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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022128074
(43)【公開日】2022-09-01
(54)【発明の名称】テーブル案内装置
(51)【国際特許分類】
F16C 29/06 20060101AFI20220825BHJP
H02K 41/02 20060101ALI20220825BHJP
【ＦＩ】
F16C29/06
H02K41/02 C
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021026390
(22)【出願日】2021-02-22
(71)【出願人】
【識別番号】000229335
【氏名又は名称】日本トムソン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100136098
【弁理士】
【氏名又は名称】北野 修平
(74)【代理人】
【識別番号】100137246
【弁理士】
【氏名又は名称】田中 勝也
(72)【発明者】
【氏名】奈良 嗣由
(72)【発明者】
【氏名】佐藤 大輔
【テーマコード（参考）】
3J104
5H641
【Ｆターム（参考）】
3J104AA03
3J104AA25
3J104AA30
3J104AA36
3J104AA67
3J104AA73
3J104AA76
3J104AA78
3J104AA79
3J104BA80
3J104CA02
3J104CA06
3J104CA13
3J104CA18
3J104CA35
3J104DA20
3J104EA04
3J104EA09
5H641GG02
5H641HH03
5H641JA09
(57)【要約】
【課題】搬送ユニットを閉じた軌道の外部に取り出すことが容易なテーブル案内装置を提供する。
【解決手段】テーブル案内装置１は、ベース体１０と、第１レールと、搬送ユニット５０と、昇降ユニット４０と、を備える。昇降ユニット４０は、第１の方向に沿って移動可能なスライドテーブル４１と、スライドテーブル４１に固定される第２レール４４１と、を含む。スライドテーブル４１が第１の方向に沿って移動することにより、第１の端部と第２の端部とが第２レール４４１によって接続されることで閉じた軌道が形成されている状態と、第１の端部と第２の端部との第２レール４４１による接続が解除されている状態とを切り換え可能である。
【選択図】図２
【解決手段】テーブル案内装置１は、ベース体１０と、第１レールと、搬送ユニット５０と、昇降ユニット４０と、を備える。昇降ユニット４０は、第１の方向に沿って移動可能なスライドテーブル４１と、スライドテーブル４１に固定される第２レール４４１と、を含む。スライドテーブル４１が第１の方向に沿って移動することにより、第１の端部と第２の端部とが第２レール４４１によって接続されることで閉じた軌道が形成されている状態と、第１の端部と第２の端部との第２レール４４１による接続が解除されている状態とを切り換え可能である。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
平面状の第１の表面を有するベース体と、
前記第１の表面上に固定され、前記第１の表面に沿って延びる第１転走面を有すると共に間隔をあけて向かい合う第１の端部および第２の端部を有し、閉じた軌道を構成可能な第１レールと、
テーブルを含み、前記第１転走面に対向する第２転走面を有し、前記第１レール上を走行可能な搬送ユニットと、
前記第１転走面および前記第２転走面上を転動可能に配置される複数の転動体と、
前記第１の端部と前記第２の端部との間に配置され、前記第１の表面に交差する方向である第１の方向に沿って前記搬送ユニットを移動可能な昇降ユニットと、を備え、
前記昇降ユニットは、
前記第１の方向に沿って移動可能なスライドテーブルと、
前記スライドテーブルに固定され、前記第２転走面に対向する第３転走面を有する第２レールと、を含み、
前記スライドテーブルが前記第１の方向に沿って移動することにより、前記第１の端部と前記第２の端部とが前記第２レールによって接続されることで閉じた軌道が形成されている状態と、前記第１の端部と前記第２の端部との前記第２レールによる接続が解除されている状態とを切り換え可能である、テーブル案内装置。
前記第１の表面上に固定され、前記第１の表面に沿って延びる第１転走面を有すると共に間隔をあけて向かい合う第１の端部および第２の端部を有し、閉じた軌道を構成可能な第１レールと、
テーブルを含み、前記第１転走面に対向する第２転走面を有し、前記第１レール上を走行可能な搬送ユニットと、
前記第１転走面および前記第２転走面上を転動可能に配置される複数の転動体と、
前記第１の端部と前記第２の端部との間に配置され、前記第１の表面に交差する方向である第１の方向に沿って前記搬送ユニットを移動可能な昇降ユニットと、を備え、
前記昇降ユニットは、
前記第１の方向に沿って移動可能なスライドテーブルと、
前記スライドテーブルに固定され、前記第２転走面に対向する第３転走面を有する第２レールと、を含み、
前記スライドテーブルが前記第１の方向に沿って移動することにより、前記第１の端部と前記第２の端部とが前記第２レールによって接続されることで閉じた軌道が形成されている状態と、前記第１の端部と前記第２の端部との前記第２レールによる接続が解除されている状態とを切り換え可能である、テーブル案内装置。
【請求項2】
前記第１レールの前記第１の端部および前記第２の端部のそれぞれを含む領域には、前記第１の端部および前記第２の端部に向って前記第１レールの幅が小さくなる第１テーパ領域が形成され、
前記第２レールは、前記第１の端部と前記第２の端部とが前記第２レールによって接続されている状態において、前記第１の端部に対向する第３の端部と、前記第２の端部に対向する第４の端部と、を含み、
前記第２レールの前記第３の端部および前記第４の端部のそれぞれを含む領域には、前記第３の端部および前記第４の端部に向って前記第２レールの幅が小さくなる第２テーパ領域が形成されている、請求項１に記載のテーブル案内装置。
前記第２レールは、前記第１の端部と前記第２の端部とが前記第２レールによって接続されている状態において、前記第１の端部に対向する第３の端部と、前記第２の端部に対向する第４の端部と、を含み、
前記第２レールの前記第３の端部および前記第４の端部のそれぞれを含む領域には、前記第３の端部および前記第４の端部に向って前記第２レールの幅が小さくなる第２テーパ領域が形成されている、請求項１に記載のテーブル案内装置。
【請求項3】
前記ベース体の前記第１の表面上に固定されると共に前記第１レールと平行に配置され、前記第１転走面と平行に配置される第４転走面を有し、間隔をあけて向かい合う第５の端部および第６の端部を有する第４レールをさらに備え、
前記搬送ユニットは、前記第４転走面に対向する第５転走面を有し、前記第１レールおよび前記第４レール上を走行し、
前記複数の転動体は、前記第１転走面および前記第２転走面上を転動可能に配置される第１転動体と、前記第４転走面および前記第５転走面上を転動可能に配置される第２転動体とを含み、
前記昇降ユニットは、前記第１の端部と前記第２の端部との間、および前記第５の端部および前記第６の端部との間に配置され、
前記第４レールの前記第５の端部および前記第６の端部は、前記スライドテーブルに固定されるレールによって接続されない、請求項１または請求項２に記載のテーブル案内装置。
前記搬送ユニットは、前記第４転走面に対向する第５転走面を有し、前記第１レールおよび前記第４レール上を走行し、
前記複数の転動体は、前記第１転走面および前記第２転走面上を転動可能に配置される第１転動体と、前記第４転走面および前記第５転走面上を転動可能に配置される第２転動体とを含み、
前記昇降ユニットは、前記第１の端部と前記第２の端部との間、および前記第５の端部および前記第６の端部との間に配置され、
前記第４レールの前記第５の端部および前記第６の端部は、前記スライドテーブルに固定されるレールによって接続されない、請求項１または請求項２に記載のテーブル案内装置。
【請求項4】
前記ベース体の前記第１の表面上に固定されると共に前記第１レールと平行に配置され、前記第１転走面と平行に配置される第４転走面を有し、間隔をあけて向かい合う第５の端部および第６の端部を有する第４レールをさらに備え、
前記搬送ユニットは、前記第４転走面に対向する第５転走面を有し、前記第１レールおよび前記第４レール上を走行し、
前記複数の転動体は、前記第１転走面および前記第２転走面上を転動可能に配置される第１転動体と、前記第４転走面および前記第５転走面上を転動可能に配置される第２転動体とを含み、
前記昇降ユニットは、前記第１の端部と前記第２の端部との間、および前記第５の端部および前記第６の端部との間に配置され、
