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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022107924
(43)【公開日】2022-07-25
(54)【発明の名称】熱硬化性樹脂組成物、樹脂シートおよび金属ベース基板
(51)【国際特許分類】
C08L 101/00 20060101AFI20220715BHJP
C08L 63/00 20060101ALI20220715BHJP
C08L 71/00 20060101ALI20220715BHJP
C08K 5/549 20060101ALI20220715BHJP
B32B 15/092 20060101ALI20220715BHJP
B32B 27/18 20060101ALI20220715BHJP
【ＦＩ】
C08L101/00
C08L63/00 Z
C08L71/00
C08K5/549
B32B15/092
B32B27/18 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】12
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021002623
(22)【出願日】2021-01-12
(71)【出願人】
【識別番号】000002141
【氏名又は名称】住友ベークライト株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100110928
【弁理士】
【氏名又は名称】速水 進治
(72)【発明者】
【氏名】樫野 智將
(72)【発明者】
【氏名】遠藤 忠相
【テーマコード（参考）】
4F100
4J002
【Ｆターム（参考）】
4F100AA13A
4F100AA14A
4F100AA16A
4F100AA18A
4F100AA19A
4F100AA20A
4F100AB00B
4F100AB00C
4F100AB17B
4F100AB17C
4F100AD05A
4F100AH02A
4F100AH06A
4F100AK00A
4F100AK33A
4F100AK49A
4F100AK51A
4F100AK52A
4F100AK53A
4F100AL05A
4F100BA03
4F100BA06
4F100BA10B
4F100BA10C
4F100CA02A
4F100DE01A
4F100DE02A
4F100DE06A
4F100GB41
4F100JB13A
4F100JG04A
4F100JJ01A
4F100YY00A
4J002AA02W
4J002BH02W
4J002CC04W
4J002CC07W
4J002CD05X
4J002CD06X
4J002CD07X
4J002CH08Y
4J002CM02W
4J002DE076
4J002DE146
4J002DF016
4J002DJ006
4J002DJ016
4J002DK006
4J002EF038
4J002EF098
4J002EJ038
4J002EN028
4J002EU098
4J002EU118
4J002EV238
4J002EX077
4J002FD158
4J002FD206
4J002FD207
4J002GF00
4J002GQ01
(57)【要約】 （修正有）
【課題】吸湿率が低く吸湿半田耐熱性に優れるとともに、熱伝導性および絶縁性に優れた樹脂シートが得られる熱硬化性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）エポキシ樹脂と、（Ｂ）熱硬化性樹脂（エポキシ樹脂（Ａ）を除く）と、（Ｃ）分子内にメソゲン構造を備えるフェノキシ樹脂と、（Ｄ）熱伝導性粒子と、（Ｅ）下記一般式（１）で表されるオルガノシロキサン化合物と、を含む。
（一般式（１）中、Ｑは炭素数１～２０の非置換または置換の１価炭化水素基である。Ｘは炭素数１～６の非置換または置換の２価炭化水素基である。Ｒ１は水素原子、または炭素数１～１０の非置換または置換の１価炭化水素基であり、複数存在するＲ１同士は同一でも異なっていてもよい。Ｒ２は炭素数１～１０の非置換または置換の１価炭化水素基であり、複数存在するＲ２同士は同一でも異なっていてもよい。ｎは０または１である。）
【選択図】なし
【解決手段】（Ａ）エポキシ樹脂と、（Ｂ）熱硬化性樹脂（エポキシ樹脂（Ａ）を除く）と、（Ｃ）分子内にメソゲン構造を備えるフェノキシ樹脂と、（Ｄ）熱伝導性粒子と、（Ｅ）下記一般式（１）で表されるオルガノシロキサン化合物と、を含む。
（一般式（１）中、Ｑは炭素数１～２０の非置換または置換の１価炭化水素基である。Ｘは炭素数１～６の非置換または置換の２価炭化水素基である。Ｒ１は水素原子、または炭素数１～１０の非置換または置換の１価炭化水素基であり、複数存在するＲ１同士は同一でも異なっていてもよい。Ｒ２は炭素数１～１０の非置換または置換の１価炭化水素基であり、複数存在するＲ２同士は同一でも異なっていてもよい。ｎは０または１である。）
【選択図】なし
【特許請求の範囲】
【請求項1】
（Ａ）エポキシ樹脂と、
（Ｂ）熱硬化性樹脂（エポキシ樹脂（Ａ）を除く）と、
（Ｃ）分子内にメソゲン構造を備えるフェノキシ樹脂と、
（Ｄ）熱伝導性粒子と、
（Ｅ）下記一般式（１）で表されるオルガノシロキサン化合物と、
を含む熱硬化性樹脂組成物。
（一般式（１）中、Ｑは炭素数１～２０の非置換または置換の１価炭化水素基である。Ｘは炭素数１～６の非置換または置換の２価炭化水素基である。Ｒ１は水素原子、または炭素数１～１０の非置換または置換の１価炭化水素基であり、複数存在するＲ１同士は同一でも異なっていてもよい。Ｒ２は炭素数１～１０の非置換または置換の１価炭化水素基であり、複数存在するＲ２同士は同一でも異なっていてもよい。ｎは０または１である。）
（Ｂ）熱硬化性樹脂（エポキシ樹脂（Ａ）を除く）と、
（Ｃ）分子内にメソゲン構造を備えるフェノキシ樹脂と、
（Ｄ）熱伝導性粒子と、
（Ｅ）下記一般式（１）で表されるオルガノシロキサン化合物と、
を含む熱硬化性樹脂組成物。
【化1】
【請求項2】
オルガノシロキサン化合物（Ｅ）は、熱伝導性粒子（Ｄ）１００質量部に対して０．０１～２．０質量部含む、請求項１に記載の熱硬化性樹脂組成物。
【請求項3】
熱硬化性樹脂（Ｂ）は、シアネート樹脂、マレイミド樹脂、フェノール樹脂、およびベンゾオキサジン樹脂から選択される少なくとも１種を含む、請求項１または２に記載の熱硬化性樹脂組成物。
【請求項4】
エポキシ樹脂（Ａ）はメソゲン構造を備えるエポキシ樹脂を含む、請求項１～３のいずれかに記載の熱硬化性樹脂組成物。
【請求項5】
フェノキシ樹脂（Ｃ）は、フェノール化合物由来の構造単位およびエポキシ化合物由来の構造単位を含む、請求項１～４のいずれかに記載の熱硬化性樹脂組成物。
【請求項6】
熱伝導性粒子（Ｄ）は、シリカ、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化珪素、炭化珪素および酸化マグネシウムから選択される少なくとも１種を含む、請求項１～５のいずれかに記載の熱硬化性樹脂組成物。
【請求項7】
熱伝導性粒子（Ｄ）は前記窒化ホウ素を含み、
前記窒化ホウ素は、鱗片状窒化ホウ素の、単分散粒子、顆粒状粒子、凝集粒子またはこれらの混合物を含む、請求項６に記載の熱硬化性樹脂組成物。
前記窒化ホウ素は、鱗片状窒化ホウ素の、単分散粒子、顆粒状粒子、凝集粒子またはこれらの混合物を含む、請求項６に記載の熱硬化性樹脂組成物。
【請求項8】
さらに硬化促進剤（Ｆ）を含む、請求項１～７のいずれかに記載の熱硬化性樹脂組成物。
【請求項9】
放熱絶縁樹脂シートの形成に用いられる、請求項１～８のいずれかに記載の熱硬化性樹脂組成物。
【請求項10】
請求項１～９のいずれかに記載の熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂シート。
【請求項11】
膜厚１５０μｍの前記樹脂シートを、温度３０℃、湿度９０％の条件で４８時間放置したときの処理前後の重量変化から下記式で算出された吸湿率が０．３５％以下である、請求項１０に記載の樹脂シート。
式：［（処理後の樹脂シート重量－処理前の樹脂シート重量）／処理前の樹脂シート重量］×１００
式：［（処理後の樹脂シート重量－処理前の樹脂シート重量）／処理前の樹脂シート重量］×１００
【請求項12】
金属基板と、
請求項１０または１１に記載の前記樹脂シートからなる絶縁層と、
金属層と、をこの順で備える、金属ベース基板。
請求項１０または１１に記載の前記樹脂シートからなる絶縁層と、
金属層と、をこの順で備える、金属ベース基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、熱硬化性樹脂組成物、当該組成物からなる樹脂シート、および当該樹脂シートを含む金属ベース基板に関する。
【背景技術】
【0002】
電気・電子機器等を構成する絶縁材料に対して放熱性が要求されている。絶縁材料の放熱性について様々な開発がなされてきた。
この種の技術として、たとえば、特許文献１に記載の技術が知られている。特許文献１には、熱硬化性樹脂としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂を使用し、熱伝導性粒子として鱗片状または球形状の窒化ホウ素粒子を使用した熱硬化性樹脂組成物が記載されている。
この種の技術として、たとえば、特許文献１に記載の技術が知られている。特許文献１には、熱硬化性樹脂としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂を使用し、熱伝導性粒子として鱗片状または球形状の窒化ホウ素粒子を使用した熱硬化性樹脂組成物が記載されている。
【0003】
特許文献２には、熱硬化性樹脂と、無機充填剤と、２，２－ジメトキシ－１－フェニル－１－アザ－２－シラシクロペンタン等の所定の有機ケイ素化合物とを含む半導体封止用樹脂組成物が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１５－１９３５０４号公報
【特許文献2】特開２０１９－０７７８４０号公報
【特許文献3】特開２０１１－１０２２６７号公報
【特許文献4】特開２０１５－１６０８１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、特許文献１に記載の従来の技術においては、吸湿率が高く、吸湿半田耐熱性や絶縁耐久性が低下する場合があった。なお、窒化ホウ素粒子等の熱伝導性粒子に、シランカップリング剤を添加しても、密着性が改善しないことは従来からよく知られている。
特許文献２の半導体封止用樹脂組成物は、流動性および耐衝撃性を改善することを目的とするものであり、吸湿率の改善については記載されていない。
特許文献２の半導体封止用樹脂組成物は、流動性および耐衝撃性を改善することを目的とするものであり、吸湿率の改善については記載されていない。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明者らは、樹脂または樹脂と熱伝導性粒子との界面における吸湿が吸湿半田耐熱性や絶縁耐久性に影響を及ぼすことを見出して検討した結果、熱伝導性粒子と、シランカップリング剤等のオルガノシロキサン化合物とを組み合わせることにより、吸湿率が低くなり、吸湿半田耐熱性や絶縁耐久性が改善されることを見出した。
すなわち、本発明は、以下に示すことができる。
すなわち、本発明は、以下に示すことができる。
【0007】
本発明によれば、
（Ａ）エポキシ樹脂と、
（Ｂ）熱硬化性樹脂（エポキシ樹脂（Ａ）を除く）と、
（Ｃ）分子内にメソゲン構造を備えるフェノキシ樹脂と、
（Ｄ）熱伝導性粒子と、
（Ｅ）下記一般式（１）で表されるオルガノシロキサン化合物と、
を含む熱硬化性樹脂組成物が提供される。
（一般式（１）中、Ｑは炭素数１～２０の非置換または置換の１価炭化水素基である。Ｘは炭素数１～６の非置換または置換の２価炭化水素基である。Ｒ１は水素原子、または炭素数１～１０の非置換または置換の１価炭化水素基であり、複数存在するＲ１同士は同一でも異なっていてもよい。Ｒ２は炭素数１～１０の非置換または置換の１価炭化水素基であり、複数存在するＲ２同士は同一でも異なっていてもよい。ｎは０または１である。）
（Ａ）エポキシ樹脂と、
（Ｂ）熱硬化性樹脂（エポキシ樹脂（Ａ）を除く）と、
（Ｃ）分子内にメソゲン構造を備えるフェノキシ樹脂と、
（Ｄ）熱伝導性粒子と、
（Ｅ）下記一般式（１）で表されるオルガノシロキサン化合物と、
を含む熱硬化性樹脂組成物が提供される。
【化1】
【0008】
本発明によれば、
前記熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂シートが提供される。
前記熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂シートが提供される。
【0009】
本発明によれば、
金属基板と、
前記樹脂シートからなる絶縁層と、
金属層と、をこの順で備える、金属ベース基板が提供される。
金属基板と、
前記樹脂シートからなる絶縁層と、
金属層と、をこの順で備える、金属ベース基板が提供される。
【発明の効果】
【0010】
本発明によれば、吸湿率が低く吸湿半田耐熱性に優れるとともに、熱伝導性および絶縁性に優れた樹脂シートが得られる熱硬化性樹脂組成物、当該組成物からなる樹脂シート、および当該樹脂シートを含む金属ベース基板を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】本実施形態に係る金属ベース基板の構成を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。また、「～」は特に断りがなければ「以上」から「以下」を表す。
【0013】
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、
（Ａ）エポキシ樹脂と、
（Ｂ）熱硬化性樹脂（エポキシ樹脂（Ａ）を除く）と、
（Ｃ）分子内にメソゲン構造を備えるフェノキシ樹脂と、
（Ｄ）熱伝導性粒子と、
（Ｅ）一般式（１）で表されるオルガノシロキサン化合物と、
を含む。
（Ａ）エポキシ樹脂と、
（Ｂ）熱硬化性樹脂（エポキシ樹脂（Ａ）を除く）と、
（Ｃ）分子内にメソゲン構造を備えるフェノキシ樹脂と、
（Ｄ）熱伝導性粒子と、
（Ｅ）一般式（１）で表されるオルガノシロキサン化合物と、
を含む。
【0014】
［エポキシ樹脂（Ａ）］
エポキシ樹脂（Ａ）としては、本発明の効果を奏する範囲で公知のものを用いることができる。例えば、ビスフェノールＡ型、Ｆ型、Ｓ型、ＡＤ型等のグリシジルエーテル、水素添加したビスフェノールＡ型のグリシジルエーテル、フェノールノボラック型のグリシジルエーテル、クレゾールノボラック型のグリシジルエーテル、ビスフェノールＡ型のノボラック型のグリシジルエーテル、ナフタレン型のグリシジルエーテル、ビフェノール型のグリシジルエーテル、ジヒドロキシペンタジエン型のグリシジルエーテル、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ハイドロキノン型のグリシジルエーテルなどが挙げられ、少なくとも１種用いることができる。
エポキシ樹脂（Ａ）としては、本発明の効果の観点から、ナフタレン型のグリシジルエーテル、ビフェノール型のグリシジルエーテル、ジヒドロキシペンタジエン型のグリシジルエーテル、ハイドロキノン型のグリシジルエーテルから選択される少なくとも１種を含むことが好ましい。
エポキシ樹脂（Ａ）としては、本発明の効果を奏する範囲で公知のものを用いることができる。例えば、ビスフェノールＡ型、Ｆ型、Ｓ型、ＡＤ型等のグリシジルエーテル、水素添加したビスフェノールＡ型のグリシジルエーテル、フェノールノボラック型のグリシジルエーテル、クレゾールノボラック型のグリシジルエーテル、ビスフェノールＡ型のノボラック型のグリシジルエーテル、ナフタレン型のグリシジルエーテル、ビフェノール型のグリシジルエーテル、ジヒドロキシペンタジエン型のグリシジルエーテル、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ハイドロキノン型のグリシジルエーテルなどが挙げられ、少なくとも１種用いることができる。
