特開 2022-132466 平面検査装置、及び平面検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022132466

(43)【公開日】2022-09-08

(54)【発明の名称】平面検査装置、及び平面検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01C 5/04 20060101AFI20220901BHJP

【ＦＩ】

G01C5/04 A

【審査請求】有

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022113596

(22)【出願日】2022-07-15

(62)【分割の表示】P 2018029141の分割

【原出願日】2018-02-21

(71)【出願人】

【識別番号】000005175

【氏名又は名称】藤倉コンポジット株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100121083

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 宏義

(74)【代理人】

【識別番号】100138391

【弁理士】

【氏名又は名称】天田 昌行

(74)【代理人】

【識別番号】100121049

【弁理士】

【氏名又は名称】三輪 正義

(72)【発明者】

【氏名】宮森 賢蔵

(57)【要約】

【課題】液面レベルの計測結果に基づいて被検査体の高さレベルのずれを補正することが可能な平面検査装置等を提供する。
【解決手段】本発明は、複数の液面工具と、流路管と、液面センサの検知結果に基づいて、被検査体の高さレベルのずれを補正する補正装置と、を有し、流体は、流路管を通じて、各レベル計測容器間を循環しており、水平な基準面に各液面工具を置いた際の液面センサにて得られた液面レベルが夫々、基準レベルとして定められており、複数の液面工具が被検査体の上面の異なる位置に設置された際に流体の循環によって生じる、基準レベルに対する各レベル計測容器の液面レベルのずれが測定され、補正装置では、基準レベルに最も近い液面工具は動かないように固定した状態で、各レベル計測容器の液面レベルが夫々、各基準レベルに近づくように制御されて、被検査体の高さレベルのずれを補正する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被検査体の平面度を検査する平面検査装置であって、
流体を収容可能なレベル計測容器及び、前記レベル計測容器に収容された前記流体の液面レベルを計測可能な液面センサを具備し、前記被検査体の上面の異なる位置に設置される複数の液面工具と、
各レベル計測容器間に接続され、前記各レベル計測容器間での前記流体の流動を可能とする流路管と、
前記液面センサの検知結果に基づいて、前記被検査体の高さレベルのずれを補正する補正装置と、
を有し、
前記流体は、前記流路管を通じて、各レベル計測容器間を循環しており、
水平な基準面に各液面工具を置いた際の前記液面センサにて得られた前記液面レベルが夫々、基準レベルとして定められており、
前記複数の液面工具が前記被検査体の上面の異なる位置に設置された際に前記流体の循環によって生じる、前記基準レベルに対する各レベル計測容器の前記液面レベルのずれが測定され、
前記補正装置では、前記基準レベルに最も近い前記液面工具は動かないように固定した状態で、各レベル計測容器の前記液面レベルが夫々、各基準レベルに近づくように制御されて、前記被検査体の高さレベルのずれを補正する、
ことを特徴とする平面検査装置。

【請求項2】

被検査体の平面度を検査する平面検査装置であって、
流体を収容可能なレベル計測容器及び、前記レベル計測容器に収容された前記流体の液面レベルを計測可能な液面センサを具備し、前記被検査体の上面の異なる位置に設置される複数の液面工具と、
各レベル計測容器間に接続され、前記各レベル計測容器間での前記流体の流動を可能とする流路管と、
前記液面センサの検知結果に基づいて、前記被検査体の高さレベルのずれを補正する補正装置と、
を有し、
前記流体は、前記流路管を通じて、各レベル計測容器間を循環しており、
水平な基準面に各液面工具を置いた際の前記液面センサにて得られた前記液面レベルが夫々、基準レベルとして定められており、
前記複数の液面工具が前記被検査体の上面の異なる位置に設置された際に前記流体の循環によって生じる、前記基準レベルに対する各レベル計測容器の前記液面レベルのずれが測定され、
前記補正装置は、各液面レベルを算出する演算装置と、各液面工具に対応する前記被検査体の下面に設置され、前記演算装置の演算結果に基づいて、前記被検査体の各計測位置での高さレベルのずれを補正する複数の昇降装置と、を有して構成され、
前記補正装置では、前記液面レベルが、基準レベルに最も近い前記液面工具に対応した前記昇降装置を基準脚と規定し、前記基準脚以外の前記昇降装置を駆動させて、各液面レベルが前記基準レベルに近づくように制御されて、前記被検査体の高さレベルのずれを補正する、ことを特徴とする平面検査装置。

