(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022131356
(43)【公開日】2022-09-07
(54)【発明の名称】基板処理装置、及び、基板処理方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/304 20060101AFI20220831BHJP
F16K 31/42 20060101ALI20220831BHJP
【ＦＩ】
H01L21/304 648G
H01L21/304 643A
H01L21/304 648K
F16K31/42 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021030259
(22)【出願日】2021-02-26
(71)【出願人】
【識別番号】000207551
【氏名又は名称】株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス
(74)【代理人】
【識別番号】100168583
【弁理士】
【氏名又は名称】前井 宏之
(72)【発明者】
【氏名】澤崎 尚樹
(72)【発明者】
【氏名】坂 聡一朗
【テーマコード（参考）】
3H056
5F157
【Ｆターム（参考）】
3H056AA01
3H056BB04
3H056CA01
3H056CB02
3H056CC05
3H056CC07
3H056CD04
3H056CE01
3H056DD02
3H056GG04
3H056GG11
5F157AB02
5F157AB14
5F157AB33
5F157AB45
5F157AB49
5F157AB51
5F157AB64
5F157AB90
5F157BB22
5F157BB45
5F157CF14
5F157CF16
5F157CF42
5F157CF44
5F157CF60
5F157CF99
5F157DC90
(57)【要約】
【課題】バルブが閉じる瞬間の衝撃の発生を抑制できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１００は、基板Ｗを処理液によって処理する。基板処理装置１００は、配管９と、バルブ６と、バルブ制御機構７とを備える。配管９には、処理液が流れる。バルブ６は、配管９に配置され、配管９の流路９０を開閉する。バルブ制御機構７は、バルブ６の開閉を制御する。バルブ６によって配管９の流路を閉じる場合、バルブ制御機構７は、バルブ閉方向ＤＣに作用する第１駆動力によってバルブ６を駆動し、バルブ６が第１駆動力によって駆動された後に、バルブ閉方向ＤＣに作用する第２駆動力をバルブ６に与える。
【選択図】図６
【解決手段】基板処理装置１００は、基板Ｗを処理液によって処理する。基板処理装置１００は、配管９と、バルブ６と、バルブ制御機構７とを備える。配管９には、処理液が流れる。バルブ６は、配管９に配置され、配管９の流路９０を開閉する。バルブ制御機構７は、バルブ６の開閉を制御する。バルブ６によって配管９の流路を閉じる場合、バルブ制御機構７は、バルブ閉方向ＤＣに作用する第１駆動力によってバルブ６を駆動し、バルブ６が第１駆動力によって駆動された後に、バルブ閉方向ＤＣに作用する第２駆動力をバルブ６に与える。
【選択図】図６
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板を処理液によって処理する基板処理装置であって、
前記処理液が流れる配管と、
前記配管に配置され、前記配管の流路を開閉するバルブと、
前記バルブの開閉を制御するバルブ制御機構と
を備え、
前記バルブによって前記配管の流路を閉じる場合、前記バルブ制御機構は、バルブ閉方向に作用する第１駆動力によって前記バルブを駆動し、前記バルブが前記第１駆動力によって駆動された後に、前記バルブ閉方向に作用する第２駆動力を前記バルブに与える、基板処理装置。
前記処理液が流れる配管と、
前記配管に配置され、前記配管の流路を開閉するバルブと、
前記バルブの開閉を制御するバルブ制御機構と
を備え、
前記バルブによって前記配管の流路を閉じる場合、前記バルブ制御機構は、バルブ閉方向に作用する第１駆動力によって前記バルブを駆動し、前記バルブが前記第１駆動力によって駆動された後に、前記バルブ閉方向に作用する第２駆動力を前記バルブに与える、基板処理装置。
【請求項2】
前記バルブは、前記配管の流路を開閉する弁体部と、前記弁体部を駆動する弾性部材とを含み、
前記第１駆動力は、前記弾性部材の弾性力であり、
前記第２駆動力は、気体の圧力である、請求項１に記載の基板処理装置。
前記第１駆動力は、前記弾性部材の弾性力であり、
前記第２駆動力は、気体の圧力である、請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項3】
前記バルブは、
第１室と、
前記弾性部材が収容され、前記第１室よりも前記弁体部から離れて位置する第２室と、
前記第１室の内部と外部とを連通する第１ポートと、
前記第２室の内部と外部とを連通する第２ポートと
を含み、
前記バルブによって前記配管の流路を閉じる場合、前記バルブ制御機構は、前記第１ポートを通して前記気体を前記第１室から排出することで、前記弾性部材の前記弾性力である前記第１駆動力を前記バルブに与え、前記バルブに前記第１駆動力が与えられた後に、前記第２ポートを通して前記気体を前記第２室に供給することで、前記気体の圧力である前記第２駆動力を前記バルブに与える、請求項２に記載の基板処理装置。
第１室と、
前記弾性部材が収容され、前記第１室よりも前記弁体部から離れて位置する第２室と、
前記第１室の内部と外部とを連通する第１ポートと、
前記第２室の内部と外部とを連通する第２ポートと
を含み、
前記バルブによって前記配管の流路を閉じる場合、前記バルブ制御機構は、前記第１ポートを通して前記気体を前記第１室から排出することで、前記弾性部材の前記弾性力である前記第１駆動力を前記バルブに与え、前記バルブに前記第１駆動力が与えられた後に、前記第２ポートを通して前記気体を前記第２室に供給することで、前記気体の圧力である前記第２駆動力を前記バルブに与える、請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項4】
前記バルブ制御機構は、前記配管を流れる前記処理液の流量を示す流量値に応じて前記バルブの閉速度を設定するか、又は、前記処理液の流量として予め設定された流量値に応じて前記バルブの閉速度を設定する、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の基板処理装置。
【請求項5】
前記バルブ制御機構は、前記流量値が大きいほど、前記バルブの閉速度を小さくする、請求項４に記載の基板処理装置。
【請求項6】
基板を処理液によって処理する基板処理方法であって、
前記処理液が流れる配管の流路を閉じる場合、バルブ閉方向に作用する第１駆動力によってバルブを駆動する工程と、
前記バルブが前記第１駆動力によって駆動された後に、前記バルブ閉方向に作用する第２駆動力を前記バルブに与える工程と
を含む、基板処理方法。
前記処理液が流れる配管の流路を閉じる場合、バルブ閉方向に作用する第１駆動力によってバルブを駆動する工程と、
前記バルブが前記第１駆動力によって駆動された後に、前記バルブ閉方向に作用する第２駆動力を前記バルブに与える工程と
を含む、基板処理方法。
【請求項7】