前記第４レールの前記第５の端部および前記第６の端部は、前記スライドテーブルに固定されるレールによって接続されず、
前記第４レールの前記第５の端部および前記第６の端部のそれぞれを含む領域には、前記第５の端部および前記第６の端部に向って前記第４レールの幅が小さくなる第３テーパ領域が形成されており、
前記第３テーパ領域は、前記第１の端部と前記第２の端部とをつなぐ方向において、前記第１の端部と前記第２の端部との間に位置している、請求項２に記載のテーブル案内装置。
前記搬送ユニットは、前記第４転走面に対向する第５転走面を有し、前記第１レールおよび前記第４レール上を走行し、
前記複数の転動体は、前記第１転走面および前記第２転走面上を転動可能に配置される第１転動体と、前記第４転走面および前記第５転走面上を転動可能に配置される第２転動体とを含み、
前記昇降ユニットは、前記第１の端部と前記第２の端部との間、および前記第５の端部および前記第６の端部との間に配置され、
前記第４レールの前記第５の端部および前記第６の端部は、前記スライドテーブルに固定されるレールによって接続されず、
前記第４レールの前記第５の端部および前記第６の端部のそれぞれを含む領域には、前記第５の端部および前記第６の端部に向って前記第４レールの幅が小さくなる第３テーパ領域が形成されており、
前記第３テーパ領域は、前記第１の端部と前記第２の端部とをつなぐ方向において、前記第１の端部と前記第２の端部との間に位置している、請求項２に記載のテーブル案内装置。
【請求項5】
前記昇降ユニットは、前記スライドテーブルに固定され、前記第２レールと前記第１の方向に間隔をあけて平行に配置され、前記第３転走面を有する第３レールをさらに含み、
前記スライドテーブルが前記第１の方向に沿って移動することにより、前記第１の端部と前記第２の端部とを、前記第２レールが接続することで閉じた軌道を形成する状態と、前記第３レールが接続することで閉じた軌道を形成する状態とが切り換えられ、前記複数の転動体は前記第２転走面および前記第３転走面上を転動可能である、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のテーブル案内装置。
前記スライドテーブルが前記第１の方向に沿って移動することにより、前記第１の端部と前記第２の端部とを、前記第２レールが接続することで閉じた軌道を形成する状態と、前記第３レールが接続することで閉じた軌道を形成する状態とが切り換えられ、前記複数の転動体は前記第２転走面および前記第３転走面上を転動可能である、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のテーブル案内装置。
【請求項6】
前記昇降ユニットは、
前記第２レールに沿って延び、長手方向に間隔をあけて配置される複数のコイルを有する第１固定子モジュールと、
前記第３レールに沿って延び、長手方向に間隔をあけて配置される複数のコイルを有する第２固定子モジュールと、をさらに含み、
前記搬送ユニットは、前記第１固定子モジュールおよび前記第２固定子モジュールのいずれか一方の前記複数のコイルに対向する複数の磁石を有すると共に、前記テーブルに固定される磁石ユニットをさらに含み、
前記搬送ユニットは、前記複数のコイルと前記複数の磁石との間の磁力によって、前記第２レールおよび前記第３レールのいずれか一方を走行する、請求項５に記載のテーブル案内装置。
前記第２レールに沿って延び、長手方向に間隔をあけて配置される複数のコイルを有する第１固定子モジュールと、
前記第３レールに沿って延び、長手方向に間隔をあけて配置される複数のコイルを有する第２固定子モジュールと、をさらに含み、
前記搬送ユニットは、前記第１固定子モジュールおよび前記第２固定子モジュールのいずれか一方の前記複数のコイルに対向する複数の磁石を有すると共に、前記テーブルに固定される磁石ユニットをさらに含み、
前記搬送ユニットは、前記複数のコイルと前記複数の磁石との間の磁力によって、前記第２レールおよび前記第３レールのいずれか一方を走行する、請求項５に記載のテーブル案内装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、テーブル案内装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
ベース体と、ベース板上に固定されるレールと、レール上を走行可能であると共にテーブルを含む搬送ユニットと、を備えるテーブル案内装置が知られている（たとえば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】国際公開第２０１９／００９１０５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上記特許文献１では、直線部と曲線部とによりレールが閉じた軌道を形成し、搬送ユニットはレール上を走行する。このように閉じられた軌道において、搬送ユニットを軌道外に取り出すことが困難となる場合がある。そこで、搬送ユニットを閉じた軌道の外部に取り出すことが容易なテーブル案内装置を提供することを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本開示に従ったテーブル案内装置は、平面状の第１の表面を有するベース体と、第１の表面上に固定され、第１の表面に沿って延びる第１転走面を有すると共に間隔をあけて向かい合う第１の端部および第２の端部を有し、閉じた軌道を構成可能な第１レールと、テーブルを含み、第１転走面に対向する第２転走面を有し、第１レール上を走行可能な搬送ユニットと、第１転走面および第２転走面上を転動可能に配置される複数の転動体と、第１の端部と第２の端部との間に配置され、第１の表面に交差する方向である第１の方向に沿って搬送ユニットを移動可能な昇降ユニットと、を備える。昇降ユニットは、第１の方向に沿って移動可能なスライドテーブルと、スライドテーブルに固定され、第２転走面に対向する第３転走面を有する第２レールと、を含む。スライドテーブルが第１の方向に沿って移動することにより、第１の端部と第２の端部とが第２レールによって接続されることで閉じた軌道が形成されている状態と、第１の端部と第２の端部との第２レールによる接続が解除されている状態とを切り換え可能である。
【発明の効果】
【0006】
上記テーブル案内装置によれば、搬送ユニットを閉じた軌道の外部に取り出すことが容易となる。
【図面の簡単な説明】
【0007】
【発明を実施するための形態】
【0008】
［実施形態の概要］
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。本開示のテーブル案内装置は、平面状の第１の表面を有するベース体と、第１の表面上に固定され、第１の表面に沿って延びる第１転走面を有すると共に間隔をあけて向かい合う第１の端部および第２の端部を有し、閉じた軌道を構成可能な第１レールと、テーブルを含み、第１転走面に対向する第２転走面を有し、第１レール上を走行可能な搬送ユニットと、第１転走面および第２転走面上を転動可能に配置される複数の転動体と、第１の端部と第２の端部との間に配置され、第１の表面に交差する方向である第１の方向に沿って搬送ユニットを移動可能な昇降ユニットと、を備える。昇降ユニットは、第１の方向に沿って移動可能なスライドテーブルと、スライドテーブルに固定され、第２転走面に対向する第３転走面を有する第２レールと、を含む。スライドテーブルが第１の方向に沿って移動することにより、第１の端部と第２の端部とが第２レールによって接続されることで閉じた軌道が形成されている状態と、第１の端部と第２の端部との第２レールによる接続が解除されている状態とを切り換え可能である。
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。本開示のテーブル案内装置は、平面状の第１の表面を有するベース体と、第１の表面上に固定され、第１の表面に沿って延びる第１転走面を有すると共に間隔をあけて向かい合う第１の端部および第２の端部を有し、閉じた軌道を構成可能な第１レールと、テーブルを含み、第１転走面に対向する第２転走面を有し、第１レール上を走行可能な搬送ユニットと、第１転走面および第２転走面上を転動可能に配置される複数の転動体と、第１の端部と第２の端部との間に配置され、第１の表面に交差する方向である第１の方向に沿って搬送ユニットを移動可能な昇降ユニットと、を備える。昇降ユニットは、第１の方向に沿って移動可能なスライドテーブルと、スライドテーブルに固定され、第２転走面に対向する第３転走面を有する第２レールと、を含む。スライドテーブルが第１の方向に沿って移動することにより、第１の端部と第２の端部とが第２レールによって接続されることで閉じた軌道が形成されている状態と、第１の端部と第２の端部との第２レールによる接続が解除されている状態とを切り換え可能である。
