特開 2022-129878 塗布機構及び塗布装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022129878

(43)【公開日】2022-09-06

(54)【発明の名称】塗布機構及び塗布装置

(51)【国際特許分類】

   B05C 1/02 20060101AFI20220830BHJP

   B05C 11/10 20060101ALI20220830BHJP

【ＦＩ】

B05C1/02 101

B05C11/10

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021028734

(22)【出願日】2021-02-25

(71)【出願人】

【識別番号】000102692

【氏名又は名称】ＮＴＮ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001195

【氏名又は名称】弁理士法人深見特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】山中 昭浩

【テーマコード（参考）】

4F040

4F042

【Ｆターム（参考）】

4F040AA02

4F040AB13

4F040AC01

4F040BA04

4F040BA06

4F040CA02

4F040CA05

4F040CA18

4F040DA02

4F040DA14

4F042AA02

4F042BA08

4F042DF09

4F042DH09

(57)【要約】

【課題】塗布針ホルダ及び塗布針を使い捨てにする又は塗布針ホルダ及び塗布針に滅菌処理が必要な場合であっても製造コストを増大させることなく塗布針が塗布面に接触した際の衝撃を緩衝可能な塗布機構を提供する。
【解決手段】塗布機構は、塗布面上に液体材料を塗布する。塗布機構は、塗布針ホルダ固定部と、塗布針ホルダ固定部に着脱可能に取り付けられている塗布針ホルダと、塗布針ホルダに保持されている塗布針と、緩衝機構とを備える。緩衝機構は、塗布針が塗布面に接触した際の衝撃を緩衝可能に構成されている。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

塗布面上に液体材料を塗布する塗布機構であって、
塗布針ホルダ固定部と、
前記塗布針ホルダ固定部に着脱可能に取り付けられている塗布針ホルダと、
前記塗布針ホルダに保持されている塗布針と、
緩衝機構とを備え、
前記緩衝機構は、前記塗布針が前記塗布面に接触した際の衝撃を緩衝可能に構成されている、塗布機構。

【請求項2】

前記塗布機構は、リニアガイドと、弾性部材とを有し、
前記リニアガイドには、前記塗布針ホルダ固定部が前記塗布面に直交している方向にスライド可能に保持されており、
前記弾性部材は、前記塗布面に向かって前記塗布針ホルダ固定部を付勢している、請求項１に記載の塗布機構。

【請求項3】

前記塗布針ホルダ固定部に保持されている第１マグネットと、
前記塗布針ホルダに保持されている第２マグネットとをさらに備え、
前記塗布針ホルダは、樹脂材料により形成されており、
前記塗布針ホルダは、前記第２マグネットが前記第１マグネットに吸着されることにより、前記塗布針ホルダ固定部に着脱可能に取り付けられている、請求項１又は請求項２に記載の塗布機構。

【請求項4】

前記塗布針ホルダ固定部に保持されている第１マグネットと、
前記塗布針ホルダに保持されている第２マグネットとをさらに備え、
前記塗布針ホルダは、非磁性の金属材料により形成されており、
前記塗布針ホルダは、前記第２マグネットが前記第１マグネットに吸着されることにより、前記塗布針ホルダ固定部に着脱可能に取り付けられている、請求項１又は請求項２に記載の塗布機構。

【請求項5】

請求項１～請求項４のいずれか１項に記載の前記塗布機構を備える、塗布装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、塗布装置及び塗布機構に関する。

【背景技術】

【0002】

特開２０１８－２０３２５号公報（特許文献１）に記載の塗布機構は、塗布針ホルダ固定部と、塗布針ホルダと、塗布針とを有している。塗布針ホルダは、塗布針ホルダ固定部に取り付けられている。塗布針は、塗布針ホルダに保持されている。特許文献１に記載の塗布機構は、塗布針が塗布面に接触した際の衝撃を緩衝する機構を有していない。

