特開 2022-114657 圧力センサ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022114657

(43)【公開日】2022-08-08

(54)【発明の名称】圧力センサ

(51)【国際特許分類】

   G01L 1/16 20060101AFI20220801BHJP

【ＦＩ】

G01L1/16 C

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021011039

(22)【出願日】2021-01-27

(71)【出願人】

【識別番号】304020498

【氏名又は名称】サクサ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100166006

【弁理士】

【氏名又は名称】泉 通博

(74)【代理人】

【識別番号】100154070

【弁理士】

【氏名又は名称】久恒 京範

(74)【代理人】

【識別番号】100153280

【弁理士】

【氏名又は名称】寺川 賢祐

(72)【発明者】

【氏名】望月 規之

(72)【発明者】

【氏名】福田 昌士

(72)【発明者】

【氏名】大村 皇治

(57)【要約】

【課題】圧力センサが損傷しても圧電体を挟む２つの電極が短絡して故障することを低減させる。
【解決手段】基板と、基板の上に形成されている下部電極と、前記下部電極の上に圧電体が形成されている圧電体層と、前記圧電体層の上に形成されている上部電極と、前記下部電極、前記圧電体層、及び前記上部電極を覆う保護膜とを備え、前記下部電極、前記圧電体層、及び前記上部電極の積層方向における平面視において、前記下部電極及び前記上部電極が重ならないように形成されている、圧力センサ。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板と、
基板の上に形成されている下部電極と、
前記下部電極の上に圧電体が形成されている圧電体層と、
前記圧電体層の上に形成されている上部電極と、
前記下部電極、前記圧電体層、及び前記上部電極を覆う保護膜と
を備え、
前記下部電極、前記圧電体層、及び前記上部電極の積層方向における平面視において、前記下部電極及び前記上部電極が重ならないように形成されている、圧力センサ。

【請求項2】

前記下部電極は、複数の第１電極を有し、
複数の前記第１電極は、第１接続配線で電気的に接続されており、
前記積層方向における平面視において、前記第１接続配線及び前記上部電極は、重ならないように形成されている、請求項１に記載の圧力センサ。

【請求項3】

前記上部電極は、複数の第２電極を有し、
複数の前記第２電極は、第２接続配線で電気的に接続されており、
前記積層方向における平面視において、前記第２接続配線及び前記下部電極は、重ならないように形成されている、請求項１又は２に記載の圧力センサ。

【請求項4】

前記積層方向における平面視において、前記第１接続配線及び前記第２接続配線は、重ならないように形成されている、請求項２に従属する請求項３に記載の圧力センサ。

【請求項5】

前記下部電極及び前記上部電極は、少なくとも一部が櫛歯形状を有し、
前記積層方向における平面視において、前記下部電極及び前記上部電極のうち一方の電極の櫛歯形状における櫛部の間の領域の少なくとも一部には、前記下部電極及び前記上部電極のうち他方の電極の少なくとも一部が位置する、請求項１から４のいずれか一項に記載の圧力センサ。

【請求項6】

前記保護膜に外力が印加された場合に、圧電効果によって前記下部電極及び前記上部電極の間に発生する電圧が基準値よりも小さくなる前記圧電体層の領域は、少なくとも一部が圧電体を有さないように形成されている、請求項１から５のいずれか一項に記載の圧力センサ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、圧力センサに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、圧電体を２つの電極で挟み、圧電体を歪ませるように外力を印加することで、２つの電極間に電圧を発生させる圧電効果を用いた圧力センサが知られている。特に、圧力センサをシート状に形成して、圧力センサの上に人、物等が載ったことを検出するシートセンサ、マットセンサ等が知られている（例えば、特許文献１を参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２０－１６９８４９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

このような圧力センサは、物体の尖っている部分、突起状の部分、角の部分に強く押圧された場合、重量物等が落下した場合等に、損傷してしまい圧電体に穴が空いてしまうことがある。この場合、圧電体を挟む２つの電極が短絡して故障してしまうことがあった。

