特開 2022-132717 チップトレイ、チップ保持装置、および外観検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022132717

(43)【公開日】2022-09-13

(54)【発明の名称】チップトレイ、チップ保持装置、および外観検査装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20220906BHJP

   G01N 21/84 20060101ALI20220906BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 U

G01N21/84 C

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021031324

(22)【出願日】2021-03-01

(71)【出願人】

【識別番号】000219314

【氏名又は名称】東レエンジニアリング株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】301014904

【氏名又は名称】東レエンジニアリング先端半導体ＭＩテクノロジー株式会社

(72)【発明者】

【氏名】山下 元気

(72)【発明者】

【氏名】小寺 秀和

(72)【発明者】

【氏名】久保 祐輝

【テーマコード（参考）】

2G051

5F131

【Ｆターム（参考）】

2G051AA61

2G051AB01

2G051AB02

2G051BB03

2G051CA04

2G051DA01

2G051DA07

2G051EA12

2G051EB01

5F131AA04

5F131CA32

5F131GA05

5F131GA33

5F131GA42

5F131GA52

5F131GA66

5F131GA94

5F131KA12

5F131KA42

5F131KB03

5F131KB04

5F131KB52

(57)【要約】

【課題】複数のチップ部品をまとめて渡すことができるチップトレイ、チップ保持装置、および外観検査装置を提供する。
【解決手段】複数のチップ部品を並べて支持するチップトレイであり、突出した形状に形成された突出部を有する載置テーブルに載置される際に、当該突出部へ、複数の前記チップ部品をまとめて保持させるための前記チップトレイであって、前記載置テーブルに載置される場合において、底部から前記突出部が貫通するよう設けられた開口部と、前記チップ部品が、前記開口部を貫通した前記突出部に保持されるような所定位置に各々の前記チップ部品を位置決めする位置決め部と、を備えた構成とする。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数のチップ部品を並べて支持するチップトレイであり、突出した形状に形成された突出部を有する載置テーブルに載置される際に、当該突出部へ、複数の前記チップ部品をまとめて保持させるための前記チップトレイであって、
前記載置テーブルに載置される場合において、
底部から前記突出部が貫通するよう設けられた開口部と、
前記チップ部品が、前記開口部を貫通した前記突出部に保持されるような所定位置に各々の前記チップ部品を位置決めする位置決め部と、を備えたことを特徴とするチップトレイ。

【請求項2】

前記位置決め部は、前記チップ部品の外周よりも大きく形成された凹部であることを特徴とする請求項１に記載のチップトレイ。

【請求項3】

前記位置決め部は、前記所定位置に支持される前記チップ部品の外周を囲むように設けられた複数の突起物であることを特徴とする請求項１に記載のチップトレイ。

【請求項4】

各々の前記チップ部品を支持した状態において、
前記チップ部品の側面を把持して前記チップ部品を移動させるチップ把持部が、前記チップ部品の側面にアクセスすることが可能な溝、または開口により形成されたアクセス部を備えることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のチップトレイ。

【請求項5】

外形が略円形であり、一部にオリフラまたはノッチを有していることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載のチップトレイ。

【請求項6】

少なくとも前期チップ部品を支持する領域近傍が、略黒色であることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載のチップトレイ。

【請求項7】

複数のチップ部品をまとめて保持するチップ保持装置であって、
各々の前記チップ部品を所定位置に並べて支持するチップトレイにより、各々の前記チップ部品をまとめて渡されて保持する載置テーブルを備えており、
前記載置テーブルは、前記載置テーブルの表面上から突出して設けられた突出部を有し、
前記チップトレイが、前記載置テーブルに載置される場合に、底部から前記突出部が貫通するよう設けられた開口部と、前記チップ部品が前記開口部を貫通した前記突出部に保持されるような所定位置に各々の前記チップ部品を位置決めする位置決め部と、を有していることを特徴とするチップ保持装置。

