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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022134372
(43)【公開日】2022-09-15
(54)【発明の名称】基板処理方法、及び基板処理システム
(51)【国際特許分類】
H01L 21/304 20060101AFI20220908BHJP
G05D 7/06 20060101ALI20220908BHJP
【ＦＩ】
H01L21/304 648G
H01L21/304 643A
H01L21/304 648K
H01L21/304 651B
G05D7/06 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】26
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021033453
(22)【出願日】2021-03-03
(71)【出願人】
【識別番号】000207551
【氏名又は名称】株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス
(74)【代理人】
【識別番号】100168583
【弁理士】
【氏名又は名称】前井 宏之
(72)【発明者】
【氏名】火口 友美
【テーマコード（参考）】
5F157
5H307
【Ｆターム（参考）】
5F157AB02
5F157AB14
5F157AB33
5F157AB45
5F157AB49
5F157AB51
5F157AB64
5F157AB90
5F157AC04
5F157AC26
5F157BB22
5F157CB15
5F157CD29
5F157CD32
5F157CD46
5F157CE83
5F157CF22
5F157CF42
5F157CF44
5F157CF50
5F157DC21
5H307AA02
5H307BB01
5H307BB05
5H307DD02
5H307EE02
5H307HH12
5H307JJ05
(57)【要約】
【課題】装置間誤差に起因する警報が発生し難くなる基板処理方法、及び基板処理システムを提供する。
【解決手段】流体供給ノズルから基板に流体を吐出させるステップと、流体供給ノズルから吐出される流体の流量の計測値が、上限許容範囲（ＵＡ）又は下限許容範囲（ＬＡ）を超えるか否かの判定を行うステップと、流体の流量の計測値が上限許容範囲（ＵＡ）又は下限許容範囲（ＬＡ）を超えると判定された場合に、警報を発生させるステップとを包含する。上限許容範囲（ＵＡ）は、第１上限値（ＵＬ１）と第２上限値（ＵＬ２）とのうちの大きい方の値を上限値とする範囲である。下限許容範囲（ＬＡ）は、第１下限値（ＬＬ１）と第２下限値（ＬＬ２）とのうちの小さい方の値を下限値とする範囲である。
【選択図】図４
【解決手段】流体供給ノズルから基板に流体を吐出させるステップと、流体供給ノズルから吐出される流体の流量の計測値が、上限許容範囲（ＵＡ）又は下限許容範囲（ＬＡ）を超えるか否かの判定を行うステップと、流体の流量の計測値が上限許容範囲（ＵＡ）又は下限許容範囲（ＬＡ）を超えると判定された場合に、警報を発生させるステップとを包含する。上限許容範囲（ＵＡ）は、第１上限値（ＵＬ１）と第２上限値（ＵＬ２）とのうちの大きい方の値を上限値とする範囲である。下限許容範囲（ＬＡ）は、第１下限値（ＬＬ１）と第２下限値（ＬＬ２）とのうちの小さい方の値を下限値とする範囲である。
【選択図】図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板処理システムによって基板を処理する方法であって、
流体供給ノズルから前記基板に流体を吐出させるステップと、
前記流体供給ノズルから吐出される前記流体の流量の計測値が、上限許容範囲又は下限許容範囲を超えるか否かの判定を行うステップと、
前記計測値が前記上限許容範囲又は前記下限許容範囲を超えると判定された場合に、警報を発生させるステップと
を包含し、
前記上限許容範囲は、第１上限値と第２上限値とのうちの大きい方の値を上限値とする範囲であり、
前記第１上限値は、前記流体の流量に対する目標値に第１所定割合を乗じた値を前記目標値に加算した値を示し、
前記第２上限値は、第１オフセット値を前記目標値に加算した値を示し、
前記下限許容範囲は、第１下限値と第２下限値とのうちの小さい方の値を下限値とする範囲であり、
前記第１下限値は、前記目標値に第２所定割合を乗じた値を前記目標値から減算した値を示し、
前記第２下限値は、第２オフセット値を前記目標値から減算した値を示す、基板処理方法。
流体供給ノズルから前記基板に流体を吐出させるステップと、
前記流体供給ノズルから吐出される前記流体の流量の計測値が、上限許容範囲又は下限許容範囲を超えるか否かの判定を行うステップと、
前記計測値が前記上限許容範囲又は前記下限許容範囲を超えると判定された場合に、警報を発生させるステップと
を包含し、
前記上限許容範囲は、第１上限値と第２上限値とのうちの大きい方の値を上限値とする範囲であり、
前記第１上限値は、前記流体の流量に対する目標値に第１所定割合を乗じた値を前記目標値に加算した値を示し、
前記第２上限値は、第１オフセット値を前記目標値に加算した値を示し、
前記下限許容範囲は、第１下限値と第２下限値とのうちの小さい方の値を下限値とする範囲であり、
前記第１下限値は、前記目標値に第２所定割合を乗じた値を前記目標値から減算した値を示し、
前記第２下限値は、第２オフセット値を前記目標値から減算した値を示す、基板処理方法。
【請求項2】
前記判定を行うステップは、
前記目標値が第１閾値以上であるか否かを判定するステップと、
前記目標値が前記第１閾値以上であると判定された場合に、前記計測値が前記第１上限値よりも大きいか否かにより、前記計測値が前記上限許容範囲を超えるか否かを判定するステップと
を包含する、請求項１に記載の基板処理方法。
前記目標値が第１閾値以上であるか否かを判定するステップと、
前記目標値が前記第１閾値以上であると判定された場合に、前記計測値が前記第１上限値よりも大きいか否かにより、前記計測値が前記上限許容範囲を超えるか否かを判定するステップと
を包含する、請求項１に記載の基板処理方法。
【請求項3】
前記判定を行うステップは、
前記目標値が第１閾値以上であるか否かを判定するステップと、
前記目標値が前記第１閾値以上であると判定された場合に、前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいか否かにより、前記計測値が前記上限許容範囲を超えるか否かを判定するステップと
を包含する、請求項１に記載の基板処理方法。
前記目標値が第１閾値以上であるか否かを判定するステップと、
前記目標値が前記第１閾値以上であると判定された場合に、前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいか否かにより、前記計測値が前記上限許容範囲を超えるか否かを判定するステップと
を包含する、請求項１に記載の基板処理方法。
【請求項4】
前記判定を行うステップは、
前記目標値が第２閾値以上であるか否かを判定するステップと、
前記目標値が前記第２閾値以上であると判定された場合に、前記計測値が前記第１下限値よりも小さいか否かにより、前記計測値が前記下限許容範囲を超えるか否かを判定するステップと
を包含する、請求項２又は請求項３に記載の基板処理方法。
前記目標値が第２閾値以上であるか否かを判定するステップと、
前記目標値が前記第２閾値以上であると判定された場合に、前記計測値が前記第１下限値よりも小さいか否かにより、前記計測値が前記下限許容範囲を超えるか否かを判定するステップと
を包含する、請求項２又は請求項３に記載の基板処理方法。
【請求項5】
前記判定を行うステップは、
前記目標値が第２閾値以上であるか否かを判定するステップと、
前記目標値が前記第２閾値以上であると判定された場合に、前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいか否かにより、前記計測値が前記下限許容範囲を超えるか否かを判定するステップと
を包含する、請求項２又は請求項３に記載の基板処理方法。
前記目標値が第２閾値以上であるか否かを判定するステップと、
前記目標値が前記第２閾値以上であると判定された場合に、前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいか否かにより、前記計測値が前記下限許容範囲を超えるか否かを判定するステップと
を包含する、請求項２又は請求項３に記載の基板処理方法。
【請求項6】
前記判定を行うステップは、前記目標値が前記第１閾値以上でないと判定された場合に、前記計測値が前記第２上限値よりも大きいか否かにより、前記計測値が前記上限許容範囲を超えるか否かを判定するステップを包含する、請求項２から請求項５のいずれか１項に記載の基板処理方法。
【請求項7】
前記判定を行うステップは、前記目標値が前記第１閾値以上でないと判定された場合に、前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいか否かにより、前記計測値が前記上限許容範囲を超えるか否かを判定するステップを包含する、請求項２から請求項５のいずれか１項に記載の基板処理方法。
【請求項8】
前記判定を行うステップは、
前記目標値が第２閾値以上であるか否かを判定するステップと、
前記目標値が前記第２閾値以上でないと判定された場合に、前記計測値が前記第２下限値よりも小さいか否かにより、前記計測値が前記下限許容範囲を超えるか否かを判定するステップと
を包含する、請求項２から請求項７のいずれか１項に記載の基板処理方法。
前記目標値が第２閾値以上であるか否かを判定するステップと、
前記目標値が前記第２閾値以上でないと判定された場合に、前記計測値が前記第２下限値よりも小さいか否かにより、前記計測値が前記下限許容範囲を超えるか否かを判定するステップと
を包含する、請求項２から請求項７のいずれか１項に記載の基板処理方法。
【請求項9】
前記判定を行うステップは、
前記目標値が第２閾値以上であるか否かを判定するステップと、
前記目標値が前記第２閾値以上でないと判定された場合に、前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいか否かにより、前記計測値が前記下限許容範囲を超えるか否かを判定するステップと
を包含する、請求項２から請求項７のいずれか１項に記載の基板処理方法。
前記目標値が第２閾値以上であるか否かを判定するステップと、
前記目標値が前記第２閾値以上でないと判定された場合に、前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいか否かにより、前記計測値が前記下限許容範囲を超えるか否かを判定するステップと
を包含する、請求項２から請求項７のいずれか１項に記載の基板処理方法。
【請求項10】
前記判定を行うステップは、
前記計測値が前記目標値よりも大きいか、又は小さいかを判定するステップと、
前記計測値が前記目標値よりも大きいと判定された場合に、前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいか否かにより、前記計測値が前記上限許容範囲を超えるか否かを判定するステップと、
前記計測値が前記目標値よりも小さいと判定された場合に、前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいか否かにより、前記計測値が前記下限許容範囲を超えるか否かを判定するステップと
を包含する、請求項１に記載の基板処理方法。
前記計測値が前記目標値よりも大きいか、又は小さいかを判定するステップと、
前記計測値が前記目標値よりも大きいと判定された場合に、前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいか否かにより、前記計測値が前記上限許容範囲を超えるか否かを判定するステップと、
前記計測値が前記目標値よりも小さいと判定された場合に、前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいか否かにより、前記計測値が前記下限許容範囲を超えるか否かを判定するステップと
を包含する、請求項１に記載の基板処理方法。
【請求項11】
前記目標値を設定するステップを更に含み、
前記基板処理システムは、前記基板を収容する複数のチャンバーを備え、
前記流体供給ノズルは、前記流体として気体を吐出する複数の気体供給ノズルを含み、
前記複数の気体供給ノズルは、前記複数のチャンバー内に配置され、
前記目標値は、前記複数の気体供給ノズルの各々から吐出される前記気体の流量に対する複数の第１目標値を含み、
前記目標値を設定するステップは、前記複数の第１目標値を設定するステップを含む、請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の基板処理方法。
前記基板処理システムは、前記基板を収容する複数のチャンバーを備え、
前記流体供給ノズルは、前記流体として気体を吐出する複数の気体供給ノズルを含み、