【請求項3】

前記補正装置では、前記基準脚以外の前記昇降装置を、前記基準レベルに近づくように昇降させたときに、所定の駆動域内にあるか否かを検出し、駆動域外にあるときには、前記基準脚を昇降させて、前記基準脚以外の前記昇降装置が全て、前記所定の駆動域内で昇降するように制御することを特徴とする請求項２に記載の平面検査装置。

【請求項4】

被検査体の平面度を検査する平面検査方法であって、
前記被検査体の下面の異なる位置に複数の昇降装置を配置すると共に、前記昇降装置と対応する前記被検査体の上面に、流体を収容可能なレベル計測容器及び、前記レベル計測容器に収容された前記流体の液面レベルを測定可能な液面センサを具備する複数の液面工具を設置する工程、
流路管で繋がれた各レベル計測容器に収容された前記流体の液面レベルを前記液面センサで検知し、前記液面センサの検知結果に基づいて、前記被検査体を前記昇降装置にて昇降させながら、前記被検査体の各計測位置での高さレベルのずれを補正する工程、を有し、
前記流体は、前記流路管を通じて、各レベル計測容器間を循環しており、
水平な基準面に各液面工具を置いた際の前記液面センサにて得られた前記液面レベルが夫々、基準レベルとして定められており、
前記複数の液面工具が前記被検査体の上面の異なる位置に設置された際に前記流体の循環によって生じる、前記基準レベルに対する各レベル計測容器の前記液面レベルのずれが測定され、
前記補正装置では、前記基準レベルに最も近い前記液面工具は動かないように固定した状態で、各レベル計測容器の前記液面レベルが夫々、各基準レベルに近づくように制御されて、前記被検査体の高さレベルのずれを補正する、
ことを特徴とする平面検査方法。

【請求項5】

前記液面工具を、前記被検査体の上面に設置する前に、前記液面工具を、水平な基準面上に置いて、前記液面レベルを基準レベルに設定する工程、
前記液面工具を前記被検査体の上面に設置した後、前記基準レベルに最も近い前記液面レベルにある前記液面工具に対応する前記昇降装置を基準脚に設定する工程、を有し、
前記高さレベルのずれを補正する工程では、前記液面センサの検知結果に基づいて、前記基準脚以外の前記昇降装置を昇降させて、各液面レベルが前記基準レベルに近づくように制御する、ことを特徴とする請求項４に記載の平面検査方法。

【請求項6】

前記高さレベルのずれを補正する工程では、前記基準脚以外の前記昇降装置を、前記基準レベルに近づくように昇降させたときに、所定の駆動域内にあるか否かを検出し、前記所定の駆動域外にあるきは、前記基準脚を昇降させて、前記基準脚以外の前記昇降装置が全て、前記所定の駆動域内で昇降するように制御することを特徴とする請求項５に記載の平面検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、平面検査装置、及び平面検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

計測機器を用いて、被検査体の平面度を計測する平面度計測装置が知られている。特許文献１に記載の発明では、被検査体の表面に複数の流体槽を設置し、液体槽に収容した流体の液面レベルを、高さ測定器を用いて計測する。各流体槽間は、ホースで繋がっており、流体を流体槽間で循環できるようになっている。

【0003】

高さ測定器により、各流体槽に収容された流体の液面レベルを計測し、レベル差を求め、平面度を演算する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００５－２２７０８１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１に記載の発明では、平面度を計測できるものの、被検査体の高さレベルのずれを補正する手段はない。

【0006】

このように、特許文献１に記載の発明では、被検査体の平面度を計測はできても、平面度を矯正することはできなかった。

【0007】

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、特に、液面レベルの計測結果に基づいて被検査体の高さレベルのずれを補正することが可能な平面検査装置、及び平面検査方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明は、被検査体の平面度を検査する平面検査装置であって、流体を収容可能なレベル計測容器及び、前記レベル計測容器に収容された前記流体の液面レベルを計測可能な液面センサを具備し、前記被検査体の上面の異なる位置に設置される複数の液面工具と、各レベル計測容器間に接続され、前記各レベル計測容器間での前記流体の流動を可能とする流路管と、前記液面センサの検知結果に基づいて、前記被検査体の高さレベルのずれを補正する補正装置と、を有し、前記流体は、前記流路管を通じて、各レベル計測容器間を循環しており、水平な基準面に各液面工具を置いた際の前記液面センサにて得られた前記液面レベルが夫々、基準レベルとして定められており、前記複数の液面工具が前記被検査体の上面の異なる位置に設置された際に前記流体の循環によって生じる、前記基準レベルに対する各レベル計測容器の前記液面レベルのずれが測定され、前記補正装置では、前記基準レベルに最も近い前記液面工具は動かないように固定した状態で、各レベル計測容器の前記液面レベルが夫々、各基準レベルに近づくように制御されて、前記被検査体の高さレベルのずれを補正する、ことを特徴とする。