【請求項8】

前記突出部は、前記チップ部品を保持した場合において、前記突出部の高さ寸法と前記チップ部品の高さ寸法とを合わせた寸法が、前記チップトレイの高さ寸法と比較して同一または大きくなるよう形成されていることを特徴とする請求項７に記載のチップ保持装置。

【請求項9】

前記突出部の前記頭頂部には、前記チップ部品を吸引する吸引手段が設けられていることを特徴とする請求項７若しくは請求項８のいずれかに記載のチップ保持装置。

【請求項10】

チップ部品の外観検査を行うための外観検査装置であって、
複数の前記チップ部品をまとめて保持する載置テーブルを有するチップ保持装置と、
各々の前記チップ部品を所定位置に並べて支持し、前記載置テーブルに各々の前記チップ部品をまとめて渡すチップトレイと、
光学的手段によって前記載置テーブルに保持された前記チップ部品の外観検査を行う検査手段と、を備えており、
前記載置テーブルは、前記載置テーブルの表面上から突出して設けられた突出部を有し、
前記チップトレイが、前記載置テーブルに載置される場合に、前記本体部の底部から前記突出部が貫通するようにして設けられた開口部と、前記チップ部品が前記開口部を貫通した前記突出部に保持されるような所定位置に各々の前記チップ部品を位置決めする位置決め部と、を有しており、
前記突出部は、前記チップ部品を保持した場合において、前記突出部の高さ寸法と前記チップ部品の高さ寸法とを合わせた寸法が、前記チップトレイの高さ寸法と比較して同一または大きくなるよう形成されていることを特徴とする外観検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、複数のチップ部品をまとめて渡すチップトレイ、チップ保持装置、および外観検査装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体デバイスやＩＣチップ、ＬＥＤチップなどのチップ部品の搬送のために、チップトレイと呼ばれる、複数の区画されたポケットを有するワッフル形状のチップトレイが用いられている（たとえば、特許文献１）。このチップトレイは、複数のチップ部品のそれぞれを各々のポケットに収納している。すなわち、チップトレイは複数のチップ部品を並べるようにして支持している。

【0003】

複数のチップ部品を支持したチップトレイは、カセットやマガジン、フープと呼ばれる多段収納治具に収納され、ここから一枚ずつ搬送ロボットで抜き出されて、チップ部品の外観検査を行う外観検査装置（たとえば、特許文献２）へと搬送される形態が一般的である。

【0004】

ここで、外観検査装置は、チップトレイを載置する載置テーブルと、チップ部品の外観検査を行う検査手段とを備えており、載置テーブルにチップトレイが載置される。そして、検査手段により載置テーブルに載置されたチップトレイが支持する複数のチップ部品のそれぞれの外観検査を行う。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１２－２４０６９７号公報

【特許文献2】特開２０１０－１６４５３４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ところで、上記外観検査装置では、自身の載置テーブルに載置された上記チップトレイが支持する複数のチップ部品のそれぞれの外観検査を行うようになっているが、このとき、チップ部品の外周がポケットにより囲まれているため、チップ部品に外観検査を行うことができないエリア（以下、非検査エリア）が生じる虞があった。これに対し、非検査エリアが生じることを防ぐことができるよう、チップ部品を一つずつ載置テーブルに渡して載置させることが考えられる。しかし、これは効率が悪く非現実的である。

【0007】

本発明は、上記の問題点を鑑みてされたものであり、複数のチップ部品をまとめて渡すことができるチップトレイ、チップ保持装置、および外観検査装置を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するために本発明のチップトレイは、複数のチップ部品を並べて支持するチップトレイであり、突出した形状に形成された突出部を有する載置テーブルに載置される際に、当該突出部へ、複数の前記チップ部品をまとめて保持させるための前記チップトレイであって、前記載置テーブルに載置される場合において、底部から前記突出部が貫通するよう設けられた開口部と、前記チップ部品が、前記開口部を貫通した前記突出部に保持されるような所定位置に各々の前記チップ部品を位置決めする位置決め部と、を備えたことを特徴としている。

