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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022130055
(43)【公開日】2022-09-06
(54)【発明の名称】電気集塵装置
(51)【国際特許分類】
B03C 3/74 20060101AFI20220830BHJP
B03C 3/40 20060101ALI20220830BHJP
【ＦＩ】
B03C3/74 Z
B03C3/40 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】16
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021029007
(22)【出願日】2021-02-25
(71)【出願人】
【識別番号】000005234
【氏名又は名称】富士電機株式会社
(71)【出願人】
【識別番号】391022614
【氏名又は名称】学校法人幾徳学園
(74)【代理人】
【識別番号】110000877
【氏名又は名称】弁理士法人ＲＹＵＫＡ国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】村上 幸平
(72)【発明者】
【氏名】中川 匡
(72)【発明者】
【氏名】當山 広幸
(72)【発明者】
【氏名】瑞慶覧 章朝
(72)【発明者】
【氏名】袴田 大樹
【テーマコード（参考）】
4D054
【Ｆターム（参考）】
4D054AA03
4D054BA02
4D054BC31
4D054DA09
4D054DA11
(57)【要約】
【課題】排ガスに含まれる粒子状物質をマイクロ波により燃焼させる場合、マイクロ波のエネルギー効率を向上させることが望ましい。
【解決手段】排ガスに含まれる粒子状物質が堆積する底板を有し、底板に複数の第１スリットが設けられた捕集部と、マイクロ波が伝搬する内部空間を有する伝搬部と、を備え、上面視において、複数の第１スリットは内部空間と重なる位置に配置され、マイクロ波は、内部空間から複数の第１スリットを通じて捕集部に伝搬する、電気集塵装置を提供する。
【選択図】図３
【解決手段】排ガスに含まれる粒子状物質が堆積する底板を有し、底板に複数の第１スリットが設けられた捕集部と、マイクロ波が伝搬する内部空間を有する伝搬部と、を備え、上面視において、複数の第１スリットは内部空間と重なる位置に配置され、マイクロ波は、内部空間から複数の第１スリットを通じて捕集部に伝搬する、電気集塵装置を提供する。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
排ガスに含まれる粒子状物質が堆積する底板を有し、前記底板に複数の第１スリットが設けられた捕集部と、
マイクロ波が伝搬する内部空間を有する伝搬部と、
を備え、
上面視において、前記複数の第１スリットは前記内部空間と重なる位置に配置され、
前記マイクロ波は、前記内部空間から前記複数の第１スリットを通じて前記捕集部に伝搬する、
電気集塵装置。
マイクロ波が伝搬する内部空間を有する伝搬部と、
を備え、
上面視において、前記複数の第１スリットは前記内部空間と重なる位置に配置され、
前記マイクロ波は、前記内部空間から前記複数の第１スリットを通じて前記捕集部に伝搬する、
電気集塵装置。
【請求項2】
前記粒子状物質を帯電させる帯電部と、
帯電した前記粒子状物質を集塵する集塵部と、
をさらに備え、
前記捕集部は、前記集塵部の下方に配置され、
前記底板には、前記集塵部により集塵された前記粒子状物質が堆積する、
請求項１に記載の電気集塵装置。
帯電した前記粒子状物質を集塵する集塵部と、
をさらに備え、
前記捕集部は、前記集塵部の下方に配置され、
前記底板には、前記集塵部により集塵された前記粒子状物質が堆積する、
請求項１に記載の電気集塵装置。
【請求項3】
前記伝搬部は、前記底板の面内方向、且つ、前記複数の第１スリットの長辺に交差する方向である第１方向において、前記複数の第１スリットと予め定められた距離、離隔して設けられた第１マイクロ波導入口を有し、
前記マイクロ波は、前記第１マイクロ波導入口を通じて前記内部空間に導入され、
前記第１方向における、前記第１マイクロ波導入口から前記複数の第１スリットのうちの１つの第１スリットまでの距離が大きいほど、前記第１方向における前記複数の第１スリットのそれぞれの幅が大きい、
請求項２に記載の電気集塵装置。
前記マイクロ波は、前記第１マイクロ波導入口を通じて前記内部空間に導入され、
前記第１方向における、前記第１マイクロ波導入口から前記複数の第１スリットのうちの１つの第１スリットまでの距離が大きいほど、前記第１方向における前記複数の第１スリットのそれぞれの幅が大きい、
請求項２に記載の電気集塵装置。
【請求項4】
前記伝搬部は、前記底板の面内方向、且つ、前記複数の第１スリットの長辺に交差する方向である第１方向において、前記複数の第１スリットと予め定められた距離、離隔して設けられた第１マイクロ波導入口を有し、
前記マイクロ波は、前記第１マイクロ波導入口を通じて前記内部空間に導入され、
前記第１方向における、前記第１マイクロ波導入口から前記複数の第１スリットのうちの１つの第１スリットまでの距離が大きいほど、前記複数の第１スリットのうち前記第１方向において隣り合う一の第１スリットと他の第１スリットとの間隔が小さい、
請求項２に記載の電気集塵装置。
前記マイクロ波は、前記第１マイクロ波導入口を通じて前記内部空間に導入され、
前記第１方向における、前記第１マイクロ波導入口から前記複数の第１スリットのうちの１つの第１スリットまでの距離が大きいほど、前記複数の第１スリットのうち前記第１方向において隣り合う一の第１スリットと他の第１スリットとの間隔が小さい、
請求項２に記載の電気集塵装置。
【請求項5】
前記捕集部は、前記底板と交差し、前記内部空間に面し、上面視において前記第１マイクロ波導入口から最も離隔して配置された第１の側板をさらに有し、
前記第１の側板には、第２スリットが設けられている、
請求項３または４に記載の電気集塵装置。
前記第１の側板には、第２スリットが設けられている、
請求項３または４に記載の電気集塵装置。
【請求項6】
前記第１方向と交差する方向における前記伝搬部の幅は、前記第１マイクロ波導入口から前記複数の第１スリットにかけて広がっている、請求項３から５のいずれか一項に記載の電気集塵装置。
【請求項7】