前記第１駆動力は、前記バルブの弁体部を駆動する弾性部材の弾性力であり、
前記第２駆動力は、気体の圧力である、請求項６に記載の基板処理方法。
前記第２駆動力は、気体の圧力である、請求項６に記載の基板処理方法。
【請求項8】
前記バルブは、
第１室と、
前記弾性部材が収容され、前記第１室よりも前記弁体部から離れて位置する第２室と、
前記第１室の内部と外部とを連通する第１ポートと、
前記第２室の内部と外部とを連通する第２ポートと
を含み、
前記第１駆動力によって前記バルブを駆動する前記工程では、前記第１ポートを通して前記気体を前記第１室から排出することで、前記弾性部材の前記弾性力である前記第１駆動力を前記バルブに与え、
前記第２駆動力を前記バルブに与える前記工程では、前記バルブに前記第１駆動力が与えられた後に、前記第２ポートを通して前記気体を前記第２室に供給することで、前記気体の圧力である前記第２駆動力を前記バルブに与える、請求項７に記載の基板処理方法。
第１室と、
前記弾性部材が収容され、前記第１室よりも前記弁体部から離れて位置する第２室と、
前記第１室の内部と外部とを連通する第１ポートと、
前記第２室の内部と外部とを連通する第２ポートと
を含み、
前記第１駆動力によって前記バルブを駆動する前記工程では、前記第１ポートを通して前記気体を前記第１室から排出することで、前記弾性部材の前記弾性力である前記第１駆動力を前記バルブに与え、
前記第２駆動力を前記バルブに与える前記工程では、前記バルブに前記第１駆動力が与えられた後に、前記第２ポートを通して前記気体を前記第２室に供給することで、前記気体の圧力である前記第２駆動力を前記バルブに与える、請求項７に記載の基板処理方法。
【請求項9】
前記配管を流れる前記処理液の流量を示す流量値に応じて前記バルブの閉速度を設定する工程、又は、前記処理液の流量として予め設定された流量値に応じて前記バルブの閉速度を設定する工程を更に含む、請求項６から請求項８のいずれか１項に記載の基板処理方法。
【請求項10】
前記バルブの閉速度を調整する前記工程では、前記流量値が大きいほど、前記バルブの閉速度を小さくする、請求項９に記載の基板処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、基板処理装置、及び、基板処理方法に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１に記載されたバルブは、内部ピストン空間と、外部ピストン空間とを有する。バルブは、過度の圧力を外部ピストン空間又は内部ピストン空間に供給することで、空気的に開いたり閉じたりすることができる。内部ピストン空間には、流路を閉じるためのピストンと、ピストンを駆動するためのバネとが収容される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００７－７８１７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、特許文献１に記載されたバルブにおいて、バネによる駆動力と、内部ピストン空間へのエアー圧による駆動力とを、同時にピストンに与えると、駆動力が大きいために、バルブが閉じる瞬間に衝撃が発生する可能性がある。その結果、発塵及び／又はウォーターハンマー発生の可能性がある。
【0005】
本発明の目的は、バルブが閉じる瞬間の衝撃の発生を抑制できる基板処理装置及び基板処理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の一局面によれば、基板処理装置は、基板を処理液によって処理する。基板処理装置は、配管と、バルブと、バルブ制御機構とを備える。配管には、前記処理液が流れる。バルブは、前記配管に配置され、前記配管の流路を開閉する。バルブ制御機構は、前記バルブの開閉を制御する。前記バルブによって前記配管の流路を閉じる場合、前記バルブ制御機構は、バルブ閉方向に作用する第１駆動力によって前記バルブを駆動し、前記バルブが前記第１駆動力によって駆動された後に、前記バルブ閉方向に作用する第２駆動力を前記バルブに与える。
【0007】
本発明の一態様においては、基板処理装置において、前記バルブは、前記配管の流路を開閉する弁体部と、前記弁体部を駆動する弾性部材とを含むことが好ましい。前記第１駆動力は、前記弾性部材の弾性力であることが好ましい。前記第２駆動力は、気体の圧力であることが好ましい。
【0008】
本発明の一態様においては、基板処理装置において、前記バルブは、第１室と、第２室と、第１ポートと、第２ポートとを含むことが好ましい。第２室には、前記弾性部材が収容されることが好ましい。第２室は、前記第１室よりも前記弁体部から離れて位置することが好ましい。第１ポートは、前記第１室の内部と外部とを連通することが好ましい。第２ポートは、前記第２室の内部と外部とを連通することが好ましい。前記バルブによって前記配管の流路を閉じる場合、前記バルブ制御機構は、前記第１ポートを通して前記気体を前記第１室から排出することで、前記弾性部材の前記弾性力である前記第１駆動力を前記バルブに与え、前記バルブに前記第１駆動力が与えられた後に、前記第２ポートを通して前記気体を前記第２室に供給することで、前記気体の圧力である前記第２駆動力を前記バルブに与えることが好ましい。
【0009】
本発明の一態様においては、基板処理装置において、前記バルブ制御機構は、前記配管を流れる前記処理液の流量を示す流量値に応じて前記バルブの閉速度を設定するか、又は、前記処理液の流量として予め設定された流量値に応じて前記バルブの閉速度を設定することが好ましい。
【0010】
本発明の一態様においては、基板処理装置において、前記バルブ制御機構は、前記流量値が大きいほど、前記バルブの閉速度を小さくすることが好ましい。
【0011】
本発明の他の局面によれば、基板処理方法においては、基板を処理液によって処理する。基板処理方法は、前記処理液が流れる配管の流路を閉じる場合、バルブ閉方向に作用する第１駆動力によってバルブを駆動する工程と、前記バルブが前記第１駆動力によって駆動された後に、前記バルブ閉方向に作用する第２駆動力を前記バルブに与える工程とを含む。
【0012】
本発明の一態様においては、基板処理方法において、前記第１駆動力は、前記バルブの弁体部を駆動する弾性部材の弾性力であることが好ましい。前記第２駆動力は、気体の圧力であることが好ましい。
【0013】
本発明の一態様においては、基板処理方法において、前記バルブは、第１室と、第２室と、第１ポートと、第２ポートとを含むことが好ましい。第２室には、前記弾性部材が収容されることが好ましい。第２室は、前記第１室よりも前記弁体部から離れて位置することが好ましい。第１ポートは、前記第１室の内部と外部とを連通することが好ましい。第２ポートは、前記第２室の内部と外部とを連通することが好ましい。前記第１駆動力によって前記バルブを駆動する前記工程では、前記第１ポートを通して前記気体を前記第１室から排出することで、前記弾性部材の前記弾性力である前記第１駆動力を前記バルブに与えることが好ましい。前記第２駆動力を前記バルブに与える前記工程では、前記バルブに前記第１駆動力が与えられた後に、前記第２ポートを通して前記気体を前記第２室に供給することで、前記気体の圧力である前記第２駆動力を前記バルブに与えることが好ましい。
【0014】
本発明の一態様においては、基板処理方法は、前記配管を流れる前記処理液の流量を示す流量値に応じて前記バルブの閉速度を設定する工程、又は、前記処理液の流量として予め設定された流量値に応じて前記バルブの閉速度を設定する工程を更に含むことが好ましい。