【0003】

これに対し、特開２０１５－１１２５７７号公報（特許文献２）に記載の塗布機構は、塗布針ホルダと、塗布針固定板と、塗布針とを有している。塗布針ホルダは、可動ベースに取り付けられている。塗布針は、塗布針固定板に保持されている。塗布針ホルダには、ばねと、リニアガイドとが収納されている。リニアガイドは、塗布面に直交している方向にスライド可能に塗布針を保持している。ばねは、塗布針を塗布面に向かって付勢している。これにより、塗布針が塗布面に接触した際の衝撃が緩衝されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１８－２０３２５号公報

【特許文献2】特開２０１５－１１２５７７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献２に記載の塗布機構を疾病の体外診断を行うための診断チップのようにコンタミネーションに対する厳格な管理が求められる用途に適用する場合には、塗布針ホルダ及び塗布針を使い捨てにする又は塗布針ホルダ及び塗布針を滅菌する対応が求められることがある。

【0006】

特許文献２に記載の塗布機構では、塗布針が塗布面に接触した際の衝撃を緩衝するために塗布針ホルダにばね及びリニアガイドが組み込まれているため、塗布針ホルダ及び塗布針を使い捨てにすると、製造コストが増大してしまう。また、特許文献２に記載の塗布機構では、リニアガイドを塗布針ホルダに組み込んでおり、塗布針を塗布針固定板に接着剤で固定しているため、特許文献２に記載の塗布機構では、塗布針ホルダ及び塗布針の滅菌処理が困難である。

【0007】

本発明は、上記のような従来技術の問題点に鑑みてなされたものである。より具体的には、本発明は、塗布針ホルダ及び塗布針を使い捨てにする又は塗布針ホルダ及び塗布針に滅菌処理が必要な場合であっても製造コストを増大させることなく塗布針が塗布面に接触した際の衝撃を緩衝可能な塗布機構及び塗布装置を提供するものである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の塗布機構は、塗布面上に液体材料を塗布する。塗布機構は、塗布針ホルダ固定部と、塗布針ホルダ固定部に着脱可能に取り付けられている塗布針ホルダと、塗布針ホルダに保持されている塗布針と、緩衝機構とを備える。緩衝機構は、塗布針が塗布面に接触した際の衝撃を緩衝可能に構成されている。

【0009】

上記の塗布機構では、塗布機構が、リニアガイドと、弾性部材とを有していてもよい。リニアガイドには、塗布針ホルダ固定部が塗布面に直交している方向にスライド可能に保持されていてもよい。弾性部材は、塗布面に向かって塗布針ホルダ固定部を付勢していてもよい。

【0010】

上記の塗布機構は、さらに、塗布針ホルダ固定部に保持されている第１マグネットと、塗布針ホルダに保持されている第２マグネットとを備えていてもよい。塗布針ホルダは、樹脂材料により形成されていてもよい。塗布針ホルダは、第２マグネットが第１マグネットに吸着されることにより塗布針ホルダ固定部に着脱可能に取り付けられていてもよい。

【0011】

上記の塗布機構は、さらに、塗布針ホルダ固定部に取り付けられている第１マグネットと、塗布針ホルダに保持されている第２マグネットとを備えていてもよい。塗布針ホルダは、非磁性の金属材料により形成されていてもよい。塗布針ホルダは、第２マグネットが第１マグネットに吸着されることにより塗布針ホルダ固定部に着脱可能に取り付けられていてもよい。

【0012】

本発明の塗布機構は、上記の塗布機構を備える。

【発明の効果】

【0013】

本発明の塗布機構及び塗布装置によると、塗布針ホルダ及び塗布針を使い捨てにする又は塗布針ホルダ及び塗布針に滅菌処理が必要な場合であっても、製造コストを増大させることなく塗布針が塗布面に接触した際の衝撃を緩衝可能である。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】塗布針ホルダ１２、塗布針１３及び容器１５の図示を省略した塗布機構１０の斜視図である。

