特開 2022-122806 放射線検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022122806

(43)【公開日】2022-08-23

(54)【発明の名称】放射線検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/04 20180101AFI20220816BHJP

【ＦＩ】

G01N23/04

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】書面

(21)【出願番号】P 2021063191

(22)【出願日】2021-02-10

(71)【出願人】

【識別番号】391017540

【氏名又は名称】東芝ＩＴコントロールシステム株式会社

(72)【発明者】

【氏名】神山 民彦

(72)【発明者】

【氏名】富澤 雅美

【テーマコード（参考）】

2G001

【Ｆターム（参考）】

2G001AA01

2G001BA11

2G001CA01

2G001HA13

2G001SA29

(57)【要約】

【課題】最適な拡大率で鮮明な画像を得ることができる放射線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源１３からのＸ線ビームを空間分解能をもって検出するＸ線検出器１４と、Ｘ線ビーム内で被検体を載置する試料テーブル１１と、Ｘ線源１３とＸ線検出器１４と試料テーブル１１の少なくとも１つを相対的に移動させる移動手段とを有する放射線検査装置において、試料テーブル１１は、被検体１２を載置する面に対して反対側の面が導電性を有し、前記導電性を有する面にＸ線源１３またはＸ線検出器１４が近接したことを検知する近接検出手段を有することを特徴とする放射線検査装置。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

放射線源と、
前記放射線源からの放射線ビームを空間分解能をもって検出する放射線検出器と、
前記放射線ビーム内で被検体を載置する試料テーブルと、
前記放射線源と前記放射線検出器と前記試料テーブルの少なくとも１つを相対的に移動させる移動手段と、を有する放射線検査装置において、
前記試料テーブルは、前記被検体を載置する面に対して反対側の面が導電性を有し、
前記導電性を有する面に前記放射線源または前記放射線検出器が近接したことを検知する近接検出手段を有することを特徴とする放射線検査装置。

【請求項2】

請求項１に記載の放射線検査装置において、
前記試料テーブルは少なくとも２層から成る積層構造で、前記被検体を載置する面を構成する層は炭素繊維シートから成り、前記被検体を載置する面を構成する層から最も離れた層は導電性のプラスチックフィルムシートから成る放射線検査装置。

【請求項3】

請求項１に記載の放射線検査装置において、
前記試料テーブルは少なくとも３層から成る積層構造で、前記被検体を載置する面から順に最上位層、中間層、最下位層を構成し、前記最上位層は導電性の炭素繊維シートから成り、前記中間層は不導電性のプラスチックフィルムシートから成り、前記最下位層は導電性のプラスチックフィルムシートから成り、
前記最上位層に前記被検体を載置した際に前記被検体が有する静電気を除去する静電気除去手段を有する放射線検査装置。

【請求項4】

請求項１に記載の放射線検査装置において、
前記試料テーブルは少なくとも４層からなる積層構造で、前記被検体を載置する面から順に最上位層、第１中間層、第２中間層、最下位層を構成し、前記最上位層は導電性の炭素繊維シートから成り、前記第１中間層は不導電性のプラスチックフィルムシートから成り、前記第２中間層は導電性のプラスチックフィルムシートから成り、前記最下位層は導電性の炭素繊維シートから成り、
前記最上位層に前記被検体を載置した際に前記被検体が有する静電気を除去する静電気除去手段を有する放射線検査装置。

【請求項5】

請求項４に記載の放射線検査装置において、
前記最上位層と前記最下位層を構成する炭素繊維シートは、それぞれの炭素繊維シートの繊維の方向が互いに交わる方向である放射線検査装置。

【請求項6】

請求項２乃至請求項５のいずれか１項に記載の放射線検査装置において、
前記試料テーブルは、前記試料テーブルを構成する炭素繊維シートとプラスチックフィルムシートの各々の融点が近い材料から成り、前記シートを結合する際は、前記融点付近まで熱した後に圧接して貼り合わせる放射線検査装置。

