特開 2022-109207 ＵＶランプ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022109207

(43)【公開日】2022-07-27

(54)【発明の名称】ＵＶランプ

(51)【国際特許分類】

   H01J 61/24 20060101AFI20220720BHJP

   H01J 61/30 20060101ALI20220720BHJP

   H01J 61/06 20060101ALI20220720BHJP

   H01J 65/00 20060101ALI20220720BHJP

   H01J 61/16 20060101ALI20220720BHJP

   G01N 27/64 20060101ALI20220720BHJP

【ＦＩ】

H01J61/24 Z

H01J61/30 Q

H01J61/06

H01J65/00 B

H01J61/30 N

H01J61/16

G01N27/64 B

【審査請求】有

【請求項の数】18

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021089822

(22)【出願日】2021-05-28

(11)【特許番号】

(45)【特許公報発行日】2022-06-27

(31)【優先権主張番号】17/149,098

(32)【優先日】2021-01-14

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(71)【出願人】

【識別番号】592014182

【氏名又は名称】モコン・インコーポレーテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110000394

【氏名又は名称】特許業務法人岡田国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】ボリス ドルゴフ

(72)【発明者】

【氏名】クリス フィールズ

【テーマコード（参考）】

2G041

5C043

【Ｆターム（参考）】

2G041DA02

2G041EA05

5C043BB01

(57)【要約】

【課題】フッ化マグネシウム窓の最上部に直接的にフッ化カルシウム窓を固定した従来型の放電ランプに関連する欠点を回避する放電ランプを提供する。
【解決手段】ガス放電ランプおよびガス放電ランプを採用した光イオン化センサー。そのランプは、筐体内に封入された作動ガスを含む筐体と、筐体の長手方向の第一端部を通る第一紫外線透過窓とを含む。第一実施例として、ランプは、弾性ゲッター材料のアーチ状バンドを含む。弾性ゲッター材料のアーチ状バンドは、筐体によって形成されたチャンバ内に固定される、直径方向に対向し、かつ、長手方向に延びる脚部を備える。第二実施例として、ランプは、筐体内の金属製のアーチ状支持バンドによって第一紫外線透過窓に対して所定の位置に保持された第二紫外線透過窓を筐体内に含む。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

紫外線ガス放電ランプであって、
（ａ）長手方向軸を有する筐体と、長手方向端部に開口部を有する規定の外形のチャンバと、
（ｂ）チャンバを密封するために、開口部を覆い、かつ、筐体に封止された紫外線透過窓と、
（ｃ）チャンバ内に封入された作動ガスと、
（ｄ）直径方向に対向し、かつ、長手方向に延びる脚部を有する、チャンバ内に配置された弾性ゲッター材料のアーチ状バンドとを備え、脚部のそれぞれが紫外線透過窓に近接する端部を備え、脚部のそれぞれが外向きに付勢されて筐体と係合しており、それによってアーチ状バンドがチャンバ内に固定されている紫外線ガス放電ランプ。

【請求項2】

請求項１に記載の紫外線ガス放電ランプであって、筐体上または筐体内に、長手方向軸の周りに直径方向に配置された金属製の一対の励起電極をさらに備える紫外線ガス放電ランプ。

【請求項3】

請求項２に記載の紫外線ガス放電ランプであって、アーチ状バンドの脚部と励起電極とが、チャンバ周りに互いに対してすべて均一に周方向に間隔をあけて配置されている紫外線ガス放電ランプ。

【請求項4】

紫外線ガス放電ランプであって、
（ａ）長手方向軸を有する筐体と、長手方向端部に開口部を有する規定の外形のチャンバとを備え、
（ｂ）チャンバを密閉するために、開口部を覆い、かつ、筐体に封止された第一材料からなる第一紫外線透過窓を備え、
（ｃ）チャンバ内に封入された作動ガスを備え、
（ｄ）チャンバ内に配置された金属製のアーチ状支持バンドを備え、このアーチ状支持バンドは、直径方向に対向し、かつ、長手方向に延びる脚部を有し、脚部のそれぞれが、第一紫外線透過窓に近接し、かつ、第一紫外線透過窓から長手方向にオフセットされた端部を備え、
（ｅ）第一材料とは異なる第二材料からなる第二紫外線透過窓を備え、第二紫外線透過窓はチャンバ内にて第一紫外線透過窓と金属製のアーチ状支持バンドの端部との間に嵌め込まれている紫外線ガス放電ランプ。

