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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022127343
(43)【公開日】2022-08-31
(54)【発明の名称】薄膜搬送用ターンバー
(51)【国際特許分類】
B65H 23/32 20060101AFI20220824BHJP
B65H 27/00 20060101ALI20220824BHJP
【ＦＩ】
B65H23/32
B65H27/00 B
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021025435
(22)【出願日】2021-02-19
(71)【出願人】
【識別番号】000103644
【氏名又は名称】オイレス工業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002343
【氏名又は名称】特許業務法人 東和国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】渡部 瞭
(72)【発明者】
【氏名】平山 琢哉
【テーマコード（参考）】
3F104
【Ｆターム（参考）】
3F104AA03
3F104FA01
3F104FA19
3F104GA01
3F104GA06
3F104GA08
3F104GA15
3F104JA01
3F104JA03
3F104JA08
3F104JB01
(57)【要約】
【課題】ロール状周面に不具合が生じた場合に不具合が生じた箇所のみが簡便に交換自在となる薄膜搬送用ターンバーを提供すること。
【解決手段】薄膜連続体Ｗに対して気体を噴出する気体噴出部が形成された円弧状のロール状周面１１２ａを有する薄膜支持部材１１０と、２つの薄膜支持部材１１０を連結する継手部材１２０と、薄膜支持部材１１０と継手部材１２０とを締結する締結ボルト１４０とを備え、気体噴出部と連通して薄膜支持部材１１０の軸方向に延びる給気用貫通路１１１ｃと、締結ボルト１４０を挿通して軸方向に延びるボルト挿入孔１１１ｄと、締結ボルト１４０と螺合するネジ穴１１１ｅとが形成され、継手部材１２０に、薄膜支持部材１１０の給気用貫通路１１１ｃと連通して軸方向に延びる通気用貫通孔１２１ａと、締結ボルト１４０を挿通して軸方向に延びるボルト挿入孔１２２と、締結ボルト１４０と螺合するネジ穴１２３とが形成されている。
【選択図】図２
【解決手段】薄膜連続体Ｗに対して気体を噴出する気体噴出部が形成された円弧状のロール状周面１１２ａを有する薄膜支持部材１１０と、２つの薄膜支持部材１１０を連結する継手部材１２０と、薄膜支持部材１１０と継手部材１２０とを締結する締結ボルト１４０とを備え、気体噴出部と連通して薄膜支持部材１１０の軸方向に延びる給気用貫通路１１１ｃと、締結ボルト１４０を挿通して軸方向に延びるボルト挿入孔１１１ｄと、締結ボルト１４０と螺合するネジ穴１１１ｅとが形成され、継手部材１２０に、薄膜支持部材１１０の給気用貫通路１１１ｃと連通して軸方向に延びる通気用貫通孔１２１ａと、締結ボルト１４０を挿通して軸方向に延びるボルト挿入孔１２２と、締結ボルト１４０と螺合するネジ穴１２３とが形成されている。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
薄膜連続体に向けて気体を噴出する気体噴出部をロール状周面に形成した複数の薄膜支持部材と該薄膜支持部材を相互に同軸状に連結する継手部材と前記薄膜支持部材に前記継手部材を締結する締結部材とを備え、搬送中の薄膜連続体を気体により非接触浮上状態で支持して搬送方向を変更する薄膜搬送用ターンバーであって、
前記薄膜支持部材が、前記気体噴出部に連通して軸方向に延びる給気用貫通路部分と前記締結部材を挿通して軸方向に延びる締結用挿通孔部分と前記締結部材と螺合するネジ穴部分とを有し、
前記継手部材が、前記薄膜支持部材の給気用貫通路部分に連通して軸方向に延びる通気用貫通孔部分と前記締結部材を挿通して軸方向に延びる締結用挿通孔部分と前記締結部材と螺合するネジ穴部分とを有していることを特徴とする薄膜搬送用ターンバー。
前記薄膜支持部材が、前記気体噴出部に連通して軸方向に延びる給気用貫通路部分と前記締結部材を挿通して軸方向に延びる締結用挿通孔部分と前記締結部材と螺合するネジ穴部分とを有し、
前記継手部材が、前記薄膜支持部材の給気用貫通路部分に連通して軸方向に延びる通気用貫通孔部分と前記締結部材を挿通して軸方向に延びる締結用挿通孔部分と前記締結部材と螺合するネジ穴部分とを有していることを特徴とする薄膜搬送用ターンバー。
【請求項2】
前記継手部材が、前記軸方向に沿って前記薄膜支持部材に内挿されていることを特徴とする請求項１に記載の薄膜搬送用ターンバー。
【請求項3】
前記薄膜支持部材と前記継手部材とを前記締結部材で締結させた際に前記薄膜支持部材の給気用貫通路部分と前記継手部材の通気用貫通孔部分との隙間を封止する封止部材が、前記継手部材と前記薄膜支持部材との間に配置されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の薄膜搬送用ターンバー。
【請求項4】
前記薄膜支持部材と前記継手部材とが、前記締結部材を前記軸方向の一端側から前記薄膜支持部材または前記継手部材に挿通して締結されていることを特徴とする請求項１または請求項３のいずれか１項に記載の薄膜搬送用ターンバー。
【請求項5】
前記薄膜支持部材の締結用挿通孔部分とネジ穴部分とが、前記薄膜支持部材の端面において等間隔にそれぞれ配置され、
前記継手部材の締結用挿通孔部分とネジ穴部分とが、前記継手部材の端面において等間隔にそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の薄膜搬送用ターンバー。
前記継手部材の締結用挿通孔部分とネジ穴部分とが、前記継手部材の端面において等間隔にそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の薄膜搬送用ターンバー。
【請求項6】
前記薄膜支持部材および前記継手部材が、環状であり、
前記薄膜支持部材の端部開口部位を閉塞する閉塞部材が、前記薄膜支持部材と同軸状に配置され、
前記閉塞部材が、前記薄膜支持部材の中空部分と連通する通気孔部分を有していることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の薄膜搬送用ターンバー。
前記薄膜支持部材の端部開口部位を閉塞する閉塞部材が、前記薄膜支持部材と同軸状に配置され、
前記閉塞部材が、前記薄膜支持部材の中空部分と連通する通気孔部分を有していることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の薄膜搬送用ターンバー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、薄膜連続体を気体により非接触浮上状態で支持して搬送方向を変更する薄膜搬送用ターンバーに関する。
