発明の名称 SiN薄膜の形成
出願人 エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. (識別番号 512144771)
特許公開件数ランキング 30447 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 24615 位(0件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2022-110017
公報発行日 2022年7月28
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-110017
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