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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022011489
(43)【公開日】2022-01-17
(54)【発明の名称】吸着パッド
(51)【国際特許分類】
B25J 15/06 20060101AFI20220107BHJP
【ＦＩ】
B25J15/06 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2020112659
(22)【出願日】2020-06-30
(71)【出願人】
【識別番号】000204240
【氏名又は名称】株式会社ＴＡＩＹＯ
(74)【代理人】
【識別番号】100098394
【弁理士】
【氏名又は名称】山川 茂樹
(74)【代理人】
【識別番号】100064621
【弁理士】
【氏名又は名称】山川 政樹
(72)【発明者】
【氏名】池 燦圭
(72)【発明者】
【氏名】大貫 一美
(72)【発明者】
【氏名】三浦 隆一
(72)【発明者】
【氏名】阪本 晴康
【テーマコード（参考）】
3C707
【Ｆターム（参考）】
3C707EV13
3C707EV16
3C707FS01
3C707FT08
(57)【要約】
【課題】発生した異物を検出可能で、耐摩耗性が高く、しかも、素材の段差を吸収可能な吸着パッドを提供する。
【解決手段】空気吸引口７を有し、被吸着物３と対向するハウジング４と、被吸着物３に対して進退する方向と平行な方向に延びる状態で空気吸引口７を囲む位置に設けられ、前進位置と後退位置との間で移動自在に構成された多数のピン５とを備える。多数のピン５を前進位置に向かう方向へ付勢するばね部材３３を備える。多数のピン５は、剛体によって形成され、隣り合うピン５どうしが互いに接触する状態でばね部材３３のばね力によって押されてハウジング４から突出する。ハウジング４とハウジング４から突出した多数のピン５は、被吸着物３に向けて開口する負圧室を形成している。
【選択図】 図３
【解決手段】空気吸引口７を有し、被吸着物３と対向するハウジング４と、被吸着物３に対して進退する方向と平行な方向に延びる状態で空気吸引口７を囲む位置に設けられ、前進位置と後退位置との間で移動自在に構成された多数のピン５とを備える。多数のピン５を前進位置に向かう方向へ付勢するばね部材３３を備える。多数のピン５は、剛体によって形成され、隣り合うピン５どうしが互いに接触する状態でばね部材３３のばね力によって押されてハウジング４から突出する。ハウジング４とハウジング４から突出した多数のピン５は、被吸着物３に向けて開口する負圧室を形成している。
【選択図】 図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
空気が吸引される空気吸引口を有し、被吸着物と対向するハウジングと、
前記被吸着物に対して進退する方向と平行な方向に延びる状態で前記ハウジングの前記空気吸引口を囲む位置に設けられ、前記被吸着物に向けて前進した前進位置と前記被吸着物とは反対の方向に後退した後退位置との間で移動自在に構成された多数のピンと、
前記多数のピンを前記前進位置に向かう方向へ付勢するばね部材とを備え、
前記多数のピンは、剛体によって形成され、隣り合うピンどうしが互いに接触する状態で前記ばね部材のばね力によって押されて前記ハウジングから突出し、
前記ハウジングと前記ハウジングから突出した前記多数のピンは、前記被吸着物に向けて開口する負圧室を形成していることを特徴とする吸着パッド。
前記被吸着物に対して進退する方向と平行な方向に延びる状態で前記ハウジングの前記空気吸引口を囲む位置に設けられ、前記被吸着物に向けて前進した前進位置と前記被吸着物とは反対の方向に後退した後退位置との間で移動自在に構成された多数のピンと、
前記多数のピンを前記前進位置に向かう方向へ付勢するばね部材とを備え、
前記多数のピンは、剛体によって形成され、隣り合うピンどうしが互いに接触する状態で前記ばね部材のばね力によって押されて前記ハウジングから突出し、
前記ハウジングと前記ハウジングから突出した前記多数のピンは、前記被吸着物に向けて開口する負圧室を形成していることを特徴とする吸着パッド。