【背景技術】
【0002】
従来より、薄膜シート、薄膜フィルムなどの薄膜連続体を搬送する薄膜用搬送装置は、薄膜連続体の搬送方向を変化させるターンバーを備えている。
このようなターンバーとして、軸部材とこの軸部材の両端部にそれぞれ配置される２つの回転ローラーとこの２つの回転ローラーの間に配置される多孔質材料で形成された搬送部材とを備えて、多孔質材料から気体を溢出させて連続するウェブ状のワークを浮上させて搬送方向を変更しながら搬送するターンバーが知られている（例えば、特許文献１参照）。
このようなターンバーとして、軸部材とこの軸部材の両端部にそれぞれ配置される２つの回転ローラーとこの２つの回転ローラーの間に配置される多孔質材料で形成された搬送部材とを備えて、多孔質材料から気体を溢出させて連続するウェブ状のワークを浮上させて搬送方向を変更しながら搬送するターンバーが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２０－１３２４１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上述したターンバーにおいて、搬送部材は、ウェブ幅全体に亘って気体圧で浮上させるため、ウェブと少なくとも同幅のバー長手方向寸法を有するロール部材となっている。
したがって、搬送部材は、バー長手方向に延在する長尺体のロール部材となっているため、ウェブと対向する搬送部材のロール状周面の一部に目詰まりや破損などの不具合が生じた場合であっても搬送部材全体、すなわち、搬送部材自体を交換する必要があり、ターンバーのメンテナンス性には更なる改善の余地があった。
したがって、搬送部材は、バー長手方向に延在する長尺体のロール部材となっているため、ウェブと対向する搬送部材のロール状周面の一部に目詰まりや破損などの不具合が生じた場合であっても搬送部材全体、すなわち、搬送部材自体を交換する必要があり、ターンバーのメンテナンス性には更なる改善の余地があった。
【0005】
そこで、本発明は、前述したような従来技術の問題を解決するものであって、すなわち、本発明の目的は、ロール状周面に不具合が生じた場合に不具合が生じた箇所の部材のみが簡便に交換自在となる薄膜搬送用ターンバーを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
請求項１に係る発明は、薄膜連続体に向けて気体を噴出する気体噴出部をロール状周面に形成した複数の薄膜支持部材と該薄膜支持部材を相互に同軸状に連結する継手部材と前記薄膜支持部材に前記継手部材を締結する締結部材とを備え、搬送中の薄膜連続体を気体により非接触浮上状態で支持して搬送方向を変更する薄膜搬送用ターンバーであって、前記薄膜支持部材が、前記気体噴出部に連通して軸方向に延びる給気用貫通路部分と前記締結部材を挿通して軸方向に延びる締結用挿通孔部分と前記締結部材と螺合するネジ穴部分とを有し、前記継手部材が、前記薄膜支持部材の給気用貫通路部分に連通して軸方向に延びる通気用貫通孔部分と前記締結部材を挿通して軸方向に延びる締結用挿通孔部分と前記締結部材と螺合するネジ穴部分とを有していることにより、前述した課題を解決するものである。
【0007】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載された薄膜搬送用ターンバーの構成に加えて、前記継手部材が、前記軸方向に沿って前記薄膜支持部材に内挿されていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【0008】
請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２に記載された薄膜搬送用ターンバーの構成に加えて、前記薄膜支持部材と前記継手部材とを前記締結部材で締結させた際に前記薄膜支持部材の給気用貫通路部分と前記継手部材の通気用貫通孔部分との隙間を封止する封止部材が、前記継手部材と前記薄膜支持部材との間に配置されていることにより、前述した課題を解決するものである。
【0009】
請求項４に係る発明は、請求項１または請求項３のいずれか１項に記載された薄膜搬送用ターンバーの構成に加えて、前記薄膜支持部材と前記継手部材とが、前記締結部材を前記軸方向の一端側から前記薄膜支持部材または前記継手部材に挿通して締結されていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【0010】
請求項５に係る発明は、請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載された薄膜搬送用ターンバーの構成に加えて、前記薄膜支持部材の締結用挿通孔部分とネジ穴部分とが、前記薄膜支持部材の端面において等間隔にそれぞれ配置され、前記継手部材の締結用挿通孔部分とネジ穴部分とが、前記継手部材の端面において等間隔にそれぞれ配置されていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【0011】
請求項６に係る発明は、請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載された薄膜搬送用ターンバーの構成に加えて、前記薄膜支持部材および前記継手部材が、環状であり、前記薄膜支持部材の端部開口部位を閉塞する閉塞部材が、前記薄膜支持部材と同軸状に配置され、前記閉塞部材が、前記薄膜支持部材の中空部分と連通する通気孔部分を有していることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【発明の効果】
【0012】
請求項１に係る発明の薄膜搬送用ターンバーは、薄膜連続体に向けて気体を噴出する気体噴出部をロール状周面に形成した複数の薄膜支持部材とこの薄膜支持部材を相互に同軸状に連結する継手部材と薄膜支持部材に継手部材を締結する締結部材とを備えていることにより、搬送中の薄膜連続体を気体により非接触浮上状態で支持して搬送方向を変更することができるだけでなく、薄膜支持部材および継手部材の数を増減させるだけで薄膜搬送用ターンバーの長さを容易に調整したり、気体の噴出量を薄膜搬送用ターンバーの長手方向で容易に調整したりすることができる。
そして、薄膜支持部材が、気体噴出部に連通して軸方向に延びる給気用貫通路部分と締結部材を挿通して軸方向に延びる締結用挿通孔部分と締結部材と螺合するネジ穴部分とを有し、継手部材が、薄膜支持部材の給気用貫通路部分に連通して軸方向に延びる通気用貫通孔部分と締結部材を挿通して軸方向に延びる締結用挿通孔部分と締結部材と螺合するネジ穴部分とを有していることにより、締結部材を薄膜支持部材の締結用挿通孔部分から挿入して継手部材のネジ穴部分と螺合させて薄膜支持部材と継手部材とが締結自在であると共に締結部材を継手部材の締結用挿通孔部分から挿入して薄膜支持部材のネジ穴部分と螺合させて薄膜支持部材と継手部材とが締結自在であるため、ロール状周面に目詰まりや破損などの不具合が生じた場合には、締結部材を薄膜支持部材および継手部材から取り外して薄膜搬送用ターンバーを解体することで、不具合が生じた薄膜支持部材のみを簡便に交換することができる。