【図2】塗布針ホルダ１２、塗布針１３及び容器１５の図示を省略した塗布機構１０の側面図である。

【図3】塗布機構１０が有する塗布針ホルダ１２及び塗布針１３の斜視図である。

【図4】塗布機構１０が有する塗布針ホルダ１２及び塗布針１３の側面図である。

【図5】塗布機構１０の斜視図である。

【図6】塗布機構１０Ａが有する塗布針ホルダ１２及び塗布針１３の正面図である。

【図7】塗布機構１０Ａが有する塗布針ホルダ１２及び塗布針１３の背面図である。

【図8】塗布機構１０Ａが有する塗布針ホルダ１２及び塗布針１３の側面図である。

【図9】塗布装置１００の斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

本発明の実施形態の詳細を、図面を参照しながら説明する。以下の図面では、同一又は相当する部分に同一の参照符号を付し、重複する説明は繰り返さないものとする。

【0016】

（第１実施形態）
第１実施形態に係る塗布機構（以下「塗布機構１０」とする）を説明する。

【0017】

＜塗布機構１０の構成＞
図１は、塗布針ホルダ１２、塗布針１３及び容器１５の図示を省略した塗布機構１０の斜視図である。図２は、塗布針ホルダ１２、塗布針１３及び容器１５の図示を省略した塗布機構１０の側面図である。図１及び図２に示されるように、塗布機構１０は、駆動機構１１を有している。

【0018】

駆動機構１１は、例えば、サーボモータ１１１と、カム１１２と、軸受１１３と、カム連結板１１４と、可動部１１５と、緩衝機構１１６と、塗布針ホルダ固定部１１７と、第１マグネット１１８とを有している。

【0019】

サーボモータ１１１は、回転軸１１１ａを有している。回転軸１１１ａは、Ｚ軸に沿って延在している。Ｚ軸は、基板ＳＵＢの塗布面に直交している。サーボモータ１１１は、図示されていないが、後述する電装ボックス２７に接続されている。サーボモータ１１１は、回転軸１１１ａを中心軸回りに回転させる。カム１１２は、第１面１１２ａと、第２面１１２ｂとを有している。第１面１１２ａは、下方を向いている。第２面１１２ｂは、上方を向いている。すなわち、第２面１１２ｂは、第１面１１２ａの反対面である。

【0020】

第２面１１２ｂは、中央部と、外周部とを有している。第２面１１２ｂの外周部は、第２面１１２ｂの中央部の周囲に位置している。カム１１２は、第２面１１２ｂの中央部において、回転軸１１１ａに取り付けられている。第２面１１２ｂと第１面１１２ａとの間の距離は、周方向（回転軸１１１ａの中心軸を中心とする円周に沿う方向）に沿って変動している。第２面１１２ｂは、カム１１２のカム面となっている。

【0021】

軸受１１３は、その外周面がカム１１２のカム面（第２面１１２ｂ）に接触するように配置されている。カム連結板１１４は、一方端において軸受１１３に連結されており、他方端において可動部１１５に連結されている。

【0022】

緩衝機構１１６は、可動部１１５に取り付けられている。緩衝機構１１６は、例えば、リニアガイド１１６ａと、弾性部材１１６ｂとを有している。リニアガイド１１６ａは、可動部１１５に取り付けられている。塗布針ホルダ固定部１１７は、リニアガイド１１６ａにより、Ｚ軸の方向にスライド可能に保持されている。

【0023】

弾性部材１１６ｂは、例えば、コイルばねである。弾性部材１１６ｂは、塗布針ホルダ固定部１１７を、基板ＳＵＢの塗布面に向かって付勢している。より具体的には、弾性部材１１６ｂは、塗布針ホルダ固定部１１７を、可動部１１５に設けられているストッパ１１５ａに押し付けている。第１マグネット１１８は、塗布針ホルダ固定部１１７に保持されている。

【0024】

図３は、塗布機構１０が有する塗布針ホルダ１２及び塗布針１３の斜視図である。図４は、塗布機構１０が有する塗布針ホルダ１２及び塗布針１３の側面図である。図３及び図４に示されるように、塗布機構１０は、塗布針ホルダ１２及び塗布針１３をさらに有している。塗布針１３は、先端１３ａと、基端１３ｂとを有している。基端１３ｂは、塗布針１３の長手方向における先端１３ａの反対側の端である。塗布針１３の長手方向は、Ｚ軸の方向に沿っている。

【0025】

塗布針１３は、塗布針ホルダ１２により保持されている。より具体的には、塗布針１３は、基端１３ｂ側が塗布針ホルダ１２に埋設されることにより、塗布針ホルダ１２に保持されている。塗布機構１０は、第２マグネット１４をさらに有している。

