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特開2022-110722マルチブレードの製造方法及びマルチブレード製造装置並びにマルチブレード
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022110722
(43)【公開日】2022-07-29
(54)【発明の名称】マルチブレードの製造方法及びマルチブレード製造装置並びにマルチブレード
(51)【国際特許分類】
B24D 5/12 20060101AFI20220722BHJP
H01L 21/301 20060101ALI20220722BHJP
H01L 21/304 20060101ALI20220722BHJP
B24D 3/00 20060101ALI20220722BHJP
【ＦＩ】
B24D5/12 Z
H01L21/78 F
H01L21/304 611W
B24D3/00 320B
B24D3/00 340
【審査請求】未請求
【請求項の数】4
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021006306
(22)【出願日】2021-01-19
(71)【出願人】
【識別番号】597150599
【氏名又は名称】ジャパンファインスチール株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100111132
【弁理士】
【氏名又は名称】井上 浩
(72)【発明者】
【氏名】末次 貴道
【テーマコード（参考）】
3C063
5F057
5F063
【Ｆターム（参考）】
3C063AA02
3C063AB03
3C063BA24
3C063BB02
3C063BC02
3C063BC03
3C063BG10
3C063CC13
3C063EE31
5F057AA23
5F057AA41
5F057BA30
5F057CA01
5F057CA03
5F057CA04
5F057DA15
5F057EB24
5F063AA21
5F063AA43
5F063DD02
5F063DD05
(57)【要約】
【課題】薄いブレードが所望の間隔で平行に配置された構造のマルチブレード及びそのマルチブレードを安価に効率良く製造することが可能なマルチブレードの製造方法並びにそれに用いられるマルチブレード製造装置を提供する。
【解決手段】本発明のマルチブレードの製造方法は、超硬合金（硬質の金属炭化物の粉末を焼結して作られる合金）からなる円柱体の周面に砥粒を固着させる工程（ステップＳ１）と、この円柱体の周面にマルチワイヤソーを用いて複数の環状溝を形成する工程（ステップＳ２）を備えている。
【選択図】図１
【解決手段】本発明のマルチブレードの製造方法は、超硬合金（硬質の金属炭化物の粉末を焼結して作られる合金）からなる円柱体の周面に砥粒を固着させる工程（ステップＳ１）と、この円柱体の周面にマルチワイヤソーを用いて複数の環状溝を形成する工程（ステップＳ２）を備えている。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
中心軸を有する軸体が両端にそれぞれ設けられ円柱状又は円筒状をなすワークを加工してマルチブレードを製造する装置であって、
水平に設置された各回転軸を中心として回転可能に、互いに所定の間隔を空けて平行に設置された一対のローラと、
一対の前記ローラに対し、軸方向の一端から他端にかけて交互に往復するように螺旋状に巻き付けられたソーワイヤと、
前記ワークを前記中心軸と前記ローラの前記回転軸が平行をなすように保持するとともに、一対の前記ローラの間に前記ソーワイヤが複数回掛け渡されることによって一対の前記ローラの上下にそれぞれ形成された一対のワイヤ群の一方に対し、上下方向へ移動した場合に前記ワークが当接するように一対の前記ローラの上方又は下方に設置されたワークホルダと、
このワークホルダを鉛直上向き又は鉛直下向きに移動させる駆動機構と、を備え、
前記ソーワイヤはダイヤモンド砥粒が表面に固着されており、
前記ワークホルダは、
前記中心軸を中心として前記ワークを回転可能に前記軸体を保持する保持手段と、
この保持手段を介して前記ワークを回転駆動するモータと、からなることを特徴とするマルチブレード製造装置。
水平に設置された各回転軸を中心として回転可能に、互いに所定の間隔を空けて平行に設置された一対のローラと、
一対の前記ローラに対し、軸方向の一端から他端にかけて交互に往復するように螺旋状に巻き付けられたソーワイヤと、
前記ワークを前記中心軸と前記ローラの前記回転軸が平行をなすように保持するとともに、一対の前記ローラの間に前記ソーワイヤが複数回掛け渡されることによって一対の前記ローラの上下にそれぞれ形成された一対のワイヤ群の一方に対し、上下方向へ移動した場合に前記ワークが当接するように一対の前記ローラの上方又は下方に設置されたワークホルダと、
このワークホルダを鉛直上向き又は鉛直下向きに移動させる駆動機構と、を備え、
前記ソーワイヤはダイヤモンド砥粒が表面に固着されており、
前記ワークホルダは、
前記中心軸を中心として前記ワークを回転可能に前記軸体を保持する保持手段と、
この保持手段を介して前記ワークを回転駆動するモータと、からなることを特徴とするマルチブレード製造装置。
【請求項2】
中心軸を有する軸体が両端にそれぞれ設けられ円柱状又は円筒状をなすワークを加工してマルチブレードを製造する方法であって、
前記ワークの周面に砥粒をレジンボンドによって固着させる工程と、
前記中心軸を中心として前記ワークを回転させながら前記周面に、ダイヤモンド砥粒が表面に固着されているマルチワイヤソーを用いて複数の環状溝を形成する工程と、を備えていることを特徴とするマルチブレードの製造方法。
前記ワークの周面に砥粒をレジンボンドによって固着させる工程と、
前記中心軸を中心として前記ワークを回転させながら前記周面に、ダイヤモンド砥粒が表面に固着されているマルチワイヤソーを用いて複数の環状溝を形成する工程と、を備えていることを特徴とするマルチブレードの製造方法。
【請求項3】
前記レジンボンドに代えて電着によって前記砥粒を前記ワークの前記周面に固着させる工程を備えていることを特徴とする請求項２に記載のマルチブレードの製造方法。
【請求項4】
円筒状又は円柱状をなす本体部と、
平面視ドーナツ型円板状をなし、前記本体部の周面に半径方向へ突設するように設けられた複数枚のブレードと、を備え、
前記ブレードは、前記本体部の中心軸と直交し、かつ、所望のピッチで等間隔に配置されるとともに、レジンボンド又は電着によって外周面に砥粒が固着されていることを特徴とするマルチブレード。
平面視ドーナツ型円板状をなし、前記本体部の周面に半径方向へ突設するように設けられた複数枚のブレードと、を備え、
前記ブレードは、前記本体部の中心軸と直交し、かつ、所望のピッチで等間隔に配置されるとともに、レジンボンド又は電着によって外周面に砥粒が固着されていることを特徴とするマルチブレード。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、シリコンウェハなどのワークを切断して個々のチップに分割する装置に用いられる切断刃（ブレード）に係り、特に、ワークに対して狭い幅の複数の溝を狭いピッチで同時に加工することが可能なマルチブレード及びそのマルチブレードの製造方法並びにそれに用いられるマルチブレード製造装置に関する。
【背景技術】
【0002】
板状のシリコンウェハを複数のチップに個片化する際に、円形の切断刃（ブレード）を備えたダイシング装置が用いられることがある。このダイシング装置は、シリコンウェハの分割時に用いられる格子状の溝を、回転する円形のブレードをワーク（シリコンウェハ）に押し当てるようにして形成する構造となっている。