そして、薄膜支持部材が、気体噴出部に連通して軸方向に延びる給気用貫通路部分と締結部材を挿通して軸方向に延びる締結用挿通孔部分と締結部材と螺合するネジ穴部分とを有し、継手部材が、薄膜支持部材の給気用貫通路部分に連通して軸方向に延びる通気用貫通孔部分と締結部材を挿通して軸方向に延びる締結用挿通孔部分と締結部材と螺合するネジ穴部分とを有していることにより、締結部材を薄膜支持部材の締結用挿通孔部分から挿入して継手部材のネジ穴部分と螺合させて薄膜支持部材と継手部材とが締結自在であると共に締結部材を継手部材の締結用挿通孔部分から挿入して薄膜支持部材のネジ穴部分と螺合させて薄膜支持部材と継手部材とが締結自在であるため、ロール状周面に目詰まりや破損などの不具合が生じた場合には、締結部材を薄膜支持部材および継手部材から取り外して薄膜搬送用ターンバーを解体することで、不具合が生じた薄膜支持部材のみを簡便に交換することができる。
【0013】
請求項２に係る発明の薄膜搬送用ターンバーによれば、請求項１に係る発明の薄膜搬送用ターンバーが奏する効果に加えて、継手部材が、軸方向に沿って薄膜支持部材に内挿されていることにより、薄膜支持部材が薄膜連続体を支持しない継手部材に内挿される薄膜搬送用ターンバーに比べて、薄膜連続体に面給気する薄膜支持部材の表面積が大きくなるため、薄膜連続体をより均一に非接触浮上状態で支持することができる。
【0014】
請求項３に係る発明の薄膜搬送用ターンバーによれば、請求項１または請求項２に係る発明の薄膜搬送用ターンバーが奏する効果に加えて、封止部材が、薄膜支持部材と継手部材との間に配置されていることにより、薄膜支持部材と継手部材とを締結部材で締結させた際に薄膜支持部材の給気用貫通路部分と継手部材の通気用貫通孔部分との隙間が封止部材により封止されるため、薄膜支持部材の給気用貫通路部分と継手部材の通気用貫通孔部分との隙間から気体が漏れ出ることを防ぐことができる。
【0015】
請求項４に係る発明の薄膜搬送用ターンバーによれば、請求項１または請求項３のいずれか１項に係る発明の薄膜搬送用ターンバーが奏する効果に加えて、薄膜支持部材と継手部材とが、締結部材を軸方向の一端側から薄膜支持部材または継手部材に挿通して締結されていることにより、締結部材を軸方向の両側から薄膜支持部材または継手部材に挿通して薄膜搬送用ターンバーを組み立てる場合に比べて薄膜搬送用ターンバーの組立工程が単純化されるため、薄膜搬送用ターンバーを効率よく組立または解体することができる。
【0016】
請求項５に係る発明の薄膜搬送用ターンバーによれば、請求項１乃至請求項４に係る発明の薄膜搬送用ターンバーが奏する効果に加えて、薄膜支持部材の締結用挿通孔部分とネジ穴部分とが、それぞれ薄膜支持部材の端面において等間隔に配置され、継手部材の締結用挿通孔部分とネジ穴部分とが、それぞれ継手部材の端面において等間隔に配置されていることにより、継手部材と薄膜支持部材とを締結部材で締結させた際の締結部材による締結力が周方向に対してほぼ均等に作用するため、継手部材と薄膜支持部材との当接面から気体が漏れ出ることをより確実に防ぐことができるだけでなく、締結部材による締結力に起因する歪みが薄膜搬送用ターンバーに生じにくくなり、薄膜搬送用ターンバーの真直度が向上して、薄膜連続体をより安定して搬送させることができる。
【0017】
請求項６に係る発明の薄膜搬送用ターンバーによれば、請求項１乃至請求項５に係る発明の薄膜搬送用ターンバーが奏する効果に加えて、薄膜支持部材および継手部材が、環状であり、薄膜支持部材の端部開口部位を閉塞する閉塞部材が薄膜支持部材と同軸状に配置され、閉塞部材が、薄膜支持部材の中空部分と連通する通気孔部分を有していることにより、薄膜支持部材の中空部分が外部と連通するため、薄膜搬送用ターンバーを組んだ状態で薄膜支持部材の中空部分の温度が高まって薄膜支持部材の中空部分に溜まった空気が膨張したとしても、この中空部分に溜まった空気を容易に排出することができる。
【図面の簡単な説明】
【0018】
【図1】本発明の一実施例である薄膜搬送用ターンバーを備えた薄膜用搬送装置の使用態様を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【0019】
本発明は、薄膜連続体に向けて気体を噴出する気体噴出部をロール状周面に形成した複数の薄膜支持部材とこの薄膜支持部材を相互に同軸状に連結する継手部材と前記薄膜支持部材に継手部材を締結する締結部材とを備えた薄膜搬送用ターンバーであって、薄膜支持部材が、気体噴出部に連通して軸方向に延びる給気用貫通路部分と締結部材を挿通して軸方向に延びる締結用挿通孔部分と締結部材と螺合するネジ穴部分とを有し、継手部材が、薄膜支持部材の給気用貫通路部分に連通して軸方向に延びる通気用貫通孔部分と締結部材を挿通して軸方向に延びる締結用挿通孔部分と締結部材と螺合するネジ穴部分とを有し、ロール状周面に不具合が生じた場合に不具合が生じた薄膜支持部材のみが交換自在となるものであれば、その具体的な実施態様は、如何なるものであっても構わない。
【0020】
例えば、薄膜支持部材のロール状周面は、円弧状であれば、薄膜支持部材の全周に形成されていてもよいし、一部のみに形成されていてもよい。
したがって、薄膜支持部材の断面形状は、円形はもちろん、扇形であってもよい。
したがって、薄膜支持部材の断面形状は、円形はもちろん、扇形であってもよい。
【0021】
例えば、薄膜支持部材の気体噴出部は、薄膜連続体に気体を供給できれば如何なる形態であってもよく、具体的には、薄膜支持部材に配設した多孔質材であってもよいし、薄膜支持部材のロール状周面に形成した微小孔であってもよい。
【0022】
例えば、薄膜支持部材の気体噴出部から噴出される気体は、空気であることが好ましいが、他の気体であってもよい。
【0023】
例えば、薄膜支持部材は、軽量化の観点から中空の筒状体であることが好ましいが、中実の柱状体であってもよい。
これは、継手部材についても同様である。
これは、継手部材についても同様である。
【0024】
例えば、締結部材は、薄膜支持部材に継手部材を締結でき、薄膜支持部材のネジ穴部分または継手部材のネジ穴部分と螺合自在であれば、いかなる部材であってもよい。
特に、一方向から薄膜支持部材または継手部材に挿入して薄膜支持部材に継手部材を順次締結できる部材であれば、六角穴部分を有する頭部とこの頭部より小径のネジ部とから形成される六角穴付きボルトが一例ではあるが、締結部材は六角穴付きボルト以外の部材であってもよい。
特に、一方向から薄膜支持部材または継手部材に挿入して薄膜支持部材に継手部材を順次締結できる部材であれば、六角穴部分を有する頭部とこの頭部より小径のネジ部とから形成される六角穴付きボルトが一例ではあるが、締結部材は六角穴付きボルト以外の部材であってもよい。