【0009】

上記チップトレイによれば、開口部と位置決め部とを備えている。そのため、チップトレイは、載置テーブルに載置される場合において、位置決め部により複数のチップ部品のそれぞれを載置テーブルの突出部に保持させるような所定位置に位置決めし、各々のチップ部品を並べて支持しているので、底部から開口部を通じて突出した載置テーブルの突出部に各々のチップ部品をまとめて保持させることが可能となる。すなわち、チップトレイに並べて支持した複数のチップ部品を載置テーブルにまとめて渡すことが可能となる。

【0010】

また、前記位置決め部は、前記チップ部品の外周よりも大きく形成された凹部であってもよい。

【0011】

この構成によれば、複雑な構成を必要とせずにチップ部品を所定位置に位置決めすることが可能となる。

【0012】

また、前記位置決め部は、前記所定位置に支持される前記チップ部品の外周を囲むように設けられた複数の突起物であってもよい。

【0013】

この構成によれば、複雑な構成を必要とせずにチップ部品を所定位置に位置決めすることが可能となる。

【0014】

また、各々の前記チップ部品を支持した状態において、前記チップ部品の側面を把持して前記チップ部品を移動させるチップ把持部が、前記チップ部品の側面にアクセスすることが可能な溝、または開口により形成されたアクセス部を備える構成としてもよい。

【0015】

この構成によれば、アクセス部を備えることにより、チップ把持部によってチップ部品を把持しやすくすることができる。

【0016】

また、外形が略円形であり、一部にオリフラまたはノッチを有している構成としてもよい。

【0017】

この構成によれば、チップトレイを所定の位置および角度に位置決めすることが可能となる。

【0018】

また、少なくとも前期チップ部品を支持する領域近傍が、略黒色であってもよい。

【0019】

この構成によれば、チップトレイに光が当てられる場合に、光が反射することを防ぐことが可能となる。

【0020】

上記課題を解決するための本発明のチップ保持装置は、複数のチップ部品をまとめて保持するチップ保持装置であって、各々の前記チップ部品を所定位置に並べて支持するチップトレイにより、各々の前記チップ部品をまとめて渡されて保持する載置テーブルを備えており、前記載置テーブルは、前記載置テーブルの表面上から突出して設けられた突出部を有し、前記チップトレイが、前記載置テーブルに載置される場合に、底部から前記突出部が貫通するよう設けられた開口部と、前記チップ部品が前記開口部を貫通した前記突出部に保持されるような所定位置に各々の前記チップ部品を位置決めする位置決め部と、を有していることを特徴としている。

【0021】

上記チップ保持装置によれば、載置テーブルと、この載置テーブルの表面上から突出して設けられた突出部とを有しており、開口部と位置決め部とを有したチップトレイが載置テーブルに載置されるとき、突出部が開口部を通じてチップトレイの底部から突出するので、チップトレイが並べて支持する各々のチップ部品をまとめて保持することが可能となる。すなわち、チップトレイに並べて支持した複数のチップ部品を載置テーブルにまとめて渡すことが可能となる。

【0022】

また、前記突出部は、前記チップ部品を保持した場合において、前記突出部の高さ寸法と前記チップ部品の高さ寸法とを合わせた寸法が、前記チップトレイの高さ寸法と比較して同一または大きくなるよう形成されている構成としてもよい。