近年では、半導体パッケージの小型化及び高集積化に伴って、ワーク（シリコンウェハ）に対して狭い幅の上記溝を狭いピッチで形成する技術が求められている。
近年では、半導体パッケージの小型化及び高集積化に伴って、ワーク（シリコンウェハ）に対して狭い幅の上記溝を狭いピッチで形成する技術が求められている。
【0003】
ワークに幅の狭い溝を形成するためには、ブレード自体が薄くなければならないが、薄いブレードを用いてワークを加工することについては、例えば、特許文献１に「希土類磁石のマルチ切断加工方法」という名称で、複数個の製品を多数個取りするためにブロック状の希土類磁石合金をマルチ切断する方法に関する発明が開示されている。
特許文献１に開示された発明は、希土類磁石の切断に、薄板円板状又は薄板ドーナツ円板状の台板の外周縁部に砥石外周刃を備えたブレードを用いるものであり、明細書には、台板の厚みが０．１～１．０ｍｍであって砥粒部（砥石外周刃）の幅が（台板の厚さ＋０．０１～４）ｍｍと記載されている。すなわち、特許文献１には、厚さが０．１１ｍｍのブレード（最も薄い場合）が開示されている。また、実験例１として、厚さ０．５ｍｍの台板の外周に０．６ｍｍの幅の砥粒部が形成された３９枚の外周切断刃が厚さ２．１ｍｍのスペーサを挟んで配置された構造のマルチ切断砥石ブレードが記載されている。
特許文献１に開示された発明は、希土類磁石の切断に、薄板円板状又は薄板ドーナツ円板状の台板の外周縁部に砥石外周刃を備えたブレードを用いるものであり、明細書には、台板の厚みが０．１～１．０ｍｍであって砥粒部（砥石外周刃）の幅が（台板の厚さ＋０．０１～４）ｍｍと記載されている。すなわち、特許文献１には、厚さが０．１１ｍｍのブレード（最も薄い場合）が開示されている。また、実験例１として、厚さ０．５ｍｍの台板の外周に０．６ｍｍの幅の砥粒部が形成された３９枚の外周切断刃が厚さ２．１ｍｍのスペーサを挟んで配置された構造のマルチ切断砥石ブレードが記載されている。
【0004】
また、特許文献２には、「ブレード加工装置及びブレード加工方法」という名称で、脆性材料からなるワークに対し、クラックや割れを発生させることなく、安定して精度良く切断加工を行うことができるブレードを加工する方法とそれに用いる加工装置に関する発明が開示されている。
特許文献２に開示されたブレードの加工方法は、ダイヤモンド砥粒が焼結によって表面に固着されたブレードに対して加工を施すものであり、図４Ｂ及び明細書には、最も薄く形成される外周端部の厚みが１０μｍの切刃部を有するブレードが記載されている。
特許文献２に開示されたブレードの加工方法は、ダイヤモンド砥粒が焼結によって表面に固着されたブレードに対して加工を施すものであり、図４Ｂ及び明細書には、最も薄く形成される外周端部の厚みが１０μｍの切刃部を有するブレードが記載されている。
【0005】
さらに、特許文献３には、「レジン砥石切断刃及び希土類磁石のマルチ切断加工方法」という名称で、従来に比べて薄い切断刃を用いても希土類磁石を高い精度で高速にマルチ切断することができる加工方法とそれに用いられる上記切断刃に関する発明が開示されている。
特許文献３に開示されたレジン砥石切断刃は、外周縁部に切り刃部を備えた薄板円板状又は薄板ドーナツ円板状の台板が回転軸方向に沿って所定の間隔で複数配設された構造であり、明細書には実施例１として、厚さ０．３ｍｍの台板の外周に０．４ｍｍの幅の切り刃部が形成された４１枚の外周切断刃が厚さ２．１ｍｍのスペーサを挟んで配置された構造のマルチ切断砥石ブレードが記載されている。このようなマルチ切断砥石ブレードを用いた場合、幅が０．４ｍｍの４１本の溝を同時に２．１ｍｍの間隔でワークに形成することができる。
特許文献３に開示されたレジン砥石切断刃は、外周縁部に切り刃部を備えた薄板円板状又は薄板ドーナツ円板状の台板が回転軸方向に沿って所定の間隔で複数配設された構造であり、明細書には実施例１として、厚さ０．３ｍｍの台板の外周に０．４ｍｍの幅の切り刃部が形成された４１枚の外周切断刃が厚さ２．１ｍｍのスペーサを挟んで配置された構造のマルチ切断砥石ブレードが記載されている。このようなマルチ切断砥石ブレードを用いた場合、幅が０．４ｍｍの４１本の溝を同時に２．１ｍｍの間隔でワークに形成することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】特開２０１０－１１０９６６号公報
【特許文献2】特開２０１７－１１０５号公報
【特許文献3】特開２０１３－１３６１４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
特許文献１に開示された加工方法をワークの加工に用いた場合、ワークに対して複数本の溝を０．６ｍｍの幅で同時に加工できるものの、スペーサの厚さが２．１ｍｍであることから、ワークに対して上記溝を２．１ｍｍより狭いピッチで加工することはできないものと考えられる。
また、特許文献２に開示されたブレード（外周端部の厚みが１０μｍの切刃部を有するブレード）をワークの加工に用いた場合、幅が１０μｍの溝をワークに形成できるものと考えられる。しかしながら、特許文献２には、ブレードを複数枚備えた構造について何も言及されていないことから、ワークに対してどの程度のピッチで上述の溝を形成できるか、不明である。
さらに、特許文献３に開示されたマルチ切断砥石ブレードでは、ワークに複数本の溝を０．４ｍｍの幅で同時に加工できるものの、スペーサの厚さが２．１ｍｍであることから、ワークに対して上記溝を２．１ｍｍより狭いピッチで加工することはできないものと考えられる。
また、特許文献２に開示されたブレード（外周端部の厚みが１０μｍの切刃部を有するブレード）をワークの加工に用いた場合、幅が１０μｍの溝をワークに形成できるものと考えられる。しかしながら、特許文献２には、ブレードを複数枚備えた構造について何も言及されていないことから、ワークに対してどの程度のピッチで上述の溝を形成できるか、不明である。
さらに、特許文献３に開示されたマルチ切断砥石ブレードでは、ワークに複数本の溝を０．４ｍｍの幅で同時に加工できるものの、スペーサの厚さが２．１ｍｍであることから、ワークに対して上記溝を２．１ｍｍより狭いピッチで加工することはできないものと考えられる。
【0008】
本発明は、このような従来の事情に対処してなされたものであり、薄いブレードが所望の間隔で平行に配置された構造のマルチブレード及びそのマルチブレードを安価に効率良く製造することが可能なマルチブレードの製造方法並びにそれに用いられるマルチブレード製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
上記目的を達成するため、第１の発明に係るマルチブレード製造装置は、中心軸を有する軸体が両端にそれぞれ設けられ円柱状又は円筒状をなすワークを加工してマルチブレードを製造する装置であって、水平に設置された各回転軸を中心として回転可能に、互いに所定の間隔を空けて平行に設置された一対のローラと、一対のローラに対し、軸方向の一端から他端にかけて交互に往復するように螺旋状に巻き付けられたソーワイヤと、ワークを中心軸とローラの回転軸が平行をなすように保持するとともに、一対のローラの間にソーワイヤが複数回掛け渡されることによって一対のローラの上下にそれぞれ形成された一対のワイヤ群の一方に対し、上下方向へ移動した場合にワークが当接するように一対のローラの上方又は下方に設置されたワークホルダと、このワークホルダを鉛直上向き又は鉛直下向きに移動させる駆動機構と、を備え、ソーワイヤはダイヤモンド砥粒が表面に固着されており、ワークホルダは、中心軸を中心としてワークを回転可能に軸体を保持する保持手段と、この保持手段を介してワークを回転駆動するモータと、からなることを特徴とするものである。