【0005】

そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、圧力センサが損傷しても圧電体を挟む２つの電極が短絡して故障することを低減させるようにすることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の第１の態様においては、基板と、基板の上に形成されている下部電極と、前記下部電極の上に圧電体が形成されている圧電体層と、前記圧電体層の上に形成されている上部電極と、前記下部電極、前記圧電体層、及び前記上部電極を覆う保護膜とを備え、前記下部電極、前記圧電体層、及び前記上部電極の積層方向における平面視において、前記下部電極及び前記上部電極が重ならないように形成されている、圧力センサを提供する。

【0007】

前記下部電極は、複数の第１電極を有し、複数の前記第１電極は、第１接続配線で電気的に接続されており、前記積層方向における平面視において、前記第１接続配線及び前記上部電極は、重ならないように形成されていてもよい。

【0008】

前記上部電極は、複数の第２電極を有し、複数の前記第２電極は、第２接続配線で電気的に接続されており、前記積層方向における平面視において、前記第２接続配線及び前記下部電極は、重ならないように形成されていてもよい。

【0009】

前記積層方向における平面視において、前記第１接続配線及び前記第２接続配線は、重ならないように形成されていてもよい。

【0010】

前記下部電極及び前記上部電極は、少なくとも一部が櫛歯形状を有し、前記積層方向における平面視において、前記下部電極及び前記上部電極のうち一方の電極の櫛歯形状における櫛部の間の領域の少なくとも一部には、前記下部電極及び前記上部電極のうち他方の電極の少なくとも一部が位置してもよい。

【0011】

前記保護膜に外力が印加された場合に、圧電効果によって前記下部電極及び前記上部電極の間に発生する電圧が基準値よりも小さくなる前記圧電体層の領域は、少なくとも一部が圧電体を有さないように形成されていてもよい。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、圧力センサが損傷しても圧電体を挟む２つの電極が短絡して故障することを低減できるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本実施形態に係る圧力センサ１００の第１構成例を示す。

【図2】本実施形態に係る圧力センサ１００の第２構成例を示す。

【図3】本実施形態に係る圧力センサ１００の第３構成例を示す。

【図4】本実施形態に係る圧力センサ１００の第４構成例を示す。

【図5】本実施形態に係る圧力センサ１００の第５構成例を示す。

【図6】本実施形態に係る圧力センサ１００の第６構成例を示す。

【発明を実施するための形態】

【0014】

＜圧力センサ１００の第１構成例＞
図１は、本実施形態に係るセンサ装置１０の第１構成例を示す。本実施形態において、直交する３つの軸をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸として示す。センサ装置１０は、圧力センサ１００と信号処理部２００とを備える。図１Ａは、圧力センサ１００と信号処理部２００の概略構成を示す。図１Ｂは、図１Ａの圧力センサ１００の直線Ａ－Ａ’における断面図を示す。圧力センサ１００は、基板１１０と、下部電極１２０と、圧電体層１３０と、上部電極１４０と、保護膜１５０と、配線１６０とを有する。

【0015】

基板１１０は、ＸＹ面と略平行な面を有し、当該面上に圧力センサ１００を構成する部材の少なくとも一部が形成されている。基板１１０は、圧力センサ１００の強度を保つための部材であることが望ましい。基板１１０は、例えば、屈曲させることが可能な材料で形成されている。この場合、基板１１０は、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）フィルム、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラート）フィルム、フレキシブル基板等である。

【0016】

下部電極１２０は、基板１１０の上に形成されている。下部電極１２０は、導電性の材料で形成されている。図１Ａにおいて、下部電極１２０を点線で示す。下部電極１２０は、基板１１０の上面に形成されていてもよく、これに代えて、下地層または保護膜等を介して基板１１０の上に形成されていてもよい。図１は、下地層１１２が基板１１０の上に形成されている例を示す。下地層１１２は、一例として、架橋ＰＶＰ（ポリビニルピロリドン）膜である。

【0017】

圧電体層１３０は、下部電極１２０の上に圧電体が形成されている部位である。圧電体層１３０は、下部電極１２０の上面に形成されていてもよく、これに代えて、絶縁層等を介して下部電極１２０の上に形成されていてもよい。圧電体は、圧電効果を有する強誘電体性を有する材料である。圧電体は、例えば、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）等のポリマー、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電セラミックスである。