【請求項2】
請求項１記載の吸着パッドにおいて、
前記多数のピンは金属材料によって形成されていることを特徴とする吸着パッド。
前記多数のピンは金属材料によって形成されていることを特徴とする吸着パッド。
【請求項3】
請求項１または請求項２記載の吸着パッドにおいて、
前記ハウジングは、前記空気吸引口が開口する底壁を有しかつ円筒からなる周壁を有する有底円筒状に形成され、
前記周壁には、前記多数のピンと前記ばね部材とを収容する円環状の中空部が設けられ、
前記周壁の前記被吸着物と対向する一端には、前記周壁の周方向の全域にわたって前記中空部の内外を連通する環状の穴が形成され、
前記穴の径方向内側の穴壁面は、前記周壁の外周面に倣って延びる凸曲面によって形成され、
前記穴の径方向外側の穴壁面は、前記周壁の径方向の外側に向けて湾曲するとともに前記周壁の軸線方向に延びる凹曲面を前記多数のピンの本数と同数だけ前記周壁の周方向に並べて形成され、
前記ピンは、
前記凸曲面と前記凹曲面とに摺動自在に嵌合する本体部と、
前記本体部より前記被吸着物とは反対側に設けられ、前記穴の開口部分に前記中空部内から対向するストッパー部とを有し、
前記ばね部材は、前記ストッパー部と前記中空部における前記穴とは反対側の壁との間に設けられていることを特徴とする吸着パッド。
前記ハウジングは、前記空気吸引口が開口する底壁を有しかつ円筒からなる周壁を有する有底円筒状に形成され、
前記周壁には、前記多数のピンと前記ばね部材とを収容する円環状の中空部が設けられ、
前記周壁の前記被吸着物と対向する一端には、前記周壁の周方向の全域にわたって前記中空部の内外を連通する環状の穴が形成され、
前記穴の径方向内側の穴壁面は、前記周壁の外周面に倣って延びる凸曲面によって形成され、
前記穴の径方向外側の穴壁面は、前記周壁の径方向の外側に向けて湾曲するとともに前記周壁の軸線方向に延びる凹曲面を前記多数のピンの本数と同数だけ前記周壁の周方向に並べて形成され、
前記ピンは、
前記凸曲面と前記凹曲面とに摺動自在に嵌合する本体部と、
前記本体部より前記被吸着物とは反対側に設けられ、前記穴の開口部分に前記中空部内から対向するストッパー部とを有し、
前記ばね部材は、前記ストッパー部と前記中空部における前記穴とは反対側の壁との間に設けられていることを特徴とする吸着パッド。
【請求項4】
請求項１～請求項３の何れか一つに記載の吸着パッドにおいて、
前記ばね部材は、前記多数のピンのピン毎に設けられた圧縮コイルばねであることを特徴とする吸着パッド。
前記ばね部材は、前記多数のピンのピン毎に設けられた圧縮コイルばねであることを特徴とする吸着パッド。
【請求項5】
請求項４記載の吸着パッドにおいて、
前記ばね部材は、一端から他端に向かうにしたがって外径が次第に大きくなる円すいコイルばねによって構成されていることを特徴とする吸着パッド。
前記ばね部材は、一端から他端に向かうにしたがって外径が次第に大きくなる円すいコイルばねによって構成されていることを特徴とする吸着パッド。
【請求項6】
請求項１～請求項３の何れか一つに記載の吸着パッドにおいて、
前記ばね部材は、一つの圧縮コイルばねであり、
全ての前記ピンが前記ばね部材によって付勢されていることを特徴とする吸着パッド。
前記ばね部材は、一つの圧縮コイルばねであり、
全ての前記ピンが前記ばね部材によって付勢されていることを特徴とする吸着パッド。
【請求項7】
請求項１～請求項６の何れか一つに記載の吸着パッドにおいて、
前記ハウジングは、アルミニウム合金によって形成され、
前記ピンは、アルミニウム合金より剛性が高い材料によって形成され、
前記ハウジングにおける前記ピンと摺接する部分には、硬質アルマイトからなる皮膜が設けられていることを特徴とする吸着パッド。
前記ハウジングは、アルミニウム合金によって形成され、
前記ピンは、アルミニウム合金より剛性が高い材料によって形成され、
前記ハウジングにおける前記ピンと摺接する部分には、硬質アルマイトからなる皮膜が設けられていることを特徴とする吸着パッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、被吸着物を真空吸着によって吸着する吸着パッドに関する。
【背景技術】
【0002】
