特開2022-124344反射型フォトマスクブランク及び反射型フォトマスク

発明の名称　反射型フォトマスクブランク及び反射型フォトマスク

出願人　株式会社トッパンフォトマスク　（識別番号 522212882）

　　　　特許公開件数ランキング 1850 位（10件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1055 位（17件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-124344

公報発行日　2022年8月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-124344

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2022-124344「反射型フォトマスクブランク及び反射型フォトマスク」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録