【0009】
本開示のテーブル案内装置は、スライドテーブルと第２レールとを含む昇降ユニットを備える。スライドテーブルが第１の方向に沿って移動することによって、第１レールにおける第１の端部と第２の端部とが第２レールによって接続されている状態と、第１の端部と第２の端部との第２レールによる接続が解除されている状態とを切り換えることができる。第１の端部と第２の端部とが第２レールによって接続されることで、閉じた軌道が形成される。例えば、搬送ユニットを第１レールから第２レールに乗り移らせ、スライドテーブルを移動させることで、搬送ユニットを閉じた軌道の外部に取り出すことができる。したがって、本開示のテーブル案内装置によれば、搬送ユニットを閉じた軌道の外部に取り出すことが容易となる。
【0010】
上記テーブル案内装置において、第１レールの第１の端部および第２の端部のそれぞれを含む領域には、第１の端部および第２の端部に向って第１レールの幅が小さくなる第１テーパ領域が形成されてもよい。第２レールは、第１の端部と第２の端部とが第２レールによって接続されている状態において、第１の端部に対向する第３の端部と、第２の端部に対向する第４の端部と、を含んでもよい。第２レールの第３の端部および第４の端部のそれぞれを含む領域には、第３の端部および第４の端部に向って第２レールの幅が小さくなる第２テーパ領域が形成されてもよい。このような構成を採用することで、第１レールから昇降ユニットのレールに乗り移る際の位置ずれや衝撃を吸収することができる。したがって、搬送ユニットをスムーズに昇降ユニットに乗り移らせることができる。
【0011】
上記テーブル案内装置において、ベース体の第１の表面上に固定されると共に第１レールと平行に配置され、第１転走面と平行に配置される第４転走面を有し、間隔をあけて向かい合う第５の端部および第６の端部を有する第４レールをさらに備えてもよい。搬送ユニットは、第４転走面に対向する第５転走面を有し、第１レールおよび第４レール上を走行してもよい。複数の転動体は、第１転走面および第２転走面上を転動可能に配置される第１転動体と、第４転走面および第５転走面上を転動可能に配置される第２転動体とを含んでもよい。昇降ユニットは、第１の端部と第２の端部との間、および第５の端部および第６の端部との間に配置されてもよい。第４レールの第５の端部および第６の端部は、スライドテーブルに固定されるレールによって接続されなくてもよい。昇降ユニットに第４レールの第５の端部および第６の端部に接続されるレールを省略することで、昇降ユニットの軽量化を図ることができる。
【0012】
上記テーブル案内装置において、ベース体の第１の表面上に固定されると共に第１レールと平行に配置され、第１転走面と平行に配置される第４転走面を有し、間隔をあけて向かい合う第５の端部および第６の端部を有する第４レールをさらに備えてもよい。搬送ユニットは、第４転走面に対向する第５転走面をさらに有し、第１レールおよび第４レール上を走行してもよい。複数の転動体は、第１転走面および第２転走面上を転動可能に配置される第１転動体と、第４転走面および第５転走面上を転動可能に配置される第２転動体とを含んでもよい。昇降ユニットは、第１の端部と第２の端部との間、および第５の端部および第６の端部との間に配置されてもよい。第４レールの第５の端部および第６の端部は、スライドテーブルに固定されるレールによって接続されなくてもよい。第４レールの第５の端部および第６の端部のそれぞれを含む領域には、第５の端部および第６の端部に向って第４レールの幅が小さくなる第２テーパ領域が形成されてもよい。第２テーパ領域は、第１の端部と第２の端部とをつなぐ方向において、第１の端部と第２の端部との間に位置してもよい。このような構成を採用することで、搬送ユニットから第１レールに対して無負荷の状態となるタイミングと、搬送ユニットから第４レールに対して無負荷の状態となるタイミングとをずらすことができる。したがって、搬送ユニットを昇降ユニットにスムーズに乗り移らせることができる。
【0013】
上記テーブル案内装置において、昇降ユニットは、スライドテーブルに固定され、第２レールと第１の方向に間隔をあけて平行に配置され、第３転走面を有する第３レールをさらに含んでもよい。スライドテーブルが第１の方向に沿って移動することにより、第１の端部と第２の端部とを、第２レールが接続することで閉じた軌道を形成する状態と、第３レールが接続することで閉じた軌道を形成する状態とが切り換えられてもよい。複数の転動体は第２転走面および第３転走面上を転動可能であってもよい。例えば、第１レールにおける第１の端部と第２の端部とを第２レールが接続されている状態で搬送ユニットを第１レールから第２レールに乗り移らせる。そして、第１レールにおける第１の端部と第２の端部とを第３レールが接続するようにスライドテーブルを移動させることで、搬送ユニットを閉じた軌道の外部に取り出すことができる。また、第３レールによって第１の端部と第２の端部とは接続されるため、他の搬送ユニットは第３レール上を走行することができる。したがって、レールの閉じた軌道を維持しつつ、搬送ユニットを閉じた軌道の外部に取り出すことができる。
【0014】
上記テーブル案内装置において、昇降ユニットは、第２レールに沿って延び、長手方向に間隔をあけて配置される複数のコイルを有する第１固定子モジュールと、第３レールに沿って延び、長手方向に間隔をあけて配置される複数のコイルを有する第２固定子モジュールと、をさらに含んでもよい。搬送ユニットは、第１固定子モジュールおよび第２固定子モジュールのいずれか一方の複数のコイルに対向する複数の磁石を有すると共に、テーブルに固定される磁石ユニットをさらに含んでもよい。搬送ユニットは、複数のコイルと複数の磁石との間の磁力によって、第２レールおよび第３レールのいずれか一方を走行してもよい。このような構成を採用することで、複数のコイルと複数の磁石との間の磁力によって搬送ユニットを走行させることができる。
【0015】
［実施形態の具体例］
次に、本開示のテーブル案内装置の具体的な実施の形態の一例を、図面を参照しつつ説明する。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。
次に、本開示のテーブル案内装置の具体的な実施の形態の一例を、図面を参照しつつ説明する。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。
【0016】
図１は、本開示の一実施の形態におけるテーブル案内装置の構造を示す概略斜視図である。図１において、Ｘ軸方向はベース体の長辺に沿った方向であり、Ｙ軸方向はベース体の短辺に沿った方向であり、Ｚ軸方向はベース体の第１の表面（Ｘ－Ｙ平面）に垂直な方向である。図２は、テーブル案内装置の一部の構造を示す概略斜視図である。図３は、図１におけるテーブル案内装置の第１支持部材、第１支持部材に取り付けられた固定子モジュールと、第２支持部材と、第２支持部材に取り付けられた外側レール、内側レールおよび中間レールと、昇降ユニットと、搬送ユニットと、を取り外した状態に対応する平面図である。図１および図２を参照して、テーブル案内装置１は、ベース体としてのベース板１０と、第１レールとしての内側レール２３１，２３２と、第４レールとしての外側レール２１１，２１２と、中間レール２２１，２２２と、固定子モジュール３０１，３０２と、昇降ユニット４０と、搬送ユニット５０と、を含む。本実施の形態におけるテーブル案内装置１は、例えば、搬送対象物を搬送ユニット５０に載置した状態で走行させることで、対象物に対して機械加工や組立て作業を行う装置である。
【0017】
本実施の形態におけるベース板１０は、架台６０に固定されている。ベース板１０は、平板状の形状を有する。Ｚ軸方向に平面的に見て、ベース板１０は、長方形状の形状を有する。ベース板１０には、厚み方向（Ｚ軸方向）に貫通する貫通孔１０１が形成されている。
【0018】
図２を参照して、ベース板１０の一方の主表面である第１の表面１０Ａ上に、内側レール２３１、中間レール２２１および外側レール２１１が固定されている。図３を参照して、中間レール２２１は、環状の形状を有する。外側レール２１１は、第１部分２１１Ａと、第２部分２１１Ｂとを含む。第１部分２１１Ａおよび第２部分２１１Ｂは、直線状に延びる形状を有する。第１部分２１１Ａおよび第２部分２１１Ｂは、Ｘ軸方向に沿って配置されている。第１部分２１１Ａと第２部分２１１Ｂとは、Ｙ軸方向に間隔をあけて平行に配置されている。第１部分２１１ＡのＸ軸方向における長さは、第２部分２１１ＢのＸ軸方向における長さよりも短い。第１部分２１１Ａおよび第２部分２１１Ｂは、中間レール２２１の外周側に配置される。
【0019】
