特開 2022-111488 静電容量センサ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022111488

(43)【公開日】2022-08-01

(54)【発明の名称】静電容量センサ

(51)【国際特許分類】

   G01L 1/14 20060101AFI20220725BHJP

【ＦＩ】

G01L1/14 J

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021006938

(22)【出願日】2021-01-20

(71)【出願人】

【識別番号】000005326

【氏名又は名称】本田技研工業株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】508282568

【氏名又は名称】ザ ユニバーシティ オブ ブリティッシュ コロンビア

(74)【代理人】

【識別番号】110000800

【氏名又は名称】特許業務法人創成国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】石▲崎▼ 隆介

(72)【発明者】

【氏名】ミルザ サキーブ サーウォー

(72)【発明者】

【氏名】ジョーン ディー ダブリュー マッデン

(57)【要約】

【課題】耐久性を向上させることができる静電容量センサを提供することを目的とする。
【解決手段】静電容量センサ１は、基板１０、４つの第１電極１１ａ～１１ｄ、電極支持体１４及び第２電極１２を備えている。４つの第１電極１１ａ～１１ｄは、基板１０に設けられており、電極支持体１４は、誘電性及び弾性を有し、基板１０に固定されている。第２電極１２は、第１電極１１ａ～１１ｄとの間に間隔を存しながら第１電極１１ａ～１１ｄと対向するように電極支持体１４内に設けられている。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板と、
当該基板に設けられた第１電極と、
前記基板に固定され、誘電性及び弾性を有する柔軟部材と、
前記第１電極との間に間隔を存しながら前記第１電極と対向するように前記柔軟部材内に設けられ、前記第１電極との間の静電容量を検出するための第２電極と、
を備えることを特徴とする静電容量センサ。

【請求項2】

請求項１に記載の静電容量センサにおいて、
可撓性を有し、前記柔軟部材内を延びるとともに、一端部が前記第２電極に接続された電線をさらに備えることを特徴とする静電容量センサ。

【請求項3】

請求項１又は２に記載の静電容量センサにおいて、
前記基板には、一対の前記第１電極を含む複数の前記第１電極が当該基板の表面に沿う方向に互いに間隔を存して設けられており、当該複数の第１電極は、当該基板に設けられた配線に接続されており、
前記一対の第１電極の各々は、前記第２電極側から見たときに、前記第２電極と対向する面の一部が前記第２電極に重なるように配置されていることを特徴とする静電容量センサ。

【請求項4】

請求項３に記載の静電容量センサにおいて、
前記複数の第１電極は、他の一対の前記第１電極をさらに含んでおり、
当該他の一対の第１電極は、前記第２電極側から見たときに、互いに直交する２つの直線の一方に沿うとともに、当該他の一対の第１電極の各々における前記第２電極と対向する面の一部が前記第２電極に重なるように配置されており、
前記一対の第１電極は、前記第２電極側から見たときに、前記２つの直線の他方に沿うように配置されていることを特徴とする静電容量センサ。

【請求項5】

請求項１ないし４のいずれかに記載の静電容量センサにおいて、
前記柔軟部材は、前記第２電極を内蔵するとともに前記基板の表面との間に間隙を有する電極内蔵部と、当該電極内蔵部と前記基板との間に延びる複数の柱部とを有していることを特徴とする静電容量センサ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、力を検出するための静電容量センサに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、静電容量センサとして特許文献１に記載されたものが知られている。この静電容量センサは、圧力検出用のものであり、可撓性を有するフレキシブル基板及び硬質基板などを備えている。フレキシブル基板の下面には、第１電極及び第２可動電極と、これらの可動電極に接続された信号線とが取り付けられている。