前記複数の気体供給ノズルは、前記複数のチャンバー内に配置され、
前記目標値は、前記複数の気体供給ノズルの各々から吐出される前記気体の流量に対する複数の第１目標値を含み、
前記目標値を設定するステップは、前記複数の第１目標値を設定するステップを含む、請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の基板処理方法。
【請求項12】
前記目標値を設定するステップは、前記気体の流量に対する初期の目標値を、複数の第１補正値に基づいて前記気体供給ノズルごとに補正して、前記複数の第１目標値を設定するステップを含み、
前記複数の第１補正値は、前記複数の気体供給ノズルのうちの特定の一つから吐出される前記気体の流量に基づいて設定される、請求項１１に記載の基板処理方法。
前記複数の第１補正値は、前記複数の気体供給ノズルのうちの特定の一つから吐出される前記気体の流量に基づいて設定される、請求項１１に記載の基板処理方法。
【請求項13】
前記目標値を設定するステップを更に含み、
前記流体供給ノズルは、前記流体として処理液を吐出する処理液供給ノズルを含み、
前記目標値は、前記処理液供給ノズルから吐出される前記処理液の流量に対する第２目標値を含み、
前記目標値を設定するステップは、前記処理液の流量に対する初期の目標値を、第２補正値に基づいて補正して、前記第２目標値を設定するステップを含み、
前記第２補正値は、複数の前記基板処理システムのうちの特定の一つに搭載されている前記処理液供給ノズルから吐出される前記処理液の流量に基づいて設定される、請求項１から請求項１２のいずれか１項に記載の基板処理方法。
前記流体供給ノズルは、前記流体として処理液を吐出する処理液供給ノズルを含み、
前記目標値は、前記処理液供給ノズルから吐出される前記処理液の流量に対する第２目標値を含み、
前記目標値を設定するステップは、前記処理液の流量に対する初期の目標値を、第２補正値に基づいて補正して、前記第２目標値を設定するステップを含み、
前記第２補正値は、複数の前記基板処理システムのうちの特定の一つに搭載されている前記処理液供給ノズルから吐出される前記処理液の流量に基づいて設定される、請求項１から請求項１２のいずれか１項に記載の基板処理方法。
【請求項14】
基板を処理する基板処理システムであって、
前記基板に流体を吐出する流体供給ノズルと、
前記流体供給ノズルから吐出される前記流体の流量を計測する流量計測部と、
予め設定された目標値に基づいて前記流体供給ノズルに供給する前記流体の流量を制御する流量制御部と、
警報を発生する警報発生部と、
前記流量計測部によって計測された前記流量の計測値が上限許容範囲又は下限許容範囲を超える場合、前記警報発生部に前記警報を発生させる警報制御部と
を備え、
前記上限許容範囲は、第１上限値と第２上限値とのうちの大きい方の値を上限値とする範囲であり、
前記第１上限値は、前記目標値に第１所定割合を乗じた値を前記目標値に加算した値を示し、
前記第２上限値は、第１オフセット値を前記目標値に加算した値を示し、
前記下限許容範囲は、第１下限値と第２下限値とのうちの小さい方の値を下限値とする範囲であり、
前記第１下限値は、前記目標値に第２所定割合を乗じた値を前記目標値から減算した値を示し、
前記第２下限値は、第２オフセット値を前記目標値から減算した値を示す、基板処理システム。
前記基板に流体を吐出する流体供給ノズルと、
前記流体供給ノズルから吐出される前記流体の流量を計測する流量計測部と、
予め設定された目標値に基づいて前記流体供給ノズルに供給する前記流体の流量を制御する流量制御部と、
警報を発生する警報発生部と、
前記流量計測部によって計測された前記流量の計測値が上限許容範囲又は下限許容範囲を超える場合、前記警報発生部に前記警報を発生させる警報制御部と
を備え、
前記上限許容範囲は、第１上限値と第２上限値とのうちの大きい方の値を上限値とする範囲であり、
前記第１上限値は、前記目標値に第１所定割合を乗じた値を前記目標値に加算した値を示し、
前記第２上限値は、第１オフセット値を前記目標値に加算した値を示し、
前記下限許容範囲は、第１下限値と第２下限値とのうちの小さい方の値を下限値とする範囲であり、
前記第１下限値は、前記目標値に第２所定割合を乗じた値を前記目標値から減算した値を示し、
前記第２下限値は、第２オフセット値を前記目標値から減算した値を示す、基板処理システム。
【請求項15】
前記警報制御部は、
前記目標値が第１閾値以上であるか否かを判定し、
前記目標値が前記第１閾値以上であると判定した場合に、前記計測値が前記第１上限値よりも大きいか否かを判定し、
前記計測値が前記第１上限値よりも大きいと判定した場合に、前記計測値が前記上限許容範囲を超えると判定する、請求項１４に記載の基板処理システム。
前記目標値が第１閾値以上であるか否かを判定し、
前記目標値が前記第１閾値以上であると判定した場合に、前記計測値が前記第１上限値よりも大きいか否かを判定し、
前記計測値が前記第１上限値よりも大きいと判定した場合に、前記計測値が前記上限許容範囲を超えると判定する、請求項１４に記載の基板処理システム。
【請求項16】
前記警報制御部は、
前記目標値が第１閾値以上であるか否かを判定し、
前記目標値が前記第１閾値以上であると判定した場合に、前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいか否かを判定し、
前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいと判定した場合に、前記計測値が前記上限許容範囲を超えると判定する、請求項１４に記載の基板処理システム。
前記目標値が第１閾値以上であるか否かを判定し、
前記目標値が前記第１閾値以上であると判定した場合に、前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいか否かを判定し、
前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいと判定した場合に、前記計測値が前記上限許容範囲を超えると判定する、請求項１４に記載の基板処理システム。
【請求項17】
前記警報制御部は、
前記目標値が第２閾値以上であるか否かを判定し、
前記目標値が前記第２閾値以上であると判定した場合に、前記計測値が前記第１下限値よりも小さいか否かを判定し、
前記計測値が前記第１下限値よりも小さいと判定した場合に、前記計測値が前記下限許容範囲を超えると判定する、請求項１５又は請求項１６に記載の基板処理システム。
前記目標値が第２閾値以上であるか否かを判定し、
前記目標値が前記第２閾値以上であると判定した場合に、前記計測値が前記第１下限値よりも小さいか否かを判定し、
前記計測値が前記第１下限値よりも小さいと判定した場合に、前記計測値が前記下限許容範囲を超えると判定する、請求項１５又は請求項１６に記載の基板処理システム。
【請求項18】
前記警報制御部は、
前記目標値が第２閾値以上であるか否かを判定し、
前記目標値が前記第２閾値以上であると判定した場合に、前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいか否かを判定し、
前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいと判定した場合に、前記計測値が前記下限許容範囲を超えると判定する、請求項１５又は請求項１６に記載の基板処理システム。
前記目標値が第２閾値以上であるか否かを判定し、
前記目標値が前記第２閾値以上であると判定した場合に、前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいか否かを判定し、
前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいと判定した場合に、前記計測値が前記下限許容範囲を超えると判定する、請求項１５又は請求項１６に記載の基板処理システム。
【請求項19】
前記警報制御部は、
前記目標値が前記第１閾値以上でないと判定した場合に、前記計測値が前記第２上限値よりも大きいか否かを判定し、
前記計測値が前記第２上限値よりも大きいと判定した場合に、前記計測値が前記上限許容範囲を超えると判定する、請求項１５から請求項１８のいずれか１項に記載の基板処理システム。
前記目標値が前記第１閾値以上でないと判定した場合に、前記計測値が前記第２上限値よりも大きいか否かを判定し、
前記計測値が前記第２上限値よりも大きいと判定した場合に、前記計測値が前記上限許容範囲を超えると判定する、請求項１５から請求項１８のいずれか１項に記載の基板処理システム。
【請求項20】
前記警報制御部は、
前記目標値が前記第１閾値以上でないと判定した場合に、前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいか否かを判定し、
前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいと判定した場合に、前記計測値が前記上限許容範囲を超えると判定する、請求項１５から請求項１８のいずれか１項に記載の基板処理システム。
前記目標値が前記第１閾値以上でないと判定した場合に、前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいか否かを判定し、
前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいと判定した場合に、前記計測値が前記上限許容範囲を超えると判定する、請求項１５から請求項１８のいずれか１項に記載の基板処理システム。
【請求項21】
前記警報制御部は、
前記目標値が第２閾値以上であるか否かを判定し、
前記目標値が前記第２閾値以上でないと判定した場合に、前記計測値が前記第２下限値よりも小さいか否かを判定し、
前記計測値が前記第２下限値よりも小さいと判定した場合に、前記計測値が前記下限許容範囲を超えると判定する、請求項１５から請求項２０のいずれか１項に記載の基板処理システム。
前記目標値が第２閾値以上であるか否かを判定し、
前記目標値が前記第２閾値以上でないと判定した場合に、前記計測値が前記第２下限値よりも小さいか否かを判定し、
前記計測値が前記第２下限値よりも小さいと判定した場合に、前記計測値が前記下限許容範囲を超えると判定する、請求項１５から請求項２０のいずれか１項に記載の基板処理システム。
【請求項22】
前記警報制御部は、
前記目標値が第２閾値以上であるか否かを判定し、
前記目標値が前記第２閾値以上でないと判定した場合に、前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいか否かを判定し、
前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいと判定した場合に、前記計測値が前記下限許容範囲を超えると判定する、請求項１５から請求項２０のいずれか１項に記載の基板処理システム。
前記目標値が第２閾値以上であるか否かを判定し、
前記目標値が前記第２閾値以上でないと判定した場合に、前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいか否かを判定し、
前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいと判定した場合に、前記計測値が前記下限許容範囲を超えると判定する、請求項１５から請求項２０のいずれか１項に記載の基板処理システム。
【請求項23】
前記警報制御部は、
前記計測値が前記目標値よりも大きいか、又は小さいかを判定し、
前記計測値が前記目標値よりも大きいと判定し場合に、前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいか否かを判定し、
前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいと判定した場合に、前記計測値が前記上限許容範囲を超えると判定し、
前記計測値が前記目標値よりも小さいと判定した場合に、前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいか否かを判定し、
前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいと判定した場合に、前記計測値が前記下限許容範囲を超えると判定する、請求項１４に記載の基板処理システム。
前記計測値が前記目標値よりも大きいか、又は小さいかを判定し、
前記計測値が前記目標値よりも大きいと判定し場合に、前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいか否かを判定し、
前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいと判定した場合に、前記計測値が前記上限許容範囲を超えると判定し、
前記計測値が前記目標値よりも小さいと判定した場合に、前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいか否かを判定し、
前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいと判定した場合に、前記計測値が前記下限許容範囲を超えると判定する、請求項１４に記載の基板処理システム。
