知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022134760
(43)【公開日】2022-09-15
(54)【発明の名称】ガラス－金属複合体
(51)【国際特許分類】
C23C 24/08 20060101AFI20220908BHJP
C03C 10/00 20060101ALI20220908BHJP
H05B 3/10 20060101ALI20220908BHJP
H01M 8/12 20160101ALN20220908BHJP
H01M 8/22 20060101ALN20220908BHJP
【ＦＩ】
C23C24/08 C
C03C10/00
H05B3/10 C
H01M8/12 101
H01M8/22
【審査請求】未請求
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021034133
(22)【出願日】2021-03-04
(71)【出願人】
【識別番号】000004293
【氏名又は名称】株式会社ノリタケカンパニーリミテド
(74)【代理人】
【識別番号】100117606
【弁理士】
【氏名又は名称】安部 誠
(72)【発明者】
【氏名】山田 祐貴
【テーマコード（参考）】
3K092
4G062
4K044
5H126
【Ｆターム（参考）】
3K092PP20
3K092QA05
3K092VV34
4G062AA11
4G062BB01
4G062CC10
4G062DA05
4G062DA06
4G062DB02
4G062DB03
4G062DC01
4G062DD01
4G062DE01
4G062DE02
4G062DE03
4G062DF01
4G062EA01
4G062EB01
4G062EC01
4G062ED03
4G062ED04
4G062EE03
4G062EE04
4G062EF01
4G062EG01
4G062EG02
4G062EG03
4G062EG04
4G062EG05
4G062FA01
4G062FA10
4G062FB01
4G062FC01
4G062FD01
4G062FE01
4G062FF01
4G062FG01
4G062FH01
4G062FJ01
4G062FK01
4G062FK02
4G062FK03
4G062FL01
4G062GA01
4G062GA10
4G062GB01
4G062GC01
4G062GD01
4G062GE01
4G062HH01
4G062HH03
4G062HH05
4G062HH07
4G062HH09
4G062HH11
4G062HH13
4G062HH15
4G062HH17
4G062HH20
4G062JJ01
4G062JJ03
4G062JJ05
4G062JJ07
4G062JJ10
4G062KK01
4G062KK03
4G062KK05
4G062KK07
4G062KK10
4G062MM06
4G062MM23
4G062MM40
4G062NN31
4G062NN40
4G062QQ00
4K044AA02
4K044AA06
4K044AB10
4K044BA11
4K044BA14
4K044BB01
4K044BC02
4K044BC11
4K044CA22
4K044CA24
4K044CA27
4K044CA53
5H126BB06
(57)【要約】
【課題】少なくとも１０００℃の耐熱性および耐窒化性の両立が好適に実現され得るガラス－金属複合体を提供すること。
【解決手段】ここで開示されるガラス－金属複合体１は、ガラス部材２と、セラミック部材３と、それらに挟持された金属部材４とを備えている。金属部材４は、その一の短辺側に、金属製の２本のリード５を備えている。ここで、ガラス部材２においては、アモルファスマトリックス中に結晶化部分が混在しており、かつ、該ガラス部材を構成するガラス粉の圧粉体から成る焼成体を、次の条件：温度；１０００℃（大気雰囲気中）、時間；１００時間において、放置したときの、該放置前後の熱膨張係数の変化率が１０％以下である。