【実施例0025】
【0026】
＜１．薄膜用搬送装置の概要＞
まず、図１に基づいて、本発明の一実施例である薄膜搬送用ターンバーを備えた薄膜用搬送装置の概要について説明する。
図１は本発明の一実施例である薄膜搬送用ターンバーを備えた薄膜用搬送装置の斜視図である。
まず、図１に基づいて、本発明の一実施例である薄膜搬送用ターンバーを備えた薄膜用搬送装置の概要について説明する。
図１は本発明の一実施例である薄膜搬送用ターンバーを備えた薄膜用搬送装置の斜視図である。
【0027】
薄膜用搬送装置１０は、薄膜連続体などを搬送する装置であり、図１に示すように、ロールＲに巻き付けられた薄膜連続体Ｗを巻き取る巻き取り機１１と、巻き取り機１１に巻き取られる薄膜連続体Ｗの状態を検査する検査器１２と、搬送中の薄膜連続体を空気により非接触浮上状態で支持して搬送方向を変更する棒状の薄膜搬送用ターンバー１００とを備えている。
【0028】
＜２．薄膜搬送用ターンバーの概要＞
次に、図２乃至図４Ｃに基づいて、薄膜搬送用ターンバー１００の概要について説明する。
図２は、図１に示す薄膜搬送用ターンバーの使用態様を示す斜視図であり、図３は、図１に示す薄膜搬送用ターンバーの斜視分解図であり、図４Ａは、図２に示す薄膜搬送用ターンバーのＩＶＡから見た左側面図であり、図４Ｂは、図２に示す薄膜搬送用ターンバーのＩＶＢから見た右側面図であり、図４Ｃは、図４ＡのＩＶＣ－ＩＶＣ断面図である。
次に、図２乃至図４Ｃに基づいて、薄膜搬送用ターンバー１００の概要について説明する。
図２は、図１に示す薄膜搬送用ターンバーの使用態様を示す斜視図であり、図３は、図１に示す薄膜搬送用ターンバーの斜視分解図であり、図４Ａは、図２に示す薄膜搬送用ターンバーのＩＶＡから見た左側面図であり、図４Ｂは、図２に示す薄膜搬送用ターンバーのＩＶＢから見た右側面図であり、図４Ｃは、図４ＡのＩＶＣ－ＩＶＣ断面図である。
【0029】
薄膜搬送用ターンバー１００は、筒状の薄膜支持部材１１０と、２つの薄膜支持部材１１０を相互に同軸状に連結する筒状の継手部材１２０と、薄膜支持部材１１０と同軸状に配置されて薄膜支持部材１１０の端部開口部位を閉塞する閉塞部材１３０と、薄膜支持部材１１０と継手部材１２０または閉塞部材１３０とを締結する締結ボルト（締結部材）１４０とを備えている。
また、この薄膜搬送用ターンバー１００は、薄膜支持部材１１０、継手部材１２０、閉塞部材１３０のそれぞれと締結ボルト１４０との間を介在する座金１５０と、薄膜支持部材１１０と継手部材１２０との間および薄膜支持部材１１０と閉塞部材１３０との間に配置されるＯリング（封止部材）１６０とを備えている。
さらに、薄膜搬送用ターンバー１００の閉塞部材１３０には、不図示の給気源と接続された空気配管に接続する給気ポート１７０が取り付けられている。
また、この薄膜搬送用ターンバー１００は、薄膜支持部材１１０、継手部材１２０、閉塞部材１３０のそれぞれと締結ボルト１４０との間を介在する座金１５０と、薄膜支持部材１１０と継手部材１２０との間および薄膜支持部材１１０と閉塞部材１３０との間に配置されるＯリング（封止部材）１６０とを備えている。
さらに、薄膜搬送用ターンバー１００の閉塞部材１３０には、不図示の給気源と接続された空気配管に接続する給気ポート１７０が取り付けられている。
【0030】
締結ボルト１４０は、図３に示すように、六角穴部分を有する円柱状の頭部と該頭部より小径のネジ部とから形成される六角穴付きボルトである。
そして、本実施例では、締結ボルト１４０として、ネジ部の短い短尺ボルト１４１と、ネジ部の長い長尺ボルト１４２とが用いられている。
なお、短尺ボルト１４１の頭部の直径と長尺ボルト１４２の頭部の直径とは、等しくなっている。
そして、本実施例では、締結ボルト１４０として、ネジ部の短い短尺ボルト１４１と、ネジ部の長い長尺ボルト１４２とが用いられている。
なお、短尺ボルト１４１の頭部の直径と長尺ボルト１４２の頭部の直径とは、等しくなっている。
【0031】
＜３．薄膜支持部材＞
次に、図３、図４Ｃ、図５Ａ乃至図５Ｃに基づいて、薄膜搬送用ターンバー１００を構成する薄膜支持部材１１０について説明する。
図５Ａは、図２に示す薄膜支持部材の左側面図であり、図５Ｂは、図５ＡのＶＢ－ＶＢ断面図であり、図５Ｃは、図５ＡのＶＣ－ＶＣ断面図である。
次に、図３、図４Ｃ、図５Ａ乃至図５Ｃに基づいて、薄膜搬送用ターンバー１００を構成する薄膜支持部材１１０について説明する。
図５Ａは、図２に示す薄膜支持部材の左側面図であり、図５Ｂは、図５ＡのＶＢ－ＶＢ断面図であり、図５Ｃは、図５ＡのＶＣ－ＶＣ断面図である。
【0032】
薄膜支持部材１１０は、図３に示すように円筒状の部材であり、円筒状の金属製の基材１１１と、この基材１１１の外周に設けられた円筒状の多孔質材１１２とから構成されている。
【0033】
そして、この基材１１１には、図５Ｂに示すように、両端面に凹状のフランジ用座部１１１ａが形成されている。
さらに、このフランジ用座部１１１ａの中央には、軸方向であるＺ方向に延びて薄膜支持部材１１０を貫通する中空部分１１１ｂが形成されている。
フランジ用座部１１１ａの直径Ｄは、継手部材１２０の直径とほぼ等しくなっている。
また、フランジ用座部１１１ａの底面には、Ｚ方向（軸方向）に延びて多孔質材１１２と連通する給気用貫通路（給気用貫通路部分）１１１ｃと、Ｚ方向に延びて長尺ボルト１４２を挿通自在とするボルト挿入孔（締結用挿通孔部分）１１１ｄと、短尺ボルト１４１のネジ部と螺合するネジ穴（ネジ穴部分）１１１ｅとが形成されている。
さらに、このフランジ用座部１１１ａの中央には、軸方向であるＺ方向に延びて薄膜支持部材１１０を貫通する中空部分１１１ｂが形成されている。
フランジ用座部１１１ａの直径Ｄは、継手部材１２０の直径とほぼ等しくなっている。
また、フランジ用座部１１１ａの底面には、Ｚ方向（軸方向）に延びて多孔質材１１２と連通する給気用貫通路（給気用貫通路部分）１１１ｃと、Ｚ方向に延びて長尺ボルト１４２を挿通自在とするボルト挿入孔（締結用挿通孔部分）１１１ｄと、短尺ボルト１４１のネジ部と螺合するネジ穴（ネジ穴部分）１１１ｅとが形成されている。
【0034】
給気用貫通路１１１ｃは、図５に示すように、Ｚ方向に延びて薄膜支持部材１１０を貫通する貫通路本体１１１ｃ１と、この貫通路本体１１１ｃ１から側方に分岐した分岐孔１１１ｃ２とから形成されている。
分岐孔１１１ｃ２は、径方向に延びており、貫通路本体１１１ｃ１と多孔質材１１２とを連通している。
分岐孔１１１ｃ２は、径方向に延びており、貫通路本体１１１ｃ１と多孔質材１１２とを連通している。
【0035】
ボルト挿入孔１１１ｄは、図５Ｃに示すようにＺ方向に延びて薄膜支持部材１１０を貫通しており、六角穴付きボルトである長尺ボルト１４２が挿通自在となっている。
すなわち、ボルト挿入孔１１１ｄは、長尺ボルト１４２の頭部を収容する長尺ボルト１４２の頭部の外径より大径の大径部１１１ｄ１と、長尺ボルト１４２のネジ部を挿通自在とする長尺ボルト１４２のネジ部の外径より大径で長尺ボルト１４２の頭部の外径より小径の小径部１１１ｄ２とから形成されている。