【0015】
本発明の一態様においては、基板処理方法において、前記バルブの閉速度を調整する前記工程では、前記流量値が大きいほど、前記バルブの閉速度を小さくすることが好ましい。
【発明の効果】
【0016】
本発明に係る基板処理装置および基板処理方法によれば、バルブが閉じる瞬間の衝撃の発生を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【0017】
【図1】本発明の実施形態１に係る基板処理装置の内部を示す平面図である。
【図2】実施形態１に係る処理ユニットの内部を示す側面図である。
【図3】比較例に係るバルブ及びバルブ制御機構を示す図である。
【図4】比較例に係るバルブ制御機構の動作を示すタイムチャートである。
【図5】比較例に係るバルブを閉じる際のノズルにおける処理液の状態を示す図である。
【図6】実施形態１に係るバルブ及びバルブ制御機構を示す図である。
【図7】実施形態１に係るバルブ制御機構の動作を示すタイムチャートである。
【図8】実施形態１に係るバルブを閉じる際のノズルにおける処理液の状態を示す図である。
【図9】実施形態１に係るバルブの閉速度と第１スピードコントローラーの開度との関係を示す図である。
【図10】実施形態１に係る基板処理方法を示すフローチャートである。
【図11】本発明の実施形態２に係るバルブ及びバルブ制御機構を示す図である。
【図12】実施形態２に係るバルブ制御機構の動作を示すタイムチャートである。
【発明を実施するための形態】
【0018】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、図中、同一または相当部分については同一の参照符号を付して説明を繰り返さない。また、図面には、説明の便宜のため、三次元直交座標系（Ｘ、Ｙ、Ｚ）を適宜記載している。そして、図中、Ｘ軸およびＹ軸は水平方向に平行であり、Ｚ軸は鉛直方向に平行である。
【0019】
【0020】
基板Ｗは、例えば、半導体ウエハ、液晶表示装置用基板、プラズマディスプレイ用基板、電界放出ディスプレイ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ：ＦＥＤ）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、セラミック基板、又は、太陽電池用基板である。
【0021】
処理液は、例えば、薬液又はリンス液である。
【0022】
薬液は、例えば、希フッ酸（ＤＨＦ）、フッ酸（ＨＦ）、フッ硝酸（フッ酸と硝酸（ＨＮＯ3）との混合液）、バファードフッ酸（ＢＨＦ）、フッ化アンモニウム、ＨＦＥＧ（フッ酸とエチレングリコールとの混合液）、燐酸（Ｈ3ＰＯ4）、硫酸、酢酸、硝酸、塩酸、アンモニア水、過酸化水素水、有機酸（例えば、クエン酸、シュウ酸）、有機アルカリ（例えば、ＴＭＡＨ：テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド）、硫酸過酸化水素水混合液（ＳＰＭ）、アンモニア過酸化水素水混合液（ＳＣ１）、塩酸過酸化水素水混合液（ＳＣ２）、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）、界面活性剤、又は、腐食防止剤である。
【0023】
リンス液は、例えば、脱イオン水、炭酸水、電解イオン水、水素水、オゾン水、または、希釈濃度（例えば、１０ｐｐｍ～１００ｐｐｍ程度）の塩酸水である。
【0024】
図１に示すように、基板処理装置１００は、複数のロードポートＬＰと、インデクサーロボットＩＲと、センターロボットＣＲと、複数の処理ユニット１と、制御装置２と、複数の流体ボックス３と、処理液キャビネット４とを備える。制御装置２は、ロードポートＬＰ、インデクサーロボットＩＲ、センターロボットＣＲ、及び、処理ユニット１を制御する。
【0025】
ロードポートＬＰの各々は、複数枚の基板Ｗを積層して収容する。インデクサーロボットＩＲは、ロードポートＬＰとセンターロボットＣＲとの間で基板Ｗを搬送する。センターロボットＣＲは、インデクサーロボットＩＲと処理ユニット１との間で基板Ｗを搬送する。処理ユニット１の各々は、基板Ｗに処理液を供給して、基板Ｗを処理する。流体ボックス３の各々は流体機器を収容する。処理液キャビネット４は処理液を収容する。
【0026】
具体的には、複数の処理ユニット１は、平面視においてセンターロボットＣＲを取り囲むように配置された複数のタワーＴＷ（実施形態１では４つのタワーＴＷ）を形成している。各タワーＴＷは、上下に積層された複数の処理ユニット１（実施形態１では３つの処理ユニット１）を含む。複数の流体ボックス３は、それぞれ、複数のタワーＴＷに対応している。処理液キャビネット４内の処理液は、いずれかの流体ボックス３を介して、流体ボックス３に対応するタワーＴＷに含まれる全ての処理ユニット１に供給される。
【0027】
制御装置２は、ロードポートＬＰ、インデクサーロボットＩＲ、センターロボットＣＲ、処理ユニット１、流体ボックス３、及び、処理液キャビネット４を制御する。制御装置２は、例えば、コンピューターである。
【0028】
制御装置２は、制御部２１と、記憶部２２とを含む。制御部２１は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）等のプロセッサーを含む。記憶部２２は、記憶装置を含み、データ及びコンピュータープログラムを記憶する。具体的には、記憶部２２は、半導体メモリー等の主記憶装置と、半導体メモリー、ソリッドステートドライブ、及び／又は、ハードディスクドライブ等の補助記憶装置とを含む。記憶部２２は、リムーバブルメディアを含んでいてもよい。記憶部２２は、非一時的コンピューター読取可能記憶媒体の一例に相当する。
【0029】
【0030】
図２に示すように、処理ユニット１は、チャンバー１１と、スピンチャック１２と、スピンモーター１３と、ノズル１４と、ノズル移動部１５と、カップ１６とを含む。基板処理装置１００は、バルブ６と、バルブ制御機構７と、流量計８と、配管９とを更に備える。バルブ６、バルブ制御機構７、流量計８、及び、配管９の一部は、流体ボックス３に収容される。なお、バルブ６は、例えば、チャンバー１１に収容されてもよい。
【0031】
チャンバー１１は略箱形状を有する。チャンバー１１は、スピンチャック１２、スピンモーター１３、ノズル１４、ノズル移動部１５、及び、カップ１６を収容する。スピンモーター１３は、スピンチャック１２を回転軸線ＡＸの周りに回転させる。従って、スピンチャック１２は、基板Ｗを水平に保持しながら、回転軸線ＡＸの周りに基板Ｗを回転させる。具体的には、スピンチャック１２は、スピンベース１２１と、複数のチャック部材１２２とを含む。スピンベース１２１は、略円板状であり、水平な姿勢で複数のチャック部材１２２を支持する。複数のチャック部材１２２は基板Ｗを水平な姿勢で保持する。
【0032】
ノズル１４は、基板Ｗに向けて処理液を供給する。ノズル移動部１５は、ノズル１４を昇降したり、ノズル１４を鉛直方向に沿った回動軸線の周りに水平回動させたりする。ノズル移動部１５は、ノズル１４を昇降するために、例えば、ボールねじ機構と、ボールねじ機構に駆動力を与える電動モーターとを含む。また、ノズル移動部１５は、ノズル１４を水平回動するために、例えば、電動モーターを含む。カップ１６は略筒形状を有する。カップ１６は、基板Ｗから排出された処理液を受け止める。