【0009】

本発明は、被検査体の平面度を検査する平面検査装置であって、流体を収容可能なレベル計測容器及び、前記レベル計測容器に収容された前記流体の液面レベルを計測可能な液面センサを具備し、前記被検査体の上面の異なる位置に設置される複数の液面工具と、各レベル計測容器間に接続され、前記各レベル計測容器間での前記流体の流動を可能とする流路管と、前記液面センサの検知結果に基づいて、前記被検査体の高さレベルのずれを補正する補正装置と、を有し、前記流体は、前記流路管を通じて、各レベル計測容器間を循環しており、水平な基準面に各液面工具を置いた際の前記液面センサにて得られた前記液面レベルが夫々、基準レベルとして定められており、前記複数の液面工具が前記被検査体の上面の異なる位置に設置された際に前記流体の循環によって生じる、前記基準レベルに対する各レベル計測容器の前記液面レベルのずれが測定され、前記補正装置は、各液面レベルを算出する演算装置と、各液面工具に対応する前記被検査体の下面に設置され、前記演算装置の演算結果に基づいて、前記被検査体の各計測位置での高さレベルのずれを補正する複数の昇降装置と、を有して構成され、前記補正装置では、前記液面レベルが、基準レベルに最も近い前記液面工具に対応した前記昇降装置を基準脚と規定し、前記基準脚以外の前記昇降装置を駆動させて、各液面レベルが前記基準レベルに近づくように制御されて、前記被検査体の高さレベルのずれを補正する、ことを特徴とする。

【0010】

本発明では、前記補正装置では、前記基準脚以外の前記昇降装置を、前記基準レベルに近づくように昇降させたときに、所定の駆動域内にあるか否かを検出し、駆動域外にあるときには、前記基準脚を昇降させて、前記基準脚以外の前記昇降装置が全て、前記所定の駆動域内で昇降するように制御することが好ましい。

【0011】

本発明は、被検査体の平面度を検査する平面検査方法であって、前記被検査体の下面の異なる位置に複数の昇降装置を配置すると共に、前記昇降装置と対応する前記被検査体の上面に、流体を収容可能なレベル計測容器及び、前記レベル計測容器に収容された前記流体の液面レベルを測定可能な液面センサを具備する複数の液面工具を設置する工程、流路管で繋がれた各レベル計測容器に収容された前記流体の液面レベルを前記液面センサで検知し、前記液面センサの検知結果に基づいて、前記被検査体を前記昇降装置にて昇降させながら、前記被検査体の各計測位置での高さレベルのずれを補正する工程、を有し、前記流体は、前記流路管を通じて、各レベル計測容器間を循環しており、水平な基準面に各液面工具を置いた際の前記液面センサにて得られた前記液面レベルが夫々、基準レベルとして定められており、前記複数の液面工具が前記被検査体の上面の異なる位置に設置された際に前記流体の循環によって生じる、前記基準レベルに対する各レベル計測容器の前記液面レベルのずれが測定され、前記補正装置では、前記基準レベルに最も近い前記液面工具は動かないように固定した状態で、各レベル計測容器の前記液面レベルが夫々、各基準レベルに近づくように制御されて、前記被検査体の高さレベルのずれを補正する、ことを特徴とする。

【0012】

本発明では、前記液面工具を、前記被検査体の上面に設置する前に、前記液面工具を、水平な基準面上に置いて、前記液面レベルを基準レベルに設定する工程、前記液面工具を前記被検査体の上面に設置した後、前記基準レベルに最も近い前記液面レベルにある前記液面工具に対応する前記昇降装置を基準脚に設定する工程、を有し、前記高さレベルのずれを補正する工程では、前記液面センサの検知結果に基づいて、前記基準脚以外の前記昇降装置を昇降させて、各液面レベルが前記基準レベルに近づくように制御することが好ましい。