【0026】

塗布針ホルダ１２は、樹脂材料により形成されている。塗布針１３及び第２マグネット１４は、例えば、塗布針ホルダ１２を構成している樹脂材料とともにインサート成形されることにより、塗布針ホルダ１２に保持される。すなわち、塗布針ホルダ１２は、塗布針１３をＺ軸の方向にスライド可能に保持するリニアガイド及び塗布針１３を基板ＳＵＢの塗布面に向かって付勢する弾性部材を有していない。

【0027】

第２マグネット１４は、塗布針ホルダ１２に保持されている。図５は、塗布機構１０の斜視図である。図５に示されるように、塗布針ホルダ１２は、塗布針ホルダ固定部１１７に着脱可能に取り付けられている。より具体的には、塗布針ホルダ１２は、第２マグネット１４が第１マグネット１１８に吸着されることにより、塗布針ホルダ固定部１１７に着脱可能に取り付けられている。

【0028】

塗布機構１０は、容器１５をさらに有している。容器１５は、上端１５ａと、下端１５ｂとを有している。下端１５ｂは、上端１５ａの反対側の端である。容器１５の内部は、中空になっている。容器１５は、上端１５ａにおいて開口されている。下端１５ｂは、貫通穴が形成されている底壁により閉塞されている。容器１５の内部空間には、液体材料が貯留される。先端１３ａは、上端１５ａの開口から容器１５の内部空間に挿入される。

【0029】

回転軸１１１ａの回転に伴って、カム１１２が回転する。第２面１１２ｂと第１面１１２ａとの間の距離は変動しているため、カム１１２が回転することにより、軸受１１３のＺ軸の方向における位置が変動する。

【0030】

上記のとおり、可動部１１５はカム連結板１１４により軸受１１３に連結されており、塗布針ホルダ固定部１１７は可動部１１５に取り付けられている。また、塗布針ホルダ１２は、塗布針ホルダ固定部１１７に取り付けられている。そのため、軸受１１３のＺ軸の方向における位置が変動することにより、塗布針ホルダ１２により保持されている塗布針１３のＺ軸の方向における位置が変動する。このようにして、駆動機構１１は、塗布針１３（先端１３ａ）のＺ軸の方向における位置を移動させる。

【0031】

駆動機構１１が塗布針１３を移動させて先端１３ａを容器１５の下端１５ｂを閉塞している底壁に形成されている貫通穴から突出させることにより、先端１３ａには、容器１５内の液体材料が付着する。

【0032】

＜塗布機構１０の効果＞
塗布機構１０では、塗布針ホルダ固定部１１７がリニアガイド１１６ａによりＺ軸の方向にスライド可能に保持されているとともに弾性部材１１６ｂが塗布針ホルダ固定部１１７を基板ＳＵＢの塗布面に向かって付勢しているため、塗布針１３が基板ＳＵＢの塗布面に接触した際に塗布針１３が基板ＳＵＢの塗布面から離れるようにＺ軸の方向に沿って動き、塗布針１３が基板ＳＵＢの塗布面と接触した際の衝撃を緩衝する。

【0033】

また、塗布機構１０では、塗布針ホルダ１２が樹脂材料により形成されているとともに塗布針１３が基板ＳＵＢの塗布面に接触した際の衝撃を緩衝するリニアガイド及び弾性部材を有していないため、塗布針ホルダ１２及び塗布針１３を使い捨てとしても、製造コストの増大を抑制することができる。

【0034】

（第２実施形態）
第２実施形態に係る塗布機構（以下「塗布機構１０Ａ」とする）を説明する。ここでは塗布機構１０と異なる点を主に説明し、重複する説明は繰り返さないものとする。

【0035】

塗布機構１０Ａは、駆動機構１１と、塗布針ホルダ１２と、塗布針１３と、第２マグネット１４と、容器１５とを有している。この点に関して、塗布機構１０Ａは、塗布機構１０と共通している。しかしながら、塗布機構１０Ａは、塗布針ホルダ１２の詳細構成に関して、塗布機構１０と異なっている。

