(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022127375
(43)【公開日】2022-08-31
(54)【発明の名称】回転往復駆動アクチュエーター
(51)【国際特許分類】
H02K 33/14 20060101AFI20220824BHJP
G02B 26/10 20060101ALI20220824BHJP
G02B 26/08 20060101ALI20220824BHJP
H02K 5/173 20060101ALI20220824BHJP
H02K 5/167 20060101ALI20220824BHJP
【ＦＩ】
H02K33/14
G02B26/10 104Z
G02B26/08 E
H02K5/173 A
H02K5/167 B
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021025491
(22)【出願日】2021-02-19
(71)【出願人】
【識別番号】000006220
【氏名又は名称】ミツミ電機株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002952
【氏名又は名称】特許業務法人鷲田国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】高橋 勇樹
(72)【発明者】
【氏名】加賀美 雅春
(72)【発明者】
【氏名】北村 泰隆
(72)【発明者】
【氏名】大塚 裕樹
【テーマコード（参考）】
2H045
2H141
5H605
5H633
【Ｆターム（参考）】
2H045AB02
2H045AB03
2H045AB34
2H045AB38
2H045AB44
2H045AB54
2H045BA02
2H045CB65
2H045DA02
2H141MA12
2H141MB24
2H141MC04
2H141MD12
2H141MD20
2H141ME01
2H141MF02
2H141MF10
2H141MF26
2H141MZ13
5H605CC04
5H605EB06
5H605EB10
5H633BB03
5H633GG02
5H633HH03
5H633JA08
(57)【要約】
【課題】ミラー等の可動対象物の大型化及び高振幅化を図ることができるとともに、駆動性能の安定化を図ることができる回転往復駆動アクチュエーターを提供する。
【解決手段】回転往復駆動アクチュエーターは、回転軸を含む可動部と、回転軸を支持する固定部と、固定部に配置されるコイル及びコア、並びに回転軸に配置されるマグネットを有し、電磁相互作用を利用して固定部に対して回転軸を軸中心に回転させる駆動部と、を備える。固定部は、軸方向においてマグネットを挟んで対向して配置される第１支持体及び第２支持体を有し、回転軸は、第１軸受及び第２軸受を介して、第１支持体及び第２支持体に、回転自在に取り付けられており、第１軸受及び第２軸受の一方は転がり軸受であり、他方は滑り軸受である。
【選択図】図３
【解決手段】回転往復駆動アクチュエーターは、回転軸を含む可動部と、回転軸を支持する固定部と、固定部に配置されるコイル及びコア、並びに回転軸に配置されるマグネットを有し、電磁相互作用を利用して固定部に対して回転軸を軸中心に回転させる駆動部と、を備える。固定部は、軸方向においてマグネットを挟んで対向して配置される第１支持体及び第２支持体を有し、回転軸は、第１軸受及び第２軸受を介して、第１支持体及び第２支持体に、回転自在に取り付けられており、第１軸受及び第２軸受の一方は転がり軸受であり、他方は滑り軸受である。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
可動対象物が配置される回転軸を含む可動部と、
前記回転軸を支持する固定部と、
前記固定部に配置されるコイル及びコア、並びに前記回転軸に配置されるマグネットを有し、電磁相互作用を利用して前記固定部に対して前記回転軸を軸中心に回転させる駆動部と、
を備える回転往復駆動アクチュエーターであって、
前記マグネットは、外周面においてＳ極及びＮ極が周方向に交互に配置されているリング型マグネットであり、
前記コアは、前記コイルへの通電により励磁され極性を生じる磁極部を有し、前記回転軸を前記固定部に取り付けたときに、前記磁極部と前記マグネットの前記外周面とがエアギャップを介して対向するように配置され、
前記マグネットの磁極の数と前記磁極部の数は等しく、
前記マグネットとエアギャップを介して対向するように前記固定部に配置され、前記マグネットとの間で生じる磁気吸引力により前記回転軸の回転角度位置を中立位置に保持する回転角度位置保持部をさらに備え、
前記固定部は、軸方向において前記マグネットを挟んで対向して配置される第１支持体及び第２支持体を有し、
前記回転軸は、第１軸受及び第２軸受を介して、前記第１支持体及び前記第２支持体に、回転自在に取り付けられており、
前記第１軸受及び前記第２軸受の一方は転がり軸受であり、他方は滑り軸受である、
回転往復駆動アクチュエーター。
前記回転軸を支持する固定部と、
前記固定部に配置されるコイル及びコア、並びに前記回転軸に配置されるマグネットを有し、電磁相互作用を利用して前記固定部に対して前記回転軸を軸中心に回転させる駆動部と、
を備える回転往復駆動アクチュエーターであって、
前記マグネットは、外周面においてＳ極及びＮ極が周方向に交互に配置されているリング型マグネットであり、
前記コアは、前記コイルへの通電により励磁され極性を生じる磁極部を有し、前記回転軸を前記固定部に取り付けたときに、前記磁極部と前記マグネットの前記外周面とがエアギャップを介して対向するように配置され、
前記マグネットの磁極の数と前記磁極部の数は等しく、
前記マグネットとエアギャップを介して対向するように前記固定部に配置され、前記マグネットとの間で生じる磁気吸引力により前記回転軸の回転角度位置を中立位置に保持する回転角度位置保持部をさらに備え、
前記固定部は、軸方向において前記マグネットを挟んで対向して配置される第１支持体及び第２支持体を有し、
前記回転軸は、第１軸受及び第２軸受を介して、前記第１支持体及び前記第２支持体に、回転自在に取り付けられており、
前記第１軸受及び前記第２軸受の一方は転がり軸受であり、他方は滑り軸受である、
回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項2】
前記第１軸受は、滑り軸受であり、
前記第２軸受は、転がり軸受である、
請求項１に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
前記第２軸受は、転がり軸受である、
請求項１に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項3】