【請求項5】

請求項４に記載の紫外線ガス放電ランプであって、筐体上または筐体内に、長手方向軸の周りに直径方向に配置された金属製の一対の励起電極をさらに備えることを特徴とする紫外線ガス放電ランプ。

【請求項6】

請求項４に記載の紫外線ガス放電ランプであって、第一材料がフッ化マグネシウムである紫外線ガス放電ランプ。

【請求項7】

請求項６に記載の紫外線ガス放電ランプであって、第二材料がフッ化カルシウムである紫外線ガス放電ランプ。

【請求項8】

請求項４に記載の紫外線ガス放電ランプであって、作動ガスがクリプトンである紫外線ガス放電ランプ。

【請求項9】

請求項４に記載の紫外線ガス放電ランプであって、金属製のアーチ状支持バンドがゲッターである紫外線ガス放電ランプ。

【請求項10】

請求項４に記載の紫外線ガス放電ランプであって、金属製のアーチ状支持バンドが、端から端まで延びる長さと、チャンバの外形に対応する長さ方向の外形とを有する紫外線ガス放電ランプ。

【請求項11】

請求項４に記載の紫外線ガス放電ランプであって、金属製のアーチ状支持バンドにおいて、筐体の長手方向軸に対する半径方向の肉厚が約０．０５～０．３ｍｍであり、筐体の長手方向軸に対する周方向の幅が約１～２ｍｍである紫外線ガス放電ランプ。

【請求項12】

請求項４に記載の紫外線ガス放電ランプであって、金属製のアーチ状支持バンドの脚部の端部が、それぞれ筐体の長手方向軸に向かって内向きに曲がっており、第二紫外線透過窓を支持するように使用可能な、内向きに突出するタブを形成している紫外線ガス放電ランプ。

【請求項13】

請求項５に記載の紫外線ガス放電ランプであって、金属製のアーチ状支持バンドの脚部と励起電極とが、チャンバ周りに互いに対してすべて均一に周方向に間隔をあけて配置されている紫外線ガス放電ランプ。

【請求項14】

光イオン化センサーであって、請求項１に記載の紫外線ガス放電ランプを含むセンサー。

【請求項15】

光イオン化センサーであって、請求項４に記載の紫外線ガス放電ランプを含むセンサー。

【請求項16】

光イオン化センサーであって、請求項１１に記載の紫外線ガス放電ランプを含むセンサー。

【請求項17】

光イオン化センサーであって、請求項１２に記載の紫外線ガス放電ランプを含むセンサー。

【請求項18】

光イオン化センサーであって、請求項１３に記載の紫外線ガス放電ランプを含むセンサー。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ＵＶランプに関する。

【背景技術】

【0002】

ガス放電ランプは、さまざまな用途で使用されて、規定の帯域幅内の放射光を放出する。このようなランプは、分析化学機器、特に光イオン化検出器（ＰＩＤ）として知られる光イオン化の原理に基づくガスセンサーで頻繁に使用される。一般的なデザインの１つとして、放射光は、一対の励起電極をランプの直径方向に配置した状態で、ランプ内に保持された作動ガス（working gas）を静電容量的に励起（capacitively exciting）することによってランプにより放出される。そのようなガス放電ランプの１つが米国特許第６，６４６，４４４号に記載されており、その開示は参照により本明細書に援用される。あるいは、作動ガスを誘導励起することができる。米国特許第６，６４６，４４４号に開示されているように、好ましい作動ガスはクリプトンである。

【0003】

ガス放電ランプの適度な性能を保持するために、作動ガスは相対的に純粋なままである必要がある。製造中またはランプ内に吸着ガスを徐々に放出している間の、ランプ内に留まっている残留ガスなどに由来する、ランプ内の作動ガスのコンタミネーションにより、操作性および性能が低下する。

【0004】

通例として、ランプ内のコンタミネーションガスを減らしたりなくしたりするため、ゲッターをガス放電ランプ内に組み入れる。ゲッターは汚染ガスと化学的に結合したり汚染ガスに吸着したりすることによって機能し、それによって、汚染ガスが作動ガスの励起や作動ガスからの光の放出を妨げるのを防ぐことができる。