【請求項24】
前記目標値を設定する目標値設定部と、
前記基板を収容する複数のチャンバーと
を更に備え、
前記流体供給ノズルは、前記流体として気体を吐出する複数の気体供給ノズルを含み、
前記複数の気体供給ズルは、前記複数のチャンバー内に配置され、
前記目標値は、前記複数の気体供給ノズルの各々から吐出される前記気体の流量に対する複数の第１目標値を含み、
前記目標値設定部は、前記複数の第１目標値を設定する、請求項１４から請求項２３のいずれか１項に記載の基板処理システム。
前記基板を収容する複数のチャンバーと
を更に備え、
前記流体供給ノズルは、前記流体として気体を吐出する複数の気体供給ノズルを含み、
前記複数の気体供給ズルは、前記複数のチャンバー内に配置され、
前記目標値は、前記複数の気体供給ノズルの各々から吐出される前記気体の流量に対する複数の第１目標値を含み、
前記目標値設定部は、前記複数の第１目標値を設定する、請求項１４から請求項２３のいずれか１項に記載の基板処理システム。
【請求項25】
前記目標値設定部は、前記気体の流量に対する初期の目標値を、複数の第１補正値に基づいて前記気体供給ノズルごとに補正して、前記複数の第１目標値を設定し、
前記複数の第１補正値は、前記複数の気体供給ノズルのうちの特定の一つから吐出される前記気体の流量に基づいて設定される、請求項２４に記載の基板処理システム。
前記複数の第１補正値は、前記複数の気体供給ノズルのうちの特定の一つから吐出される前記気体の流量に基づいて設定される、請求項２４に記載の基板処理システム。
【請求項26】
前記目標値を設定する目標値設定部を更に備え、
前記流体供給ノズルは、前記流体として処理液を吐出する処理液供給ノズルを含み、
前記目標値は、前記処理液供給ノズルから吐出される前記処理液の流量に対する第２目標値を含み、
前記目標値設定部は、前記処理液の流量に対する初期の目標値を、第２補正値に基づいて補正して、前記第２目標値を設定し、
前記第２補正値は、複数の前記基板処理システムのうちの特定の一つに搭載されている前記処理液供給ノズルから吐出される前記処理液の流量に基づいて設定される、請求項１４から請求項２５のいずれか１項に記載の基板処理システム。
前記流体供給ノズルは、前記流体として処理液を吐出する処理液供給ノズルを含み、
前記目標値は、前記処理液供給ノズルから吐出される前記処理液の流量に対する第２目標値を含み、
前記目標値設定部は、前記処理液の流量に対する初期の目標値を、第２補正値に基づいて補正して、前記第２目標値を設定し、
前記第２補正値は、複数の前記基板処理システムのうちの特定の一つに搭載されている前記処理液供給ノズルから吐出される前記処理液の流量に基づいて設定される、請求項１４から請求項２５のいずれか１項に記載の基板処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、基板処理方法、及び基板処理システムに関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、基板処理システムの一種である洗浄装置が開示されている。特許文献１の洗浄装置は、薬液供給ラインと、流量計と、バルブと、モニタリングツールと、制御部と、吐出部とを備える。
【0003】
吐出部は、基盤へ薬液を吐出する。薬液供給ラインは、吐出部に薬液を供給する。バルブ及び流量計は、薬液供給ラインに設けられる。流量計は、薬液流量を測定する。制御部は、バルブを開く信号をバルブに与える。モニタリングツールは、流量計の測定結果に基づいて、薬液流量が基準値上限を上回るか、基準値下限を下回るかを判定する。モニタリングツールは、薬液流量が基準値上限を上回るか、又は基準値下限を下回った場合に、警報を発する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２００８－１７７３８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、特許文献１の洗浄装置（基板処理システム）では、基準値上限及び基準値下限が一定値であるため、薬液流量の目標値が大きい値を示す場合、装置間誤差に起因する警報が発生し易い。つまり、警報が頻繁に発生する可能性がある。装置間誤差は、例えば、洗浄装置に搭載する機器の誤差を含む。警報が頻繁に発生する場合、洗浄処理（基板処理）が頻繁に停止するため、生産性が低下する。
【0006】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、装置間誤差に起因する警報が発生し難くなる基板処理方法、及び基板処理システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の一局面によれば、基板処理方法は、基板処理システムによって基板を処理する方法である。当該基板処理方法は、流体供給ノズルから前記基板に流体を吐出させるステップと、前記流体供給ノズルから吐出される前記流体の流量の計測値が、上限許容範囲又は下限許容範囲を超えるか否かの判定を行うステップと、前記計測値が前記上限許容範囲又は前記下限許容範囲を超えると判定された場合に、警報を発生させるステップとを包含する。前記上限許容範囲は、第１上限値と第２上限値とのうちの大きい方の値を上限値とする範囲である。前記第１上限値は、前記流体の流量に対する目標値に第１所定割合を乗じた値を前記目標値に加算した値を示す。前記第２上限値は、第１オフセット値を前記目標値に加算した値を示す。前記下限許容範囲は、第１下限値と第２下限値とのうちの小さい方の値を下限値とする範囲である。前記第１下限値は、前記目標値に第２所定割合を乗じた値を前記目標値から減算した値を示す。前記第２下限値は、第２オフセット値を前記目標値から減算した値を示す。
【0008】
ある実施形態において、前記判定を行うステップは、前記目標値が第１閾値以上であるか否かを判定するステップと、前記目標値が前記第１閾値以上であると判定された場合に、前記計測値が前記第１上限値よりも大きいか否かにより、前記計測値が前記上限許容範囲を超えるか否かを判定するステップとを包含する。
【0009】
ある実施形態において、前記判定を行うステップは、前記目標値が第１閾値以上であるか否かを判定するステップと、前記目標値が前記第１閾値以上であると判定された場合に、前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいか否かにより、前記計測値が前記上限許容範囲を超えるか否かを判定するステップとを包含する。
【0010】
ある実施形態において、前記判定を行うステップは、前記目標値が第２閾値以上であるか否かを判定するステップと、前記目標値が前記第２閾値以上であると判定された場合に、前記計測値が前記第１下限値よりも小さいか否かにより、前記計測値が前記下限許容範囲を超えるか否かを判定するステップとを包含する。
【0011】
ある実施形態において、前記判定を行うステップは、前記目標値が第２閾値以上であるか否かを判定するステップと、前記目標値が前記第２閾値以上であると判定された場合に、前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいか否かにより、前記計測値が前記下限許容範囲を超えるか否かを判定するステップとを包含する。
【0012】
ある実施形態において、前記判定を行うステップは、前記目標値が前記第１閾値以上でないと判定された場合に、前記計測値が前記第２上限値よりも大きいか否かにより、前記計測値が前記上限許容範囲を超えるか否かを判定するステップを包含する。
【0013】
ある実施形態において、前記判定を行うステップは、前記目標値が前記第１閾値以上でないと判定された場合に、前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいか否かにより、前記計測値が前記上限許容範囲を超えるか否かを判定するステップを包含する。
【0014】
ある実施形態において、前記判定を行うステップは、前記目標値が第２閾値以上であるか否かを判定するステップと、前記目標値が前記第２閾値以上でないと判定された場合に、前記計測値が前記第２下限値よりも小さいか否かにより、前記計測値が前記下限許容範囲を超えるか否かを判定するステップとを包含する。
【0015】
ある実施形態において、前記判定を行うステップは、前記目標値が第２閾値以上であるか否かを判定するステップと、前記目標値が前記第２閾値以上でないと判定された場合に、前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいか否かにより、前記計測値が前記下限許容範囲を超えるか否かを判定するステップとを包含する。
【0016】
ある実施形態において、前記判定を行うステップは、前記計測値が前記目標値よりも大きいか、又は小さいかを判定するステップと、前記計測値が前記目標値よりも大きいと判定された場合に、前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいか否かにより、前記計測値が前記上限許容範囲を超えるか否かを判定するステップと、前記計測値が前記目標値よりも小さいと判定された場合に、前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいか否かにより、前記計測値が前記下限許容範囲を超えるか否かを判定するステップとを包含する。
【0017】
ある実施形態において、上記の基板処理方法は、前記目標値を設定するステップを更に含む。前記基板処理システムは、前記基板を収容する複数のチャンバーを備える。前記流体供給ノズルは、前記流体として気体を吐出する複数の気体供給ノズルを含む。前記複数の気体供給ノズルは、前記複数のチャンバー内に配置される。前記目標値は、前記複数の気体供給ノズルの各々から吐出される前記気体の流量に対する複数の第１目標値を含む。前記目標値を設定するステップは、前記複数の第１目標値を設定するステップを含む。
【0018】
ある実施形態において、前記目標値を設定するステップは、前記気体の流量に対する初期の目標値を、複数の第１補正値に基づいて前記気体供給ノズルごとに補正して、前記複数の第１目標値を設定するステップを含む。前記複数の第１補正値は、前記複数の気体供給ノズルのうちの特定の一つから吐出される前記気体の流量に基づいて設定される。
【0019】
ある実施形態において、上記の基板処理方法は、前記目標値を設定するステップを更に含む。前記流体供給ノズルは、前記流体として処理液を吐出する処理液供給ノズルを含む。前記目標値は、前記処理液供給ノズルから吐出される前記処理液の流量に対する第２目標値を含む。前記目標値を設定するステップは、前記処理液の流量に対する初期の目標値を、第２補正値に基づいて補正して、前記第２目標値を設定するステップを含む。前記第２補正値は、複数の前記基板処理システムのうちの特定の一つに搭載されている前記処理液供給ノズルから吐出される前記処理液の流量に基づいて設定される。
【0020】
本発明の一局面によれば、基板処理システムは、基板を処理する。当該基板処理システムは、流体供給ノズルと、流量計測部と、流量制御部と、警報発生部と、警報制御部とを備える。前記流体供給ノズルは、前記基板に流体を吐出する。前記流量計測部は、前記流体供給ノズルから吐出される前記流体の流量を計測する。前記流量制御部は、予め設定された目標値に基づいて前記流体供給ノズルに供給する前記流体の流量を制御する。前記警報発生部は、警報を発生する。前記警報制御部は、前記流量計測部によって計測された前記流量の計測値が上限許容範囲又は下限許容範囲を超える場合、前記警報発生部に前記警報を発生させる。前記上限許容範囲は、第１上限値と第２上限値とのうちの大きい方の値を上限値とする範囲である。前記第１上限値は、前記目標値に第１所定割合を乗じた値を前記目標値に加算した値を示す。前記第２上限値は、第１オフセット値を前記目標値に加算した値を示す。前記下限許容範囲は、第１下限値と第２下限値とのうちの小さい方の値を下限値とする範囲である。前記第１下限値は、前記目標値に第２所定割合を乗じた値を前記目標値から減算した値を示す。前記第２下限値は、第２オフセット値を前記目標値から減算した値を示す。
【0021】
ある実施形態において、前記警報制御部は、前記目標値が第１閾値以上であるか否かを判定する。前記警報制御部は、前記目標値が前記第１閾値以上であると判定した場合に、前記計測値が前記第１上限値よりも大きいか否かを判定する。前記警報制御部は、前記計測値が前記第１上限値よりも大きいと判定した場合に、前記計測値が前記上限許容範囲を超えると判定する。
【0022】
ある実施形態において、前記警報制御部は、前記目標値が第１閾値以上であるか否かを判定する。前記警報制御部は、前記目標値が前記第１閾値以上であると判定した場合に、前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいか否かを判定する。前記警報制御部は、前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいと判定した場合に、前記計測値が前記上限許容範囲を超えると判定する。
【0023】