【0003】

また、硬質基板の上面には、固定電極、絶縁部及びメタル部が取り付けられている。固定電極は、第１及び第２可動電極に対向するように配置され、絶縁部は、固定電極の外周部を覆うように設けられている。さらに、メタル部は平面視円環状に構成され、絶縁部の上面と固定電極の下面に当接した状態で、両者の間に配置されている。この静電容量センサの場合、圧力がフレキシブル基板における第１可動電極の上側の部分に作用した場合、第１可動電極が固定電極側に移動し、静電容量が変化することで、圧力が検出される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１９－９０７２９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記従来の静電容量センサによれば、２つの可動電極及び信号線がフレキシブル基板の下面に取り付けられている関係上、静電容量センサを、圧力がフレキシブル基板に対して繰り返し作用する環境下で長期間使用した場合、２つの可動電極及び信号線がフレキシブル基板から剥離するおそれがあり、耐久性が低いという問題がある。

【0006】

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、耐久性を向上させることができる静電容量センサを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記目的を達成するために、請求項１に係る静電容量センサ１，１Ａは、基板１０と、基板１０に設けられた第１電極１１ａ～１１ｄと、基板１０に固定され、誘電性及び弾性を有する柔軟部材（電極支持体１４，２０）と、第１電極１１ａ～１１ｄとの間に間隔を存しながら第１電極１１ａ～１１ｄと対向するように柔軟部材内に設けられ、第１電極１１ａ～１１ｄとの間の静電容量を検出するための第２電極１２と、を備えることを特徴とする。

【0008】

この静電容量センサによれば、第１電極との間の静電容量を検出するための第２電極が第１電極との間に間隔を存しながら第１電極と対向するように柔軟部材内に設けられているので、第１電極を第２電極側に移動させるような力が柔軟部材に作用した際、これらの第１電極及び第２電極間の距離が変化し、静電容量が変化するのに伴って、その力を検出することができる。その際、第２電極が柔軟部材内に設けられているので、静電容量センサを、柔軟部材が弾性変形を繰り返すような環境下で長時間使用した際でも、第２電極が柔軟部材から剥離することがない。それにより、特許文献１の場合と比べて、静電容量センサの耐久性を向上させることができる。

【0009】

請求項２に係る発明は、請求項１に記載の静電容量センサ１，１Ａにおいて、可撓性を有し、柔軟部材内を延びるとともに、一端部が第２電極に接続された電線１３をさらに備えることを特徴とする。

【0010】

この静電容量センサによれば、電線が可撓性を有し、柔軟部材内を延びるとともに、一端部が第２電極に接続されているので、静電容量センサを、柔軟部材が弾性変形を繰り返すような環境下で長時間使用した際でも、電線が柔軟部材から剥離することがない。それにより、特許文献１の場合と比べて、静電容量センサの耐久性を向上させることができる。

【0011】

請求項３に係る発明は、請求項１又は２に記載の静電容量センサ１，１Ａにおいて、基板１０には、一対の第１電極（前後一対の第１電極１１ａ，１１ｂ及び左右一対の第１電極１１ｃ，１１ｄの一方）を含む複数の第１電極１１ａ～１１ｄが基板１０の表面に沿う方向に互いに間隔を存して設けられており、複数の第１電極１１ａ～１１ｄは、基板１０に設けられた配線に接続されており、一対の第１電極の各々は、第２電極１２側から見たときに、第２電極１２と対向する面の一部が、第２電極１２に重なるように配置されていることを特徴とする。

【0012】

この静電容量センサによれば、基板には、一対の第１電極を含む複数の第１電極が基板の表面に沿う方向に互いに間隔を存して設けられており、複数の第１電極は、基板に設けられた配線に接続されているので、複数の電線を複数の第１電極にそれぞれ配線する場合と比べて、配線作業を簡易化することができる。また、一対の第１電極の各々は、第２電極側から見たときに、第２電極と対向する面の少なくとも一部が、第２電極に重なるように配置されているので、力が一対の第１電極の並んだ方向に沿って柔軟部材に作用した際、柔軟部材の弾性変形に伴い、一対の第１電極の各々において、第２電極と対向する面のオーバーラップ面積が変化し、静電容量が変化することになる。その結果、この静電容量の変化に基づき、一対の第１電極の並んだ方向に作用する力すなわちせん断力を検出することができる。