【選択図】図１
【解決手段】ここで開示されるガラス－金属複合体１は、ガラス部材２と、セラミック部材３と、それらに挟持された金属部材４とを備えている。金属部材４は、その一の短辺側に、金属製の２本のリード５を備えている。ここで、ガラス部材２においては、アモルファスマトリックス中に結晶化部分が混在しており、かつ、該ガラス部材を構成するガラス粉の圧粉体から成る焼成体を、次の条件：温度；１０００℃（大気雰囲気中）、時間；１００時間において、放置したときの、該放置前後の熱膨張係数の変化率が１０％以下である。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
金属部材と、
該金属部材の少なくとも一部を被覆するガラス部材と、
を備えるガラス－金属複合体であって、
前記ガラス部材において、アモルファスマトリックス中に結晶化部分が混在しており、かつ、該ガラス部材を構成するガラス粉の圧粉体から成る焼成体を、以下の条件：
温度：１０００℃（大気雰囲気中）；
時間：１００時間；
において放置したときの、該放置前後の熱膨張係数の変化率が１０％以下である、ガラス－金属複合体。
該金属部材の少なくとも一部を被覆するガラス部材と、
を備えるガラス－金属複合体であって、
前記ガラス部材において、アモルファスマトリックス中に結晶化部分が混在しており、かつ、該ガラス部材を構成するガラス粉の圧粉体から成る焼成体を、以下の条件：
温度：１０００℃（大気雰囲気中）；
時間：１００時間；
において放置したときの、該放置前後の熱膨張係数の変化率が１０％以下である、ガラス－金属複合体。
【請求項2】
前記金属部材は、一対の幅広面を備えたシート状または板状の形状を有しており、
前記ガラス部材は、該シート状または板状の金属部材の少なくとも一方の幅広面の少なくとも一部分を被覆している、請求項１に記載のガラス－金属複合体。
前記ガラス部材は、該シート状または板状の金属部材の少なくとも一方の幅広面の少なくとも一部分を被覆している、請求項１に記載のガラス－金属複合体。
【請求項3】
前記金属部材の他方の幅広面の少なくとも一部分は、セラミックを主体として構成される部材によって被覆されている、請求項２に記載のガラス－金属複合体。
【請求項4】
前記ガラス部材は、酸化物換算のモル比で以下の組成：
ＭｇＯ：４～３０モル％
ＣａＯ：４～２５モル％
ＢａＯ：０～４５モル％
ＺｎＯ：０～１０モル％
Ａｌ２Ｏ３：０．１～５モル％
ＳｉＯ２：３５～５５モル％
Ｌａ２Ｏ３：０～５モル％
を含む、請求項１から３のいずれか一項に記載のガラス－金属複合体。
ＭｇＯ：４～３０モル％
ＣａＯ：４～２５モル％
ＢａＯ：０～４５モル％
ＺｎＯ：０～１０モル％
Ａｌ２Ｏ３：０．１～５モル％
ＳｉＯ２：３５～５５モル％
Ｌａ２Ｏ３：０～５モル％
を含む、請求項１から３のいずれか一項に記載のガラス－金属複合体。
【請求項5】
前記ガラス部材のアルキメデス法に基づく相対密度は、９５％以上である、請求項１から４のいずれか一項に記載のガラス－金属複合体。
【請求項6】
前記ガラス部材は、アルカリ金属元素、鉛、ヒ素、カドミウムを含まない、請求項１から５のいずれか一項に記載のガラス－金属複合体。
【請求項7】
前記ガラス部材における３０℃から５００℃までの熱膨張係数は、８．０×１０－６Ｋ－１～１３．０×１０－６Ｋ－１である、請求項１から６のいずれか一項に記載のガラス－金属複合体。
【請求項8】
前記金属部材は、Ｆｅ、ＣｒおよびＡｌを構成元素として含む、請求項１から７のいずれか一項に記載のガラス－金属複合体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ガラス－金属複合体に関する。
【背景技術】
【0002】