【0033】
配管９はノズル１４に処理液を供給する。従って、配管９には処理液が流れる。バルブ６及び流量計８は、配管９に配置される。バルブ６は、配管９の流路を開閉し、ノズル１４に対する処理液の供給と供給停止とを切り替える。実施形態１では、バルブ６は、複動式エアーオペレーションバルブである。複動式とは、エアーが通る２つのポート（後述する第１ポート６１及び第２ポート６２）を有する方式のことである。バルブ制御機構７は、バルブ６の開閉を制御する。流量計８は、配管９を流れる処理液の流量を計測する。
【0034】
【0035】
図３は、比較例に係るバルブ８０及びバルブ制御機構８５を示す図である。図３に示すように、バルブ８０は、配管１１０の流路を開閉する。図３では、閉じた状態のバルブ８０が示されている。配管１１０には流量計８９が配置される。具体的には、バルブ８０は、第１ポート８０１、第２ポート８０２、第１室８０３、第２室８０４、弾性部材８０５、及び、弁体部８０６を含む。弾性部材８０５は、例えば、圧縮コイルばねである。弾性部材８０５は、第２室８０４に収容される。第１ポート８０１は、第１室８０３の内部と外部とを連通する。第２ポート８０２は、第２室８０４の外部と内部とを連通する。バルブ制御機構８５はバルブ８０を制御する。
【0036】
具体的には、バルブ制御機構８５は、電磁弁８６、第１スピードコントローラー８７、及び、第２スピードコントローラー８８を備える。第１配管１１１の一端は第１ポート８０１に接続され、第１配管１１１の他端は電磁弁８６に接続される。第２配管１１２の一端は第２ポート８０２に接続され、第２配管１１２の他端は電磁弁８６に接続される。電磁弁８６は、第１配管１１１の接続先を、エアー供給配管ＡＲとエアー排出配管ＥＸとの間で切り替える。また、電磁弁８６は、第２配管１１２の接続先を、エアー供給配管ＡＲとエアー排出配管ＥＸとの間で切り替える。エアー供給配管ＡＲは、バルブ８０にエアーを供給するための配管である。エアー排出配管ＥＸは、バルブ８０からエアーを排出するための配管である。
【0037】
【0038】
チャートＣＴ１０の縦軸は、第１室８０３へのエアーの供給状態を示す。具体的には、縦軸において、「オン」は、第１配管１１１から第１室８０３にエアーが供給される状態を示し、「オフ」は、第１配管１１１から第１室８０３にエアーが供給されない状態を示す。すなわち、エアーの供給状態が「オン」である場合には、第１配管１１１を介して第１室８０３からエアーが排出されない状態を示し、エアーの供給状態が「オフ」である場合には、第１室８０３からエアーが排出される状態を示す。
【0039】
チャートＣＴ２０の縦軸は、第２室８０４へのエアーの供給状態を示す。具体的には、縦軸において、「オン」は、第２配管１１２から第２室８０４にエアーが供給される状態を示し、「オフ」は、第２配管１１２から第２室８０４にエアーが供給されない状態を示す。すなわち、エアーの供給状態が「オン」である場合には、第２配管１１２を介して第２室８０４からエアーが排出されない状態を示し、エアーの供給状態が「オフ」である場合には、第２室８０４からエアーが排出される状態を示す。
【0040】
図４に示すように、時刻ｔ０から時刻ｔ１までの期間Ｔ１０において、バルブ８０は開いており、配管１１０の流路も開いている。具体的には、電磁弁８６は、第２配管１１２をエアー排出配管ＥＸに接続するとともに、第１配管１１１をエアー供給配管ＡＲに接続している。その結果、エアー供給配管ＡＲから第１室８０３にエアーが供給されることで、弁体部８０６が押し上げられ、配管１１０の流路が開いている。
【0041】
次に、時刻ｔ１において、電磁弁８６は、第１配管１１１をエアー排出配管ＥＸに接続すると同時に、第２配管１１２をエアー供給配管ＡＲに接続する。従って、第１室８０３からエアー排出配管ＥＸに向けてエアーが排出されると同時に、エアー供給配管ＡＲから第２室８０４にエアーが導入される。その結果、弾性部材８０５の弾性力である第１駆動力と、第２室８０４のエアー圧である第２駆動力とが同時に、バルブ８０に対してバルブ閉方向ＤＣに与えられる。つまり、第１駆動力と第２駆動力とが同時に、弁体部８０６に対してバルブ閉方向ＤＣに与えられる。従って、バルブ８０（具体的には弁体部８０６）が閉じる瞬間に衝撃力が発生する可能性がある。その結果、発塵したり、ウォーターハンマーが発生したりする。
【0042】
なお、時刻ｔ１から時刻ｔ３までの期間Ｔ２０では、第１駆動力及び第２駆動力によってバルブ８０は閉じている。
【0043】
【0044】
図５に示すように、第１駆動力（弾性部材８０５の弾性力）と第２駆動力（第２室８０４のエアー圧）とを同時にバルブ８０に与えると、バルブ８０が閉じる瞬間の衝撃によって、ノズルＮＺにおいてウォーターハンマーが発生する可能性がある。ウォーターハンマーが発生すると、ノズルＮＺから処理液ＬＱの液滴が飛び散る可能性がある。その結果、液滴によってチャンバー内部が汚染されたり、基板Ｗに液滴が付着したりする可能性がある。また、バルブ８０が閉じる瞬間の衝撃によって、配管１１０の流路内で発塵の可能性がある。
【0045】
そこで、実施形態１では、バルブ６（図２）に第１駆動力（弾性力）を与えるタイミングと、バルブ６に第２駆動力（エアー圧）を与えるタイミングとを異ならせることで、バルブ６が閉じる瞬間の衝撃が発生することを抑制する。以下、図６～図８を参照して、実施形態１に係るバルブ６及びバルブ制御機構７を説明する。
【0046】
【0047】
バルブ６は、ハウジング６０、第１ポート６１、第２ポート６２、第１収容室６３、第２収容室６４、弾性部材６５、仕切り部６６、連結部６７、弁体部６８、及び、弁座部６９を有する。第１収容室６３及び第２収容室６４は、ハウジング６０に形成される。
【0048】
第１収容室６３は、例えば略円筒状の空間を有し、弁体部６８、及び、連結部６７の一部を収容する。弁座部６９は、第１収容室６３と流路９０とが交差している部分に配置される。弁座部６９は、例えば、略円環状である。図６の例では、弁座部６９は、略円錐台状である。弁体部６８は、流路９０を開閉する。具体的には、弁体部６８は、バルブ閉方向ＤＣに変位することで、弁座部６９に接触し、流路９０を閉じる。バルブ閉方向ＤＣは、バルブ６が配管９の流路９０を閉じる方向を示す。一方、弁体部６８は、バルブ開方向ＤＯに変位することで、弁座部６９から離隔し、流路９０を開く。バルブ開方向ＤＯは、バルブ６が配管９の流路９０を開く方向を示す。弁体部６８は、例えば、弁体である。なお、バルブ６の方式は特に限定されず、例えば、弁体部６８は、ダイヤフラムであってもよい。
【0049】
第２収容室６４は、第１収容室６３よりも流路９０から離れて位置する。第２収容室６４は、例えば略円筒状の空間を有し、弾性部材６５、仕切り部６６、及び、連結部６７の一部を収容する。第２収容室６４は、第１室６４１及び第２室６４２を有する。具体的には、仕切り部６６は、第２収容室６４を仕切って、第１室６４１及び第２室６４２を形成する。仕切り部６６は、例えば、略円柱状又は略円筒状である。仕切り部６６は、例えば、ピストンである。
【0050】
第２室６４２は、第１室６４１よりも弁体部６８及び流路９０から離れて位置する。第２室６４２は、弾性部材６５を収容する。弾性部材６５は弾性を有する。弾性部材６５は、例えば、ばねである。例えば、ばねは、圧縮コイルばねである。弾性部材６５は弁体部６８を駆動する。具体的には、弾性部材６５は、仕切り部６６及び連結部６７を駆動することで、弁体部６８を駆動する。
【0051】