【0013】

請求項４に係る発明は、請求項３に記載の静電容量センサ１，１Ａにおいて、複数の第１電極１１ａ～１１ｄは、他の一対の第１電極（前後一対の第１電極１１ａ，１１ｂ及び左右一対の第１電極１１ｃ，１１ｄの一方）をさらに含んでおり、他の一対の第１電極は、第２電極１２側から見たときに、互いに直交する２つの直線の一方に沿うとともに、他の一対の第１電極の各々における第２電極１２と対向する面の一部が第２電極１２に重なるように配置されており、一対の第１電極は、第２電極１２側から見たときに、２つの直線の他方に沿うように配置されていることを特徴とする。

【0014】

この静電容量センサによれば、複数の第１電極が他の一対の第１電極をさらに含んでおり、他の一対の第１電極は、第２電極側から見たときに、他の一対の第１電極の各々における第２電極と対向する面の一部が第２電極に重なるように配置されている。それにより、力が他の一対の第１電極の並んだ方向に沿って柔軟部材に作用した際、柔軟部材の弾性変形に伴い、他の一対の第１電極の各々において、第２電極と対向する面のオーバーラップ面積が変化し、静電容量が変化することになる。その結果、この静電容量の変化に基づき、他の一対の第１電極の並んだ方向に作用する力すなわちせん断力を検出することができる。さらに、他の一対の第１電極は、互いに直交する２つの直線の一方に沿うように配置され、一対の第１電極は、２つの直線の他方に沿うように配置されている。したがって、この静電容量センサによれば、直交３軸方向の力を検出することができる。

【0015】

請求項５に係る発明は、請求項１ないし４のいずれかに記載の静電容量センサ１Ａにおいて、柔軟部材（電極支持体２０）は、第２電極１２を内蔵するとともに基板１０の表面との間に間隙を有する電極内蔵部２１と、電極内蔵部２１と基板１０との間に延びる複数の柱部（第１柱部２２）とを有していることを特徴とする。

【0016】

この静電容量センサによれば、柔軟部材は、第２電極を内蔵するとともに基板の表面との間に間隙を有する電極内蔵部と、電極内蔵部と基板との間に延びる複数の柱部とを有しているので、この電極内蔵部に対して力が作用した場合、複数の柱部が弾性変形することによって、第２電極及び第１電極が両者の対向方向の距離が近くなるように変化する状態と、両者の位置関係が基板の表面に沿う方向にずれる状態とを発生させることができる。その際、第２電極及び第１電極の位置関係が基板の表面に沿う方向にずれる状態が、柔軟部材が中実の場合よりも発生しやすくなることで、せん断力の検出感度を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明の第１実施形態に係る静電容量センサなどの構成を示す平面図である。

【図2】静電容量センサの正面図である。

【図3】第２実施形態に係る静電容量センサの構成を示す平面図である。

【図4】図３のＩ－Ｉ線に沿う断面図である。

【図5】図４のII－II線に沿う断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、図面を参照しながら、本発明の第１実施形態に係る静電容量センサについて説明する。図１に示すように、本実施形態の静電容量センサ１は、５本の電線１６を介して力検出装置３０に接続されている。この力検出装置３０は、後述するように、静電容量センサ１による静電容量の検出結果に基づいて、静電容量センサ１に作用する直交３軸方向の力を検出するものである。

【0019】

本実施形態の静電容量センサ１は、図１及び図２に示すように、プリント基板１０、４つの第１電極１１ａ～１１ｄ、第２電極１２、電線１３及び電極支持体１４などを備えている。