【0005】

ゲッターは、ランプ上の電極間に配置されたときにガス放電ランプの点火を妨げるおそれがある。またゲッターがランプのＵＶ窓を覆うように配置されたとすると、紫外（ＵＶ）の伝播を妨げるおそれがある。このため、ゲッターを電極間やＵＶ窓を覆うように配置するのを避けるため、ゲッターはランプ内に配置されるべきであり、この邪魔にならない位置に固定されなければならない。これを達成する一つの技術が米国特許第９，３６８，３３８号に開示されている。これによれば、ゲッターストリップの一端部がランプの筐体の閉端部に埋め込まれている。

【0006】

米国特許第９，３６８，３３８号に開示されている技術は、これまでの取り組みを超えて大きく前進しているが、いくらかの欠点に悩まされている。例えばランプ筐体の最終的な形状が制御できなかったり、ランプ本体内のゲッターの位置が一貫していなかったりするなどの欠点である。したがって、ゲッターをＵＶランプ内に固定して組み込む別の方法のニーズが依然として存在する。

【0007】

光イオン化を利用する、ガス状揮発性有機化合物（ＶＯＣ）ガス検知センサーの検出可能なＶＯＣの範囲は、ランプから放出される電子ボルト（ｅＶ）エネルギーによって制御される。ランプのｅＶ定格は、ランプで使用される充填ガスのタイプと、ランプに適用されるスペクトルフィルタリングの方法との両方の関数である。

【0008】

光イオン化を検出する目的で使用する通常のクリプトンガス充填ランプのｅＶ定格は、１０．６、または単に「１０．６ｅＶ」という。これは検知センサーが１０．６以下のイオン化ポテンシャルを有するあらゆるＶＯＣガスの存在を検知できるということを意味する。

【0009】

特定の用途では、ランプから放出されるエネルギーのいくらかをフィルタリングすることによって、検知可能なＶＯＣガスの範囲を制限することが望ましい。これに対するひとつのアプローチとして、ランプにフッ化カルシウム窓を追加することが考えられる。フッ化カルシウムの結晶は、ランプで使用される標準的なフッ化マグネシウム結晶の窓よりもＵＶ波長の小さい帯域用に透明である。このため、何とかしてフッ化カルシウム窓を典型的な１０．６ｅＶのＵＶランプに追加すれば、その定格は１０．６ｅＶから１０．０ｅＶに変化することになるであろう。

【0010】

フッ化カルシウム窓を追加する典型的な方法として、エポキシやセメントや接着剤などでフッ化マグネシウム窓の最上部に直接的に取り付けることができる。このフッ化カルシウム窓を取り付ける方法は、いくつかの欠点を有する。この欠点として、フッ化カルシウム窓を取り付けたり、ランプからフッ化カルシウム窓やフッ化マグネシウム窓を取り外したりする際の、壊れやすいフッ化カルシウム窓や壊れやすいフッ化マグネシウム窓へのダメージを含む。また、この欠点として、ランプを洗浄するときに使用する洗浄液が２つの窓の間に入り込んで、その窓のＵＶ透過を著しく妨害するリスクがある。

【0011】

したがって、フッ化マグネシウム窓の最上部に直接的にフッ化カルシウム窓を固定した従来型の１０．０ｅＶランプに関連する欠点を回避する、１０．０ｅＶランプに対する実質的なニーズが存在する。

【発明の概要】

【0012】

本発明の第一側面は、紫外線ガス放電ランプである。

【0013】

本発明の第一側面の第一実施例は、封入されたゲッターを備えるガス放電ランプである。このランプは筐体、紫外線透過窓、作動ガスおよび弾性ゲッター材料のアーチ状バンドを含む。筐体は、望ましくはガラス製であり、長手方向軸を形成し、長手方向端部に開口部を有する規定の外形のチャンバを有する。紫外線透過窓は、チャンバを密閉するために、筐体の開口部を密閉的に覆っている。作動ガスはチャンバ内に封入されている。弾性ゲッター材料のアーチ状バンドは、直径方向に対向し、かつ、長手方向に延びる脚部を備えてチャンバ内に配置されている。脚部のそれぞれは、紫外線透過窓に近接する端部を備え、脚部のそれぞれが外向きに付勢されて筐体と係合しており、それによってチャンバ内に固定されている。