【請求項7】

請求項２乃至請求項６のいずれか１項に記載の放射線検査装置において、
前記試料テーブルは、前記試料テーブルの外周付近が曲げ構造を有する放射線検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、マイクロ波、赤外線、可視光、紫外線、Ｘ線、γ線、中性子線などの放射線を用いて被検体の検査を行う放射線検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来から放射線検査装置には、ＣＴ（Ｃｏｍｐｕｔｅｄ Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ）装置やラミノグラフィ（傾斜型ＣＴ装置と呼ばれている）、Ｘ線ＴＶ（テレビジョン）システムがあり、鋳物、電池、基板、ＩＣチップ、金属や樹脂などの部品、または、組み込んだ状態において、Ｘ線などの放射線を用いた検査が行われている。

【0003】

Ｘ線などの放射線を用いた検査は、Ｘ線などの透過ビームによって可視像をつくり観測する検査、または、被検体により反射または、散乱されたＸ線などの放射線または、被検体から放射されたＸ線などの放射線を検出することで行われる。検査は、寸法、形状、面積、体積、質量、員数、配置、構造、材質、色彩、形状、異物、キズ、または、その他の物理量である。

【0004】

例えばＸ線などの放射線を用いた検査装置において、Ｘ線源焦点から被検体の検査面までの距離をＦＯＤ（Ｆｏｃｕｓ Ｔｏ Ｏｂｊｅｃｔ Ｄｉｓｔａｎｃｅ）とし、Ｘ線源焦点からＸ線受像面までの距離をＦＤＤ（Ｆｏｃｕｓ Ｔｏ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ Ｄｉｓｔａｎｃｅ）とする。これらから拡大率はＦＤＤ／ＦＯＤで求まる。微小欠陥を検出しようとすると拡大率を大きくしなければならない。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００２－２０２２７２号公報

【特許文献2】特開２００５－２２１３１７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

放射線検査装置において、最適な拡大率で鮮明な画像を得るようにするには、試料テーブルをできるだけ薄くし、試料テーブルと放射線源の照射口を近づける（ＦＯＤを小さくする）ことがあげられるが、試料テーブルを薄くすると被検体の重量によりテーブルが撓むことがあり、それによって被検体の位置がずれてしまったり、また試料テーブルと放射線源の照射口を近づけ過ぎると、干渉して試料テーブルや放射線源を破損する恐れがある。

【0007】

本実施形態は、上記課題を解決すべく、最適な拡大率で鮮明な画像を得ることができる放射線検査装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

前記目的を達成するため、請求項１記載の放射線検査装置は、放射線源と、前記放射線源からの放射線ビームを空間分解能をもって検出する放射線検出器と、前記放射線ビーム内で被検体を載置する試料テーブルと、前記放射線源と前記放射線検出器と前記試料テーブルの少なくとも１つを相対的に移動させる移動機構と、を有する放射線検査装置において、前記試料テーブルは、前記被検体を載置する面に対して反対側の面が導電性を有し、前記導電性を有する面に前記放射線源または前記放射線検出器が近接したことを検知する近接検出手段を有することを特徴とする。

【0009】

前記目的を達成するため、請求項２記載の放射線検査装置は、請求項１に記載の放射線検査装置において、前記試料テーブルは少なくとも２層から成る積層構造で、前記被検体を載置する面を構成する層は炭素繊維シートから成り、前記被検体を載置する面を構成する層から最も離れた層は導電性のプラスチックフィルムシートから成ることを要旨とする。

【0010】

前記目的を達成するため、請求項３記載の放射線検査装置は、請求項１に記載の放射線検査装置において、前記試料テーブルは少なくとも３層から成る積層構造で、前記被検体を載置する面から順に最上位層、中間層、最下位層を構成し、前記最上位層は導電性の炭素繊維シートから成り、前記中間層は不導電性のプラスチックフィルムシートから成り、前記最下位層は導電性のプラスチックフィルムシートから成り、前記最上位層に前記被検体を載置した際に前記被検体が有する静電気を除去する静電気除去手段を有することを要旨とする。

【0011】

前記目的を達成するため、請求項４記載の放射線検査装置は、請求項１に記載の放射線検査装置において、前記試料テーブルは少なくとも４層からなる積層構造で、前記被検体を載置する面から順に最上位層、第１中間層、第２中間層、最下位層を構成し、前記最上位層は導電性の炭素繊維シートから成り、前記第１中間層は不導電性のプラスチックフィルムシートから成り、前記第２中間層は導電性のプラスチックフィルムシートから成り、前記最下位層は導電性の炭素繊維シートから成り、前記最上位層に前記被検体を載置した際に前記被検体が有する静電気を除去する静電気除去手段を有することを要旨とする。