なお、第１の発明に係るマルチブレード製造装置によって加工されるワークには、軸体が円柱体の両端にそれぞれ一体的に設けられた構造のワークだけでなく、円柱体とは別に形成された軸体が円柱体の両端にそれぞれ接合された構造のワークや円筒体の貫通孔に嵌設されて円筒体の両側に突出した丸棒の両端が軸体となる構造のワークも含まれるものとする。
なお、第１の発明に係るマルチブレード製造装置によって加工されるワークには、軸体が円柱体の両端にそれぞれ一体的に設けられた構造のワークだけでなく、円柱体とは別に形成された軸体が円柱体の両端にそれぞれ接合された構造のワークや円筒体の貫通孔に嵌設されて円筒体の両側に突出した丸棒の両端が軸体となる構造のワークも含まれるものとする。
【0010】
第１の発明に係るマルチブレード製造装置では、一対のワイヤ群を構成する各ソーワイヤがそれぞれ同じ方向に走行していることから、モータによって軸体の中心軸を中心としてワークを回転させながらワークホルダを下降させ、一対のローラの上下に形成された一対のワイヤ群の一方にワークを当接させると、ワークの周面に所定の幅を有する複数の環状溝が所定のピッチで同時に形成される。
なお、ワークの周面に形成された複数の環状溝のうち、隣り合う２つの環状溝の間の加工されていない部分（以下、柱部という。）はブレードとしての利用が可能である。この場合、周面に複数の環状溝が所定のピッチで形成されている上記ワークは、円筒状又は円柱状をなす本体部の周面に対し、平面視ドーナツ型円板状をなす複数枚のブレードが本体部の中心軸と直交し、かつ、半径方向へ突設するように等間隔で設けられた構造のマルチブレードとなる。このとき、ワークの周面に形成された環状溝の間隔及び環状溝の幅は、マルチブレードにおけるブレードの厚さ及びブレードの間隔にそれぞれ対応し、当該環状溝の間隔と幅は、ソーワイヤの間隔と太さによってそれぞれ規定される。
すなわち、第１の発明に係るマルチブレード製造装置においては、中心軸を有する軸体が両端にそれぞれ設けられ円柱状又は円筒状をなすワークからマルチブレードが容易に製造されるとともに、マルチブレードを構成する複数枚のブレードの厚さ及び間隔が、ワークの周面に形成される複数の環状溝の間隔及び幅をそれぞれ規定するソーワイヤの間隔及び太さによってそれぞれ決定されるという作用を有する。また、第１の発明においては、予め周面に砥粒が固着されたワークを加工することにより、外周面に砥粒が固着された複数枚のブレードを備えたマルチブレードが得られるという作用を有する。
また、第１の発明においては、ワークに対して環状溝を加工する際に、隣り合う２つの環状溝内に存在するソーワイヤによってその間の柱部の振動が抑制されるという作用を有する。
なお、ワークの周面に形成された複数の環状溝のうち、隣り合う２つの環状溝の間の加工されていない部分（以下、柱部という。）はブレードとしての利用が可能である。この場合、周面に複数の環状溝が所定のピッチで形成されている上記ワークは、円筒状又は円柱状をなす本体部の周面に対し、平面視ドーナツ型円板状をなす複数枚のブレードが本体部の中心軸と直交し、かつ、半径方向へ突設するように等間隔で設けられた構造のマルチブレードとなる。このとき、ワークの周面に形成された環状溝の間隔及び環状溝の幅は、マルチブレードにおけるブレードの厚さ及びブレードの間隔にそれぞれ対応し、当該環状溝の間隔と幅は、ソーワイヤの間隔と太さによってそれぞれ規定される。
すなわち、第１の発明に係るマルチブレード製造装置においては、中心軸を有する軸体が両端にそれぞれ設けられ円柱状又は円筒状をなすワークからマルチブレードが容易に製造されるとともに、マルチブレードを構成する複数枚のブレードの厚さ及び間隔が、ワークの周面に形成される複数の環状溝の間隔及び幅をそれぞれ規定するソーワイヤの間隔及び太さによってそれぞれ決定されるという作用を有する。また、第１の発明においては、予め周面に砥粒が固着されたワークを加工することにより、外周面に砥粒が固着された複数枚のブレードを備えたマルチブレードが得られるという作用を有する。
また、第１の発明においては、ワークに対して環状溝を加工する際に、隣り合う２つの環状溝内に存在するソーワイヤによってその間の柱部の振動が抑制されるという作用を有する。
【0011】
第２の発明に係るマルチブレードの製造方法は、中心軸を有する軸体が両端にそれぞれ設けられ円柱状又は円筒状をなすワークを加工してマルチブレードを製造する方法であって、ワークの周面に砥粒をレジンボンドによって固着させる工程と、中心軸を中心としてワークを回転させながら周面に、ダイヤモンド砥粒が表面に固着されているマルチワイヤソーを用いて複数の環状溝を形成する工程と、を備えていることを特徴とするものである。
第２の発明においては、ワークの加工にマルチワイヤソーが用いられていることから、ワークの周面に所定の幅を有する複数の環状溝が所定のピッチで同時に効率良く形成されるという作用を有する。そして、ワークの周面に形成された複数の環状溝のうち、隣り合う２つの環状溝に挟まれた部分（柱部）がブレードとして機能するマルチブレードとして当該ワークを用いることができる。
第２の発明においては、ワークの加工にマルチワイヤソーが用いられていることから、ワークの周面に所定の幅を有する複数の環状溝が所定のピッチで同時に効率良く形成されるという作用を有する。そして、ワークの周面に形成された複数の環状溝のうち、隣り合う２つの環状溝に挟まれた部分（柱部）がブレードとして機能するマルチブレードとして当該ワークを用いることができる。
【0012】
すなわち、周面に複数の環状溝が所定のピッチで形成されているワークは、平面視ドーナツ型円板状をなすとともに、円筒状又は円柱状をなす本体部の周面に対して半径方向へ突設するように等間隔で設けられた複数枚のブレードを備えたマルチブレードとして利用可能な構造となっている。この場合、ワークの周面に形成された環状溝の間隔及び環状溝の幅は、マルチブレードにおけるブレードの厚さ及びブレードの間隔にそれぞれ対応し、当該環状溝の間隔と幅は、マルチワイヤソーに用いられるソーワイヤの間隔と太さによってそれぞれ規定されることになる。
したがって、第２の発明においては、中心軸を有する軸体が両端にそれぞれ設けられ円柱状又は円筒状をなすワークからマルチブレードが容易に製造されるとともに、マルチブレードを構成する複数枚のブレードの厚さ及び間隔がワークの周面に形成される複数の環状溝の間隔及び幅によってそれぞれ規定され、さらに当該環状溝の間隔及び幅がマルチワイヤソーに用いられるソーワイヤの間隔及び太さによってそれぞれ決定されるという作用を有する。
また、第２の発明では、ワークの周面に砥粒をレジンボンドによって固着させる工程を備えていることから、当該ワークの加工によって、外周面に砥粒が固着された複数枚のブレードを備えたマルチブレードが得られるという作用を有する。
さらに、第２の発明においては、マルチワイヤソーを用いてワークに環状溝を加工する際に、隣り合う２つの環状溝内に存在するソーワイヤによってその間の柱部の振動が抑制されるという作用を有する。
したがって、第２の発明においては、中心軸を有する軸体が両端にそれぞれ設けられ円柱状又は円筒状をなすワークからマルチブレードが容易に製造されるとともに、マルチブレードを構成する複数枚のブレードの厚さ及び間隔がワークの周面に形成される複数の環状溝の間隔及び幅によってそれぞれ規定され、さらに当該環状溝の間隔及び幅がマルチワイヤソーに用いられるソーワイヤの間隔及び太さによってそれぞれ決定されるという作用を有する。