【0023】

この構成によれば、光が当たらない部分がチップ部品に生じないようにチップ部品を保持することが可能となる。

【0024】

また、前記突出部の前記頭頂部には、前記チップ部品を吸引する吸引手段が設けられている構成としてもよい。

【0025】

この構成によれば、突出部がチップ部品を保持するときにチップ部品を吸引することができるので、チップ部品をより精度よく保持することが可能となる。

【0026】

上記課題を解決するための本発明の外観検査装置は、チップ部品の外観検査を行うための外観検査装置であって、複数の前記チップ部品をまとめて保持する載置テーブルを有するチップ保持装置と、各々の前記チップ部品を所定位置に並べて支持し、前記載置テーブルに各々の前記チップ部品をまとめて渡すチップトレイと、光学的手段によって前記載置テーブルに保持された前記チップ部品の外観検査を行う検査手段と、を備えており、前記載置テーブルは、前記載置テーブルの表面上から突出して設けられた突出部を有し、前記チップトレイが、前記載置テーブルに載置される場合に、前記本体部の底部から前記突出部が貫通するようにして設けられた開口部と、前記チップ部品が前記開口部を貫通した前記突出部に保持されるような所定位置に各々の前記チップ部品を位置決めする位置決め部と、を有しており、前記突出部は、前記チップ部品を保持した場合において、前記突出部の高さ寸法と前記チップ部品の高さ寸法とを合わせた寸法が、前記チップトレイの高さ寸法と比較して同一または大きくなるよう形成されていることを特徴としている。

【0027】

上記外観検査装置によれば、検査手段を有しており、開口部と位置決め部とを有したチップトレイが、表面上から突出して設けられた突出部を有する載置テーブルに載置されるとき、チップトレイが並べて支持する複数のチップ部品のそれぞれが載置テーブルにまとめて渡される。そして、突出部の高さ寸法とチップ部品の高さ寸法とを合わせた寸法が、チップトレイの高さ寸法と比較して同一または大きくなるよう形成され突出部により各々のチップ部品が保持されるので、検査手段によってチップ部品に非検査エリアを生じさせることなくチップ部品を検査することが可能となる。

【発明の効果】

【0028】

本発明のチップトレイ、チップ保持装置、および外観検査装置によれば、複数のチップ部品をまとめて渡すことを可能とする。

【図面の簡単な説明】

【0029】

【図1】本発明の一実施形態における外観検査装置を概略的に示す図である。

【図2】本発明の一実施形態におけるチップトレイを示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ－Ａ矢視図である。

【図3】本発明の一実施形態におけるチップ保持装置を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ－Ｂ矢視図である。

【図4】本発明の一実施形態における突出部を示す図である。

【図5】本発明の一実施形態におけるチップトレイのバリエーションを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0030】

本発明の一実施形態におけるチップトレイ、チップ保持装置、および外観検査装置について図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明では、直交座標系の３軸をＸ、Ｙ、Ｚとし、水平方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向と表現し、ＸＹ平面と垂直な方向（つまり、鉛直方向）をＺ軸方向と表現する。

【0031】

図１は、一実施形態における外観検査装置１を概略的に示す図である。図２は、一実施形態におけるチップトレイ３を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ－Ａ矢視図である。図３は、一実施形態におけるチップ保持装置２を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ－Ｂ矢視図である。図４は、一実施形態における突出部を示す図である。

【0032】

外観検査装置１は、チップ部品Ｗの外観検査を行うためのものである。本実施形態における外観検査装置１は、図１に示すように移動ステージ１３を備えている。移動ステージ１３は、Ｘ軸スライダ１４と、Ｙ軸スライダ１５とを含み、Ｘ軸スライダ１４は台部１２上に配置され、Ｙ軸スライダ１５はＸ軸スライダ１４上に配置されている。

【0033】

また、外観検査装置１は、チップ部品Ｗを保持するチップ保持装置２（詳細は後述する）を備えている。チップ保持装置２は、Ｙ軸スライダ１５上に配置されている。そして、チップ保持装置２は、移動ステージ１３によってＸ軸方向およびＹ軸方向に移動されるように構成されている。また、チップ保持装置２は、複数のチップ部品Ｗを並べて支持するチップトレイ３（詳細は後述する）を載置するように構成されている。