【0018】

上部電極１４０は、圧電体層１３０の上に形成されている。上部電極１４０は、導電性の材料で形成されている。図１Ａにおいて、上部電極１４０を実線で示す。上部電極１４０は、圧電体層１３０の上面に形成されていてもよく、これに代えて、絶縁層等を介して圧電体層１３０の上に形成されていてもよい。

【0019】

保護膜１５０は、下部電極１２０、圧電体層１３０、及び上部電極１４０を覆うように形成されている。保護膜１５０は、樹脂等である。保護膜１５０は、例えば、パリレン等のポリマーである。なお、図１Ａは、下部電極１２０、圧電体層１３０、及び上部電極１４０の配置の理解のため、基板１１０、下地層１１２、保護膜１５０を省略している。配線１６０は、圧力センサ１００の下部電極１２０及び上部電極１４０と信号処理部２００とを電気的に接続する。圧力センサ１００は、更にカバー部等によって一部又は全体が覆われていてもよい。

【0020】

信号処理部２００は、圧力センサ１００から生じた電圧を検出して、圧力センサ１００に人、物等が載ったことを特定する。信号処理部２００は、信号受信部２１０と、特定部２２０と、記憶部２３０とを有する。

【0021】

信号受信部２１０は、下部電極１２０及び上部電極１４０から出力される検出信号を受け取る。信号受信部２１０は、例えば、増幅回路、Ａ／Ｄ変換回路等を含み、受信した検出信号をデジタル信号に変換する。信号受信部２１０は、変換したデジタル信号を特定部２２０に供給する。なお、信号受信部２１０は、予め定められた電圧値と検出信号の電圧値とを比較するコンパレータを更に含んでもよい。

【0022】

特定部２２０は、信号受信部２１０が受信した検出信号の電圧値と閾値とに基づいて、圧力センサ１００に人、物等が載ったことを特定する。特定部２２０は、例えば、検出信号の電圧値の最大値が閾値を超えたことにより、人、物等が載ったことを特定する。また、特定部２２０は、検出信号の電圧値が最大となってから予め定められた期間の間の電圧値の平均値が閾値を超えたことにより、人、物等が載ったことを特定してもよい。なお、信号受信部２１０がコンパレータを含む場合、特定部２２０は、コンパレータの出力結果に応じて、人、物等が載ったことを特定する。このような特定部２２０は、例えば、ＣＰＵ等である。

【0023】

記憶部２３０は、閾値、予め定められた期間等のデータを記憶する。記憶部２３０は、特定部２２０が動作に用いる設定値、閾値、及びパラメータ等を記憶してもよい。記憶部２３０は、ＣＰＵ等が少なくとも特定部２２０の一部として動作する場合、ＣＰＵ等が実行するプログラムの情報を格納してもよい。また、記憶部２３０は、当該プログラムの実行時に参照されるデータベースを含む種々の情報を格納してもよい。

【0024】

記憶部２３０は、一例として、ＢＩＯＳ（Basic Input Output System）等を格納するＲＯＭ（Read Only Memory）、及び作業領域となるＲＡＭ（Random Access Memory）を含む。これにより、ＣＰＵ等は、記憶部２３０に記憶されたプログラムを実行することによって特定部２２０として機能する。

【0025】

以上の本実施形態に係るセンサ装置１０は、圧力センサ１００に圧力が加わったことに応じて、圧電効果で発生する電圧値を検出することにより、圧力センサ１００の上に人、物等が載ったことを特定する。このような圧力センサ１００は、物体の尖っている部分、突起状の部分、角の部分に強く押圧されること、重量物等が落下して極端に強い衝撃、圧力等が加わることがある。この場合、圧力センサ１００は、圧電体層１３０を貫通する穴等が形成されるほど損傷することがある。

【0026】

また、圧力センサ１００を形成する過程において、圧電体層１３０を貫通する穴が空いた不良品が製造されてしまうこともある。この場合、下部電極１２０及び上部電極１４０が短絡してしまい、圧力センサ１００の故障、発火等が発生してしまうことがある。