【0012】

前記目的を達成するため、請求項５記載の放射線検査装置は、請求項４に記載の放射線検査装置において、前記最上位層と前記最下位層を構成する炭素繊維シートは、それぞれの炭素繊維シートの繊維の方向が互いに交わる方向であることを要旨とする。

【0013】

前記目的を達成するため、請求項６記載の放射線検査装置は、請求項２乃至請求項５のいずれか１項に記載の放射線検査装置において、前記試料テーブルは、前記試料テーブルを構成する炭素繊維シートとプラスチックフィルムシートの各々の融点が近い材料から成り、前記シートを結合する際は、前記融点付近まで熱した後に圧接して貼り合わせることを要旨とする。

【0014】

前記目的を達成するため、請求項７記載の放射線検査装置は、請求項２乃至請求項６のいずれか１項に記載の放射線検査装置において、前記試料テーブルは、前記試料テーブルの外周付近が曲げ構造を有することを要旨とする。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】実施形態のＸ線検査装置である。

【図2】実施形態の試料テーブルである。

【図3】実施形態の試料テーブルのＡ部詳細（３層構造）である。

【図4】実施形態の試料テーブルのＡ部詳細（４層構造）である。

【図5】実施形態の試料テーブルのＢ部詳細である。

【図6】実施形態の試料テーブルとＸ線発生器とＸ線検出器の傾斜と垂直図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

（実施形態の構成）
図１は、本発明の実施形態によるＸ線検査装置１０（放射線検査装置）の構成図である。図１（ａ）は上面図であり、被検体１２に対し、旋回フレーム２１（移動手段）上のＸ線源１３（放射線源）とＸ線検出器１４（放射線検出器）が垂直状態にある図である。Ｘ線源１３は図示していない。

【0017】

図１（ｂ）は、図１（ａ）の正面図であり、被検体１２に対し、旋回フレーム２１上のＸ線源１３とＸ線検出器１４が垂直状態にある図である。また、制御手段３０を示す。

【0018】

制御手段３０は、制御処理部、スキャン制御部、位置決め制御部、再構成部、表示部、静電容量センサ距離計算部などがあり、通常のコンピュータ、ＣＰＵ、メモリ、キーボード・マウス等の入力部、表示部、インターフェース、機構制御基板、ディスク（メモリ）、通信部を持つ。

【0019】

また、制御手段３０は、ＣＰＵが実施する機能として、被検体１２をセットし、旋回機構２２（移動手段）、Ｘ線源スライド機構２３（移動手段）、Ｘ線検出器スライド機構２４（移動手段）、試料テーブル１１のＸ軸（Ｘ方向）・Ｙ軸（Ｙ方向）・Ｚ軸（上下）・θ軸（回転）２５のそれぞれの機構（移動手段）、図示しないＸ線源１３、Ｘ線検出器１４の絞りやシャッタなどをプログラムで定められたシーケンスで制御する機構制御機能がある。また、Ｘ線検出器１４から取り込んだ透過データを処理し、Ｘ線源１３に対して、Ｘ線のＯＮ／ＯＦＦなどの指令を出すＸ線制御機能を持っている。

【0020】

なお、機構要素として、他に、Ｘ線を外部に漏らさないためのＸ線遮蔽箱等を有するが図示省略している。

【0021】

図１（ｃ）は、図１（ａ）の側面図であり、被検体１２に対して、旋回フレーム２１上のＸ線源１３とＸ線検出器１４が垂直状態にある図である。

【0022】

図２は、本実施形態によるＸ線検査装置１０の試料テーブル１１に、被検体１２を載置した鳥瞰図である。

【0023】

図３は、図２実施形態の試料テーブル１１のＡ部詳細図で、３層構造である。第１層（最上位層）は、炭素繊維シート１１ａ（例えば厚さ０．１ｍｍ～０．５ｍｍ）と第２、３層（中間層、最下位層）はプラスチックフィルムシート１１ｂ（例えば厚さ０．５ｍｍ以下）を熱（例えば１００度Ｃ～１５０度Ｃ）と圧力（例えば０．３ＭＰａ～０．６ＭＰａ）を加えて接合した積層構造に被検体１２を載置した図である。