また、第２の発明では、ワークの周面に砥粒をレジンボンドによって固着させる工程を備えていることから、当該ワークの加工によって、外周面に砥粒が固着された複数枚のブレードを備えたマルチブレードが得られるという作用を有する。
さらに、第２の発明においては、マルチワイヤソーを用いてワークに環状溝を加工する際に、隣り合う２つの環状溝内に存在するソーワイヤによってその間の柱部の振動が抑制されるという作用を有する。
【0013】
第３の発明は、第２の発明において、レジンボンドに代えて電着によって砥粒をワークの周面に固着させる工程を備えていることを特徴とするものである。
第３の発明においては、砥粒をワークの周面に固着させる方法のみが第２の発明と異なるものであるため、第２の発明の作用が同様に発揮される。
第３の発明においては、砥粒をワークの周面に固着させる方法のみが第２の発明と異なるものであるため、第２の発明の作用が同様に発揮される。
【0014】
第４の発明に係るマルチブレードは、円筒状又は円柱状をなす本体部と、平面視ドーナツ型円板状をなし、本体部の周面に半径方向へ突設するように設けられた複数枚のブレードと、を備え、ブレードは、本体部の中心軸と直交し、かつ、所望のピッチで等間隔に配置されるとともに、レジンボンド又は電着によって外周面に砥粒が固着されていることを特徴とするものである。
第４の発明においては、複数枚のブレードが本体部と一体化していることから、使用中にブレードと本体部の位置関係及びブレード同士の間隔が変化し難いという作用を有する。
第４の発明においては、複数枚のブレードが本体部と一体化していることから、使用中にブレードと本体部の位置関係及びブレード同士の間隔が変化し難いという作用を有する。
【発明の効果】
【0015】
第１の発明では、中心軸を有する軸体が両端にそれぞれ設けられ円柱状又は円筒状をなすワークを加工することにより、円筒状又は円柱状をなす本体部の周面に対して、平面視ドーナツ型円板状をなす複数枚のブレードが本体部の中心軸と直交し、かつ、半径方向へ突設するように等間隔で設けられた構造のマルチブレードが製造される。このように、第１の発明によれば、特許文献１又は特許文献３に記載された従来技術に係るマルチブレードとは異なり、スペーサを介して円板状の複数枚のブレード同士を連結する工程を必要としないため、従来技術よりもマルチブレードを短時間で容易に製造することができる。このとき、予め周面に砥粒が固着されたワークを用いると、外周面に砥粒が固着された複数枚のブレードが同時に形成される。したがって、第１の発明によれば、各ブレードに対して外周部に砥粒を固着させる作業を個別に行う必要がある従来技術の場合よりも安価に効率良くマルチブレードを製造することができる。
【0016】
また、第１の発明によれば、ワークの周面に環状溝を加工する際に用いられるソーワイヤの間隔と太さの設定をそれぞれ変更することにより、所望の厚さの複数枚のブレードが所望の間隔で配置されたマルチブレードを上記ワークから容易に製造することができる。例えば、第１の発明において太さ１００μｍのソーワイヤを使用するとともにソーワイヤの間隔を３０μｍに設定した場合、ワークから製造されるマルチブレードは、厚さ３０μｍの複数枚のブレードが１００μｍの間隔で平行に配置された構造となる。このように、第１の発明によれば、薄い複数枚のブレードが所望の間隔で平行に配置された構造のマルチブレードを製造することができる。
【0017】
ブレードを備えた従来のダイシングマシンを用いて上述のワークを加工する場合、マルチブレードのブレードに相当する部分（前述の柱部）が振動し、左右に振れる結果、隣の柱部に接触して折れてしまうことがある。また、隣の柱部に接触しない場合でも柱部が振動していると高精度に加工することが難しい。
これに対し、第１の発明によれば、ワークに環状溝を加工する際に、隣り合う２つの環状溝内に存在するソーワイヤによってその間の柱部の振動が抑制されるため、柱部の加工を高い精度で行うことができるとともに、左右に振れた柱部が他の柱部に接触して折れてしまうという事態を回避することができる。
これに対し、第１の発明によれば、ワークに環状溝を加工する際に、隣り合う２つの環状溝内に存在するソーワイヤによってその間の柱部の振動が抑制されるため、柱部の加工を高い精度で行うことができるとともに、左右に振れた柱部が他の柱部に接触して折れてしまうという事態を回避することができる。
【0018】
第２の発明によれば、特許文献１又は特許文献３に記載された従来技術に係るマルチブレードを製造する場合とは異なり、スペーサを介して円板状の複数枚のブレード同士を連結する工程が不要であるため、従来技術よりもマルチブレードを短時間で容易に製造することが可能である。また、第２の発明では、ワークの周面に砥粒をレジンボンドによって固着させる工程を備えており、当該ワークの加工によって、外周面に砥粒が固着された複数枚のブレードを備えたマルチブレードが得られることから、第２の発明によれば、各ブレードに対して外周部に砥粒を固着させる作業を個別に行う必要がある従来技術の場合に比べてマルチブレードの製造に要する時間と費用が低減されるという効果を奏する。
さらに、第２の発明によれば、マルチワイヤソーに用いられるソーワイヤの間隔と太さの設定をそれぞれ変更することにより、薄い複数枚のブレードが所望の間隔で配置されたマルチブレードを容易に製造することができる。
加えて、第２の発明によれば、マルチワイヤソーを用いてワークに環状溝を加工する際に、隣り合う２つの環状溝内に存在するソーワイヤによってその間の柱部の振動が抑制されるため、柱部の加工を高い精度で行うことができるとともに、左右に振れた柱部が他の柱部に接触して折れてしまうという事態を回避できるという第１の発明の効果が同様に発揮される。
さらに、第２の発明によれば、マルチワイヤソーに用いられるソーワイヤの間隔と太さの設定をそれぞれ変更することにより、薄い複数枚のブレードが所望の間隔で配置されたマルチブレードを容易に製造することができる。
加えて、第２の発明によれば、マルチワイヤソーを用いてワークに環状溝を加工する際に、隣り合う２つの環状溝内に存在するソーワイヤによってその間の柱部の振動が抑制されるため、柱部の加工を高い精度で行うことができるとともに、左右に振れた柱部が他の柱部に接触して折れてしまうという事態を回避できるという第１の発明の効果が同様に発揮される。
【0019】
第３の発明は、砥粒をワークの周面に固着させる方法のみが第２の発明と異なるものであるため、第３の発明によれば、第２の発明の効果が同様に発揮される。
【0020】
第４の発明に係るマルチブレードは、使用中にブレードと本体部の位置関係及びブレード同士の間隔が変化し難いため、製品寿命が長いという効果を有している。
【図面の簡単な説明】
【0021】
【図1】（ａ）乃至（ｃ）は本発明のマルチブレードの製造方法を示した工程図である。
【図2】一般的なマルチワイヤソーの要部を示した模式図である。
【図3】（ａ）は本発明のマルチブレード製造装置を用いて加工されるワークの外観斜視図であり、（ｂ）及び（ｃ）はそれぞれ同図（ａ）におけるＡ－Ａ線矢視断面図及びＢ－Ｂ線矢視断面図であり、（ｄ）は同図（ｃ）におけるワークの変形例を示した図である。
【図5】本発明のマルチブレード製造装置の要部を示した模式図である。
【図6】（ａ）は本発明のマルチブレードの外観斜視図であり、（ｂ）は同図（ａ）におけるＣ－Ｃ線矢視断面図であり、（ｃ）は同図（ｂ）に示したＤ部の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【0022】