【0013】

本発明では、前記高さレベルのずれを補正する工程では、前記基準脚以外の前記昇降装置を、前記基準レベルに近づくように昇降させたときに、所定の駆動域内にあるか否かを検出し、前記所定の駆動域外にあるきは、前記基準脚を昇降させて、前記基準脚以外の前記昇降装置が全て、前記所定の駆動域内で昇降するように制御することが好ましい。

【発明の効果】

【0014】

本発明の平面検査装置及び平面検査方法によれば、液面レベルの計測結果に基づいて被検査体の高さレベルのずれを補正することができ、レベルずれの計測・演算及びレベルずれの補正を自動制御で行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本実施形態の平面検査装置の模式図である。

【図2】脚の高さと、液面レベルとの関係を示す模式図である。

【図3】本実施形態の平面検査方法のフローチャートである。

【図4】実験の初期条件の液面レベルを説明するための模式図である。

【図5】図５Ａは、各液面レベルの推移を示すグラフであり、図５Ｂは、各脚の高さレベル（％）の推移を示すグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明の一実施の形態（以下、「実施の形態」と略記する。）について、詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々変形して実施することができる。

【0017】

＜平面検査装置＞
図１は、本実施形態の平面検査装置の模式図である。図１に示す平面検査装置１は、被検査体２の平面度を検査するための装置である。被検査体２を特に限定するものではないが、例えば床等である。

【0018】

図１に示すように、平面検査装置１は、液面工具３と、流路管４と、補正装置５と、を有して構成される。

【0019】

（液面工具３）
液面工具３は、レベル計測容器６と、液面センサ７とを具備する。図１に示すように、レベル計測容器６は、例えば、円筒形の有底容器であるが、液体を収容可能な形状であればよい。レベル計測容器６の上方には液面センサ７が設置される。液面センサ７は、例えば、レーザセンサであり、液面センサ７からレーザ光を液面に照射し、その反射光から液面レベルを計測する。反射板としてのフロートを液面に浮かべ、フロートの反射光を計測してもよいが、フロートを用いると液面レベルの計測精度が低下しやすいため、本実施形態においては、フロートを用いないことが好ましい。

【0020】

図１に示すように、複数の液面工具３は、被検査体２の上面２ａの異なる位置に設置されている。図１では、４個の液面工具３が、被検査体２の四隅に設置されている。液面工具３の設置個所及び数を限定するものではなく、被検査体２の使用形態や、被検査体２に求められる平面度に合わせて、液面工具３の設置個所や数を任意に決めることができる。なお、被検査体２の四隅に液面工具３を設置して計測することで、被検査体２の上面２ａ全体のレベルずれを高精度に補正することができる。

【0021】

（流路管４）
図１に示すように、各レベル計測容器６間は、流路管４で繋がれている。これにより、各レベル計測容器６に収容された液体は、流路管４を通じてレベル計測容器６間での流動が可能となっている。

【0022】

流路管４は、特に限定されるものではないが、例えば、柔軟性のあるホースである。ホースの材質は特に限定されるものではないが、熱可塑性樹脂製が好ましく、特にウレタン製が好ましい。

【0023】

（補正装置５）
補正装置５は、液面センサ７の検知結果に基づいて、被検査体２の高さレベルのずれを補正する。このように、本実施形態では、高さレベルのずれを算出するだけでなく、該高さレベルのずれを補正可能とする。特に、本実施形態では、液面工具３の計測位置（図１に示す被検査体２の四隅）での高さレベルのずれを補正し、レベル計測とレベル補正とを自動制御で繰り返すことで、各高さレベルがほぼ一致するように制御することが可能である。この結果、被検査体２の高さレベルのずれを高精度に矯正することができる。

【0024】

ここで、「高さレベル」とは、被検査体２の上面２ａの高さ位置を指す。本実施形態は、被検査体２の上面２ａの高さレベルにずれが生じているときに、この高さレベルのずれを補正することができる。ただし、本実施形態では、高さレベルのずれを、液面レベルのずれとして計測している。すなわち、本実施形態では、液面レベルのずれを補正することで、被検査体２の高さレベルのずれを補正する。

【0025】

本実施形態では、補正装置５は、各液面工具３の液面レベルを算出する演算装置８と、各液面工具３に対応する被検査体２の下面に配置される複数の昇降装置９と、を有して構成される。