【0024】

試料テーブル１１の第１層（最上位層）の炭素繊維シート１１ａの被検体１２を載置する面を第１面１１ａ－１とその反対側の面を第２面１１ａ－２とする。第２、３層（中間層、最下位層）のプラスチックフィルムシート１１ｂは、炭素繊維シート１１の第２面１１ａ－２との接合面は不導電面であり第３面１１ｂ－３（中間層）とし、その反対側の面の導電面を第４面１１ｂ－４（最下位層）とする。

【0025】

静電気取り出しケーブル１７について、これを例えば接地されたＸ線検査装置の筐体に接続することにより、炭素繊維シート１１ａに載置された被検体１２の静電気は除去される（静電気除去手段）。

【0026】

近接するＸ線源１３、Ｘ線検出器１４、移動機器などの距離を静電容量のノイズ対策した変位量を検知するための静電容量取り出しケーブル１９である（近接検出手段）。

【0027】

ここで、図６に示すような試料テーブル１１とこれに接近する例えばＸ線源１３との距離を測定する動作について説明する。Ｘ線源１３が試料テーブル１１へ接近すると、静電容量は、静電容量取り出しケーブル１９から制御手段３０の静電容量センサ距離検査部へ伝送される。静電容量センサ距離検査部には、試料テーブル１１とＸ線源１３、Ｘ線検出器１４、移動機器などとの距離に対する静電容量の相関を予め採取したデータが保存されており、そのデータと比較することにより距離の出力を算出している。

【0028】

図４は、図２のＡ部詳細図であり、炭素繊維シート１１ａ（例えば厚さ０．１ｍｍ～０．５ｍｍ）とプラスチックフィルムシート１１ｂ（例えば厚さ０．５ｍｍ以下）とさらに、炭素繊維シート１１ｃ（例えば厚さ０．１ｍｍ～０．５ｍｍ）を接合した積層構造を示した図である。

【0029】

図５は、図４のＢ部詳細図である。第１層（最上位層）の炭素繊維シート１１ａの被検体１２を載置する面を第１面１１ａ－１とその反対側の面を第２面１１ａ－２とする。第２、３層（第１中間層、第２中間層）のプラスチックフィルムシート１１ｂは、炭素繊維シート１１ａの第２面１１ａ－２との接合面は不導電面であり第３面１１ｂ－３（第１中間層）とし、その反対側の面の導電面を第４面１１ｂ－４（第２中間層）である。また、第４層（最下位層）の炭素繊維シート１１ｃは、プラスチックフィルムシート１１ｂの第４面１１ｂ－４との接合面を第５面１１ｃ－５とし、その反対側の面を第６面１１ｃ－６とする。

【0030】

ここで、炭素繊維シートとプラスチックフィルムシートとの接合について詳述する。炭素繊維シート（例えば厚さ０．１ｍｍ～０．５ｍｍ）とプラスチックフィルム（例えば厚さ０．５ｍｍ以下）は融点が互いに例えば１００度Ｃ～１５０度Ｃのものを選定する。炭素繊維シートとプラスチックフィルムシートをそれぞれ融点近辺まで加熱し、その後、両シートを貼り合わせて圧力（例えば０．３ＭＰａ～０．６ＭＰａ）を加えると接合することができる。これは接着剤などで接合するのではないので、透視画像に接着剤などの影が映ることなく被検体１２の鮮明な透視画像を得ることができる。

【0031】

図６は、本実施形態の試料テーブル１１に対して、垂直に撮影するＸ線源１３とＸ線検出器１４と、さらに試料テーブル１１の角端部を撮影するＸ線源１３とＸ線検出器１４を表した図である。

【0032】

また、図６は、試料テーブル１１の形状に倣って、Ｘ線源１３とＸ線検出器１４が移動し、任意の位置で停止することができることを示した図ある

【0033】

（実施形態の作用、効果）
本実施形態の作用について改めて図１から図６を用いて説明する。

【0034】

図１において、Ｘ線検査装置１０の積層構造の試料テーブル１１は被検体を載置する。旋回フレーム２１は、旋回機構２２により、Ｘ線源１３とＸ線検出器１４に対しＸ線ビーム（放射線ビーム）内で被検体１２を中心に相対的に旋回することができる。Ｘ線源１３とＸ線源スライド機構２３の組合せと、さらにＸ線検出器１４とＸ線検出器スライド機構２４の組合せを旋回フレーム２１に設置しており、それぞれのスライド機構により自由に移動でき、鮮明な画像、任意の拡大率の位置で停止することできる。