前記第１軸受は、
前記回転軸が挿通される筒状の胴部と、前記胴部の端部に配置されたフランジ部と、を有し、
前記筒状の胴部が前記第１支持体に形成された軸受取付部に嵌入され、前記フランジ部が前記第１支持体の外側面に係止される、
請求項２に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
前記回転軸が挿通される筒状の胴部と、前記胴部の端部に配置されたフランジ部と、を有し、
前記筒状の胴部が前記第１支持体に形成された軸受取付部に嵌入され、前記フランジ部が前記第１支持体の外側面に係止される、
請求項２に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項4】
前記第１軸受は、樹脂成型品である、
請求項３に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
請求項３に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項5】
前記第１軸受は、フッ素樹脂で形成される、
請求項４に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
請求項４に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項6】
前記マグネットは、２極マグネットであり、
前記マグネットの２つの磁極切替部は、前記マグネットが前記中立位置で保持されているとき、前記磁極部と正対する、
請求項１から５のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
前記マグネットの２つの磁極切替部は、前記マグネットが前記中立位置で保持されているとき、前記磁極部と正対する、
請求項１から５のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項7】
前記コア及び前記コイルを含むコアユニットの軸方向における少なくとも一方の側に、電気伝導材からなるシールド部材が配置されている、
請求項１から６のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
請求項１から６のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項8】
前記第１支持体は、前記シールド部材で構成される、
請求項７に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
請求項７に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項9】
前記シールド部材は、アルミ合金で形成される、
請求項７又は８に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
請求項７又は８に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項10】
前記可動対象物は、走査光を反射するミラーである、
請求項１から９のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
請求項１から９のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、回転往復駆動アクチュエーターに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、複合機、レーザービームプリンタ等のスキャナーに使用されるアクチュエーターとして、回転往復駆動式のアクチュエーター（以下、「回転往復駆動アクチュエーター」と称する）が知られている。回転往復駆動アクチュエーターは、例えば、可動体である回転軸と、コイルマグネットを有する駆動部を備えており、コイルに通電して回転軸を往復回転駆動させることで、回転軸に取り付けられたミラーによるレーザー光の反射角度を変更して対象物に対する光走査を実現する。このような回転往復駆動アクチュエーターには、回転軸にコイルが配置されているムービングコイルタイプと、回転軸にマグネットが配置されているムービングマグネットタイプとがある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特許第４７２７５０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、ムービングコイルタイプの回転往復駆動アクチュエーターにおいては、駆動時（通電時）のコイルの発熱により、ミラーの表面状態、回転軸へのミラーの接合状態、反りを含むミラーの形状等に悪影響を与える虞がある。また、駆動時のコイルの発熱を考慮すると、コイルへの入力電流も大きくしにくく、可動対象物であるミラーの大型化や高振幅化が困難であるという問題がある。さらに、回転軸に配置されているコイルへの配線を固定体側に引き出す必要があり、組立性が悪いという問題がある。
【0005】
一方、ムービングマグネットタイプの回転往復駆動アクチュエーターの場合、上述したコイル発熱やコイル配線に関する問題は解消できる。しかしながら、特許文献１に開示の構造では、回転軸においてミラーが配置されている領域と同じ領域にマグネットが配置され、コイルが巻回されたヨークがマグネットを取り囲むように配置されているので、回転軸が回転したときに可動対象物であるミラーとヨークが干渉しやすい。そのため、ミラーの大型化や高振幅化が困難である。
【0006】
本発明の目的は、ミラー等の可動対象物の大型化及び高振幅化を図ることができるとともに、駆動性能の安定化を図ることができる回転往復駆動アクチュエーターを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明に係る回転往復駆動アクチュエーターは、
可動対象物が配置される回転軸を含む可動部と、
前記回転軸を支持する固定部と、
前記固定部に配置されるコイル及びコア、並びに前記回転軸に配置されるマグネットを有し、電磁相互作用を利用して前記固定部に対して前記回転軸を軸中心に回転させる駆動部と、
を備える回転往復駆動アクチュエーターであって、
前記マグネットは、外周面においてＳ極及びＮ極が周方向に交互に配置されているリング型マグネットであり、
前記コアは、前記コイルへの通電により励磁され極性を生じる磁極部を有し、前記回転軸を前記固定部に取り付けたときに、前記磁極部と前記マグネットの前記外周面とがエアギャップを介して対向するように配置され、
前記マグネットの磁極の数と前記磁極部の数は等しく、
前記マグネットとエアギャップを介して対向するように前記固定部に配置され、前記マグネットとの間で生じる磁気吸引力により前記回転軸の回転角度位置を中立位置に保持する回転角度位置保持部をさらに備え、