前記伝搬部は、前記内部空間に面し、上面視において前記第１方向に延伸する外側板と、前記外側板に設けられた第２マイクロ波導入口と、をさらに有する、請求項３から６のいずれか一項に記載の電気集塵装置。
【請求項8】
前記伝搬部は、前記内部空間に面し、前記底板の下方に設けられた外底板と、前記外底板に設けられた第３マイクロ波導入口と、をさらに有する、請求項３から７のいずれか一項に記載の電気集塵装置。
【請求項9】
前記第１マイクロ波導入口には、前記伝搬部の外部から前記内部空間に導入されるマイクロ波が通過するマイクロ波導入管が接続され、
前記マイクロ波導入管は、前記マイクロ波の進行方向に交差する方向に窪んだ第１凹部を有し、
前記第１凹部の深さは、前記マイクロ波の波長の１／４である、
請求項３から８のいずれか一項に記載の電気集塵装置。
前記マイクロ波導入管は、前記マイクロ波の進行方向に交差する方向に窪んだ第１凹部を有し、
前記第１凹部の深さは、前記マイクロ波の波長の１／４である、
請求項３から８のいずれか一項に記載の電気集塵装置。
【請求項10】
前記集塵部は、集塵電極を有し、
前記集塵電極は、前記捕集部から前記集塵部への方向に交差する方向に窪んだ第２凹部を有し、
前記第２凹部の深さは、前記マイクロ波の波長の１／４である、
請求項２から９のいずれか一項に記載の電気集塵装置。
前記集塵電極は、前記捕集部から前記集塵部への方向に交差する方向に窪んだ第２凹部を有し、
前記第２凹部の深さは、前記マイクロ波の波長の１／４である、
請求項２から９のいずれか一項に記載の電気集塵装置。
【請求項11】
前記帯電部および前記集塵部は、前記排ガスが通過する配管に設けられ、
前記捕集部は、前記配管の下方に配置されている、
請求項２から１０のいずれか一項に記載の電気集塵装置。
前記捕集部は、前記配管の下方に配置されている、
請求項２から１０のいずれか一項に記載の電気集塵装置。
【請求項12】
前記捕集部は、前記底板と交差し前記内部空間に面する第２の側板をさらに有し、
前記底板から前記第２の側板にわたり、前記複数の第１スリットが延伸して設けられている、
請求項１から１１のいずれか一項に記載の電気集塵装置。
前記底板から前記第２の側板にわたり、前記複数の第１スリットが延伸して設けられている、
請求項１から１１のいずれか一項に記載の電気集塵装置。
【請求項13】
前記底板の上面に設けられ、前記複数の第１スリットのうち少なくとも一つの第１スリットを覆う被覆材をさらに備える、請求項１から１２のいずれか一項に記載の電気集塵装置。
【請求項14】
前記被覆材が、前記少なくとも一つの第１スリットの内部に設けられている、請求項１３に記載の電気集塵装置。
【請求項15】
前記被覆材の上面には、前記第１スリットに対応する窪みが設けられている、請求項１４に記載の電気集塵装置。
【請求項16】
前記被覆材が前記底板の上面から着脱可能である、請求項１３から１５のいずれか一項に記載の電気集塵装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、電気集塵装置に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、「帯電粒子を捕集する捕集部と、集塵部に導入するマイクロ波を発生し、集塵部に捕集された帯電粒子をマイクロ波により燃焼させるマイクロ波発生部と、を備える電気集塵装置を提供する」と記載されている。
［先行技術文献］
［特許文献］
［特許文献１］国際公開第２０２０／０８４９３４号
［先行技術文献］
［特許文献］
［特許文献１］国際公開第２０２０／０８４９３４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
排ガスに含まれる粒子状物質をマイクロ波により燃焼させる場合、マイクロ波のエネルギー効率を向上させることが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【0004】
本発明の第１の態様においては、電気集塵装置を提供する。電気集塵装置は、排ガスに含まれる粒子状物質が堆積する底板を有し、底板に複数の第１スリットが設けられた捕集部と、マイクロ波が伝搬する内部空間を有する伝搬部と、を備える。上面視において、複数の第１スリットは内部空間と重なる位置に配置される。マイクロ波は、内部空間から複数の第１スリットを通じて捕集部に伝搬する。
【0005】
電気集塵装置は、粒子状物質を帯電させる帯電部と、帯電した粒子状物質を集塵する集塵部と、をさらに備えてよい。捕集部は、集塵部の下方に配置されてよい。底板には、集塵部により集塵された粒子状物質が堆積してよい。
【0006】
伝搬部は、底板の面内方向、且つ、複数の第１スリットの長辺に交差する方向である第１方向において、複数の第１スリットと予め定められた距離、離隔して設けられた第１マイクロ波導入口を有してよい。マイクロ波は、第１マイクロ波導入口を通じて内部空間に導入されてよい。第１方向における、第１マイクロ波導入口から複数の第１スリットのうちの１つの第１スリットまでの距離が大きいほど、第１方向における複数の第１スリットのそれぞれの幅が大きくてよい。
【0007】
伝搬部は、底板の面内方向、且つ、複数の第１スリットの長辺に交差する方向である第１方向において、複数の第１スリットと予め定められた距離、離隔して設けられた第１マイクロ波導入口を有してよい。マイクロ波は、第１マイクロ波導入口を通じて内部空間に導入されてよい。第１方向における、第１マイクロ波導入口から複数の第１スリットのうちの１つの第１スリットまでの距離が大きいほど、複数の第１スリットのうち第１方向において隣り合う一の第１スリットと他の第１スリットとの間隔が小さくてよい。
【0008】
捕集部は、底板と交差し、内部空間に面し、上面視において第１マイクロ波導入口から最も離隔して配置された第１の側板をさらに有してよい。第１の側板には、第２スリットが設けられていてよい。
【0009】
第１方向と交差する方向における伝搬部の幅は、第１マイクロ波導入口から複数の第１スリットにかけて広がっていてよい。
【0010】
伝搬部は、内部空間に面し、上面視において第１方向に延伸する外側板と、外側板に設けられた第２マイクロ波導入口と、をさらに有してよい。
【0011】
伝搬部は、内部空間に面し、底板の下方に設けられた外底板と、外底板に設けられた第３マイクロ波導入口と、をさらに有してよい。
【0012】