従来の吸着パッドとしては、例えば特許文献１に記載されているように、ゴム材料や弾性を有する樹脂材料などによってカップ状に形成されたものが多い。
ところで、ゴム製品を製造する過程で使用するワークとしては、ゴム材料からなる複数の板状の素材を積層して形成されたものがある。このワークの上面には、上の板が下の板に対して横方向にずれて接着されることより段差が生じることがある。
ところで、ゴム製品を製造する過程で使用するワークとしては、ゴム材料からなる複数の板状の素材を積層して形成されたものがある。このワークの上面には、上の板が下の板に対して横方向にずれて接着されることより段差が生じることがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１８－６５１９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ゴム材料や弾性を有する樹脂材料などによって形成された従来の吸着パッドにおいては、以下のように複数の問題があった。
（１）従来の吸着パッドは、例えば過度の疲労により使用中に一部が破損して切り離されるようなことがある。このように吸着パッドの破損により生じた異物は、ワークに付着または混入するおそれがある。しかし、吸着パッドの材料がワークの材料と似ているから、この異物を検出することが困難である。すなわち、第１の問題点は、従来の吸着パッドで生じた異物を検出できないことである。
（２）従来の吸着パッドは、ワークに繰り返し接触することにより摩耗し易い。すなわち、第２の問題点は、従来の吸着パッドは耐久性が低いということである。
（３）従来の吸着パッドは、複数の板材料を積層して形成されたワークの上面に段差がある場合には、使用できなかった。すなわち、第３の問題点は、従来の吸着パッドは素材の重ね合わせによる段差を吸収することができないということである。
（１）従来の吸着パッドは、例えば過度の疲労により使用中に一部が破損して切り離されるようなことがある。このように吸着パッドの破損により生じた異物は、ワークに付着または混入するおそれがある。しかし、吸着パッドの材料がワークの材料と似ているから、この異物を検出することが困難である。すなわち、第１の問題点は、従来の吸着パッドで生じた異物を検出できないことである。
（２）従来の吸着パッドは、ワークに繰り返し接触することにより摩耗し易い。すなわち、第２の問題点は、従来の吸着パッドは耐久性が低いということである。
（３）従来の吸着パッドは、複数の板材料を積層して形成されたワークの上面に段差がある場合には、使用できなかった。すなわち、第３の問題点は、従来の吸着パッドは素材の重ね合わせによる段差を吸収することができないということである。
【0005】
本発明の目的は、発生した異物を検出可能で、耐摩耗性が高く、しかも、素材の段差を吸収可能な吸着パッドを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
この目的を達成するために本発明は、空気が吸引される空気吸引口を有し、被吸着物と対向するハウジングと、前記被吸着物に対して進退する方向と平行な方向に延びる状態で前記ハウジングの前記空気吸引口を囲む位置に設けられ、前記被吸着物に向けて前進した前進位置と前記被吸着物とは反対の方向に後退した後退位置との間で移動自在に構成された多数のピンと、前記多数のピンを前記前進位置に向かう方向へ付勢するばね部材とを備え、前記多数のピンは、金属材料によって形成され、隣り合うピンどうしが互いに接触する状態で前記ばね部材のばね力によって押されて前記ハウジングから突出し、前記ハウジングと前記ハウジングから突出した前記多数のピンは、前記被吸着物に向けて開口する負圧室を形成しているものである。
【0007】
本発明は、前記吸着パッドにおいて、前記多数のピンは金属材料によって形成されていてもよい。
【0008】