【0034】

なお、チップ部品Ｗは、たとえば半導体チップやＩＣチップ、ＬＥＤチップなどのことである。

【0035】

また、外観検査装置１は、チップ部品Ｗの外観検査を行う検査手段１１を備えている。検査手段１１は、光学的手段によってチップ部品Ｗの外観検査を行い、チップ部品Ｗの欠陥や異物の有無を検査するためのものである。本実施形態における検査手段１１は、チップ部品Ｗの撮像を行う撮像部１１ａと、撮像部１１ａによる撮像のために必要な光（以下、照明光）をチップ部品Ｗに向けて照射する照明１１ｆと、撮像部１１ａにより撮像された画像をもとにチップ部品Ｗの検査を行う検査部１１ｂにより構成されている。

【0036】

撮像部１１ａは、チップ保持装置２に保持されたチップ部品Ｗを撮像するためのものであり、チップ部品Ｗの撮像を行い、その撮像したチップ部品Ｗの画像を検査部１１ｂに出力する。本実施形態における撮像部１１ａは、カメラ１１ｃと、鏡筒１１ｄと、対物レンズ１１ｅにより構成される。なお、対物レンズ１１ｅは、倍率の異なるものを複数備えてもよく、これら倍率の異なる対物レンズ１１ｅをレボルバーと呼ばれる回転機構で切替えできる構成としてもよい。また、撮像部１１ａは、複数のチップ部品Ｗを一括して撮像してもよい。以下の説明では、撮像部１１ａが撮像するこれら対象を総称して撮像対象と呼ぶ。

【0037】

また、撮像部１１ａは、撮像部１１ａに対して相対的に移動するチップ部品Ｗを順次、撮像する。具体的には、チップ部品Ｗが、前述した移動ステージ１３により撮像部１１ａに対してＸ軸方向またはＹ軸方向に相対的に移動させられながら撮像部１１ａに撮像される。

【0038】

照明１１ｆは、撮像部１１ａによる撮像のために必要な照明光を撮像対象に向けて照射するものである。本実施形態における照明１１ｆは、鏡筒１１ｄの側部に取り付けられ、鏡筒１１ｄ内に組み込まれたプリズムやハーフミラー等で撮像光軸と合致した状態で、対物レンズ１１ｅを通じて撮像対象に照明光を照射する。

【0039】

検査部１１ｂは、撮像部１１ａが撮像したチップ部品Ｗの画像情報をもとにチップ部品Ｗの欠陥や異物の有無を検査するためのものである。この検査部１１ｂは、たとえば、汎用のコンピュータ装置によって構成されており、図示しない記憶手段と、図示しない画像処理手段とを備えている。

【0040】

記憶手段は、チップ部品Ｗの検査基準となる良品画像が予め記憶されるものである。ここでいう良品画像とは、欠陥や異物がないチップ部品Ｗを撮像して得られた画像のことである。また、ここでいう「予め」とは、検査対象のチップ部品Ｗを検査する前を意味する。また、この記憶手段には、様々なパターンの良品画像が記憶されているとよい。これにより、様々な種類のチップ部品Ｗに対応することができる。

【0041】

画像処理手段は、撮像部１１ａにより撮像された画像を処理するためのものである。具体的には、撮像部１１ａにより撮像された画像を取得し、取得した画像に対して所定の画像処理（たとえば、フィルタ処理など）を行う。そして、処理後の画像（検査対象）と、前述した記憶手段により記憶された良品画像を比較して検査処理を行う。これらの構成により、チップ部品Ｗの欠陥や異物の有無を検査することができる。

【0042】

また、検査手段１１により、外観検査が行われる複数のチップ部品Ｗは、チップトレイ３に並べて支持された状態でチップ保持装置２上に順次搬送される。具体的には、複数のチップ部品Ｗを支持したチップトレイ３は、外観検査が行われるまで図示しない多段収納治具（たとえば、カセットやマガジン、フープ）に収納されている。この多段収納治具から図示しない搬送ロボットによりチップトレイ３が一枚ずつ抜き出されて、チップトレイ３がチップ保持装置２上に搬送され、載置される。