この大径部１１１ｄ１の中心は、小径部１１１ｄ２の中心と一致している。
すなわち、ボルト挿入孔１１１ｄは、長尺ボルト１４２の頭部を収容する長尺ボルト１４２の頭部の外径より大径の大径部１１１ｄ１と、長尺ボルト１４２のネジ部を挿通自在とする長尺ボルト１４２のネジ部の外径より大径で長尺ボルト１４２の頭部の外径より小径の小径部１１１ｄ２とから形成されている。
この大径部１１１ｄ１の中心は、小径部１１１ｄ２の中心と一致している。
【0036】
このように形成された、給気用貫通路１１１ｃ（貫通路本体１１１ｃ１）の中心とボルト挿入孔１１１ｄの中心とネジ穴１１１ｅの中心とは、同一円周上に配置されている。
また、ボルト挿入孔１１１ｄおよびネジ穴１１１ｅは、図５Ａに示すように、それぞれ等間隔に配置されている。
また、ボルト挿入孔１１１ｄおよびネジ穴１１１ｅは、図５Ａに示すように、それぞれ等間隔に配置されている。
【0037】
多孔質材１１２は、基材１１１と当接する面と最表面のロール状周面１１２ａとが連通している。
これにより、基材１１１の分岐孔１１１ｃ２から多孔質材１１２に対して供給された気体が、基材１１１と当接する面に流入し、ロール状周面１１２ａから噴出する。
したがって、多孔質材１１２のロール状周面１１２ａには、薄膜連続体に向けて気体を噴出する気体噴出部が形成されている。
また、給気用貫通路１１１ｃは、気体噴出部と連通しているということができる。
これにより、基材１１１の分岐孔１１１ｃ２から多孔質材１１２に対して供給された気体が、基材１１１と当接する面に流入し、ロール状周面１１２ａから噴出する。
したがって、多孔質材１１２のロール状周面１１２ａには、薄膜連続体に向けて気体を噴出する気体噴出部が形成されている。
また、給気用貫通路１１１ｃは、気体噴出部と連通しているということができる。
【0038】
＜４．継手部材＞
次に、図３、図４Ｃ、図６Ａ乃至図６Ｂに基づいて、薄膜搬送用ターンバー１００を構成する継手部材１２０について説明する。
図６Ａは、図２に示す継手部材の左側面図であり、図６Ｂは、図６ＡのＶＩＢ－ＶＩＢ断面図である。
次に、図３、図４Ｃ、図６Ａ乃至図６Ｂに基づいて、薄膜搬送用ターンバー１００を構成する継手部材１２０について説明する。
図６Ａは、図２に示す継手部材の左側面図であり、図６Ｂは、図６ＡのＶＩＢ－ＶＩＢ断面図である。
【0039】
継手部材１２０は、図３に示すように環状の部材であり、図４Ｃ等に示すように、Ｚ方向に沿って薄膜支持部材１１０に内挿されている。
そして、この継手部材１２０の端面には、Ｏリング１６０が載置される凹状の封止部材用座部１２１と、ボルト挿入孔（締結用挿通孔部分）１２２と、長尺ボルト１４２のネジ部と螺合するネジ穴（ネジ穴部分）１２３とを有している。
そして、この継手部材１２０の端面には、Ｏリング１６０が載置される凹状の封止部材用座部１２１と、ボルト挿入孔（締結用挿通孔部分）１２２と、長尺ボルト１４２のネジ部と螺合するネジ穴（ネジ穴部分）１２３とを有している。
【0040】
封止部材用座部１２１は、図６Ａに示すように、側面視において円形であり、図６Ｂに示すように、継手部材１２０の両端面に形成されている。
また、封止部材用座部１２１の中心には、軸方向となるＺ方向に延びて継手部材１２０を貫通する通気用貫通孔（通気用貫通孔部分）１２１ａが形成されている。
また、封止部材用座部１２１の中心には、軸方向となるＺ方向に延びて継手部材１２０を貫通する通気用貫通孔（通気用貫通孔部分）１２１ａが形成されている。
【0041】
通気用貫通孔１２１ａは、図３に示すように薄膜支持部材１１０の給気用貫通路１１１ｃと連通している。
この通気用貫通孔１２１ａの中心は、封止部材用座部１２１の中心と一致している。
また、通気用貫通孔１２１ａの直径は、図６Ａに示すように、封止部材用座部１２１の外径より小さくなっている。
したがって、封止部材用座部１２１には、Ｏリング１６０と当接する座面１２１ｂが形成されている。
この通気用貫通孔１２１ａの中心は、封止部材用座部１２１の中心と一致している。
また、通気用貫通孔１２１ａの直径は、図６Ａに示すように、封止部材用座部１２１の外径より小さくなっている。
したがって、封止部材用座部１２１には、Ｏリング１６０と当接する座面１２１ｂが形成されている。
【0042】
ボルト挿入孔１２２は、図６Ｂに示すようにＺ方向に延びて継手部材１２０を貫通しており、六角穴付きボルトである短尺ボルト１４１が挿通自在となっている。
すなわち、ボルト挿入孔１２２は、短尺ボルト１４１の頭部を収容する短尺ボルト１４１の頭部の外径より大径の大径部１２２ａと、短尺ボルト１４１のネジ部を挿通自在とする短尺ボルト１４１のネジ部の外径より大径で長尺ボルト１４２の頭部の外径より小径の小径部１２２ｂとから形成されている。
この大径部１２２ａの中心は、小径部１２２ｂの中心と一致している。
すなわち、ボルト挿入孔１２２は、短尺ボルト１４１の頭部を収容する短尺ボルト１４１の頭部の外径より大径の大径部１２２ａと、短尺ボルト１４１のネジ部を挿通自在とする短尺ボルト１４１のネジ部の外径より大径で長尺ボルト１４２の頭部の外径より小径の小径部１２２ｂとから形成されている。
この大径部１２２ａの中心は、小径部１２２ｂの中心と一致している。
【0043】
このように形成された、通気用貫通孔１２１ａの中心とボルト挿入孔１２２の中心とネジ穴１２３の中心とは、同一円周上に配置されている。
また、ボルト挿入孔１２２およびネジ穴１２３は、図６Ａに示すように、それぞれ継手部材１２０の端面において等間隔に配置されている。
また、ボルト挿入孔１２２およびネジ穴１２３は、図６Ａに示すように、それぞれ継手部材１２０の端面において等間隔に配置されている。
【0044】
【0045】
閉塞部材１３０は、薄膜支持部材１１０の端部開口部位に配置される部材であり、薄膜搬送用ターンバー１００の左側の端部となる左側閉塞部材１３０Ｌと、薄膜搬送用ターンバー１００の右側の端部となる右側閉塞部材１３０Ｒとから構成されている。
左側閉塞部材１３０Ｌと右側閉塞部材１３０Ｒとは、共に、円盤状のフランジ部分１３１と、このフランジ部分１３１の中心付近からＺ方向に突出した把持部分１３２とから形成されている。
左側閉塞部材１３０Ｌと右側閉塞部材１３０Ｒとは、共に、円盤状のフランジ部分１３１と、このフランジ部分１３１の中心付近からＺ方向に突出した把持部分１３２とから形成されている。
【0046】
フランジ部分１３１の直径は、図４Ａ乃至図４Ｃに示すように、薄膜支持部材１１０のフランジ用座部１１１ａの外径とほぼ等しくなっている。
また、フランジ部分１３１には、薄膜搬送用ターンバー１００の軸方向（Ｚ方向）に延びて短尺ボルト１４１を挿通自在とするボルト挿入孔（ボルト挿入孔部分）１３１ａと、給気ポート１７０と螺合自在な給気ポート取付孔（給気ポート取付孔部分）１３１ｂと、薄膜支持部材１１０の中空部分１１１ｂと連通する通気孔（通気孔部分）１３１ｃとが形成されている。