本発明は、前記吸着パッドにおいて、前記ハウジングは、前記空気吸引口が開口する底壁を有しかつ円筒からなる周壁を有する有底円筒状に形成され、前記周壁には、前記多数のピンと前記ばね部材とを収容する円環状の中空部が設けられ、前記周壁の前記被吸着物と対向する一端には、前記周壁の周方向の全域にわたって前記中空部の内外を連通する環状の穴が形成され、前記穴の径方向内側の穴壁面は、前記周壁の外周面に倣って延びる凸曲面によって形成され、前記穴の径方向外側の穴壁面は、前記周壁の径方向の外側に向けて湾曲するとともに前記周壁の軸線方向に延びる凹曲面を前記多数のピンの本数と同数だけ前記周壁の周方向に並べて形成され、前記ピンは、前記凸曲面と前記凹曲面とに摺動自在に嵌合する本体部と、前記本体部より前記被吸着物とは反対側に設けられ、前記穴の開口部分に前記中空部内から対向するストッパー部とを有し、前記ばね部材は、前記ストッパー部と前記中空部における前記穴とは反対側の壁との間に設けられていてもよい。
【0009】
本発明は、前記吸着パッドにおいて、前記ばね部材は、多数のピンのピン毎に設けられた圧縮コイルばねであってもよい。
【0010】
本発明は、前記吸着パッドにおいて、前記ばね部材は、一端から他端に向かうにしたがって外径が次第に大きくなる円すいコイルばねによって構成されていてもよい。
【0011】
本発明は、前記吸着パッドにおいて、前記ばね部材は、一つの圧縮コイルばねであり、全ての前記ピンが前記ばね部材によって付勢されていてもよい。
【0012】
本発明は、前記吸着パッドにおいて、前記ハウジングは、アルミニウム合金によって形成され、前記ピンは、アルミニウム合金より剛性が高い材料によって形成され、前記ハウジングにおける前記ピンと摺接する部分には、硬質アルマイトからなる皮膜が設けられていてもよい。
【発明の効果】
【0013】
本発明においては、被吸着物に接触するピンは剛体であるから、このピンで生じた異物は、ゴム材料や樹脂材料などからなる被吸着物とは容易に見分けることができる。また、このピンは、ゴム材料や樹脂材料からなる吸着パッドと較べると耐摩耗性が高い。さらに、ピンは、ハウジングから突出する部分の長さを１本ずつ変えることができるから、被吸着物の吸着面に形成された段差を吸着パッドが跨ぐ状態であったとしても、この吸着パッドで被吸着物を吸着することができる。
したがって、本発明によれば、発生した異物を検出可能で、耐摩耗性が高く、しかも、被吸着物の段差を吸収可能な吸着パッドを提供することができる。
したがって、本発明によれば、発生した異物を検出可能で、耐摩耗性が高く、しかも、被吸着物の段差を吸収可能な吸着パッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0014】
【発明を実施するための形態】
【0015】
以下、本発明に係る吸着パッドの一実施の形態を図１～図８を参照して詳細に説明する。
図１に示す吸着パッド１は、図示していない搬送用ロボットのハンド２に取付けられ、被吸着物３（図８参照）をハンド２で搬送する際に真空吸着によって吸着するものである。ハンド２としては、多数の吸着パッド１が同一方向を指向する状態で取付けられるものを用いることができる。被吸着物３としては、例えばゴム製品、樹脂製品、食品等で、製品を製造する製造工程において吸着されて搬送される物品であれば、どのようなものでも用いることができる。
図１に示す吸着パッド１は、図示していない搬送用ロボットのハンド２に取付けられ、被吸着物３（図８参照）をハンド２で搬送する際に真空吸着によって吸着するものである。ハンド２としては、多数の吸着パッド１が同一方向を指向する状態で取付けられるものを用いることができる。被吸着物３としては、例えばゴム製品、樹脂製品、食品等で、製品を製造する製造工程において吸着されて搬送される物品であれば、どのようなものでも用いることができる。
【0016】
この吸着パッド１は、図１に示すように、ハンド２に取付けられて被吸着物３と対向するハウジング４と、このハウジング４に設けられた多数のピン５とを備えている。以下において、吸着パッド１の各部品を説明するにあたって方向を示す場合は、吸着パッド１に対して被吸着物３が位置する方向を前方とし、吸着パッド１に対してハンド２が位置する方向を後方として行う。
【0017】
この実施の形態によるハウジング４は、被吸着物３に向けて（前方に向けて）開口する有底円筒状に形成されている。図３に示すように、ハウジング４の円筒からなる周壁４ａの上端を閉塞する底壁４ｂには、吸着パッド１をハンド２に取り付けるためのボルト６が通されている。ボルト６の頭部６ａには、工具（図示せず）が嵌合する六角形の穴６ｂが形成されている。また、ボルト６の中心部には、六角形の穴６ｂに一端が開口するように貫通孔６ｃが穿設されている。ボルト６の先端部６ｄには、図示してはいないが、空気吸引装置が接続されている。空気吸引装置は、ボルト６の貫通孔６ｃから空気を吸引するように構成されている。このため、空気吸引装置が動作することにより、ボルト６の六角形の穴６ｂが空気吸引口７となってハウジング４内の空気が六角形の穴６ｂに吸引される。