窒素やアンモニアに曝されるヒーター部材、ＮＯｘに曝される自動車排ガス浄化用部材、アンモニアを燃料とする固体酸化物形燃料電池部材等、高温かつ窒素元素が含有された雰囲気下で使用される各種部材には、耐熱性および耐窒化性等の機能を有する材料が好ましく用いられる。かかる機能を有する材料の一例として、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）やジルコニア（ＺｒＯ２）等のセラミック材料が挙げられる。例えば、下記特許文献１には、アルミナからなる板状のセラミック体と、該セラミック体の内部に埋設された発熱体（金属部材）とを備えたセラミックヒーター素子が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特許第３９３５１６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、本発明者らの検討によると、アルミナ等からなるセラミック体は、ステンレス系などの汎用的な金属部材の耐熱温度（典型的には、９００～１０００℃）以下の温度で緻密化されにくい（即ち、相対密度が低減されたものしか得ることができない）ことが分かった。これにより、セラミック体のガスバリア性が低下するため、金属部材が腐食され易くなるという知見を得た。これに対して、例えばガラス材料によると、典型的には８００～９００℃程度で焼成することによって、相対密度の高いガラス部材を得ることができるとされる。しかしながら、種々の用途に使用するという観点から、従来のガラス部材と比較してより高い耐熱温度（例えば、１０００℃以上）を具備することが要求されており、まだまだ改善の余地が残されていた。
【0005】
本発明は、かかる事情に鑑みてなさなれたものであり、その主な目的は、金属部材がガラス部材によって被覆された複合体であって、少なくとも１０００℃（好ましくは、１１００℃以上）の耐熱性と、耐窒化性とが、好適に両立され得る複合体を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
かかる目的を実現するべく、本発明は、金属部材と、該金属部材の少なくとも一部を被覆するガラス部材とを備えるガラス－金属複合体を提供する。上記ガラス部材において、アモルファスマトリックス中に結晶化部分が混在している。そして、上記ガラス部材を構成するガラス粉の圧粉体から成る焼成体を、以下の条件：
温度：１０００℃（大気雰囲気中）；
時間：１００時間；
において放置したときの、該放置前後の熱膨張係数の変化率が１０％以下である（以下、かかる条件を満たす態様を、単に「少なくとも１０００℃の耐熱性を有する」ともいう）。
温度：１０００℃（大気雰囲気中）；
時間：１００時間；
において放置したときの、該放置前後の熱膨張係数の変化率が１０％以下である（以下、かかる条件を満たす態様を、単に「少なくとも１０００℃の耐熱性を有する」ともいう）。
【0007】
上述したように、ガラス材料は比較的緻密化され易いとされるため、該ガラス材料を焼成して得られるガラス部材によると、優れた相対密度を実現することができる。これによって、耐窒化性を好適に実現することができる。また、ガラス部材が、アモルファスマトリックス中に結晶化部分が混在する構成を有し、かつ、少なくとも１０００℃の耐熱性を有するため、優れた耐熱性を実現することができる。
【0008】
ここで開示されるガラス－金属複合体の好ましい一態様では、上記金属部材は、一対の幅広面を備えたシート状または板状の形状をしており、上記ガラス部材は、該シート状または板状の金属部材の少なくとも一方の幅広面の少なくとも一部分を被覆している。かかる構成のガラス－金属複合体によると、耐熱性および耐窒化性の両立がより好適に実現され得る。また、上記金属部材の他方の幅広面の少なくとも一部分が、セラミックを主体として構成される部材によって被覆されている態様のガラス－金属複合体は、種々の工業製品に使用することができるため、好ましい。
【0009】
ここで開示されるガラス－金属複合体の好ましい一態様では、上記ガラス部材は、酸化物換算のモル比で以下の組成、ＭｇＯ：４～３０モル％、ＣａＯ：４～２５モル％、ＢａＯ：０～４５モル％、ＺｎＯ：０～１０モル％、Ａｌ２Ｏ３：０．１～５モル％、ＳｉＯ２：３５～５５モル％、Ｌａ２Ｏ３：０～５モル％を含む。
かかる組成のガラス部材によると、耐熱性および耐窒化性の両立をより好適に実現することができる。