前記固定部は、軸方向において前記マグネットを挟んで対向して配置される第１支持体及び第２支持体を有し、
前記回転軸は、第１軸受及び第２軸受を介して、前記第１支持体及び前記第２支持体に、回転自在に取り付けられており、
前記第１軸受及び前記第２軸受の一方は転がり軸受であり、他方は滑り軸受である。
可動対象物が配置される回転軸を含む可動部と、
前記回転軸を支持する固定部と、
前記固定部に配置されるコイル及びコア、並びに前記回転軸に配置されるマグネットを有し、電磁相互作用を利用して前記固定部に対して前記回転軸を軸中心に回転させる駆動部と、
を備える回転往復駆動アクチュエーターであって、
前記マグネットは、外周面においてＳ極及びＮ極が周方向に交互に配置されているリング型マグネットであり、
前記コアは、前記コイルへの通電により励磁され極性を生じる磁極部を有し、前記回転軸を前記固定部に取り付けたときに、前記磁極部と前記マグネットの前記外周面とがエアギャップを介して対向するように配置され、
前記マグネットの磁極の数と前記磁極部の数は等しく、
前記マグネットとエアギャップを介して対向するように前記固定部に配置され、前記マグネットとの間で生じる磁気吸引力により前記回転軸の回転角度位置を中立位置に保持する回転角度位置保持部をさらに備え、
前記固定部は、軸方向において前記マグネットを挟んで対向して配置される第１支持体及び第２支持体を有し、
前記回転軸は、第１軸受及び第２軸受を介して、前記第１支持体及び前記第２支持体に、回転自在に取り付けられており、
前記第１軸受及び前記第２軸受の一方は転がり軸受であり、他方は滑り軸受である。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、ミラー等の可動対象物の大型化及び高振幅化を図ることができるとともに、駆動性能の安定化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図6】回転往復駆動アクチュエーターを用いた光走査装置の要部構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。
【0011】
【0012】
回転往復駆動アクチュエーター１は、例えば、ライダー（ＬＩＤＡＲ：Laser Imaging Detection and Ranging）装置に用いられる。なお、回転往復駆動アクチュエーター１は、複合機、レーザービームプリンタ等の光走査装置にも適用可能である。
【0013】
回転往復駆動アクチュエーター１は、大きく分けて、可動部１０と、可動部１０を回転自在に支持する固定部２０と、固定部２０に対して可動部１０を往復回転駆動する駆動部３０と、を備える。
【0014】
可動部１０は、回転軸１１及びミラー部１２を有する。
ミラー部１２は、回転往復駆動アクチュエーター１における可動対象物であり、回転軸１１に取り付けられる。ミラー部１２は、例えば、ミラーホルダー１２２の一面にミラー１２１を貼り付けることで形成される。回転軸１１は、ミラーホルダー１２２の挿通孔１２２ａに挿通され、固着される。
ミラー部１２は、回転往復駆動アクチュエーター１における可動対象物であり、回転軸１１に取り付けられる。ミラー部１２は、例えば、ミラーホルダー１２２の一面にミラー１２１を貼り付けることで形成される。回転軸１１は、ミラーホルダー１２２の挿通孔１２２ａに挿通され、固着される。
【0015】
固定部２０は、ベース２１、第２軸受２２及び第３軸受２３を有する。
ベース２１は、対向して配置された左側壁部２１１及び右側壁部２１２を有する。左側壁部２１１及び右側壁部２１２は、平板状の底部２１３の軸方向両端に立設されている。すなわち、ベース２１は、断面が略コ字状（Ｕ字状）に形成されている。
ベース２１は、対向して配置された左側壁部２１１及び右側壁部２１２を有する。左側壁部２１１及び右側壁部２１２は、平板状の底部２１３の軸方向両端に立設されている。すなわち、ベース２１は、断面が略コ字状（Ｕ字状）に形成されている。
【0016】
左側壁部２１１及び右側壁部２１２には、それぞれ、回転軸１１が挿通される挿通孔２１１ａ、２１２ａが形成されている。また、左側壁部２１１及び右側壁部２１２には、それぞれ、挿通孔２１１ａ、２１２ａと左側壁部２１１、右側壁部２１２の外縁とを連通する切欠部２１１ｂ、２１２ｂが形成されている。
【0017】
ミラー部１２が取り付けられた回転軸１１は、外側から切欠部２１１ｂ、２１２ｂを通って挿通孔２１１ａ、２１２ａに配置される。切欠部２１１ｂ、２１２ｂがない場合には、左側壁部２１１と右側壁部２１２の間にミラー部１２を配置させた状態で、例えば、回転軸１１を左側壁部２１１の挿通孔２１１ａ、ミラーホルダー１２２の挿通孔１２２ａ、右側壁部２１２の挿通孔２１２ａの順に挿通し、さらに回転軸１１とミラーホルダー１２２を固着させるといった煩雑な組立て作業が必要となる。これに対して、本実施の形態においては、左側壁部２１１及び右側壁部２１２に切欠部２１１ｂ、２１２ｂが形成されているので、予めミラー部１２が取り付けられた回転軸１１を、切欠部２１１ｂ、２１２ｂを通して簡単に挿通孔２１１ａ、２１２ａに配置することができる。
【0018】
第２軸受２２及び第３軸受２３は、転がり軸受（例えば、ボールベアリング）で構成される。転がり軸受は、摩擦係数が低く、回転軸１１をスムーズに回転させることができるので、回転往復駆動アクチュエーター１の駆動性能が向上する。
【0019】
第２軸受２２及び第３軸受２３は、それぞれ、左側壁部２１１及び右側壁部２１２の挿通孔２１１ａ、２１２ａに連設された軸受取付部（符号略）に配置される。具体的には、第２軸受２２及び第３軸受２３は、回転軸１１の軸方向両側から挿通され、回転軸１１が挿通孔２１１ａ、２１２ａに配置された後、軸受取付部に取り付けられる。このように、回転軸１１は、第２軸受２２及び第３軸受２３を介して、回転自在にベース２１に取り付けられる。
【0020】
駆動部３０は、コアユニット３１及びマグネット３２を有する。
【0021】
コアユニット３１は、第１コア４１、４２、第２コア（中継コア）４３、コイル４４、４５、回転角度位置保持部４８、第１シールド部材５１、第２シールド部材５２、及び第１軸受５３等を有する。図４は、コアユニット３１の構成（第１シールド部材５１、第２シールド部材５２及び第１軸受５３を除く）を示す斜視図である。図４等に示すように、コアユニット３１は、本実施の形態では、略直方体状に形成されている。コアユニット３１は、ベース２１に固着され、固定部２０の一部をなす。
【0022】
第１コア４１、４２及び第２コア４３は、一体化されて一つのコア体Ｃをなし、コイル４４、４５に通電したときの磁気回路を形成する。第１コア４１、４２及び第２コア４３は、例えば、ケイ素鋼板等の電磁鋼板を積層してなる積層コアで構成される。