なお、左側閉塞部材１３０Ｌと右側閉塞部材１３０Ｒとでは、ボルト挿入孔１３１ａの位置が異なっている。
また、フランジ部分１３１には、薄膜搬送用ターンバー１００の軸方向（Ｚ方向）に延びて短尺ボルト１４１を挿通自在とするボルト挿入孔（ボルト挿入孔部分）１３１ａと、給気ポート１７０と螺合自在な給気ポート取付孔（給気ポート取付孔部分）１３１ｂと、薄膜支持部材１１０の中空部分１１１ｂと連通する通気孔（通気孔部分）１３１ｃとが形成されている。
なお、左側閉塞部材１３０Ｌと右側閉塞部材１３０Ｒとでは、ボルト挿入孔１３１ａの位置が異なっている。
【0047】
ボルト挿入孔１３１ａは、軸方向にフランジ部分１３１を貫通しており、六角穴付きボルトである短尺ボルト１４１が挿通自在となっている。
すなわち、ボルト挿入孔１３１ａは、短尺ボルト１４１の頭部を収容する短尺ボルト１４１の頭部の外径より大径の大径部と、短尺ボルト１４１のネジ部を挿通自在とする短尺ボルト１４１のネジ部の外径より大径で短尺ボルト１４１の頭部の外径より小径の小径部とから形成されている。
この大径部の中心は、小径部の中心と一致している。
すなわち、ボルト挿入孔１３１ａは、短尺ボルト１４１の頭部を収容する短尺ボルト１４１の頭部の外径より大径の大径部と、短尺ボルト１４１のネジ部を挿通自在とする短尺ボルト１４１のネジ部の外径より大径で短尺ボルト１４１の頭部の外径より小径の小径部とから形成されている。
この大径部の中心は、小径部の中心と一致している。
【0048】
給気ポート取付孔１３１ｂは、軸方向にフランジ部分１３１を貫通しており、給気ポート１７０と螺合するために雌ねじが形成されていると共に、薄膜支持部材１１０側に向かってテーパが形成されている。
したがって、給気ポート取付孔１３１ｂは薄膜支持部材１１０側に向かって縮径している。
そして、給気ポート取付孔１３１ｂの中心とボルト挿入孔１３１ａの中心とは、同一円周上に配置されている。
したがって、給気ポート取付孔１３１ｂは薄膜支持部材１１０側に向かって縮径している。
そして、給気ポート取付孔１３１ｂの中心とボルト挿入孔１３１ａの中心とは、同一円周上に配置されている。
【0049】
通気孔部分１３１ｃは、把持部分１３２の近傍に設けられ、軸方向にフランジ部分１３１を貫通している。
そして、この通気孔部分１３１ｃの中心は、フランジ部分１３１の中心（すなわち、薄膜搬送用ターンバー１００の軸方向中心）Ｏおよび給気ポート取付孔１３１ｂの中心と同一の直線上に配置されている。
そして、この通気孔部分１３１ｃの中心は、フランジ部分１３１の中心（すなわち、薄膜搬送用ターンバー１００の軸方向中心）Ｏおよび給気ポート取付孔１３１ｂの中心と同一の直線上に配置されている。
【0050】
【0051】
＜６．Ｏリング＞
Ｏリング１６０の厚みは、継手部材１２０に設けた凹状の封止部材用座部１２１の深さよりも大きくなっている。
これにより、Ｏリング１６０は、薄膜支持部材１１０と継手部材１２０とを締結ボルト１４０で締結させた際に、Ｏリング１６０が潰れて、薄膜支持部材１１０の給気用貫通路１１１ｃと継手部材１２０の通気用貫通孔１２１ａとの隙間を封止できる。
Ｏリング１６０の厚みは、継手部材１２０に設けた凹状の封止部材用座部１２１の深さよりも大きくなっている。
これにより、Ｏリング１６０は、薄膜支持部材１１０と継手部材１２０とを締結ボルト１４０で締結させた際に、Ｏリング１６０が潰れて、薄膜支持部材１１０の給気用貫通路１１１ｃと継手部材１２０の通気用貫通孔１２１ａとの隙間を封止できる。
【0052】
＜７．薄膜搬送用ターンバーの組立＞
次に、図３に基づいて、薄膜搬送用ターンバー１００の組み方について説明する。
次に、図３に基づいて、薄膜搬送用ターンバー１００の組み方について説明する。
【0053】
薄膜搬送用ターンバー１００を組み立てるには、図３に示すように、Ｏリング１６０を継手部材１２０の封止部材用座部１２１に載置した状態で、継手部材１２０を薄膜支持部材１１０に設けた凹状のフランジ用座部１１１ａに挿入する。
そして、継手部材１２０の通気用貫通孔１２１ａと薄膜支持部材１１０の給気用貫通路１１１ｃの貫通路本体１１１ｃ１とを対向させた状態で、継手部材１２０のボルト挿入孔１２２に座金１５０、短尺ボルト１４１を挿入し、短尺ボルト１４１と薄膜支持部材１１０のネジ穴１１１ｅとを螺合させて、薄膜支持部材１１０と継手部材１２０とを締結させる。
この際、短尺ボルト１４１で薄膜支持部材１１０と継手部材１２０とを締結させたことにより、短尺ボルト１４１の頭部および座金１５０により継手部材１２０が薄膜支持部材１１０に押しつけられて軸方向の力（軸力）が発生し、この軸力によりＯリング１６０が潰れて、薄膜支持部材１１０と継手部材１２０との隙間から空気が漏れ出ることが抑制される。
そして、継手部材１２０の通気用貫通孔１２１ａと薄膜支持部材１１０の給気用貫通路１１１ｃの貫通路本体１１１ｃ１とを対向させた状態で、継手部材１２０のボルト挿入孔１２２に座金１５０、短尺ボルト１４１を挿入し、短尺ボルト１４１と薄膜支持部材１１０のネジ穴１１１ｅとを螺合させて、薄膜支持部材１１０と継手部材１２０とを締結させる。
この際、短尺ボルト１４１で薄膜支持部材１１０と継手部材１２０とを締結させたことにより、短尺ボルト１４１の頭部および座金１５０により継手部材１２０が薄膜支持部材１１０に押しつけられて軸方向の力（軸力）が発生し、この軸力によりＯリング１６０が潰れて、薄膜支持部材１１０と継手部材１２０との隙間から空気が漏れ出ることが抑制される。
【0054】
Ｏリング１６０を継手部材１２０の露出している側の封止部材用座部１２１に載置した状態で、薄膜支持部材１１０に設けた凹状のフランジ用座部１１１ａに継手部材１２０を挿入する。
そして、薄膜支持部材１１０の給気用貫通路１１１ｃの貫通路本体１１１ｃ１と継手部材１２０の通気用貫通孔１２１ａとを対向させた状態で、薄膜支持部材１１０のボルト挿入孔１１１ｄに座金１５０、長尺ボルト１４２を挿入し、長尺ボルト１４２と継手部材１２０のネジ穴１２３とを螺合させて、薄膜支持部材１１０と継手部材１２０とを締結させる。
この際、長尺ボルト１４２で薄膜支持部材１１０と継手部材１２０とを締結させたことにより、長尺ボルト１４２の頭部および座金１５０により薄膜支持部材１１０が継手部材１２０に押しつけられて軸力が発生し、この軸力によりＯリング１６０が潰れて、薄膜支持部材１１０と継手部材１２０との隙間から空気が漏れ出ることが抑制される。
そして、薄膜支持部材１１０の給気用貫通路１１１ｃの貫通路本体１１１ｃ１と継手部材１２０の通気用貫通孔１２１ａとを対向させた状態で、薄膜支持部材１１０のボルト挿入孔１１１ｄに座金１５０、長尺ボルト１４２を挿入し、長尺ボルト１４２と継手部材１２０のネジ穴１２３とを螺合させて、薄膜支持部材１１０と継手部材１２０とを締結させる。
この際、長尺ボルト１４２で薄膜支持部材１１０と継手部材１２０とを締結させたことにより、長尺ボルト１４２の頭部および座金１５０により薄膜支持部材１１０が継手部材１２０に押しつけられて軸力が発生し、この軸力によりＯリング１６０が潰れて、薄膜支持部材１１０と継手部材１２０との隙間から空気が漏れ出ることが抑制される。