かかる組成のガラス部材によると、耐熱性および耐窒化性の両立をより好適に実現することができる。
【0010】
ここで開示されるガラス－金属複合体の好ましい一態様では、上記ガラス部材のアルキメデス法に基づく相対密度は、９５％以上である。
ガラス部材が上述したような高い相対密度を有することにより、耐窒化性により優れたガラス－金属複合体を得ることができる。なお、かかる相対密度の算出方法の詳細については後述する。
ガラス部材が上述したような高い相対密度を有することにより、耐窒化性により優れたガラス－金属複合体を得ることができる。なお、かかる相対密度の算出方法の詳細については後述する。
【0011】
ここで開示されるガラス－金属複合体の好ましい一態様では、上記ガラス部材は、アルカリ金属元素、鉛、ヒ素、カドミウムを含まない。
かかる構成のガラス部材を備えたガラス－金属複合体によると、焼成時に人体や環境への悪影響を及ぼし得る物質が生成することを未然に防止することができるため、好ましい。
かかる構成のガラス部材を備えたガラス－金属複合体によると、焼成時に人体や環境への悪影響を及ぼし得る物質が生成することを未然に防止することができるため、好ましい。
【0012】
ここで開示されるガラス－金属複合体の好ましい一態様では、上記ガラス部材における３０℃から５００℃までの熱膨張係数は、８．０×１０－６Ｋ－１～１３．０×１０－６Ｋ－１である。被覆部分の破損を好適に防止するという観点から、ガラス部材の熱膨張係数は、被覆対象である金属部材の熱膨張係数に近似させることが好ましい。かかる熱膨張係数を有するガラス部材を備えたガラス－金属複合体によると、被覆部分の破損が好適に抑制されるため、好ましい。
【0013】
ここで開示されるガラス－金属複合体の好ましい一態様では、上記金属部材は、Ｆｅ、ＣｒおよびＡｌを構成元素として含む。かかる構成の金属部材は、例えば１０００℃以上の耐熱性に優れるため、好ましく用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【0014】
【図1】一実施形態に係るガラス－金属複合体を説明するための分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0015】
以下、本発明の好適な実施形態について説明する。なお、本明細書において特に言及している事項以外の事柄であって本発明の実施に必要な事柄は、当該分野における従来技術に基づく当業者の設計事項として把握され得る。本発明は、本明細書に開示されている内容と当該分野における技術常識とに基づいて実施することができる。なお、以下の実施形態は、ここで開示される技術をかかる実施形態に限定することを意図したものではない。また、本明細書にて示す図面では、同じ作用を奏する部材・部位に同じ符号を付して説明している。そして、各図における寸法関係（長さ、幅、厚さ等）は実際の寸法関係を反映するものではない。
なお、本明細書および特許請求の範囲において、所定の数値範囲をＡ～Ｂ（Ａ、Ｂは任意の数値）と記すときは、Ａ以上Ｂ以下の意味である。したがって、Ａを上回り且つＢを下回る場合を包含する。
なお、本明細書および特許請求の範囲において、所定の数値範囲をＡ～Ｂ（Ａ、Ｂは任意の数値）と記すときは、Ａ以上Ｂ以下の意味である。したがって、Ａを上回り且つＢを下回る場合を包含する。
【0016】
≪ガラス－金属複合体１≫
図１は、一実施形態に係るガラス－金属複合体１（具体的には、セラミックヒーター素子）を説明するための分解斜視図である。本実施形態に係るガラス－金属複合体１は大まかにいって、ガラス部材２と、セラミック部材３と、それらに挟持された金属部材４（発熱体に相当する）とを備えている。図１に示すように、本実施形態に係る金属部材４は矩形の板状であって、その一の短辺側に、金属製の２本のリード５（発熱体リードに相当する）を備えている。以下、各構成要素について詳細に説明する。
