特開2022-116897基板支持装置

発明の名称　基板支持装置

出願人　株式会社ＫＥＬＫ　（識別番号 590000835）

　　　　特許公開件数ランキング 2938 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1847 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-116897

公報発行日　2022年8月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-116897

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