【0035】

試料テーブル１１には、Ｘ軸（Ｘ方向）・Ｙ軸（Ｙ方向）・Ｚ軸（上下）・θ軸（回転）２５のそれぞれの機構がある。被検体１２は、試料テーブル１１に載置される。被検体１２はＸ線源１３とＸ線検出器１４に挟まれ、さらに試料テーブル１１のＸ軸（Ｘ方向）・Ｙ軸（Ｙ方向）・Ｚ軸（上下）・θ軸（回転）２５のそれぞれの機構と旋回フレーム２２の垂直から傾斜と水平により位置を確保し、透過データを収集することができる。さらに、透過データを再構成するＣＴ装置、ラミノグラフィ（傾斜型ＣＴ装置）やＸ線ＴＶ（テレビジョン）システムにおいても適用できる。

【0036】

被検体１２の拡大率はＸ線焦点２７から被検体１２までを（ＦＯＤ）として、Ｘ線源焦点２７からＸ線受像面２９を（ＦＤＤ）とすると、拡大率は（ＦＤＤ／ＦＯＤ）となり、Ｘ線源１３のスライド機構２３により、Ｘ線源１３とＸ線検出器１４を移動させて拡大率を決定させる。

【0037】

上記の各構成機器の動作は制御手段３０によるプログラムや電気信号等により実現される。

【0038】

図２について説明する。被検体１２を載置した試料テーブル１１の鳥観図である。試料テーブル１１をトレイ型の折り曲げ構造にすることにより、部材の変形し難さを表す断面二次モーメントを増すことで曲げと圧縮などの外力と相互作用の外力による強度を増すことができる。また、深さがあるために試料テーブル１１上の被検体１２を下部の側面方向からもＸ線透視検査ができる。さらに、トレイ型の折り曲げ構造の試料テーブル１１において、被検体１２が、例えばゼリーなどの軟体形状内の異物検査、小動物などの被検体１２にも適用できる。

【0039】

図３について説明する。炭素繊維シート１１ａは、導電性があり被検体１２を載置する部分の面１１ａ－１に接触すると、被検体１２が静電気を帯びていても、炭素繊維シート１１ａの炭素繊維束方向１５に設けられた静電気取出しケーブル１７より即座に放電することができる。この炭素繊維シート１１ａの面１１ａ－１の反対側の面１１ａ－２とプラスチックフィルムシート１１ｂの面１１ｂ－３とが接合される。この面１１ｂ－３は不導電シート（ポリカーボネート）である。また、このプラスチックフィルムシート１１ｂの面１１ｂ－３の反対側の面１１ｂ－４は、導電性高分子（ポリアセチレン）で静電容量センサとなる。さらに保護する導電性シート（ポリエチレンテレフタレート）がある。

【0040】

面１１ｂ－４は、静電容量センサであり、Ｘ線源１３、Ｘ線検出器１４、さらには、図示しないＸ線源１３、Ｘ線検出器１４の絞りやシャッタ、被検体１２の把持ハンドなどの機器が微小距離の非接触で静電容量を応用して検知する。その後、制御手段３０内の静電容量センサ距離検査部など制御機器を介して電気信号を発する。

【0041】

次に、この電気信号は、Ｘ線源１３、Ｘ線検出器１４、または、試料テーブル１１、さらには、図示しないＸ線源１３、Ｘ線検出器１４の絞りやシャッタ、被検体１２の把持ハンドなど透視画像に不必要なものは放射線光軸内から移動させることができる。

【0042】

また、静電容量センサを備えたプラスチックフィルムシート１１ｂの外側形状に倣って、Ｘ線源１３とＸ線検出器１４は、被検体１２に対して相対的に移動し、その移動間にＸ線源１３より、連続的と、断続的と、一部分的にＸ線を照射し、Ｘ線ビーム２８内の被検体１２の透過データを１つ、または、２つ以上収集し、透視画像を作成することができる。