図１は、一実施形態に係るガラス－金属複合体１（具体的には、セラミックヒーター素子）を説明するための分解斜視図である。本実施形態に係るガラス－金属複合体１は大まかにいって、ガラス部材２と、セラミック部材３と、それらに挟持された金属部材４（発熱体に相当する）とを備えている。図１に示すように、本実施形態に係る金属部材４は矩形の板状であって、その一の短辺側に、金属製の２本のリード５（発熱体リードに相当する）を備えている。以下、各構成要素について詳細に説明する。
【0017】
＜ガラス部材２＞
本実施形態に係るガラス部材２は、少なくとも１０００℃の耐熱性を有し、アモルファスマトリックス中に結晶化部分が混在していることを特徴とする。結晶化部分が混在していることで、高い耐熱性を実現することが可能になる。また、アモルファスマトリックス中に存在する結晶化部分の割合（即ち、結晶化度）としては、ここで開示される技術の効果が発揮される限りにおいて特に限定されないが、典型的には４０～９９％（例えば、５０～９５％）等であり得る。なお、本明細書において「結晶化度」とは、Ｘ線回折（ＸＲＤ）測定により得られたＸＲＤパターンにおいて、結晶成分由来のピーク（回折線）と非晶質成分由来のピーク（ハローピーク、すなわちブロードな散乱線）とをそれぞれ算出した後、（結晶成分由来のピークの面積）×１００／（結晶成分由来のピークの面積＋非晶質成分由来のピークの面積）（％）の式によって算出された値を示す。かかる測定は、この種の測定の従来公知の方法に基づいて行うことができる。
本実施形態に係るガラス部材２は、少なくとも１０００℃の耐熱性を有し、アモルファスマトリックス中に結晶化部分が混在していることを特徴とする。結晶化部分が混在していることで、高い耐熱性を実現することが可能になる。また、アモルファスマトリックス中に存在する結晶化部分の割合（即ち、結晶化度）としては、ここで開示される技術の効果が発揮される限りにおいて特に限定されないが、典型的には４０～９９％（例えば、５０～９５％）等であり得る。なお、本明細書において「結晶化度」とは、Ｘ線回折（ＸＲＤ）測定により得られたＸＲＤパターンにおいて、結晶成分由来のピーク（回折線）と非晶質成分由来のピーク（ハローピーク、すなわちブロードな散乱線）とをそれぞれ算出した後、（結晶成分由来のピークの面積）×１００／（結晶成分由来のピークの面積＋非晶質成分由来のピークの面積）（％）の式によって算出された値を示す。かかる測定は、この種の測定の従来公知の方法に基づいて行うことができる。
【0018】
ガラス部材２は、ガラス成分（即ち、ガラス組成物）を含む部材である。ガラス部材２が含むガラス成分の含有量は、ここで開示される技術の効果が発揮される限りにおいて特に制限されないが、該ガラス部材の全体を１００重量％としたときに、典型的には、７０重量％以上、好ましくは８０重量％以上、さらに好ましくは９０重量％以上とすることができる。また、ガラス部材２が含むガラス成分の上限は特に制限されないが、例えば１００重量％であってもよく、９９重量％以下であってもよく、９５重量％以下等であってもよい。
【0019】
ガラス部材２を構成するガラス成分の構成は、ここで開示される技術の効果が発揮される限りにおいて特に制限されないが、例えば以下の成分を含む場合が好ましい。また、各成分の酸化物換算のモル比が、以下のとおりとなるように含む場合がより好ましい。なお、ガラス部材２に含まれるガラス成分全体を１００モル％としたときに、以下の成分が例えば９５モル％以上、好ましくは９７モル％以上、より好ましくは９９モル％以上含まれる態様とすることができる（１００モル％含まれる態様とすることもできる）。
ＭｇＯ：４～３０モル％、
ＣａＯ：４～２５モル％、
ＢａＯ：０～４５モル％
ＺｎＯ：０～１０モル％
Ａｌ２Ｏ３：０．１～５モル％
ＳｉＯ２：３５～５５モル％
Ｌａ２Ｏ３：０～５モル％
以下、各成分について説明する。
ＭｇＯ：４～３０モル％、
ＣａＯ：４～２５モル％、
ＢａＯ：０～４５モル％
ＺｎＯ：０～１０モル％
Ａｌ２Ｏ３：０．１～５モル％
ＳｉＯ２：３５～５５モル％
Ｌａ２Ｏ３：０～５モル％
以下、各成分について説明する。
【0020】