エポキシ樹脂（Ａ）としては、本発明の効果の観点から、ナフタレン型のグリシジルエーテル、ビフェノール型のグリシジルエーテル、ジヒドロキシペンタジエン型のグリシジルエーテル、ハイドロキノン型のグリシジルエーテルから選択される少なくとも１種を含むことが好ましい。
【0015】
エポキシ樹脂（Ａ）は、好ましくはメソゲン骨格を含むエポキシ樹脂を含むことができる。これにより、硬化時の熱伝導性（放熱性）を一層高めることができる。
メソゲン骨格を含むエポキシ樹脂の硬化時に、そのメソゲン骨格により高次構造（液晶相または結晶相）が形成されると考えられる。そして、その高次構造を熱が伝わることで熱伝導性（放熱性）が一層高まると考えられる。硬化物中の高次構造の存在は、偏光顕微鏡による観察によって調べることができる。
メソゲン骨格を含むエポキシ樹脂の硬化時に、そのメソゲン骨格により高次構造（液晶相または結晶相）が形成されると考えられる。そして、その高次構造を熱が伝わることで熱伝導性（放熱性）が一層高まると考えられる。硬化物中の高次構造の存在は、偏光顕微鏡による観察によって調べることができる。
【0016】
メソゲン骨格としては、分子間相互作用の働きにより、液晶性や結晶性を発現しやすくする骨格全般を挙げることができる。メソゲン骨格は、好ましくは共役構造を含む。メソゲン骨格として具体的には、ビフェニル骨格、フェニルベンゾエート骨格、アゾベンゼン骨格、スチルベン骨格、ナフタレン骨格、アントラセン骨格、フェナントレン骨格などが挙げられる。
エポキシ樹脂（Ａ）は、特に好ましくは縮合多環芳香族炭化水素骨格を含み、とりわけ好ましくはナフタレン骨格を含む。
エポキシ樹脂（Ａ）は、特に好ましくは縮合多環芳香族炭化水素骨格を含み、とりわけ好ましくはナフタレン骨格を含む。
【0017】
例えばビフェニル骨格（－Ｃ６Ｈ４－Ｃ６Ｈ４－）は、高温下では、熱運動により左記構造の中心の炭素－炭素の単結合部分が「回転」し、液晶性が低下する可能性がある。フェニルベンゾエート骨格（－Ｃ６Ｈ４－ＣＯＯ－Ｃ６Ｈ４－）も、同様に、高温下ではエステル結合が回転する可能性がある。しかし、ナフタレン骨格のような縮合多環芳香族炭化水素骨格では、原理的にはそのような回転による液晶性の低下は無い。つまり、エポキシ樹脂が縮合多環芳香族炭化水素骨格を含むことで高温環境下での放熱性を一層高めやすい。
【0018】
また、多環芳香族炭化水素骨格として特にナフタレン骨格を採用することで、前記メリットを得つつ、エポキシ樹脂が剛直になりすぎることを抑えることもできる。これは、ナフタレン骨格はメソゲン骨格としては比較的小さいためである。エポキシ樹脂が剛直になりすぎないことは、本実施形態の熱硬化性樹脂組成物の硬化時の応力が緩和されやすくなることによるクラック等の抑制、などの点で好ましい。
【0019】
エポキシ樹脂（Ａ）は、２官能以上のエポキシ樹脂を含むことが好ましい。つまり、エポキシ樹脂１分子中には２以上のエポキシ基が含まれることが好ましい。エポキシ樹脂の官能基数は、好ましくは２～６、より好ましくは２～４である。
本実施形態におけるエポキシ樹脂（Ａ）は、本発明の効果の観点から、下記式で表される化合物から選択される１または２以上を含むことが好ましい。
本実施形態におけるエポキシ樹脂（Ａ）は、本発明の効果の観点から、下記式で表される化合物から選択される１または２以上を含むことが好ましい。
【0020】
【化2】
【0021】
エポキシ樹脂（Ａ）のエポキシ当量は、例えば１００～２００ｇ／ｅｑ、好ましくは１０５～１９０ｇ／ｅｑ、より好ましくは１１０～１８０ｇ／ｅｑである。適度なエポキシ当量を有するエポキシ樹脂を用いることで、硬化性の制御、硬化物の物性の最適化などを図ることができる。
【0022】
一態様として、エポキシ樹脂は、室温（２３℃）で液状または半固形状である他のエポキシ樹脂をさらに含むことが好ましい。具体的には、エポキシ樹脂の一部または全部は、２３℃で液体状または半固形状であることが好ましい。
液状または半固形状エポキシ樹脂を用いることは、所望の形状の硬化物の形成しやすさなどの点で好ましい。
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、エポキシ樹脂を１種のみ含んでもよいし、２種以上含んでもよい。
液状または半固形状エポキシ樹脂を用いることは、所望の形状の硬化物の形成しやすさなどの点で好ましい。
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、エポキシ樹脂を１種のみ含んでもよいし、２種以上含んでもよい。
【0023】
エポキシ樹脂（Ａ）は、熱伝導性粒子（Ｄ）を含まない熱硬化性樹脂組成物の樹脂成分（１００質量％）に対して、例えば５質量％～４０質量％、好ましくは７質量％～３５質量％、より好ましくは１０質量％～３０質量％である。これにより、十分な硬化性を担保することができ、高熱伝導性および絶縁性により優れた樹脂シートを得ることができる。
【0024】
熱伝導性粒子（Ｄ）を含まない熱硬化性樹脂組成物は、熱伝導性粒子（Ｄ）以外の樹脂成分で構成されるものであって、樹脂成分として、エポキシ樹脂（Ａ）と、熱硬化性樹脂（Ｂ）とを含む。
【0025】
［熱硬化性樹脂（Ｂ）］
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、熱硬化性樹脂（Ｂ）を含む。熱硬化性樹脂（Ｂ）にはエポキシ樹脂（Ａ）を含まない。
熱硬化性樹脂（Ｂ）として、分子内にメソゲン構造（メソゲン骨格）を含有する熱硬化性化合物や、分子内にメソゲン構造を含有しない熱硬化性化合物が挙げられる。
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、熱硬化性樹脂（Ｂ）を含む。熱硬化性樹脂（Ｂ）にはエポキシ樹脂（Ａ）を含まない。
熱硬化性樹脂（Ｂ）として、分子内にメソゲン構造（メソゲン骨格）を含有する熱硬化性化合物や、分子内にメソゲン構造を含有しない熱硬化性化合物が挙げられる。
【0026】
熱硬化性樹脂（Ｂ）としては、例えば、シアネート樹脂、マレイミド樹脂、フェノール樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、ポリイミド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、メラミン樹脂、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、またフェノール誘導体これらの誘導体等が挙げられ、少なくとも１種含むことができる。
【0027】
本実施形態においては、熱硬化性樹脂（Ｂ）は、シアネート樹脂、ビスマレイミド樹脂、フェノール樹脂、およびベンゾオキサジン樹脂から選択される少なくとも１種含むことが好ましく、少なくともシアネート樹脂を含むことがより好ましい。
これらの熱硬化性樹脂は、１分子内に反応性官能基を２個以上有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般を用いることができ、その分子量や分子構造は特に限定されない。
これらの熱硬化性樹脂は、１分子内に反応性官能基を２個以上有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般を用いることができ、その分子量や分子構造は特に限定されない。
【0028】
（シアネート樹脂）
シアネート樹脂としては、本発明の効果を奏する範囲で公知のものを用いることができる。シアネート樹脂は、例えばノボラック型シアネート樹脂；ビスフェノールＡ型シアネート樹脂、ビスフェノールＥ型シアネート樹脂、テトラメチルビスフェノールＦ型シアネート樹脂等のビスフェノール型シアネート樹脂；ナフトールアラルキル型フェノール樹脂とハロゲン化シアンとの反応で得られるナフトールアラルキル型シアネート樹脂；ジシクロペンタジエン型シアネート樹脂；ビフェニレン骨格含有フェノールアラルキル型シアネート樹脂から選択される一種または二種以上を含むことができる。これらの中でも、本発明の効果の観点から、ノボラック型シアネート樹脂およびナフトールアラルキル型シアネート樹脂のうちの少なくとも一方を含むことがより好ましく、ノボラック型シアネート樹脂を含むことが特に好ましい。
ノボラック型シアネート樹脂としては、例えば、下記一般式（Ｉ）で示されるものを使用することができる。
シアネート樹脂としては、本発明の効果を奏する範囲で公知のものを用いることができる。シアネート樹脂は、例えばノボラック型シアネート樹脂；ビスフェノールＡ型シアネート樹脂、ビスフェノールＥ型シアネート樹脂、テトラメチルビスフェノールＦ型シアネート樹脂等のビスフェノール型シアネート樹脂；ナフトールアラルキル型フェノール樹脂とハロゲン化シアンとの反応で得られるナフトールアラルキル型シアネート樹脂；ジシクロペンタジエン型シアネート樹脂；ビフェニレン骨格含有フェノールアラルキル型シアネート樹脂から選択される一種または二種以上を含むことができる。これらの中でも、本発明の効果の観点から、ノボラック型シアネート樹脂およびナフトールアラルキル型シアネート樹脂のうちの少なくとも一方を含むことがより好ましく、ノボラック型シアネート樹脂を含むことが特に好ましい。
ノボラック型シアネート樹脂としては、例えば、下記一般式（Ｉ）で示されるものを使用することができる。
【0029】
【化3】
【0030】
一般式（Ｉ）で示されるノボラック型シアネート樹脂の平均繰り返し単位ｎは任意の整数である。平均繰り返し単位ｎは、特に限定されないが、１以上が好ましく、２以上がより好ましい。平均繰り返し単位ｎが上記下限値以上であると、ノボラック型シアネート樹脂の耐熱性が向上し、加熱時に低量体が脱離、揮発することをより一層抑制できる。また、平均繰り返し単位ｎは、特に限定されないが、１０以下が好ましく、７以下がより好ましい。ｎが上記上限値以下であると、溶融粘度が高くなるのを抑制でき、樹脂シートの成形性を向上させることができる。
【0031】
また、シアネート樹脂としては、下記一般式（II）で表わされるナフトールアラルキル型シアネート樹脂も好適に用いられる。下記一般式（II）で表わされるナフトールアラルキル型シアネート樹脂は、例えば、α－ナフトールあるいはβ－ナフトール等のナフトール類とｐ－キシリレングリコール、α，α’－ジメトキシ－ｐ－キシレン、１，４－ジ（２－ヒドロキシ－２－プロピル）ベンゼン等との反応により得られるナフトールアラルキル型フェノール樹脂とハロゲン化シアンとを縮合させて得られるものである。一般式（II）の繰り返し単位ｎは１０以下の整数であることが好ましい。繰り返し単位ｎが１０以下であると、より均一な樹脂シートを得ることができる。また、合成時に分子内重合が起こりにくく、水洗時の分液性が向上し、収量の低下を防止できる傾向がある。
【0032】
【化4】
【0033】
上記一般式（II）中、Ｒはそれぞれ独立に水素原子またはメチル基を示し、ｎは１以上１０以下の整数を示す。
【0034】
シアネート樹脂は、熱伝導性粒子（Ｄ）を含まない熱硬化性樹脂組成物の樹脂成分（１００質量％）に対して、例えば１０質量％～７０質量％、好ましくは１５質量％～６０質量％、より好ましくは２０質量％～５０質量％である。これにより、十分な硬化性を担保することができ、さら高熱伝導性および絶縁性により優れた樹脂シートを得ることができる。
【0035】
（マレイミド樹脂）
マレイミド樹脂は、例えば分子内に少なくとも２つのマレイミド基を有するマレイミド樹脂が好ましい。
マレイミド樹脂は、例えば分子内に少なくとも２つのマレイミド基を有するマレイミド樹脂が好ましい。
【0036】
分子内に少なくとも２つのマレイミド基を有するマレイミド樹脂としては、例えば、４，４'－ジフェニルメタンビスマレイミド、ｍ－フェニレンビスマレイミド、ｐ－フェニレンビスマレイミド、２，２－ビス［４－（４－マレイミドフェノキシ）フェニル］プロパン、ビス－（３－エチル－５－メチル－４－マレイミドフェニル）メタン、４－メチル－１，３－フェニレンビスマレイミド、Ｎ，Ｎ'－エチレンジマレイミド、Ｎ，Ｎ'－ヘキサメチレンジマレイミド、ビス（４－マレイミドフェニル）エーテル、ビス（４－マレイミドフェニル）スルホン、３，３－ジメチル－５，５－ジエチル－４，４－ジフェニルメタンビスマレイミド、ビスフェノールＡジフェニルエーテルビスマレイミド等の分子内に２つのマレイミド基を有する樹脂、ビフェニルアラルキル型マレイミド、ポリフェニルメタンマレイミド等の分子内に３つ以上のマレイミド基を有する樹脂等が挙げられる。
【0037】
（フェノール樹脂）
フェノール樹脂としては、たとえば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールＡノボラック樹脂等のノボラック型フェノール樹脂、およびレゾール型フェノール樹脂等が挙げられる。これらの中の１種類を単独で用いてもよいし、２種類以上を併用してもよい。
フェノール樹脂の中でも、フェノールノボラック樹脂であることが好ましい。
フェノール樹脂としては、たとえば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールＡノボラック樹脂等のノボラック型フェノール樹脂、およびレゾール型フェノール樹脂等が挙げられる。これらの中の１種類を単独で用いてもよいし、２種類以上を併用してもよい。
フェノール樹脂の中でも、フェノールノボラック樹脂であることが好ましい。
【0038】
（ベンゾオキサジン樹脂）
ベンゾオキサジン樹脂としては、具体的には、ｏ－クレゾールアニリン型ベンゾオキサジン樹脂、ｍ－クレゾールアニリン型ベンゾオキサジン樹脂、ｐ－クレゾールアニリン型ベンゾオキサジン樹脂、フェノール－アニリン型ベンゾオキサジン樹脂、フェノール－メチルアミン型ベンゾオキサジン樹脂、フェノール－シクロヘキシルアミン型ベンゾオキサジン樹脂、フェノール－ｍ－トルイジン型ベンゾオキサジン樹脂、フェノール－３，５－ジメチルアニリン型ベンゾオキサジン樹脂、ビスフェノールＡ－アニリン型ベンゾオキサジン樹脂、ビスフェノールＡ－アミン型ベンゾオキサジン樹脂、ビスフェノールＦ－アニリン型ベンゾオキサジン樹脂、ビスフェノールＳ－アニリン型ベンゾオキサジン樹脂、ジヒドロキシジフェニルスルホン－アニリン型ベンゾオキサジン樹脂、ジヒドロキシジフェニルエーテル－アニリン型ベンゾオキサジン樹脂、ベンゾフェノン型ベンゾオキサジン樹脂、ビフェニル型ベンゾオキサジン樹脂、ビスフェノールＡＦ－アニリン型ベンゾオキサジン樹脂、ビスフェノールＡ－メチルアニリン型ベンゾオキサジン樹脂、フェノール－ジアミノジフェニルメタン型ベンゾオキサジン樹脂、トリフェニルメタン型ベンゾオキサジン樹脂、およびフェノールフタレイン型ベンゾオキサジン樹脂などが挙げられる。
ベンゾオキサジン樹脂としては、具体的には、ｏ－クレゾールアニリン型ベンゾオキサジン樹脂、ｍ－クレゾールアニリン型ベンゾオキサジン樹脂、ｐ－クレゾールアニリン型ベンゾオキサジン樹脂、フェノール－アニリン型ベンゾオキサジン樹脂、フェノール－メチルアミン型ベンゾオキサジン樹脂、フェノール－シクロヘキシルアミン型ベンゾオキサジン樹脂、フェノール－ｍ－トルイジン型ベンゾオキサジン樹脂、フェノール－３，５－ジメチルアニリン型ベンゾオキサジン樹脂、ビスフェノールＡ－アニリン型ベンゾオキサジン樹脂、ビスフェノールＡ－アミン型ベンゾオキサジン樹脂、ビスフェノールＦ－アニリン型ベンゾオキサジン樹脂、ビスフェノールＳ－アニリン型ベンゾオキサジン樹脂、ジヒドロキシジフェニルスルホン－アニリン型ベンゾオキサジン樹脂、ジヒドロキシジフェニルエーテル－アニリン型ベンゾオキサジン樹脂、ベンゾフェノン型ベンゾオキサジン樹脂、ビフェニル型ベンゾオキサジン樹脂、ビスフェノールＡＦ－アニリン型ベンゾオキサジン樹脂、ビスフェノールＡ－メチルアニリン型ベンゾオキサジン樹脂、フェノール－ジアミノジフェニルメタン型ベンゾオキサジン樹脂、トリフェニルメタン型ベンゾオキサジン樹脂、およびフェノールフタレイン型ベンゾオキサジン樹脂などが挙げられる。