第１マイクロ波導入口には、伝搬部の外部から内部空間に導入されるマイクロ波が通過するマイクロ波導入管が接続されてよい。マイクロ波導入管は、マイクロ波の進行方向に交差する方向に窪んだ第１凹部を有してよい。第１凹部の深さは、マイクロ波の波長の１／４であってよい。
【0013】
集塵部は、集塵電極を有してよい。集塵電極は、捕集部から集塵部への方向に交差する方向に窪んだ第２凹部を有してよい。第２凹部の深さは、マイクロ波の波長の１／４であってよい。
【0014】
帯電部および集塵部は、排ガスが通過する配管に設けられてよい。捕集部は、配管の下方に配置されていてよい。
【0015】
捕集部は、底板と交差し内部空間に面する第２の側板をさらに有してよい。底板から第２の側板にわたり、複数の第１スリットが延伸して設けられていてよい。
【0016】
電気集塵装置は、底板の上面に設けられ、複数の第１スリットのうち少なくとも一つの第１スリットを覆う被覆材をさらに備えてよい。
【0017】
被覆材は、少なくとも一つの第１スリットの内部に設けられていてよい。
【0018】
被覆材の上面には、第１スリットに対応する窪みが設けられていてよい。
【0019】
被覆材は、底板の上面から着脱可能であってよい。
【0020】
なお、上記の発明の概要は、本発明の特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【0021】
【図1】本発明の一つの実施形態に係る電気集塵装置１００の一例を示す図である。
【図2】本発明の一つの実施形態に係る電気集塵装置１００および電気集塵システム２００のブロック図の一例を示す図である。
【図20】電気集塵装置１００の配置の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0022】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【0023】
図１は、本発明の一つの実施形態に係る電気集塵装置１００の一例を示す図である。電気集塵装置１００は、捕集部１０および伝搬部２０を備える。電気集塵装置１００は、集塵部４０を備えてよい。捕集部１０は、底板１１を有する。伝搬部２０は、マイクロ波が伝搬する内部空間２１を有する。本例において、伝搬部２０は第１マイクロ波導入口２２を有する。
【0024】
本明細書においては、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の直交座標軸を用いて技術的事項を説明する場合がある。本明細書において、底板１１の板面に平行な面をＸＹ面とし、底板１１の板面に垂直な方向をＺ軸方向とする。ＸＹ面は水平面であってよく、Ｚ軸方向は重力方向に平行であってよい。本明細書において、ＸＹ面内における所定の方向をＸ軸方向とし、ＸＹ面内においてＸ軸に直交する方向をＹ軸方向とする。
【0025】
本明細書においては、Ｚ軸方向において集塵部４０の側を「上」、伝搬部２０の側を「下」と称する。本例においてはＺ軸方向を重力方向としているが、「上」、「下」の方向は重力方向に限定されない。本明細書において上面視とは、電気集塵装置１００をＺ軸方向に集塵部４０から伝搬部２０の方向に見た場合を指す。本例において、捕集部１０は集塵部４０の下方に配置されている。本明細書において下面視とは、電気集塵装置１００をＺ軸方向に伝搬部２０から集塵部４０の方向に見た場合を指す。本明細書において側面視とは、電気集塵装置１００をＸＹ面内方向に見た場合を指す。
【0026】
図２は、本発明の一つの実施形態に係る電気集塵装置１００および電気集塵システム２００のブロック図の一例を示す図である。本例において、電気集塵システム２００は、マイクロ波発生部９１、動力装置９２および電気集塵装置１００を備える。動力装置９２は、燃料を燃焼することにより排ガス３０を発生する。動力装置９２は、例えばエンジンである。排ガス３０には、粒子状物質（ＰＭ：Ｐａｒｔｉｃｌｅ Ｍａｔｔｅｒ）３２が含まれる。粒子状物質３２は、ブラックカーボンとも称される。粒子状物質３２は、化石燃料の不完全燃焼により発生する。粒子状物質３２は、炭素を主成分とする微粒子である。
【0027】
電気集塵装置１００は、帯電部９０を備えてよい。帯電部９０は、粒子状物質３２を帯電させる。帯電部９０は、マイナスコロナ放電によりマイナスイオンを発生してよい。帯電部９０は、当該マイナスイオンにより粒子状物質３２を帯電させてよい。
【0028】
集塵部４０は、帯電した粒子状物質３２を集塵する。捕集部１０は、粒子状物質３２を捕集する。捕集部１０の底板１１（図１参照）には、集塵部４０により集塵された粒子状物質３２が堆積する。図１に示されるとおり、本例において、捕集部１０は集塵部４０の下方に配置されている。本例において、底板１１には、集塵部４０から捕集部１０に落下した粒子状物質３２が堆積する。
【0029】
マイクロ波発生部９１は、マイクロ波９３を発生する。捕集部１０に捕集された粒子状物質３２は、マイクロ波９３により燃焼する。マイクロ波９３は、３００ＭＨｚから３００ＧＨｚの周波数を有する電磁波である。
【0030】
図３は、図１に示される電気集塵装置１００の上面視における一例を示す図である。図３においては、集塵部４０は省略されている。第１マイクロ波導入口２２には、マイクロ波導入管９４が接続されていてよい。本例において、伝搬部２０の外部から内部空間２１に導入されるマイクロ波９３は、マイクロ波導入管９４を通過する。
【0031】
底板１１は、上面９６および下面９８を有する。上面９６には、粒子状物質３２が堆積する。底板１１には、複数の第１スリット８０が設けられている。本例においては、底板１１には９つの第１スリット８０が設けられている。第１スリット８０は、上面９６から下面９８にわたり、底板１１を貫通している。本例の第１スリット８０は、長辺８１および短辺８２を有する矩形状である。
【0032】
底板１１の面内方向、且つ、第１スリット８０の長辺８１に交差する方向を、第１方向ｄｒ１とする。本例においては、第１方向ｄｒ１は長辺８１に直交する方向であり、短辺８２に平行な方向である。本例においては、第１方向ｄｒ１はＹ軸方向に平行である。底板１１の面内方向、且つ、第１スリット８０の短辺８２に交差する方向を、第２方向ｄｒ２とする。本例においては、第２方向ｄｒ２は短辺８２に直交する方向であり、長辺８１に平行な方向である。本例においては、第２方向ｄｒ２はＸ軸方向に平行である。
【0033】