【0027】

そこで、本実施形態に係る圧力センサ１００は、下部電極１２０、圧電体層１３０、及び上部電極１４０の積層方向における平面視において、下部電極１２０及び上部電極１４０が重ならないように形成されている。図１において、下部電極１２０、圧電体層１３０、及び上部電極１４０の積層方向は、Ｚ方向と略平行な方向である。

【0028】

圧力センサ１００は、積層方向の平面視において、下部電極１２０及び上部電極１４０の少なくとも８０％以上、又は９０％以上の領域が重ならないように形成されていることが望ましい。圧力センサ１００は、積層方向の平面視において、下部電極１２０及び上部電極１４０の全てが重ならないように形成されていることがより望ましい。なお、圧力センサ１００は、積層方向の平面視において、配線１６０も重ならないように形成されていることが望ましい。

【0029】

下部電極１２０及び上部電極１４０の少なくとも一部は、積層方向の平面視において近接して圧電体層１３０を挟むように形成されている。言い換えると、下部電極１２０及び上部電極１４０の少なくとも一部は、圧電体層１３０を挟むように形成され、圧力センサ１００の上に力が加わると圧電体層１３０に圧電効果を発生させる程度に近接している。したがって、このような圧力センサ１００は、積層方向の平面視において下部電極１２０及び上部電極１４０が重ならないように形成されていても、従来のシートセンサ、マットセンサ等と同様に、人、物等が載ったことを特定するための検出信号を出力できる。

【0030】

そして、圧力センサ１００は、圧電体層１３０に穴等が形成されるほどの損傷が生じても、上部電極１４０の直下には下部電極１２０が形成されていないので、下部電極１２０及び上部電極１４０が短絡する確率を低減させることができる。したがって、このような圧力センサ１００を用いることで、故障等の発生を低減させて耐久性を向上させ、より安全で製品寿命の長いセンサ装置１０を提供できる。

【0031】

以上のように、圧力センサ１００の下部電極１２０及び上部電極１４０は、積層方向の平面視において、重ならないように形成されつつ、一部が近接していればよい。図１の例は、圧力センサ１００が１つの下部電極１２０と１つの上部電極１４０の組み合わせを有する例を説明したが、これに限定されることはない。例えば、下部電極１２０及び／又は上部電極１４０は、複数の電極を有してもよい。

【0032】

＜圧力センサ１００の第２構成例＞
図２は、本実施形態に係る圧力センサ１００の第２構成例を示す。図２は、圧力センサ１００の概略構成を示す。第２構成例の圧力センサ１００において、図１に示された第１構成例の圧力センサ１００と略同一のものには同一の符号を付け、説明を省略する。また、第２構成例の圧力センサ１００は、図１に示された第１構成例の圧力センサ１００の基板１１０、下地層１１２、保護膜１５０と略同一のものを備えるが、これらの動作は略同一であるため、説明と記載を省略する。第２構成例の圧力センサ１００は、下部電極１２０が複数の第１電極１２２を有する例を示す。図２において、第１電極１２２を点線で示し、上部電極１４０を実線で示す。

【0033】

複数の第１電極１２２は、第１接続配線１２４で電気的に接続されている。なお、圧力センサ１００は、積層方向における平面視において、第１接続配線１２４及び上部電極１４０は、重ならないように形成されていることが望ましい。このように、第２構成例の圧力センサ１００は、下部電極１２０が複数の第１電極１２２を有するので、積層方向の平面視において、下部電極１２０及び上部電極１４０が近接する部分を増加させることができる。

【0034】

図２に示す圧力センサ１００の第２構成例は、下部電極１２０が複数の第１電極１２２を有する例を説明したが、これに限定されることはない。これに代えて、上部電極１４０が複数の電極を有してもよい。また、下部電極１２０及び上部電極１４０がそれぞれ複数の電極を有してもよい。

【0035】

＜圧力センサ１００の第３構成例＞
図３は、本実施形態に係る圧力センサ１００の第３構成例を示す。図３は、圧力センサ１００の概略構成を示す。第３構成例の圧力センサ１００において、図１及び図２に示された第１構成例及び第２構成例の圧力センサ１００の動作と略同一のものには同一の符号を付け、説明を省略する。また、第３構成例の圧力センサ１００は、図１に示された第１構成例の圧力センサ１００の基板１１０、下地層１１２、保護膜１５０と略同一のものを備えるが、これらの動作は略同一であるため、説明と記載を省略する。