本発明のマルチブレードの製造方法について図１を用いて説明し、本発明のマルチブレード製造装置の構造並びにその作用及び効果について図２乃至図５を用いて説明する。さらに、本発明のマルチブレードについて図６を用いて説明する。
なお、マルチブレード製造装置に関する説明では、ローラの回転軸が水平に設置されている状態、すなわち、マルチワイヤソーが実際に使用される状態を想定して、「上側」や「下側」などの表現を用いている。
なお、マルチブレード製造装置に関する説明では、ローラの回転軸が水平に設置されている状態、すなわち、マルチワイヤソーが実際に使用される状態を想定して、「上側」や「下側」などの表現を用いている。
【実施例0023】
図１（ａ）乃至図１（ｃ）は本発明のマルチブレードの製造方法を示した工程図である。
図１（ａ）に示すように、本発明のマルチブレードの製造方法は、超硬合金（硬質の金属炭化物の粉末を焼結して作られる合金）からなる円柱体の側面に砥粒を固着させる工程（ステップＳ１）と、この円柱体の側面にマルチワイヤソーを用いて複数の環状溝を形成する工程（ステップＳ２）を備えていることを特徴とする。なお、上述の超硬合金としては、例えば、ＷＣ、ＴｉＣ、ＭｏＣ、ＮｂＣ、ＴａＣ、Ｃｒ３Ｃ２などの金属の炭化物粉末をＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｍｏ、Ｃｕ、Ｐｂ、Ｓｎ又はそれらの合金を用いて焼結結合した合金を用いることができる。
図１（ａ）に示すように、本発明のマルチブレードの製造方法は、超硬合金（硬質の金属炭化物の粉末を焼結して作られる合金）からなる円柱体の側面に砥粒を固着させる工程（ステップＳ１）と、この円柱体の側面にマルチワイヤソーを用いて複数の環状溝を形成する工程（ステップＳ２）を備えていることを特徴とする。なお、上述の超硬合金としては、例えば、ＷＣ、ＴｉＣ、ＭｏＣ、ＮｂＣ、ＴａＣ、Ｃｒ３Ｃ２などの金属の炭化物粉末をＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｍｏ、Ｃｕ、Ｐｂ、Ｓｎ又はそれらの合金を用いて焼結結合した合金を用いることができる。
【0024】
円柱体の側面に砥粒を固着させるには、図１（ｂ）及び図１（ｃ）にそれぞれ示すようにレジンボンドを用いて行う方法と電着によって行う方法の２種類がある。まず、レジンボンドを用いて円柱体の側面に砥粒を固着させる方法について図１（ｂ）を用いて説明する。
図１（ｂ）のステップＳ１－１に示すように、アルカリ洗浄液と水による洗浄を繰り返し行い、表面の汚れを除去する。つぎに、円柱体を乾燥させ（図１（ｂ）に示したステップＳ１－２の乾燥工程）、さらに、円柱体の側面にセラミックスやダイヤモンド等の粒子からなる砥粒とフェノール樹脂を主成分とするレジンボンドを含む塗料を塗布する（図１（ｂ）に示したステップＳ１－３の塗布工程）。その後、塗料に含まれる溶媒を熱で気化させることにより、塗料を硬化させる（図１（ｂ）に示したステップＳ１－４の硬化処理工程）。ただし、レジンボンドが光硬化性樹脂によって形成されている場合には、塗料に含まれる溶媒を熱で気化させる代わりに、紫外線を照射することによって塗料を硬化させる。このようにして、ダイヤモンド砥粒がレジンボンドによって側面に固着された円柱体が形成される。
図１（ｂ）のステップＳ１－１に示すように、アルカリ洗浄液と水による洗浄を繰り返し行い、表面の汚れを除去する。つぎに、円柱体を乾燥させ（図１（ｂ）に示したステップＳ１－２の乾燥工程）、さらに、円柱体の側面にセラミックスやダイヤモンド等の粒子からなる砥粒とフェノール樹脂を主成分とするレジンボンドを含む塗料を塗布する（図１（ｂ）に示したステップＳ１－３の塗布工程）。その後、塗料に含まれる溶媒を熱で気化させることにより、塗料を硬化させる（図１（ｂ）に示したステップＳ１－４の硬化処理工程）。ただし、レジンボンドが光硬化性樹脂によって形成されている場合には、塗料に含まれる溶媒を熱で気化させる代わりに、紫外線を照射することによって塗料を硬化させる。このようにして、ダイヤモンド砥粒がレジンボンドによって側面に固着された円柱体が形成される。
【0025】
つぎに、電着によって円柱体の側面に砥粒を固着させる方法について図１（ｃ）を用いて説明する。
図１（ｃ）に示したステップＳ１－１では、図１（ｂ）に示したステップＳ１－１の場合と同様に、表面の汚れを除去するためにアルカリ洗浄液と水を用いて円柱体を繰り返し洗浄する。そして、側面以外の部分にメッキ層が形成されないように円柱体にマスキングを施す（図１（ｃ）に示したステップＳ１－２のマスキング処理工程）。その後、円柱体に対するメッキ層の密着性を高めるため、円柱体が浸漬されたメッキ液に陽極を接続するとともに陰極を円柱体に接続して電気メッキを行うことにより、円柱体の側面に薄いニッケルメッキ層を形成する（図１（ｃ）に示したステップＳ１－３のストライクメッキ処理工程）。
つぎに、導電性を有するダイヤモンド砥粒とニッケルメッキ液の混合液中に円柱体を浸漬して、電着によりダイヤモンド砥粒を円柱体の側面に固着させる（図１（ｃ）に示したステップＳ１－４のダイヤ仮固定処理工程）。さらに、ダイヤモンド砥粒の円柱体に対する固着力を高めるため、円柱体を上記ニッケルメッキ液中に浸漬するとともに、不溶性の金属若しくは個体のニッケルを陽極に用いて、陰極である円柱体の側面にニッケルを析出させる（図１に示したステップＳ１－５のダイヤ本固定処理工程）。その後、円柱体を水洗槽で洗浄する（図１に示したステップＳ１－６の洗浄処理工程）。このようにして、ダイヤモンド砥粒が電着によって側面に固着された円柱体が形成される。
図１（ｃ）に示したステップＳ１－１では、図１（ｂ）に示したステップＳ１－１の場合と同様に、表面の汚れを除去するためにアルカリ洗浄液と水を用いて円柱体を繰り返し洗浄する。そして、側面以外の部分にメッキ層が形成されないように円柱体にマスキングを施す（図１（ｃ）に示したステップＳ１－２のマスキング処理工程）。その後、円柱体に対するメッキ層の密着性を高めるため、円柱体が浸漬されたメッキ液に陽極を接続するとともに陰極を円柱体に接続して電気メッキを行うことにより、円柱体の側面に薄いニッケルメッキ層を形成する（図１（ｃ）に示したステップＳ１－３のストライクメッキ処理工程）。
つぎに、導電性を有するダイヤモンド砥粒とニッケルメッキ液の混合液中に円柱体を浸漬して、電着によりダイヤモンド砥粒を円柱体の側面に固着させる（図１（ｃ）に示したステップＳ１－４のダイヤ仮固定処理工程）。さらに、ダイヤモンド砥粒の円柱体に対する固着力を高めるため、円柱体を上記ニッケルメッキ液中に浸漬するとともに、不溶性の金属若しくは個体のニッケルを陽極に用いて、陰極である円柱体の側面にニッケルを析出させる（図１に示したステップＳ１－５のダイヤ本固定処理工程）。その後、円柱体を水洗槽で洗浄する（図１に示したステップＳ１－６の洗浄処理工程）。このようにして、ダイヤモンド砥粒が電着によって側面に固着された円柱体が形成される。
【0026】
図１（ｂ）のステップＳ１－１乃至Ｓ１－４又は図１（ｃ）のステップＳ１－１乃至Ｓ１－６に示した方法によって側面に砥粒が固着された円柱体は、マルチワイヤソーを用いて当該側面に複数の環状溝が形成される（図１（ａ）のステップＳ２）。
ここで、マルチワイヤソーの構造について図２を用いて説明する。なお、図２は一般的なマルチワイヤソーの要部を模式的に示した図である。
図２に示すように、マルチワイヤソー５０は、遊離砥粒用ワイヤ又は固定砥粒用ワイヤからなるソーワイヤ５１と、このソーワイヤ５１の繰り出しや巻き取りを行うリールボビン５２ａ、５２ｂと、互いに所定の間隔をあけて平行に設置されるとともにソーワイヤ５１が巻回されたローラ５３、５３と、加工液をワーク５６とソーワイヤ５１の間に供給するための一対の加工液噴射ノズル５４、５４と、ワーク５６を保持するとともに、ねじ送り機構やモータなどからなる駆動機構（図示せず）によって駆動されて上下方向へ移動するワークホルダ５５と、ソーワイヤ５１の張力を一定に保つための張力発生手段（図示せず）を備えている。