【0023】
第１コア４１、４２は、それぞれ、コイル４４、４５への通電により励磁したときに通電方向に応じた極性を生じる磁極部４１ａ、４２ａと、磁極部４１ａ、４２ａから下方に延在する脚部４１ｂ、４２ｂを有する。
磁極部４１ａ、４２ａのマグネット３２と対向する部分は、マグネット３２の外周面に沿って湾曲する形状を有している。脚部４１ｂ、４２ｂには、それぞれ、コイル４４、４５が配置される。第１コア４１、４２は、磁極部４１ａ、４２ａが対向し、かつ、脚部４１ｂ、４２ｂが平行となる姿勢で、第２コア４３に固定される。
磁極部４１ａ、４２ａのマグネット３２と対向する部分は、マグネット３２の外周面に沿って湾曲する形状を有している。脚部４１ｂ、４２ｂには、それぞれ、コイル４４、４５が配置される。第１コア４１、４２は、磁極部４１ａ、４２ａが対向し、かつ、脚部４１ｂ、４２ｂが平行となる姿勢で、第２コア４３に固定される。
【0024】
第２コア４３は、第１コア４１、４２の脚部４１ｂ、４２ｂを連絡し、磁極部４１ａ、４２ａ間を結ぶ磁気回路の中間部分を形成する。すなわち、第１コア４１、４２は、第２コア４３を介して一体的に接続されている。本実施の形態では、第２コア４３は、Ｕ字状に形成されており、脚部４３ａ、４３ｂの開放端部の内側に、第１コア４１、４２の脚部４１ｂ、４２ｂの端部が接続されている。つまり、第１コア４１、４２は、第２コア４３によって、回転軸１１と直交する３方（左側、右側及び上側）から取り囲まれている。なお、第２コア４３の屈曲部分（脚部４３ａ、４３ｂと橋架部４３ｃとの連結部分）は、丸みを帯びたＲ形状を有していてもよいし、直線的に折れ曲がる形状を有していてもよい。
【0025】
回転往復駆動アクチュエーター１を組み立てた状態において、磁極部４１ａ、４２ａで囲まれた空間に回転軸１１が挿通される。また、この空間に、回転軸１１に取り付けられたマグネット３２が位置し、磁極部４１ａ、４２ａとエアギャップを介して対向する。
【0026】
コアユニット３１において、第１コア４１、４２の磁極部４１ａ、４２ａと第２コア４３の脚部４３ａ、４３ｂの間には、スペーサー４９が配置される。スペーサー４９は、例えば、第１コア４１、４２及び第２コア４３に、接着又は溶接により固定される。スペーサー４９は、例えば、真鍮若しくはアルミニウム等の非磁性体で形成される。
【0027】
自由端である磁極部４１ａ、４２ａと第２コア４３との間にスペーサー４９を介在させることにより、コアユニット３１の剛性を高めることができ、マグネット３２との間に生じる磁気力や衝撃によって第１コア４１、４２が変形或いは破損するのを抑制することができる。また、スペーサー４９を非磁性体で形成することにより、コアユニット３１における磁束経路を規制することができる。
【0028】
コイル４４、４５は、筒状のボビン４６、４７に巻回される。コイル４４、４５及びボビン４６，４７からなるコイルユニットが、第１コア４１、４２の脚部４１ｂ、４２ｂに外挿されることにより、コイル４４、４５は、第１コア４１、４２の脚部４１ｂ、４２ｂを巻回するように配置される。コイル４４、４５の巻線方向は、通電が行われた際に、第１コア４１、４２の磁極部４１ａ、４２ａの一方から他方に向かって好適に磁束が生じるように設定される。
【0029】
回転角度位置保持部４８は、回転往復駆動アクチュエーター１を組み立てた状態において、マグネット３２とエアギャップを介して対向するようにコアユニット３１に組み込まれる。回転角度位置保持部４８は、例えば、第２コア４３の橋架部４３ｃ（第１コア４１、４２の上方の部分）に、磁極がマグネット３２に対向する姿勢で取り付けられる。
【0030】
回転角度位置保持部４８は、例えば、マグネットにより構成され、マグネット３２との間に磁気吸引力を生じる。すなわち、回転角度位置保持部４８は、第１コア４１、４２とともに、マグネット３２との間に磁気バネを形成する。この磁気バネにより、コイル４４、４５への通電が行われていない常態時（非通電時）には、マグネット３２の回転角度位置、すなわち、回転軸１１の回転角度位置が中立位置に保持される。
【0031】
中立位置とは、マグネット３２の回転往復動作の基準位置、すなわち、揺動の中心である。マグネット３２が中立位置に保持されているとき、マグネット３２の磁極切替部３２ｃ、３２ｄは、第１コア４１、４２の磁極部４１ａ、４２ａと正対する。また、マグネット３２が中立位置にある状態を基準にして、ミラー部１２の取付け姿勢が調整される。
【0032】
コアユニット３１の軸方向の両側には、電気伝導材からなる第１シールド部材５１及び第２シールド部材５２が配置されている。第１シールド部材５１及び第２シールド部材５２により、外部からコアユニット３１へのノイズの入射及びコアユニット３１から外部へのノイズの出射を抑制することができる。
【0033】
第１シールド部材５１及び第２シールド部材５２は、アルミ合金により形成されるのが好ましい。アルミ合金は設計の自由度が高く、容易に所望の剛性を付与することができる。したがって、回転軸１１を支持する支持体として第１シールド部材５１を機能させる場合に好適である。
【0034】
第１シールド部材５１には、第１軸受５３を介して、回転軸１１が回転自在に取り付けられる。第１軸受５３は、第１シールド部材５１に形成された軸受取付部５１ａに配置される。第１軸受５３は、回転軸１１が挿通される筒状の胴部５３ｂと、胴部５３ｂの一端部に配置されたフランジ部５３ａと、を有する。第１軸受５３の胴部５３ｂは第１シールド部材５１の軸受取付部５１ａに嵌入され、フランジ部５３ａは第１シールド部材５１の外側面に係止される。第１軸受５３は、第１シールド部材５１の軸受取付部５１ａに回転軸１１を挿通した後、第１シールド部材５１から突出した回転軸１１の端部から挿通され、軸受取付部５１ａに嵌着される。このように、回転軸１１のマグネット３２が配置される側の端部を、容易に第１シールド部材５１に取り付けることができる。
【0035】
第１軸受５３は、例えば、滑り軸受で構成される。具体的には、第１軸受５３は、フッ素樹脂等の樹脂成型品であることが好ましい。第１軸受５３を滑り軸受で構成することにより、減衰部として機能させ、駆動音（可動部１０の共振音）を抑制することができる。また、第１軸受５３を樹脂成型品とすることにより、形状の自由度が高く、低コストで作製することができる。特に、フッ素樹脂成型品とした場合、環境温度による膨張収縮を抑制できるので、回転往復駆動アクチュエーター１を高温環境下で使用される場合に好適である。また、フッ素樹脂成型品は、加工精度が高く、適度な摺動特性を実現することができるので、回転軸１１の回転往復動作を妨げることなく、回転軸１１を安定して支持することができ、軸受として好適である。
【0036】
