束イオンビーム装置などであってもよい。

【0072】

本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、さらに種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施形態で説明した構成と実質的に同一の構成を含む。実質的に同一の構成とは、例えば、機能、方法、及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成である。また、本発明は、実施形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。

【符号の説明】

【0073】

１…電子顕微鏡、２…試料容器、４…マガジン、６…カートリッジ、７…試料台、８…切り欠き、１０…試料室、１２…鏡筒、２０…試料ホルダー、２２…取付け部、２４…ゴニオメーターステージ、３０…試料交換室、３２…仕切り弁、３４…仕切り弁、３６…接続部材、３８…真空シール、４０…第１搬送装置、４２…チャック装置、４４…移動機構、４５…シャフト部、６０…真空排気装置、６２…排気管、６４…電磁弁、６６…排気管、６８…電磁弁、７０…制御部、１００…第２搬送装置、１０２…シャフト部、１０３…突出部、１１２…取付け部、１１４…載置面、１２０…チャック装置、１２１…先端部、１２２…レバー、１２３…後端部、１２４…操作シャフト、１２４ａ…第１部分、１２４ｂ
…第２部分、１３０…軸部材、１３２…軸受け、１４０…弾性部材、１５０…移動機構

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】