ある実施形態において、前記警報制御部は、前記目標値が第２閾値以上であるか否かを判定する。前記警報制御部は、前記目標値が前記第２閾値以上であると判定した場合に、前記計測値が前記第１下限値よりも小さいか否かを判定する。前記警報制御部は、前記計測値が前記第１下限値よりも小さいと判定した場合に、前記計測値が前記下限許容範囲を超えると判定する。
【0024】
ある実施形態において、前記警報制御部は、前記目標値が第２閾値以上であるか否かを判定する。前記警報制御部は、前記目標値が前記第２閾値以上であると判定した場合に、前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいか否かを判定する。前記警報制御部は、前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいと判定した場合に、前記計測値が前記下限許容範囲を超えると判定する。
【0025】
ある実施形態において、前記警報制御部は、前記目標値が前記第１閾値以上でないと判定した場合に、前記計測値が前記第２上限値よりも大きいか否かを判定する。前記警報制御部は、前記計測値が前記第２上限値よりも大きいと判定した場合に、前記計測値が前記上限許容範囲を超えると判定する。
【0026】
ある実施形態において、前記警報制御部は、前記目標値が前記第１閾値以上でないと判定した場合に、前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいか否かを判定する。前記警報制御部は、前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいと判定した場合に、前記計測値が前記上限許容範囲を超えると判定する。
【0027】
ある実施形態において、前記警報制御部は、前記目標値が第２閾値以上であるか否かを判定する。前記警報制御部は、前記目標値が前記第２閾値以上でないと判定した場合に、前記計測値が前記第２下限値よりも小さいか否かを判定する。前記警報制御部は、前記計測値が前記第２下限値よりも小さいと判定した場合に、前記計測値が前記下限許容範囲を超えると判定する。
【0028】
ある実施形態において、前記警報制御部は、前記目標値が第２閾値以上であるか否かを判定する。前記警報制御部は、前記目標値が前記第２閾値以上でないと判定した場合に、前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいか否かを判定する。前記警報制御部は、前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいと判定した場合に、前記計測値が前記下限許容範囲を超えると判定する。
【0029】
ある実施形態において、前記警報制御部は、前記計測値が前記目標値よりも大きいか、又は小さいかを判定する。前記警報制御部は、前記計測値が前記目標値よりも大きいと判定し場合に、前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいか否かを判定する。前記警報制御部は、前記計測値が前記第１上限値及び前記第２上限値の両者よりも大きいと判定した場合に、前記計測値が前記上限許容範囲を超えると判定する。前記警報制御部は、前記計測値が前記目標値よりも小さいと判定した場合に、前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいか否かを判定する。前記警報制御部は、前記計測値が前記第１下限値及び前記第２下限値の両者よりも小さいと判定した場合に、前記計測値が前記下限許容範囲を超えると判定する。
【0030】
ある実施形態において、上記の基板処理システムは、目標値設定部と、複数のチャンバーとを更に備える。前記目標値設定部は、前記目標値を設定する。前記複数のチャンバーは、前記基板を収容する。前記流体供給ノズルは、前記流体として気体を吐出する複数の気体供給ノズルを含む。前記複数の気体供給ズルは、前記複数のチャンバー内に配置される。前記目標値は、前記複数の気体供給ノズルの各々から吐出される前記気体の流量に対する複数の第１目標値を含む。前記目標値設定部は、前記複数の第１目標値を設定する。
【0031】
ある実施形態において、前記目標値設定部は、前記気体の流量に対する初期の目標値を、複数の第１補正値に基づいて前記気体供給ノズルごとに補正して、前記複数の第１目標値を設定する。前記複数の第１補正値は、前記複数の気体供給ノズルのうちの特定の一つから吐出される前記気体の流量に基づいて設定される。
【0032】
ある実施形態において、上記の基板処理システムは、前記目標値を設定する目標値設定部を更に備える。前記流体供給ノズルは、前記流体として処理液を吐出する処理液供給ノズルを含む。前記目標値は、前記処理液供給ノズルから吐出される前記処理液の流量に対する第２目標値を含む。前記目標値設定部は、前記処理液の流量に対する初期の目標値を、第２補正値に基づいて補正して、前記第２目標値を設定する。前記第２補正値は、複数の前記基板処理システムのうちの特定の一つに搭載されている前記処理液供給ノズルから吐出される前記処理液の流量に基づいて設定される。
【発明の効果】
【0033】
本発明に係る基板処理方法、及び基板処理システムによれば、装置間誤差に起因する警報が発生し難くなる。
【図面の簡単な説明】
【0034】
【図1】本発明の実施形態に係る基板処理システムの構成を示す模式図である。
【図2】本発明の実施形態に係る基板処理システムが備える処理ユニットの模式図である。
【図3】本発明の実施形態に係る基板処理システムの構成の一部を示すブロック図である。
【図4】上限許容範囲ＵＡ及び下限許容範囲ＬＡを示す図である。
【図5】本発明の実施形態に係る基板処理方法を示すフローチャートである。
【図6】本発明の実施形態に係る基板処理方法を示すフローチャートである。
【図7】警報処理の第１例の一部を示すフローチャートである。
【図8】警報処理の第１例の他の一部を示すフローチャートである。
【図9】警報処理の第２例の一部を示すフローチャートである。
【図10】警報処理の第２例の他の一部を示すフローチャートである。
【図11】警報処理の第３例の一部を示すフローチャートである。
【図12】警報処理の第３例の他の一部を示すフローチャートである。
【図13】（ａ）は、記憶部が記憶しているレシピデータの一部を示す図である。（ｂ）は、記憶部が記憶している補正テーブルを示す図である。
【図14】（ａ）は、第１補正値を取得するためのシステムを示す図である。（ｂ）は、情報処理装置が実行する処理を示すフローチャートである。
【図15】第２補正値を取得するためのシステムを示す図である。
【図16】情報処理装置が実行する処理を示すフローチャートである。
【図17】（ａ）は、本発明の実施形態に係る基板処理方法を示すフローチャートである。（ｂ）は、目標値を設定する処理を示すフローチャートである。
【図18】（ａ）は、気体吐出流量の目標値を設定する処理を示すフローチャートである。（ｂ）は、処理液吐出流量の目標値を設定する処理を示すフローチャートである。
【図19】本発明の実施形態に係る基板処理システムの構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0035】
以下、図面（図１～図１９）を参照して本発明に係る基板処理方法、及び基板処理システムの実施形態を説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されない。なお、説明が重複する箇所については、適宜説明を省略する場合がある。また、図中、同一又は相当部分については同一の参照符号を付して説明を繰り返さない。
【0036】
本発明に係る基板処理方法、及び基板処理システムが処理の対象とする「基板」には、半導体ウエハ、フォトマスク用ガラス基板、液晶表示用ガラス基板、プラズマ表示用ガラス基板、ＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、及び光磁気ディスク用基板などの各種基板を適用可能である。以下では主として、円盤状の半導体ウエハを処理の対象とする基板処理方法、及び基板処理システムを例に本実施形態を説明するが、本発明に係る基板処理方法、及び基板処理システムは、上記した半導体ウエハ以外の各種基板に対しても同様に適用可能である。また、基板の形状についても、円盤状に限定されず、本発明に係る基板処理方法、及び基板処理システムは、各種形状の基板に対して適用可能である。
【0037】
まず、図１を参照して本実施形態の基板処理システム１００を説明する。図１は、本実施形態の基板処理システム１００の構成を示す模式図である。詳しくは、図１は、基板処理システム１００の模式的な平面図である。基板処理システム１００は、基板Ｗを処理する。より具体的には、基板処理システム１００は、基板Ｗを一枚ずつ処理する枚葉式の装置である。例えば、基板処理システム１００は、基板Ｗに対して、エッチング、洗浄、表面処理、特性付与、処理膜形成、及び膜の少なくとも一部の除去のうちの少なくとも１つを行うように基板Ｗを処理する。
【0038】
図１に示すように、基板処理システム１００は、複数の処理ユニット１（本実施形態では第１処理ユニット＃１～第８処理ユニット＃８）と、流体キャビネット１１０と、複数の流体ボックス１００Ａと、複数のロードポートＬＰと、インデクサーロボットＩＲと、センターロボットＣＲと、制御装置１０１とを備える。
【0039】
ロードポートＬＰの各々は、複数枚の基板Ｗを積層して収容する。インデクサーロボットＩＲは、ロードポートＬＰとセンターロボットＣＲとの間で基板Ｗを搬送する。センターロボットＣＲは、インデクサーロボットＩＲと処理ユニット１との間で基板Ｗを搬送する。なお、インデクサーロボットＩＲとセンターロボットＣＲとの間に、基板Ｗを一時的に載置する載置台（パス）を設けて、インデクサーロボットＩＲとセンターロボットＣＲとの間で載置台を介して間接的に基板Ｗを受け渡しする装置構成としてもよい。
【0040】
複数の処理ユニット１は、平面視においてセンターロボットＣＲを取り囲むように配置される複数のタワーＴＷ（本実施形態では４つのタワーＴＷ）を形成している。各タワーＴＷは、上下に積層された複数の処理ユニット１（本実施形態では２つの処理ユニット１）を含む。処理ユニット１の各々は、処理液を基板Ｗに供給して、基板Ｗを処理する。
【0041】
流体キャビネット１１０は、流体を収容する。流体キャビネット１１０から、各流体ボックス１００Ａに流体が供給される。流体ボックス１００Ａはそれぞれ、複数のタワーＴＷのうちの１つに対応している。流体ボックス１００Ａから、対応するタワーＴＷに含まれる全ての処理ユニット１に流体が供給される。
【0042】
本実施形態において、流体は、気体と、処理液とを含む。気体は、例えば、窒素（Ｎ2）のような不活性ガスである。処理液は、例えば、薬液（例えばエッチング液）である。薬液は、例えば、フッ酸（ＨＦ）、フッ硝酸（フッ酸と硝酸（ＨＮＯ3）との混合液）、バファードフッ酸（ＢＨＦ）、フッ化アンモニウム、ＨＦＥＧ（フッ酸とエチレングリコールとの混合液）、燐酸（Ｈ3ＰＯ4）、硫酸、酢酸、硝酸、塩酸、希フッ酸（ＤＨＦ）、アンモニア水、過酸化水素水、有機酸（例えば、クエン酸、シュウ酸）、有機アルカリ（例えば、ＴＭＡＨ：テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド）、硫酸過酸化水素水混合液（ＳＰＭ）、アンモニア過酸化水素水混合液（ＳＣ１）、塩酸過酸化水素水混合液（ＳＣ２）、界面活性剤、又は、腐食防止剤である。なお、気体及び処理液の種類は、基板Ｗの処理に利用できる限りにおいて、特に限定されない。例えば、処理液は、脱イオン水（Ｄｅｉｏｎｉｚｅｄ ｗａｔｅｒ；ＤＩＷ）であってもよい。
【0043】
続いて、制御装置１０１について説明する。制御装置１０１は、基板処理システム１００の各部の動作を制御する。例えば、制御装置１０１は、ロードポートＬＰ、インデクサーロボットＩＲ、及びセンターロボットＣＲを制御する。制御装置１０１は、制御部１０２と、記憶部１０３とを含む。
【0044】
制御部１０２は、プロセッサーを有する。制御部１０２は、例えば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、又は、ＭＰＵ（Ｍｉｃｒｏ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）を有する。あるいは、制御部１０２は、汎用演算機を有してもよい。
【0045】
記憶部１０３は、データ及びコンピュータプログラムを記憶する。データは、レシピデータＲＤを含む。レシピデータＲＤは、複数のレシピを示す情報を含む。複数のレシピの各々は、基板Ｗの処理内容及び処理手順を規定する。
【0046】
記憶部１０３は、主記憶装置を有する。主記憶装置は、例えば、半導体メモリである。記憶部１０３は、補助記憶装置を更に有してもよい。補助記憶装置は、例えば、半導体メモリ及びハードディスクドライブの少なくも一方を含む。記憶部１０３はリムーバブルメディアを含んでいてもよい。制御部１０２は、記憶部１０３に記憶されているコンピュータプログラム及びデータに基づいて、基板処理システム１００の各部の動作を制御する。
【0047】