【0036】

図６は、塗布機構１０Ａが有する塗布針ホルダ１２及び塗布針１３の正面図である。図６に示されるように、塗布針１３は、基端１３ｂ側において、塗布針ホルダ１２に保持されている。より具体的には、塗布針１３は、ねじ１２ａにより、塗布針ホルダ１２に保持されている。塗布針ホルダ１２は、非磁性の金属材料により形成されている。非磁性の金属材料の具体例は、アルミニウム又はアルミニウム合金である。

【0037】

図７は、塗布機構１０Ａが有する塗布針ホルダ１２及び塗布針１３の背面図である。図８は、塗布機構１０Ａが有する塗布針ホルダ１２及び塗布針１３の側面図である。図７及び図８に示されるように、第２マグネット１４は、塗布針ホルダ１２に保持されている。より具体的には、第２マグネット１４は、ねじ１２ｂにより、塗布針ホルダ１２に保持されている。なお、塗布機構１０Ａでは、塗布針ホルダ１２が、塗布針１３をＺ軸の方向にスライド可能に保持するリニアガイド及び塗布針１３を基板ＳＵＢの塗布面に向かって付勢する弾性部材を有していない。

【0038】

塗布機構１０Ａは、塗布機構１０と同様に緩衝機構１１６を有しているため、塗布針１３が基板ＳＵＢの塗布面と接触した際の衝撃を緩衝することができる。

【0039】

塗布針ホルダ１２及び塗布針１３の滅菌処理を行うためには、塗布針ホルダ１２及び塗布針１３を高温環境下に保持する必要がある。塗布機構１０Ａでは、塗布針１３がねじ１２ａで固定されているため、塗布針ホルダ１２に接着剤による接合部がない。また、塗布機構１０Ａでは、塗布針ホルダ１２が耐熱性のある金属材料により形成されている。そのため、塗布機構１０Ａでは、塗布針ホルダ１２及び塗布針１３を高温環境下において滅菌することにより再利用することができるため、製造コストの増大を抑制できる。

【0040】

（第３実施形態）
第３実施形態に係る塗布装置（以下「塗布装置１００」とする）を説明する。

【0041】

図９は、塗布装置１００の斜視図である。図９に示されるように、塗布機構１０と、ベース板２１ａ及び架台２１ｂと、Ｘ軸ステージ２２と、Ｙ軸ステージ２３と、ステージ可動板２４と、吸着板２５と、Ｚ軸ステージ２６と、電装ボックス２７と、観察光学系２８と、撮像装置２９と、制御装置３０とを有している。

【0042】

ベース板２１ａ上には、Ｘ軸ステージ２２が配置されている。Ｘ軸ステージ２２は、可動部を有しており、可動部をＸ軸方向に沿って移動させる。ベース板２１ａには、架台２１ｂが取り付けられている。Ｘ軸ステージ２２の可動部上には、Ｙ軸ステージ２３が配置されている。Ｙ軸ステージ２３は、可動部を有しており、可動部をＹ軸方向に沿って移動させる。なお、Ｙ軸は、Ｘ軸に直交している。

【0043】

Ｙ軸ステージ２３の可動部上には、ステージ可動板２４が配置されている。ステージ可動板２４上には、吸着板２５が配置されている。吸着板２５上には、基板ＳＵＢが配置されている。基板ＳＵＢは、吸着板２５に吸着されることにより、位置が固定されている。Ｘ軸ステージ２２の可動部及びＹ軸ステージ２３の可動部が移動されることにより、基板ＳＵＢのＸ軸及びＹ軸に沿う方向における位置が変化される。

【0044】

Ｚ軸ステージ２６は、架台２１ｂに取り付けられている。Ｚ軸ステージ２６は、可動部を有しており、可動部をＺ軸に沿って移動させる。なお、Ｚ軸は、Ｘ軸及びＹ軸に直交しており、鉛直方向に対応している。また、Ｚ軸は、基板ＳＵＢの主面に直交している。

【0045】

Ｚ軸ステージ２６の可動部には、塗布機構１０が取り付けられている。Ｚ軸ステージ２６の可動部が移動されることにより、塗布機構１０のＺ軸の方向における位置が変化される。撮像装置２９は、観察光学系２８を介して、基板ＳＵＢを観察可能である。撮像装置２９は、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラである。