【0039】
熱硬化性樹脂（Ｂ）の含有量は、本発明の効果の観点から、熱伝導性粒子（Ｄ）を含まない熱硬化性樹脂組成物の樹脂成分（１００質量％）に対して、例えば、０．１質量％～７０質量％が好ましく、０．５質量％～６５質量％がより好ましい、１質量％～６０質量％がさらに好ましい。
【0040】
［フェノキシ樹脂（Ｃ）］
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、分子内にメソゲン構造を備えるフェノキシ樹脂（Ｃ）を含む。
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、分子内にメソゲン構造を備えるフェノキシ樹脂（Ｃ）を含む。
【0041】
前記メソゲン構造含有フェノキシ樹脂の一例として、分子内において、フェノール化合物由来の構造単位およびエポキシ化合物由来の構造単位を含み、これらの構造単位の少なくとも一方にメソゲン構造を有する化合物を含むものが挙げられる。
また前記メソゲン構造含有フェノキシ樹脂の他の例として、分子内において、メソゲン構造含有フェノール化合物由来の構造単位を含むものが挙げられる。
また前記メソゲン構造含有フェノキシ樹脂の他の例として、分子内において、メソゲン構造含有フェノール化合物由来の構造単位を含むものが挙げられる。
【0042】
前記メソゲン構造含有フェノキシ樹脂の一例は、公知の手法で製造できるが、例えば、２個以上のヒドロキシ基を分子内に有する多官能フェノール化合物と、２個以上のエポキシ基を分子内に有する多官能エポキシ化合物とを反応することにより得ることができる。
すなわち、前記フェノキシ樹脂は、多官能フェノール化合物と多官能エポキシ化合物との反応化合物を含むことができる。これらの多官能フェノール化合物および多官能エポキシ化合物のいずれか一方または両方が、メソゲン構造を有するものである。
すなわち、前記フェノキシ樹脂は、多官能フェノール化合物と多官能エポキシ化合物との反応化合物を含むことができる。これらの多官能フェノール化合物および多官能エポキシ化合物のいずれか一方または両方が、メソゲン構造を有するものである。
【0043】
また前記メソゲン構造含有フェノキシ樹脂の他例は、公知の手法で製造できるが、例えば、２個以上のフェノール基を分子内に有するメソゲン構造含有フェノール化合物をエピクロロヒドリン中に付加重合反応することにより得ることができる。
すなわち、前記フェノキシ樹脂は、メソゲン構造含有フェノール化合物の付加重合物を含むことができる。
すなわち、前記フェノキシ樹脂は、メソゲン構造含有フェノール化合物の付加重合物を含むことができる。
【0044】
前記フェノキシ樹脂の製造において、無溶媒下または反応溶媒の存在下に行うことができ、用いる反応溶媒としては、非プロトン性有機溶媒、例えば、メチルエチルケトン、ジオキサン、テトラヒドロフラン、アセトフェノン、Ｎ－メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド、スルホラン、シクロヘキサノンなどを好適に用いることができる。反応終了後に溶媒置換などを行なうことで好適な溶媒に溶解した樹脂として得ることが可能である。また、溶媒反応で得られたフェノキシ樹脂は、蒸発器等を用いた脱溶媒処理をすることにより、溶媒を含まない固形状の樹脂とすることもできる。
【0045】
前記フェノキシ樹脂の製造に用いることのできる反応触媒としては、従来公知の重合触媒として、アルカリ金属水酸化物、第三アミン化合物、第四アンモニウム化合物、第三ホスフィン化合物、及び第四ホスホニウム化合物、イミダゾール化合物が好適に使用される。
【0046】
前記フェノキシ樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、通常５００～２００，０００である。好ましくは１，０００～１００，０００であり、より好ましくは２，０００～５０，０００である。Ｍｗはゲルパーミエーションクロマトグラフィーで測定し、標準ポリスチレン検量線を用いて換算した値を示す。
【0047】
本実施形態において、メソゲン構造は、例えば、下記一般式（１）または一般式（２）で表される構造を有するものである。
－Ａ１－ｘ－Ａ２－ ・・（１）
－ｘ－Ａ１－ｘ－ ・・（２）
－Ａ１－ｘ－Ａ２－ ・・（１）
－ｘ－Ａ１－ｘ－ ・・（２）
【0048】
前記一般式（１）、一般式（２）中、Ａ１およびＡ２は、各々独立して、芳香族基、縮合芳香族基、脂環基、または脂環式複素環基を表し、ｘは、各々独立して、直接結合、または－Ｏ－、－Ｃ＝Ｃ－、－Ｃ≡Ｃ－、－ＣＯ－、－ＣＯ－Ｏ－、－ＣＯ－ＮＨ－、－ＣＨ＝Ｎ－、－ＣＨ＝Ｎ－Ｎ＝ＣＨ－、－Ｎ＝Ｎ－および－Ｎ（Ｏ）＝Ｎ－からなる群から選択される２価の結合基を示す。
【0049】
ここで、Ａ１、Ａ２は各々独立して、ベンゼン環を有する炭素数６～１２の炭化水素基、ナフタレン環を有する炭素数１０～２０の炭化水素基、ビフェニル構造を有する炭素数１２～２４の炭化水素基、ベンゼン環を３個以上有する炭素数１２～３６の炭化水素基、縮合芳香族基を有する炭素数１２～３６の炭化水素基、炭素数４～３６の脂環式複素環基から選択されるものであることが好ましい。Ａ１、Ａ２は、無置換であってもよく、または置換基を有する誘導体であってもよい。
【0050】
メソゲン構造中のＡ１、Ａ２の具体例としては、例えば、フェニレン、ビフェニレン、ナフチレン、アントラセニレン、シクロヘキシル、ピリジル、ピリミジル、チオフェニレン等が挙げられる。また、これらは無置換であっても良く、脂肪族炭化水素基、ハロゲン基、シアノ基、ニトロ基などの置換基を有する誘導体であってもよい。
【0051】
メソゲン構造中の結合基（連結基）に相当するｘとしては、例えば、直接結合、または－Ｃ＝Ｃ－、－Ｃ≡Ｃ－、－ＣＯ－Ｏ－、－ＣＯ－ＮＨ－、－ＣＨ＝Ｎ－、－ＣＨ＝Ｎ－Ｎ＝ＣＨ－、－Ｎ＝Ｎ－または－Ｎ（Ｏ）＝Ｎ－の群から選ばれる２価の置換基が好ましい。
【0052】
ここで、直接結合とは、単結合、またはメソゲン構造中のＡ１およびＡ２が互いに連結して環構造を形成することを意味する。例えば、前記一般式（１）で表される構造に、ナフタレン構造が含まれていてもよい。
【0053】
前記多官能フェノール化合物としては、例えば、下記の一般式（Ａ）で表されるメソゲン構造含有化合物を用いることができる。これらを単独で用いても２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0054】
【化5】
【0055】
前記一般式（Ａ）中、Ｒ１およびＲ３は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基を表し、Ｒ２およびＲ４は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数１～６の鎖状もしくは環状アルキル基、フェニル基およびハロゲン原子から選択される１種を表し、ａおよびｃはそれぞれ１～３の整数であり、ｂおよびｄはそれぞれ０～２の整数である。ただし、ａ＋ｂおよびｃ＋ｄは、それぞれ１～３のいずれかである。ａ＋ｃは３以上でもよい。
【0056】
前記多官能エポキシ化合物としては、例えば、下記の一般式（Ｂ）で表されるメソゲン構造含有化合物を用いることができる。これらを単独で用いても２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0057】
【化6】
【0058】
前記一般式（Ｂ）中、Ｒ５およびＲ７は、それぞれ独立に、グリシジルエーテル基を表し、Ｒ６およびＲ８は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数１～６の鎖状もしくは環状アルキル基、フェニル基およびハロゲン原子から選択される１種を表し、ｅおよびｇはそれぞれ１～３の整数であり、ｆおよびｈはそれぞれ０～２の整数である。ただし、ｅ＋ｆおよびｇ＋ｈは、それぞれ１～３のいずれかである。
【0059】
また、前記一般式（Ａ）および一般式（Ｂ）中のＲは、それぞれ、前記の－Ａ１－ｘ－Ａ２－、－ｘ－Ａ１－ｘ－、または－ｘ－を表すものである。なお、前記一般式（Ａ）中の２つのベンゼン環は互いに連結して縮合環を形成してもよい。
【0060】
前記Ｒ２、Ｒ４、Ｒ６およびＲ８の具体例としては、それぞれ、例えば、水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、塩素原子、臭素原子等が挙げられるが、これらの中でも、特に、水素原子、またメチル基であるのが好ましい。
【0061】
前記メソゲン構造を含有する多官能エポキシ化合物としては、例えば、前記の一般式（Ｂ）で表される化合物の付加重合物を用いてもよい。これらを単独で用いても２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0062】
前記多官能フェノール化合物および前記多官能エポキシ化合物の中でも、３個以上のヒドロキシ基を分子内に有する多官能フェノール化合物、および２個以上のエポキシ基を分子内に有する多官能エポキシ化合物を用いてもよい。
【0063】
すなわち、前記フェノキシ樹脂は、３個以上のヒドロキシ基を分子内に有する多官能フェノール化合物と、２個以上のエポキシ基を分子内に有する多官能エポキシ化合物との分岐状反応化合物を含むことができる。
３個以上のヒドロキシ基を分子内に有する多官能フェノール化合物としては、例えば、ポリフェノールまたはポリフェノール誘導体を含むことができる。
３個以上のヒドロキシ基を分子内に有する多官能フェノール化合物としては、例えば、ポリフェノールまたはポリフェノール誘導体を含むことができる。
【0064】
前記ポリフェノールは、分子内に３個以上のフェノール性ヒドロキシ基を含有する化合物である。また、このポリフェノールは、分子内に前記メソゲン構造を備えるものが好ましい。例えば、メソゲン構造として、ビフェニル骨格、フェニルベンゾエート骨格、アゾベンゼン骨格、スチルベン骨格等を用いることができる。
【0065】
なお、ポリフェノール誘導体とは、３個以上のフェノール性ヒドロキシ基およびメソゲン構造を有するポリフェノール化合物に対して、当該化合物の置換可能な位置で他の置換基に変更される化合物を含むものである。
【0066】
本実施形態において、前記分岐状反応化合物は、少なくとも３個以上のヒドロキシ基を分子内に有する多官能フェノール化合物を含む、１または２種以上の前記多官能フェノール化合物と、１または２種以上の前記多官能エポキシ樹脂とを用いて得ることができる。
【0067】
例えば、３官能フェノール化合物および２官能エポキシ化合物の組み合わせや、３官能フェノール化合物、２官能フェノール化合物および２官能エポキシ化合物の組み合わせを用いてもよい。
前記３官能フェノール化合物として、例えば、以下の化学式で表されるレスベラトロールを用いることができる。
前記３官能フェノール化合物として、例えば、以下の化学式で表されるレスベラトロールを用いることができる。
【0068】
【化7】
【0069】
前記２官能フェノール化合物として、例えば、前記Ｒ１およびＲ３のヒドロキシ基が、それぞれのベンゼン環のパラ位に結合したものを用いることができる。
また、前記２官能エポキシ化合物として、前記Ｒ５およびＲ７のグリシジルエーテル基が、それぞれのベンゼン環のパラ位に結合したものを用いることができる。
また、前記２官能エポキシ化合物として、前記Ｒ５およびＲ７のグリシジルエーテル基が、それぞれのベンゼン環のパラ位に結合したものを用いることができる。
【0070】
また、前記２官能フェノール化合物が縮合環としてナフタレン環を備える場合、前記Ｒ１およびＲ３のヒドロキシ基が、ナフタレン環の１位と４位、１位と５位、１位と６位、２位と３位、２位と６位、または２位と７位のいずれかに結合したものを用いることができる。また、前記２官能エポキシ化合物が縮合環としてナフタレン環を備える場合、前記Ｒ５およびＲ７のグリシジルエーテル基が、ナフタレン環の１位と４位、１位と５位、１位と６位、２位と３位、２位と６位、または２位と７位のいずれかに結合したものを用いることができる。
【0071】
前記のような３官能フェノール化合物および２官能エポキシ化合物の組み合わせや、３官能フェノール化合物、２官能フェノール化合物および２官能エポキシ化合物の組み合わせにより、前記の分岐型反応化合物（分岐型フェノキシ樹脂）を得られる。
【0072】
一方、前記多官能フェノール化合物および前記多官能エポキシ化合物の中でも、２官能フェノール化合物および２官能エポキシ化合物を用いてもよい。これらを単独で用いても２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0073】
すなわち、前記フェノキシ樹脂は、２個のヒドロキシ基を分子内に有する２官能フェノール化合物と、２個のエポキシ基を分子内に有する２官能エポキシ化合物との直鎖型反応化合物を含むことができる。
【0074】
前記２官能フェノール化合物として、前記Ｒ１およびＲ３のヒドロキシ基が、それぞれのベンゼン環のパラ位に結合したものを用いることができる。また、前記２官能エポキシ化合物として、前記Ｒ５およびＲ７のグリシジルエーテル基が、それぞれのベンゼン環のパラ位に結合したものを用いることができる。
【0075】
また、前記２官能フェノール化合物が縮合環としてナフタレン環を備える場合、前記Ｒ１およびＲ３のヒドロキシ基が、ナフタレン環の１位と４位、１位と５位、１位と６位、２位と３位、２位と６位、または２位と７位のいずれかに結合したものを用いることができる。また、前記２官能エポキシ化合物が縮合環としてナフタレン環を備える場合、前記Ｒ５およびＲ７のグリシジルエーテル基が、ナフタレン環の１位と４位、１位と５位、１位と６位、２位と３位、２位と６位、または２位と７位のいずれかに結合したものを用いることができる。
このような２官能フェノール化合物および２官能エポキシ化合物を併用することにより、前記の直鎖型反応化合物（直鎖型フェノキシ樹脂）を得られる。
このような２官能フェノール化合物および２官能エポキシ化合物を併用することにより、前記の直鎖型反応化合物（直鎖型フェノキシ樹脂）を得られる。
【0076】
前記分岐型フェノキシ樹脂及び直鎖型フェノキシ樹脂は、分子末端にエポキシ基またはヒドロキシ基、分子内部にエポキシ基またはヒドロキシ基を有することができる。末端または内部にエポキシ基を有することにより、架橋反応を形成できるため、耐熱性を高めることができる。
また、剛直かつ電子共役している直鎖型の構造単位を有することにより、放熱特性を向上させることができる。
また、剛直かつ電子共役している直鎖型の構造単位を有することにより、放熱特性を向上させることができる。
【0077】
フェノキシ樹脂（Ｃ）は、熱伝導性粒子（Ｄ）を含まない熱硬化性樹脂組成物の樹脂成分（１００質量％）に対して、例えば、５質量％～６０質量％、好ましくは１０質量％～５０質量％、より好ましくは１５質量％～４０質量％である。これにより、高熱伝導性および絶縁性により優れた樹脂シートを得ることができる。
【0078】
［熱伝導性粒子（Ｄ）］
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、熱伝導性粒子（Ｄ）を含む。
熱伝導性粒子（Ｄ）は、たとえば、２０Ｗ／ｍ・Ｋ以上の熱伝導率を有する高熱伝導性無機粒子を含むことができる。高熱伝導性無機粒子としては、例えば、シリカ、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化珪素、炭化珪素及び酸化マグネシウムから選択される少なくとも１種以上を含むことができる。これらを単独で用いても２種以上を組み合わせて用いてもよい。
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、熱伝導性粒子（Ｄ）を含む。