続いて図１及び図２を参照して、本実施形態の基板処理システム１００について更に説明する。図２は、本実施形態の基板処理システム１００が備える処理ユニット１の模式図である。詳しくは、図２は、処理ユニット１の模式的な断面図である。
【0048】
図２に示すように、処理ユニット１は、チャンバー２と、スピンチャック３と、スピンモータ部４と、遮断板５と、気体供給ノズル６と、処理液供給ノズル７と、回転ユニット５１と、昇降ユニット５２と、ガード部８とを備える。また、基板処理システム１００は、気体供給配管６１と、マスフローコントローラ６２と、開閉バルブ６３と、処理液供給配管７１と、流量制御バルブ７２と、流量センサー７３と、開閉バルブ７４とを更に備える。制御装置１０１（制御部１０２）は、スピンチャック３、スピンモータ部４、回転ユニット５１、昇降ユニット５２、ガード部８、マスフローコントローラ６２、開閉バルブ６３、流量制御バルブ７２、及び開閉バルブ７４を制御する。
【0049】
チャンバー２は略箱形状を有する。チャンバー２は、基板Ｗと、スピンチャック３と、スピンモータ部４と、遮断板５と、気体供給ノズル６と、処理液供給ノズル７と、回転ユニット５１と、昇降ユニット５２と、ガード部８と、気体供給配管６１の一部と、処理液供給配管７１の一部とを収容する。なお、気体供給配管６１の他の一部、処理液供給配管７１の他の一部、マスフローコントローラ６２、開閉バルブ６３、流量制御バルブ７２、流量センサー７３、及び開閉バルブ７４は、図１を参照して説明した流体ボックス１００Ａのうちの対応する１つに収容される。
【0050】
スピンチャック３は、基板Ｗを水平に保持する。具体的には、スピンチャック３は、複数のチャック部材３１と、スピンベース３２とを有する。複数のチャック部材３１は、基板Ｗの周縁に沿ってスピンベース３２に設けられる。複数のチャック部材３１は基板Ｗを水平な姿勢で保持する。スピンベース３２は、略円板状であり、水平な姿勢で複数のチャック部材３１を支持する。
【0051】
スピンモータ部４は、回転軸線ＡＸを中心として基板Ｗとスピンチャック３とを一体に回転させる。回転軸線ＡＸは、上下方向に延びる。本実施形態では、回転軸線ＡＸは、略鉛直方向に延びる。詳しくは、スピンモータ部４は、回転軸線ＡＸを中心としてスピンベース３２を回転させる。したがって、スピンベース３２は、回転軸線ＡＸを中心として回転する。その結果、スピンチャック３に保持された基板Ｗが、回転軸線ＡＸを中心として回転する。
【0052】
スピンモータ部４は、モータ本体４１と、シャフト４２とを有する。シャフト４２はスピンベース３２に結合される。モータ本体４１は、シャフト４２を回転させる。その結果、スピンベース３２が回転する。モータ本体４１は、例えば電動モータである。
【0053】
遮断板５は、円盤部５ａと、円筒部５ｂとを有する。円盤部５ａは円盤状であり、基板Ｗとほぼ同じ径、又はそれ以上の径を有する。円筒部５ｂは、円盤部５ａの中央（遮断板５を平面視したときの中央）に設けられ、円盤部５ａから上方へ突出する。円筒部５ｂは円筒状であり、上下方向に延びる貫通穴を有する。円盤部５ａは、その中央に、上下方向に延びる貫通穴を有する。円盤部５ａの貫通穴は、円筒部５ｂの貫通穴に連通する。
【0054】
遮断板５は、スピンチャック３の上方でほぼ水平に配置されている。遮断板５は、下位置から上位置までの任意の位置（高さ）に移動することができる。遮断板５が近接位置にあるとき、遮断板５と基板Ｗの上面との間の空間は、遮断板５によって周囲（遮断板５と基板Ｗとの間の空間の外部）の雰囲気から離隔される。近接位置は、基板Ｗの表面に十分に接近した位置である。
【0055】
回転ユニット５１は、遮断板５を回転軸線ＡＸまわりに回転させる。回転ユニット５１は、例えば、電動モータを含む。電動モータは、回転軸線ＡＸまわりの回転方向の駆動力を遮断板５に付与する。昇降ユニット５２は、遮断板５を昇降させる。具体的には、昇降ユニット５２は、遮断板５を下位置から上位置までの任意の位置（高さ）に移動させる。昇降ユニット５２は、例えば、ボールねじ機構と、ボールねじ機構に駆動力を付与する電動モータとを含む。
【0056】
気体供給ノズル６は、遮断板５を上下方向に貫通する。詳しくは、円筒部５ｂの貫通穴及び円盤部５ａの貫通穴に挿通される。気体供給ノズル６の吐出口は、遮断板５の下面から露出する。気体供給ノズル６は、基板Ｗに向けて気体を吐出する。詳しくは、遮断板５が近接位置にあるとき、気体供給ノズル６から基板Ｗに向けて気体が吐出される。気体供給ノズル６は、流体供給ノズルの一例である。
【0057】
同様に、処理液供給ノズル７は、遮断板５を上下方向に貫通する。詳しくは、円筒部５ｂの貫通穴及び円盤部５ａの貫通穴に挿通される。処理液供給ノズル７の吐出口は、遮断板５の下面から露出する。処理液供給ノズル７は、基板Ｗに向けて処理液を吐出する。詳しくは、遮断板５が近接位置にあるとき、処理液供給ノズル７から基板Ｗに向けて処理液が吐出される。処理液供給ノズル７は、流体供給ノズルの一例である。
【0058】
気体供給配管６１は、気体供給ノズル６に連通する。気体供給配管６１は、気体供給ノズル６まで気体を流通させることにより、気体供給ノズル６に気体を供給する。気体供給配管６１には、マスフローコントローラ６２及び開閉バルブ６３が設けられる。
【0059】
マスフローコントローラ６２は、気体供給ノズル６に供給する気体の流量を制御する。具体的には、マスフローコントローラ６２は、気体供給配管６１を流通する気体の流量を制御する。マスフローコントローラ６２が気体供給配管６１を流通する気体の流量を制御することにより、気体供給ノズル６から吐出される気体の流量が制御される。以下、気体供給配管６１を流通する気体の流量を、「気体流量」と記載する場合がある。同様に、気体供給ノズル６から吐出される気体の流量を、「気体吐出流量」と記載する場合がある。
【0060】
マスフローコントローラ６２は、流量制御バルブ６２１と、流量センサー６２２とを有する。流量制御バルブ６２１は、気体流量を制御する。つまり、流量制御バルブ６２１は、気体供給ノズル６に供給する気体の流量を制御する。流量制御バルブ６２１が気体流量を制御することにより、気体吐出流量が制御される。流量センサー６２２は、気体吐出流量を計測する。具体的には、流量センサー６２２は、気体流量を計測することにより、気体吐出流量を計測する。流量制御バルブ６２１は、流量制御部の一例である。流量センサー６２２は、流量計測部の一例である。
【0061】
制御部１０２は、気体吐出流量の目標値（気体流量の目標値）をマスフローコントローラ６２に設定する。マスフローコントローラ６２は、気体吐出流量の目標値に基づいて流量制御バルブ６２１を駆動することにより、気体吐出流量を制御する。詳しくは、マスフローコントローラ６２は、流量センサー６２２の計測結果（気体流量の計測値）が気体吐出流量の目標値と一致するように、流量制御バルブ６２１を駆動する。
【0062】
開閉バルブ６３は、開状態と閉状態との間で切り替え可能である。開閉バルブ６３が開状態である場合、気体が気体供給配管６１を介して気体供給ノズル６まで流通する。開閉バルブ６３が閉状態である場合、気体供給配管６１を介した気体の流通が停止する。
【0063】
処理液供給配管７１は、処理液供給ノズル７に連通する。処理液供給配管７１は、処理液供給ノズル７まで処理液を流通させることにより、処理液供給ノズル７に処理液を供給する。処理液供給配管７１には、流量制御バルブ７２、流量センサー７３、及び開閉バルブ７４が設けられる。
【0064】
流量制御バルブ７２は、処理液供給ノズル７に供給する処理液の流量を制御する。具体的には、流量制御バルブ７２は、処理液供給配管７１を流通する処理液の流量を制御する。流量制御バルブ７２が処理液供給配管７１を流通する処理液の流量を制御することにより、処理液供給ノズル７から吐出される処理液の流量が制御される。流量制御バルブ７２は、流量制御部の一例である。以下、処理液供給配管７１を流通する処理液の流量を、「処理液流量」と記載する場合がある。同様に、処理液供給ノズル７から吐出される処理液の流量を、「処理液吐出流量」と記載する場合がある。
【0065】
流量センサー７３は、処理液吐出流量を計測する。具体的には、流量センサー７３は、処理液流量を計測することにより、処理液吐出流量を計測する。流量センサー７３は、流量計測部の一例である。制御部１０２は、処理液吐出流量の目標値（処理液流量の目標値）に基づいて流量制御バルブ７２を駆動することにより、処理液吐出流量を制御する。詳しくは、制御部１０２は、流量センサー７３の計測結果（処理液流量を計測値）が処理液吐出流量の目標値と一致するように、流量制御バルブ７２を駆動する。
【0066】
開閉バルブ７４は、開状態と閉状態との間で切り替え可能である。開閉バルブ７４が開状態である場合、処理液が処理液供給配管７１を介して処理液供給ノズル７まで流通する。開閉バルブ７４が閉状態である場合、処理液供給配管７１を介した処理液の流通が停止する。
【0067】
ガード部８は略筒形状を有する。ガード部８は、スピンチャック３の周りに配置されて、基板Ｗから排出された使用後の処理液を受け止める。
【0068】
続いて図１～図３を参照して本実施形態の基板処理システム１００を更に説明する。図３は、本実施形態の基板処理システム１００の構成の一部を示すブロック図である。図３に示すように、基板処理システム１００は、警報発生部９と、入力部１０４とを更に備える。
【0069】
警報発生部９は、制御装置１０１（制御部１０２）によって制御されて、警報を発生する。警報発生部９は、例えば、ディスプレイ、スピーカ、及びランプのうちの少なくとも一つを含む。制御部１０２は、警報制御部の一例である。
【0070】
制御部１０２は、流量センサー６２２の計測結果（気体流量の計測値）に基づいて、警報発生部９に警報を発生させる。詳しくは、制御部１０２は、気体流量の計測値が第１上限許容範囲又は第１下限許容範囲を超える場合、警報発生部９に警報を発生させる。第１上限許容範囲及び第１下限許容範囲を示す情報は、記憶部１０３に記憶されている。
【0071】
同様に、制御部１０２は、流量センサー７３の計測結果（処理液流量の計測値）に基づいて、警報発生部９に警報を発生させる。詳しくは、制御部１０２は、処理液流量の計測値が第２上限許容範囲又は第２下限許容範囲を超える場合、警報発生部９に警報を発生させる。第２上限許容範囲及び第２下限許容範囲を示す情報は、記憶部１０３に記憶されている。
【0072】
入力部１０４は、作業者からの入力を受け付けて、入力結果を示す情報を制御部１０２に出力する。例えば、入力部１０４は、基板処理システム１００による基板処理の開始を指示する情報の入力を受け付ける。入力部１０４は、例えば、タッチパネル及びポインティングデバイスを含む。
【0073】
以下、気体と処理液とを区別して説明する必要のないときは、気体及び処理液を「流体」と記載することがある。同様に、気体流量と処理液流量とを区別して説明する必要のないときは、気体流量及び処理液流量を「流体流量」と記載することがある。気体吐出流量と処理液吐出流量とを区別して説明する必要のないときは、気体吐出流量及び処理液吐出流量を「流体吐出流量」と記載することがある。また、第１上限許容範囲と第２上限許容範囲とを区別して説明する必要のないときは、第１上限許容範囲及び第２上限許容範囲を「上限許容範囲」と記載することがある。同様に、第１下限許容範囲と第２下限許容範囲とを区別して説明する必要のないときは、第１下限許容範囲及び第２下限許容範囲を「下限許容範囲」と記載することがある。
【0074】
続いて図４を参照して上限許容範囲ＵＡ及び下限許容範囲ＬＡを説明する。図４は、上限許容範囲ＵＡ及び下限許容範囲ＬＡを示す図である。図４において、横軸は、基板処理システム１００に設定される設定値を示す。換言すると、横軸は、記憶部１０３に記憶される設定値を示す。縦軸は、流体流量の計測値を示す。
【0075】
図４に示すように、上限許容範囲ＵＡは、第１上限値ＵＬ１と第２上限値ＵＬ２とのうちの大きい方の値を上限値とする範囲を示す。第１上限値ＵＬ１は、流体吐出流量の目標値ＦＴに第１所定割合を乗じた値を目標値ＦＴに加算した値を示す。第２上限値ＵＬ２は、流体吐出流量の目標値ＦＴに第１オフセット値を加算した値を示す。第１所定割合は、例えば、５０％を示す。第１オフセット値は、任意の値を示す一定値である。
【0076】
詳しくは、流体吐出流量の目標値ＦＴが第１閾値ＵＴよりも大きい値を示す領域では、上限許容範囲ＵＡは第１上限値ＵＬ１を上限値とする。一方、流体吐出流量の目標値ＦＴが第１閾値ＵＴよりも小さい値を示す領域では、上限許容範囲ＵＡは第２上限値ＵＬ２を上限値とする。流体吐出流量の目標値ＦＴが第１閾値ＵＴと同じ値を示す場合、第１上限値ＵＬ１と第２上限値ＵＬ２とは同じ値となるため、上限許容範囲ＵＡは、第１上限値ＵＬ１と第２上限値ＵＬ２とのうちの一方を上限値とする。記憶部１０３は、設定値として、流体吐出流量の目標値ＦＴと、第１上限値ＵＬ１と、第２上限値ＵＬ２と、第１閾値ＵＴとを記憶する。
【0077】
下限許容範囲ＬＡは、第１下限値ＬＬ１と第２下限値ＬＬ２とのうちの小さい方の値を下限値とする範囲を示す。第１下限値ＬＬ１は、流体吐出流量の目標値ＦＴに第２所定割合を乗じた値を目標値ＦＴから減算した値を示す。第２下限値ＬＬ２は、流体吐出流量の目標値ＦＴから第２オフセット値を減算した値を示す。第２所定割合は、第１所定割合と同じ値を示す。例えば、第２所定割合は、５０％を示す。第２オフセット値は、任意の値を示す一定値である。第２オフセット値は、第１オフセット値と同じ値を示してもよいし、異なる値を示してもよい。
【0078】
詳しくは、流体吐出流量の目標値ＦＴが第２閾値ＬＴよりも大きい値を示す領域では、下限許容範囲ＬＡは第１下限値ＬＬ１を下限値とする。一方、流体吐出流量の目標値ＦＴが第２閾値ＬＴよりも小さい値を示す領域では、下限許容範囲ＬＡは第２下限値ＬＬ２を下限値とする。流体吐出流量の目標値ＦＴが第２閾値ＬＴと同じ値を示す場合、第１下限値ＬＬ１と第２下限値ＬＬ２とは同じ値となるため、下限許容範囲ＬＡは、第１下限値ＬＬ１と第２下限値ＬＬ２とのうちの一方を下限値とする。記憶部１０３は、設定値として、第１下限値ＬＬ１と、第２下限値ＬＬ２と、第２閾値ＬＴとを更に記憶する。
【0079】
図３を参照して説明したように、制御部１０２は、流体流量の計測値が上限許容範囲ＵＡ又は下限許容範囲ＬＡを超える場合、警報発生部９に警報を発生させる。換言すると、制御部１０２は、流体流量の計測値が第１警報領域ＵＫ内又は第２警報領域ＬＫ内の値である場合、警報発生部９に警報を発生させる。第１警報領域ＵＫは、上限許容範囲ＵＡの外側の領域を示す。第２警報領域ＬＫは下限許容範囲ＬＡの外側の領域を示す。
【0080】
続いて図１～図６を参照して基板処理システム１００が実行する基板処理方法を説明する。図５は、本実施形態の基板処理方法を示すフローチャートである。詳しくは、図５は、制御部１０２が実行する処理を示す。本実施形態の基板処理方法は、ステップＳ２１～ステップＳ２８の各処理を含む。
【0081】
図５に示す処理は、作業者が入力部１０４を操作することにより開始する。まず、制御部１０２は、基板Ｗが処理ユニット１のチャンバー２内に搬入されるように、インデクサーロボットＩＲと、センターロボットＣＲとを制御する（ステップＳ２１）。制御部１０２は、チャンバー２内に搬入された基板Ｗをスピンチャック３に保持させる。
【0082】
制御部１０２は、基板Ｗがスピンチャック３に保持されると、スピンモータ部４にスピンチャック３を回転させる。これにより、基板Ｗの回転が開始される（ステップＳ２２）。
【0083】
制御部１０２は、基板Ｗの回転開始後、昇降ユニット５２を制御して、遮断板５を近接位置まで下降させる（ステップＳ２３）。そして、開閉バルブ６３を開くことにより、気体供給ノズル６から気体を吐出させる（ステップＳ２４）。このとき、マスフローコントローラ６２は、流量センサー６２２の計測結果に基づいて、気体吐出流量が目標値と一致するように流量制御バルブ６２１を駆動する。
【0084】
気体供給ノズル６から吐出された気体は、基板Ｗの上面と遮断板５の下面との間の空間に供給される。この結果、基板Ｗの上面の周囲の雰囲気が、気体供給ノズル６から供給される気体に置換される。なお、気体供給ノズル６による気体の吐出は、遮断板５を近接位置から上昇させる前まで継続される。
【0085】
基板Ｗの上面の周囲の雰囲気が、気体供給ノズル６から供給される気体に置換された後、制御部１０２は、開閉バルブ７４を開くことにより、処理液供給ノズル７から処理液を吐出させる（ステップＳ２５）。このとき、制御部１０２は、流量センサー７３の計測結果に基づいて、処理液吐出流量が目標値と一致するように流量制御バルブ７２を駆動する。
【0086】
基板Ｗに処理液が供給されることにより、基板Ｗが処理液によって処理される。制御部１０２は、処理液を所定期間供給した後、開閉バルブ７４を閉じて、処理液の供給を停止させる。また、制御部１０２は、処理液を所定期間供給した後、開閉バルブ６３を閉じて、気体の供給を停止させる。
【0087】
制御部１０２は、処理液及び気体の供給を停止させた後、遮断板５を上昇させる（ステップＳ２６）。制御部１０２は、遮断板５を上昇させた後、スピンモータ部４を制御して基板Ｗを乾燥させる（ステップＳ２７）。
【0088】
具体的には、制御部１０２は、基板Ｗの回転速度を増大させる。この結果、基板Ｗ上の処理液に大きな遠心力が付与され、基板Ｗに付着している処理液が基板Ｗの周囲に振り切られる。このようにして、基板Ｗから処理液を除去し、基板Ｗを乾燥させる。制御部１０２は、例えば基板Ｗの高速回転を開始してから所定時間が経過した後に、スピンモータ部４による基板Ｗの回転を停止させる。
【0089】
制御部１０２は、基板Ｗを乾燥させた後、スピンチャック３による基板Ｗの保持を解除して、インデクサーロボットＩＲに、基板Ｗをチャンバー２から搬出させる（ステップＳ２８）。その後、制御部１０２は、複数のロードポートＬＰのうちの１つまで基板Ｗが搬送されるように、インデクサーロボットＩＲと、センターロボットＣＲとを制御する。その結果、図５に示す処理が終了する。
【0090】
図６は、本実施形態の基板処理方法を示すフローチャートである。詳しくは、図６は、制御部１０２が実行する警報処理を示すフローチャートである。警報処理は、気体供給ノズル６から気体を吐出させている間に実行する第１警報処理と、処理液供給ノズル７から処理液を吐出させている間に実行する第２警報処理とを含む。つまり、警報処理は、流体の供給中に実行される。
【0091】
図６に示すように、本実施形態の基板処理方法は、ステップＳ２００、ステップＳ３００、及びステップＳ４００の各処理を更に含む。詳しくは、制御部１０２は、流体の供給中に、流体吐出流量の計測値が、上限許容範囲ＵＡ又は下限許容範囲ＬＡを超えるか否かを判定する（ステップＳ２００）。制御部１０２は、流体吐出流量の計測値が上限許容範囲ＵＡ又は下限許容範囲ＬＡを超えると判定した場合（ステップＳ２００のＹｅｓ）、警報発生部９に警報を発生させて（ステップＳ３００）、図６に示す警報処理を終了する。なお、制御部１０２は、警報発生部９に警報を発生させることに応じて、図５を参照して説明した基板処理を停止する。
【0092】
制御部１０２は、流体吐出流量の計測値が上限許容範囲ＵＡ又は下限許容範囲ＬＡを超えないと判定した場合（ステップＳ２００のＮｏ）、流体の供給が終了したか否かを判定する（ステップＳ４００）。制御部１０２により、流体の供給が終了していないと判定された場合（ステップＳ４００のＮｏ）、処理は、ステップＳ２００に戻る。制御部１０２により、流体の供給が終了したと判定された場合（ステップＳ４００のＹｅｓ）、図６に示す警報処理は終了する。
【0093】
続いて図１～図８を参照して、警報処理の第１例を説明する。図７は、警報処理の第１例の一部を示すフローチャートである。図８は、警報処理の第１例の他の一部を示すフローチャートである。詳しくは、図７及び図８は、流体吐出流量の計測値が上限許容範囲ＵＡ又は下限許容範囲ＬＡを超えるか否かを判定する処理（図６のステップＳ２００）の第１例を示す。なお、以下の説明において、流体吐出流量の計測値が上限許容範囲ＵＡ又は下限許容範囲ＬＡを超えるか否かを判定する処理を、「判定処理」と記載する場合がある。図７及び図８に示すように、警報処理の第１例は、ステップＳ２０１～ステップＳ２１０を含む。
【0094】
図７に示すように、まず、制御部１０２は、流体流量の計測値が目標値ＦＴ（流体吐出流量の目標値）より大きいか否かを判定する（ステップＳ２０１）。制御部１０２は、流体流量の計測値が目標値ＦＴより大きいと判定した場合（ステップＳ２０１のＹｅｓ）、流体吐出流量の目標値ＦＴが第１閾値ＵＴ（図４参照）以上であるか否かを判定する（ステップＳ２０２）。
【0095】
制御部１０２は、流体吐出流量の目標値ＦＴが第１閾値ＵＴ以上でないと判定した場合（ステップＳ２０２のＮｏ）、すなわち、流体吐出流量の目標値ＦＴが第１閾値ＵＴより小さい判定した場合、流体流量の計測値が第１上限値ＵＬ１（図４参照）より大きいか否かを判定する（ステップＳ２０３）。
【0096】
制御部１０２は、流体流量の計測値が第１上限値ＵＬ１より大きいと判定した場合（ステップＳ２０３のＹｅｓ）、流体流量の計測値が第２上限値ＵＬ２（図４参照）より大きいか否かを判定する（ステップＳ２０４）。一方、制御部１０２により、流体流量の計測値が第１上限値ＵＬ１より大きくないと判定された場合（ステップＳ２０３のＮｏ）、処理は、図６を参照して説明したステップＳ４００に進む。
【0097】
なお、ステップＳ４００において、制御部１０２により、流体の供給が終了していないと判定された場合（ステップＳ４００のＮｏ）、処理は、ステップＳ２０１に戻る。制御部１０２により、流体の供給が終了したと判定された場合（ステップＳ４００のＹｅｓ）、図７及び図８に示す警報処理は終了する。
【0098】
制御部１０２は、流体流量の計測値が第２上限値ＵＬ２より大きいと判定した場合（ステップＳ２０４のＹｅｓ）、流体流量の計測値が上限許容範囲ＵＡを超えると判定し、警報発生部９に警報を発生させて（ステップＳ３００）、図７及び図８に示す警報処理を終了する。一方、制御部１０２により、流体流量の計測値が第２上限値ＵＬ２より大きくないと判定された場合（ステップＳ２０４のＮｏ）、処理は、図６を参照して説明したステップＳ４００に進む。
【0099】
制御部１０２は、流体吐出流量の目標値ＦＴが第１閾値ＵＴ以上であると判定した場合（ステップＳ２０２のＹｅｓ）、流体流量の計測値が第１上限値ＵＬ１より大きいか否かを判定する（ステップＳ２０５）。
【0100】
制御部１０２は、流体流量の計測値が第１上限値ＵＬ１より大きいと判定した場合（ステップＳ２０５のＹｅｓ）、流体流量の計測値が上限許容範囲ＵＡを超えると判定し、警報発生部９に警報を発生させて（ステップＳ３００）、図７及び図８に示す警報処理を終了する。一方、制御部１０２により、流体流量の計測値が第１上限値ＵＬ１より大きくないと判定された場合（ステップＳ２０５のＮｏ）、処理は、図６を参照して説明したステップＳ４００に進む。
【0101】
制御部１０２は、流体流量の計測値が目標値ＦＴより大きくないと判定した場合（ステップＳ２０１のＮｏ）、図８に示すように、流体流量の計測値が目標値ＦＴより小さいか否かを判定する（ステップＳ２０６）。制御部１０２により、流体流量の計測値が目標値ＦＴより小さくないと判定された場合（ステップＳ２０６のＮｏ）、処理は、図６を参照して説明したステップＳ４００に進む。
【0102】
制御部１０２は、流体流量の計測値が目標値ＦＴより小さいと判定した場合（ステップＳ２０６のＹｅｓ）、流体吐出流量の目標値ＦＴが第２閾値ＬＴ（図４参照）以上であるか否かを判定する（ステップＳ２０７）。
【0103】
制御部１０２は、流体吐出流量の目標値ＦＴが第２閾値ＬＴ以上でないと判定した場合（ステップＳ２０７のＮｏ）、すなわち、流体吐出流量の目標値ＦＴが第２閾値ＬＴより小さい判定した場合、流体流量の計測値が第１下限値ＬＬ１（図４参照）より小さいか否かを判定する（ステップＳ２０８）。
【0104】
制御部１０２は、流体流量の計測値が第１下限値ＬＬ１より小さいと判定した場合（ステップＳ２０８のＹｅｓ）、流体流量の計測値が第２下限値ＬＬ２（図４参照）より小さいか否かを判定する（ステップＳ２０９）。一方、制御部１０２により、流体流量の計測値が第１下限値ＬＬ１より小さくないと判定された場合（ステップＳ２０８のＮｏ）、処理は、図６を参照して説明したステップＳ４００に進む。
【0105】
制御部１０２は、流体流量の計測値が第２下限値ＬＬ２より小さいと判定した場合（ステップＳ２０９のＹｅｓ）、流体流量の計測値が下限許容範囲ＬＡを超えると判定し、警報発生部９に警報を発生させて（ステップＳ３００）、図７及び図８に示す警報処理を終了する。一方、制御部１０２により、流体流量の計測値が第２下限値ＬＬ２より小さくないと判定された場合（ステップＳ２０９のＮｏ）、処理は、図６を参照して説明したステップＳ４００に進む。
【0106】
制御部１０２は、流体吐出流量の目標値ＦＴが第２閾値ＬＴ以上であると判定した場合（ステップＳ２０７のＹｅｓ）、流体流量の計測値が第１下限値ＬＬ１より小さいか否かを判定する（ステップＳ２１０）。
【0107】
制御部１０２は、流体流量の計測値が第１下限値ＬＬ１より小さいと判定した場合（ステップＳ２１０のＹｅｓ）、流体流量の計測値が下限許容範囲ＬＡを超えると判定し、警報発生部９に警報を発生させて（ステップＳ３００）、図７及び図８に示す警報処理を終了する。一方、制御部１０２により、流体流量の計測値が第１下限値ＬＬ１より小さくないと判定された場合（ステップＳ２１０のＮｏ）、処理は、図６を参照して説明したステップＳ４００に進む。
【0108】
なお、判定処理の第１例において、制御部１０２は、流体吐出流量の目標値ＦＴが第１閾値ＵＴ以上であると判定した場合（ステップＳ２０２のＹｅｓ）、流体流量の計測値と第１上限値ＵＬ１との比較のみを行ったが、流体吐出流量の目標値ＦＴが第１閾値ＵＴ以上でない場合と同様に、制御部１０２は、流体流量の計測値と第１上限値ＵＬ１との比較に加えて、流体流量の計測値と第２上限値ＵＬ２との比較を行ってもよい。
【0109】
同様に、判定処理の第１例において、制御部１０２は、流体吐出流量の目標値ＦＴが第２閾値ＬＴ以上であると判定した場合（ステップＳ２０７のＹｅｓ）、流体流量の計測値と第１下限値ＬＬ１との比較のみを行ったが、流体吐出流量の目標値ＦＴが第２閾値ＬＴ以上でない場合と同様に、制御部１０２は、流体流量の計測値と第１下限値ＬＬ１との比較に加えて、流体流量の計測値と第２下限値ＬＬ２との比較を行ってもよい。