内側レール２３１は、第３部分２３１Ａと第４部分２３１Ｂとを含む。第３部分２３１Ａおよび第４部分２３１Ｂは、直線状に延びる形状を有する。第３部分２３１Ａおよび第４部分２３１Ｂは、Ｘ軸方向に沿って配置されている。第３部分２３１Ａと第４部分２３１Ｂとは、Ｙ軸方向に間隔をあけて平行に配置されている。第３部分２３１ＡのＸ軸方向における長さは、第４部分２３１ＢのＸ軸方向における長さよりも短い。第３部分２３１Ａおよび第４部分２３１Ｂは、中間レール２２１の内周側に配置される。
【0020】
中間レール２２１は、第５部分２２３Ａと、第６部分２２３Ｂと、第７部分２２５Ａと、第８部分２２５Ｂと、を含む。第５部分２２３Ａおよび第６部分２２３Ｂは、直線状に延びる形状を有する。第５部分２２３Ａおよび第６部分２２３Ｂは、Ｘ軸方向に沿って配置されている。第５部分２２３Ａと第６部分２２３Ｂとは、Ｙ軸方向に間隔をあけて平行に配置されている。第５部分２２３Ａは、Ｙ軸方向において第１部分２１１Ａと第３部分２３１Ａとの間に配置されている。第６部分２２３Ｂは、Ｙ軸方向において第２部分２１１Ｂと第４部分２３１Ｂとの間に配置されている。第７部分２２５Ａは、第５部分２２３Ａの一方の端部と第６部分２２３Ｂの一方の端部とを接続する。第８部分２２５Ｂは、第５部分２２３Ａの他方の端部と第６部分２２３Ｂの他方の端部とを接続する。
【0021】
図４は、外側レール２１１、内側レール２３１および中間レール２２１を図３中のＡ－Ａで切断した状態を示す断面図である。図４および図５を参照して、第１部分２１１Ａおよび第２部分２１１Ｂは、Ｘ軸方向に沿って延びる一対の溝２５Ａ，２５Ｂを有する。溝２５Ａは、Ｘ軸方向に沿って延びる面２５１，２５２と、面２５１と面２５２とを接続する面２５３とによって取り囲まれる。溝２５Ｂは、Ｘ軸方向に沿って延びる面２５４，２５５と、面２５４と面２５５とを接続する面２５６とによって取り囲まれる。図４および図５を参照して、第３部分２３１Ａおよび第４部分２３１Ｂは、Ｘ軸方向に沿って延びる溝２４Ａ，２４Ｂを有する。溝２４Ａは、Ｘ軸方向に沿って延びる平面状の面２４１，２４２と、面２４１と面２４２とを接続する面２４３とによって取り囲まれる。溝２４Ｂは、Ｘ軸方向に沿って延びる平面状の面２４４，２４５と、面２４４と面２４５とを接続する面２４６とによって取り囲まれる。
【0022】
図７は、第１部分２１１Ａ、第３部分２３１Ａおよび第５部分２２３Ａの構造を示す概略平面図である。図７には、後述する第２レール４４１および搬送ユニット５０が併せて図示されている。図７を参照して、第３部分２３１Ａは、Ｘ軸方向に間隔をあけて向かい合う第１の端部としての端部２３Ａと、第２の端部としての端部２３Ｂとを有する。第１部分２１１Ａは、Ｘ軸方向に間隔をあけて向かい合う第５の端部としての端部２１Ａと、第６の端部としての端部２１Ｂとを有する。第５部分２２３Ａは、Ｘ軸方向に間隔をあけて向かい合う端部２２Ａと、端部２２Ｂとを有する。第１部分２１１Ａの端部２１Ａ，２１Ｂは、Ｘ軸方向において第３部分２３１Ａの端部２３Ａと端部２３Ｂとの間に位置している。本実施の形態において、第５部分２２３Ａの端部２２Ａ，２２Ｂと、第３部分２３１Ａの端部２３Ａ，２３Ｂとは、Ｘ軸方向において同じ位置に位置している。Ｚ軸方向に平面的に見て、第３部分２３１Ａの端部２３Ａと端部２３Ｂとの間、第５部分２２３Ａの端部２２Ａと端部２２Ｂとの間、および第１部分２１１Ａの端部２１Ａと端部２１Ｂとの間に、ベース板１０の貫通孔１０１が形成されている。
【0023】
図８は、図７中の第１部分２１１Ａ、第３部分２３１Ａおよび第５部分２２３Ａを拡大して示す概略平面図である。図７および図８を参照して、第３部分２３１Ａの端部２３Ａ，２３Ｂを含むそれぞれの領域には、端部２３Ａ，２３Ｂに向かって第３部分２３１Ａの幅（Ｙ軸方向における長さＬ１）が小さくなる一対の第１テーパ領域２０３Ａが形成されている。第１部分２１１Ａの端部２１Ａ，２１Ｂを含むそれぞれの領域には、端部２１Ａ，２１Ｂに向かって第１部分２１１Ａの幅（Ｙ軸方向における長さＬ２）が小さくなる一対の第３テーパ領域２０１Ａが形成されている。一対の第３テーパ領域２０１Ａは、第３部分２３１Ａの端部２３Ａと端部２３Ｂとをつなぐ方向（Ｘ軸方向）において、端部２３Ａと端部２３Ｂとの間に位置している。一方の第３テーパ領域２０１Ａは、第３部分２３１Ａの端部２３Ａを含むＹ－Ｚ平面から見て端部２３Ｂ側に位置している。他方の第３テーパ領域２０１Ａは、内側レール２３１，２３２における端部２３Ｂを含むＹ－Ｚ平面から見て端部２３Ａ側に位置している。
【0024】
図９は、図３中の領域αを拡大して示す平面図である。図３、図７および図９を参照して、第１部分２１１Ａは、Ｘ軸方向における端部２１Ｂとは反対側の端部２１Ｃを含む領域には、端部２１Ｃに向かって第１部分２１１ＡのＹ軸方向の長さが小さくなるテーパ領域２０１Ｂが形成されている。第３部分２３１Ａは、Ｘ軸方向における端部２３Ｂとは反対側の端部２３Ｃを含む領域には、端部２３Ｃに向かって第３部分２３１ＡのＹ軸方向の長さが小さくなるテーパ領域２０３Ｂが形成されている。
【0025】
図３および図４を参照して、第６部分２２３ＢのＸ軸方向に垂直な断面は、長方形状の形状を有する。第６部分２２３Ｂは、Ｘ軸方向に沿って延びる側面２２１Ａ，２２１Ｂを有する。第５部分２２３ＡのＸ軸方向に垂直な断面の形状は、第６部分２２３ＢのＸ軸方向に垂直な断面の形状と同一である。
【0026】
図１０を参照して、第７部分２２５Ａおよび第８部分２２５Ｂは、本体部３１と、本体部３１から内周側に突出する突出部３２Ａと、本体部３１から外周側に突出する突出部３２Ｂと、を含む。突出部３２Ａは、周方向に沿って延びる面２６１と、周方向に沿って延びると共に面２６１と交差する面２６２と、を含む。突出部３２Ｂは、周方向に沿って延びる面２６３と、周方向に沿って延びると共に面２６３に交差する面２６４と、を含む。図３および図９を参照して、第８部分２２５Ｂの第５部分２２３Ａに接続される側の端部２２Ｃを含む領域には、端部２２Ｃに向って第８部分２２５ＢのＹ軸方向の長さが小さくなるテーパ領域２２４が形成されている。第８部分２２５Ｂの第６部分２２３Ｂに接続される側の端部２２Ｄを含む領域には、テーパ領域２２４が形成されている。第７部分２２５Ａの第６部分２２３Ｂに接続される側の端部２２Ｆを含む領域には、テーパ領域２２４が形成されている。第７部分２２５Ａの第５部分２２３Ａに接続される側の端部２２Ｅを含む領域には、テーパ領域２２４が形成されている。
【0027】
図１および図２を参照して、内側レール２３１と内側レール２３２とは、同一の形状を有する。外側レール２１１と外側レール２１２とは、同一の形状を有する。中間レール２２１と中間レール２２２とは、同一の形状を有する。
【0028】
図１および図２を参照して、ベース板１０の第１の表面１０Ａ上に第１支持部材１１ａ，１１ｂ，１１ｃが固定されている。第１支持部材１１ａ，１１ｂは、直方体状の形状を有する。第１支持部材１１ａ，１１ｂは、Ｚ軸方向に間隔をあけて平行に配置される上面から下面までを貫通する貫通孔が形成されている。第１支持部材１１ａと第１支持部材１１ｂとは、Ｘ軸方向に間隔をあけて配置される。Ｘ軸方向において第１支持部材１１ａと第１支持部材１１ｂとの間に、平板状の第１支持部材１１ｃが配置されている。第１支持部材１１ａにおける一方の側面と、第１支持部材１１ｂにおける一方の側面とを接続するように第１支持部材１１ｃが配置される。第１支持部材１１ａと第１支持部材１１ｂとの間には、空間１１１が形成されている。
【0029】
第１支持部材１１ａ，１１ｂ，１１ｃを取り囲むように第２支持部材１２がベース板１０に設置されている。第２支持部材１２は、平板状の板状部１２ａと、脚部１２ｂとを含む。板状部１２ａは、脚部１２ｂを挟んでベース板１０に固定されている。図２を参照して、板状部１２ａは、Ｘ軸方向に間隔をあけて向かい合う端面１２Ａと端面１２Ｂとを有する。板状部１２ａの端面１２Ａと端面１２Ｂとの間には空間１２１が形成されている。
【0030】
板状部１２ａの一方の主表面上に、内側レール２３２、中間レール２２２および外側レール２１２が固定されている。内側レール２３１、中間レール２２１および外側レール２１１と、内側レール２３２、中間レール２２２および外側レール２１２とは、Ｚ軸方向に間隔をあけて配置されている。内側レール２３１，２３２に沿って固定子モジュール３０１，３０２が環状に複数配置されている。固定子モジュール３０１，３０２は、第１支持部材１１ａ，１１ｂに固定されている。内側レール２３１，２３２と固定子モジュール３０１，３０２とはＺ軸方向に間隔をあけて平行に配置されている。固定子モジュール３０１，３０２は、等間隔に配置される複数のコイル３０１ａ、３０２ａを有する。固定子モジュール３０１，３０２は、Ｘ軸方向に間隔をあけて向かい合う端部３０Ａと、端部３０Ｂとを有する。
【0031】