上記アルカリ土類金属の酸化物（ＭｇＯ，ＣａＯ，ＢａＯ）は、熱膨張係数の調整やガラス部材の耐熱性の向上に寄与し得る成分である。ＭｇＯ（酸化マグネシウム；マグネシア）は、４～３０モル％の範囲で含有されることが好ましい。ＣａＯ（酸化カルシウム）は、４～２５モル％の範囲で含有されることが好ましい。ＢａＯ（酸化バリウム）は、０～４５モル％の範囲で含有させることが好ましい。ＢａＯは、含有されていなくてもよく（即ち、０モル％）、含有されている場合は、４５モル％以下（例えば、１６～３８モル％）で含有されることが好ましい。
【0021】
ＺｎＯ（酸化亜鉛）は、焼成時に用いるガラススラリー（インク状、ペースト状のものを包含する）の粘度を調整し易くするとともに、ガラス部材の気密性や安定性を向上させる機能を有し得る成分である。ＺｎＯは、０～１０モル％の範囲で含有されることが好ましい。ＺｎＯは、含有されていなくてもよく（即ち、０モル％）、含有されている場合は、１０モル％以下で含有されていることが好ましい。
【0022】
Ａｌ２Ｏ３（酸化アルミニウム；アルミナ）は、ガラススラリーの流動性を制御し、付着安定性に関与し得る成分である。Ａｌ２Ｏ３は、０．１～５モル％（例えば、２．０～２．５モル％）の範囲で含有されることが好ましい。
【0023】
ＳｉＯ２（二酸化ケイ素）は、ガラス部材の骨格を構成する成分である。また、ＳｉＯ２の含有率が高すぎると、融点（軟化点）が高くなりすぎてしまい好ましくないとされる。ＳｉＯ２は、３５～５５モル％（例えば、３６～５１モル％）の範囲で含有されることが好ましい。
【0024】
Ｌａ２Ｏ３（酸化ランタン）は、ガラス部材の安定性を向上させる機能を有し得る成分である。Ｌａ２Ｏ３は、０～５モル％の範囲で含有されることが好ましい。Ｌａ２Ｏ３は、含有されていなくてもよく（即ち、０モル％）、含有されている場合は、５モル％以下（例えば、３．０モル％以下）含有されることが好ましい。
【0025】
また、ここで開示される技術の効果が著しく阻害されない限りにおいて、ガラス部材２は、ガラス成分として上記７種類の成分以外の任意成分を含んでいてもよい。かかる任意成分の一例として、Ｂ２Ｏ３、Ｃｕ２Ｏ、Ｆｅ２Ｏ３、ＮｉＯ、ＺｒＯ２、ＴｉＯ２、Ｎｂ２Ｏ５、ＦｅＯ、Ｆｅ３Ｏ４、ＣｕＯ、ＳｎＯ、ＳｎＯ２、ＣｅＯ２、Ｂｉ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３（イットリア）等が挙げられる。これらの任意成分を１種または２種以上添加し、多成分系のガラス材料を構成することによって、ガラス部材の物理的安定性を向上させることができる。なお、作業性やコスト等の観点から、ガラス部材全体に対する任意成分の割合は、０．０１～５．０モル％以下であることが好ましく、０．０５～２．０モル％であることがより好ましく、０．１～１．０モル％以下であることがさらに好ましい。
【0026】
ガラス部材２は、アルカリ金属元素、鉛、ヒ素、カドミウム等を含まない場合が好ましい。かかるアルカリ金属元素としては、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ、Ｃｓ、Ｆｒ等が挙げられる。これらのアルカリ金属成分（特にＮａ、Ｋ）を含まない場合、焼成時に環境に悪影響を与え得る物質の生成を未然に防止することができるため、好ましい。また、ガラス部材２が、鉛（Ｐｂ）、ヒ素（Ａｓ）、カドミウム（Ｃｄ）を含まないことにより、人体や環境に悪影響を与え得る物質の生成を未然に防止することができるため、好ましい。なお、本明細書および特許請求の範囲において「含まない」とは、上述した成分を意図的に添加していないことを示す。したがって、原料や製造工程等に由来して微量に含まれ得る不可避的なものを厳格に排除するものではない。
【0027】