【0046】

電装ボックス２７は、Ｘ軸ステージ２２、Ｙ軸ステージ２３及びＺ軸ステージ２６並びに塗布機構１０に接続されている。電装ボックス２７には、Ｘ軸ステージ２２、Ｙ軸ステージ２３及びＺ軸ステージ２６並びに塗布機構１０を駆動するための電装部品が格納されている。

【0047】

制御装置３０は、例えば、コンピュータ３０ａと、モニタ３０ｂと、キーボード３０ｃと、マウス３０ｄとを有している。

【0048】

コンピュータ３０ａは、例えばパソコンである。コンピュータ３０ａは、電装ボックス２７（より具体的には、電装ボックス２７内に格納されている各電装部品）に接続されており、電装ボックス２７に対してＸ軸ステージ２２、Ｙ軸ステージ２３及びＺ軸ステージ２６並びに塗布機構１０を駆動させるための制御信号を送出する。

【0049】

モニタ３０ｂは、コンピュータ３０ａに接続されている。モニタ３０ｂには、撮像装置２９により撮影された画像及びコンピュータ３０ａの操作画面が表示される。キーボード３０ｃ及びマウス３０ｄは、コンピュータ３０ａに接続されている。モニタ３０ｂに表示されている操作画面上においてキーボード３０ｃ及びマウス３０ｄを用いて各種の入力を行うことにより、コンピュータ３０ａから、電装ボックス２７に対する制御信号が送出される。

【0050】

液体材料を基板ＳＵＢ上に塗布しようとする際、制御装置３０は、まず、基板ＳＵＢの被塗布位置が観察光学系２８の直下に位置するように、電装ボックス２７を介してＸ軸ステージ２２及びＹ軸ステージ２３を駆動させる。

【0051】

次に、観察光学系２８及び撮像装置２９により、基板ＳＵＢの被塗布位置が観察及び確認されるとともに、その観察及び確認の結果に基づいて、基板ＳＵＢの被塗布位置が決定される。さらに、キーボード３０ｃ及びマウス３０ｄを介して制御装置３０に入力された塗布指令に基づいてＺ軸ステージ２６及び塗布機構１０（駆動機構１１）が駆動される。

【0052】

その結果、液体材料の付着した先端１３ａが容器１５の下端１５ｂを閉塞している底壁に形成されている貫通穴から突出して液体材料が基板ＳＵＢの塗布面に接触し、液体材料の基板ＳＵＢへの塗布が行われる。

【0053】

以上のように本発明の実施形態について説明を行ったが、上述の実施形態を様々に変形することも可能である。また、本発明の範囲は、上述の実施形態に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更を含むことが意図される。

【産業上の利用可能性】

【0054】

上記の実施形態は、液体材料の塗布機構及び塗布装置に特に有利に適用される。

【符号の説明】

【0055】

１０ 塗布機構、１０Ａ 塗布機構、１１ 駆動機構、１２ 塗布針ホルダ、１２ａ ねじ、１２ｂ ねじ、１３ 塗布針、１３ａ 先端、１３ｂ 基端、１４ 第２マグネット、１５ 容器、１５ａ 上端、１５ｂ 下端、２１ａ ベース板、２１ｂ 架台、２２ Ｘ軸ステージ、２３ Ｙ軸ステージ、２４ ステージ可動板、２５ 吸着板、２７ 電装ボックス、２８ 観察光学系、２９ 撮像装置、３０ 制御装置、３０ａ コンピュータ、３０ｂ モニタ、３０ｃ キーボード、３０ｄ マウス、１００ 塗布装置、１１１ サーボモータ、１１１ａ 回転軸、１１２ カム、１１２ａ 第１面、１１２ｂ 第２面、１１３ 軸受、１１４ カム連結板、１１５ 可動部、１１５ａ ストッパ、１１６ 緩衝機構、１１６ａ リニアガイド、１１６ｂ 弾性部材、１１７ 塗布針ホルダ固定部、１１８ 第１マグネット、ＳＵＢ 基板。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】