特開2022-111081薄膜における不純物の除去方法及び基板処理装置

発明の名称　薄膜における不純物の除去方法及び基板処理装置

出願人　ユ−ジーン　テクノロジー　カンパニー．リミテッド　（識別番号 509123895）

　　　　特許公開件数ランキング 1885 位（10件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24983 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-111081

公報発行日　2022年7月29

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-111081

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