【0014】

本発明の第一側面の第二実施例は、二重窓のガス放電ランプである。このランプは筐体、第一紫外線透過窓、作動ガス、金属製のアーチ状支持バンド及び第二紫外線透過窓を含む。筐体は、望ましくはガラスであり、長手方向軸を形成し、長手方向端部に開口部を有する規定の外形のチャンバを有する。第一紫外線透過窓は第一材料からなり、チャンバを密閉するために、筐体の開口部を密閉的に覆っている。作動ガスはチャンバ内に封入されている。金属製のアーチ状支持バンドはチャンバ内に配置されており、直径方向に対向し、かつ、長手方向に延びる脚部を有する。脚部のそれぞれが第一紫外線透過窓に近接し、かつ、第一紫外線透過窓から長手方向にオフセットされた状態の端部を備える。第二紫外線透過窓は、第一材料とは異なる第二材料からなる。第二紫外線透過窓は、第一紫外線透過窓と金属製のアーチ状支持バンドの端部との間のチャンバ内に嵌め込まれている。

【0015】

両方の実施例の紫外線ガス放電ランプは、筐体上または筐体内に、長手方向軸の周りに直径方向に配置された金属製の一対の励起電極をさらに備えてもよい。

【0016】

本発明の第二側面は、本発明の第一側面による紫外線ガス放電ランプを含む光イオン化センサーである。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】図１は、本発明の一実施例の等角図である。

【図2】図２は、図１に示した発明の底面図である。

【図3】図３は、図１に示した発明の平面図である。

【図4】図４は、図１に示した発明の正面図である。

【図5】図５は、図１に示した発明の右側面図である。

【図6】図６は、図１に示した発明の背面図である。

【図7】図７は、図１に示した発明の左側面図である。

【図8】図８は、図７に示した発明の部分拡大図であり、分子レベルで作動ガスを描写している。

【図9】図９は、図１に示したゲッターバンドの正面図である。

【図10】図１０は、図１に示したゲッターバンドの側面図である。

【図11】図１１は、本発明の一実施例の等角図である。

【図12】図１２は、図１１に示した発明の底面図である。

【図13】図１３は、図１１に示した発明の平面図である。

【図14】図１４は、図１１に示した発明の正面図である。

【図15】図１５は、図１１に示した発明の右側面図である。

【図16】図１６は、図１１に示した発明の背面図である。

【図17】図１７は、図１１に示した発明の左側面図である。

【図18】図１８は、図１１に示した支持バンドの正面図である。

【図19】図１９は、図１１に示した支持バンドの側面図である。

【図20】図２０は、図１１に示した第二紫外線透過窓の側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

第一実施例
図１～７を参照すると、本発明の第一側面の第一実施例は、ガス放電ランプ１０、特に光イオン化センサー（図示せず）で使用するのに適した紫外線放電ランプ１０である。ランプ１０は筐体２０、紫外線透過窓３０、ゲッターバンド４０’および作動ガス６０を含む。またランプ１０は、一対の金属製の励起電極５１及び５２（まとめて５０とする）を含む。一対の金属製の励起電極５１及び５２は、筐体２０上または筐体２０内に、筐体２０の長手方向軸ｘ₁の周りに直径方向に配置されている。電極５０は、ランプ１０に取り付けられるとき、筐体２０の外面に取り付けられるのが好ましい。

【0019】

筐体２０は好ましくはガラスからなり、長手方向軸ｘ₁を形成する。筐体２０は、開口部２８を備えるように形成された外形の長手方向の第一端２１、長手方向の第二端２２およびチャンバ２９を有する。開口部２８は長手方向の第一端２１を通してチャンバ２９に向けて開口している。

【0020】

紫外線透過窓３０は、ＵＶ透過材料、通常はフッ化マグネシウムの結晶からなる。紫外線透過窓３０は、チャンバ２９を密封するため、開口部２８を覆うようにして筐体２０に密閉的に取り付けられている。