【0043】

そして、チップトレイ３が、チップ保持装置２に載置される過程で、チップトレイ３はチップ保持装置２へ複数のチップ部品Ｗをまとめて渡す。すなわち、検査手段１１は、チップ保持装置２がチップトレイ３から渡された複数のチップ部品Ｗを保持した状態で、チップ部品Ｗの外観を検査する。

【0044】

チップ保持装置２は、複数のチップ部品Ｗを保持するためのものであり、本実施形態では、チップトレイ３が載置され、複数のチップ部品Ｗを保持する載置テーブル２１により構成されている。

【0045】

本実施形態における載置テーブル２１は、図３（ａ）および図３（ｂ）に示すようにチップトレイ３が載置される載置面２２と、載置面２２（載置テーブル２１の表面）上から突出して設けられた突出部２３により構成されている。この突出部２３は、複数のチップ部品Ｗのそれぞれに対して個別に設けられるとよい。そして、この突出部２３の平坦に形成された頭頂部２４でチップ部品を保持する。すなわち、載置テーブル２１は、チップトレイ３を載置面２２に載置することで、突出部２３の頭頂部２４でチップ部品Ｗを保持することができる。以下に、これを実現するためのチップトレイ３の構成を説明する。

【0046】

チップトレイ３は、複数のチップ部品Ｗを載置テーブル２１にまとめて渡すものであり、本実施形態では、図２（ａ）に示すように外形が略円形に形成されている。また、この略円形の形状の一部にオリフラまたはノッチを有している。これにより、チップトレイ３が載置テーブル２１の所定の位置、角度で載置されるよう位置決めすることができる。すなわち、確実にチップ部品Ｗを突出部２３に渡すことができる。また、チップトレイ３は略黒色（たとえば、黒色や赤褐色など）であるとよい。これにより、検査手段１１の照明により照明光が照射される際に、照明光が反射しにくくなっている。すなわち、外観検査時に照明光が反射することで生じる悪影響を防ぐことができる。なお、このチップトレイ３は、プラスチックなどの樹脂やアルミ等により形成されている。

【0047】

また、チップトレイ３は、図３（ａ）および図３（ｂ）に示すように載置テーブル２１に載置される場合において、底部から突出部２３が貫通するよう設けられた開口部３１と、チップ部品Ｗが開口部３１を貫通した突出部２３に保持されるような所定位置に複数のチップ部品Ｗのそれぞれを位置決めする位置決め部３２により構成されている。

【0048】

開口部３１は、所謂開口のことであり、本実施形態では複数のチップ部品Ｗのそれぞれに対して個別に設けられ、複数の開口部３１同士が所定の間隔を空けて配置されている。そして、この開口部３１上にチップ部品Ｗが支持される。また、この開口部３１の寸法は、チップ部品Ｗよりも小さく突出部２３の頭頂部２４よりも大きくなっている。ここで、突出部２３の高さ寸法は、開口部３１の深さよりも大きくなっている。これにより、チップ部品３１が開口部３１から落下することなく、チップトレイ３を載置テーブル２１に載置したときに、チップ部品Ｗがチップトレイ３の底部から開口部３１を貫通した突出部２３により保持される。

【0049】

位置決め部３２は、チップトレイ３が載置テーブル２１に載置される場合に、チップ部品Ｗが開口部３１を貫通した突出部２３に保持されるような所定位置にチップ部品Ｗを位置決めするためのものである。本実施形態における位置決め部３２は、図２（ａ）および図２（ｂ）に示すようにチップ部品Ｗを落とし込むための凹部３２ａにより構成されており、この凹部３２ａはチップ部品Ｗの外周よりも大きく形成されている。そのため、凹部３２ａにチップ部品Ｗを落とし込むことによりチップ部品Ｗを所定位置に位置決めすることができる。すなわち、複雑な構成を必要とせずにチップ部品Ｗを所定位置に位置決めすることが可能となる。また、位置決め部３２は、複数のチップ部品Ｗのそれぞれに対応する所定位置のすべてに設けられる。これにより、複数のチップ部品Ｗのそれぞれを位置チップトレイ３の所定位置に並べて支持できる。