連結部６７は、仕切り部６６と弁体部６８とを連結する。連結部６７は、例えば、ロッドである。仕切り部６６及び連結部６７が駆動されることで、弁体部６８は、バルブ閉方向ＤＣ又はバルブ開方向ＤＯに変位する。なお、弁体部６８が流路９０を閉じた状態において、仕切り部６６は、第１室６４１の底部に位置していてもよい。
【0052】
第１ポート６１は、第１室６４１の内部と外部とを連通する。第２ポート６２は、第２室６４２の内部と外部とを連通する。
【0053】
バルブ制御機構７は、バルブ６の開閉を制御する。具体的には、バルブ制御機構７は、第１電磁弁７１と、第２電磁弁７２と、第１スピードコントローラー７３と、第２スピードコントローラー７４とを有する。また、基板処理装置１００は、第１配管９１と、第２配管９２とを更に備える。
【0054】
第１配管９１の一端は第１ポート６１に接続され、第１配管９１の他端は第１電磁弁７１に接続される。第１配管９１は、第１電磁弁７１を介して、エアー供給配管ＡＲ又はエアー排出配管ＥＸに接続される。具体的には、第１電磁弁７１は、配管９１１によってエアー供給配管ＡＲに接続される。また、第１電磁弁７１は、配管９１２によってエアー排出配管ＥＸに接続される。
【0055】
エアー供給配管ＡＲは、第２収容室６４へエアーを供給するための配管である。エアー供給配管ＡＲには、例えば、圧縮エアーを生成するエアーコンプレッサー（不図示）が接続される。エアー排出配管ＥＸは、第２収容室６４からエアーを排出するための配管である。エアー排出配管ＥＸには、例えば、吸引ポンプ（例えば真空ポンプ）が接続される。
【0056】
本明細書において、エアーは、「気体」の一例である。従って、エアーに代えて、「気体」として、例えば、窒素等の不活性ガスを使用してもよい。
【0057】
第１電磁弁７１は、第１配管９１及び第１ポート６１を介した第１室６４１へのエアーの供給と、第１配管９１及び第１ポート６１を介した第１室６４１からのエアーの排出とを切り替える。具体的には、第１電磁弁７１は、エアー排出配管ＥＸ及び配管９１２を第１配管９１から分離するとともに、エアー供給配管ＡＲを、配管９１１を介して第１配管９１に接続することで、エアーを第１室６４１に供給する。一方、第１電磁弁７１は、エアー供給配管ＡＲ及び配管９１１を第１配管９１から分離するとともに、エアー排出配管ＥＸを、配管９１２を介して第１配管９１に接続することで、第１室６４１からエアーを排出する。
【0058】
第１スピードコントローラー７３は、第１ポート６１と第１電磁弁７１との間において、第１配管９１に配置される。第１スピードコントローラー７３は、第１配管９１を介して第１室６４１から排出されるエアーの排出速度を調整することで、バルブ６の閉速度を調整する。バルブ６の閉速度は、バルブ閉方向ＤＣにおける仕切り部６６及び連結部６７の移動速度を示す。つまり、バルブ６の閉速度は、バルブ閉方向ＤＣにおける弁体部６８の変位速度を示す。
【0059】
具体的には、第１スピードコントローラー７３は、絞り弁７３１と、逆止弁７３２とを有する。絞り弁７３１と逆止弁７３２とは並列に接続される。逆止弁７３２は、第１ポート６１からエアー排出配管ＥＸに向かうエアーの移動を禁止する。従って、第１配管９１を介して第１室６４１から排出されるエアーは、絞り弁７３１を通過する。絞り弁７３１は、第１室６４１から排出されるエアーの流量を調整することで、エアーの排出速度を調整する。絞り弁７３１は、例えば、モーターニードルバルブである。
【0060】
第２スピードコントローラー７４は、第１ポート６１と第１電磁弁７１との間において、第１配管９１に配置される。第２スピードコントローラー７４は、第１配管９１を介して第１室６４１へ供給するエアーの供給速度を調整することで、バルブ６の開速度を調整する。バルブ６の開速度は、バルブ開方向ＤＯにおける仕切り部６６及び連結部６７の移動速度を示す。つまり、バルブ６の開速度は、バルブ開方向ＤＯにおける弁体部６８の変位速度を示す。
【0061】
具体的には、第２スピードコントローラー７４は、絞り弁７４１と、逆止弁７４２とを有する。絞り弁７４１と逆止弁７４２とは並列に接続される。逆止弁７４２は、エアー供給配管ＡＲから第１ポート６１に向かうエアーの移動を禁止する。従って、第１配管９１を介して第１室６４１へ供給されるエアーは、絞り弁７４１を通過する。絞り弁７４１は、第１室６４１へ供給されるエアーの流量を調整することで、エアーの供給速度を調整する。絞り弁７４１は、例えば、モーターニードルバルブである。
【0062】
第１スピードコントローラー７３と第２スピードコントローラー７４とは、第１配管９１において直列に配置される。第１スピードコントローラー７３は、第２スピードコントローラー７４よりも第１電磁弁７１の側に配置される。なお、第２スピードコントローラー７４が、第１スピードコントローラー７３よりも第１電磁弁７１の側に配置されてもよい。
【0063】
第２配管９２の一端は第２ポート６２に接続され、第２配管９２の他端は第２電磁弁７２に接続される。第２配管９２は、第２電磁弁７２を介して、エアー供給配管ＡＲ又はエアー排出配管ＥＸに接続される。具体的には、第２電磁弁７２は、配管９２１によってエアー供給配管ＡＲに接続される。また、第２電磁弁７２は、配管９２２によってエアー排出配管ＥＸに接続される。
【0064】
第２電磁弁７２は、第２配管９２及び第２ポート６２を介した第２室６４２へのエアーの供給と、第２配管９２及び第２ポート６２を介した第２室６４２からのエアーの排出とを切り替える。具体的には、第２電磁弁７２は、エアー排出配管ＥＸ及び配管９２２を第２配管９２から分離するとともに、エアー供給配管ＡＲを、配管９２１を介して第２配管９２に接続することで、エアーを第２室６４２に供給する。一方、第２電磁弁７２は、エアー供給配管ＡＲ及び配管９２１を第２配管９２から分離するとともに、エアー排出配管ＥＸを、配管９２２を介して第２配管９２に接続することで、第２室６４２からエアーを排出する。
【0065】
【0066】
チャートＣＴ１の縦軸は、第１室６４１へのエアーの供給状態を示す。具体的には、縦軸において、「オン」は、第１配管９１から第１室６４１にエアーが供給される状態を示し、「オフ」は、第１配管９１から第１室６４１にエアーが供給されない状態を示す。すなわち、エアーの供給状態が「オン」である場合には、第１配管９１を介して第１室６４１からエアーが排出されない状態を示し、エアーの供給状態が「オフ」である場合には、第１室６４１からエアーが排出される状態を示す。
【0067】
チャートＣＴ２の縦軸は、第２室６４２へのエアーの供給状態を示す。具体的には、縦軸において、「オン」は、第２配管９２から第２室６４２にエアーが供給される状態を示し、「オフ」は、第２配管９２から第２室６４２にエアーが供給されない状態を示す。すなわち、エアーの供給状態が「オン」である場合には、第２配管９２を介して第２室６４２からエアーが排出されない状態を示し、エアーの供給状態が「オフ」である場合には、第２室６４２からエアーが排出される状態を示す。
【0068】
図６及び図７に示すように、バルブ６によって配管９の流路９０を閉じる場合、時刻ｔ１において、バルブ制御機構７は、バルブ閉方向ＤＣに作用する第１駆動力（弾性部材６５による弾性力）によってバルブ６を駆動する。従って、第１駆動力によって、バルブ６が閉じて、流路９０が閉じられる。また、バルブ６が第１駆動力によって駆動された後に、時刻ｔ２において、バルブ閉方向ＤＣに作用する第２駆動力（エアー圧）をバルブ６に与える。従って、バルブ６は、第１駆動力だけでなく、第２駆動力によっても、閉じた状態を維持できる。つまり、バルブ６は、より強い力で流路９０を閉じることができる。