【0021】

図８を参照すると、作動ガス６０、通常はクリプトンなどの希ガスが、チャンバ２９内に封入されている。水素も同様に作動ガス６０として使用することができる。

【0022】

図９及び１０を参照すると、ゲッターバンド４０’は弾性ゲッター材料からなり、一対の直径方向に対向する第一脚部４１および第二脚部４２を備える。第一および第二脚部４１及び４２は、曲線部４３によって近位端（符号は付していない）で相互に接続されており、それぞれ遠位端４１ｄおよび４２ｄを有する。ゲッターバンド４０’の外形は、チャンバ２９の外形に対応していることが好ましい。このときチャンバ２９は、ゲッターバンド４０’をチャンバ２９内の固定位置に固定するために、ゲッターバンド４０’が筐体２０の壁部に対して弾性的に付勢されるように、ゲッターバンド４０’の遠位端４１ｄと遠位端４２ｄとの間の間隔を備え、その間隔はチャンバ２９の直径よりもわずかに大きい。

【0023】

図１及び４～７を参照すると、ゲッターバンド４０’は、遠位端４１ｄ及び４２ｄが紫外線透過窓３０に近接した状態でチャンバ２９内に配置されている。

【0024】

ゲッターバンド４０’は、チタンや焼結ゲッター合金などの酸化されうる（oxidizable）金属のゲッター材料からなる。ゲッターバンド４０’の長さ（すなわち、ゲッターバンド４０’に沿って遠位端４１ｄから遠位端４２ｄまで延びる寸法）は、筐体２０に対して紫外線透過窓３０を取り付けるのを妨げることなく、チャンバ２９内にゲッターバンド４０’を外向きに付勢してしっかり固定できる長さとなっている。概して長さが約６～１２ｍｍで幅が約１～２ｍｍであることが効果的である。半径方向の肉厚ｒが約０．０５～０．３ｍｍであれば、ゲッターバンド４０’をチャンバ２９内に固定するために、ゲッターバンド４０’に対して必要な程度の弾性を与える構造的一体性を提供するのに概して費用効率が良い。

【0025】

ゲッターバンド４０’の脚部４１及び４２ならびに励起電極５１及び５２は、チャンバ２９周りに互いに対してすべて均一に周方向に間隔をあけて配置されるのが好ましく、これにより、ゲッターバンド４０’が与える可能性のある、電極５０による作動ガス６０の励起に対する干渉を最小化することができる。

【0026】

第二実施例
図１１～１７を参照すると、本発明の第一側面の第二実施例は、ガス放電ランプ１０であり、特に光イオン化センサー（図示せず）での使用に適した紫外線放電ランプ１０である。このランプ１０は、筐体２０、最初のまたは第一紫外線透過窓３１、二番目のまたは第二紫外線透過窓３２、支持バンド４０”および作動ガス６０を含む。またランプ１０は、一対の金属製の励起電極５１及び５２（まとめて電極５０とする）を含む。電極５０は、筐体２０上または筐体２０内に、筐体２０の長手方向軸ｘ₁の周りに直径方向に配置されている。電極５０は、ランプ１０に取り付けられるとき、筐体２０の外面に取り付けられるのが好ましい。

【0027】

筐体２０は好ましくはガラスからなり、長手方向軸ｘ₁を形成する。筐体２０は、長手方向の第一端２１、長手方向の第二端２２および開口部２８を有して形成された外形のチャンバ２９を有する。開口部２８は長手方向の第一端２１を通してチャンバ２９に開口している。

【0028】

第一紫外線透過窓３１は、第一材料、通常はフッ化マグネシウムの結晶からなる。第一紫外線透過窓３１は、チャンバ２９を密封するため、開口部２８を覆うようにして筐体２０に密閉的に取り付けられている。

【0029】

図８を参照すると、第一実施例と同様、作動ガス６０、通常はクリプトンなどの希ガスがチャンバ２９内に封入されている。水素も同様に作動ガス６０として使用することができる。