【0050】

これら構成により、複数のチップ部品Ｗを支持するチップトレイ３は、載置テーブル２１の載置面２２に載置されるときに、複数のチップ部品Ｗをまとめて突出部２３に渡すことが可能となる。

【0051】

また、チップトレイ３にチップ部品Ｗを並べる、チップトレイ３に支持されたチップ部品Ｗを移動させる動作は、図示しないチップ把持部（たとえば、ピンセット）によって行われる。このチップ把持部は、チップ部品Ｗの側面を把持することで、チップ部品Ｗを並べる、移動させる動作を行うことができるようになっている。ここで、チップトレイ３には、チップ把持部がチップ部品Ｗの側面にアクセスすることを可能にするアクセス部３３が設けられてもよい。本実施形態におけるアクセス部３３は、溝または開口によって形成されている。このアクセス部３３にチップ把持部を挿入することで、チップ把持部がチップ部品Ｗの側面にアクセスすることができる。これにより、チップ把持部がチップ部品Ｗを把持しやすくなる。すなわち、チップ把持部がチップ部品Ｗを把持した状態で、チップ部品Ｗを凹部３２ａに配置することができる。

【0052】

また、チップトレイ３におけるチップ部品Ｗを支持する面は、それぞれ平行であるとよい。そして、このチップトレイ３におけるチップ部品Ｗを支持する面は、突出部２３の頭頂部２４とも平行であるとよい。これにより、チップトレイ３を載置テーブル２１に載置するときに、チップ部品Ｗの底面と突出部２３の頭頂部２４とが平行な状態でチップ部品Ｗを渡すことができる。すなわち、チップ部品Ｗをチップトレイ３から突出部２３に渡すときにチップ部品Ｗがバタつくことを防ぐことができる。これにより、突出部２３にチップ部品Ｗを精度よく保持させることが可能となる。

【0053】

また、本実施形態における突出部２３は、突出部２３の高さ寸法が、チップトレイ３の高さ寸法と比較して大きくなるように形成されている。具体的には、突出部２３は、図４に示すように突出部２３の高さ寸法Ｓが、チップトレイ３の高さ寸法Ｕよりも大きくなるよう形成されている。そのため、チップ部品Ｗの外周が曝された状態で保持することができる。これにより、外観検査時に照明光が当たらない部分がチップ部品Ｗに生じることを防ぐことが可能となる。すなわち、外観検査ができない部分がチップ部品Ｗに生じることを防ぐことができる。なお、突出部２３は、チップ部品Ｗを保持した場合において、突出部２３の高さ寸法とチップ部品Ｗの高さ寸法とを合わせた寸法が、チップトレイ３の高さ寸法と比較して同一または大きくなるように形成されていてもよい。具体的には、突出部２３は、図４に示すように突出部２３の高さ寸法Ｓとチップ部品Ｗの高さ寸法Ｔの合計が、チップトレイ３の高さ寸法Ｕと同一、または突出部２３の高さ寸法Ｓとチップ部品Ｗの高さ寸法Ｔの合計が、チップトレイ３の高さ寸法Ｕよりも大きくなるよう形成されている。これにより、外観検査時に最低でもチップ部品Ｗの表面（天部の面）に照明光を当てることができる。