図１および図２を参照して、昇降ユニット４０は、第１支持部材１１ａと第１支持部材１１ｂとの間に形成されている空間１１１と、板状部１２ａの端面１２Ａと端面１２Ｂとの間に形成されている空間１２１と、ベース板１０の貫通孔１０１に対応する位置に配置されている。図２および図７を参照して、昇降ユニット４０は、Ｘ軸方向において内側レール２３１，２３２における第３部分２３１Ａの端部２３Ａと端部２３Ｂとの間、中間レール２２１，２２２における第５部分２２３Ａの端部２２Ａと端部２２Ｂとの間、および外側レール２１１，２１２における第１部分２１１Ａの端部２１Ａと端部２１Ｂとの間に配置されている。
【0032】
図１１は、昇降ユニット４０の構造を示す概略斜視図である。図１２は、図１１に示す昇降ユニット４０をＸ軸方向から見た状態に対応する側面図である。図１１、図１２を参照して、昇降ユニット４０は、スライドテーブル４１と、スライダ４２Ａ，４２Ｂと、ベッド４３と、第２レール４４１と、第３レール４４２と、第５レール４４３と、第１固定子モジュール４５１と、第２固定子モジュール４５２と、第３固定子モジュール４５３と、を含む。
【0033】
スライドテーブル４１は、Ｙ軸方向に平面的に見て、長方形状の形状を有する。スライドテーブル４１の長辺は、Ｚ軸方向に沿って配置される。スライドテーブル４１は、直方体状の台座部４０１Ａ，４０１Ｂ，４０１Ｃを有する。台座部４０１Ａ，４０１Ｂ，４０１Ｃは、Ｚ軸方向に間隔をあけて配置される。台座部４０１Ａ，４０１Ｂ，４０１Ｃは、Ｘ軸方向に沿って延びる。スライドテーブル４１には、支持部４１１を挟んで一対のスライダ４２Ａ，４２Ｂが固定されている。スライダ４２Ａ，４２Ｂは、後述するスライダ５１と同様の構成を有する直動転がり軸受を採用することができ、転動体としてはころ又は玉を採用することができる。
【0034】
スライダ４２Ａ，４２Ｂから見て、スライドテーブル４１とは反対側にベッド４３が配置されている。ベッド４３は、ベース板１０に固定されている。ベッド４３は、Ｙ軸方向に平面的に見て長方形状の形状を有する。ベッド４３の長辺は、Ｚ軸方向に沿って配置される。ベッド４３は、Ｚ軸方向に沿って延びるレール４３Ａを有する。スライダ４２Ａ，４２Ｂは、レール４３Ａ上を走行可能である。ベッド４３は、らせん状のねじ溝が外周面に形成されている軸（図示せず）を有する。軸は、Ｚ軸方向に沿って延びる。軸は、例えばＡＣサーボモータにカップリングを介して接続される。軸が挿通するようにねじ込まれたナット部（図示せず）が支持部４１１に固定されている。軸がナット部にねじ込まれることで、スライドテーブル４１がＺ軸方向に沿って移動することができる。本実施の形態においてスライドテーブル４１は金属製である。スライドテーブル４１を構成する材料として、鋼やアルミニウムを採用することができる。スライドテーブル４１を構成する材料として、昇降ユニット４０を軽量にする観点から、炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ）を採用してもよい。
【0035】
図１３を参照して、昇降ユニット４０は、センサ部４６をさらに含む。センサ部４６は、センサレール４６１と、一対のリミットセンサ４６２，４６３と、原点センサ４６４と、を含む。センサレール４６１は、ベッド４３に固定されている。リミットセンサ４６２，４６３は、Ｚ軸方向に間隔をあけて配置されている。リミットセンサ４６２，４６３は、センサレール４６１に固定されている。リミットセンサ４６２と、リミットセンサ４６３との間に原点センサ４６４が配置されている。本実施の形態において、リミットセンサ４６２，４６３と、原点センサ４６４とは、例えばフォトセンサである。リミットセンサ４６２，４６３を基準として、スライドテーブル４１はレール４３Ａ上を走行することができる。原点センサ４６４を有することで、電源投入時にスライドテーブル４１を原点となる位置に配置させることができる。なお、スライドテーブル４１や支持部４１１等に当接して、スライドテーブル４１の移動範囲を制限するメカストッパを設けてもよい。メカストッパは、例えばウレタン樹脂を有するストッパボルトを含んでもよい。ストッパボルトは、金属製のピンのスライドテーブル４１が当接する位置にウレタン樹脂が配置されている。ウレタン樹脂は、金属製のピンに対して焼付が実施されることで形成される。
【0036】
図１１および図１２を参照して、第２レール４４１、第３レール４４２および第５レール４４３は、直線状に延びる形状を有する。第２レール４４１と、第３レール４４２と、第５レール４４３とは、Ｘ軸方向に沿って延びる。第２レール４４１と、第３レール４４２と、第５レール４４３とは、Ｚ軸方向に間隔をあけて平行に配置される。第２レール４４１は、Ｘ軸方向に沿って延びる一対の溝４７Ａ，４７Ｂを有する。溝４７Ａは、Ｘ軸方向に沿って平行に延びる面４０Ａ，４０Ｂと、面４０Ａと面４０Ｂとを接続する面４０Ｃとによって取り囲まれる。溝４７Ｂは、Ｘ軸方向に沿って平行に延びる面４０Ｄ，４０Ｅと、面４０Ｄと面４０Ｅとを接続する面４０Ｆとによって取り囲まれる。第３レール４４２と第５レール４４３とは、第２レール４４１と同様の構成を有する。第２レール４４１は、台座部４０１Ａに固定されている。第３レール４４２は、台座部４０１Ｂに固定されている。第５レール４４３は、台座部４０１Ｃに固定されている。図７を参照して、第２レール４４１、第３レール４４２および第５レール４４３のそれぞれは、スライドテーブル４１がＺ軸方向に移動することによって、内側レール２３１における第３部分２３１Ａの端部２３Ａと端部２３Ｂとを接続することができる。第２レール４４１が内側レール２３１の端部２３Ａと端部２３Ｂとを接続する場合、第２レール４４１、内側レール２３１、外側レール２１１および中間レール２２１によって閉じた軌道が形成される。第３レール４４２および第５レール４４３についても同様である。
【0037】
図７および図８を参照して、第２レール４４１は、第２レール４４１が延びる方向において、一方の端部６１と、他方の端部６２とを含む。端部６１は第３の端部であり、端部６２は第４の端部である。第３部分２３１Ａの端部２３Ａと端部２３Ｂとが第２レール４４１によって接続されている状態において、第２レール４４１の端部６１は第３部分２３１Ａの端部２３Ａに対向すると共に、第２レール４４１の端部６２は第３部分２３１Ａの端部２３Ｂに対向する。第２レール４４１の端部６１を含む領域には、端部６１に向って第２レール４４１の幅が小さくなる第２テーパ領域６３が形成されている。第２レール４４１の端部６３を含む領域には、端部６２に向かって第２レール４４１の幅が小さくなる第２テーパ領域６３が形成されている。なお、図８において、第２レール４４１のＬ１を示す破線と重なる領域の図示を省略している。第３レール４４２および第５レール４４３は、第２レール４４１と同様の構成を有する。
【0038】
第１固定子モジュール４５１は、第２レール４４１に沿って配置されている。第１固定子モジュール４５１と第２レール４４１とはＺ軸方向に間隔をあけて配置される。第２固定子モジュール４５２は、第３レール４４２に沿って配置されている。第２固定子モジュール４５２と第３レール４４２とはＺ軸方向に間隔をあけて配置される。第３固定子モジュール４５３は、第５レール４４３に沿って配置されている。第３固定子モジュール４５３と第５レール４４３とはＺ軸方向に間隔をあけて配置される。第１固定子モジュール４５１、第２固定子モジュール４５２および第３固定子モジュール４５３は、それぞれＸ軸方向に等間隔に配置される複数のコイル４５１ａ，４５２ａ，４５３ａを有する。
【0039】
図１１、図１２および図１４を参照して、搬送ユニット５０は、テーブル５０１と、スライダ５１，５２Ａ，５２Ｂと、キャスタ５３と、磁石ユニット５６と、を含む。テーブル５０１は、平板状の形状を有する。テーブル５０１の一方の主表面５０１Ａ上に磁石ユニット５６が固定されている。テーブル５０１の他方の主表面５０１Ｂ上にスライダ５１，５２Ａ，５２Ｂおよびキャスタ５３が固定されている。スライダ５１は、接続部５０２を挟んでテーブル５０１に固定されている。スライダ５２Ａ，５２Ｂとスライダ５１とはＹ軸方向に間隔をあけて配置される。スライダ５２Ａ，５２Ｂは、接続部５０３を挟んでテーブル５０１に固定されている。スライダ５２Ａとスライダ５２ＢとはＸ軸方向に並んで配置される。磁石ユニット５６は、Ｚ軸方向に間隔をあけて配置される一対の磁石５５Ａ，５５Ｂと位置検出センサ５４とを有する。
【0040】
図１４、図１９を参照して、キャスタ５３は、Ｙ軸方向に間隔をあけて配置される一対のローラ５３２Ａ，５３２Ｂと、ローラ５３３Ａ，５３３Ｂとを含む。ローラ５３２Ａ，５３２Ｂは、接続部５３１Ａに固定されている。ローラ５３３Ａ，５３３Ｂは、接続部５３１Ｂに固定されている。接続部５３１Ａ，５３１Ｂは、板状の形状を有する。接続部５３１Ａ，５３１Ｂは、Ｚ軸方向に平面的に見て矩形状の形状を有する。接続部５３１Ａ，５３１Ｂは、転がり軸受（例えばクロスローラベアリング）を介してテーブル５０１に固定されている。したがって、ローラ５３２Ａ，５３２Ｂと、ローラ５３３Ａ，５３３Ｂとは、テーブル５０１に対して回転可能に支持されている。