【0069】
すなわち、実施形態１によれば、バルブ６に第１駆動力を作用させるタイミングと、バルブ６に第２駆動力を作用させるタイミングとを異ならせている。つまり、バルブ６に第１駆動力を作用させた時ｔ１から遅延時間Ｔ１が経過した時ｔ２にバルブ６に第２駆動力を作用させる。従って、バルブ６に第１駆動力及び第２駆動力を同時に作用させる場合と比較して、バルブ６が閉じる瞬間の衝撃の発生を抑制できる。その結果、発塵、及び、ウォーターハンマーの発生を抑制できる。
【0070】
特に、実施形態１では、弾性部材６５が第１駆動力を発生する。つまり、第１駆動力は、弾性部材６５の弾性力である。加えて、第２駆動力は、第２室６４２のエアー圧である。従って、実施形態１によれば、弾性力及びエアー圧によって、第１駆動力及び第２駆動力を容易に発生できる。エアー圧は、「気体の圧力」の一例に相当する。
【0071】
具体的には、バルブ６によって配管９の流路９０を閉じる場合、バルブ制御機構７は、時刻ｔ１において、第１ポート６１を通してエアーを第１室６４１から排出することで、弾性部材６５の弾性力である第１駆動力をバルブ６に与える。そして、バルブ６に第１駆動力が与えられた後に、時刻ｔ２において、第２ポート６２を通してエアーを第２室６４２に供給することで、エアー圧である第２駆動力をバルブ６に与える。従って、実施形態１によれば、弾性部材６５による第１駆動力をバルブ６に作用させるタイミングと、エアー圧による第２駆動力をバルブ６に作用させるタイミングとを異ならせている。従って、バルブ６が閉じる瞬間の衝撃の発生を抑制できる。その結果、発塵、及び、ウォーターハンマーの発生を抑制できる。
【0072】
より詳細には、時刻ｔ０から時刻ｔ１までの期間Ｔ０において、バルブ６は開いており、流路９０が開いている。つまり、期間Ｔ０において、第１電磁弁７１は、エアー供給配管ＡＲ、第１配管９１及び第１ポート６１からエアーを第１室６４１に供給し、第２電磁弁７２は、第２配管９２及び第２ポート６２を通してエアーを第２室６４２からエアー排出配管ＥＸに向けて排出する。その結果、仕切り部６６及び連結部６７がバルブ開方向ＤＯに移動して、弁体部６８がバルブ開方向ＤＯに変位している。その結果、流路９０が開いている。つまり、期間Ｔ０では、第１室６４１のエアー圧によって、弾性部材６５の弾性力に抗して、仕切り部６６、連結部６７、及び、弁体部６８がバルブ開方向ＤＯに押し上げられて、流路９０が開いている。
【0073】
次に、時刻ｔ１において、第２電磁弁７２が、第２配管９２及び第２ポート６２を介してエアーを第２室６４２からエアー排出配管ＥＸに向けて排出している状態において、第１電磁弁７１は、第１配管９１及び第１ポート６１を介して、エアー供給配管ＡＲからのエアーを第１室６４１に供給している状態から、エアーを第１室６４１からエアー排出配管ＥＸに向けて排出する状態に切り替える。つまり、時刻ｔ１において、第２電磁弁７２がエアーを第２室６４２から排出している状態において、第１電磁弁７１は、第１室６４１からのエアーの排出を開始する。
【0074】
従って、時刻ｔ１において、弾性部材６５は、仕切り部６６及び連結部６７をバルブ閉方向ＤＣに駆動して、弁体部６８をバルブ閉方向ＤＣに変位させる。その結果、弁体部６８が流路９０を閉じる。つまり、時刻ｔ１から時刻ｔ２までの期間Ｔ１では、弾性部材６５の弾性力である第１駆動力が、仕切り部６６、連結部６７、及び、弁体部６８に対してバルブ閉方向ＤＣに作用している。一方、時刻ｔ１を含む期間Ｔ１では、エアー圧である第２駆動力は、仕切り部６６、連結部６７、及び、弁体部６８に対してバルブ閉方向ＤＣに作用していない。なぜなら、期間Ｔ１では、期間Ｔ０から引き続き、第２電磁弁７２がエアーを第２室６４２から排出しているからである。
【0075】
次に、時刻ｔ２において、第１電磁弁７１が、第１配管９１及び第１ポート６１を介して、エアーを第１室６４１からエアー排出配管ＥＸに向けて排出している状態において、第２電磁弁７２は、第２配管９２及び第２ポート６２を介して、エアーを第２室６４２から排出している状態から、エアー供給配管ＡＲからのエアーを第２室６４２に供給する状態に切り替える。つまり、時刻ｔ２において、第１電磁弁７１がエアーを第１室６４１から排出している状態において、第２電磁弁７２は、第２室６４２へのエアーの供給を開始する。
【0076】
従って、時刻ｔ２において、弾性部材６５の弾性力である第１駆動力に加えて、第２室６４２のエアー圧である第２駆動力が、仕切り部６６、連結部６７、及び、弁体部６８に対してバルブ閉方向ＤＣに更に作用する。従って、時刻ｔ２から時刻ｔ３までの期間Ｔ２では、弾性力及びエアー圧によって弁体部６８が流路９０を閉じる。その結果、期間Ｔ２では、弁体部６８は、より強い力で流路９０を閉じることができる。
【0077】
なお、期間Ｔ１及び期間Ｔ２では、第１電磁弁７１は、第１配管９１及び第１ポート６１を介して、第１室６４１からエアー排出配管ＥＸに向けてエアーを排出している。
【0078】
ここで、弾性部材６５による第１駆動力をバルブ６に作用させるタイミングと、エアー圧による第２駆動力をバルブ６に作用させるタイミングとが異なる限りにおいて、期間Ｔ０～期間Ｔ２の各々の長さは、特に限定されない。
【0079】
図８は、実施形態１に係るバルブ６を閉じる際のノズル１４における処理液ＬＱの状態を示す図である。図８に示すように、第１駆動力（弾性力）をバルブ６に作用させるタイミングと第２駆動力（エアー圧）をバルブ６に作用させるタイミングとを異ならせることで、ノズル１４において、ウォーターハンマー（図５）の発生を抑制できる。つまり、ウォーターハンマーによる液滴の飛び散りが抑制され、処理液ＬＱが繋がった状態で落下する。
【0080】
次に、図９を参照して、バルブ６の閉速度及び第１スピードコントローラー７３の開度を説明する。図９は、バルブ６の閉速度と第１スピードコントローラー７３の開度との関係を示す図である。図９のグラフＧＰ１～ＧＰ３において、横軸は時間を示し、縦軸はバルブ６の状態を示す。グラフＧＰ１～ＧＰ３において、時刻ｔ０～ｔ３及び期間Ｔ０～Ｔ２は、それぞれ、図７に示す時刻ｔ０～ｔ３及び期間Ｔ０～Ｔ２を示す。
【0081】
例えば、グラフＧＰ１に示すように、第１スピードコントローラー７３の開度が大きいと、バルブ６の閉速度は大きい。例えば、グラフＧＰ２に示すように、第１スピードコントローラー７３の開度が中程度であると、バルブ６の閉速度は中程度である。例えば、グラフＧＰ３に示すように、第１スピードコントローラー７３の開度が小さいと、バルブ６の閉速度は小さい。第１スピードコントローラー７３の開度は、絞り弁７３１の開度を示す。開度は、絞り弁７３１が開いている程度を示す。
【0082】
すなわち、第１スピードコントローラー７３の開度が小さいほど、バルブ６の閉速度が小さくなる。換言すれば、第１スピードコントローラー７３の開度が大きいほど、バルブ６の閉速度が大きくなる。
【0083】
以上、図９に示されるように、実施形態１によれば、弾性部材６５による第１駆動力をバルブ６に作用させるタイミング（時刻ｔ１）と、エアー圧による第２駆動力をバルブ６に作用させるタイミング（時刻ｔ２）とを異ならせることで、第１スピードコントローラー７３の開度の調整によるバルブ６の閉速度の調整を効果的に実行できる。一方、図３に示すように、比較例では、弾性部材８０５による第１駆動力をバルブ８０に作用させるタイミング（時刻ｔ１）と、エアー圧による第２駆動力をバルブ８０に作用させるタイミング（時刻ｔ１）とが同時であるため、第１スピードコントローラー８７の開度の調整によるバルブ８０の閉速度の調整が、困難又は不可能である。