熱伝導性粒子（Ｄ）は、たとえば、２０Ｗ／ｍ・Ｋ以上の熱伝導率を有する高熱伝導性無機粒子を含むことができる。高熱伝導性無機粒子としては、例えば、シリカ、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化珪素、炭化珪素及び酸化マグネシウムから選択される少なくとも１種以上を含むことができる。これらを単独で用いても２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0079】
前記窒化ホウ素は、鱗片状窒化ホウ素の、単分散粒子、凝集粒子またはこれらの混合物を含むことができる。鱗片状窒化ホウ素は顆粒状に造粒されていてもよい。鱗片状窒化ホウ素の凝集粒子を用いることによって、一層に熱伝導性を高められる。凝集粒子は、焼結粒子であっても、非焼結粒子であってもよい。
【0080】
熱伝導性粒子（Ｄ）の含有量は、熱硬化性樹脂組成物の樹脂成分（１００質量％）に対して、１００質量％～４００質量％であり、好ましくは１５０質量％～３５０質量％であり、より好ましくは２００質量％～３００質量％である。前記下限値以上とすることにより、熱伝導性を向上させることができる。前記上限値以下とすることにより、プロセス性の低下を抑制することができる。
【0081】
［オルガノシロキサン化合物（Ｅ）］
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、下記一般式（１）で表されるオルガノシロキサン化合物（Ｅ）を含む。
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、下記一般式（１）で表されるオルガノシロキサン化合物（Ｅ）を含む。
【0082】
【化8】
【0083】
一般式（１）中、Ｑは炭素数１～２０の非置換または置換の１価炭化水素基である。
１価炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、シクロペンチル基、ｎ－ヘキシル基、イソヘキシル基、シクロヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、イソヘプチル基、ｎ－オクチル基、イソオクチル基、ｔｅｒｔ－オクチル基、ｎ－ノニル基、イソノニル基、ｎ－デシル基、イソデシル基等の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基；ビニル基、アリル基、ブテニル基、メタリル基等のアルケニル基；フェニル基、トリル基、キシリル基等のアリール基；ベンジル基、メチルベンジル基、フェネチル基、メチルフェネチル基、フェニルベンジル基等のアラルキル基などが挙げられる。本実施形態においてはアリール基が好ましく、フェニル基が特に好ましい。
１価炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、シクロペンチル基、ｎ－ヘキシル基、イソヘキシル基、シクロヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、イソヘプチル基、ｎ－オクチル基、イソオクチル基、ｔｅｒｔ－オクチル基、ｎ－ノニル基、イソノニル基、ｎ－デシル基、イソデシル基等の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基；ビニル基、アリル基、ブテニル基、メタリル基等のアルケニル基；フェニル基、トリル基、キシリル基等のアリール基；ベンジル基、メチルベンジル基、フェネチル基、メチルフェネチル基、フェニルベンジル基等のアラルキル基などが挙げられる。本実施形態においてはアリール基が好ましく、フェニル基が特に好ましい。
【0084】
１価炭化水素基の水素原子の一部または全部が置換基で置換されていてもよく、当該置換基としては、具体的には、例えば、メトキシ基、エトキシ基、（イソ）プロポキシ基等のアルコキシ基；フッ素、塩素、臭素等のハロゲン原子；シアノ基、アミノ基、芳香族炭化水素基、エステル基、エーテル基、カルボニル基、アシル基、スルフィド基、アルキルシリル基、アルキルアルコキシシリル基、アルコキシシリル基等が挙げられ、これらのうちの１種又は２種以上を組み合わせて用いることもできる。これらの置換基の置換位置は特に限定されず、置換基数も限定されない。置換基としては、エステル基、アルキルアルコキシシリル基、アルコキシシリル基が好ましい。
【0085】
Ｘは炭素数１～６の非置換または置換の２価炭化水素基である。
Ｘの２価炭化水素基としては、例えば、プロピレン基、ブチレン基、イソブチレン基等のアルキレン基が例示される。また、これらの炭化水素基の水素原子の一部又は全部が置換基で置換されていてもよく、該置換基としては、エーテル基、エステル基、カルボニル基、スルフィド基、ジスルフィド基等が挙げられる。
Ｘの２価炭化水素基としては、例えば、プロピレン基、ブチレン基、イソブチレン基等のアルキレン基が例示される。また、これらの炭化水素基の水素原子の一部又は全部が置換基で置換されていてもよく、該置換基としては、エーテル基、エステル基、カルボニル基、スルフィド基、ジスルフィド基等が挙げられる。
【0086】
Ｒ１は水素原子、または炭素数１～１０の非置換または置換の１価炭化水素基であり、複数存在するＲ１同士は同一でも異なっていてもよい。Ｒ２は炭素数１～１０の非置換または置換の１価炭化水素基であり、複数存在するＲ２同士は同一でも異なっていてもよい。
Ｒ１およびＲ２の１価炭化水素基としては、Ｑの１価炭化水素基と同様であり、好ましくは直鎖状の炭素数１～５のアルキル基、特にメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基が好ましい。また、これらの炭化水素基の水素原子の一部又は全部が置換基で置換されていてもよく、該置換基としては、具体的には、例えば、メトキシ基、エトキシ基、（イソ）プロポキシ基等のアルコキシ基；フッ素、塩素、臭素等のハロゲン原子；シアノ基、アミノ基、芳香族炭化水素基、エステル基、エーテル基、カルボニル基、アシル基、スルフィド基等が挙げられ、これらのうちの１種又は２種以上を組み合わせて用いることもできる。これらの置換基の置換位置は特に限定されず、置換基数も限定されない。
ｎは０または１であり、本発明の効果の観点から、０であることが好ましい。
Ｒ１およびＲ２の１価炭化水素基としては、Ｑの１価炭化水素基と同様であり、好ましくは直鎖状の炭素数１～５のアルキル基、特にメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基が好ましい。また、これらの炭化水素基の水素原子の一部又は全部が置換基で置換されていてもよく、該置換基としては、具体的には、例えば、メトキシ基、エトキシ基、（イソ）プロポキシ基等のアルコキシ基；フッ素、塩素、臭素等のハロゲン原子；シアノ基、アミノ基、芳香族炭化水素基、エステル基、エーテル基、カルボニル基、アシル基、スルフィド基等が挙げられ、これらのうちの１種又は２種以上を組み合わせて用いることもできる。これらの置換基の置換位置は特に限定されず、置換基数も限定されない。
ｎは０または１であり、本発明の効果の観点から、０であることが好ましい。
【0087】
一般式（１）で表されるオルガノシロキサン化合物（Ｅ）としては、例えば、２，２－ジメトキシ－１－メチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－メチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－メチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－メチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－メチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－ブチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－ブチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－ブチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－ブチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－ブチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－シクロヘキシル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－シクロヘキシル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－シクロヘキシル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－シクロヘキシル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－シクロヘキシル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－フェニル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－フェニル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－フェニル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－フェニル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－フェニル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（２－メトキシカルボニル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（２－メトキシカルボニル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（２－メトキシカルボニル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（２－メトキシカルボニル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（２－メトキシカルボニル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（２－メトキシカルボニル－２－メチル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（２－メトキシカルボニル－２－メチル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（２－メトキシカルボニル－２－メチル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（２－メトキシカルボニル－２－メチル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（２－メトキシカルボニル－２－メチル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－トリメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－トリメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－トリメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－トリメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－トリメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（３－トリメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（３－トリメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（３－トリメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（３－トリメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（３－トリメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（４－トリメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（４－トリメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（４－トリメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（４－トリメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（４－トリメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－メチルジメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－メチルジメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－メチルジメトキシシリルメチルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－メチルジメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－メチルジメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（３－メチルジメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（３－メチルジメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（３－メチルジメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（３－メチルジメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（３－メチルジメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（４－メチルジメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（４－メチルジメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（４－メチルジメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（４－メチルジメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（４－メチルジメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－ジメチルメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－ジメチルメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－ジメチルメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－ジメチルメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－ジメチルメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（３－ジメチルメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（３－ジメチルメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（３－ジメチルメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（３－ジメチルメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（３－ジメチルメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（４－ジメチルメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（４－ジメチルメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（４－ジメチルメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（４－ジメチルメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（４－ジメチルメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－トリエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－トリエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－トリエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－トリエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－トリエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（３－トリエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（３－トリエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（３－トリエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（３－トリエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（３－トリエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（４－トリエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（４－トリエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（４－トリエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（４－トリエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（４－トリエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－メチルジエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－メチルジエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－メチルジエトキシシリルメチルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－メチルジエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－メチルジエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（３－メチルジエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（３－メチルジエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（３－メチルジエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（３－メチルジエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（３－メチルジエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（４－メチルジエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（４－メチルジエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（４－メチルジエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（４－メチルジエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（４－メチルジエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－ジメチルエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－ジメチルエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－ジメチルエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－ジメチルエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－ジメチルエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（３－ジメチルエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（３－ジメチルエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル
－１－（３－ジメチルエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（３－ジメチルエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（３－ジメチルエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（４－ジメチルエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（４－ジメチルエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（４－ジメチルエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（４－ジメチルエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（４－ジメチルエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン等が挙げられる。環状シラザン化合物を具体的に例示すると、例えば、２，２－ジメトキシ－１－メチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、
２－メトキシ－２－メチル－１－メチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－メチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－メチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－メチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－ブチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－ブチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－ブチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－ブチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－ブチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－シクロヘキシル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－シクロヘキシル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－シクロヘキシル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－シクロヘキシル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－シクロヘキシル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－フェニル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－フェニル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－フェニル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－フェニル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－フェニル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（２－メトキシカルボニル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（２－メトキシカルボニル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（２－メトキシカルボニル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（２－メトキシカルボニル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（２－メトキシカルボニル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（２－メトキシカルボニル－２－メチル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（２－メトキシカルボニル－２－メチル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（２－メトキシカルボニル－２－メチル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（２－メトキシカルボニル－２－メチル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（２－メトキシカルボニル－２－メチル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－トリメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－トリメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－トリメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－トリメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－トリメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（３－トリメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（３－トリメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（３－トリメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（３－トリメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（３－トリメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（４－トリメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（４－トリメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（４－トリメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（４－トリメトキシシリルブチル）－１－アザ