【0020】

なお、以下の説明では、便宜上、図１の左側を「左」、図１の右側を「右」、図１の下側を「前」、図１の上側を「後ろ」、図１の手前側を「上」、図１の奥側を「下」という。

【0021】

プリント基板（以下「基板」という）１０は、平面視矩形のリジッド基板タイプのものであり、その表面には、図示しないプリント配線が形成されている。なお、基板１０をフレキシブル基板で構成してもよい。

【0022】

４つの第１電極１１は、これらを平面視した場合、前後一対の第１電極１１ａ，１１ｂの中心間を結んだ直線が、左右一対の第１電極１１ｃ，１１ｄの中心間を結んだ直線と直交するとともに、前後の第１電極１１ａ，１１ｂの中心間の距離と、左右の第１電極１１ｃ，１１ｄの中心間の距離が同一になるように配置されている。なお、本実施形態では、前後一対の第１電極１１ａ，１１ｂ及び左右一対の第１電極１１ｃ，１１ｄの一方が一対の第１電極に相当し、他方が他の一対の第１電極に相当する。

【0023】

また、４つの第１電極１１ａ～１１ｄは、図２に示すように、板状で基板１０よりも薄い厚みを有しており、基板１０の上面に面一の状態で設けられているとともに、基板１０のプリント配線及び４本の電線１６を介して、力検出装置３０に接続されている。

【0024】

さらに、４つの第１電極１１ａ～１１ｄは、これらを平面視した場合、互いに同じサイズの正方形に形成され、四辺の各々が互いに平行になるように配置されている。なお、以下の説明では、４つの第１電極１１ａ～１１ｄの各々を適宜、「各第１電極１１」という。

【0025】

一方、電極支持体１４は、誘電性及び弾性（又は可撓性）を有する半透明のシリコンゴムで構成されており、基板１０の上面に固定されている。電極支持体１４は、本体部１４ａ及び電線保護部１４ｂを備えており、この本体部１４ａは、中実の直方体形状を有している。電線保護部１４ｂは、断面矩形の柱状に形成され、本体部１４ａから左方に延びた後、直角に折れ曲がって基板１０まで延びている。なお、本実施形態では、電極支持体１４が柔軟部材に相当する。

【0026】

また、第２電極１２は、板状の可撓性を有するフレキシブル電極タイプのものであり、平面視正方形に形成されている。第２電極１２は、これを平面視した場合、四辺の各々が各第１電極１１の四辺の各々と平行になるとともに、各第１電極１１の表面の半分が第２電極１２に重なるように配置されている。第２電極１２は、基板１０と平行な姿勢に保持されるとともにその全体が本体部１４ａに密着した状態で、本体部１４ａに内蔵されている。

【0027】

さらに、電線１３は、可撓性を有するフレキシブル電線タイプのものであり、第２電極１２から電極支持体１４の本体部１４ａ及び電線保護部１４ｂの内部を左方に延びた後、下方に直角に折れ曲がって電線保護部１４ｂ内を延び、その先端部が端子１５に接続されている。この端子１５は、基板１０のプリント配線に接続されており、それにより、第２電極１２は、電線１３、端子１５、プリント配線及び電線１６を介して、力検出装置３０に接続されている。

【0028】

一方、力検出装置３０は、マイクロコンピュータ及び電気回路を組み合わせて構成されている。この力検出装置３０では、各第１電極１１と第２電極１２との間に電圧を印加することにより、各第１電極１１と第２電極１２との間の静電容量が検出される。

【0029】

そして、これらの４つの静電容量に基づき、図示しない演算式により、静電容量センサ１に対して、下向きに作用する力（荷重）、左右方向に作用するせん断力及び前後方向に作用するせん断力が演算される。すなわち、本実施形態の静電容量センサ１は、３軸力センサとしての機能を備えている。