【0036】

第３構成例の圧力センサ１００は、下部電極１２０が複数の第１電極１２２を有し、上部電極１４０が複数の第２電極１４２を有する例を示す。図３において、第１電極１２２を点線で示し、第２電極１４２を実線で示す。また、第２電極１４２で隠れている圧電体層１３０の形状の一部を一点鎖線で示す。

【0037】

複数の第２電極１４２は、第２接続配線１４４で電気的に接続されている。なお、圧力センサ１００は、積層方向における平面視において、第２接続配線１４４及び下部電極１２０が重ならないように形成されていることが望ましい。また、圧力センサ１００は、積層方向における平面視において、第１接続配線１２４及び第２接続配線１４４が重ならないように形成されていることが望ましい。

【0038】

このように、第３構成例の圧力センサ１００は、下部電極１２０及び上部電極１４０が複数の電極を有するので、積層方向の平面視において、下部電極１２０及び上部電極１４０が近接する部分をより増加させることができる。また、下部電極１２０及び上部電極１４０の設計の自由度を向上させることができる。例えば、下部電極１２０及び上部電極１４０の少なくとも一方は、下部電極１２０及び上部電極１４０が近接する部分をより増加させるような形状を有していてもよい。

【0039】

＜圧力センサ１００の第４構成例＞
図４は、本実施形態に係る圧力センサ１００の第４構成例を示す。図４は、圧力センサ１００の概略構成を示す。第４構成例の圧力センサ１００において、図１に示された第１構成例の圧力センサ１００の動作と略同一のものには同一の符号を付け、説明を省略する。また、第４構成例の圧力センサ１００は、図１に示された第１構成例の圧力センサ１００の基板１１０、下地層１１２、保護膜１５０と略同一のものを備えるが、これらの動作は略同一であるため、説明と記載を省略する。第４構成例の圧力センサ１００は、下部電極１２０及び上部電極１４０の少なくとも一部が櫛歯形状を有する。

【0040】

図４は、下部電極１２０及び上部電極１４０の両方が櫛歯形状を有する例を示す。そして、積層方向における平面視において、下部電極１２０及び上部電極１４０のうち一方の電極の櫛歯形状における櫛部の間の領域の少なくとも一部には、下部電極１２０及び上部電極１４０のうち他方の電極の少なくとも一部が位置する。図４において、下部電極１２０を点線で示し、上部電極１４０を実線で示す。図４は、積層方向における平面視において、下部電極１２０の櫛歯形状と上部電極１４０の櫛歯形状とが、重ならずにかみ合うように形成されている例を示す。

【0041】

このような第４構成例の圧力センサ１００は、下部電極１２０及び上部電極１４０が複数の電極を有さなくても、下部電極１２０及び上部電極１４０が近接する部分を増加させることができる。なお、下部電極１２０及び上部電極１４０は、櫛歯形状と複数の電極とを有し、下部電極１２０及び上部電極１４０が近接する部分をより増加させるように形成されていてもよい。

【0042】

以上の本実施形態の圧力センサ１００において、下部電極１２０及び上部電極１４０は圧電体層１３０に圧電効果を発生させるように近接するように形成させた例を説明した。このような圧力センサ１００の下部電極１２０及び上部電極１４０の一部は、圧電体層１３０に圧電効果を発生させる程度に近接していない部分が形成されることがある。言い換えると、圧電体層１３０の一部に、下部電極１２０及び上部電極１４０の一方だけが形成されてしまうことがある。

【0043】

このような圧電体層１３０の一部は、圧力センサ１００に力が加わっても、圧電効果が発生しないか、発生しても検出信号としては不十分な信号レベルしか出力できない。そこで、圧電体層１３０の圧電効果が十分に発生しない部分は、圧電体を形成しなくてもよい。