【0043】

図４と図５について説明する。炭素繊維シート１１ａは、導電性があり試料テーブル１１に被検体１２を載置すると面１１ａ－１に接触し、被検体１２が静電気を帯びている場合は、炭素繊維シート１１ａの炭素繊維束方向１５に設けられた静電気取出しケーブル１７より即座に放電することができる。この炭素繊維シート１１ａの面１１ａ－１の反対側の面１１ａ－２とプラスチックフィルムシート１１ｂの面１１ｂ－３とが接合される。この面１１ｂ－３は不導電シート（ポリカーボネート）である。また、このプラスチックフィルムシート１１ｂの面１１ｂ－３の反対側の面１１ｂ－４は、導電性高分子（ポリアセチレン）で静電容量センサとなる。さらに保護する導電性シート（ポリエチレンテレフタレート）がある。炭素繊維シート１１ｃは、導電性があり面１１ｂ－４と面１１ｃ－５が接合される。炭素繊維シート１１ｃの面１１ｃ－６は、静電容量センサとなり、静電容量取り出しケーブル１９より非接触センサとして静電容量を取り出し、制御手段３０内の静電容量センサ距離検査部などの制御機器を介して電気信号を発し、近接センサとして機能する。

【0044】

次に、この電気信号は、Ｘ線源１３、Ｘ線検出器または、試料テーブル１１、さらには、図示しないＸ線源１３、Ｘ線検出器１４の絞りやシャッタ、被検体１２の把持ハンドなど透視画像に不必要なものは放射線光軸内から移動させることができる。

【0045】

さらに、炭素繊維シート１１ｃの面１１ｃ－６は、静電容量センサであるため外側形状に倣って、Ｘ線源１３とＸ線検出器１４は、被検体１２に対して相対的に移動し、その移動間にＸ線源１３より、連続的と、断続的と、一部分的にＸ線を照射し、Ｘ線ビーム２８内の被検体１２の透過データを１つ、または、２つ以上収集し、透視画像を得ることができる。

【0046】

拡大率を上げるためにはＦＯＤを小さくすれば良いが、図６から分かる通り試料テーブル１１を薄くすればするほどその効果が得られる。本実施形態では試料テーブル１１に炭素繊維シートを用いているが、これを薄くするためには炭素繊維が一方向のみに並んだシートを用いれば良いが、一方で強度が得られないという問題が生じる。そこで、炭素繊維シート１１ａの炭素繊維束方向１５と第３層の炭素繊維シート１１ｃの炭素繊維束方向１６は交差し、一直線方向をなすことのないように積層することにより強度を高めている。また、中間層であるプラスチックフィルムシート１１ｂを挟み込み、クッション材として多方面からの曲げ力などの外力から割れを防止する積層構造としている。

【0047】

図６に示すように、適切な拡大率を得るためにＸ線源１３を被検体１２に近づけた場合であっても、試料テーブル１１が近接センサの機能を有するため互いが接触することを未然に防止することができ、機器の損傷を回避することができる。

【0048】

以上、本発明の実施形態を説明したが、実施形態は例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0049】

１０・・Ｘ線検査装置（放射線検査装置）
１１・・試料テーブル
１１ａ・・第１層（例えば厚さ０．１～０．５ｍｍの炭素繊維シート）
１１ｂ・・第２層（例えば厚さ０．５ｍｍ以下のプラスチックフィルムシート）
１１ｃ・・第３層（例えば厚さ０．１～０．５ｍｍの炭素繊維シート）
１１ａ－１・・第１面
１１ａ－２・・第２面
１１ｂ－３・・第３面
１１ｂ－４・・第４面、
１１ｃ－５・・第５面
１１ｃ－６・・第６面
１２・・被検体
１３・・Ｘ線源
１４・・Ｘ線検出器
１５・・第１層の炭素繊維束方向
１６・・第３層の炭素繊維束方向
１７・・静電気取り出しケーブル
１８・・静電気取り出しケーブルコネクタ
１９・・静電容量取り出しケーブル
２０・・静電容量取り出しケーブルコネクタ
２１・・旋回フレーム
２２・・旋回フレーム軸
２３・・Ｘ線源スライド機構
２４・・Ｘ線検出器スライド機構
２５・・試料テーブルのＸ軸（Ｘ方向）・Ｙ軸（Ｙ方向）・Ｚ軸（上下）・θ軸（回転）
２６・・Ｘ線照射口
２７・・Ｘ線焦点
２８・・Ｘ線ビーム
２９・・Ｘ線受像面
３０・・制御手段

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】