【0041】
図１２および図１７を参照して、搬送ユニット５０は、ピン５７Ａ，５７Ｂ，５８Ａ，５８Ｂをさらに含む。ピン５７Ａ，５７Ｂ，５８Ａ，５８Ｂは、テーブル５０１のローラ５３２Ａ，５３２Ｂ，５３３Ａ，５３３Ｂが配置される側の面から突出するように固定されている。ピン５７Ａとピン５７Ｂとは、Ｙ軸方向に間隔をあけて配置される。ピン５８Ａとピン５８Ｂとは、Ｙ軸方向に間隔をあけて配置される。ピン５７Ａ，５７Ｂとピン５８Ａ，５８Ｂとは、Ｘ軸方向に間隔をあけて配置される。ピン５７Ａ，５７Ｂに接続部５３１Ａが接触することで、接続部５３１ＡのＸ－Ｙ平面に沿った回転運動の範囲を規制するように、ピン５７Ａ，５７Ｂが固定されている。ピン５８Ａ，５８Ｂに接続部５３１Ｂが接触することで、接続部５３１ＢのＸ－Ｙ平面に沿った回転運動の範囲を規制するように、ピン５８Ａ，５８Ｂが固定されている。ローラ５３２Ａ，５３２Ｂと、ローラ５３３Ａ，５３３Ｂとは、テーブル５０１に対して揺動可能に取り付けられている。このような構成を採用することで、搬送ユニット５０が昇降ユニット４０上を走行する際に接続部５３１Ａ，５３１ＢのＸ－Ｙ平面に沿った回転運動の範囲が規制されているため、搬送ユニット５０を中間レール２２１の第５部分２２３Ａにスムーズに乗り移らせることができる。また、搬送ユニット５０が第７部分２２５Ａおよび第８部分２２５Ｂを走行する際、第７部分２２７および第８部分２２５Ｂの形状に対応するように接続部５３１Ａ，５３１Ｂが回転する。したがって、回転運動の範囲は、搬送ユニット５０が第７部分２２５Ａおよび第８部分２２５Ｂを走行可能なように規制されている。
【0042】
図１５を参照して、スライダ５１は、ケーシング５１１を含む。図５、図１２および図１５を参照して、ケーシング５１１には、第３部分２３１Ａおよび第４部分２３１Ｂにおける面２４１，２４２と、第２レール４４１、第３レール４４２および第５レール４４３の面４０Ａ，４０Ｂとに対向する面５０Ａ，５０Ｂが形成されている。さらに、ケーシング５１１には、第３部分２３１Ａおよび第４部分２３１Ｂにおける面２４４，２４５と、第２レール４４１、第３レール４４２および第５レール４４３の面４０Ｄ，４０Ｅとに対向する面５０Ｃ，５０Ｄが形成されている。図１６を参照して、スライダ５２Ａは、ケーシング５２１を含む。図６および図１６を参照して、ケーシング５２１には、第１部分２１１Ａおよび第２部分２１１Ｂにおける面２５１，２５２に対向する面５０Ｅ，５０Ｆが形成されている。さらに、ケーシング５２１には、第１部分２１１Ａおよび第２部分２１１Ｂにおける面２５４，２５５に対向する面５０Ｇ，５０Ｈが形成されている。スライダ５２Ｂは、スライダ５２Ａと同様の構成を有する。
【0043】
図１５および図１６を参照して、テーブル案内装置１は、第１転動体としての第１のころ７１，７２，７３，７４と、第２転動体としての第２のころ８１，８２，８３，８４と、をさらに備える。図１２および図１５を参照して、第１のころ７１は、面２４１および面５０Ａと、面４０Ａおよび面５０Ａとの上を転動可能に配置される。第１のころ７２は、面２４２および面５０Ｂと、面４０Ｂおよび面５０Ｂとの上を転動可能に配置される。第１のころ７３は、面２４４および面５０Ｃと、面４０Ｄおよび面５０Ｃとの上を転動可能に配置される。第１のころ７４は、面２４５および面５０Ｄと、面４０Ｅおよび面５０Ｄとの上を転動可能に配置される。面２４１，２４２，２４４，２４５は、第１転走面を構成する。面５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄは第２転走面を構成する。面４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｄ，４０Ｅは第３転走面を構成する。ケーシング５１１には、第１のころ７１，７２，７３，７４を循環させるための循環路５１１Ａ，５１１Ｂ，５１１Ｃ，５１１Ｄが形成されている。
【0044】
循環路５１１Ａ，５１１Ｂ，５１１Ｃ，５１１Ｄには、それぞれ樹脂製の筒状部材５１２が挿入されている。筒状部材５１２の内壁は、第１のころ７１，７２，７３，７４が転動可能な形状を有する。ケーシング５１１には、面５０Ａ，５０Ｂおよび面５０Ｃ，５０Ｄに沿って棒状部材５１３が配置されている。棒状部材５１３は、例えば樹脂製である。棒状部材５１３は、Ｘ軸方向に沿って延びる溝５１５が形成されている。棒状部材５１３に形成された溝５１５には、保持バンド５１４がそれぞれ取り付けられている。保持バンド５１４は帯状の形状を有する。保持バンド５１４の両端は、鉤状の形状を有する。保持バンド５１４を棒状部材５１３に形成された溝５１５に取り付け、保持バンド５１４の両端をケーシング５１１に固定されるエンドキャップ（図示せず）に引っ掛けることで、棒状部材５１３は、ケーシング５１１に固定される。このような構成を採用することで、レールからスライダ５１を取り外した際に、ケーシング５１１と棒状部材５１３の間に第１のころ７１，７２，７３，７４が保持される。本実施の形態では、筒状部材５１２は分割可能なように構成されているが、筒状部材５１２は一体に形成されてもよい。
【0045】
図１６を参照して、第２のころ８１は、面２５１および面５０Ｅ上を転動可能に配置される。第２のころ８２は、面２５２および面５０Ｆ上を転動可能に配置される。第２のころ８３は、面２５４および面５０Ｇ上を転動可能に配置される。第２のころ８４は、面２５５および面５０Ｈ上を転動可能に配置される。面２５１，２５２，２５３，２５４は第４転走面を構成する。面５０Ｅ，５０Ｆ，５０Ｇ，５０Ｆは第５転走面を構成する。ケーシング５２１には、第２のころ８１，８２，８３，８４を循環させるための循環路５２１Ａ，５２１Ｂ，５２１Ｃ，５２１Ｄが形成されている。
【0046】
循環路５２１Ａ，５２１Ｂ，５２１Ｃ，５２１Ｄには、それぞれ樹脂製の筒状部材５２２が挿入されている。筒状部材５１２の内壁は、第２のころ８１，８２，８３，８４が転動可能な形状を有する。ケーシング５２１には、面５０Ｅ，５０Ｆおよび面５０Ｈ，５０Ｇに沿って棒状部材５２３が配置されている。棒状部材５２３は、例えば樹脂製である。棒状部材５２３は、Ｘ軸方向に沿って延びる溝５２５が形成されている。棒状部材５２３に形成された溝５２５には、保持バンド５２４がそれぞれ取り付けられている。保持バンド５２４は帯状の形状を有する。保持バンド５２４の両端は、鉤状の形状を有する。保持バンド５２４を棒状部材５２３に形成された溝５２５に取り付け、保持バンド５２４の両端をケーシング５２１に固定されるエンドキャップ５２６，５２７に引っ掛けることで、棒状部材５２３は、ケーシング５２１に固定される。このような構成を採用することで、レールからスライダ５２Ａを取り外した際に、ケーシング５２１と棒状部材５２３の間にころ８１，８２，８３，８４が保持される。本実施の形態では、筒状部材５２２は分割可能なように構成されているが、筒状部材５２２は一体に形成されてもよい。
【0047】
図３、図４、図１５および図１６を参照して、搬送ユニット５０が、外側レール２１１の第１部分２１１Ａおよび第２部分２１１Ｂ、内側レール２３１の第３部分２３１Ａおよび第４部分２３１Ｂを走行する際に、スライダ５１は第３部分２３１Ａおよび第４部分２３１Ｂを走行すると共にスライダ５２Ａ，５２Ｂは第１部分２１１Ａおよび第２部分２１１Ｂを走行する。この際に、ローラ５３２Ａ，５３２Ｂと中間レール２２１の第５部分２２３Ａおよび第６部分２２３Ｂとの間には隙間が形成される。同様に、ローラ５３３Ａ，５３３Ｂと第５部分２２３Ａおよび第６部分２２３Ｂとの間には隙間が形成される。つまり、搬送ユニット５０が、第１部分２１１Ａおよび第２部分２１１Ｂと、第３部分２３１Ａおよび第４部分２３１Ｂとを走行する際に、ローラ５３２Ａ，５３２Ｂおよびローラ５３３Ａ，５３３Ｂは、第５部分２２３Ａおよび第６部分２２３Ｂを走行しない。第５部分２２３Ａおよび第６部分２２３Ｂが配置されることで、ローラ５３２Ａ，５３２Ｂおよびローラ５３３Ａ，５３３ＢのＸ－Ｙ平面に沿った回転運動の範囲を規制することができる。このため、中間レール２２１の第７部分２２５Ａおよび第８部分２２５Ｂに搬送ユニット５０をスムーズに乗り移らせることができる。搬送ユニット５０が、第１部分２１１Ａおよび第２部分２１１Ｂと、第３部分２３１Ａおよび第４部分２３１Ｂとを走行する際には、例えば作業が実施される（作業領域）。
【0048】
図３および図１０を参照して、搬送ユニット５０が、中間レール２２１の第７部分２２５Ａおよび第８部分２２５Ｂを走行する際に、ローラ５３２Ａ，５３２Ｂとローラ５３３Ａ，５３３Ｂとは第７部分２２５Ａおよび第８部分２２５Ｂを走行する。この際に、スライダ５１およびスライダ５２Ａ，５２Ｂは、レール上を走行しない。搬送ユニット５０が、中間レール２２１の第７部分２２５Ａおよび第８部分２２５Ｂを走行する際には、例えば作業が実施されず、搬送ユニットの移動のみが実施される（非作業領域）。