－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（４－トリメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－メチルジメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－メチルジメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－メチルジメトキシシリルメチルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－メチルジメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－メチルジメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（３－メチルジメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（３－メチルジメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（３－メチルジメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（３－メチルジメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（３－メチルジメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（４－メチルジメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（４－メチルジメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（４－メチルジメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（４－メチルジメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（４－メチルジメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－ジメチルメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－ジメチルメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－ジメチルメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－ジメチルメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－ジメチルメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（３－ジメチルメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（３－ジメチルメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（３－ジメチルメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（３－ジメチルメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（３－ジメチルメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（４－ジメチルメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（４－ジメチルメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（４－ジメチルメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（４－ジメチルメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（４－ジメチルメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－トリエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－トリエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－トリエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－トリエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－トリエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、
２，２－ジメトキシ－１－（３－トリエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（３－トリエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（３－トリエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（３－トリエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（３－トリエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（４－トリエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシク
ロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（４－トリエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（４－トリエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（４－トリエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（４－トリエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－メチルジエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－メチルジエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－メチルジエトキシシリルメチルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－メチルジエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－メチルジエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（３－メチルジエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（３－メチルジエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（３－メチルジエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（３－メチルジエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（３－メチルジエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（４－メチルジエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（４－メチルジエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（４－メチルジエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（４－メチルジエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（４－メチルジエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－ジメチルエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－ジメチルエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－ジメチルエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－ジメチルエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－ジメチルエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（３－ジメチルエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（３－ジメチルエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（３－ジメチルエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（３－ジメチルエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（３－ジメチルエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（４－ジメチルエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（４－ジメチルエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（４－ジメチルエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（４－ジメチルエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（４－ジメチルエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン等が挙げられる。
－１－（３－ジメチルエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（３－ジメチルエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（３－ジメチルエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（４－ジメチルエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（４－ジメチルエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（４－ジメチルエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（４－ジメチルエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（４－ジメチルエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン等が挙げられる。環状シラザン化合物を具体的に例示すると、例えば、２，２－ジメトキシ－１－メチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、
２－メトキシ－２－メチル－１－メチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－メチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－メチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－メチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－ブチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－ブチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－ブチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－ブチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－ブチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－シクロヘキシル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－シクロヘキシル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－シクロヘキシル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－シクロヘキシル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－シクロヘキシル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－フェニル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－フェニル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－フェニル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－フェニル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－フェニル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（２－メトキシカルボニル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（２－メトキシカルボニル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（２－メトキシカルボニル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（２－メトキシカルボニル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（２－メトキシカルボニル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（２－メトキシカルボニル－２－メチル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（２－メトキシカルボニル－２－メチル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（２－メトキシカルボニル－２－メチル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（２－メトキシカルボニル－２－メチル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（２－メトキシカルボニル－２－メチル）エチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－トリメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－トリメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－トリメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－トリメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－トリメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（３－トリメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（３－トリメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（３－トリメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（３－トリメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（３－トリメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（４－トリメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（４－トリメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（４－トリメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（４－トリメトキシシリルブチル）－１－アザ