【0018】
多数のピン５は、ハウジング４の周壁４ａに、被吸着物３に対して進退する方向と平行な方向（前後方向）に延びるとともに周壁４ａの周方向に並ぶ状態で設けられている。すなわち、多数のピン５は、図２に示すように、ハウジング４の空気吸引口７を囲む位置に設けられている。ピン５の詳細な説明は後述する。
【0019】
ボルト６のハウジング４から後方に突出する部分には、図３に示すように、抜け止めワッシャー８がねじ込まれている。ボルト６は、抜け止めワッシャー８と頭部６ａとでハウジング４の底壁４ｂを挟むことによって、ハウジング４に保持されている。
【0020】
ハウジング４は、複数の部品を組み合わせて形成されており、周壁４ａの内部に円環状の中空部１１を有している。ハウジング４を構成する各部品は、金属材料によって形成されている。この実施の形態によるハウジング４を構成する各部品は、アルミニウム合金によって形成されている。ハウジング４の径方向において最も内側には、軸心部に上述したボルト６が通された有底円筒状のストッパリング１２が設けられている。
【0021】
ストッパリング１２は、円筒部１２ａと、ハウジング４の底壁４ｂの一部を構成する環状の円板部１２ｂとによって有底円筒状に形成されている。円板部１２ｂの軸心部には、ボルト６を通すための貫通孔１２ｃが穿設されている。円筒部１２ａの前端は、図４に示すように、フランジ１３によって構成されている。フランジ１３は、円筒部１２ａの他の部分より径方向の外側に向けて突出する円環の板状に形成されている。フランジ１３の外周面１３ａは、ハウジング４の周壁４ａの外周面（図２参照）に倣って延びる凸曲面によって形成されている。このフランジ１３の外周面１３ａには、硬質アルマイトからなる皮膜が設けられている。
【0022】
ストッパリング１２の円筒部１２ａには、図３に示すように、円筒からなるスリーブ１４が嵌合している。スリーブ１４の前端はフランジ１３に当接し、後端は後述するキャップ１５の内面に当接している。スリーブ１４の外径は、フランジ１３の外径より小さい。 スリーブ１４は、周壁４ａに設けられている環状の中空部１１の内周壁を構成している。
【0023】
キャップ１５は、ハウジング４の周壁４ａの一部を構成する円筒部１５ａと、この円筒部１５ａの後端から径方向の内側に延びる環状の円板部１５ｂとを有する有底円筒状に形成されている。円板部１５ｂは、上述したスリーブ１４の後端と対接している。円板部１５ｂの軸心部には円形の穴１５ｃが形成されている。この穴１５ｃには、ストッパリング１２の円板部１２ｂに凸設された環状の突起１６が嵌合している。キャップ１５の円板部１５ｂは、穴１５ｃに突起１６が嵌合するようにストッパリング１２に後方から重ねられている。キャップ１５は、ボルト６がハンド２にねじ込まれ、円板部１５ｂがストッパリング１２とハンド２とに挟まれることによって、ストッパリング１２に対して固定されている。
【0024】
円筒部１５ａの内周部には、雌ねじ１７がキャップ１５の開口端から円板部１５ｂに向けて形成されている。この雌ねじ１７には、円筒状のアウターカバー２１の雄ねじ２２が螺合している。キャップ１５の円筒部１５ａとアウターカバー２１は、ハウジング４の周壁４ａにおける中空部１１より径方向外側の部分を構成している。
アウターカバー２１は、図５に示すように、前端部にフランジ２３を有している。フランジ２３は、アウターカバー２１の他の部分より径方向の外側に突出するように形成されている。アウターカバー２１の雄ねじ２２をキャップ１５の雌ねじ１７にねじ込む作業は、フランジ２３がキャップ１５の前端に当接するまで行われる。
アウターカバー２１の内周部には、図５に示すように、多数の凹曲面２４が形成されている。
アウターカバー２１は、図５に示すように、前端部にフランジ２３を有している。フランジ２３は、アウターカバー２１の他の部分より径方向の外側に突出するように形成されている。アウターカバー２１の雄ねじ２２をキャップ１５の雌ねじ１７にねじ込む作業は、フランジ２３がキャップ１５の前端に当接するまで行われる。