【0054】

また、突出部２３は、吸引口２５を備えていてもよい。この吸引口２５は、チップ部品Ｗの底面からチップ部品Ｗを吸引するためのものであり、本実施形態では、図３（ａ）および図３（ｂ）に示すように突出部２３の頭頂部２４に設けられている。この吸引口２５は、図示しない吸引手段（たとえば、ポンプなど）に接続され、吸引手段を動作させることで吸引力を発生させる。これにより、突出部２３に保持されたチップ部品Ｗの底面を吸引することができるので、チップ部品Ｗが位置ずれすることを防ぐことができる。また、仮にチップトレイ３におけるチップ部品Ｗを支持する面が平行でない場合であっても、チップ部品Ｗを精度よく保持することができる。また、検査手段１１によってチップ部品Ｗの外観検査が行われるときに、載置テーブル２１の移動が伴ったとしても、チップ部品Ｗが突出部２３上で動くことを防ぐことができる。

【0055】

また、突出部２３は、スリット部２６を備えていてもよい。本実施形態におけるスリット部２６は、突出部２３の頭頂部２４にチップ部品Ｗが保持された場合において、図３（ｂ）に示すようにチップ部品Ｗの底面と吸引口２５の間に位置するよう設けられ、図３（ａ）に示すようにＸ軸方向に長くＹ軸方向に狭いスリットと、Ｙ軸方向に長くＸ軸方向に狭いスリットにより構成されている。これらスリットが交差する位置に吸引口２５が配置される。そして、吸引口２５は、このスリット部２６を介してチップ部品Ｗの底面を吸引する。これにより、吸引力がスリット部２６に発生するので、チップ部品Ｗの底面の全体に吸引力を作用させることができる。すなわち、吸引口２５のみでチップ部品Ｗの底面を吸引してチップ部品Ｗを保持する場合と比べて、外観検査時に載置テーブル２の移動が伴ったとしても、チップ部品Ｗが突出部２３上で動くことを確実に防ぐことができる。

【0056】

以上、本発明の実施形態について図面を参照しながら詳述したが、各実施形態における構成およびそれらの組み合わせ等は一例であり、本発明の趣旨から逸脱しない範囲内で、構成の追加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。たとえば、位置決め部３２が、所定位置に支持されるチップ部品Ｗの外周を囲むように設けられた複数の突起物であってもよい。具体的には、位置決め部３２は、図５（ａ）および図５（ｂ）に示すように複数のガイドピン３２ｂにより構成され、少なくとも所定位置で支持されるチップ部品Ｗの二つの角部を囲むようにして設けられている。そして、ガイドピン３２ｂにしたがって、チップ部品Ｗを配置することで、チップ部品Ｗを所定位置に位置決めすることができる。すなわち、複雑な構成を必要とせずにチップ部品Ｗを所定位置に位置決めすることが可能となる。なお、位置決め部３２がガイドピン３２ｂにより構成されている場合、このガイドピン３２ｂの高さ寸法Ｐとチップトレイ３の高さ寸法Ｑの合計が、チップトレイ３の高さ寸法Ｕとなる。すなわち、外観検査時に照明光が当たらない部分がチップ部品Ｗに生じることを防ぐことができる。

【0057】

また、上記実施形態では、開口部３１が複数のチップ部品Ｗのそれぞれに対して個別に設けられている例について説明したが、これに限られない。たとえば、隣接する開口部３１同士が繋がるように形成されてもよい。

【符号の説明】

【0058】

１ 外観検査装置
１１ 検査手段
１１ａ 撮像部
１１ｂ 検査部
１１ｃ カメラ
１１ｄ 鏡筒
１１ｅ 対物レンズ
１１ｆ 照明
１２ 台部
１３ 移動ステージ
１４ Ｘ軸スライダ
１５ Ｙ軸スライダ
２ チップ保持装置
２１ 載置テーブル
２２ 載置面
２３ 突出部
２４ 頭頂部
２５ 吸引口
２６ スリット部
３ チップトレイ
３１ 開口部
３２ 位置決め部
３２ａ 凹部
３２ｂ ガイドピン
３３ アクセス部
Ｗ チップ部品

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】