【0049】
図３、図８および図９を参照して、外側レール２１１の第１部分２１１Ａにおけるテーパ領域２０１Ｂと、内側レール２３１の第３部分２３１Ａにおけるテーパ領域２０３Ｂとは、Ｘ軸方向に間隔をあけて配置されている。さらに、テーパ領域２０３Ｂと、中間レール２２１の第７部分２２５Ａおよび第８部分２２５Ｂのテーパ領域２２４とは、Ｘ軸方向に間隔をあけて配置されている。Ｘ軸方向において、テーパ領域２２４の端部２２Ｃ，２２Ｅは、テーパ領域２０１Ｂから見てテーパ領域２０３Ｂとは反対側に位置している。つまり、Ｘ軸方向において、テーパ領域２０１Ｂと、テーパ領域２０３Ｂと、テーパ領域２２４との位置が一致しないように配置される。このような構成を採用することで、搬送ユニット５０を第８部分２２５Ｂにスムーズに乗り移らせることができる。
【0050】
図２、図１２および図１４を参照して、搬送ユニット５０における磁石５５Ａ，５５Ｂは、固定子モジュール３０１，３０２におけるコイルに対向する。搬送ユニット５０は、磁石５５Ａ，５５Ｂと固定子モジュール３０１，３０２におけるコイルとの間の磁力によって、内側レール２３１，２３２、中間レール２２１，２２２および外側レール２１１，２１２上を走行する。
【0051】
図１２を参照して、搬送ユニット５０が昇降ユニット４０上を走行する際には、スライダ５１は、第２レール４４１、第３レール４４２および第５レール４４３のいずれか１つの上を走行可能である。本実施の形態では、搬送ユニット５０が昇降ユニット４０上を走行する際に、スライダ５２Ａ，５２Ｂが走行するレールを昇降ユニット４０は有さない。同様に搬送ユニット５０が昇降ユニット４０上を走行する際に、キャスタ５３が走行するレールを昇降ユニット４０は有さない。搬送ユニット５０における磁石５５Ａ，５５Ｂは、第１固定子モジュール４５１、第２固定子モジュール４５２、第３固定子モジュール４５３におけるコイル４５１ａ，４５１ｂ，４５１ｃに対向する。搬送ユニット５０は、磁石５５Ａ，５５Ｂとコイル４５１ａ，４５１ｂ，４５１ｃとの間の磁力によって、第２レール４４１、第３レール４４２および第５レール４４３上を走行する。
【0052】
次に、搬送ユニット５０が昇降ユニット４０に乗り移る際の状態について説明する。図１７～図１９では、昇降ユニット４０における第２レール４４１が内側レール２３１の端部２３Ａと端部２３Ｂとを接続している状態を示している。図１５、図１６および図１７を参照して、搬送ユニット５０におけるスライダ５１が内側レール２３１の第１テーパ領域２０３Ａ上を走行する前、およびスライダ５２Ａが外側レール２１１の第３テーパ領域２０１Ａ上を走行する前では、スライダ５１における第１のころ７１，７２，７３，７４は、内側レール２３１における面２４１，２４２，２４４，２４５に対して負荷（予圧）を与えている。同様にスライダ５２Ａ，５２Ｂにおける第２のころ８１，８２，８３，８４は、外側レール２１１における面２５１，２５２，２５４，２５５に対して負荷（予圧）を与えている。内側レール２３１は、スライダ５１から負荷を受けている。同様に外側レール２１１はスライダ５２Ａ，５２Ｂから負荷を受けている。
【0053】
図１８を参照して、スライダ５１が第１テーパ領域２０３Ａ上を通過するにしたがい、スライダ５１と第１テーパ領域２０３Ａとの間の隙間が大きくなる。次に、スライダ５１が第２レール４４１の第２テーパ領域６３を通過するにしたがい、スライダ５１と第２テーパ領域６３との間の隙間が小さくなる。そして、図１９を参照して、スライダ５１が第２テーパ領域６３を通過した後に、スライダ５１は第２レール４４１を走行する。第３レール４４２および第５レール４４３についても同様である。
【0054】
図１５、図１６および図１８を参照して、スライダ５１が第１テーパ領域２０３Ａ上を走行すると共にスライダ５２Ａが第３テーパ領域２０１Ａ上を走行する際には、スライダ５１における第１のころ７１，７２，７３，７４は、内側レール２３１における面２４１，２４２，２４４，２４５に対して負荷を与えず、無負荷の状態となる。スライダ５２Ａにおける第２のころ８１，８２，８３，８４は、外側レール２１１における面２５１，２５２，２５４，２５５に対して負荷を与えず、無負荷の状態となる。したがって、スライダ５２Ｂのみが、外側レール２１１に対して負荷を与えることとなる。図１２、図１５および図１９を参照して、スライダ５１のみが第３レール４４２上を走行する際には、スライダ５１における第１のころ７１，７２，７３，７４は、第３レール４４２における面４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｄ，４０Ｅに対して負荷（予圧）を与えている。したがって、スライダ５１のみが、内側レール２３１に対して負荷を与えることとなる。このような構成を採用することで、搬送ユニット５０から内側レール２３１，２３２に対して無負荷の状態となるタイミングと、搬送ユニット５０から外側レール２１１，２１２に対して無負荷の状態となるタイミングとをずらすことができる。
【0055】
次に、搬送ユニット５０が昇降ユニット４０によって外側レール２１１および内側レール２３１から外側レール２１２および内側レール２３２に移動する際の動作について説明する。第３レール４４２が内側レール２３１に接続され、第３レール４４２、内側レール２３１、外側レール２１１および中間レール２２１によって閉じた軌道が形成されている。まず、図２、図２０および図２１を参照して、外側レール２１１および内側レール２３１上を走行する搬送ユニット５０を昇降ユニット４０に乗り移らせる。この際に搬送ユニット５０は、昇降ユニット４０における第３レール４４２上を走行する。そして、昇降ユニット４０におけるスライドテーブル４１を矢印Ｚの向きに移動させ、第３レール４４２が内側レール２３２に接続するように第３レール４４２を移動させる。その結果、第３レール４４２、内側レール２３２、外側レール２１２および中間レール２２２によって閉じた軌道が形成される。この際に、第２レール４４１が内側レール２３１に接続され、第２レール４４１、内側レール２３１、外側レール２１１および中間レール２２１によっても閉じた軌道が形成されている。次に、図２、図２１および図２２を参照して、搬送ユニット５０を昇降ユニット４０から外側レール２１２および内側レール２３２に乗り移らせる。
【0056】
上記実施の形態におけるテーブル案内装置１は、スライドテーブル４１と、第２レール４４１と、第３レール４４２とを含む昇降ユニット４０を備える。例えば、内側レール２３１における端部２３Ａと端部２３Ｂとを第２レール４４１が接続されている状態で搬送ユニット５０を内側レール２３１から第２レール４４１に乗り移らせる。そして、内側レール２３１における端部２３Ａと端部２３Ｂとを第３レール４４２が接続するようにスライドテーブル４１を移動させることで、搬送ユニット５０を閉じた軌道の外部に取り出すことができる。また、第３レール４４２によって端部２３Ａと端部２３Ｂとは接続されるため、他の搬送ユニット５０は第３レール４４２上を走行することができる。したがって、レールの閉じた軌道を維持しつつ、搬送ユニット５０を閉じた軌道の外部に取り出すことができる。このように、上記実施の形態におけるテーブル案内装置１によれば、搬送ユニット５０を閉じた軌道の外部に取り出すことが容易となる。
【0057】
上記実施の形態において、内側レール２３１の第３部分２３１Ａにおける端部２３Ａと端部２３Ｂとを含む領域には、一対の第１テーパ領域２０３Ａが形成されている。第２レール４４１は、第３部分２３１Ａの端部２３Ａと端部２３Ｂとが第２レール４４１によって接続されている状態において、端部２３Ａに対向する端部６１と、端部２３Ｂに対向する端部６２と、を含む。第２レール４４１の端部６１，６２を含む領域には、端部６１，６２に向って第２レール４４１の幅が小さくなる第２テーパ領域６３が形成されている。このような構成を採用することで、内側レール２３１から昇降ユニット４０のレールに乗り移る際の位置ずれや衝撃を吸収することができる。したがって、搬送ユニット５０をスムーズに昇降ユニット４０に乗り移らせることができる。
【0058】
上記実施の形態におけるテーブル案内装置１は、内側レール２３１の第３部分２３１Ａに平行に配置される外側レール２１１の第１部分２１１Ａを含む。外側レール２１１の第１部分２１１Ａの端部２１Ａ，２１Ｂは、スライドテーブル４１に固定されるレールによって接続されない。昇降ユニット４０に第１部分２１１Ａの端部２１Ａおよび端部２１Ｂに接続されるレールを省略することで、昇降ユニット４０の軽量化を図ることができる。
【0059】