【0110】
続いて図１～図６、及び図９～図１０を参照して、警報処理の第２例を説明する。図９は、警報処理の第２例の一部を示すフローチャートである。図１０は、警報処理の第２例の他の一部を示すフローチャートである。詳しくは、図９及び図１０は、判定処理（図６のステップＳ２００）の第２例を示す。図９及び図１０に示すように、警報処理の第２例は、ステップＳ２２１～ステップＳ２２８を含む。
【0111】
図９に示すように、まず、制御部１０２は、流体流量の計測値が目標値ＦＴ（流体吐出流量の目標値）より大きいか否かを判定する（ステップＳ２２１）。制御部１０２は、流体流量の計測値が目標値ＦＴより大きいと判定した場合（ステップＳ２２１のＹｅｓ）、流体吐出流量の目標値ＦＴが第１閾値ＵＴ（図４参照）以上であるか否かを判定する（ステップＳ２２２）。
【0112】
制御部１０２は、流体吐出流量の目標値ＦＴが第１閾値ＵＴ以上でないと判定した場合（ステップＳ２２２のＮｏ）、すなわち、流体吐出流量の目標値ＦＴが第１閾値ＵＴより小さい判定した場合、流体流量の計測値が第２上限値ＵＬ２（図４参照）より大きいか否かを判定する（ステップＳ２２３）。
【0113】
制御部１０２は、流体流量の計測値が第２上限値ＵＬ２より大きいと判定した場合（ステップＳ２２３のＹｅｓ）、流体流量の計測値が上限許容範囲ＵＡを超えると判定し、警報発生部９に警報を発生させて（ステップＳ３００）、図９及び図１０に示す警報処理を終了する。一方、制御部１０２により、流体流量の計測値が第２上限値ＵＬ２より大きくないと判定された場合（ステップＳ２２３のＮｏ）、処理は、図６を参照して説明したステップＳ４００に進む。
【0114】
なお、ステップＳ４００において、制御部１０２により、流体の供給が終了していないと判定された場合（ステップＳ４００のＮｏ）、処理は、ステップＳ２２１に戻る。制御部１０２により、流体の供給が終了したと判定された場合（ステップＳ４００のＹｅｓ）、図９及び図１０に示す警報処理は終了する。
【0115】
制御部１０２は、流体吐出流量の目標値ＦＴが第１閾値ＵＴ以上であると判定した場合（ステップＳ２２２のＹｅｓ）、流体流量の計測値が第１上限値ＵＬ１（図４参照）より大きいか否かを判定する（ステップＳ２２４）。
【0116】
制御部１０２は、流体流量の計測値が第１上限値ＵＬ１より大きいと判定した場合（ステップＳ２２４のＹｅｓ）、流体流量の計測値が上限許容範囲ＵＡを超えると判定し、警報発生部９に警報を発生させて（ステップＳ３００）、図９及び図１０に示す警報処理を終了する。一方、制御部１０２により、流体流量の計測値が第１上限値ＵＬ１より大きくないと判定された場合（ステップＳ２２４のＮｏ）、処理は、図６を参照して説明したステップＳ４００に進む。
【0117】
制御部１０２は、流体流量の計測値が目標値ＦＴより大きくないと判定した場合（ステップＳ２２１のＮｏ）、図１０に示すように、流体流量の計測値が目標値ＦＴより小さいか否かを判定する（ステップＳ２２５）。制御部１０２により、流体流量の計測値が目標値ＦＴより小さくないと判定された場合（ステップＳ２２５のＮｏ）、処理は、図６を参照して説明したステップＳ４００に進む。
【0118】
制御部１０２は、流体流量の計測値が目標値ＦＴより小さいと判定した場合（ステップＳ２２５のＹｅｓ）、流体吐出流量の目標値ＦＴが第２閾値ＬＴ（図４参照）以上であるか否かを判定する（ステップＳ２２６）。
【0119】
制御部１０２は、流体吐出流量の目標値ＦＴが第２閾値ＬＴ以上でないと判定した場合（ステップＳ２２６のＮｏ）、すなわち、流体吐出流量の目標値ＦＴが第２閾値ＬＴより小さい判定した場合、流体流量の計測値が第２下限値ＬＬ２（図４参照）より小さいか否かを判定する（ステップＳ２２７）。
【0120】
制御部１０２は、流体流量の計測値が第２下限値ＬＬ２より小さいと判定した場合（ステップＳ２２７のＹｅｓ）、流体流量の計測値が下限許容範囲ＬＡを超えると判定し、警報発生部９に警報を発生させて（ステップＳ３００）、図９及び図１０に示す警報処理を終了する。一方、制御部１０２により、流体流量の計測値が第２下限値ＬＬ２より小さくないと判定された場合（ステップＳ２２７のＮｏ）、処理は、図６を参照して説明したステップＳ４００に進む。
【0121】
制御部１０２は、流体吐出流量の目標値ＦＴが第２閾値ＬＴ以上であると判定した場合（ステップＳ２２６のＹｅｓ）、流体流量の計測値が第１下限値ＬＬ１（図４参照）より小さいか否かを判定する（ステップＳ２２８）。
【0122】
制御部１０２は、流体流量の計測値が第１下限値ＬＬ１より小さいと判定した場合（ステップＳ２２８のＹｅｓ）、流体流量の計測値が下限許容範囲ＬＡを超えると判定し、警報発生部９に警報を発生させて（ステップＳ３００）、図９及び図１０に示す警報処理を終了する。一方、制御部１０２により、流体流量の計測値が第１下限値ＬＬ１より小さくないと判定された場合（ステップＳ２２８のＮｏ）、処理は、図６を参照して説明したステップＳ４００に進む。
【0123】
続いて図１～図６、及び図１１～図１２を参照して、警報処理の第３例を説明する。図１１は、警報処理の第３例の一部を示すフローチャートである。図１２は、警報処理の第３例の他の一部を示すフローチャートである。詳しくは、図１１及び図１２は、判定処理（図６のステップＳ２００）の第３例を示す。図１１及び図１２に示すように、警報処理の第３例は、ステップＳ２３１～ステップＳ２３６を含む。なお、判定処理の第３例では、判定処理の第１例及び第２例と異なり、第１閾値ＵＴ及び第２閾値ＬＴを用いない。したがって、記憶部１０３は、第１閾値ＵＴ及び第２閾値ＬＴを記憶しなくてもよい。
【0124】
図１１に示すように、まず、制御部１０２は、流体流量の計測値が目標値ＦＴ（流体吐出流量の目標値）より大きいか否かを判定する（ステップＳ２３１）。制御部１０２は、流体流量の計測値が目標値ＦＴより大きいと判定した場合（ステップＳ２３１のＹｅｓ）、流体流量の計測値が第１上限値ＵＬ１（図４参照）より大きいか否かを判定する（ステップＳ２３２）。
【0125】
制御部１０２は、流体流量の計測値が第１上限値ＵＬ１より大きいと判定した場合（ステップＳ２３２のＹｅｓ）、流体流量の計測値が第２上限値ＵＬ２（図４参照）より大きいか否かを判定する（ステップＳ２３３）。一方、制御部１０２により、流体流量の計測値が第１上限値ＵＬ１より大きくないと判定された場合（ステップＳ２３２のＮｏ）、処理は、図６を参照して説明したステップＳ４００に進む。
【0126】
なお、ステップＳ４００において、制御部１０２により、流体の供給が終了していないと判定された場合（ステップＳ４００のＮｏ）、処理は、ステップＳ２３１に戻る。制御部１０２により、流体の供給が終了したと判定された場合（ステップＳ４００のＹｅｓ）、図１１及び図１２に示す警報処理は終了する。
【0127】
制御部１０２は、流体流量の計測値が第２上限値ＵＬ２より大きいと判定した場合（ステップＳ２３３のＹｅｓ）、流体流量の計測値が上限許容範囲ＵＡを超えると判定し、警報発生部９に警報を発生させて（ステップＳ３００）、図１１及び図１２に示す警報処理を終了する。一方、制御部１０２により、流体流量の計測値が第２上限値ＵＬ２より大きくないと判定された場合（ステップＳ２３３のＮｏ）、処理は、図６を参照して説明したステップＳ４００に進む。
【0128】
制御部１０２は、流体流量の計測値が目標値ＦＴより大きくないと判定した場合（ステップＳ２３１のＮｏ）、図１２に示すように、流体流量の計測値が目標値ＦＴより小さいか否かを判定する（ステップＳ２３４）。制御部１０２により、流体流量の計測値が目標値ＦＴより小さくないと判定された場合（ステップＳ２３４のＮｏ）、処理は、図６を参照して説明したステップＳ４００に進む。
【0129】
制御部１０２は、流体流量の計測値が目標値ＦＴより小さいと判定した場合（ステップＳ２３４のＹｅｓ）、流体流量の計測値が第１下限値ＬＬ１（図４参照）より小さいか否かを判定する（ステップＳ２３５）。
【0130】
制御部１０２は、流体流量の計測値が第１下限値ＬＬ１より小さいと判定した場合（ステップＳ２３５のＹｅｓ）、流体流量の計測値が第２下限値ＬＬ２（図４参照）より小さいか否かを判定する（ステップＳ２３６）。一方、制御部１０２により、流体流量の計測値が第１下限値ＬＬ１より小さくないと判定された場合（ステップＳ２３５のＮｏ）、処理は、図６を参照して説明したステップＳ４００に進む。
【0131】
制御部１０２は、流体流量の計測値が第２下限値ＬＬ２より小さいと判定した場合（ステップＳ２３６のＹｅｓ）、流体流量の計測値が下限許容範囲ＬＡを超えると判定し、警報発生部９に警報を発生させて（ステップＳ３００）、図１１及び図１２に示す警報処理を終了する。一方、制御部１０２により、流体流量の計測値が第２下限値ＬＬ２より小さくないと判定された場合（ステップＳ２３６のＮｏ）、処理は、図６を参照して説明したステップＳ４００に進む。
【0132】
続いて図１～図３、及び図１３（ａ）～図１６を参照して、本実施形態の基板処理システム１００を更に説明する。詳しくは、続いて図１～図３、及び図１３（ａ）～図１６を参照して、気体吐出流量の目標値を設定する処理と、処理液吐出流量の目標値を設定する処理とを説明する。なお、以下の説明において、気体吐出流量の目標値を「第１目標値」と記載する場合がある。同様に、処理液吐出流量の目標値を「第２目標値」と記載する場合がある。
【0133】
【0134】
図１３（ａ）に示すように、レシピデータＲＤは、第１フィールドＦ１～第３フィールドＦ３を有する。第１フィールドＦ１には、気体吐出流量の目標値が設定される。本実施形態において、第１フィールドＦ１には、補正テーブルＴＡが設定される。第２フィールドＦ２には、処理液吐出流量の初期の目標値ＥＭが設定される。第３フィールドＦ３には、処理液吐出流量の初期の目標値ＥＭに対する補正値ＥＨが設定される。
【0135】
図１３（ｂ）に示すように、補正テーブルＴＡは、第１フィールドＦ１１～第３フィールドＦ１３を有する。第１フィールドＦ１１には、複数の処理ユニット１（本実施形態では第１処理ユニット＃１～第８処理ユニット＃８）の各々に割り当てられた識別符号（＃１～＃８）が設定される。第２フィールドＦ１２には、処理ユニット１ごとに、気体吐出流量の初期の目標値ＧＭが設定される。第３フィールドＦ１３には、処理ユニット１ごとに、気体吐出流量の初期の目標値ＧＭに対する補正値ＧＨ（ＧＨ１～ＧＨ８）が設定される。以下、気体吐出流量の初期の目標値ＧＭに対する補正値を、「第１補正値」と記載する場合がある。
【0136】
なお、複数の処理ユニット１間において、気体吐出流量の初期の目標値ＧＭは同じ値を示す。第１補正値ＧＨ（ＧＨ１～ＧＨ８）には、処理ユニット１ごとに算出された値が設定される。具体的には、複数の第１補正値ＧＨ（ＧＨ１～ＧＨ８）は、複数の処理ユニット１のうちの特定の一つに装備されている気体供給ノズル６から吐出される気体の流量に基づいて設定される。換言すると、複数の第１補正値ＧＨ（ＧＨ１～ＧＨ８）は、複数のチャンバー２のうちの特定の一つに収容されている気体供給ノズル６から吐出される気体の流量に基づいて設定される。
【0137】
まず、気体吐出流量の目標値を設定する処理を説明する。本実施形態において、制御部１０２は、処理ユニット１ごとに気体吐出流量の目標値を設定する。換言すると、制御部１０２は、複数の処理ユニット１に装備されている気体供給ノズル６ごとに気体吐出流量の目標値（第１目標値）を設定する。すなわち、制御部１０２は複数の第１目標値を設定する。制御部１０２は、目標値設定部の一例である。
【0138】
詳しくは、制御部１０２は、気体吐出流量の目標値を設定する際に、レシピデータＲＤの第１フィールドＦ１を参照し、補正テーブルＴＡを読み出す。そして、補正テーブルＴＡを参照し、気体吐出流量の初期の目標値ＧＭを、複数の第１補正値ＧＨ（ＧＨ１～ＧＨ８）に基づいて処理ユニット１（気体供給ノズル６）ごとに補正して、複数の第１目標値を設定する。例えば、制御部１０２は、目標値ＧＭに対して第１補正値ＧＨ１を加算又は減算して、第１処理ユニット＃１に対する第１目標値を設定する。
【0139】
続いて、処理液吐出流量の目標値を設定する処理を説明する。なお、以下の説明において、処理液吐出流量の初期の目標値ＥＭに対する補正値を、「第２補正値」と記載する場合がある。
【0140】
本実施形態において、制御部１０２は、処理液吐出流量の目標値を設定する際に、レシピデータＲＤの第２フィールドＦ２及び第３フィールドＦ３を参照し、処理液吐出流量の初期の目標値ＥＭを第２補正値ＥＨに基づいて補正して、第２目標値を設定する。第２補正値ＥＨは、複数の基板処理システム１００のうちの特定の一つに搭載されている処理液供給ノズル７から吐出される処理液の流量に基づいて設定される。
【0141】
続いて図１４（ａ）及び図１４（ｂ）を参照して第１補正値ＧＨを取得する方法を説明する。図１４（ａ）は、第１補正値ＧＨを取得するためのシステムを示す図である。図１４（ａ）に示すように、本実施形態では、第１補正値ＧＨを取得するために情報処理装置２００を用いる。情報処理装置２００は、演算処理が可能な機器である限り、特に限定されない。例えば、情報処理装置２００は、パーソナルコンピュータやスマートフォンのようなコンピュータデバイスであってもよい。