【0026】

図１に示すように、演算装置８は、各液面工具３の液面センサ７と電気的に接続されている。演算装置８では、液面センサ７からの検知信号により、各レベル計測容器６に収容された液体の液面レベルを算出する。

【0027】

図１に示すように、昇降装置９は、例えば、昇降可能な脚１０と、駆動部１１とを有して構成される。脚１０は、例えば、ジャッキである。脚１０には、モータ等の駆動部１１が接続されており、駆動部１１の駆動力に応じて脚１０を所定量だけ昇降させることができる。

【0028】

演算装置８では、各液面レベルを算出し、各液面レベルのずれを求める。後述するように、液面レベルのずれは、基準レベルからのずれとして求めることができる。演算装置８では、液面レベルのずれに基づいて、レベルずれを補正するための、各昇降装置９の脚１０の昇降量を演算する。演算装置８の演算結果は、各駆動部１１に送られ、各駆動部１１では、その演算結果に基づいて、各脚１０を昇降させながら、被検査体２の高さレベルのずれを補正する。

【0029】

上記したレベルずれ補正に関しては、各液面レベルのうち、液面レベルが基準レベルに最も近い液面工具３に対応する昇降装置９の脚１０を基準脚と規定する。そして、基準脚以外の脚１０を昇降させて、各液面レベルが基準レベルに近づくように制御する。

【0030】

このように、本実施形態では、基準脚を定め、基準脚を固定した状態で、他の脚１０を昇降させて、レベル補正を行う。脚１０の全てを駆動させると、基準レベルへの収拾がつきにくい恐れがあるため、基準脚は動かさないようにし、他の脚１０を、液面レベルが基準レベルに近づくように駆動させることで、簡単且つ精度よく、被検査体２の高さレベルのずれを補正することができる。

【0031】

ここで、「基準レベル」であるが、後述する平面検査方法で詳しく説明するように、検査前に、水平な基準面に各液面工具３を置いた際の液面センサ７の液面レベルを「基準レベル」と定める。実際には、このとき得られた液面センサ７からの出力値を基準値にする。例えば、出力値をゼロリセットする。

【0032】

また、本実施形態では、基準脚以外の脚１０を、基準レベルに近づくように昇降させた際、所定の駆動域内にあるか否か検出する。脚１０には上昇の限界及び下降の限界があるため、昇降の限界域よりも内側に駆動域を設け（限界域＞駆動域）、駆動域内で脚１０を駆動させるようにすることが、脚１０の昇降に支障を来す不具合を防止することができる。

【0033】

脚１０が駆動域外にあるとき、基準脚を昇降させて、基準脚以外の脚１０が全て、所定の駆動域内で昇降するように制御する。

【0034】

ここで、脚の昇降について、図面を用いて説明する。例えば、図２に示す左側の脚１０ａが基準脚（以下、基準脚１０ａと称する）であり、図２の右側の脚１０ｂが、駆動させる側の脚であるとする。図２に示すように、基準脚１０ａ上のレベル計測容器６ａと脚１０ｂ上のレベル計測容器６ｂ間は、流路管４で繋がれており、レベル計測容器６ａに収容された流体１２のほうが、レベル計測容器６ｂよりも多くなっている。この結果、レベル計測容器６ａに収容された流体１２の液面レベルＬ１は、レベル計測容器６ｂに収容された流体１２の液面レベルＬ２よりも高い。

【0035】

図２の状態から脚１０ｂを降下させると、流路管４を通じて、レベル計測容器６ａからレベル計測容器６ｂに流体１２が流れる。この結果、レベル計測容器６ｂ内の流体１２の液面レベルＬ２は、初期状態よりも上がり、レベル計測容器ａ内の流体１２の液面レベルＬ１は、初期状態よりも下がる。

【0036】

また、液面レベルＬ２を基準レベルに近づけるべく、脚１０ｂを駆動させたときに脚１０ｂが駆動域を超えたとする。例えば、図２示す脚１０ｂは、駆動域を超えているとする。

【0037】

このときは、基準脚１０ａを、図２の状態から上昇させる。これにより、基準脚１０ａ上のレベル計測容器６ａの流体１２は、流路管４を通じて、脚１０ｂ上のレベル計測容器６ｂに流れる。この結果、レベル計測容器６ｂに収容された流体１２の液面レベルＬ２は、図２よりも高くなる。これにより、液面レベルＬ２を基準レベルに近づけるべく、脚１０ｂを下降させることができ、脚１０ｂを所定の駆動域内に収めることができる。