本例において、捕集部１０は、第１の側板１５、第２の側板１２および第３の側板１８を有する。本例において、捕集部１０は、２つの第２の側板１２（第２の側板１２－１および第２の側板１２－２）を有する。第２の側板１２－１および第２の側板１２－２は、第２方向ｄｒ２において捕集空間９７（後述）を挟んで対向している。
【0034】
本例の第１の側板１５および第３の側板１８は、上面視において第２方向ｄｒ２に延伸している。本例の第２の側板１２は、上面視において第１方向ｄｒ１に延伸している。第１の側板１５、第２の側板１２および第３の側板１８のうち、第１の側板１５は、第１方向ｄｒ１において第１マイクロ波導入口２２から最も離隔して配置されている。
【0035】
本例において、第１の側板１５は外側面１６および内側面１７を含み、第２の側板１２は外側面１３および内側面１４を含み、第３の側板１８は外側面１９および内側面９９を含む。本例において、捕集部１０は捕集空間９７を有する。捕集空間９７は、底板１１の上面９６の上方の空間であって、内側面１７、内側面１４および内側面９９に囲まれた空間である。
【0036】
第１の側板１５、第２の側板１２および第３の側板１８は、内部空間２１に面していてよい。本例においては、第１の側板１５の外側面１６、第２の側板１２の外側面１３および第３の側板１８の外側面１９が、内部空間２１に面している。
【0037】
第１の側板１５、第２の側板１２および第３の側板１８は、底板１１と交差していてよい。本例においては、第１の側板１５、第２の側板１２および第３の側板１８は、底板１１と直交している。
【0038】
本例において、伝搬部２０は天板２４、外底板２５、外側板２３および外側板３３を有する。外底板２５は、Ｚ軸方向において天板２４の下方に配置され、且つ、天板２４と離隔して配置されている。天板２４、外底板２５、外側板２３および外側板３３は、内部空間２１に面している。
【0039】
本例において、天板２４および外底板２５の板面は、ＸＹ面に平行に配置されている。本例において、伝搬部２０は２つの外側板２３（外側板２３－１および外側板２３－２）を有する。本例において、伝搬部２０は２つの外側板３３（外側板３３－１および外側板３３－２）を有する。本例の外側板２３は、上面視において第１方向ｄｒ１に延伸している。本例の外側板３３は、上面視において第２方向ｄｒ２に延伸している。
【0040】
外側板２３は、内側面２６を含む。外側板３３は、内側面３６を含む。内部空間２１は、Ｚ軸方向において天板２４と外底板２５とに挟まれ、且つ、ＸＹ面内において内側面２６および内側面３６に囲まれた空間である。
【0041】
底板１１および第１スリット８０は、上面視において、伝搬部２０の内部空間２１と重なる位置に配置されている。本例において、底板１１の下面９８は、内部空間２１に接している。本例において、捕集部１０の捕集空間９７と伝搬部２０の内部空間２１とは、第１スリット８０を介して連通している。
【0042】
内部空間２１の第１方向ｄｒ１および第２方向ｄｒ２における幅を、それぞれ幅Ｗｐ１および幅Ｗｐ２とする。幅Ｗｐ１は、幅Ｗｐ２と異なっていてよく、等しくてもよい。幅Ｗｐ１は、１０００ｍｍ以上１３００ｍｍ以下であってよい。幅Ｗｐ２は、５０ｍｍ以上５００ｍｍ以下であってよい。
【0043】
捕集空間９７の第１方向ｄｒ１および第２方向ｄｒ２における幅を、それぞれ幅Ｗｃ１および幅Ｗｃ２とする。幅Ｗｃ１は、幅Ｗｃ２と異なっていてよく、等しくてもよい。幅Ｗｃ１は、８００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下であってよい。幅Ｗｃ２は、５０ｍｍ以上４５０ｍｍ以下であってよい。
【0044】
幅Ｗｃ１は、幅Ｗｐ１よりも小さくてよく、幅Ｗｐ１と等しくてもよい。幅Ｗｃ２は、幅Ｗｐ２よりも小さくてよく、幅Ｗｐ２と等しくてもよい。
【0045】
本例において、マイクロ波９３は、第１マイクロ波導入口２２を通じて内部空間２１に導入される。マイクロ波９３は、第１方向ｄｒ１における第１マイクロ波導入口２２の位置において、第１方向ｄｒ１に導入されてよい。第１マイクロ波導入口２２は、第１方向ｄｒ１において複数の第１スリット８０と予め定められた距離、離隔して設けられていてよい。当該予め定められた距離を、距離ｄｓ１とする。
【0046】
第１方向ｄｒ１に導入されたマイクロ波９３は、上面視において内部空間２１をＸＹ面内に放射状に伝搬しやすい。このため、第１マイクロ波導入口２２が第１スリット８０と距離ｄｓ１離隔して設けられていることにより、ＸＹ面内における第１スリット８０の位置において、マイクロ波９３が一様になりやすくなる。マイクロ波９３が一様であるとは、マイクロ波９３の進行方向が、ＸＹ面内およびＺ軸方向において、特定の進行方向に偏っていない状態を指す。距離ｄｓ１は、マイクロ波９３の波長の０．２倍以上４００倍以下であってよく、０．４倍以上２００倍以下であってもよい。
【0047】
マイクロ波９３は、内部空間２１から複数の第１スリット８０を通じて捕集部１０の捕集空間９７に伝搬する。ＸＹ面内における第１スリット８０の位置において、マイクロ波９３が一様であることにより、マイクロ波９３は第１スリット８０を通じて捕集空間９７に均一に伝搬しやすくなる。これにより、底板１１に堆積した粒子状物質３２に対して、上面９６における粒子状物質３２の位置にかかわらず、マイクロ波９３が均一に照射されやすくなる。このため、粒子状物質３２がマイクロ波９３により効率的に燃焼されやすくなる。
【0048】
第１スリット８０の長辺８１は、内部空間２１にマイクロ波９３が導入される方向（本例においては第１方向ｄｒ１）に交差する方向に配置されてよい。これにより、長辺８１が、マイクロ波９３が導入される方向に平行な方向に配置される場合よりも、粒子状物質３２がマイクロ波９３により効率的に燃焼されやすくなる。
【0049】
本例においては、内部空間２１に導入されたマイクロ波９３が内部空間２１において放射状に伝搬し、放射状に伝搬したマイクロ波９３が複数の第１スリット８０を通じて捕集空間９７に伝搬する。このため、本例においては、マイクロ波９３は１つの第１マイクロ波導入口２２から内部空間２１に導入されればよい。このため、マイクロ波発生部９１により発生されたマイクロ波９３が通過するマイクロ波導入管９４は、１つでよい。マイクロ波導入管９４は高価である場合がある。本例においては、マイクロ波導入管９４が１つでよいので、マイクロ波導入管９４が複数配置される場合よりも、電気集塵システム２００（図２参照）のコストが低減されやすくなる。
【0050】