第２シールド部材５２は、マグネット３２の外形よりも大きい、挿通孔５２ａを有する。マグネット３２を装着した回転軸１１は、第２シールド部材５２の挿通孔５２ａを介して、コアユニット３１内に挿入される。
【0037】
第１コア４１、４２及び第２コア４３からなるコア体Ｃは、第１シールド部材５１及び第２シールド部材５２によって挟持され、止着材６１により固定されて、コアユニット３１として一体化される。また、コアユニット３１は、止着材６２によりベース２１の左側壁部２１１に固定され、ベース２１と一体化される。
【0038】
マグネット３２は、Ｓ極３２ａ及びＮ極３２ｂが周方向に交互に配置されているリング型マグネットである。マグネット３２は、回転往復駆動アクチュエーター１を組み立てた状態において、コアユニット３１の磁極部４１ａ、４２ａで囲まれた空間に位置するように、回転軸１１の周面に取り付けられる。コイル４４、４５に通電が行われると、第１コア４１、４２及び第２コア４３が励磁されて磁極部４１ａ、４２ａに通電方向に応じた極性が生じ、磁極部４１ａ、４２ａとマグネット３２との間で磁気力（吸引力及び反発力）が生じる。
【0039】
本実施の形態では、マグネット３２は、回転軸１１の軸方向に沿う平面を境界として異なる極性に着磁されている。すなわち、マグネット３２は、Ｓ極３２ａとＮ極３２ｂに等分割されるように着磁された２極マグネットである。マグネット３２の磁極の数（本実施の形態では２つ）は、コアユニット３１の磁極部４１ａ、４２ａの数と等しい。なお、マグネット３２は、可動時の振幅に応じて２極以上に着磁されていてもよい。この場合、コアユニット３１の磁極部は、マグネット３２の磁極に対応して設けられる。
【0040】
マグネット３２は、Ｓ極３２ａとＮ極３２ｂとの境界部分３２ｃ、３２ｄ（以下、「磁極切替部」と称する）で極性が切り替わる。磁極切替部３２ｃ、３２ｄは、マグネット３２が中立位置で保持されているとき、磁極部４１ａ、４２ａのそれぞれと正対する。
【0041】
中立位置において、マグネット３２の磁極切替部３２ｃ、３２ｄが、磁極部４１ａ、４２ａと正対することにより、駆動部３０は最大トルクを発生して可動部１０を安定して駆動することができる。また、マグネット３２を２極マグネットで構成することにより、コアユニット３１との協働により、可動対象物を高振幅で駆動しやすくなるとともに、駆動性能の向上を図ることができる。なお、実施の形態では、マグネット３２が一対の磁極切替部３２ｃ、３２ｄを有する場合について説明したが、二対以上の磁極切替部を有していてもよい。
【0042】
ミラー部１２及びマグネット３２が装着された回転軸１１は、第２軸受２２及び第３軸受２３を介してベース２１に固定される。ミラー部１２は、ベース２１の左側壁部２１１と右側壁部２１２に挟まれた空間に位置し、マグネット３２は、ベース２１の左側壁部２１１よりも外側（左側）に位置する。
【0043】
回転軸１１の左側壁部２１１から露出している部分（マグネット３２が配置されている部分）には、軸方向からコアユニット３１が挿入され、第１軸受５３を介して第１シールド部材５１に固定される。マグネット３２は、コアユニット３１内、すなわち、第１シールド部材５１とベース２１の左側壁部２１１に挟まれた空間に位置する。
【0044】
回転往復駆動アクチュエーター１を組み立てた状態において、回転軸１１のミラー部１２が配置されている部分は、左側壁部２１１と右側壁部２１２によって２点支持されているので、左側壁部２１１だけで支持され片持ちとなっている場合に比較して支持強度が高く、ミラー部１２が大型化して重量が増加しても、回転軸１１の直線性を確保することができる。
【0045】
また、回転軸１１のマグネット３２が配置されている部分は、第１シールド部材５１と左側壁部２１１によって２点支持されているので、マグネット３２と回転角度位置保持部４８との間の磁気吸引力が大きくなっても、回転軸１１の直線性を確保することができる。つまり、回転軸１１のマグネット３２が配置されている部分が、左側壁部２１１だけで支持され片持ちとなっている場合には、マグネット３２と回転角度位置保持部４８との間の磁気吸引力が大きくなると、回転軸１１が回転角度位置保持部４８側に撓んで直線性が低下する虞があるが、このような問題は生じない。
【0046】
【0047】
コア体Ｃの２つの磁極部４１ａ、４２ａは、エアギャップＧを空けてマグネット３２を挟むように配置されている。コイル４４、４５への非通電時は、図５Ａに示すように、マグネット３２は、回転角度位置保持部４８との間の磁気吸引力により、中立位置に保持される。
【0048】
この中立位置では、マグネット３２のＳ極３２ａ及びＮ極３２ｂの一方（図５ＡでＳ極３２ａ）が回転角度位置保持部４８に吸引される。このとき、磁極切替部３２ｃ、３２ｄは、コア体Ｃの磁極部４１ａ、４２ａの中心位置と対向する。
【0049】
コイル４４、４５に対して通電が行われると、コア体Ｃが励磁され、磁極部４１ａ、４２ａに通電方向に応じた極性が生じる。図５Ｂに示すようにコイル４４、４５への通電が行われると、コア体Ｃの内部に磁束が生じ、磁極部４１ａはＳ極、磁極部４２ａはＮ極となる。これにより、Ｓ極に磁化された磁極部４１ａは、マグネット３２のＮ極３２ｂと引き合い、Ｎ極に磁化された磁極部４２ａは、マグネット３２のＳ極３２ａと引き合い、マグネット３２には回転軸１１の軸回りにＦ方向のトルクが発生し、マグネット３２はＦ方向に回転する。これに伴い、回転軸１１もＦ方向に回転し、回転軸１１に固定されているミラー部１２もＦ方向に回転する。
【0050】
一方、図示を省略するが、コイル４４、４５に対して図５Ｂとは逆向きに通電が行われると、コア体Ｃの内部に磁束が生じ、磁極部４１ａはＮ極、磁極部４２ａはＳ極となる。これにより、Ｎ極に磁化された磁極部４１ａは、マグネット３２のＳ極３２ａと引き合い、Ｓ極に磁化された磁極部４２ａは、マグネット３２のＮ極３２ｂと引き合い、マグネット３２には回転軸１１の軸回りにＦ方向とは逆向きのトルクが発生し、マグネット３２は－Ｆ方向に回転する。これに伴い、回転軸１１も回転し、回転軸１１に固定されるミラー部１２も回転する。
回転往復駆動アクチュエーター１は、以上の動作を繰り返すことで、ミラー部１２を回転往復駆動する。
回転往復駆動アクチュエーター１は、以上の動作を繰り返すことで、ミラー部１２を回転往復駆動する。
【0051】
実際上、回転往復駆動アクチュエーター１は、電源供給部（例えば図６の駆動信号供給部１０３に相当）からコイル４４、４５に入力される交流波によって駆動される。つまり、コイル４４、４５の通電方向は周期的に切り替わる。通電方向の切り替わり時には、回転角度位置保持部４８とマグネット３２との間の磁気吸引力、つまり磁気バネの復元力により、マグネット３２は中立位置に戻るように付勢されるので、可動部１０には、軸回りにＦ方向のトルクと、Ｆ方向とは逆の方向（－Ｆ方向）のトルクが交互に作用する。これにより、可動部１０は、回転往復駆動される。