－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（４－トリメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－メチルジメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－メチルジメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－メチルジメトキシシリルメチルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－メチルジメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－メチルジメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（３－メチルジメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（３－メチルジメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（３－メチルジメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（３－メチルジメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（３－メチルジメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（４－メチルジメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（４－メチルジメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（４－メチルジメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（４－メチルジメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（４－メチルジメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－ジメチルメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－ジメチルメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－ジメチルメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－ジメチルメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－ジメチルメトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（３－ジメチルメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（３－ジメチルメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（３－ジメチルメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（３－ジメチルメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（３－ジメチルメトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（４－ジメチルメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（４－ジメチルメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（４－ジメチルメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（４－ジメチルメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（４－ジメチルメトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－トリエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－トリエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－トリエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－トリエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－トリエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、
２，２－ジメトキシ－１－（３－トリエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（３－トリエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（３－トリエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（３－トリエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（３－トリエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（４－トリエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシク
ロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（４－トリエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（４－トリエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（４－トリエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（４－トリエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－メチルジエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－メチルジエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－メチルジエトキシシリルメチルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－メチルジエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－メチルジエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（３－メチルジエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（３－メチルジエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（３－メチルジエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（３－メチルジエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（３－メチルジエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（４－メチルジエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（４－メチルジエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（４－メチルジエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（４－メチルジエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（４－メチルジエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－ジメチルエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－ジメチルエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－ジメチルエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－ジメチルエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－ジメチルエトキシシリルメチル－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（３－ジメチルエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（３－ジメチルエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（３－ジメチルエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（３－ジメチルエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（３－ジメチルエトキシシリルプロピル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメトキシ－１－（４－ジメチルエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－メトキシ－２－メチル－１－（４－ジメチルエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジメチル－１－（４－ジメチルエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２，２－ジエトキシ－１－（４－ジメチルエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン、２－エトキシ－２－メチル－１－（４－ジメチルエトキシシリルブチル）－１－アザ－２－シラシクロペンタン等が挙げられる。
【0088】
窒化ホウ素粒子等の熱伝導性粒子に、シランカップリング剤を添加しても、密着性が改善しないことは従来からよく知られているため、これまで添加効果は検討されてこなかった。今回、熱伝導性粒子（Ｄ）にオルガノシロキサン化合物（Ｅ）を添加したところ、吸湿率が低く吸湿半田耐熱性および絶縁耐久性に優れるとともに高熱伝導性および絶縁性に優れた樹脂シートを得ることができることが明らかになり本発明を完成させた。このメカニズムは明らかではないものの、オルガノシロキサン化合物の添加により、熱伝導性粒子の端面や面内の格子欠陥に僅かに存在し、樹脂と熱伝導性粒子とのなじみ性を悪化させる極性官能基の影響を排して、樹脂と熱伝導性粒子との界面におけるなじみ性や疎水性を向上させ、その結果として、界面の熱抵抗が低下し、さらに吸湿性が低下すると想定される。
【0089】
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、オルガノシロキサン化合物（Ｅ）を熱伝導性粒子（Ｄ）１００質量部に対して、０．０１～２．０質量部、好ましくは０．０２～０．８質量部、さらに好ましくは０．０３～０．７質量部の量で含むことができる。これにより、さらに吸湿率が低く、より吸湿半田耐熱性および絶縁耐久性に優れた樹脂シートを得ることができる。
【0090】
（硬化促進剤（Ｆ））
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、必要に応じて、硬化促進剤（Ｆ）を含むことができる。
硬化促進剤（Ｆ）の種類や配合量は特に限定されないが、反応速度や反応温度、保管性などの観点から、適切なものを選択することができる。
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、必要に応じて、硬化促進剤（Ｆ）を含むことができる。
硬化促進剤（Ｆ）の種類や配合量は特に限定されないが、反応速度や反応温度、保管性などの観点から、適切なものを選択することができる。
【0091】
硬化促進剤（Ｆ）としては、例えば、イミダゾール類、有機リン化合物、３級アミン類、フェノール化合物、有機酸等が挙げられる。これらを単独で用いても２種以上を組み合わせて用いてもよい。この中でも、耐熱性を高める観点から、イミダゾール類などの窒素原子含有化合物を用いることが好ましい。
【0092】
前記イミダゾール類としては、例えば、２－メチルイミダゾール、２－エチル－４－メチルイミダゾール、２－フェニル－４－メチルイミダゾール、２，４－ジエチルイミダゾール、２－フェニル－４－メチル－５－ヒドロキシイミダゾール、２－フェニル－４，５－ジヒドロキシメチルイミダゾール、１－シアノエチル－２－フェニルイミダゾール、１－シアノエチル－２－フェニルイミダゾリウムトリメリテート等が挙げられる。
【0093】
前記３級アミン類としては、例えば、トリエチルアミン、トリブチルアミン、１，４－ジアザビシクロ［２．２．２］オクタン、１，８－ジアザビシクロ（５，４，０）ウンデセン－７等が挙げられる。
【0094】
前記フェノール化合物としては、例えば、フェノール樹脂、ビスフェノールＡ、ノニルフェノール、２，２－ビス（３－メチル－４－ヒドロキシフェニル）プロパン、アリルフェノール等が挙げられる。
前記有機酸としては、例えば、酢酸、安息香酸、サリチル酸、ｐ－トルエンスルホン酸等が挙げられる。
前記有機酸としては、例えば、酢酸、安息香酸、サリチル酸、ｐ－トルエンスルホン酸等が挙げられる。
【0095】
硬化促進剤（Ｆ）の含有量は、熱硬化性樹脂の合計１００質量％に対して、０．０１質量％～１０質量％でもよく、０．０２質量％～５質量％でもよく、０．０５質量％～１．５質量％でもよい。
【0096】
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、上述した成分以外の他の成分を含むことができる。この他の成分としては、例えば、酸化防止剤、レベリング剤が挙げられる。
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物の製造方法として、例えば、次のような方法がある。
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物の製造方法として、例えば、次のような方法がある。
【0097】
上記の各成分を、溶剤中に溶解、混合、撹拌することにより樹脂ワニス（ワニス状の熱硬化性樹脂組成物）を調製することができる。この混合は、超音波分散方式、高圧衝突式分散方式、高速回転分散方式、ビーズミル方式、高速せん断分散方式、および自転公転式分散方式などの各種混合機を用いることができる。なお、本発明の効果の観点から、熱伝導性粒子（Ｄ）と、オルガノシロキサン化合物（Ｅ）とを予め混合してもよく、オルガノシロキサン化合物（Ｅ）以外の樹脂ワニスを調製し、当該樹脂ワニスにオルガノシロキサン化合物（Ｅ）を添加剤として混合することも好ましい。
【0098】
上記溶剤としては特に限定されないが、アセトン、メチルイソブチルケトン、トルエン、酢酸エチル、シクロヘキサン、ヘプタン、シクロヘキサノン、テトラヒドロフラン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、セルソルブ系、カルビトール系、アニソール、およびＮ－メチルピロリドン等が挙げられる。
【0099】
［樹脂シート］
本実施形態の樹脂シートは、前記熱硬化性樹脂組成物を硬化してなる。樹脂シートの具体的な形態は、キャリア基材と、キャリア基材上に設けられた、本実施形態の熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層と、を備えるものである。