【0030】

図１８及び１９を参照すると、アーチ状の支持バンド４０”は、直径方向に対向する一対の第一脚部４１および第二脚部４２を有する。第一脚部４１および第二脚部４２は、曲線部４３によって近位端（符号は付していない）で相互に接続されており、それぞれ遠位端４１ｄおよび４２ｄを有する。支持バンド４０”の外形は、チャンバ２９の外形に対応していることが好ましい。支持バンド４０”はゲッターバンド４０’と同様に、支持バンド４０”の遠位端４１ｄと遠位端４２ｄとの間の間隔を有する弾性材料からなっていてもよい。その間隔は、支持バンド４０”をチャンバ２９内の固定位置に固定するために、支持バンド４０”が筐体２０の壁部に対して弾性的に付勢されるように、チャンバ２９の直径よりもわずかに大きい。

【0031】

図１１及び１４～１７を参照すると、支持バンド４０”は、遠位端４１ｄ及び４２ｄが第一紫外線透過窓３１に近接し、かつ、第一紫外線透過窓３１から長手方向にオフセットした状態で、チャンバ２９内に配置されている。好ましくは、脚部４１及び４２の遠位端４１ｄ及び４２ｄのそれぞれが、筐体２０の長手方向軸ｘ₁に向けて内方向に曲がり、内方向に突出する支持タブ４１ｔ及び４２ｔを形成している。

【0032】

支持バンド４０”は、チタンや焼結ゲッター合金などの酸化されうる金属のゲッター材料から構成することができる。支持バンド４０”の長さ（すなわち、バンド４０に沿って遠位端４１ｄから遠位端４２ｄまで延びる寸法）は、第一紫外線透過窓３１と金属製のアーチ状支持バンド４０の遠位端４１ｄ及び４２ｄとの間に第二紫外線透過窓３２をしっかり確実に保持するのに効果的な長さとなっている。概して約６～１２ｍｍの長さと約１～２ｍｍの幅が有効である。半径方向ｒの肉厚が約０．０５～０．３ｍｍであれば、概して第二紫外線透過窓３２を一定の位置に支持するのに必要な構造一体性を提供するにあたり費用対効果のある範囲となる。

【0033】

支持バンド４０”の脚部４１及び４２ならびに励起電極５１及び５２は、チャンバ２９周りに互いに対してすべて均一に周方向に間隔をあけて配置されるのが好ましく、これにより、支持バンド４０”が与える可能性のある、電極５０による作動ガス６０の励起に対する干渉を最小化することができる。

【0034】

図１１～１７を再び参照すると、第二紫外線透過窓３２は、フッ化カルシウムの結晶などの、第一材料とは異なる第二材料からなってもよい。第二紫外線透過窓３２は、第一紫外線透過窓３１と、支持バンド４０”の遠位端４１ｄ及び４２ｄとの間のチャンバ２９内に嵌め込まれている。図２０を参照すると、第二紫外線透過窓３２の周縁部３２ｃは、好ましくは第二紫外線透過窓３２の上端部および下端部（符号なし）の両方で面取りされている。これによって、どちら側が最初に挿入されるかに関わらず、開口部２８を覆うように第一紫外線透過窓３１を取り付けるより前に、開口部２８を通して第二紫外線透過窓３２をチャンバ２９内に容易に配置できるようになる。

【符号の説明】

【0035】

１０ 紫外線ガス放電ランプ
２０ ランプ筐体
２１ ランプ筐体の長手方向第一端部
２２ ランプ筐体の長手方向第二端部
２８ ランプ筐体の長手方向第一端部を通る開口部
２９ ランプ筐体のチャンバ
３０ 紫外線透過窓
３１ 第一紫外線透過窓
３２ 第二紫外線透過窓
３２ｃ 第二紫外線透過窓の周縁部
４０ バンド
４０’ ゲッターバンド
４０” 支持バンド
４１ バンドの第一脚部
４１ｄ バンドの第一脚部の遠位端
４１ｔ 支持バンドの第一脚部の遠位端に形成されたタブ
４２ バンドの第二脚部
４２ｄ バンドの第二脚部の遠位端
４２ｔ 支持バンドの第二脚部の遠位端に形成されたタブ
４３ バンドの曲線部
５０ 励起電極
５１ 第一励起電極
５２ 第二励起電極
６０ 作動ガス
ｘ₁ 筐体の長手方向軸
r 筐体の長手方向軸から半径方向
c 筐体の長手方向軸周りの周方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】