【0030】

以上のように、第１実施形態の静電容量センサ１によれば、第２電極１２が、各第１電極１１との間に間隔を存しながら各第１電極１１と対向するように、電極支持体１４内に設けられている。したがって、下向きの力（荷重）が電極支持体１４に作用した際、各第１電極１１及び第２電極１２間の距離が変化し、静電容量が変化するのに伴って、その力を検出することができる。その際、第２電極１２が電極支持体１４に内蔵されているので、各第１電極１１と第２電極１２の間の短絡を回避できるとともに、静電容量センサ１を、電極支持体１４が弾性変形を繰り返すような環境下で長時間使用した際でも、第２電極１２が電極支持体１４から剥離することがない。それにより、特許文献１の場合と比べて、静電容量センサ１の耐久性を向上させることができる。

【0031】

さらに、４つの第１電極１１ａ～１１ｄは、基板１０に設けられたプリント配線に接続されているので、４つの電線を４つの第１電極１１ａ～１１ｄにそれぞれ配線する場合と比べて、配線作業を簡易化することができる。さらに、４つの第１電極１１ａ～１１ｄは、これらを平面視した場合、前後一対の第１電極１１ａ，１１ｂの中心間を結んだ直線が、左右一対の第１電極１１ｃ，１１ｄの中心間を結んだ直線と直交するとともに、各第１電極１１の表面の半分が第２電極１２に重なるように配置されている。

【0032】

したがって、基板１０の表面に沿う直交２軸方向の力すなわちせん断力が電極支持体１４に作用した際、電極支持体１４が弾性変形するのに伴い、各第１電極１１と第２電極１２の間において、互いに対向する面のオーバーラップ面積が変化し、静電容量が変化することになる。それにより、これらの静電容量の変化に基づき、直交２軸方向のせん断力を検出することができる。以上のように、静電容量センサ１を用いて、直交３軸方向の力を検出することができる。

【0033】

なお、第１実施形態は、第２電極１２の全体が電極支持体１４に内蔵されるように構成したが、これに代えて、第２電極１２の一部が電極支持体１４から外方に露出するように構成してもよい。その場合、電極支持体１４が弾性変形したときに、第２電極１２が第１電極１１と短絡しないように構成されていればよい。

【0034】

また、第１実施形態の静電容量センサ１において、シールドを電極支持体１４内の第２電極１２の上側に設けるとともに、物体の接近を検出するための第３電極をこのシールドの上側にさらに設けるように構成してもよい。このように構成した場合、３軸力センサとしての機能に加えて、近接センサとしての機能を確保することができる。

【0035】

さらに、第１実施形態は、柔軟部材として、シリコンゴムで構成された電極支持体１４を用いた例であるが、本発明の柔軟部材は、これに限らず、誘電性及び弾性を有するものであればよい。例えば、柔軟部材として、チオフェン系導電性高分子もしくはＰＳＳなどの導電性樹脂、ＰＶＣゲル、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）、シリコン系樹脂、ウレタン系樹脂もしくはエポキシ系樹脂、または、これらの任意の組み合わせの複合材料などの誘電体を用いてもよい。

【0036】

また、第１実施形態は、柔軟部材として、直方体状の電極支持体１４を用いた例であるが、これに代えて、小判形状、円筒形状及び半球形状などの様々な形状の柔軟部材を用いてもよい。

【0037】

一方、第１実施形態は、４つの第１電極１１ａ～１１ｄとして、平面視したときに正方形のものを用いた例であるが、これらに代えて、４つの第１電極１１ａ～１１ｄとして、平面視したときに正方形以外の矩形のものを用いてもよく、平面視したときに対称性を有する形状のものであればよい。

【0038】

また、第１実施形態は、第２電極１２として、平面視したときに正方形のものを用いた例であるが、これに代えて、第２電極１２として、平面視したときに正方形以外の矩形のものを用いてもよく、平面視したときに対称性を有する形状のものであればよい。