【0084】
次に、図６を参照して、実施形態１のより好ましい例を説明する。すなわち、バルブ制御機構７（具体的には、第１スピードコントローラー７３）は、配管９を流れる処理液の流量を示す流量値に応じてバルブ６の閉速度を調整するか、又は、処理液の流量として予め設定された流量値に応じてバルブ６の閉速度を調整することが好ましい。この好ましい例によれば、配管９を流れる処理液の流量に応じて、バルブ６の閉速度を適切な値に設定できる。従って、バルブ６が閉じる瞬間の衝撃の発生を更に効果的に抑制できる。「配管９を流れる処理液の流量を示す流量値」は、流量計８によって計測された処理液の流量値を示す。また、「処理液の流量として予め設定された流量値」は、例えば、記憶部２２に記憶されたレシピに定められた処理液の流量値を示す。レシピは、基板Ｗの処理内容及び処理手順を規定する情報である。つまり、レシピは、基板Ｗに対する処理条件を規定する情報である。
【0085】
特に、実施形態１では、バルブ制御機構７は、配管９を流れる処理液の流量値が大きいほど、バルブ６の閉速度を小さくすることが更に好ましい。処理液の流量値が大きい場合に、バルブ６の閉速度を大きくすると、ノズル１４においてウォーターハンマーが発生し易くなる可能性があるからである。一方、処理液の流量値が小さい場合に、バルブ６の閉速度を小さくすると、ノズル１４において液柱が細くなり過ぎて処理液がダラダラ継続して落下する可能性がある。従って、バルブ制御機構７は、配管９を流れる処理液の流量値が小さいほど、バルブ６の閉速度を大きくすることが更に好ましい。
【0086】
具体的には、制御部２１は、流量計８から処理液の流量を示す流量値を取得する。そして、制御部２１は、流量値に基づいて第１スピードコントローラー７３の開度を設定する。第１スピードコントローラー７３の開度が小さいほど、バルブ６の閉速度は小さくなる（図９）。
【0087】
そこで、より詳細には、制御部２１は、配管９を流れる処理液の流量値が大きいほど、第１スピードコントローラー７３の開度を小さく設定する。従って、配管９を流れる処理液の流量値が大きいほど、バルブ６の閉速度が小さくなる。その結果、ノズル１４においてウォーターハンマーの発生を効果的に抑制できる。一方、制御部２１は、配管９を流れる処理液の流量値が小さいほど、第１スピードコントローラー７３の開度を大きく設定することで、ノズル１４において液柱が細くなり過ぎることを抑制できる。
【0088】
又は、制御部２１は、記憶部２２に記憶されたレシピから、処理液の流量として予め定められた流量値を取得する。そして、制御部２１は、流量値に基づいて第１スピードコントローラー７３の開度を設定する。より詳細には、制御部２１は、予め定められた流量値が大きいほど、第１スピードコントローラー７３の開度を小さく設定する。従って、予め定められた流量値が大きいほど、バルブ６の閉速度が小さくなる。その結果、ノズル１４においてウォーターハンマーの発生を効果的に抑制できる。一方、制御部２１は、予め定められた流量値が小さいほど、第１スピードコントローラー７３の開度を大きく設定することで、ノズル１４において液柱が細くなり過ぎることを抑制できる。
【0089】
次に、図６及び図１０を参照して、実施形態１に係る基板処理方法を説明する。基板処理方法は、基板Ｗを処理液によって処理する方法である。図１０は、基板処理方法を示すフローチャートである。図１０に示すように、基板処理方法は、工程Ｓ１～工程Ｓ５を含む。
【0090】
図６及び図１０に示すように、まず、工程Ｓ１において、制御部２１は、バルブ６が開くように、バルブ６を制御する。従って、バルブ６が開き、流路９０が開通する。よって、ノズル１４（図２）は、基板Ｗに向けて処理液を吐出する。その結果、基板Ｗが処理液によって処理される。
【0091】
次に、工程Ｓ２において、制御部２１は、記憶部２２に記憶されたレシピから、処理液の吐出終了指示を受け付ける。
【0092】
次に、工程Ｓ３において、制御部２１は、流量計８から処理液の流量値を取得して、配管９を流れる処理液の流量値に応じてバルブ６の閉速度を設定する。具体的には、制御部２１は、第１スピードコントローラー７３の開度を、配管９を流れる処理液の流量値に応じて設定する。その結果、バルブ６の閉速度が、処理液の流量値に応じて設定される。
【0093】
又は、工程Ｓ３において、制御部２１は、記憶部２２に記憶されたレシピから、処理液の流量として予め定められた流量値を取得して、予め定められた流量値に応じてバルブ６の閉速度を設定する。具体的には、制御部２１は、第１スピードコントローラー７３の開度を、予め定められた流量値に応じて設定する。その結果、バルブ６の閉速度が、予め定められた流量値に応じて設定される。
【0094】
次に、工程Ｓ４において、制御部２１は、バルブ制御機構７（具体的には第１電磁弁７１）を制御することで、バルブ閉方向ＤＣに作用する第１駆動力（例えば、弾性部材６５の弾性力）によってバルブ６（具体的には弁体部６８）を駆動する。その結果、バルブ６（具体的には弁体部６８）が閉じて、流路９０が閉止される。
【0095】
次に、工程Ｓ５において、制御部２１は、バルブ制御機構７（具体的には第２電磁弁７２）を制御することで、バルブ閉方向ＤＣに作用する第２駆動力（例えば、エアー圧）をバルブ６（具体的には弁体部６８）に与える。その結果、第１駆動力及び第２駆動力によってバルブ６（具体的には弁体部６８）の閉状態が維持される。そして、基板処理方法は、終了する。
【0096】
以上、図１０を参照して説明したように、工程Ｓ４の後に工程Ｓ５を実行することで、バルブ６が閉じる瞬間の衝撃の発生を抑制できる。
【0097】
（実施形態２）
図１１及び図１２を参照して、本発明の実施形態２に係る基板処理装置１００を説明する。実施形態２に係る基板処理装置１００及び処理ユニット１の全体構成は、それぞれ、図１及び図２を参照して説明した実施形態１に係る基板処理装置１００及び処理ユニット１の全体構成と同様である。特に、実施形態２に係る基板処理装置１００は、第１駆動力及び第２駆動力としてエアー圧を利用する点で、実施形態１に係る基板処理装置１００と主に異なる。以下、実施形態２が実施形態１と異なる点を主に説明する。
図１１及び図１２を参照して、本発明の実施形態２に係る基板処理装置１００を説明する。実施形態２に係る基板処理装置１００及び処理ユニット１の全体構成は、それぞれ、図１及び図２を参照して説明した実施形態１に係る基板処理装置１００及び処理ユニット１の全体構成と同様である。特に、実施形態２に係る基板処理装置１００は、第１駆動力及び第２駆動力としてエアー圧を利用する点で、実施形態１に係る基板処理装置１００と主に異なる。以下、実施形態２が実施形態１と異なる点を主に説明する。
【0098】
図１１は、実施形態２に係るバルブ６Ａ及びバルブ制御機構７Ａを示す図である。図１１に示すように、バルブ６Ａは、図６に示す弾性部材６５を有していない点で、図６に示すバルブ６と異なる。また、バルブ制御機構７Ａは、図６に示すバルブ制御機構７の構成に加えて、圧力調整機構７５を有する。圧力調整機構７５は、第２ポート６２から第２室６４２に供給するエアーの圧力を調整する。圧力調整機構７５は、例えば、レギュレーターである。
【0099】