なお、ガラス部材２は、ここで開示される技術の効果が著しく阻害されない限りにおいて、上記ガラス成分以外の成分を含んでいてもよい。かかるガラス成分以外の成分の含有量は、ここで開示させる技術の効果が発揮される限りにおいて特に制限されないが、ガラス部材２の全体を１００重量％としたときに、概ね３０重量％以下、例えば１０重量％以下、５重量％以下とすることができる。かかる成分としては、例えば無機フィラー等が挙げることができる。かかる無機フィラーとしては、例えば、Ａｌ２Ｏ３、ＺｒＯ２、Ｙ２Ｏ３、ＢｅＯ、ＭｇＯ、Ｌａ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ムライト（Ａｌ６Ｏ１３Ｓｉ２）、フォルステライト（Ｍｇ２ＳｉＯ４）、ステアタイト（ＭｇＯ・ＳｉＯ２）等が挙げられる。なお、これらは１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【0028】
ガラス部材２の相対密度は、ここで開示される技術の効果が得られる限りにおいて特に制限されないが、典型的には８０％以上であり、耐窒化性を向上させるという観点から、好ましくは８５％以上、より好ましくは９０％以上、さらに好ましくは９５％以上、９７％以上、特に好ましくは９９％以上であり得る（但し、上限は１００％である）。ガラス部材２が高い相対密度を有する（即ち、優れたガスバリア性を有する）場合、耐窒化性がより優れたガラス－金属複合体１を得ることができるため、好ましい。なお、本明細書および特許請求の範囲において「相対密度」とは、ピクノメーター法で測定した真密度によって、アルキメデス法に基づいて算出された嵩密度を除したものである。具体的には、先ず、ガラス部材の乾燥重量Ｗ１と、該ガラス部材を水（例えば、蒸留水）に浸けたときの水中重量Ｗ２と、当該ガラス部材を水から取り出し、その表面の水滴を除去したときの含水重量Ｗ３とを測定する。そして、水中重量Ｗ２測定時の水温における水の密度σｗを用いて、下記の式（Ｉ）に基づいて、嵩密度を算出する。
（嵩密度）＝Ｗ１σｗ／（Ｗ３－Ｗ２）・・・（Ｉ）
続いて、ピクノメーター法により算出した試料の真密度を用いて、下記の式（ＩＩ）に基づいて、相対密度を算出する。
（相対密度）＝（嵩密度）／（真密度）・・・（ＩＩ）
上述したような一連の測定は、この種の測定の従来公知の測定方法に基づいて行うことができる。
（嵩密度）＝Ｗ１σｗ／（Ｗ３－Ｗ２）・・・（Ｉ）
続いて、ピクノメーター法により算出した試料の真密度を用いて、下記の式（ＩＩ）に基づいて、相対密度を算出する。
（相対密度）＝（嵩密度）／（真密度）・・・（ＩＩ）
上述したような一連の測定は、この種の測定の従来公知の測定方法に基づいて行うことができる。
【0029】
ガラス部材２の熱膨張係数は、ここで開示される技術の効果が得られる限りにおいて特に制限されないが、被覆部分の破損を好適に防止するという観点から、該ガラス部材の熱膨張係数を被覆対象である金属部材の熱膨張係数に近似させることが好ましい。かかるガラス部材の熱膨張係数は、例えば８．０×１０－６Ｋ－１～１３．０×１０－６Ｋ－１（好ましくは、８．７×１０－６Ｋ－１～１２．３×１０－６Ｋ－１程度）とすることができる。なお、本明細書において「熱膨張係数」とは、３０℃から５００℃までの温度領域において、熱機械分析装置（Ｔｈｅｒｍｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ａｎａｌｙｓｉｓ：ＴＭＡ）を用いて測定した平均膨張係数（平均線膨張係数）であり、試料の初期長さに対する試料長さの変化量を温度差で割った値をいう。熱膨張係数の測定は、例えばＪＩＳＲ３１０２：１９９５等に準じて実施することができる。
【0030】
＜セラミック部材３＞
本実施形態に係るセラミック部材３は、セラミックを主体として構成される部材である。なお、本明細書および特許請求の範囲において「セラミック」（以下、「セラミック成分」ともいう）とは、酸化物に限られない無機化合物であって、ガラス（アモルファス構造体）に該当しない無機化合物等であり得る。また、上記「セラミックを主体として構成される」とは、セラミック部材３を構成する成分のうち、重量基準で最も多く含まれている成分がセラミック成分であることを意味する。かかるセラミック部材は、好ましくはセラミック成分を９５重量％以上、９７重量％以上、あるいは９９重量％以上含むものであり得る。なお、セラミック成分以外の成分としては、例えば不可避的な不純物としての種々の金属元素や非金属元素等であり得る。かかるセラミック成分としては、例えば、Ａｌ２Ｏ３、ＭｇＯ、ＢｅＯ、ＺｒＯ２、ＴｉＯ２、Ｙ２Ｏ３、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、窒化ホウ素（ＢＮ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）、ベーマイト（ＡｌＯＯＨ）等が挙げられる。なお、これらは１種類または２種類以上を組み合わせて用いることができる。