【0039】

さらに、第１実施形態は、静電容量センサ１が、前後一対の第１電極１１ａ，１１ｂ及び左右一対の第１電極１１ｃ，１１ｄを備えている例であるが、これに代えて、静電容量センサ１が、前後一対の第１電極１１ａ，１１ｂ及び左右一対の第１電極１１ｃ，１１ｄの一方のみを備えているように構成してもよく、１つの第１電極１１のみを備えるように構成してもよい。

【0040】

一方、第１実施形態は、電線１３が電極支持体１４の本体部１４ａ内を延びるように構成した例であるが、これに代えて、電線１３が電極支持体１４の本体部１４ａの外部を延びるように構成してもよい。

【0041】

以下、図３～５を参照しながら、本発明の第２実施形態に係る静電容量センサ１Ａについて説明する。本実施形態の静電容量センサ１Ａは、第１実施形態の静電容量センサ１と比較した場合、電極支持体１４に代えて、電極支持体２０を備えている点が異なっているので、以下、この電極支持体２０を中心に説明する。

【0042】

以下、第１実施形態と同一の構成に対しては同じ符号を付すとともに、その説明を省略する。また、図３においては、図１に示す力検出装置３０などが省略されている。

【0043】

本実施形態の静電容量センサ１Ａは、図３～５に示す電極支持体２０を備えており、この電極支持体２０は、第１実施形態の電極支持体１４と同様に、半透明のシリコンゴムで構成されている。電極支持体２０は、中空に構成されており（図４参照）、電極内蔵部２１、１０個の第１柱部２２及び１１個の第２柱部２３などを備えている。なお、本実施形態では、電極支持体２０が柔軟部材に相当する。

【0044】

電極内蔵部２１は、平面視矩形の薄板状に形成され、基板１０に対して平行に設けられているとともに、上下方向の厚さが第２電極１２よりも厚くなっている。第２電極１２は、これを平面視したときに電極内蔵部２１の中央部に位置しているとともに、基板１０に対して平行な姿勢でかつ外部に露出しない状態で、電極内蔵部２１に内蔵されている。

【0045】

図３及び図５に示すように、１０個の第１柱部２２の各々と、１１個の第２柱部２３の各々は、左右方向及び前後方向に交互に並んだ状態でかつ等間隔で配置されている。各第１柱部２２は、平面視矩形の断面形状を有しており（図５参照）、そのサイズは、第１電極１１を平面視したときのサイズと同一に設定されている。各第１柱部２２は、電極内蔵部２１から一体に下方に延び、その先端部が基板１０に固定されている。

【0046】

また、図３に示すように、電極支持体２０を平面視した場合、４つの第１柱部２２が、電極支持体２０の中心から等距離の位置に十字状に配置されている。これら４つの第１柱部２２のうちの内側の２つの第１柱部２２，２２は、左右の第１電極１１ｃ，１１ｄに対応する位置に設けられており、それらの先端部が左右の第１電極１１ｃ，１１ｄの表面を覆う状態で第１電極１１に固定されている（図４参照）。

【0047】

また、残りの２つの第１柱部２２，２２は、基板１０の中心を通って前後方向に並んだ２つの第１電極１１ａ，１１ｂに対応する位置に設けられており、それらの先端部が２つの第１電極１１ａ，１１ｂの表面を覆う状態で第１電極１１に固定されている。

【0048】

さらに、電線１３は、第２電極１２から電極内蔵部２１内を通って左方に延びた後、下方に折れ曲がり、左端の第１柱部２２内を通って基板１０まで延びている。

【0049】

一方、１１個の第２柱部２３の各々は、平面視「×」状の断面を有しており、電極内蔵部２１から一体に下方に延びるとともに、その先端部が基板１０の表面との間に所定間隔を有するように設けられている。以上の構成により、下向きの荷重（力）が電極支持体２０に作用し、電極内蔵部２１が基板１０側に撓むのに伴って、いくつかの第２柱部２３が基板１０に当接した際、荷重がそれらの第２柱部２３によって支持される状態となる。それにより、それ以降、電極支持体２０の弾性変形度合いが抑制されることになる。すなわち、電極支持体２０の過剰な弾性変形を回避することができる。