アウターカバー２１の内周部には、図５に示すように、多数の凹曲面２４が形成されている。
【0025】
これらの凹曲面２４は、ハウジング４の周壁４ａの径方向の外側に向けて湾曲するとともに、周壁４ａの軸線方向（ハウジング４の前後方向）にアウターカバー２１の前端から後端まで途切れることなく延びるように形成されている。また、これらの凹曲面２４は、多数のピン５の本数と同数だけアウターカバー２１の周方向（ハウジング４の周壁４ａの周方向）に並べて形成されている。さらに、凹曲面２４には、硬質アルマイトからなる皮膜が設けられている。
【0026】
このアウターカバー２１とキャップ１５とからなる組立体２５をストッパリング１２に取付けると、ハウジング４の周壁４ａの前端（被吸着物３と対向する一端）に、周壁４ａの周方向の全域にわたって中空部１１の内外を連通する環状の穴２６（図３参照）が形成される。この環状の穴２６の径方向内側の穴壁面は、ストッパリング１２のフランジ１３の外周面１３ａ（周壁４ａの外周面に倣って延びる凸曲面）によって形成されている。また、この環状の穴２６の径方向外側の穴壁面は、アウターカバー２１の多数の凹曲面２４によって形成されている。図２に示すように、これらの多数の凹曲面２４とフランジ１３の外周面１３ａとの間に形成された環状の穴２６に多数のピン５が通されている。
【0027】
ピン５は、図６（Ａ）～（Ｃ）に示すように、円柱の周面の一部を切り欠いたような形状に形成されている。図６（Ａ）は、ピン５をハウジング４の軸心側から見た正面図、図６（Ｂ）は、ピン５の斜め前方から見た斜視図、図６（Ｃ）は、ピン５を前方から見た底面図である。この実施の形態によるピン５は、ステンレス鋼によって形成されている。なお、ピン５を形成する材料は、ピン５が剛体となるような材料であればどのような材料であってもよく、例えばステンレス鋼とは異なる金属材料、非金属材料などの材料でもよい。この実施の形態によるピン５は、円柱の周面の一部を切り欠いて残存した部分である本体部５ａと、円柱の残りの部分であるストッパー部５ｂとを有している。
【0028】
本体部５ａは、図２に示すように、フランジ１３の外周面１３ａ（凸曲面）とアウターカバー２１の凹曲面２４とに摺動自在に嵌合する形状に形成されている。すなわち、本体部５ａは、フランジ１３の外周面１３ａと曲率が略等しい切り欠き面３１｛図６（Ｂ）参照｝と、凹曲面２４と曲率が略等しい周面３２とを有している。切り欠き面３１は、ピン５の前端から後述するストッパー部５ｂまで延びており、周面３２は、ピン５の前端から後端まで延びている。ピン５の本体部５ａがフランジ１３の外周面１３ａとアウターカバー２１の凹曲面２４とに嵌合した状態においては、図２に示すように、隣り合うピン５の周面３２どうしが互いに接触する。このように接触する範囲は、ピン５の前端から後端に至るピン５の長手方向の全域である。
【0029】
ストッパー部５ｂは、円柱状に形成され、図３に示すように、ハウジング４に組み込まれた状態にあるピン５の後端部に位置している。本体部５ａがフランジ１３の外周面１３ａとアウターカバー２１の凹曲面２４との間に嵌合している状態においては、ストッパー部５ｂにおけるハウジング４の軸心側に位置する一部がフランジ１３（環状の穴２６の開口部分）に中空部１１内から対向する。
【0030】
多数のピン５の各々は、図３において左側に示すようにストッパー部５ｂが環状の穴２６の開口部分に中空部１１内から当接するまで被吸着物３に向けて前進した前進位置と、図３において右側に示すように、ピン５が中空部１１内に収容されるように被吸着物３とは反対の方向に後退した後退位置との間で移動自在である。この実施の形態においては、ピン５のストッパー部５ｂと、中空部１１における環状の穴２６とは反対側の壁（キャップ１５の円板部１５ｂ）との間にピン５毎のばね部材３３が設けられている。これらのばね部材３３は、圧縮コイルばねによって構成され、ピン５をそれぞれ前進位置に向かう方向へ付勢している。ばね部材３３は、外径が一端から他端まで一定となる円筒コイルばねである。
【0031】