【0038】

上記したように、本実施形態の平面検査装置１では、被検査体２の高さレベルのずれ（液面レベルのずれ）を計測・演算するのみならず、各計測位置での高さレベルのずれを補正することができる。しかも本実施形態では、レベルずれの計測・演算及びレベルずれの補正を自動制御で行うことができる。

【0039】

＜平面検査方法＞
次に、本実施形態における被検査体に対する平面検査方法を、図３のフローチャートを参照しながら説明する。

【0040】

図３に示すステップＳＴ１では、まず準備段階として、複数の液面工具３を、水平な基準面上に置く。このとき、液面工具３は、図１と同様に流路管４で繋がっており、各液面工具３のレベル計測容器６には、液体が収容されている。したがって、液体は、流路管４を通じて、各レベル計測容器６間を循環できようになっている。

【0041】

各液面工具３のレベル計測容器６に収容された液体は、全て同じ液面レベルであり、このときの液面レベルを「基準レベル」とする。

【0042】

図３に示すステップＳＴ２では、各レベル計測容器６に収容された液体の液面レベルを、液面上方に設置された液面センサ７にて計測する。このとき、各液面工具３のレベル計測容器６に収容された液体は、全て同じ液面レベル（基準レベル）にあり、各液面センサ７の出力は、同一であり、このときの出力を基準値とする。例えば、出力値をゼロリセットする。

【0043】

次に、図３に示すステップＳＴ３では、図１に示すように、被検査体２の下面２ｂの四隅に、補正装置５としての昇降装置９を配置する。昇降装置９は、脚１０と駆動部１１を有して構成されている。４個の脚１０の上に、被検査体２を置く。更に、脚１０と被検査体２を介して対向する被検査体２の上面２ａの四隅に、液面工具３を設置する。

【0044】

次に、図３に示すステップＳＴ４では、各液面工具３のレベル計測容器６に収容されている液体の液面レベルを、液面センサ７で計測する。液面センサ７の出力は、演算装置８に送られる。演算装置８では、液面センサ７の出力に基づいて、ステップＳＴ２で規定した基準値（ゼロ値）に最も近い出力が得られた液面工具３下の脚１０を、基準脚に設定する。

【0045】

この後、基準脚以外の脚を駆動させながらレベルずれの補正を行う。以下のレベルずれ補正を、図４、図５に示す実験例も交えながら説明する。なお、図４、図５に示す実験例の数値は、あくまでも一例である。なお、図５に示す実験例では、各脚を一つずつ動かしているが、実際には、複数の脚を同時に動かすことが可能である。

【0046】

図４は、各脚の初期状態を示す。図４に示すように、最も左側の脚Ａが、基準脚Ａに定められている。また、図４に示すように、例えば、初期状態における各脚Ａ～Ｄの高さ位置は、各脚Ａ～Ｄを最も縮めたときの高さを０％、最も伸ばしたときの高さを１００％とすると、ちょうど真ん中の５０％の位置にあるとする。

【0047】

また、図４に示すように、基準脚Ａ上のレベル計測容器ａに収容された流体１２の液面レベルＬ１は、基準レベルＬ０に対して０ｍｍの位置にあるとする。すなわち、基準脚Ａの液面レベルＬ１は、初期状態において、基準レベルＬ０に一致している。一方、脚Ｂ上のレベル計測容器ｂに収容された流体１２の液面レベルＬ２は、基準レベルＬ０に対して０．８ｍｍだけ高い位置にある。また、脚Ｃ上のレベル計測容器ｃに収容された流体１２の液面レベルＬ３は、基準レベルＬ０に対して０．５ｍｍだけ低い位置にある。また、脚Ｄ上のレベル計測容器ｄに収容された流体１２の液面レベルＬ４は、基準レベルＬ０に対して０．３ｍｍだけ低い位置にある。

【0048】

図３のステップＳＴ５では、基準脚以外の脚を駆動させ、各液面レベルが基準レベルに近づくように、すなわち、液面センサから得られる出力値が基準値（ゼロ値）に近づくように）、レベルずれ補正を実行する（追い込む）。