【0055】
以上の手順で所定の長さまで薄膜支持部材１１０と継手部材１２０とを締結ボルト１４０で締結させ、薄膜支持部材１１０の端部開口部位を閉塞部材１３０で閉塞する。
このとき、閉塞部材１３０の給気ポート取付孔１３１ｂと薄膜支持部材１１０の給気用貫通路１１１ｃの貫通路本体１１１ｃ１とを対向させた状態で、閉塞部材１３０のボルト挿入孔１３１ａに座金１５０、短尺ボルト１４１を挿入し、短尺ボルト１４１と薄膜支持部材１１０のネジ穴１１１ｅとを螺合させて、薄膜支持部材１１０と閉塞部材１３０とを締結させる。
このとき、閉塞部材１３０の給気ポート取付孔１３１ｂと薄膜支持部材１１０の給気用貫通路１１１ｃの貫通路本体１１１ｃ１とを対向させた状態で、閉塞部材１３０のボルト挿入孔１３１ａに座金１５０、短尺ボルト１４１を挿入し、短尺ボルト１４１と薄膜支持部材１１０のネジ穴１１１ｅとを螺合させて、薄膜支持部材１１０と閉塞部材１３０とを締結させる。
【0056】
＜８．薄膜搬送用ターンバー１００が奏する効果＞
以上説明した本実施例の薄膜搬送用ターンバー１００によれば、薄膜連続体Ｗに向けて気体を噴出する気体噴出部をロール状周面１１２ａに形成した複数の薄膜支持部材１１０とこの薄膜支持部材１１０を相互に同軸状に連結する継手部材１２０と薄膜支持部材１１０に継手部材１２０を締結する締結部材である締結ボルト１４０とを備えていることにより、搬送中の薄膜連続体Ｗを気体により非接触浮上状態で支持して搬送方向を変更することができるだけでなく、薄膜支持部材１１０および継手部材１２０の数を増減させるだけで薄膜搬送用ターンバー１００の長さを容易に調整したり、気体の噴出量を薄膜搬送用ターンバー１００の長手方向で容易に調整したりすることができる。
さらに、薄膜支持部材１１０に、軸方向であるＺ方向に延びて気体噴出部と連通する給気用貫通路部分である給気用貫通路１１１ｃと、Ｚ方向に延びて締結ボルト１４０を挿通自在とする締結用挿通孔部分であるボルト挿入孔１１１ｄと、締結ボルト１４０と螺合するネジ穴部分であるネジ穴１１１ｅとが形成され、継手部材１２０に、Ｚ方向に延びて薄膜支持部材１１０の給気用貫通路部分１１１ｃと連通する通気用貫通孔部分である通気用貫通孔１２１ａと、Ｚ方向に延びて締結ボルト１４０を挿通自在とする締結用挿通孔部分であるボルト挿入孔１２２と、締結ボルト１４０と螺合するネジ穴部分であるネジ穴１２３とが形成されていることにより、締結ボルト１４０を薄膜支持部材１１０のボルト挿入孔１１１ｄから挿入して継手部材１２０のネジ穴１２３と螺合させて薄膜支持部材１１０と継手部材１２０とが締結自在であると共に締結ボルト１４０を継手部材１２０のボルト挿入孔１２２から挿入して薄膜支持部材１１０のネジ穴１１１ｅと螺合させて薄膜支持部材１１０と継手部材１２０とが締結自在であるため、ロール状周面に目詰まりや破損などの不具合が生じた場合には、締結ボルト１４０を薄膜支持部材１１０および継手部材１２０から取り外して薄膜搬送用ターンバー１００を解体することで、不具合が生じた薄膜支持部材１１０のみを交換することができる。
以上説明した本実施例の薄膜搬送用ターンバー１００によれば、薄膜連続体Ｗに向けて気体を噴出する気体噴出部をロール状周面１１２ａに形成した複数の薄膜支持部材１１０とこの薄膜支持部材１１０を相互に同軸状に連結する継手部材１２０と薄膜支持部材１１０に継手部材１２０を締結する締結部材である締結ボルト１４０とを備えていることにより、搬送中の薄膜連続体Ｗを気体により非接触浮上状態で支持して搬送方向を変更することができるだけでなく、薄膜支持部材１１０および継手部材１２０の数を増減させるだけで薄膜搬送用ターンバー１００の長さを容易に調整したり、気体の噴出量を薄膜搬送用ターンバー１００の長手方向で容易に調整したりすることができる。
さらに、薄膜支持部材１１０に、軸方向であるＺ方向に延びて気体噴出部と連通する給気用貫通路部分である給気用貫通路１１１ｃと、Ｚ方向に延びて締結ボルト１４０を挿通自在とする締結用挿通孔部分であるボルト挿入孔１１１ｄと、締結ボルト１４０と螺合するネジ穴部分であるネジ穴１１１ｅとが形成され、継手部材１２０に、Ｚ方向に延びて薄膜支持部材１１０の給気用貫通路部分１１１ｃと連通する通気用貫通孔部分である通気用貫通孔１２１ａと、Ｚ方向に延びて締結ボルト１４０を挿通自在とする締結用挿通孔部分であるボルト挿入孔１２２と、締結ボルト１４０と螺合するネジ穴部分であるネジ穴１２３とが形成されていることにより、締結ボルト１４０を薄膜支持部材１１０のボルト挿入孔１１１ｄから挿入して継手部材１２０のネジ穴１２３と螺合させて薄膜支持部材１１０と継手部材１２０とが締結自在であると共に締結ボルト１４０を継手部材１２０のボルト挿入孔１２２から挿入して薄膜支持部材１１０のネジ穴１１１ｅと螺合させて薄膜支持部材１１０と継手部材１２０とが締結自在であるため、ロール状周面に目詰まりや破損などの不具合が生じた場合には、締結ボルト１４０を薄膜支持部材１１０および継手部材１２０から取り外して薄膜搬送用ターンバー１００を解体することで、不具合が生じた薄膜支持部材１１０のみを交換することができる。
【0057】
また、継手部材１２０が、Ｚ方向に沿って薄膜支持部材１１０に内挿されていることにより、薄膜支持部材１１０が薄膜連続体Ｗを支持しない継手部材１２０に内挿される薄膜搬送用ターンバー１００に比べて、薄膜連続体Ｗに面給気する薄膜支持部材１１０の表面積が大きくなるため、薄膜連続体Ｗをより均一に非接触浮上状態で支持することができる。
【0058】
また、封止部材であるＯリング１６０が、薄膜支持部材１１０と継手部材１２０との間に配置されていることにより、薄膜支持部材１１０と継手部材１２０とを締結ボルト１４０で締結させた際に薄膜支持部材１１０の給気用貫通路１１１ｃと継手部材１２０の通気用貫通孔１２１ａとの隙間がＯリング１６０により封止されるため、薄膜支持部材１１０の給気用貫通路１１１ｃと継手部材１２０の通気用貫通孔１２１ａとの隙間から気体が漏れ出ることを防ぐことができる。
【0059】
また、薄膜支持部材１１０と継手部材１２０とが、締結ボルト１４０を軸方向の一端側から薄膜支持部材１１０または継手部材１２０に挿通して締結されていることにより、締結ボルト１４０を軸方向の両側から薄膜支持部材１１０または継手部材１２０に挿通して薄膜搬送用ターンバー１００を組み立てる場合に比べて薄膜搬送用ターンバー１００の組立工程が単純化されるため、薄膜搬送用ターンバー１００を効率よく組立または解体することができる。
【0060】
また、継手部材１２０の端面に、通気用貫通孔１２１ａより大径の外径を有する凹状の封止部材用座部である凹状の封止部材用座部１２１が形成され、この封止部材用座部１２１の深さが、Ｏリング１６０の厚みよりも小さいことにより、封止部材用座部１２１に封止部材を載置した状態で、薄膜支持部材１１０と継手部材１２０とを締結ボルト１４０で締結させるだけで薄膜支持部材１１０の給気用貫通路１１１ｃと継手部材１２０の通気用貫通孔１２１ａとの隙間が封止されるため、薄膜支持部材１１０の給気用貫通路１１１ｃと継手部材１２０の通気用貫通孔１２１ａとの隙間を簡便に封止することができる。
