特開2022-131356基板処理装置、及び、基板処理方法

発明の名称　基板処理装置、及び、基板処理方法

出願人　株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス　（識別番号 207551）

　　　　特許公開件数ランキング 59 位（409件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 69 位（312件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-131356

公報発行日　2022年9月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-131356

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