【0052】
以下に、回転往復駆動アクチュエーター１の駆動原理について簡単に説明する。本実施の形態の回転往復駆動アクチュエーター１では、可動体（可動部１０）の慣性モーメントをＪ［ｋｇ・ｍ２］、磁気バネ（磁極部４１ａ、４２ａ、回転角度位置保持部４８及びマグネット３２）のねじり方向のバネ定数をＫｓｐとした場合、可動体は、固定体（固定部２０）に対して、式（１）によって算出される共振周波数Ｆｒ［Ｈｚ］で振動（往復回転）する。
【0053】
【数1】
【0054】
可動体は、バネマス系の振動モデルにおけるマス部を構成するので、コイル４４、４５に可動体の共振周波数Ｆｒに等しい周波数の交流波が入力されると、可動体は共振状態となる。すなわち、電源供給部からコイル４４、４５に対して、可動体の共振周波数Ｆｒと略等しい周波数の交流波を入力することにより、可動体を効率良く振動させることができる。
【0055】
回転往復駆動アクチュエーター１の駆動原理を示す運動方程式及び回路方程式を以下に示す。回転往復駆動アクチュエーター１は、式（２）で示す運動方程式及び式（３）で示す回路方程式に基づいて駆動する。
【0056】
【数2】
【0057】
【数3】
【0058】
すなわち、回転往復駆動アクチュエーター１における可動体の慣性モーメントＪ［ｋｇ・ｍ２］、回転角度θ（ｔ）［ｒａｄ］、トルク定数Ｋｔ［Ｎ・ｍ／Ａ］、電流ｉ（ｔ）［Ａ］、バネ定数Ｋｓｐ［Ｎ・ｍ／ｒａｄ］、減衰係数Ｄ［Ｎ・ｍ／（ｒａｄ／ｓ）］、負荷トルクＴＬｏｓｓ［Ｎ・ｍ］等は、式（２）を満たす範囲内で適宜変更できる。また、電圧ｅ（ｔ）［Ｖ］、抵抗Ｒ［Ω］、インダクタンスＬ［Ｈ］、逆起電力定数Ｋｅ［Ｖ／（ｒａｄ／ｓ）］は、式（３）を満たす範囲内で適宜変更できる。
【0059】
このように、回転往復駆動アクチュエーター１は、可動体の慣性モーメントＪと磁気バネのバネ定数Ｋｓｐにより決まる共振周波数Ｆｒに対応する交流波によりコイルへの通電を行った場合に、効率良い大きな振動出力を得ることができる。
【0060】
なお、回転往復駆動アクチュエーター１は、回転軸１１の回転角度を検出する角度センサー６０（図６参照）を備えていてもよい。角度センサー６０は、例えば、ベース２１の右側壁部２１２に固定される。
【0061】
角度センサー６０は、例えば、光センサー及びエンコーダーディスクを有する。エンコーダーディスクは、回転軸１１に取り付けられ、マグネット３２及びミラー部１２と一体に回転する。つまり、エンコーダーディスクの回転位置が回転軸１１の回転位置と同一となる。光センサーは、エンコーダーディスクに光を出射しその反射光に基づいてエンコーダーディスクの回転位置（角度）を検出する。これにより、マグネット３２及びミラー部１２の回転位置を検出できる。
角度センサー６０を備えることにより、マグネット３２及び回転軸１１を含む可動部１０の回転角度を検知可能となり、駆動時の可動体、具体的には、可動対象物であるミラー部１２の回転角度位置及び回転速度を制御することができる。
角度センサー６０を備えることにより、マグネット３２及び回転軸１１を含む可動部１０の回転角度を検知可能となり、駆動時の可動体、具体的には、可動対象物であるミラー部１２の回転角度位置及び回転速度を制御することができる。
【0062】
図６は、回転往復駆動アクチュエーター１を用いた光走査装置の要部構成を示すブロック図である。
【0063】
光走査装置Ａは、回転往復駆動アクチュエーター１に加えて、レーザー発光部１０１、レーザー制御部１０２、駆動信号供給部１０３及び位置制御信号計算部１０４を有する。
【0064】
レーザー発光部１０１は、例えば、光源となるＬＤ（レーザーダイオード）と、この光源から出力されるレーザー光を収束するためのレンズ系などを有する。レーザー制御部１０２は、レーザー発光部１０１を制御する。レーザー発光部１０１から照射されたレーザー光は、回転往復駆動アクチュエーター１のミラー１２１に入射される。
【0065】
位置制御信号計算部１０４は、角度センサー６０により取得された回転軸１１（ミラー１２１）の角度位置と、目標角度位置とを参照して、回転軸１１（ミラー１２１）を目標角度位置となるように制御する駆動信号を生成して出力する。例えば、位置制御信号計算部１０４は、取得した回転軸１１（ミラー１２１）の角度位置と、図示しない波形メモリに格納されているのこぎり波形データ等を用いて変換された目標角度位置を示す信号とに基づいて位置制御信号を生成して、この位置制御信号を駆動信号供給部１０３に出力する。
【0066】
駆動信号供給部１０３は、位置制御信号に基づいて、回転往復駆動アクチュエーター１のコイル４４、４５に、回転軸１１（ミラー１２１）の角度位置が所望の角度位置となるような駆動信号を供給する。これにより、光走査装置Ａは、回転往復駆動アクチュエーター１から所定の走査領域に走査光を出射することができる。
【0067】
本実施の形態に係る回転往復駆動アクチュエーター１は、以下の特徴を有している。
すなわち、回転往復駆動アクチュエーター１は、ミラー部１２（可動対象物）が配置される回転軸１１を含む可動部１０と、回転軸１１を支持する固定部２０と、固定部２０に配置されるコイル４４、４５及びコア４１～４３、並びに回転軸１１に配置されるマグネット３２を有し、電磁相互作用を利用して固定部２０に対して回転軸１１を軸中心に回転させる駆動部３０と、を備える。
また、マグネット３２は、外周面においてＳ極３２ａ及びＮ極３２ｂが周方向に交互に配置されているリング型マグネットであり、コア４１～４３は、コイル４４、４５への通電により励磁され極性を生じる磁極部４１ａ、４２ａを有し、回転軸１１を固定部２０に取り付けたときに、磁極部４１ａ、４２ａとマグネット３２の外周面とがエアギャップＧを介して対向するように配置されており、マグネット３２の磁極の数と磁極部４１ａ、４２ａの数は等しく、マグネット３２とエアギャップＧを介して対向するように固定部２０に配置され、マグネット３２との間で生じる磁気吸引力により回転軸１１の回転角度位置を中立位置に保持する回転角度位置保持部４８をさらに備える。
これにより、コイル４４、４５への通電方向が切り替わる度に、マグネット３２が回転角度位置保持部４８によって磁気吸引され、中立位置（動作基準位置）に戻るように付勢されるので、エネルギー効率及び応答性が良く、かつ高振幅の回転往復駆動が実現される。また、ムービングコイルタイプの回転往復駆動アクチュエーターと比較して、コイルでの発熱が可動対象物に伝わりにくいので、可動対象物がミラーである場合に、ミラーに対して熱による悪影響（接合劣化、反りなど）が及ぶことを回避できる。
すなわち、回転往復駆動アクチュエーター１は、ミラー部１２（可動対象物）が配置される回転軸１１を含む可動部１０と、回転軸１１を支持する固定部２０と、固定部２０に配置されるコイル４４、４５及びコア４１～４３、並びに回転軸１１に配置されるマグネット３２を有し、電磁相互作用を利用して固定部２０に対して回転軸１１を軸中心に回転させる駆動部３０と、を備える。