第１スリット８０の第１方向ｄｒ１における幅を、幅Ｗ１とする。幅Ｗ１は、短辺８２の幅である。幅Ｗ１は、マイクロ波９３の波長の０．１倍以上４０倍以下であってよい。幅Ｗ１は、１５ｍｍ以上４０ｍｍ以下であってよい。
【0051】
第１方向ｄｒ１において隣り合う一の第１スリット８０と他の第１スリット８０との間隔の幅を、幅Ｗ２とする。本例においては、複数の第１スリット８０の全てにわたり、第１方向ｄｒ１において隣り合う一の第１スリット８０と他の第１スリット８０との間隔の幅Ｗ２は、等しい。幅Ｗ２は、幅Ｗ１の２．０倍以上１０．０倍以下であってよい。幅Ｗ２は、５０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であってよい。
【0052】
第１スリット８０の第２方向ｄｒ２における幅を、幅Ｗ３とする。幅Ｗ３は、長辺８１の幅である。本例においては、複数の第１スリット８０の全てにわたり、長辺８１の幅W３は等しい。幅Ｗ３は、マイクロ波９３の波長の１／２以上であってよい。マイクロ波９３の周波数が２．４５ＧＨｚである場合、幅Ｗ３は６１．３ｍｍ以上であってよい。
【0053】
図４は、図３に示されるａ－ａ'線における断面の一例を示す図である。ａ－ａ'線は、マイクロ波導入管９４、外側板３３－２、第１マイクロ波導入口２２、天板２４、外底板２５、内部空間２１、第３の側板１８、集塵部４０、捕集空間９７、第１の側板１５および外側板３３－１を通るＹＺ断面である。図４において、集塵部４０がハッチングにて示されている。ただし、図４において、集塵部４０における集塵電極は、省略されている。本例において、集塵部４０において集塵された粒子状物質３２は、底板１１の上面９６に落下する。
【0054】
捕集部１０の上端を、上端Ｅｈとする。図４において、Ｚ軸方向における上端Ｅｈの位置が、粗い破線にて示されている。Ｚ軸方向において、上端Ｅｈの位置は、伝搬部２０における天板２４の上面の位置と一致していてよい。捕集部１０は、伝搬部２０の内部に配置されていてよい。底板１１の下面９８は、内部空間２１に接していてよい。
【0055】
外底板２５の上面を、上面２７とする。第１方向ｄｒ１および第２方向ｄｒ２に直交する方向を、第３方向ｄｒ３とする。本例においては、第３方向ｄｒ３はＺ軸方向と同じである。
【0056】
底板１１の下面９８は、第３方向ｄｒ３において上面２７と予め定められた距離、離隔して配置されていてよい。当該予め定められた距離を、距離ｄｓ２とする。上述したとおり、第１方向ｄｒ１に導入されたマイクロ波９３は、上面視において内部空間２１をＸＹ面内に放射状に伝搬しやすい。このため、下面９８が上面２７から距離ｄｓ２離隔して配置されていることにより、内部空間２１に導入されたマイクロ波９３は、第３方向ｄｒ３に内部空間２１から捕集空間９７への方向に進みやすくなる。図４において、内部空間２１から捕集空間９７への方向に進むマイクロ波９３が、破線矢印にて示されている。
【0057】
距離ｄｓ２は、マイクロ波９３の波長の２００倍以下であってよく、１００倍以下であってもよい。距離ｄｓは、２５０ｍｍ以下であってよく、２００ｍｍ以下であってもよい。
【0058】
集塵部４０の少なくとも一部は、Ｚ軸方向において捕集部１０と重なるように配置されていてよい。本例においては、Ｚ軸方向における底板１１の上面９６から捕集部１０の上端Ｅｈまでの間において、集塵部４０の一部と捕集部１０とが重なるように配置されている。
【0059】
図５は、図１に示される電気集塵装置１００の上面視における他の一例を示す図である。第１方向ｄｒ１において、第１マイクロ波導入口２２に最も近接して配置された第１スリット８０を第１スリット８０－１とし、最も離隔して配置された第１スリット８０を第１スリット８０－９とする。第１スリット８０－１～第１スリット８０－９の幅Ｗ１を、それぞれ幅Ｗ１－１～幅Ｗ１－９とする。
【0060】
本例においては、第１方向ｄｒ１における、第１マイクロ波導入口２２から複数の第１スリット８０のうちの１つの第１スリット８０までの距離が大きいほど、第１方向ｄｒ１における複数の第１スリット８０のそれぞれの幅が大きい。即ち、第１スリット８０－１から第１スリット８０－９に至るほど、幅Ｗ１が大きい。９つの幅Ｗ１のうち、幅Ｗ１－１が最も小さく、幅Ｗ１－９が最も大きい。これにより、９つの幅Ｗ１が全て等しい場合（即ち図３に示される場合）よりも、マイクロ波９３の損失が抑制されやすくなる。
【0061】
図６は、図１に示される電気集塵装置１００の上面視における他の一例を示す図である。本例においては、底板１１に１０個の第１スリット８０が設けられている。第１方向ｄｒ１において、第１マイクロ波導入口２２に最も近接して配置された第１スリット８０を第１スリット８０－１とし、最も離隔して配置された第１スリット８０を第１スリット８０－１０とする。本例においては、１つの第１スリット８０の幅Ｗ１（図３参照）は、１０個の第１スリット８０にわたり等しい。
【0062】
第１方向ｄｒ１において隣り合う第１スリット８０－ｋと第１スリット８０－（ｋ＋１）との間隔の幅を、幅Ｗ２－ｋとする。ここで、ｋは１以上９以下の整数である。本例においては、第１方向ｄｒ１における、第１マイクロ波導入口２２から複数の第１スリット８０のうちの１つの第１スリット８０までの距離が大きいほど、複数の第１スリット８０のうち第１方向ｄｒ１において隣り合う一の第１スリット８０と他の第１スリット８０との間隔が小さい。即ち、本例においては、ｋが大きいほど幅Ｗ２－ｋが小さい。これにより、８つの幅Ｗ２が全て等しい場合（即ち図３に示される場合）よりも、マイクロ波９３の損失が抑制されやすくなる。
【0063】
図７は、図１に示される電気集塵装置１００の上面視における他の一例を示す図である。本例の電気集塵装置１００は、被覆材８３をさらに備える点で、図３に示される電気集塵装置１００と異なる。図７において、被覆材８３がハッチングで示されている。
【0064】
本例において、被覆材８３は底板１１の上面９６（図４参照）に設けられている。即ち、本例において、被覆材８３は捕集空間９７に配置されている。被覆材８３は、複数の第１スリット８０のうち少なくとも一つの第１スリット８０を覆っていてよい。本例においては、被覆材８３は、全ての（９つの）第１スリット８０を覆っている。
【0065】
粒子状物質３２（図４参照）は、被覆材８３を通過しない。マイクロ波９３は、被覆材８３を透過する。被覆材８３におけるマイクロ波９３の透過率および吸収率は、それぞれ９０％以上および１０％未満であってよい。被覆材８３は、例えばグラスウール等の断熱材、セラミックファイバおよび石英ガラスの少なくとも１つである。