上記実施の形態におけるテーブル案内装置１は、外側レール２１１の第１部分２１１Ａの端部２１Ａ，２１Ｂのそれぞれを含む領域には、端部２１Ａ，２１Ｂに向かって第１部分２１１Ａの幅が小さくなる一対の第３テーパ領域２０１Ａが形成されている。一対の第３テーパ領域２０１Ａは、Ｘ軸方向において、内側レール２３１の第３部分２３１Ａの端部２３Ａと端部２３Ｂとの間に位置する。このような構成を採用することで、搬送ユニット５０から内側レール２３１に対して無負荷の状態となるタイミングと、搬送ユニット５０から外側レール２１１に対して無負荷の状態となるタイミングとをずらすことができる。したがって、搬送ユニット５０を昇降ユニット４０にスムーズに乗り移らせることができる。
【0060】
上記実施の形態では、内側レール２３１，２３２と、中間レール２２１，２２２と、外側レール２１１，２１２とを含む場合について説明したが、これに限られず、内側レール２３１，２３２のみであってもよい。また、内側レール２３１，２３２と、中間レール２２１，２２２と、外側レール２１１，２１２とがそれぞれ２つのレールを含む場合について説明したが、これに限られず、内側レール２３１、中間レール２２１および外側レール２１１の１つのレールによって構成されてもよい。上記実施の形態では、内側レール、中間レール、外側レールおよび固定子モジュールが２段に配置されている場合について説明したが、これに限られず、内側レール、中間レール、外側レールおよび固定子モジュールが１段であってもよい（図２３参照）。上記実施の形態では、第１転動体および第２転動体としてころが採用される場合について説明したが、これに限られず、玉を採用してもよい。
【0061】
上記実施の形態では、昇降ユニット４０は、第２レール４４１と、第３レール４４２と、第５レール４４３と、を含む場合について説明したが、これに限られず、第２レール４４１のみを含むようにしてもよい。例えば、第２レール４４１を移動させることで、内側レール２３１と内側レール２３２とのそれぞれに第２レール４４１が接続し、閉じた軌道が形成される。したがって、搬送ユニット５０を閉じた軌道の外部に取り出し、別の軌道に移動させることができる。このような場合、例えば内側レール２３１上を走行する他の搬送ユニット５０が昇降ユニット４０に到達する前に、第２レール４４１は内側レール２３１に接続するように制御される。また、搬送ユニット５０の故障等の不具合が発生した場合、不具合が発生した搬送ユニット５０を第２レール４４１に乗り移らせ、第２レール４４１を移動させることで搬送ユニット５０を閉じた軌道から取り出すことができる。
【0062】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、どのような面からも制限的なものではないと理解されるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなく、請求の範囲によって規定され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【0063】
１ テーブル案内装置
１０ ベース板
１０Ａ 第１の表面
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ 第１支持部材
１２ 第２支持部材
１２Ａ，１２Ｂ 端面
１２ａ 板状部
１２ｂ 脚部
２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄ，２２Ｅ，２２Ｆ，２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃ，３０Ａ，３０Ｂ，６１，６２ 端部
２４Ａ，２４Ｂ，２５Ａ，２５Ｂ，４７Ａ，４７Ｂ，５１５，５２５ 溝
３１ 本体部
３２Ａ，３２Ｂ 突出部
４０ 昇降ユニット
４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ，４０Ｄ，４０Ｅ，４０Ｆ，５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄ，５０Ｅ，５０Ｆ，５０Ｇ，５０Ｈ，２４１，２４２，２４３，２４４，２４５，２４６，２５１，２５２，２５３，２５４，２５５，２５６，２６１，２６２，２６３，２６４ 面
４１ スライドテーブル
４２Ａ，４２Ｂ，５１，５２Ａ，５２Ｂ スライダ
４３ ベッド
４３Ａ レール
４６ センサ部
５０ 搬送ユニット
５３ キャスタ
５４ 位置検出センサ
５５Ａ，５５Ｂ 磁石
５６ 磁石ユニット
６０ 架台
６３ 第２テーパ領域
７１，７２，７３，７４ 第１のころ
８１，８２，８３，８４ 第２のころ
１０１ 貫通孔
１１１，１２１ 空間
２０１Ａ 第３テーパ領域
２０１Ｂ，２０３Ｂ，２０４，２２４ テーパ領域
２０３Ａ 第１テーパ領域
２１１，２１２ 外側レール
２１１Ａ 第１部分
２１１Ｂ 第２部分
２２１，２２２ 中間レール
２２１Ａ，２２１Ｂ 側面
２２３Ａ 第５部分
２２３Ｂ 第６部分
２２５Ａ，２２７ 第７部分
２２５Ｂ 第８部分
２３１，２３２ 内側レール
２３１Ａ 第３部分
２３１Ｂ 第４部分
３０１，３０２ 固定子モジュール
３０１ａ，４５１ａ，４５１ｂ，４５１ｃ，４５２ａ，４５３ａ コイル
４０１Ａ，４０１Ｂ，４０１Ｃ 台座部
４１１ 支持部
４４１ 第２レール
４４２ 第３レール
４４３ 第５レール
４５１ 第１固定子モジュール
４５２ 第２固定子モジュール
４５３ 第３固定子モジュール
４６１ センサレール
４６２，４６３ リミットセンサ
４６４ 原点センサ
５０１ テーブル
５０１Ａ，５０１Ｂ 主表面
５０２，５０３，５３１Ａ，５３１Ｂ 接続部
５１１，５２１ ケーシング
５１１Ａ，５１１Ｂ，５１１Ｃ，５１１Ｄ，５２１Ａ，５２１Ｂ，５２１Ｃ，５２１Ｄ 循環路
５１２，５２２ 筒状部材
５１３，５２３ 棒状部材
５１４，５２４ 保持バンド
５２６，５２７ エンドキャップ
５３２Ａ，５３２Ｂ，５３３Ａ，５３３Ｂ ローラ
Ｚ 矢印。
１０ ベース板
１０Ａ 第１の表面
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ 第１支持部材
１２ 第２支持部材
１２Ａ，１２Ｂ 端面
１２ａ 板状部
１２ｂ 脚部
２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄ，２２Ｅ，２２Ｆ，２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃ，３０Ａ，３０Ｂ，６１，６２ 端部
２４Ａ，２４Ｂ，２５Ａ，２５Ｂ，４７Ａ，４７Ｂ，５１５，５２５ 溝
３１ 本体部
３２Ａ，３２Ｂ 突出部
４０ 昇降ユニット
４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ，４０Ｄ，４０Ｅ，４０Ｆ，５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄ，５０Ｅ，５０Ｆ，５０Ｇ，５０Ｈ，２４１，２４２，２４３，２４４，２４５，２４６，２５１，２５２，２５３，２５４，２５５，２５６，２６１，２６２，２６３，２６４ 面
４１ スライドテーブル
４２Ａ，４２Ｂ，５１，５２Ａ，５２Ｂ スライダ
４３ ベッド
４３Ａ レール
４６ センサ部
５０ 搬送ユニット
５３ キャスタ
５４ 位置検出センサ
５５Ａ，５５Ｂ 磁石
５６ 磁石ユニット
６０ 架台
６３ 第２テーパ領域
７１，７２，７３，７４ 第１のころ
８１，８２，８３，８４ 第２のころ
１０１ 貫通孔
１１１，１２１ 空間
２０１Ａ 第３テーパ領域
２０１Ｂ，２０３Ｂ，２０４，２２４ テーパ領域
２０３Ａ 第１テーパ領域
２１１，２１２ 外側レール
２１１Ａ 第１部分
２１１Ｂ 第２部分
２２１，２２２ 中間レール
２２１Ａ，２２１Ｂ 側面
２２３Ａ 第５部分
２２３Ｂ 第６部分
２２５Ａ，２２７ 第７部分
２２５Ｂ 第８部分
２３１，２３２ 内側レール
２３１Ａ 第３部分
２３１Ｂ 第４部分
３０１，３０２ 固定子モジュール
３０１ａ，４５１ａ，４５１ｂ，４５１ｃ，４５２ａ，４５３ａ コイル
４０１Ａ，４０１Ｂ，４０１Ｃ 台座部
４１１ 支持部
４４１ 第２レール
４４２ 第３レール
４４３ 第５レール
４５１ 第１固定子モジュール
４５２ 第２固定子モジュール
４５３ 第３固定子モジュール
４６１ センサレール
４６２，４６３ リミットセンサ
４６４ 原点センサ
５０１ テーブル
５０１Ａ，５０１Ｂ 主表面
５０２，５０３，５３１Ａ，５３１Ｂ 接続部
５１１，５２１ ケーシング
５１１Ａ，５１１Ｂ，５１１Ｃ，５１１Ｄ，５２１Ａ，５２１Ｂ，５２１Ｃ，５２１Ｄ 循環路
５１２，５２２ 筒状部材
５１３，５２３ 棒状部材
５１４，５２４ 保持バンド
５２６，５２７ エンドキャップ
５３２Ａ，５３２Ｂ，５３３Ａ，５３３Ｂ ローラ
Ｚ 矢印。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】