【0049】

次に、図３のステップＳＴ６では、基準脚以外の脚が所定の駆動域内にあるか測定する。図３のステップＳＴ６では、例えば、脚の限界域の７０％以内を駆動域と定めた。

【0050】

全脚が、駆動域内にあれば、ステップＳＴ１０に移行する。ステップＳＴ１０では、例えば、レベルずれが±２．０％以内に入っているか否かを測定する。なお、数値はあくまでも一例である。このステップでは、液面センサ７の出力から判別することができる。すなわち、基準値に対して±２．０％内の出力値であれば、ステップＳＴ１０は満たされて、平面検査は終了する。一方、レベルずれが±２．０％を超えている場合は、ステップＳＴ５に戻り、上記したステップを繰り返す。

【0051】

一方、図３のステップＳＴ６にて、少なくとも１つの脚が駆動域外であるときは、ステップＳＴ７に移行する。図４、図５を用いて、ステップＳＴ５からステップＳＴ１０に至る工程を説明する。図５Ａに示すグラフの横軸は駆動回数、縦軸は基準レベルからのずれ量（ｍｍ）を示す。また図５Ｂに示すグラフの横軸は駆動回数、縦軸は脚の高さレベル（％）を示す。なお、図５に示す実験例では、ある液面が０．３ｍｍ下がった場合、他の液面が、０．１ｍｍずつ上がるものと仮定した。また１脚のみを動かし、その液面を０．０３６ｍｍ動かすには、駆動域の１％を動かす必要があると仮定した。実験では、脚Ｂ～Ｃのうち、基準レベルＬ０から最も離れた位置にある脚を基準レベルとなるように動かした。

【0052】

１回目の駆動は、最も基準レベルＬ０から遠い位置にある脚Ｂを、基準レベルＬ０に一致するように、上方に動かした。これにより、レベル計測容器ｂ内の流体１２は、レベル計測容器ａ、ｃ、ｄ内へ流動し、液面レベルＬ１、Ｌ３、Ｌ４は、変動する（図５Ａ参照）。

【0053】

このとき、図５Ｂに示すように、脚Ｂの駆動域は、７０％以上を超えることがわかった。このため、脚Ｂが、図３のステップＳＴ６の条件に当てはまらなくなり、ステップＳＴ８又はステップ９に移行する。

【0054】

図３のステップＳＴ７では、７０％を超えた脚Ｂが、駆動域の上限或いは下限のどちらに近いかを測定する。図５の実験例では、脚Ｂは、駆動域の上限に近いため、ステップＳＴ８に移行する。

【0055】

図３のステップＳＴ８では、基準脚Ａを図４の初期状態から下方に移動させる。基準脚Ａを下方に移動させると、レベル計測容器ａ内に、レベル計測容器ｂ、ｃ、ｄ内の流体が流れるため、液面レベルＬ１は上がり、一方、液面レベルＬ２、Ｌ３、Ｌ４は下がる。このため、脚Ｂの液面レベルＬ２は、基準レベルＬ０から下がる。したがって、脚Ｂの液面レベルＬ２を上げるべく、脚Ｂを下降させることができる。この結果、脚Ｂを７０％の駆動域内に収めることができる。

【0056】

なお、ステップＳＴ７で、駆動域を超えた脚が下限に近い場合は、ステップＳＴ９に移行し、基準脚を上げる。

【0057】

基準脚の駆動により、基準脚以外の脚が全て駆動域の７０％以内に収まったら、ステップＳＴ１０に移行し、レベルずれが±２．０％から外れている場合は、ステップＳＴ５に戻り、基準脚以外の脚を駆動させる。

【0058】

本実施形態では、少しずつ各脚を駆動させ、ステップＳＴ５～ステップＳＴ１０を複数回ループさせる。これにより、図５Ａに示すように、各脚に対応する液面レベルを、徐々に基準レベル（０ｍｍ）に近づけることができる。

【産業上の利用可能性】

【0059】

本発明の平面検査装置及び平面検査方法によれば、自動制御で、被検査体の高さレベルのずれを計測（演算）すると共に、高さレベルのずれ補正を実行することができる。

【符号の説明】

【0060】

１ ：平面検査装置
２ ：被検査体
３ ：液面工具
４ ：流路管
５ ：補正装置
６、ａ～ｄ ：レベル計測容器
７ ：液面センサ
８ ：演算装置
９ ：昇降装置
１０、Ａ～Ｄ ：脚
１１ ：駆動部
１２ ：流体
Ｌ０ ：基準レベル
Ｌ１～Ｌ４ ：液面レベル

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】