ここで、マルチワイヤソーの構造について図２を用いて説明する。なお、図２は一般的なマルチワイヤソーの要部を模式的に示した図である。
図２に示すように、マルチワイヤソー５０は、遊離砥粒用ワイヤ又は固定砥粒用ワイヤからなるソーワイヤ５１と、このソーワイヤ５１の繰り出しや巻き取りを行うリールボビン５２ａ、５２ｂと、互いに所定の間隔をあけて平行に設置されるとともにソーワイヤ５１が巻回されたローラ５３、５３と、加工液をワーク５６とソーワイヤ５１の間に供給するための一対の加工液噴射ノズル５４、５４と、ワーク５６を保持するとともに、ねじ送り機構やモータなどからなる駆動機構（図示せず）によって駆動されて上下方向へ移動するワークホルダ５５と、ソーワイヤ５１の張力を一定に保つための張力発生手段（図示せず）を備えている。
【0027】
ローラ５３、５３は、支持手段（図示せず）によって、水平に設置された回転軸（図示せず）を中心として回転可能に支持されており、外周面５３ａには環状の溝（図示せず）が所定のピッチで形成されている。また、ローラ５３、５３の間にソーワイヤ５１が何回も架け渡されることによって一対のワイヤ群５７ａ、５７ｂがローラ５３、５３の上下にそれぞれ形成されるように、ソーワイヤ５１はローラ５３、５３に対し、軸方向の一端から他端にかけて交互に往復するように螺旋状に巻き付けられている。そして、ソーワイヤ５１がローラ５３の外周面５３ａに巻回される箇所では、隣り合う２本のソーワイヤ５１の間の距離（ピッチ）が一定に保たれるように、上述の溝の内部にソーワイヤ５１が配置されている。
さらに、ワークホルダ５５は、下降した場合に、ワーク５６の表面がワイヤ群５７ａに当接するようにローラ５３、５３の上方に設置されている。
さらに、ワークホルダ５５は、下降した場合に、ワーク５６の表面がワイヤ群５７ａに当接するようにローラ５３、５３の上方に設置されている。
【0028】
図２に矢印Ｘで示すように、リールボビン５２ａ、５２ｂをそれぞれ回転させると、リールボビン５２ａから繰り出されたソーワイヤ５１は、ローラ５３、５３の外周面に形成された環状の溝に沿って走行した後、リールボビン５２ｂによって巻き取られる。このとき、ワイヤ群５７ａ、５７ｂを構成する各ソーワイヤ５１は、それぞれ同じ方向に走行している。そのため、ワークホルダ５５を下降させて、ローラ５３、５３の上側に形成されたワイヤ群５７ａにワーク５６を当接させると、ワーク５６の表面に所定の幅を有する複数本の溝が一定のピッチで同時に形成される。
【0029】
図３（ａ）は本発明のマルチブレード製造装置を用いて加工されるワークの外観を示した斜視図であり、図３（ｂ）及び図３（ｃ）はそれぞれ図３（ａ）におけるＡ－Ａ線矢視断面図及びＢ－Ｂ線矢視断面図である。また、図３（ｄ）は図３（ａ）乃至図３（ｃ）に示したワークの変形例に係るワークの断面図であり、図３（ｃ）に対応している。
なお、図３（ｂ）乃至図３（ｄ）では、砥粒を模式的に示すとともに、図が煩雑になるのを避けるため、全ての砥粒に対して符号を付すことはせずに、１つの砥粒に対してのみ符号を付している。また、図３（ａ）乃至図３（ｄ）ではレジンボンド、メッキ層及び砥粒をワークに対して実際よりも大きい比率で描くとともに、図３（ａ）では砥粒の図示を省略している。さらに、既に説明したように、図１（ｂ）のステップＳ１－１乃至ステップＳ１－４又は図１（ｃ）のステップＳ１－１乃至ステップＳ１－６に示した工程によって側面にダイヤモンド砥粒が固着された円柱体を得ることができる。そこで、この円柱体を円柱体１１とし、図３（ｂ）乃至図３（ｄ）では、メッキ層の符号に括弧を付けた状態でレジンボンドの符号とともに併記している。
なお、図３（ｂ）乃至図３（ｄ）では、砥粒を模式的に示すとともに、図が煩雑になるのを避けるため、全ての砥粒に対して符号を付すことはせずに、１つの砥粒に対してのみ符号を付している。また、図３（ａ）乃至図３（ｄ）ではレジンボンド、メッキ層及び砥粒をワークに対して実際よりも大きい比率で描くとともに、図３（ａ）では砥粒の図示を省略している。さらに、既に説明したように、図１（ｂ）のステップＳ１－１乃至ステップＳ１－４又は図１（ｃ）のステップＳ１－１乃至ステップＳ１－６に示した工程によって側面にダイヤモンド砥粒が固着された円柱体を得ることができる。そこで、この円柱体を円柱体１１とし、図３（ｂ）乃至図３（ｄ）では、メッキ層の符号に括弧を付けた状態でレジンボンドの符号とともに併記している。
【0030】
図３（ａ）乃至図３（ｃ）に示すように、ワーク１０は、超硬合金からなる円柱体１１の側面に、レジンボンド１２又はメッキ層１３を介して砥粒１４が固着されるとともに、軸体１１ａ、１１ａが両端にそれぞれ設けられた構造となっている。
なお、両端に軸体１１ａ、１１ａが設けられた円柱体１１については、例えば、旋盤による丸棒の段付き加工等によって、容易に形成することができる。この場合、軸体１１ａ、１１ａは円柱体１１と一体として形成されることになるが、軸体１１ａ、１１ａは、必ずしも円柱体１１と同一部材でなくとも良い。
例えば、図３（ｄ）に示すように貫通孔１５ａが中心に設けられた円筒体１５を円柱体１１の代わりに用いて、円筒体１５よりも長い丸棒を貫通孔１５ａに嵌設した際に円筒体１５の両側に突出した丸棒の両端がそれぞれ軸体１１ａ、１１ａとなる構造であっても良い。あるいは、円柱体１１とは別部材の軸体１１ａが円柱体１１の両端面にそれぞれ接合された構造や円柱体１１の両端面に形成された有底孔に当該軸体１１ａの一部が嵌め込まれた構造とすることもできる。また、軸体１１ａの断面は円形に限らず、多角形をなしていても良い。
なお、両端に軸体１１ａ、１１ａが設けられた円柱体１１については、例えば、旋盤による丸棒の段付き加工等によって、容易に形成することができる。この場合、軸体１１ａ、１１ａは円柱体１１と一体として形成されることになるが、軸体１１ａ、１１ａは、必ずしも円柱体１１と同一部材でなくとも良い。
例えば、図３（ｄ）に示すように貫通孔１５ａが中心に設けられた円筒体１５を円柱体１１の代わりに用いて、円筒体１５よりも長い丸棒を貫通孔１５ａに嵌設した際に円筒体１５の両側に突出した丸棒の両端がそれぞれ軸体１１ａ、１１ａとなる構造であっても良い。あるいは、円柱体１１とは別部材の軸体１１ａが円柱体１１の両端面にそれぞれ接合された構造や円柱体１１の両端面に形成された有底孔に当該軸体１１ａの一部が嵌め込まれた構造とすることもできる。また、軸体１１ａの断面は円形に限らず、多角形をなしていても良い。
【0031】
図４（ａ）は図３（ａ）に示したワークを保持するワークホルダの外観を示した側面図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）に示したモータ及びチャック部材の斜視図である。
図４（ａ）に示すように、ワークホルダ１は、所定の厚みを有する板状のベース部材２と、互いに対向するように配置されてワーク１０の軸体１１ａ、１１ａをそれぞれ保持する一対のチャック部材３、３と、ベース２の一方の面上に立設されるとともに一対のチャック部材３、３が軸体１１ａの中心軸１１ｂを中心としてそれぞれ回転可能に設置される一対の保持板４、４と、からなり、一対の保持板４、４の一方には、この保持板４に設置されたチャック部材３を回転駆動するモータ５が固定されている。