実施形態２では、バルブ６Ａに第１駆動力（第１エアー圧Ｐ１）を与えるタイミングと、バルブ６Ａに第２駆動力（第２エアー圧Ｐ２）を与えるタイミングとを異ならせることで、バルブ６Ａが閉じる瞬間の衝撃が発生することを抑制する。
【0100】
図１２は、バルブ制御機構７Ａの動作を示すタイムチャートである。図１２のチャートＣＴ１１、ＣＴ１２において、横軸は時間を示す。チャートＣＴ１１の縦軸は、図７に示すチャートＣＴ１の縦軸と同様である。チャートＣＴ１２の縦軸は、第２室６４２へのエアーの供給状態を示す。具体的には、縦軸において、「Ｐ１」は、第２配管９２から第２室６４２に対して第１エアー圧Ｐ１でエアーが供給される状態を示す。「Ｐ１＋Ｐ２」は、第２配管９２から第２室６４２に対して、第１エアー圧Ｐ１＋第２エアー圧Ｐ２でエアーが供給される状態を示す。「オフ」は、第２配管９２から第２室６４２にエアーが供給されない状態を示す。従って、エアーの供給状態が「オフ」である場合には、第２室６４２からエアーが排出される状態を示す。
【0101】
図１１及び図１２に示すように、バルブ６Ａによって配管９の流路９０を閉じる場合、時刻ｔ１において、バルブ制御機構７Ａは、バルブ閉方向ＤＣに作用する第１駆動力（第１エアー圧Ｐ１）によってバルブ６Ａを駆動する。従って、第１駆動力によって、バルブ６Ａが閉じて、流路９０が閉じられる。また、バルブ６Ａが第１駆動力によって駆動された後に、時刻ｔ２において、バルブ閉方向ＤＣに作用する第２駆動力（第２エアー圧Ｐ２）を更にバルブ６Ａに与える。従って、バルブ６Ａは、第１駆動力だけでなく、第２駆動力によっても、閉じた状態を維持できる。つまり、バルブ６Ａは、より強い力で流路９０を閉じることができる。
【0102】
すなわち、実施形態２によれば、バルブ６Ａに第１駆動力を作用させるタイミングと、バルブ６Ａに第２駆動力を作用させるタイミングとを異ならせている。従って、バルブ６Ａに第１駆動力及び第２駆動力を同時に作用させる場合と比較して、バルブ６Ａが閉じる瞬間の衝撃の発生を抑制できる。その結果、発塵、及び、ウォーターハンマーの発生を抑制できる。
【0103】
具体的には、バルブ６Ａによって配管９の流路９０を閉じる場合、バルブ制御機構７Ａは、時刻ｔ１において、第１ポート６１を通してエアーを第１室６４１から排出するとともに、第２ポート６２を通してエアーを第２室６４２に供給することで、第２室６４２における第１エアー圧Ｐ１である第１駆動力をバルブ６Ａに与える。この場合、圧力調整機構７５が、第２配管９２に流れるエアーの圧力を第１エアー圧Ｐ１に設定する。
【0104】
そして、バルブ６Ａに第１駆動力が与えられた後に、時刻ｔ２において、第２ポート６２を通してエアーを第２室６４２に供給することで、第２エアー圧Ｐ２である第２駆動力をバルブ６Ａに更に与える。この場合、圧力調整機構７５が、第２配管９２に流れるエアーの圧力を、第１エアー圧Ｐ１＋第２エアー圧Ｐ２に設定する。
【0105】
従って、実施形態２によれば、第１エアー圧Ｐ１による第１駆動力をバルブ６Ａに作用させるタイミングと、第２エアー圧Ｐ２による第２駆動力をバルブ６Ａに更に作用させるタイミングとを異ならせている。従って、バルブ６Ａが閉じる瞬間の衝撃の発生を抑制できる。その結果、発塵、及び、ウォーターハンマーの発生を抑制できる。
【0106】
より詳細には、時刻ｔ０から時刻ｔ１までの期間Ｔ０におけるバルブ６Ａ及びバルブ制御機構７Ａの動作は、図７に示す期間Ｔ０におけるバルブ６及びバルブ制御機構７の動作と同様である。
【0107】
時刻ｔ１において、第１電磁弁７１は、第１配管９１及び第１ポート６１を介して、エアー供給配管ＡＲからのエアーを第１室６４１に供給している状態から、エアーを第１室６４１からエアー排出配管ＥＸに向けて排出する状態に切り替える。加えて、時刻ｔ１において、第２電磁弁７２は、第２配管９２及び第２ポート６２を介してエアーを第２室６４２からエアー排出配管ＥＸに向けて排出している状態から、エアー供給配管ＡＲからのエアーを第２室６４２に向けて第１エアー圧Ｐ１で供給する状態に切り替える。
【0108】
従って、時刻ｔ１において、仕切り部６６及び連結部６７は、第１エアー圧Ｐ１によってバルブ閉方向ＤＣに駆動されて、弁体部６８がバルブ閉方向ＤＣに変位する。その結果、弁体部６８が流路９０を閉じる。つまり、時刻ｔ１から時刻ｔ２までの期間Ｔ１では、第１エアー圧Ｐ１による第１駆動力が、仕切り部６６、連結部６７、及び、弁体部６８に対してバルブ閉方向ＤＣに作用している。
【0109】
次に、時刻ｔ２において、圧力調整機構７５が、第１配管９１を流れるエアーの圧力を、第１エアー圧Ｐ１＋第２エアー圧Ｐ２に設定する。従って、仕切り部６６、連結部６７、及び、弁体部６８に対して、バルブ閉方向ＤＣに、第１エアー圧Ｐ１による第１駆動力に加えて、第２エアー圧Ｐ２による第２駆動力が与えられる。よって、時刻ｔ２から時刻ｔ３までの期間Ｔ２では、第１エアー圧Ｐ１及び第２エアー圧Ｐ２によって弁体部６８が流路９０を閉じる。その結果、期間Ｔ２では、弁体部６８は、より強い力で流路９０を閉じることができる。
【0110】
なお、期間Ｔ１及び期間Ｔ２では、第１電磁弁７１は、第１配管９１及び第１ポート６１を介して、第１室６４１からエアー排出配管ＥＸに向けてエアーを排出している。
【0111】
ここで、第１エアー圧Ｐ１による第１駆動力をバルブ６Ａに作用させるタイミングと、第２エアー圧Ｐ２による第２駆動力をバルブ６Ａに更に作用させるタイミングとが異なる限りにおいて、期間Ｔ０～期間Ｔ２の各々の長さは、特に限定されない。
【0112】
また、実施形態２に係る基板処理方法は、図１０を参照して説明した実施形態１に係る基板処理方法と同様である。
【0113】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について説明した。ただし、本発明は、上記の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の態様において実施できる。また、上記の実施形態に開示される複数の構成要素は適宜改変可能である。例えば、ある実施形態に示される全構成要素のうちのある構成要素を別の実施形態の構成要素に追加してもよく、または、ある実施形態に示される全構成要素のうちのいくつかの構成要素を実施形態から削除してもよい。
【0114】
図面は、発明の理解を容易にするために、それぞれの構成要素を模式的に示しており、図示された各構成要素の厚さ、長さ、個数、間隔等は、図面作成の都合上から実際とは異なる場合もある。また、上記の実施形態で示す各構成要素の構成は一例であって、特に限定されるものではなく、本発明の効果から実質的に逸脱しない範囲で種々の変更が可能であることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【0115】
本発明は、基板処理装置及び基板処理方法に関するものであり、産業上の利用可能性を有する。
【符号の説明】
【0116】
６、６Ａ バルブ
７、７Ａ バルブ制御機構
９ 配管
６１ 第１ポート
６２ 第２ポート
６５ 弾性部材
６８ 弁体部
６４１ 第１室
６４２ 第２室
１００ 基板処理装置
Ｗ 基板
７、７Ａ バルブ制御機構
９ 配管
６１ 第１ポート
６２ 第２ポート
６５ 弾性部材
６８ 弁体部
６４１ 第１室
６４２ 第２室
１００ 基板処理装置
Ｗ 基板
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】