このようにばね部材３３が中空部１１内に設けられていることにより、多数のピン５が互いに接触する状態でばね部材３３のばね力によって押されてハウジング４から突出する。ハウジング４から突出した多数のピン５は、隣り合うピン５どうしが互いに接触しているから、実質的にハウジング４の軸線方向に移動可能な可動隔壁を構成するようになり、ハウジング４と協働して被吸着物３に向けて開口する負圧室３４（図２参照）を形成する。
【0032】
多数のピン５をハウジング４に組み込むためには、先ず、図７に示すように、キャップ１５とアウターカバー２１とからなる組立体２５を開口部が上方を指向する姿勢で図示していないハンド２や作業台の上に載置し、軸心部にスリーブ１４を挿入する。このとき、スリーブ１４は、図示していない治具を使って組立体２５と同一軸線上に位置する状態に保持する。次に、アウターカバー２１とスリーブ１４との間に形成されている中空部１１に上方からばね部材３３を挿入し、その後、ピン５をストッパー部５ｂが下に位置する姿勢として挿入する。これらのばね部材３３とピン５の挿入作業は、これらの部材がアウターカバー２１の多数の凹曲面２４に沿うように行う。
【0033】
このようにばね部材３３とピン５とを中空部１１内に挿入した後、ストッパリング１２を上方からスリーブ１４の中に挿入し、ストッパリング１２とキャップ１５とを組み合わせる。このとき、フランジ１３の外周面１３ａに各ピン５の切り欠き面３１が重なるように各ピン５の位置合わせを行う。このようにストッパリング１２がキャップ１５に組み合わせられることによって、ハウジング４にピン５が外れることがないように組み付けられる。ハウジング４は、ボルト６をストッパリング１２の貫通孔１２ｃに通して例えばハンド２や仮の保持具（図示せず）にねじ込むことによって、ハンド２あるいは仮の保持具に固定される。このようにハウジング４がハンド２や仮の保持具に固定されることにより、吸着パッド１が完成する。
【0034】
この吸着パッド１のボルト６に形成されている貫通孔６ｃから図示していない空気吸引装置に空気が吸引されると、負圧室３４内が負圧になる。この状態で図８（Ａ）に示すようにピン５を被吸着物３に押し付けると、被吸着物３が吸着パッド１に吸着される。図８（Ｂ）や図８（Ｃ）に示すように、被吸着物３がゴム材料を重ねて形成された積層体である場合は、被吸着物３に段差４１が生じることがある。図８（Ａ）は段差４１が１段である場合を示し、図８（Ｃ）は段差４１が２段である場合を示す。このような段差４１を跨ぐように吸着パッド１が被吸着物３に押し付けられると、高い吸着面４２，４３に押し付けられたピン５が低い吸着面４４に押し付けられたピン５より多くハウジング４内に収容され、段差４１が吸収された状態で被吸着物３が吸着パッド１に吸着される。
【0035】
この実施の形態による吸着パッド１は、被吸着物３に接触するピン５が剛体であるから、このピン５が仮に破損したとしても、破損により生じた異物は、ゴム材料や樹脂材料などからなる被吸着物３とは容易に見分けることができる。また、このピン５は、ゴム材料や樹脂材料からなる従来の吸着パッドと較べると耐摩耗性が高い。さらに、このピン５は、ハウジング４から突出する部分の長さを１本ずつ変えることができるから、被吸着物３に形成された段差４１を吸着パッド１が跨ぐ状態であったとしても、この吸着パッド１で被吸着物３を吸着することができる。
したがって、この実施の形態によれば、発生した異物を検出可能で、耐摩耗性が高く、しかも、被吸着物の段差を吸収可能な吸着パッドを提供することができる。
したがって、この実施の形態によれば、発生した異物を検出可能で、耐摩耗性が高く、しかも、被吸着物の段差を吸収可能な吸着パッドを提供することができる。
【0036】
この実施の形態による多数のピン５は、金属材料によって形成されている。このため、ピン５が仮に破損したとしても、破損により生じた異物を金属探知機で確実に発見することができる。
【0037】