【0142】
情報処理装置２００は、基板処理システム１００から、処理ユニット１（気体供給ノズル６）ごとに、気体流量の計測結果を取得する。例えば、基板処理システム１００と情報処理装置２００とを通信可能に接続して、基板処理システム１００から情報処理装置２００へ、気体流量の計測結果を示すデータを送信してもよい。通信媒体は、通信ケーブルであってもよいし、無線であってもよい。あるいは、データを保持する媒体を用いてもよい。例えば、データを保持する媒体として、コンパクトディスク又はＤＶＤのような光ディスク、あるいはＵＳＢメモリのような記憶装置を用いてもよい。
【0143】
【0144】
図１４（ｂ）に示すように、情報処理装置２００は、まず、気体流量の計測結果に基づいて、処理ユニット１ごとに気体流量の平均値を算出する（ステップＳ４０１）。
【0145】
情報処理装置２００は、処理ユニット１ごとに気体流量の平均値を算出した後、複数の処理ユニット１のうちから、気体流量の平均値が初期の目標値ＧＭと同じ値を示す処理ユニット１、又は気体流量の平均値が初期の目標値ＧＭに最も近い値を示す処理ユニット１を、基準処理ユニット１Ｒとして決定する（ステップＳ４０２）。
【0146】
情報処理装置２００は、基準処理ユニット１Ｒを決定した後、第１補正値ＧＨとして、基準処理ユニット１Ｒの気体流量の平均値と、他の処理ユニット１の気体流量の平均値との差分値を求めて（ステップＳ４０３）、図１４（ｂ）に示す処理を終了する。なお、基準処理ユニット１Ｒの第１補正値ＧＨの値は「０」となる。例えば、図１３（ｂ）に示す例では、第４処理ユニット＃４が基準処理ユニット１Ｒである。
【0147】
続いて図１５及び図１６を参照して第２補正値ＥＨを取得する方法を説明する。図１５は、第２補正値ＥＨを取得するためのシステムを示す図である。図１５に示すように、本実施形態では、第２補正値ＥＨを取得するために情報処理装置２００を用いる。
【0148】
情報処理装置２００は、複数の基板処理システム１００から、処理液流量の計測結果を取得する。なお、情報処理装置２００が一つの基板処理システム１００から取得する処理液流量の計測結果は、複数の処理ユニット１のうちの特定の一つに装備されている処理液供給ノズル７から吐出された処理液の流量の計測値であってもよいし、複数の処理ユニット１に装備されている各処理液供給ノズル７から吐出された処理液の流量の計測値であってもよい。
【0149】
【0150】
図１６に示すように、情報処理装置２００は、まず、処理液流量の計測結果に基づいて、基板処理システム１００ごとに処理液流量の平均値を算出する（ステップＳ４１１）。
【0151】
情報処理装置２００は、基板処理システム１００ごとに処理液流量の平均値を算出した後、複数の基板処理システム１００のうちから、処理液流量の平均値が初期の目標値ＥＭと同じ値を示す基板処理システム１００、又は処理液流量の平均値が初期の目標値ＥＭに最も近い値を示す基板処理システム１００を、基準処理システム１００Ｒとして決定する（ステップＳ４１２）。
【0152】
情報処理装置２００は、基準処理システム１００Ｒを決定した後、第２補正値ＥＨとして、基準処理システム１００Ｒの処理液流量の平均値と、他の基板処理システム１００の処理液流量の平均値との差分値を求めて（ステップＳ４１３）、図１６に示す処理を終了する。なお、基準処理システム１００Ｒの第２補正値ＥＨの値は「０」となる。
【0153】
続いて図１～図３、図１３（ａ）、図１３（ｂ）、及び図１７（ａ）～図１８（ｂ）を参照して、基板処理システム１００が実行する基板処理方法を説明する。図１７（ａ）は、本実施形態の基板処理方法を示すフローチャートである。詳しくは、図１７（ａ）は、制御部１０２が実行する処理を示す。本実施形態の基板処理方法は、目標値を設定するステップ（ステップＳ１）と、基板Ｗを処理するステップ（ステップＳ２）とを含む。
【0154】
図１７（ａ）に示すように、制御部１０２は、基板Ｗの処理を開始する前に、気体吐出流量の目標値（第１目標値）と、処理液吐出流量の目標値（第２目標値）とを設定する（ステップＳ１）。制御部１０２は、気体吐出流量の目標値（第１目標値）と、処理液吐出流量の目標値（第２目標値）とを設定した後、図５及び図６を参照して説明したように基板Ｗを処理する（ステップＳ２）。
【0155】
図１７（ｂ）は、目標値を設定する処理を示すフローチャートである。図１７（ｂ）に示すように、制御部１０２は、気体吐出流量の目標値（第１目標値）を設定した後（ステップＳ１１）、処理液吐出流量の目標値（第２目標値）を設定する（ステップＳ１２）。制御部１０２は、図１３（ａ）及び図１３（ｂ）を参照して説明したように、気体吐出流量の目標値を設定する際に、複数の第１目標値を設定する。なお、制御部１０２は、処理液吐出流量の目標値を設定した後に、気体吐出流量の目標値を設定してもよい。
【0156】
図１８（ａ）は、気体吐出流量の目標値（第１目標値）を設定する処理を示すフローチャートである。図１８（ａ）に示すように、制御部１０２は、気体吐出流量の初期の目標値ＧＭを、複数の第１補正値ＧＨ（ＧＨ１～ＧＨ８）に基づいて処理ユニット１（気体供給ノズル６）ごとに補正する（ステップＳ１１１）。そして、補正後の目標値（第１目標値）を処理ユニット１ごとに設定して（ステップＳ１１２）、図１８（ａ）に示す処理を終了する。
【0157】
図１８（ｂ）は、処理液吐出流量の目標値（第２目標値）を設定する処理を示すフローチャートである。図１８（ｂ）に示すように、制御部１０２は、処理液吐出流量の初期の目標値ＥＭを、第２補正値ＥＨに基づいて補正する（ステップＳ１２１）。そして、補正後の目標値（第２目標値）を設定して（ステップＳ１２２）、図１８（ｂ）に示す処理を終了する。
【0158】
なお、本実施形態において、気体吐出流量及び処理液吐出流量の目標値を補正する処理を説明したが、目標値を補正する対象は、気体吐出流量及び処理液吐出流量に限定されない。目標値を補正する対象は、流体の流量であればよい。例えば、処理液吐出流量と同様に、循環流量の目標値を補正してもよい。
【0159】
図１９は、本実施形態の基板処理システム１００の構成を示す図である。詳しくは、図１９は、流体ボックス１００Ａの内部を示す。図１９に示すように、基板処理システム１００は、循環配管１１１と、処理液貯留部１１２と、循環ポンプ１１３と、流量センサー１１４と、流量制御バルブ１１５とを更に備える。循環配管１１１、処理液貯留部１１２、循環ポンプ１１３、流量センサー１１４、及び流量制御バルブ１１５は、流体ボックス１００Ａに収容される。
【0160】
処理液貯留部１１２は、処理液を貯留する。循環配管１１１は、処理液貯留部１１２を介して処理液を循環させる。循環ポンプ１１３、流量センサー１１４、及び流量制御バルブ１１５は、循環配管１１１に設けられる。
【0161】
循環ポンプ１１３は、処理液を流体の圧力により駆動する。具体的には、循環ポンプ１１３は、循環配管１１１を流通するように処理液を流体の圧力により駆動する。流量センサー１１４は、循環配管１１１を流通する処理液の流量を計測する。流量制御バルブ１１５は、循環配管１１１を流通する処理液の流量を制御する。
【0162】
制御部１０２は、処理液吐出流量と同様に、循環流量の目標値を補正する。具体的には、レシピデータＲＤに、循環流量の初期の目標値と、循環流量の初期の目標値に対する補正値とが設定される。制御部１０２は、循環流量の初期の目標値に対する補正値に基づいて、循環流量の初期の目標値を補正する。そして、補正後の目標値を設定する。循環流量の初期の目標値に対する補正値は、処理液吐出流量の初期の目標値ＥＭに対する補正値ＥＨ（第２補正値）と同様に算出されてもよい。
【0163】
以上、図１～図１９を参照して説明して本発明の実施形態を説明した。本実施形態によれば、流体吐出流量の目標値ＦＴが第１閾値ＵＴよりも大きい値を示す場合、上限許容範囲ＵＡは第１上限値ＵＬ１を上限値とする。第１上限値ＵＬ１は、流体吐出流量の目標値ＦＴに第１所定割合を乗じた値を目標値ＦＴに加算した値を示す。したがって、目標値ＦＴが大きいほど、上限許容範囲ＵＡの上限値（第１上限値ＵＬ１）は大きくなる。よって、目標値ＦＴが大きい値を示す場合、第２上限値ＵＬ２（流体吐出流量の目標値ＦＴに第１オフセット値を加算した値）を上限値とする場合に比べて、上限許容範囲ＵＡがより広くなるため、装置間誤差に起因する警報が発生し難くなる。
【0164】
また、流体吐出流量の目標値ＦＴが第１閾値ＵＴよりも小さい値を示す場合、上限許容範囲ＵＡは第２上限値ＵＬ２を上限値とする。したがって、流体吐出流量の目標値ＦＴが第１閾値ＵＴよりも小さい値を示す場合、上限許容範囲ＵＡの上限値は第１上限値ＵＬ１よりも大きくなる。よって、目標値ＦＴがより小さい値を示す場合、第１上限値ＵＬ１を上限値とする場合に比べて、上限許容範囲ＵＡがより広くなるため、装置間誤差に起因する警報が発生し難くなる。
【0165】
下限許容範囲ＬＡも、上限許容範囲ＵＡと同様に、第２閾値ＬＴを境に第１下限値ＬＬ１と第２下限値ＬＬ２との間で下限値が変化するため、装置間誤差に起因する警報が発生し難くなる。
【0166】
また、本実施形態によれば、処理ユニット１ごとに気体吐出流量の目標値を補正することができる。したがって、処理ユニット１間の誤差に起因する警報が発生し難くなる。なお、処理ユニット１間の誤差には、例えば、マスフローコントローラ６２間のバラつきが含まれる。
【0167】
また、本実施形態によれば、基板処理システム１００ごとに処理液吐出流量の目標値や循環流量の目標値を補正することができる。したがって、基板処理システム１００間の誤差に起因する警報が発生し難くなる。
【0168】
なお、本発明は、上記の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の態様において実施できる。また、上記の実施形態に開示される複数の構成要素は適宜改変可能である。例えば、ある実施形態に示される全構成要素のうちのある構成要素を別の実施形態の構成要素に追加してもよく、又は、ある実施形態に示される全構成要素のうちのいくつかの構成要素を実施形態から削除してもよい。
【0169】
図面は、発明の理解を容易にするために、それぞれの構成要素を主体に模式的に示しており、図示された各構成要素の厚さ、長さ、個数、間隔等は、図面作成の都合上から実際とは異なる場合もある。また、上記の実施形態で示す各構成要素の構成は一例であって、特に限定されるものではなく、本発明の効果から実質的に逸脱しない範囲で種々の変更が可能であることは言うまでもない。
【0170】
例えば、図１～図１９を参照して説明した実施形態では、基板Ｗを保持する構成として、基板Ｗを挟持する挟持式のチャックについて説明したが、基板Ｗを保持する構成として、バキューム式のチャックが採用されてもよい。
【0171】
また、図１～図１９を参照して説明した実施形態では、初期の目標値に対する補正値を算出するために情報処理装置２００が用いられたが、情報処理装置２００に替えて、基板処理システム１００の制御部１０２を用いてもよい。
【0172】
また、図１～図１９を参照して説明した実施形態において、基板処理システム１００は、基板Ｗを１枚ずつ処理する枚葉式の装置であったが、基板処理システム１００は複数の基板Ｗを同時に処理するバッチ式の装置であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【0173】
本発明は、処理液を用いて基板を処理する分野に有用である。
【符号の説明】
【0174】
１ ：処理ユニット
１Ｒ ：基準処理ユニット
２ ：チャンバー
６ ：気体供給ノズル
７ ：処理液供給ノズル
９ ：警報発生部
６１ ：気体供給配管
６２ ：マスフローコントローラ
７１ ：処理液供給配管
７２ ：流量制御バルブ
７３ ：流量センサー
１００ ：基板処理システム
１００Ｒ ：基準処理システム
１０１ ：制御装置
１０２ ：制御部
１０３ ：記憶部
６２１ ：流量制御バルブ
６２２ ：流量センサー
ＥＨ ：補正値（第２補正値）
ＥＭ ：目標値
ＦＴ ：目標値
ＧＨ ：補正値（第１補正値）
ＧＭ ：目標値
ＬＡ ：下限許容範囲
ＬＬ１ ：第１下限値
ＬＬ２ ：第２下限値
ＬＴ ：第２閾値
ＲＤ ：レシピデータ
ＴＡ ：補正テーブル
ＵＡ ：上限許容範囲
ＵＬ１ ：第１上限値
ＵＬ２ ：第２上限値
ＵＴ ：第１閾値
Ｗ ：基板
１Ｒ ：基準処理ユニット
２ ：チャンバー
６ ：気体供給ノズル
７ ：処理液供給ノズル
９ ：警報発生部
６１ ：気体供給配管
６２ ：マスフローコントローラ
７１ ：処理液供給配管
７２ ：流量制御バルブ
７３ ：流量センサー
１００ ：基板処理システム
１００Ｒ ：基準処理システム
１０１ ：制御装置
１０２ ：制御部
１０３ ：記憶部
６２１ ：流量制御バルブ
６２２ ：流量センサー
ＥＨ ：補正値（第２補正値）
ＥＭ ：目標値
ＦＴ ：目標値
ＧＨ ：補正値（第１補正値）
ＧＭ ：目標値
ＬＡ ：下限許容範囲
ＬＬ１ ：第１下限値
ＬＬ２ ：第２下限値
ＬＴ ：第２閾値
ＲＤ ：レシピデータ
ＴＡ ：補正テーブル
ＵＡ ：上限許容範囲
ＵＬ１ ：第１上限値
ＵＬ２ ：第２上限値
ＵＴ ：第１閾値
Ｗ ：基板
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】