すなわち、チャック部材３及び保持板４は、ワーク１０を軸体１１ａの中心軸１１ｂを中心として回転可能に保持する保持手段を構成している。そして、ワークホルダ１は、この保持手段を介してワーク１０を回転駆動するモータ５を稼働させることにより、ワーク１０が軸体１１ａの中心軸１１ｂを中心として回転する構造となっている。
なお、軸体１１ａ、１１ａは、ワーク１０が円柱状をなす場合には円柱軸に中心軸１１ｂが一致し、ワーク１０が円筒状をなす場合には円筒軸に中心軸１１ｂが一致するように形成されている。
図４（ａ）に示すように、ワークホルダ１は、所定の厚みを有する板状のベース部材２と、互いに対向するように配置されてワーク１０の軸体１１ａ、１１ａをそれぞれ保持する一対のチャック部材３、３と、ベース２の一方の面上に立設されるとともに一対のチャック部材３、３が軸体１１ａの中心軸１１ｂを中心としてそれぞれ回転可能に設置される一対の保持板４、４と、からなり、一対の保持板４、４の一方には、この保持板４に設置されたチャック部材３を回転駆動するモータ５が固定されている。
すなわち、チャック部材３及び保持板４は、ワーク１０を軸体１１ａの中心軸１１ｂを中心として回転可能に保持する保持手段を構成している。そして、ワークホルダ１は、この保持手段を介してワーク１０を回転駆動するモータ５を稼働させることにより、ワーク１０が軸体１１ａの中心軸１１ｂを中心として回転する構造となっている。
なお、軸体１１ａ、１１ａは、ワーク１０が円柱状をなす場合には円柱軸に中心軸１１ｂが一致し、ワーク１０が円筒状をなす場合には円筒軸に中心軸１１ｂが一致するように形成されている。
【0032】
図４（ｂ）に示すように、チャック部材３は、いわゆる「スクロールチャック」と呼ばれるものであり、平面視略円形をなし、渦巻き（スクロール）状の溝を有するカムが内蔵されるとともにチャック穴３ｂが中心に設けられたチャック本体３ａと、チャック穴３ｂの中心軸を中心とする円の周方向へ均等に配置され、チャック本体３ａの周面に設けられた締付けネジ３ｃを回すことによって半径方向へ移動可能にチャック本体３ａの片面に設置された３つの爪３ｄを備えている。すなわち、チャック部材３は、締付けネジ３ｃを回すと、チャック穴３ｂに挿通された棒状の対象物が３つの爪３ｄによって３方向から同時に挟み付けられるようにして固定される構造となっている。
なお、チャック部材３は図４（ｂ）に示した構造に限らず、適宜、変形可能である。例えば、爪３ｄの数は４つであっても良い。そして、そもそもチャック部材３もスクロールチャックに限定されるものではなく、例えば、爪３ｄが個別に動作するインデペンデントチャックであっても良い。
なお、チャック部材３は図４（ｂ）に示した構造に限らず、適宜、変形可能である。例えば、爪３ｄの数は４つであっても良い。そして、そもそもチャック部材３もスクロールチャックに限定されるものではなく、例えば、爪３ｄが個別に動作するインデペンデントチャックであっても良い。
【0033】
つぎに、本発明のマルチブレード製造装置及びそれを用いて製造されるマルチブレードについて図５及び図６を用いて説明する。
図５は本発明のマルチブレード製造装置の要部を模式的に示した図である。また、図６（ａ）は本発明のマルチブレードの外観を示した斜視図であり、図６（ｂ）は図６（ａ）におけるＣ－Ｃ線矢視断面図であり、図６（ｃ）は図６（ｂ）に示したＤ部の拡大図である。なお、図６（ａ）乃至図６（ｃ）では、砥粒の図示を省略するとともに、図が煩雑になるのを避けるため、ブレード及び環状溝について、それらの全てに対して符号を付すことはせずに、それぞれ１つのブレード及び環状溝に対してのみ符号を付している。また、図２乃至図４に示した構成要素については、同一の符号を付すことにより適宜その説明を省略する。
図５は本発明のマルチブレード製造装置の要部を模式的に示した図である。また、図６（ａ）は本発明のマルチブレードの外観を示した斜視図であり、図６（ｂ）は図６（ａ）におけるＣ－Ｃ線矢視断面図であり、図６（ｃ）は図６（ｂ）に示したＤ部の拡大図である。なお、図６（ａ）乃至図６（ｃ）では、砥粒の図示を省略するとともに、図が煩雑になるのを避けるため、ブレード及び環状溝について、それらの全てに対して符号を付すことはせずに、それぞれ１つのブレード及び環状溝に対してのみ符号を付している。また、図２乃至図４に示した構成要素については、同一の符号を付すことにより適宜その説明を省略する。
【0034】
図５に示すように、マルチブレード製造装置６は、図２に示したマルチワイヤソー５０において、ワークホルダ５５の代わりに、図４（ａ）及び図４（ｂ）を用いて説明したワークホルダ１を備えたことを特徴とする。
すなわち、マルチブレード製造装置６は、水平に設置された各回転軸を中心として回転可能に、互いに所定の間隔をあけて平行に設置された一対のローラ５３、５３と、固定砥粒用ワイヤからなり、電着若しくはレジンボンドによってダイヤモンド砥粒が表面に固着されており、ローラ５３、５３に対して軸方向の一端から他端にかけて交互に往復するように螺旋状に巻き付けられたソーワイヤ５１と、円柱状又は円筒状をなし、両端にそれぞれ軸体１１ａ、１１ａ（図３（ａ）参照）を有するワーク１０を保持するとともに、ローラ５３、５３の間にソーワイヤ５１が複数回掛け渡されることによりローラ５３、５３の上に形成されるワイヤ群５７ａに対し、下方へ移動した場合にワーク１０が当接するようにローラ５３、５３の上方に設置されたワークホルダ１と、ねじ送り機構やモータなどからなり、ワークホルダ１を鉛直上向き又は鉛直下向きに移動させる駆動機構（図示せず）を備えた構造となっている。
なお、図５では、ワークホルダ１が下方へ移動した場合にワーク１０がワイヤ群５７ａに当接するように、ローラ５３、５３の上方にワークホルダ１が設置された構造となっているが、本発明のマルチブレード製造装置は、このような構造に限定されるものではない。例えば、ワークホルダ１は、上方へ移動した場合に、ローラ５３、５３の間にソーワイヤ５１が複数回掛け渡されることによりローラ５３、５３の下に形成されるワイヤ群５７ｂに対してワーク１０が当接するように、ローラ５３、５３の下方に設置されていても良い。
すなわち、マルチブレード製造装置６は、水平に設置された各回転軸を中心として回転可能に、互いに所定の間隔をあけて平行に設置された一対のローラ５３、５３と、固定砥粒用ワイヤからなり、電着若しくはレジンボンドによってダイヤモンド砥粒が表面に固着されており、ローラ５３、５３に対して軸方向の一端から他端にかけて交互に往復するように螺旋状に巻き付けられたソーワイヤ５１と、円柱状又は円筒状をなし、両端にそれぞれ軸体１１ａ、１１ａ（図３（ａ）参照）を有するワーク１０を保持するとともに、ローラ５３、５３の間にソーワイヤ５１が複数回掛け渡されることによりローラ５３、５３の上に形成されるワイヤ群５７ａに対し、下方へ移動した場合にワーク１０が当接するようにローラ５３、５３の上方に設置されたワークホルダ１と、ねじ送り機構やモータなどからなり、ワークホルダ１を鉛直上向き又は鉛直下向きに移動させる駆動機構（図示せず）を備えた構造となっている。
なお、図５では、ワークホルダ１が下方へ移動した場合にワーク１０がワイヤ群５７ａに当接するように、ローラ５３、５３の上方にワークホルダ１が設置された構造となっているが、本発明のマルチブレード製造装置は、このような構造に限定されるものではない。例えば、ワークホルダ１は、上方へ移動した場合に、ローラ５３、５３の間にソーワイヤ５１が複数回掛け渡されることによりローラ５３、５３の下に形成されるワイヤ群５７ｂに対してワーク１０が当接するように、ローラ５３、５３の下方に設置されていても良い。
【0035】