本実施形態の樹脂シートは、前記熱硬化性樹脂組成物を硬化してなる。樹脂シートの具体的な形態は、キャリア基材と、キャリア基材上に設けられた、本実施形態の熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層と、を備えるものである。
【0100】
上記樹脂シートは、たとえばワニス状の熱硬化性樹脂組成物をキャリア基材上に塗布して得られた塗布膜（樹脂層）に対して、溶剤除去処理を行うことにより得ることができる。上記樹脂シート中の溶剤含有率が、熱硬化性樹脂組成物全体に対して１０質量％以下とすることができる。たとえば８０℃～２００℃、１分間～３０分間の条件で溶剤除去処理を行うことができる。さらに得られた熱硬化樹脂組成物を１５０℃～２５０℃で３０分間～１２０分間の加熱を行うことで硬化物を得ることができる。このとき加圧下で実施してもよい。
【0101】
また、本実施形態において、上記キャリア基材としては、例えば、高分子フィルムや金属箔などを用いることができる。当該高分子フィルムとしては、特に限定されないが、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレートなどのポリエステル、ポリカーボネート、シリコーンシート等の離型紙、フッ素系樹脂、ポリイミド樹脂などの耐熱性を有した熱可塑性樹脂シート等が挙げられる。当該金属箔としては、特に限定されないが、例えば、銅および／または銅系合金、アルミおよび／またはアルミ系合金、鉄および／または鉄系合金、銀および／または銀系合金、金および金系合金、亜鉛および亜鉛系合金、ニッケルおよびニッケル系合金、錫および錫系合金などが挙げられる。
【0102】
本実施形態の樹脂シートの硬化物は低吸湿性に優れており、膜厚１５０μｍの樹脂シートを、温度３０℃、湿度９０％の条件で４８時間放置したときの処理前後の重量変化から下記式で算出された吸湿率が０．３５％以下、好ましくは０．３３％以下、より好ましくは０．３２％以下、特に好ましくは０．３０％以下である。
式：［（処理後の樹脂シート重量－処理前の樹脂シート重量）／処理前の樹脂シート重量］×１００
式：［（処理後の樹脂シート重量－処理前の樹脂シート重量）／処理前の樹脂シート重量］×１００
【0103】
本実施形態の樹脂基板は、上記熱硬化性樹脂組成物の硬化物で構成された絶縁層を備えるものである。この樹脂基板は、ＬＥＤ、パワーモジュールなどの電子部品を搭載するためのプリント基板の材料として用いることができる。
【0104】
【0105】
上記金属ベース基板１００は、図１に示すように、金属基板１０１と、金属基板１０１上に設けられた絶縁層１０２と、絶縁層１０２上に設けられた金属層１０３と、を備えることができる。この絶縁層１０２は、上記の熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層、熱硬化性樹脂組成物の硬化物および積層板からなる群から選択される一種で構成することが可能である。これらの樹脂層、積層板のそれぞれは、金属層１０３の回路加工の前では、Ｂステージ状態の熱硬化性樹脂組成物で構成されていてもよく、回路加工の後では、それを硬化処理されてなる硬化体であってもよい。
【0106】
金属層１０３は絶縁層１０２上に設けられ、回路加工されるものである。この金属層１０３を構成する金属としては、例えば、銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合金、ニッケル、鉄、錫等から選択される一種または二種以上が挙げられる。これらの中でも、金属層１０３は、好ましくは銅層またはアルミニウム層であり、特に好ましくは銅層である。銅またはアルミニウムを用いることで、金属層１０３の回路加工性を良好なものとすることができる。金属層１０３は、板状で入手できる金属箔を用いてもよいし、ロール状で入手できる金属箔を用いてもよい。
【0107】
金属層１０３の厚みの下限値は、例えば、０．０１ｍｍ以上であり、好ましくは０．０３５ｍｍ以上であれば、高電流を要する用途に適用できる。
また、金属層１０３の厚みの上限値は、例えば、１０．０ｍｍ以下であり、好ましくは５ｍｍ以下である。このような数値以下であれば、回路加工性を向上させることができ、また、基板全体としての薄型化を図ることができる。
また、金属層１０３の厚みの上限値は、例えば、１０．０ｍｍ以下であり、好ましくは５ｍｍ以下である。このような数値以下であれば、回路加工性を向上させることができ、また、基板全体としての薄型化を図ることができる。
【0108】
金属基板１０１は、金属ベース基板１００に蓄積された熱を放熱する役割を有する。金属基板１０１は、放熱性の金属基板であれば特に限定されないが、例えば、銅基板、銅合金基板、アルミニウム基板、アルミニウム合金基板であり、銅基板またはアルミニウム基板が好ましく、銅基板がより好ましい。銅基板またはアルミニウム基板を用いることで、金属基板１０１の放熱性を良好なものとすることができる。
金属基板１０１の厚さは、本発明の目的が損なわれない限り、適宜設定できる。
金属基板１０１の厚さは、本発明の目的が損なわれない限り、適宜設定できる。
【0109】
金属基板１０１の厚さの上限値は、例えば、２０．０ｍｍ以下であり、好ましくは５．０ｍｍ以下である。この数値以下の金属ベース基板１００の外形加工や切り出し加工等における加工性を向上させることができる。
【0110】
また、金属基板１０１の厚さの下限値は、例えば、０．０１ｍｍ以上であり、好ましくは０．６ｍｍ以上である。この数値以上の金属基板１０１を用いることで、金属ベース基板１００全体としての放熱性を向上させることができる。
【0111】
本実施形態において、金属ベース基板１００は、各種の基板用途に用いることが可能であるが、熱伝導性及び耐熱性に優れることから、ＬＥＤやパワーモジュールを用いるプリント基板として用いることが可能である。
【0112】
金属ベース基板１００は、パターンにエッチング等することによって回路加工された金属層１０３を有することができる。この金属ベース基板１００において、最外層に不図示のソルダーレジストを形成し、露光・現像により電子部品が実装できるよう接続用電極部が露出されていてもよい。
【0113】
以上、本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、本発明の効果を損なわない範囲で、前記以外の様々な構成を採用することができる。
【実施例0114】
以下に、実施例により本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【0115】
＜熱硬化性樹脂組成物（ワニス状）の製造＞
表１に記載の配合割合に従い、各成分と溶媒を撹拌してワニス状の熱硬化性樹脂組成物を得た。表１中、熱伝導性粒子の含有量は、熱伝導性フィラーを含まない熱硬化性樹脂組成物の樹脂成分に対する体積％である。
表１中の各成分の詳細は以下のとおりである。なお、表１中の各成分の量の単位は質量部である。
表１に記載の配合割合に従い、各成分と溶媒を撹拌してワニス状の熱硬化性樹脂組成物を得た。表１中、熱伝導性粒子の含有量は、熱伝導性フィラーを含まない熱硬化性樹脂組成物の樹脂成分に対する体積％である。
表１中の各成分の詳細は以下のとおりである。なお、表１中の各成分の量の単位は質量部である。
【0116】
（エポキシ樹脂）
・エポキシ樹脂１：以下構造式で表されるジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂（ＤＩＣ社製、ＨＰ－７２００、常温２５℃で固体状）
・エポキシ樹脂２：２官能ナフタレン型エポキシ樹脂（メソゲン構造あり、ＤＩＣ社製、ＨＰ－４０３２Ｄ、常温２５℃で液状（軟化点２５℃以下））
・エポキシ樹脂１：以下構造式で表されるジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂（ＤＩＣ社製、ＨＰ－７２００、常温２５℃で固体状）
【化9】
【0117】
（シアネート樹脂）
・シアネート樹脂１：Ｌｏｎｚａ社製、Ｐｒｉｍａｓｅｔ「ＰＴ－３０」
・シアネート樹脂１：Ｌｏｎｚａ社製、Ｐｒｉｍａｓｅｔ「ＰＴ－３０」
【0118】
（分子内にメソゲン構造を備えるフェノキシ樹脂）
・フェノキシ樹脂１：以下の合成手順で得られた分子内にメソゲン構造を備えるフェノキシ樹脂
エポキシ樹脂（メソゲン構造あり、４，４'－ジヒドロキシビフェニルジグリシジルエーテル）８０．８質量部、ビスフェノール化合物（以下構造の２，７－ジヒドロキシナフタレン）１９．２質量部、トリフェニルホスフィン（ＴＰＰ）０．０４質量部、および溶剤（メチルエチルケトン）３．９質量部を反応器に投下した。そして、１２０～１５０℃の温度で、溶剤を除去しながら反応させた。ＧＰＣで目的の分子量となることを確認し、反応を停止させた。以上により、分子量４５００のフェノキシ樹脂を得た。
・フェノキシ樹脂１：以下の合成手順で得られた分子内にメソゲン構造を備えるフェノキシ樹脂
エポキシ樹脂（メソゲン構造あり、４，４'－ジヒドロキシビフェニルジグリシジルエーテル）８０．８質量部、ビスフェノール化合物（以下構造の２，７－ジヒドロキシナフタレン）１９．２質量部、トリフェニルホスフィン（ＴＰＰ）０．０４質量部、および溶剤（メチルエチルケトン）３．９質量部を反応器に投下した。そして、１２０～１５０℃の温度で、溶剤を除去しながら反応させた。ＧＰＣで目的の分子量となることを確認し、反応を停止させた。以上により、分子量４５００のフェノキシ樹脂を得た。
【0119】
【化10】
【0120】
（硬化促進剤）
・硬化促進剤１：ノボラック型フェノール化合物（ＭＥＨ－８０００Ｈ、明和化成（株）製、常温２５℃で液状）
・硬化促進剤１：ノボラック型フェノール化合物（ＭＥＨ－８０００Ｈ、明和化成（株）製、常温２５℃で液状）
【0121】
（オルガノシロキサン化合物）
下記化学式で表される、２，２－ジメトキシ－１－フェニル－１－アザ－２－シラシクロペンタン（Ｘ－８８－３９８、信越化学工業社製）
下記化学式で表される、２，２－ジメトキシ－１－フェニル－１－アザ－２－シラシクロペンタン（Ｘ－８８－３９８、信越化学工業社製）
【0122】
【化11】
【0123】
（熱伝導性粒子）
・熱伝導性粒子１：凝集窒化ホウ素（ＨＰ４０、水島合金鉄社製）
・熱伝導性粒子２：ナノシリカ（製品名ＲＸ－２００、エボニック社製）
・熱伝導性粒子１：凝集窒化ホウ素（ＨＰ４０、水島合金鉄社製）
・熱伝導性粒子２：ナノシリカ（製品名ＲＸ－２００、エボニック社製）
【0124】
＜熱硬化性樹脂組成物の樹脂成形体の物性測定＞
・樹脂成形体の比重
比重測定は、ＪＩＳ Ｋ ６９１１（熱硬化性プラスチック一般試験方法）に準拠して行った。試験片は、上記の樹脂成形体から、縦２ｃｍ×横２ｃｍに切り出したものを用いた。比重（ＳＰ）の単位をｇ／ｃｍ３とする。
・樹脂成形体の比重
比重測定は、ＪＩＳ Ｋ ６９１１（熱硬化性プラスチック一般試験方法）に準拠して行った。試験片は、上記の樹脂成形体から、縦２ｃｍ×横２ｃｍに切り出したものを用いた。比重（ＳＰ）の単位をｇ／ｃｍ３とする。
【0125】
（熱伝導率）
・樹脂成形体の作製
得られた熱伝導性フィラーを含有する熱硬化性樹脂組成物を用い、０．０１８ｍｍの銅箔で挟みセットし、コンプレッション成形を１０ＭＰａで１８０℃、９０ｍｉｎを行い、樹脂成形体（熱伝導率測定用サンプル１）を得た。得られた成形体から直径１０ｍｍの熱拡散率測定用サンプルを切り出し、熱拡散率測定に用いた。
・樹脂成形体の作製
得られた熱伝導性フィラーを含有する熱硬化性樹脂組成物を用い、０．０１８ｍｍの銅箔で挟みセットし、コンプレッション成形を１０ＭＰａで１８０℃、９０ｍｉｎを行い、樹脂成形体（熱伝導率測定用サンプル１）を得た。得られた成形体から直径１０ｍｍの熱拡散率測定用サンプルを切り出し、熱拡散率測定に用いた。
【0126】
・樹脂成形体の比熱
得られた上記の樹脂成形体について、ＤＳＣ法により比熱（Ｃｐ）を測定した。
得られた上記の樹脂成形体について、ＤＳＣ法により比熱（Ｃｐ）を測定した。
【0127】
・樹脂成形体の熱伝導率の測定
得られた樹脂成形体から、厚み方向測定用として、直径１０ｍｍに切り出したものを試験片とした。次に、ＵＬＶＡＣ社製のＸｅフラッシュアナライザーＴＤ－１ＲＴＶを用いて非定常法により板状の試験片の厚み方向の熱拡散係数（α）の測定を行った。測定は、大気雰囲気下、２５℃の条件下で行った。
樹脂成形体について、得られた熱拡散率（α）、比熱（Ｃｐ）、密度（ρ）の測定値から、下記式に基づいて熱伝導率を算出した。
熱伝導率［Ｗ／ｍ・Ｋ］＝α［ｍ２／ｓ］×Ｃｐ［Ｊ／ｋｇ・Ｋ］×ρ［ｇ／ｃｍ３］
表１中、樹脂成形体の熱伝導率を「熱伝導率」とした。
得られた樹脂成形体から、厚み方向測定用として、直径１０ｍｍに切り出したものを試験片とした。次に、ＵＬＶＡＣ社製のＸｅフラッシュアナライザーＴＤ－１ＲＴＶを用いて非定常法により板状の試験片の厚み方向の熱拡散係数（α）の測定を行った。測定は、大気雰囲気下、２５℃の条件下で行った。
樹脂成形体について、得られた熱拡散率（α）、比熱（Ｃｐ）、密度（ρ）の測定値から、下記式に基づいて熱伝導率を算出した。
熱伝導率［Ｗ／ｍ・Ｋ］＝α［ｍ２／ｓ］×Ｃｐ［Ｊ／ｋｇ・Ｋ］×ρ［ｇ／ｃｍ３］
表１中、樹脂成形体の熱伝導率を「熱伝導率」とした。
【0128】
（吸湿率）
得られた樹脂成形体からエッチングにより銅箔を除去し、膜厚１５０μｍの樹脂シートを３０℃/９０％ＲＨ条件で４８時間放置したときの処理前後の重量変化から吸湿率（％）を算出した。
得られた樹脂成形体からエッチングにより銅箔を除去し、膜厚１５０μｍの樹脂シートを３０℃/９０％ＲＨ条件で４８時間放置したときの処理前後の重量変化から吸湿率（％）を算出した。
【0129】
（半田耐熱性）
金属箔として、厚さ３５μｍの銅箔を用い、銅箔の粗化面に実施例および比較例で得られた樹脂ワニスをコンマコーターにて塗布し、１００℃で３分、１５０℃で３分加熱乾燥し、樹脂厚８０μｍの銅張積層板を得た。
銅張積層板を５０ｍｍ×５０ｍｍにグラインダーソーでカットした後、ＪＩＳ Ｃ ６４８１に準拠して評価した。評価は、３１０℃の半田槽に５分浸漬した後で外観の異常の有無を調べた。
（評価基準）
１：異常なし
２：膨れや剥がれが少し認められた
３：全体定期に膨れや剥がれが多く認められた
金属箔として、厚さ３５μｍの銅箔を用い、銅箔の粗化面に実施例および比較例で得られた樹脂ワニスをコンマコーターにて塗布し、１００℃で３分、１５０℃で３分加熱乾燥し、樹脂厚８０μｍの銅張積層板を得た。
銅張積層板を５０ｍｍ×５０ｍｍにグラインダーソーでカットした後、ＪＩＳ Ｃ ６４８１に準拠して評価した。評価は、３１０℃の半田槽に５分浸漬した後で外観の異常の有無を調べた。
（評価基準）
１：異常なし
２：膨れや剥がれが少し認められた
３：全体定期に膨れや剥がれが多く認められた
【0130】
（吸湿半田耐熱性）
前記銅張積層板を５０ｍｍ×５０ｍｍにグラインダーソーでカットした後、ＪＩＳ Ｃ ６４８１に従い両面エッチングを行って試料を作製した。３０℃で９０％ＲＨの恒温恒湿槽に４８時間放置した後、２９７℃のはんだ槽に浸漬させて、６０秒後の外観異常の有無を観察し、以下の評価基準により評価した。結果を表１に示す。
（評価基準）
１：異常なし
２：膨れや剥がれが少し認められた
３：全体的に膨れや剥がれが多く認められた
前記銅張積層板を５０ｍｍ×５０ｍｍにグラインダーソーでカットした後、ＪＩＳ Ｃ ６４８１に従い両面エッチングを行って試料を作製した。３０℃で９０％ＲＨの恒温恒湿槽に４８時間放置した後、２９７℃のはんだ槽に浸漬させて、６０秒後の外観異常の有無を観察し、以下の評価基準により評価した。結果を表１に示す。
（評価基準）
１：異常なし
２：膨れや剥がれが少し認められた
３：全体的に膨れや剥がれが多く認められた
【0131】
【表1】
【0132】
実施例の熱硬化性樹脂組成物は、吸湿率が低く吸湿半田耐熱性に優れるとともに、熱伝導性に優れた樹脂シートが得ることができた。また、吸湿率が低いことから絶縁耐久性に優れることが分かった。
【符号の説明】
【0133】
１００ 金属ベース基板
１０１ 金属基板
１０２ 絶縁層
１０３ 金属層
１０１ 金属基板
１０２ 絶縁層
１０３ 金属層
【図1】