この実施の形態によるハウジング４は、空気吸引口７が開口する底壁４ｂを有しかつ円筒からなる周壁４ａを有する有底円筒状に形成されている。周壁４ａには、多数のピン５とばね部材３３とを収容する円環状の中空部１１が設けられている。周壁４ａの被吸着物３と対向する一端には、周壁４ａの周方向の全域にわたって中空部１１の内外を連通する環状の穴２６が形成されている。この環状の穴２６の径方向内側の穴壁面は、周壁４ａの外周面に倣って延びるフランジ１３の外周面１３ａ（凸曲面）によって形成されている。環状の穴２６の径方向外側の穴壁面は、周壁４ａの径方向の外側に向けて湾曲するとともに周壁４ａの軸線方向に延びる凹曲面２４を多数のピン５の本数と同数だけ周壁４ａの周方向に並べて形成されている。ピン５は、フランジ１３の外周面１３ａとアウターカバー２１の凹曲面２４とに摺動自在に嵌合する本体部５ａと、本体部５ａにおける被吸着物３とは反対側の端部（後端部）に設けられて環状の穴２６の開口部分に中空部１１内から対向するストッパー部５ｂとを有している。ばね部材３３は、ストッパー部５ｂと、中空部１１における環状の穴２６とは反対側に位置するキャップ１５の円板部１５ｂとの間に設けられている。
このため、ハウジング４とピン５との接続部分に生じる隙間を可及的狭くすることができるとともに、ピン５を長手方向の軸線回りに回転させることなく長手方向に移動自在に支持できるから、ピン５の周辺から負圧室３４に漏れ込んで吸引される空気の量を可及的少なく抑えることができる。
このため、ハウジング４とピン５との接続部分に生じる隙間を可及的狭くすることができるとともに、ピン５を長手方向の軸線回りに回転させることなく長手方向に移動自在に支持できるから、ピン５の周辺から負圧室３４に漏れ込んで吸引される空気の量を可及的少なく抑えることができる。
【0038】
この実施の形態によるばね部材３３は、ピン５毎に設けられた圧縮コイルばねである。このため、個々のピン５をそれぞればね部材３３で付勢することができるから、各ピン５が移動して被吸着物３の段差４１を吸収することができる。
【0039】
この実施の形態によるハウジング４は、アルミニウム合金によって形成されている。また、ピン５は、アルミニウム合金より剛性が高い材料であるステンレス鋼によって形成されている。ハウジング４におけるピン５と摺接する部分、すなわちフランジ１３の外周面１３ａとアウターカバー２１の凹曲面２４とには、硬質アルマイトからなる皮膜が設けられている。このため、ピン５がハウジング４に対して移動することによるハウジング４の摩耗を可及的少なく抑えることができる。
【0040】
（ばね部材の変形例）
ピンを付勢するばね部材は、図９および図１０に示すように構成することができる。図９および図１０において、図１～図８によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。
図９に示すばね部材５１は、一端から他端に向かうにしたがって外径が次第に大きくなる円すいコイルばねによって構成されている。このばね部材５１は、ピン５と接する前端が後端より細くなる姿勢で中空部１１内に挿入されている。
この円すいコイルばねからなるばね部材５１を使用することにより、隣り合うばね部材５１どうしの干渉を避けることが可能になる。
ピンを付勢するばね部材は、図９および図１０に示すように構成することができる。図９および図１０において、図１～図８によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。
図９に示すばね部材５１は、一端から他端に向かうにしたがって外径が次第に大きくなる円すいコイルばねによって構成されている。このばね部材５１は、ピン５と接する前端が後端より細くなる姿勢で中空部１１内に挿入されている。
この円すいコイルばねからなるばね部材５１を使用することにより、隣り合うばね部材５１どうしの干渉を避けることが可能になる。
【0041】
図１０に示すばね部材５２は、一つの圧縮コイルばねによって構成されている。この場合は、全てのピン５が一つのばね部材５２によって付勢されることになる。この構成を採る場合は、被吸着物３の段差４１の吸収は難しくなるが、耐摩耗性が高くなるという効果や、破損時の異物の発見が容易になるという効果は、図１～図９に示す吸着パッド１と同様に得られる。
【符号の説明】
【0042】
１…吸着パッド、３…被吸着物、４…ハウジング、４ａ…周壁、４ｂ…底壁、５…ピン、５ａ…本体部、５ｂ…ストッパー部、７…空気吸引口、１１…中空部、１３ａ…外周面（凸曲面）、２４…凹曲面、２６…環状の穴、３３，５１，５２…ばね部材、３４…負圧室。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】