【0050】

以上のように、第２実施形態の静電容量センサ１Ａによれば、第１実施形態の静電容量センサ１と同様に、直交３軸方向の力を検出することができる。さらに、静電容量センサ１Ａを、電極支持体２０が弾性変形を繰り返すような環境下で長時間使用した際でも、第２電極１２が電極支持体２０から剥離することがなく、それにより、特許文献１の場合と比べて、静電容量センサ１Ａの耐久性を向上させることができる。

【0051】

これに加えて、電極支持体２０が、電極内蔵部２１と、電極内蔵部２１と基板１０との間に延びる１０個の第１柱部２２を有しているので、この電極内蔵部２１に対して力が作用した場合、１０個の第１柱部２２が弾性変形することによって、第２電極１２及び各第１電極１１の位置関係が基板１０の表面に沿う方向にずれやすくなるとともに、その状態が第１実施形態の電極支持体１４よりも発生しやすくなる。それにより、この静電容量センサ１Ａによれば、第１実施形態の静電容量センサ１と比べて、せん断力の検出感度を向上させることができる。

【0052】

なお、第２実施形態は、柔軟部材として電極支持体２０を用いた例であるが、本発明の柔軟部材は、これに限らず、誘電性及び弾性を有するものであればよい。また、電極支持体２０として、正方形以外の断面形状（例えば、円形又は正多角形の断面形状）を備えた第１柱部２２を有するものを用いてもよい。

【0053】

さらに、電極支持体２０の第１柱部２２の数は、１０個に限らず、複数であればよい。また、電極支持体２０の第２柱部２３の数は、１１個に限らず、１個以上であればよいとともに、第２柱部２３を省略してもよい。また、第２柱部２３としては、平面視したきの断面が「×」状のものに限らず、平面視したきの断面が多角形又は円形のものを用いてもよい。

【0054】

一方、第２実施形態は、第２電極１２を、その全体が電極支持体２０の電極内蔵部２１に内蔵されるように構成したが、これに代えて、第２電極１２の一部が電極内蔵部２１から外方に露出するように構成してもよい。その場合、電極支持体２０が弾性変形したときに、第２電極１２が第１電極１１と短絡しないように構成されていればよい。

【0055】

また、第２実施形態は、柔軟部材として、シリコンゴムで構成された電極支持体２０を用いた例であるが、本発明の柔軟部材は、これに限らず、誘電性及び弾性を有するものであればよい。例えば、柔軟部材として、チオフェン系導電性高分子もしくはＰＳＳなどの導電性樹脂、ＰＶＣゲル、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）、シリコン系樹脂、ウレタン系樹脂もしくはエポキシ系樹脂、または、これらの任意の組み合わせの複合材料などの誘電体を用いてもよい。

【0056】

さらに、第２実施形態は、静電容量センサ１Ａが、前後一対の第１電極１１ａ，１１ｂ及び左右一対の第１電極１１ｃ，１１ｄを備えている例であるが、これに代えて、静電容量センサ１Ａが、前後一対の第１電極１１ａ，１１ｂ及び左右一対の第１電極１１ｃ，１１ｄの一方のみを備えているように構成してもよく、１つの第１電極１１のみを備えるように構成してもよい。

【符号の説明】

【0057】

１ 静電容量センサ
１０ プリント基板（基板）
１１ａ 第１電極
１１ｂ 第１電極
１１ｃ 第１電極
１１ｄ 第１電極
１２ 第２電極
１３ 電線
１４ 電極支持体（柔軟部材）
１Ａ 静電容量センサ
２０ 電極支持体（柔軟部材）
２１ 電極内蔵部
２２ 第１柱部（複数の柱部）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】