【0066】
動力装置９２（図２参照）から排出される排ガス３０（図２参照）の温度は、３００℃～４００℃である場合がある。このため、粒子状物質３２の温度も、３００℃～４００℃である場合がある。マイクロ波９３により粒子状物質３２が燃焼される場合、燃焼によりさらに温度が上昇する場合がある。このため、被覆材８３の耐熱温度は、８００℃以上であることが好ましい。
【0067】
【0068】
被覆材８３の上面および下面を、それぞれ上面８７および下面８６とする。本例において、被覆材８３の下面８６は、底板１１の上面９６に接して設けられている。
【0069】
被覆材８３は、少なくとも一つの第１スリット８０の内部に設けられていてよい。被覆材８３は底板１１の上面９６から下面９８への方向に突出した凸部８４を有してよい。凸部８４は、第１スリット８０の内部に設けられてよい。凸部８４が第１スリット８０の内部に設けられているとは、凸部８４が、第３方向ｄｒ３において上面９６と下面９８との間に配置されている状態を指す。被覆材８３が第１スリット８０の内部に設けられることにより、被覆材８３が底板１１の上面９６に固定されやすくなる。
【0070】
被覆材８３の上面８７には、第１スリット８０に対応する窪み８５が設けられていてよい。窪み８５とは、被覆材８３の上面８７に設けられた窪みであって、被覆材８３の上面８７から下面８６への方向に窪んだ、被覆材８３の窪みである。窪み８５が第１スリット８０に対応するとは、窪み８５の第１方向ｄｒ１における少なくとも一部と、第１スリット８０の第１方向ｄｒ１における少なくとも一部とが、同じ位置に配置されている状態を指す。本例においては、窪み８５の第１方向ｄｒ１における全体と、第１スリット８０の第１方向ｄｒ１における全体とが、同じ位置に配置されている。
【0071】
被覆材８３の上面８７に窪み８５が設けられている場合、被覆材８３の上面８７に落下した粒子状物質３２は、窪み８５に堆積しやすくなる。窪み８５は、第１スリット８０に対応しているので、窪み８５に堆積した粒子状物質３２は、第１スリット８０を内部空間２１から捕集空間９７への方向に進行するマイクロ波９３により、燃焼しやすくなる。このため、上面８７に窪み８５が設けられない場合よりも、電気集塵装置１００における粒子状物質３２の燃焼効率が向上しやすくなる。
【0072】
図８においては、１つの第１スリット８０の近傍が示されているが、図７に示される複数の第１スリット８０のうち少なくとも一つの第１スリット８０の内部に、凸部８４が設けられてよい。複数の第１スリット８０の全ての内部に、凸部８４が設けられてもよい。被覆材８３の上面８７には、複数の第１スリット８０の少なくとも一つの第１スリット８０に対応する窪み８５が設けられていてよい。被覆材８３の上面８７には、複数の第１スリット８０のそれぞれに対応する複数の窪み８５が設けられていてもよい。
【0073】
被覆材８３は、底板１１の上面９６から着脱可能であってよい。上述したとおり、被覆材８３は、例えばグラスウール等の断熱材、セラミックファイバおよび石英ガラスの少なくとも１つである。被覆材８３が、例えばグラスウール等の断熱材である場合、底板１１の上面９６に配置された被覆材８３に対して上面９６から下面９８への方向へ押圧力が印加された場合、被覆材８３の一部であって第１スリット８０の上方に配置された被覆材８３の当該一部は、第１スリット８０の内部に侵入しやすい。これにより、被覆材８３には凸部８４が生じやすく、且つ、被覆材８３の上面８７には、第１スリット８０に対応する窪み８５が生じやすい。
【0074】
図９は、図１に示される電気集塵装置１００の他の一例を示す図である。図９は、図１に示される電気集塵装置１００を第２の側板１２－１から第２の側板１２－２への方向（図３参照）に見た場合の一例である。ただし、図９において伝搬部２０の外側板２３（図３参照）は省略されている。図９において、図４に示される集塵部４０のハッチングは省略されている。
【0075】
本例においては、第１スリット８０が第２の側板１２にも設けられている。本例の電気集塵装置１００は、係る点で図３に示される電気集塵装置と異なる。第２の側板１２に設けられた第１スリット８０は、第２の側板１２の外側面１３から内側面１４（図３参照）にわたり、第２の側板１２を貫通している。
【0076】
複数の第１スリット８０は、底板１１から第２の側板１２にわたり、延伸して設けられていてよい。複数の第１スリットは、底板１１から第２の側板１２－１にわたり延伸して設けられていてよく、底板１１から第２の側板１２－２（図３参照）にわたり延伸して設けられていてよい。
【0077】
複数の第１スリット８０が第２の側板１２にも設けられていることにより、内部空間２１を第２方向ｄｒ２（図３参照）に伝搬するマイクロ波９３（図３および図４参照）は、第２の側板１２に設けられた第１スリット８０を通じて捕集空間９７へ伝搬しやすくなる。これにより、複数の第１スリット８０が底板１１のみに設けられている場合（即ち図３の例の場合）よりもさらに、粒子状物質３２がマイクロ波９３により燃焼されやすくなる。
【0078】
底板１１の上面９６に被覆材８３が設けられる場合（即ち図７の例の場合）、当該被覆材８３は、第２の側板１２の内側面１４（図３参照）にも設けられてよい。第２の側板１２の内側面１４に被覆材８３が設けられる場合、当該被覆材８３は、図８に示される例と同様に、第２の側板１２に設けられた第１スリット８０の内部に設けられてよい。
【0079】
図１０は、図１に示される電気集塵装置１００の他の一例を示す図である。図１０は、図１に示される電気集塵装置１００を第１の側板１５から第３の側板１８への方向（図３参照）に見た場合の一例である。ただし、図１０において伝搬部２０の外側板３３（図３参照）は省略されている。図１０において、図４に示される集塵部４０のハッチングは省略されている。
【0080】
本例において、第１の側板１５には第２スリット８８が設けられている。本例の電気集塵装置１００は、係る点で図３に示される電気集塵装置と異なる。第２スリット８８は、第１の側板１５の外側面１６から内側面１７（図３参照）にわたり、第１の側板１５を貫通している。
【0081】
第１の側板１５には、複数の第２スリット８８が設けられてよい。第２スリット８８の長辺は、第２方向ｄｒ２に平行に設けられてよく、第３方向ｄｒ３に平行に設けられてもよい。本例においては、第２スリット８８の長辺は、第２方向ｄｒ２に平行に設けられている。
【0082】