また、マグネット３２は、外周面においてＳ極３２ａ及びＮ極３２ｂが周方向に交互に配置されているリング型マグネットであり、コア４１～４３は、コイル４４、４５への通電により励磁され極性を生じる磁極部４１ａ、４２ａを有し、回転軸１１を固定部２０に取り付けたときに、磁極部４１ａ、４２ａとマグネット３２の外周面とがエアギャップＧを介して対向するように配置されており、マグネット３２の磁極の数と磁極部４１ａ、４２ａの数は等しく、マグネット３２とエアギャップＧを介して対向するように固定部２０に配置され、マグネット３２との間で生じる磁気吸引力により回転軸１１の回転角度位置を中立位置に保持する回転角度位置保持部４８をさらに備える。
これにより、コイル４４、４５への通電方向が切り替わる度に、マグネット３２が回転角度位置保持部４８によって磁気吸引され、中立位置（動作基準位置）に戻るように付勢されるので、エネルギー効率及び応答性が良く、かつ高振幅の回転往復駆動が実現される。また、ムービングコイルタイプの回転往復駆動アクチュエーターと比較して、コイルでの発熱が可動対象物に伝わりにくいので、可動対象物がミラーである場合に、ミラーに対して熱による悪影響（接合劣化、反りなど）が及ぶことを回避できる。
【0068】
さらに、固定部２０は、軸方向においてマグネット３２を挟んで対向して配置される第１シールド部材５１（第１支持体）及びベース２１の左側壁部２１１（第２支持体）を有し、回転軸１１は、第１軸受５３及び第２軸受２２を介して、第１シールド部材５１及び左側壁部２１１に、回転自在に取り付けられており、第１軸受５３及び第２軸受２２の一方は転がり軸受であり、他方は滑り軸受である。
本実施の形態では、第１軸受５３が滑り軸受であり、第２軸受２２が転がり軸受である。
回転軸１１のマグネット３２が配置されている部分が、第１シールド部材５１と左側壁部２１１によって支持されていることにより、マグネット３２と回転角度位置保持部４８との間の磁気吸引力が大きくなっても、回転軸１１の直線性を確保することができる。つまり、回転軸１１のマグネット３２が配置されている部分が、左側壁部２１１だけで支持され片持ちとなっている場合には、マグネット３２と回転角度位置保持部４８との間の磁気吸引力が大きくなると、回転軸１１が回転角度位置保持部４８側に撓んで直線性が低下する虞があるが、このような問題は生じない。
したがって、マグネット３２を大型化して駆動トルクを増大させ、可動対象物の大型化に対応することができるとともに、マグネット３２を大径化することで、可動対象物の高振幅化を図ることもできる。また、回転軸１１の直線性を確保できるので、駆動性能の安定化を図ることができる。
さらに、第１軸受５３が滑り軸受であることにより、減衰部として機能し、駆動音（可動部１０の共振音）を抑制することができる。なお、第１軸受５３が転がり軸受、第２軸受２２が滑り軸受で構成され、第２軸受２２が減衰部として機能するようにしてもよい。
本実施の形態では、第１軸受５３が滑り軸受であり、第２軸受２２が転がり軸受である。
回転軸１１のマグネット３２が配置されている部分が、第１シールド部材５１と左側壁部２１１によって支持されていることにより、マグネット３２と回転角度位置保持部４８との間の磁気吸引力が大きくなっても、回転軸１１の直線性を確保することができる。つまり、回転軸１１のマグネット３２が配置されている部分が、左側壁部２１１だけで支持され片持ちとなっている場合には、マグネット３２と回転角度位置保持部４８との間の磁気吸引力が大きくなると、回転軸１１が回転角度位置保持部４８側に撓んで直線性が低下する虞があるが、このような問題は生じない。
したがって、マグネット３２を大型化して駆動トルクを増大させ、可動対象物の大型化に対応することができるとともに、マグネット３２を大径化することで、可動対象物の高振幅化を図ることもできる。また、回転軸１１の直線性を確保できるので、駆動性能の安定化を図ることができる。
さらに、第１軸受５３が滑り軸受であることにより、減衰部として機能し、駆動音（可動部１０の共振音）を抑制することができる。なお、第１軸受５３が転がり軸受、第２軸受２２が滑り軸受で構成され、第２軸受２２が減衰部として機能するようにしてもよい。
【0069】
また、第１軸受５３は、回転軸１１が挿通される筒状の胴部５３ｂと、胴部５３ｂの端部に配置されたフランジ部５３ａと、を有し、胴部５３ｂが第１シールド部材５１（第１支持体）に形成された軸受取付部５１ａに嵌入され、フランジ部５３ａが第１シールド部材５１の外側面に係止される。これにより、回転軸１１のマグネット３２が配置される側の端部を、容易に第１シールド部材５１に取り付けることができる。
【0070】
また、第１軸受５３は、樹脂成型品である。これにより、第１軸受５３の形状の自由度が高く、低コストで作製することができる。
また、第１軸受５３は、フッ素樹脂で形成される。これにより、第１軸受５３の環境温度による膨張収縮を抑制でき、また、加工精度が高く、適度な摺動特性を実現することができる。したがって、回転往復駆動アクチュエーター１の高温環境下での使用にも対応できるとともに、回転往復動作を妨げることなく回転軸１１を安定して支持することができ、信頼性が向上する。
また、第１軸受５３は、フッ素樹脂で形成される。これにより、第１軸受５３の環境温度による膨張収縮を抑制でき、また、加工精度が高く、適度な摺動特性を実現することができる。したがって、回転往復駆動アクチュエーター１の高温環境下での使用にも対応できるとともに、回転往復動作を妨げることなく回転軸１１を安定して支持することができ、信頼性が向上する。
【0071】
また、マグネット３２は、２極マグネットであり、マグネット３２の２つの磁極切替部３２ｃ、３２ｄは、マグネット３２が中立位置で保持されているとき、磁極部４１ａ、４２ａと正対する。これにより、マグネット３２、つまり、回転軸１１を含む可動体が、軸回りの一方と他方とに、中立位置から同じ角度範囲で回転往復移動することとなり、駆動トルクを最大化でき、かつ、駆動トルクの向きを安定化できる。
【0072】
また、コア４１～４３及びコイル４４、４５を含むコアユニット３１の軸方向における両側に、電気伝導材からなる第１シールド部材５１及び第２シールド部材５２が配置されている。これにより、外部からコアユニット３１へのノイズの入射及びコアユニット３１から外部へのノイズの出射が抑制されるので、回転往復駆動アクチュエーター１の信頼性が向上する。
なお、第１シールド部材５１及び第２シールド部材５２の一方が設けられていればよく、例えば、第２シールド部材５２は配置されていなくてもよい。
なお、第１シールド部材５１及び第２シールド部材５２の一方が設けられていればよく、例えば、第２シールド部材５２は配置されていなくてもよい。
