特開2022-112734パージガス再利用システム、制御装置、パージガス再利用方法およびプログラム

発明の名称　パージガス再利用システム、制御装置、パージガス再利用方法およびプログラム

出願人　オルガノ株式会社　（識別番号 4400）

　　　　特許公開件数ランキング 348 位（82件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 235 位（120件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-112734

公報発行日　2022年8月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-112734

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