第２スリット８８が第１の側板１５に設けられていることにより、伝搬部２０の内側面３６－１（図３参照）において反射したマイクロ波９３は、第２スリット８８を通じて捕集空間９７へ伝搬しやすくなる。これにより、複数の第１スリット８０が底板１１のみに設けられている場合（即ち図３の例の場合）よりもさらに、粒子状物質３２がマイクロ波９３により燃焼されやすくなる。
【0083】
底板１１の上面９６に被覆材８３が設けられる場合（即ち図７の例の場合）、当該被覆材８３は、第１の側板１５の内側面１７（図３参照）にも設けられてよい。第１の側板１５の内側面１７に被覆材８３が設けられる場合、当該被覆材８３は、図８に示される例と同様に、第２スリット８８の内部に設けられてよい。
【0084】
図１１は、図１に示される電気集塵装置１００の上面視における他の一例を示す図である。本例の電気集塵装置１００においては、伝搬部２０は、外側板２３に設けられた第２マイクロ波導入口６１をさらに有する。本例の電気集塵装置１００は、係る点で図３に示される電気集塵装置１００と異なる。
【0085】
伝搬部２０は、複数の第２マイクロ波導入口６１を有してよい。本例の伝搬部２０は、２つの第２マイクロ波導入口６１（第２マイクロ波導入口６１―１および第２マイクロ波導入口６１―２）を有する。本例においては、外側板２３－１に第２マイクロ波導入口６１－１が設けられ、外側板２３－２に第２マイクロ波導入口６１－２が設けられている。
【0086】
第２マイクロ波導入口６１には、マイクロ波導入管６０が接続されてよい。本例においては、第２マイクロ波導入口６１－１にマイクロ波導入管６０－１が接続され、第２マイクロ波導入口６１－２にマイクロ波導入管６０－２が接続されている。本例において、伝搬部２０の外部から内部空間２１に導入されるマイクロ波９３は、マイクロ波導入管９４およびマイクロ波導入管６０を通過する。
【0087】
第１マイクロ波導入口２２を通じて内部空間２１に導入されるマイクロ波９３の方向と、第２マイクロ波導入口６１を通じて内部空間２１に導入されるマイクロ波９３の方向とは、異なっていてよい。本例においては、第１マイクロ波導入口２２を通じて内部空間２１に導入されるマイクロ波９３の方向は、第１方向ｄｒ１である。本例において、第２マイクロ波導入口６１－１を通じて内部空間２１に導入されるマイクロ波９３の方向は第２方向ｄｒ２であり、第２マイクロ波導入口６１－２を通じて内部空間２１に導入されるマイクロ波９３の方向は、第２方向ｄｒ２に平行且つ第２方向ｄｒ２と反対の方向である。第１マイクロ波導入口２２を通じて内部空間２１に導入されるマイクロ波９３の方向と第２マイクロ波導入口６１を通じて内部空間２１に導入されるマイクロ波９３の方向とが異なっていることにより、内部空間２１においてマイクロ波９３がより一様になりやすくなる。
【0088】
本例においては、捕集部１０の第２の側板１２に第１スリット８０が設けられている（図９参照）ことが好ましい。第２マイクロ波導入口６１を通じて内部空間２１にマイクロ波９３が導入され、且つ、第２の側板１２に第１スリット８０が設けられていることにより、捕集空間９７において捕集された粒子状物質３２が、より効率的に燃焼されやすくなる。
【0089】
図１２は、図１に示される電気集塵装置１００の下面視における一例を示す図である。本例の電気集塵装置１００においては、伝搬部２０は、外底板２５に設けられた第３マイクロ波導入口６３をさらに有する。本例の電気集塵装置１００は、係る点で図１１に示される電気集塵装置１００と異なる。
【0090】
第３マイクロ波導入口６３には、マイクロ波導入管６２が接続されてよい。本例において、伝搬部２０の外部から内部空間２１に導入されるマイクロ波９３は、マイクロ波導入管９４、マイクロ波導入管６０およびマイクロ波導入管６２を通過する。
【0091】
第３マイクロ波導入口６３を通じて内部空間２１に導入されるマイクロ波９３の方向は、第１マイクロ波導入口２２を通じて内部空間２１に導入されるマイクロ波９３の方向、および、第２マイクロ波導入口６１を通じて内部空間２１に導入されるマイクロ波９３の方向と異なっていてよい。これにより、内部空間２１においてマイクロ波９３が、図１１に示される例よりもさらに一様になりやすくなる。本例においては、第３マイクロ波導入口６３を通じて内部空間２１に導入されるマイクロ波９３の方向は、第３方向ｄｒ３（図４参照）である。
【0092】
第３マイクロ波導入口６３は、下面視において、捕集部１０の底板１１と重なる位置に配置されてよい。これにより、第３マイクロ波導入口６３を通じて内部空間２１に導入されるマイクロ波９３は、捕集空間９７に導入されやすくなる。これにより、捕集空間９７において捕集された粒子状物質３２が、より効率的に燃焼されやすくなる。
【0093】
図１３は、図１に示される電気集塵装置１００の上面視における他の一例を示す図である。本例においては、第１方向ｄｒ１と交差する方向における伝搬部２０の幅が、第１マイクロ波導入口２２から複数の第１スリット８０にかけて広がっている。本例の電気集塵装置１００は、係る点で図１１に示される電気集塵装置１００と異なる。第１方向ｄｒ１と交差する方向とは、第１スリット８０の長辺８１と平行な方向であってよい。本例においては、第２方向ｄｒ２における伝搬部２０の幅が、第１マイクロ波導入口２２から複数の第１スリット８０にかけて、テーパー状に広がっている。
【0094】
図１４は、図１３に示されるａ－ａ'線における断面の一例を示す図である。本例においては、第３方向ｄｒ３における伝搬部２０の幅も、第１マイクロ波導入口２２から複数の第１スリット８０にかけて広がっている。即ち、本例においては、第１マイクロ波導入口２２から複数の第１スリット８０にかけての内部空間２１の形状が、ホーン状である。このため、図３および図４に示される例よりも、マイクロ波９３の利得が大きくなりやすくなる。
【0095】
図１５は、図３における第１マイクロ波導入口２２の近傍の拡大図である。マイクロ波導入管９４は、第１凹部５０を有してよい。第１凹部５０は、マイクロ波９３の進行方向（本例においてはＹ軸方向）に交差する方向（本例においては集塵部４０から捕集部１０への方向）に窪んでいる。
【0096】
【0097】