【0061】
また、薄膜支持部材１１０のボルト挿入孔１１１ｄとネジ穴１１１ｅとが、それぞれ薄膜支持部材１１０の端面において等間隔に配置され、継手部材１２０のボルト挿入孔１２２とネジ穴１２３とが、それぞれ継手部材１２０の端面において等間隔に配置されていることにより、継手部材１２０と薄膜支持部材１１０とを締結ボルト１４０で締結させた際の締結ボルト１４０による締結力が周方向に対してほぼ均等に作用するため、継手部材１２０と薄膜支持部材１１０との当接面から気体が漏れ出ることをより確実に防ぐことができるだけでなく、締結ボルト１４０による締結力に起因する歪みが薄膜搬送用ターンバー１００に生じにくくなり、薄膜搬送用ターンバー１００の真直度が向上して、薄膜連続体Ｗをより安定して搬送させることができる。
【0062】
さらに、薄膜支持部材１１０のボルト挿入孔１１１ｄが継手部材１２０のネジ穴１２３と対向し、継手部材１２０のボルト挿入孔１２２が薄膜支持部材１１０のネジ穴１１１ｅと対向していることにより、薄膜支持部材１１０と継手部材１２０とをそれぞれ１種類用意するだけで、薄膜搬送用ターンバー１００を形成することができる。
【0063】
＜変形例＞
以上、本発明の一実施例である薄膜搬送用ターンバー１００について説明したが、本発明の薄膜搬送用ターンバーは、上述した実施例の薄膜搬送用ターンバー１００に限定されるものではない。
以上、本発明の一実施例である薄膜搬送用ターンバー１００について説明したが、本発明の薄膜搬送用ターンバーは、上述した実施例の薄膜搬送用ターンバー１００に限定されるものではない。
【0064】
例えば、各々の薄膜支持部材の気体の噴出量は、すべて同一であってもよいし、長手方向において噴出量を調整するために、それぞれ異なっていてもよい。
【0065】
例えば、本実施例において、多孔質材１１２には樹脂を含浸させていたが、多孔質材に樹脂を含浸させなくてもよい。
また、自励振動を防止するために、多孔質材の表面を目詰まりさせてもよい。
また、自励振動を防止するために、多孔質材の表面を目詰まりさせてもよい。
【0066】
例えば、多孔質材１１２のロール状周面１１２ａは、表面から粉塵が舞うのを防ぐために樹脂が含浸されていてもよい。
さらに、多孔質材１１２の両側面は、気体の溢出を防ぐために封孔処理がなされていることが好ましい。
さらに、多孔質材１１２の両側面は、気体の溢出を防ぐために封孔処理がなされていることが好ましい。
【0067】
例えば、本実施例において、継手部材１２０のネジ穴１２３は、有底であったが、継手部材１２０を貫通していてもよい。
【0068】
例えば、本実施例においては、Ｏリング１６０が継手部材１２０の封止部材用座部１２１に配設されていたが、薄膜支持部材１１０側にＯリング１６０を配設するための封止部材用座部を設けてもよい。
なお、薄膜支持部材１１０側に凹状の封止部材用座部を設けた場合であっても、封止部材用座部が薄膜支持部材１１０の給気用貫通路１１１ｃの直径より大径である。
なお、薄膜支持部材１１０側に凹状の封止部材用座部を設けた場合であっても、封止部材用座部が薄膜支持部材１１０の給気用貫通路１１１ｃの直径より大径である。
【0069】
例えば、本実施例において、締結ボルト１４０は、短尺ボルト１４１と長尺ボルト１４２との２種類を用いていたが、継手部材の左右方向の長さや大径部の位置、継手部材の左右方向の長さや大径部の位置、閉塞部材のフランジ部分の厚さ等を調整して１種類のボルトにしてもよい。
【符号の説明】
【0070】
１０ ・・・ 薄膜用搬送装置
１１ ・・・ 巻き取り機
１２ ・・・ 検査器
１００ ・・・ 薄膜搬送用ターンバー
１１０ ・・・ 薄膜支持部材
１１１ ・・・ 基材
１１１ａ ・・・ 凹状のフランジ用座部
１１１ｂ ・・・ 中空部分
１１１ｃ ・・・ 給気用貫通路（給気用貫通路部分）
１１１ｃ１・・・ 貫通路本体
１１１ｃ２・・・ 分岐孔
１１１ｄ ・・・ ボルト挿入孔（締結用挿通孔部分）
１１１ｄ１・・・ 大径部
１１１ｄ２・・・ 小径部
１１１ｅ ・・・ ネジ穴（ネジ穴部分）
１１２ ・・・ 多孔質材
１１２ａ ・・・ ロール状周面
１２０ ・・・ 継手部材
１２１ ・・・ 凹状の封止部材用座部
１２１ａ ・・・ 通気用貫通孔（通気用貫通孔部分）
１２１ｂ ・・・ 座面
１２２ ・・・ ボルト挿入孔（締結用挿通孔部分）
１２２ａ ・・・ 大径部
１２２ｂ ・・・ 小径部
１２３ ・・・ ネジ穴（ネジ穴部分）
１３０ ・・・ 閉塞部材
１３０Ｌ ・・・ 左側閉塞部材
１３０Ｒ ・・・ 右側閉塞部材
１３１ ・・・ フランジ部分
１３１ａ ・・・ ボルト挿入孔（ボルト挿入孔部分）
１３１ｂ ・・・ 給気ポート取付孔（給気ポート取付孔部分）
１３１ｃ ・・・ 通気孔（通気孔部分）
１３２ ・・・ 把持部分
１４０ ・・・ 締結ボルト（締結部材）
１４１ ・・・ 短尺ボルト
１４２ ・・・ 長尺ボルト
１５０ ・・・ 座金
１６０ ・・・ Ｏリング（封止部材）
１７０ ・・・ 給気ポート
Ｗ ・・・ 薄膜連続体
Ｒ ・・・ ロール
Ｄ ・・・ フランジ用座部の直径
１１ ・・・ 巻き取り機
１２ ・・・ 検査器
１００ ・・・ 薄膜搬送用ターンバー
１１０ ・・・ 薄膜支持部材
１１１ ・・・ 基材
１１１ａ ・・・ 凹状のフランジ用座部
１１１ｂ ・・・ 中空部分
１１１ｃ ・・・ 給気用貫通路（給気用貫通路部分）
１１１ｃ１・・・ 貫通路本体
１１１ｃ２・・・ 分岐孔
１１１ｄ ・・・ ボルト挿入孔（締結用挿通孔部分）
１１１ｄ１・・・ 大径部
１１１ｄ２・・・ 小径部
１１１ｅ ・・・ ネジ穴（ネジ穴部分）
１１２ ・・・ 多孔質材
１１２ａ ・・・ ロール状周面
１２０ ・・・ 継手部材
１２１ ・・・ 凹状の封止部材用座部
１２１ａ ・・・ 通気用貫通孔（通気用貫通孔部分）
１２１ｂ ・・・ 座面
１２２ ・・・ ボルト挿入孔（締結用挿通孔部分）
１２２ａ ・・・ 大径部
１２２ｂ ・・・ 小径部
１２３ ・・・ ネジ穴（ネジ穴部分）
１３０ ・・・ 閉塞部材
１３０Ｌ ・・・ 左側閉塞部材
１３０Ｒ ・・・ 右側閉塞部材
１３１ ・・・ フランジ部分
１３１ａ ・・・ ボルト挿入孔（ボルト挿入孔部分）
１３１ｂ ・・・ 給気ポート取付孔（給気ポート取付孔部分）
１３１ｃ ・・・ 通気孔（通気孔部分）
１３２ ・・・ 把持部分
１４０ ・・・ 締結ボルト（締結部材）
１４１ ・・・ 短尺ボルト
１４２ ・・・ 長尺ボルト
１５０ ・・・ 座金
１６０ ・・・ Ｏリング（封止部材）
１７０ ・・・ 給気ポート
Ｗ ・・・ 薄膜連続体
Ｒ ・・・ ロール
Ｄ ・・・ フランジ用座部の直径
【図1】
【図2】
【図3】
【図4A】
【図4B】
【図4C】
【図5A】
【図5B】
【図5C】
【図6A】
【図6B】