【0073】
また、第１支持体は、第１シールド部材５１で構成される。つまり、第１シールド部材５１は、コアユニット３１におけるノイズの出入りを抑制するシールドとして機能するとともに、回転軸１１を支持する支持体として機能する。これにより、部品点数を低減でき、省スペース化を図ることができる。なお、第１シールド部材５１とは別に、回転軸１１を支持する支持体を設けてもよい。
【0074】
また、第１シールド部材５１は、アルミ合金で形成される。これにより、設計の自由度が高く、十分な剛性を付与することができるので、第１シールド部材５１を可動部１０の支持体として機能させることができる。
【0075】
また、可動対象物は、走査光を反射するミラー１２１である。これにより、回転往復駆動アクチュエーター１を、光走査を行うスキャナーの用途に使用することができる。
【0076】
また、実施の形態に係る回転往復駆動アクチュエーター１は、以下の特徴も有している。
すなわち、回転往復駆動アクチュエーター１において、固定部２０は、軸方向においてマグネット３２を挟んで対向して配置される第１シールド部材５１（第１支持体）及びベース２１の左側壁部２１１（第２支持体）と、左側壁部２１１とミラー部１２（可動対象物）を挟んで対向して配置される右側壁部２１２（第３支持体）と、を有し、回転軸１１は、第１シールド部材５１、左側壁部２１１及び右側壁部２１２の３か所で、回転自在に支持されている。
回転軸１１のマグネット３２が配置されている部分が、第１シールド部材５１と左側壁部２１１によって２点支持されていることにより、マグネット３２と回転角度位置保持部４８との間の磁気吸引力が大きくなっても、回転軸１１の直線性を確保することができる。また、回転軸１１のミラー部１２が配置されている部分が、左側壁部２１１と右側壁部２１２によって２点支持されていることにより、ミラー部１２が大型化して重量が増加しても、回転軸１１の直線性を確保することができる。
したがって、マグネット３２を大型化して駆動トルクを増大させ、可動対象物の大型化に対応することができるとともに、マグネット３２を大径化することで、可動対象物の高振幅化を図ることもできる。また、回転軸１１の直線性を確保できるので、駆動性能の安定化を図ることができる。
すなわち、回転往復駆動アクチュエーター１において、固定部２０は、軸方向においてマグネット３２を挟んで対向して配置される第１シールド部材５１（第１支持体）及びベース２１の左側壁部２１１（第２支持体）と、左側壁部２１１とミラー部１２（可動対象物）を挟んで対向して配置される右側壁部２１２（第３支持体）と、を有し、回転軸１１は、第１シールド部材５１、左側壁部２１１及び右側壁部２１２の３か所で、回転自在に支持されている。
回転軸１１のマグネット３２が配置されている部分が、第１シールド部材５１と左側壁部２１１によって２点支持されていることにより、マグネット３２と回転角度位置保持部４８との間の磁気吸引力が大きくなっても、回転軸１１の直線性を確保することができる。また、回転軸１１のミラー部１２が配置されている部分が、左側壁部２１１と右側壁部２１２によって２点支持されていることにより、ミラー部１２が大型化して重量が増加しても、回転軸１１の直線性を確保することができる。
したがって、マグネット３２を大型化して駆動トルクを増大させ、可動対象物の大型化に対応することができるとともに、マグネット３２を大径化することで、可動対象物の高振幅化を図ることもできる。また、回転軸１１の直線性を確保できるので、駆動性能の安定化を図ることができる。
【0077】
また、回転軸１１は、第１軸受５３、第２軸受２２及び第３軸受２３を介して、第１シールド部材５１（第１支持体）、ベース２１の左側壁部２１１（第２支持体）及び右側壁部２１２（第３支持体）に、回転自在に取り付けられ、第１軸受５３は、滑り軸受であり、第２軸受２２及び前記第３軸受２３は、転がり軸受である。第２軸受２２及び第３軸受２３が転がり軸受であることにより、可動対象物が装着された回転軸１１を、２か所の転がり軸受で安定して保持することができ、回転往復駆動アクチュエーター１としての耐久性に関して信頼性の向上を図ることができる。また、第１軸受５３がり軸受であることにより、減衰部として機能し、駆動音（可動部１０の共振音）を抑制することができる。なお、駆動性能の安定性の観点からは、第１軸受５３、第２軸受２２及び第３軸受２３を、すべて転がり軸受としてもよい。
【0078】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づいて具体的に説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
【0079】
例えば、実施の形態では、可動対象物がミラー部１２である場合について述べたが、可動対象物はこれに限らない。可動対象物は、例えば、カメラなどの撮像装置であってもよい。
【0080】
また例えば、実施の形態では、回転往復駆動アクチュエーター１を共振駆動する場合について説明したが、本発明は、非共振駆動する場合にも適用できる。
【0081】
また、駆動部３０の構成は、実施の形態で説明したものに限定されない。例えば、コアは、コイルへの通電により励磁され極性を生じる磁極部を有し、回転軸を固定部に取り付けたときに、磁極部とマグネットの外周面とがエアギャップを介して対向するようになっていればよい。また例えば、コイルは、通電したときに、コアの磁極部の一方から他方に向かって好適に磁束を生じさせる構成を有していればよい。
【0082】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【0083】
１ 回転往復駆動アクチュエーター
１０ 可動部
１１ 回転軸
１２ ミラー部（可動対象物）
２０ 固定部
２１ ベース
２１１ 左側壁部（第２支持体）
２１２ 右側壁部（第３支持体）
２２ 第２軸受
２３ 第３軸受
３０ 駆動部
３１ コアユニット
３２ マグネット
４１、４２ 第１コア（コア）
４３ 第２コア（コア）
４４、４５ コイル
４８ 回転角度位置保持部
５１ 第１シールド部材（第１支持体）
５２ 第２シールド部材
５３ 第１軸受
Ａ 光走査装置
１０ 可動部
１１ 回転軸
１２ ミラー部（可動対象物）
２０ 固定部
２１ ベース
２１１ 左側壁部（第２支持体）
２１２ 右側壁部（第３支持体）
２２ 第２軸受
２３ 第３軸受
３０ 駆動部
３１ コアユニット
３２ マグネット
４１、４２ 第１コア（コア）
４３ 第２コア（コア）
４４、４５ コイル
４８ 回転角度位置保持部
５１ 第１シールド部材（第１支持体）
５２ 第２シールド部材
５３ 第１軸受
Ａ 光走査装置
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】