深さｄｐ１は、マイクロ波９３（図３等参照）の波長の１／４であってよい。これにより、マイクロ波９３の進行方向における第１凹部５０よりも内部空間２１側において、マイクロ波導入管９４から内部空間２１への方向に進行するマイクロ波９３と、内部空間２１からマイクロ波導入管９４への方向に進行するマイクロ波９３とが打ち消し合う。深さｄｐ１がマイクロ波９３の波長の１／４であることにより、第１凹部５０から内部空間２１の方向へ反射するマイクロ波９３の反射率が向上しやすくなる。これにより、捕集部１０における粒子状物質３２が効率的に燃焼されやすくなる。第１凹部５０は、マイクロ波９３の進行波と反射波とを打ち消す、いわゆるチョーク構造であってよい。
【0098】
図１７は、図１に示される電気集塵装置１００における集塵部４０の内部の拡大図である。ただし図１７においては、図１における、集塵部４０を示す実線、捕集部１０および伝搬部２０は省略されている。集塵部４０は、集塵電極４１を有してよい。集塵部４０は、複数の集塵電極４１を有してよい。本例の集塵部４０は、７つの集塵電極４１（集塵電極４１―１～集塵電極４１－７）を有する。
【0099】
集塵電極４１は、板状であってよい。本例においては、板状の集塵電極４１の板面が、ＸＺ面に平行に配置されている。集塵電極４１には、排ガス３０が通過する複数の開口４２が設けられていてよい。開口４２は、板状の集塵電極４１の厚さ方向（Ｙ軸方向）に板面を貫通している。本例においては、排ガス３０は集塵電極４１の板面に交差する方向に、集塵部４０の内部を通過する。本例においては、排ガス３０は、集塵電極４１－１から集塵電極４１－７への方向に集塵部の内部を通過する。
【0100】
隣り合う集塵電極４１の一方は電源４３に接続されてよく、他方は接地されてよい。本例においては、集塵電極４１－１、集塵電極４１－３、集塵電極４１－５および集塵電極４１－７は電源４３に接続され、集塵電極４１－２、集塵電極４１－４および集塵電極４１－６は接地されている。帯電した粒子状物質３２（図４参照）は、隣り合う集塵電極４１の間に発生する電位差により、接地された方の集塵電極４１に集塵される。本例においては、集塵された粒子状物質３２は、捕集部１０に落下する。
【0101】
集塵電極４１は、第２凹部４４を有してよい。本例において、第２凹部４４は、板状の集塵電極４１板面の厚さ方向に窪んで設けられている。第２凹部４４は、捕集部１０から集塵部４０への方向（本例においてはＺ軸方向）に交差する方向（本例においてはＹ軸方向）に窪んでいる。
【0102】
図１８は、図１７における集塵電極４１の拡大図である。図１８は、１つの集塵電極４１を、板面の厚さ方向に見た図である。第２凹部４４は、集塵電極４１を板面の厚さ方向に見た場合において、長辺４５および短辺４６を有する矩形状であってよい。第２凹部４４の長辺４５は、捕集部１０から集塵部４０への方向（本例においてはＺ軸方向）に交差してよい。本例においては、長辺４５は捕集部１０から集塵部４０への方向に直交している。第２凹部４４は、捕集部１０から集塵部４０への方向において、捕集部１０と開口４２との間に配置されてよい。
【0103】
図１９は、図１７における集塵電極４１の他の拡大図である。図１９は、１つの集塵電極４１を、板面に平行な方向に見た図である。本例の第２凹部４４は、集塵電極４１を板面に平行な方向に見た場合において、板面の厚さ方向に窪んでいる。第２凹部４４の板面からの深さを、深さｄｐ２とする。
【0104】
深さｄｐ２は、マイクロ波９３（図３等参照）の波長の１／４であってよい。これにより、第２凹部４４よりも上方において、捕集部１０から集塵部４０への方向に進行するマイクロ波９３と、集塵部４０から捕集部１０への方向に進行するマイクロ波９３とが打ち消し合う。深さｄｐ２がマイクロ波９３の波長の１／４であることにより、第２凹部４４から捕集部１０への方向へ反射するマイクロ波９３の反射率が向上しやすくなる。これにより、捕集部１０における粒子状物質３２が効率的に燃焼されやすくなる。
【0105】
上述したとおり、第２凹部４４は、捕集部１０から集塵部４０への方向において、捕集部１０と開口４２との間に配置されてよい。これにより、第２凹部４４よりも開口４２側にマイクロ波９３が進行しにくくなる。第２凹部４４は、マイクロ波９３の進行波と反射波とを打ち消す、いわゆるチョーク構造であってよい。
【0106】
図２０は、電気集塵装置１００の配置の一例を示す図である。動力装置９２により排出された排ガス３０は、配管１１０を通過する。帯電部９０および集塵部４０は、排ガス３０が通過する配管１１０に設けられてよい。帯電部９０および集塵部４０は、配管１１０の内部における排ガス３０の流路に設けられてよい。図２０において、電気集塵装置１００の範囲が一点鎖線の枠にて示されている。帯電部９０は集塵部４０よりも、配管１１０における排ガス３０の流路の上流に設けられてよい。これにより、帯電部９０により帯電させられた粒子状物質３２が、集塵部４０により集塵される。
【0107】
捕集部１０は、配管１１０の下方に配置されてよい。伝搬部２０は、配管１１０の下方に配置されてよい。粒子状物質３２は、配管１１０の外部において、マイクロ波９３（図３参照）により燃焼されてよい。
【0108】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【0109】
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【符号の説明】
【0110】
１０・・・捕集部、１１・・・底板、１２・・・側板、１３・・・外側面、１４・・・内側面、１５・・・側板、１６・・・外側面、１７・・・内側面、１８・・・側板、１９・・・外側面、２０・・・伝搬部、２１・・・内部空間、２２・・・第１マイクロ波導入口、２３・・・外側板、２４・・・天板、２５・・・外底板、２６・・・内側面、２７・・・上面、３０・・・排ガス、３２・・・粒子状物質、３３・・・外側板、３６・・・内側面、４０・・・集塵部、４１・・・集塵電極、４２・・・開口、４３・・・電源、４４・・・第２凹部、４５・・・長辺、４６・・・短辺、５０・・・第１凹部、６０・・・マイクロ波導入管、６１・・・第２マイクロ波導入口、６２・・・マイクロ波導入管、６３・・・第３マイクロ波導入口、８０・・・第１スリット、８１・・・長辺、８２・・・短辺、８３・・・被覆材、８４・・・凸部、８６・・・下面、８７・・・上面、８８・・・第２スリット、９０・・・帯電部、９１・・・マイクロ波発生部、９２・・・動力装置、９３・・・マイクロ波、９４・・・マイクロ波導入管、９６・・・上面、９７・・・捕集空間、９８・・・下面、９９・・・内側面、１００・・・電気集塵装置、１１０・・・配管、２００・・・電気集塵システム
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】