【0044】

＜圧力センサ１００の第５構成例＞
図５は、本実施形態に係る圧力センサ１００の第５構成例を示す。第５構成例の圧力センサ１００は、図３に示された第３構成例の圧力センサ１００の圧電体層１３０の形状を変形したものである。第５構成例の圧電体層１３０の形状は、第３構成例の圧電体層１３０のうち圧電効果がほとんど発生しない部分を除去した形状である。言い換えると、保護膜１５０に外力が印加された場合に、圧電効果によって下部電極１２０及び上部電極１４０の間に発生する電圧が基準値よりも小さくなる圧電体層１３０の領域は、少なくとも一部が圧電体を有さないように形成されている。ここで、基準値は、信号処理部２００の動作によって予め定められていてよい。

【0045】

例えば、圧電体層１３０の圧電体は、強誘電体の材料を下部電極１２０及び上部電極１４０の間に挟み、強電界を印加することによって分極が発生して形成される。したがって、圧電体として働くように強電界をかけられる程度の下部電極１２０及び上部電極１４０の間に強誘電体の材料を挟み、強電界をかけられない領域には強誘電体の材料は配置しないことで、図５に示すような圧力センサ１００を形成することができる。なお、強誘電体の材料は、印刷等によって下部電極１２０の上に配置してよい。

【0046】

このように、圧電体層１３０の圧電体が形成されていない領域は、図５において切り欠きが形成されている切り欠き部１３２として示している。これにより、より少ない圧電体の材料を用いて、圧力センサ１００を形成することができる。なお、切り欠き部１３２に代えて、又は、切り欠き部１３２に加えて、圧電体層１３０の圧電体が形成されていない領域は、穴、空隙等が形成されていてもよい。

【0047】

以上の本実施形態に係る圧力センサ１００は、例えば、シートセンサ、マットセンサ等のセンサ部として機能する。この場合、圧力センサ１００は、より広い面積において、人、物等が載ったことを検出できることが要求されることがある。このようなシートセンサ、マットセンサ等は、例えば、図１から図５で説明した圧力センサ１００を１つのシート等に複数設けることで形成することができる。

【0048】

また、１つの圧力センサ１００は、図１から図５で説明した下部電極１２０、圧電体層１３０、及び上部電極１４０の構成が基板１１０に複数設けられてもよい。これにより、検出可能な面積を増加させた圧力センサ１００を容易に形成することができる。なお、圧力センサ１００は、第１構成例から第５構成例のうち、下部電極１２０、圧電体層１３０、及び上部電極１４０の同一の構成が複数設けられていてもよく、これに代えて、異なる種類の下部電極１２０、圧電体層１３０、及び上部電極１４０の構成が複数設けられていてもよい。圧力センサ１００に複数の構成が設けられる場合、複数の構成の下部電極１２０同士と、上部電極１４０同士は、それぞれ電気的に連結されることが望ましい。

【0049】

＜圧力センサ１００の第６構成例＞
図６は、本実施形態に係る圧力センサ１００の第６構成例を示す。第６構成例の圧力センサ１００は、図３に示す第３構成例の圧力センサ１００の下部電極１２０、圧電体層１３０、及び上部電極１４０の構成が複数連結された例を示す。このように、下部電極１２０、圧電体層１３０、及び上部電極１４０を全体として一様に配置することにより、圧力センサ１００は、印加された外力を検出可能な面においてほぼ一様な検出特性を全体に分布させることができる。

【0050】

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。例えば、装置の全部又は一部は、任意の単位で機能的又は物理的に分散・統合して構成することができる。また、複数の実施の形態の任意の組み合わせによって生じる新たな実施の形態も、本発明の実施の形態に含まれる。組み合わせによって生じる新たな実施の形態の効果は、もとの実施の形態の効果を併せ持つ。

【符号の説明】

【0051】

１０ センサ装置
１００ 圧力センサ
１１０ 基板
１１２ 下地層
１２０ 下部電極
１２２ 第１電極
１２４ 第１接続配線
１３０ 圧電体層
１３２ 切り欠き部
１４０ 上部電極
１４２ 第２電極
１４４ 第２接続配線
１５０ 保護膜
１６０ 配線
２００ 信号処理部
２１０ 信号受信部
２２０ 特定部
２３０ 記憶部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】