上記構造のマルチブレード製造装置６において、図５に矢印Ｘで示すように、リールボビン５２ａ、５２ｂをそれぞれ回転させると、リールボビン５２ａから繰り出されたソーワイヤ５１がローラ５３、５３の外周面に形成された環状の溝に沿って走行した後、リールボビン５２ｂによって巻き取られる。
このとき、ワイヤ群５７ａ、５７ｂを構成する各ソーワイヤ５１は、それぞれ同じ方向に走行している。したがって、モータ５によってワーク１０を軸体１１ａの中心軸１１ｂを中心として回転させながらワークホルダ１を下降させて、ローラ５３、５３の上側に形成されたワイヤ群５７ａにワーク１０を当接させると、ワーク１０の周面に所定の幅を有する複数の環状溝１０ａ（図６（ａ）参照）が一定のピッチで同時に形成される。
このとき、ワイヤ群５７ａ、５７ｂを構成する各ソーワイヤ５１は、それぞれ同じ方向に走行している。したがって、モータ５によってワーク１０を軸体１１ａの中心軸１１ｂを中心として回転させながらワークホルダ１を下降させて、ローラ５３、５３の上側に形成されたワイヤ群５７ａにワーク１０を当接させると、ワーク１０の周面に所定の幅を有する複数の環状溝１０ａ（図６（ａ）参照）が一定のピッチで同時に形成される。
【0036】
上述のとおり、マルチブレード製造装置６を用いてワーク１０を加工すると、ワーク１０の周面に所定の幅を有する複数の環状溝１０ａ（図６（ａ）参照）が所定のピッチで同時に形成される。この複数の環状溝１０ａのうち、隣り合う２つの環状溝の間の加工されていない部分（柱部１０ｂ）はブレード８として利用することができる。この場合、周面に複数の環状溝１０ａが所定のピッチで形成されているワーク１０は、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、円柱状をなす本体部７の周面に対して、平面視ドーナツ型円板状をなす複数枚のブレード８が本体部７の中心軸（円柱軸）と直交し、かつ、半径方向へ突設するように等間隔で設けられた構造のマルチブレード９となる。
このようにマルチブレード製造装置６を用いると、本体部７を介して連結される複数枚のブレード８が同時に形成されることから、特許文献１又は特許文献３に記載された従来技術に係るマルチブレードとは異なり、スペーサを介して円板状の複数枚のブレード同士を連結する工程を必要としない。そのため、マルチブレード製造装置６によれば、従来技術よりもマルチブレード９を短時間で容易に製造することができる。そして、このマルチブレード９は、複数枚のブレード８が本体部７と一体化した構造であるため、使用中にブレード８と本体部７の位置関係や隣り合う２つのブレード８の間隔が変化し難い。したがって、マルチブレード９は製品寿命が長いという優れた効果を有している。
このとき、ワーク１０の周面に形成された環状溝１０ａの間隔とその幅は、マルチブレード９におけるブレード８の厚さとその間隔にそれぞれ対応し、環状溝１０ａの間隔とその幅は、マルチワイヤソー５０に用いられるソーワイヤ５１の間隔と太さによってそれぞれ規定される。
このようにマルチブレード製造装置６を用いると、本体部７を介して連結される複数枚のブレード８が同時に形成されることから、特許文献１又は特許文献３に記載された従来技術に係るマルチブレードとは異なり、スペーサを介して円板状の複数枚のブレード同士を連結する工程を必要としない。そのため、マルチブレード製造装置６によれば、従来技術よりもマルチブレード９を短時間で容易に製造することができる。そして、このマルチブレード９は、複数枚のブレード８が本体部７と一体化した構造であるため、使用中にブレード８と本体部７の位置関係や隣り合う２つのブレード８の間隔が変化し難い。したがって、マルチブレード９は製品寿命が長いという優れた効果を有している。
このとき、ワーク１０の周面に形成された環状溝１０ａの間隔とその幅は、マルチブレード９におけるブレード８の厚さとその間隔にそれぞれ対応し、環状溝１０ａの間隔とその幅は、マルチワイヤソー５０に用いられるソーワイヤ５１の間隔と太さによってそれぞれ規定される。
【0037】
したがって、例えば、太さ１００μｍのソーワイヤ５１を使用するとともに、その間隔を３０μｍに設定した状態でマルチブレード製造装置６を用いて、ワーク１０を加工すると、図６（ｃ）に示すように、厚さ３０μｍの複数枚のブレード８が１００μｍの間隔で平行に配置されたマルチブレード９が得られる。
すなわち、マルチブレード製造装置６を用いれば、厚さが３０μｍという薄い複数枚のブレード８が所望の間隔で平行に配置された構造のマルチブレード９を製造することができる。
すなわち、マルチブレード製造装置６を用いれば、厚さが３０μｍという薄い複数枚のブレード８が所望の間隔で平行に配置された構造のマルチブレード９を製造することができる。
【0038】
また、ワーク１０は予め周面に砥粒が固着されていることから、上述のブレード８は外周面に砥粒が固着された状態となる。したがって、ワーク１０の周面に砥粒をレジンボンド又は電着によって固着させる工程を備えている本発明に係るマルチブレードの製造方法によれば、各ブレードに対して外周部に砥粒を固着させる作業を個別に行う必要がある従来技術の場合に比べてマルチブレード９の製造に要する時間と費用が低減されるという効果を奏する。
【0039】
なお、ブレードを備えた従来のダイシングマシンを用いて上述のワークを加工する場合、マルチブレードのブレードに相当する部分（前述の柱部１０ｂ）が振動し、左右に振れる結果、隣の柱部１０ｂに接触して折れてしまうおそれがある。また、隣の柱部１０ｂに接触しない場合でも柱部１０ｂが振動していると高精度に加工することが難しい。
これに対し、ワーク１０の加工にマルチブレード製造装置６を用いると、ワーク１０に環状溝１０ａを加工する際に、隣り合う２つの環状溝１０ａの内部に存在するソーワイヤ５１、５１によって、その間の柱部１０ｂの振動が抑制される。そのため、マルチブレード製造装置６を用いれば、柱部１０ｂの加工を高い精度で行うことが可能であるとともに、左右に振れた柱部１０ｂが他の柱部１０ｂに接触して折れてしまうという事態を回避することができる。
なお、上述の作用及び効果は、本発明に係るマルチブレードの製造方法においても同様に発揮される。
これに対し、ワーク１０の加工にマルチブレード製造装置６を用いると、ワーク１０に環状溝１０ａを加工する際に、隣り合う２つの環状溝１０ａの内部に存在するソーワイヤ５１、５１によって、その間の柱部１０ｂの振動が抑制される。そのため、マルチブレード製造装置６を用いれば、柱部１０ｂの加工を高い精度で行うことが可能であるとともに、左右に振れた柱部１０ｂが他の柱部１０ｂに接触して折れてしまうという事態を回避することができる。
なお、上述の作用及び効果は、本発明に係るマルチブレードの製造方法においても同様に発揮される。
【産業上の利用可能性】
【0040】
本発明のマルチブレードは、シリコンウェハなどのワークを切断する場合に用いられ、本発明のマルチブレードの製造方法及びマルチブレード製造装置は、そのマルチブレードを製造する場合に用いられる。
【符号の説明】
【0041】
１…ワークホルダ ２…ベース部材 ３…チャック部材 ３ａ…チャック本体 ３ｂ…チャック穴 ３ｃ…締付けネジ ３ｄ…爪 ４…保持板 ５…モータ ６…マルチブレード製造装置 ７…本体部 ８…ブレード ９…マルチブレード １０…ワーク １０ａ…環状溝 １０ｂ…柱部 １１…円柱体 １１ａ…軸体 １１ｂ…中心軸 １２…レジンボンド １３…メッキ層 １４…砥粒 １５…円筒体 １５ａ…貫通孔 ５０…マルチワイヤソー ５１…ソーワイヤ ５２ａ、５２ｂ…リールボビン ５３…ローラ ５３ａ…外周面 ５４…加工液噴射ノズル ５５…ワークホルダ ５６…ワーク ５７ａ、５７ｂ…ワイヤ群
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】