本実施形態に係るセラミック部材３は、セラミックを主体として構成される部材である。なお、本明細書および特許請求の範囲において「セラミック」（以下、「セラミック成分」ともいう）とは、酸化物に限られない無機化合物であって、ガラス（アモルファス構造体）に該当しない無機化合物等であり得る。また、上記「セラミックを主体として構成される」とは、セラミック部材３を構成する成分のうち、重量基準で最も多く含まれている成分がセラミック成分であることを意味する。かかるセラミック部材は、好ましくはセラミック成分を９５重量％以上、９７重量％以上、あるいは９９重量％以上含むものであり得る。なお、セラミック成分以外の成分としては、例えば不可避的な不純物としての種々の金属元素や非金属元素等であり得る。かかるセラミック成分としては、例えば、Ａｌ２Ｏ３、ＭｇＯ、ＢｅＯ、ＺｒＯ２、ＴｉＯ２、Ｙ２Ｏ３、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、窒化ホウ素（ＢＮ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）、ベーマイト（ＡｌＯＯＨ）等が挙げられる。なお、これらは１種類または２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【0031】
＜金属部材４＞
図１に示すように、本実施形態に係る金属部材４は、矩形の板状の部材である。金属部材４としては、ここで開示される技術の効果が発揮させる限りにおいて特に制限されないが、例えばＦｅ、ＣｒおよびＡｌを構成元素として含むものを好ましく用いることができる。かかる一例としては、Ｆｅ，Ａｌ，Ｃｒ，Ｔｉ，Ｓｉを所定の割合で含有するステンレス鋼、Ｆｅ，Ａｌ，Ｃｒ，Ｔｉを所定の割合で含有するステンレス鋼、Ｆｅ，Ｃｒ，Ａｌを所定の割合で含有するステンレス鋼等が例示される。このような構成の金属部材は、１０００℃以上の耐熱性に優れるため、好ましく用いることができる。なお、金属部材４としてＡｌを含むステンレス鋼を用いた場合、焼成後に該金属部材の表面にアルミナ層や酸化クロム層（Ｃｒ２Ｏ３）等が形成され得る。
図１に示すように、本実施形態に係る金属部材４は、矩形の板状の部材である。金属部材４としては、ここで開示される技術の効果が発揮させる限りにおいて特に制限されないが、例えばＦｅ、ＣｒおよびＡｌを構成元素として含むものを好ましく用いることができる。かかる一例としては、Ｆｅ，Ａｌ，Ｃｒ，Ｔｉ，Ｓｉを所定の割合で含有するステンレス鋼、Ｆｅ，Ａｌ，Ｃｒ，Ｔｉを所定の割合で含有するステンレス鋼、Ｆｅ，Ｃｒ，Ａｌを所定の割合で含有するステンレス鋼等が例示される。このような構成の金属部材は、１０００℃以上の耐熱性に優れるため、好ましく用いることができる。なお、金属部材４としてＡｌを含むステンレス鋼を用いた場合、焼成後に該金属部材の表面にアルミナ層や酸化クロム層（Ｃｒ２Ｏ３）等が形成され得る。
【0032】
金属材料４の厚み（図１におけるＳ部分）は、ここで開示される技術の効果が発揮される限りにおいて特に制限されないが、耐窒化性を好適に実現するという観点から、例えばガラス部材２の厚み（図１におけるＴ部分）を１００％とした場合、典型的には５０％以下、好ましくは３０％以下、より好ましくは１０％以下（例えば、１～５％）とすることができる。
【0033】
＜リード５＞
本実施形態に係るリード５は、金属製のリードである。図１に示すように、リード５は矩形の板状であって、金属部材４の一の短辺側に備えられている。リード５を構成する材料としては、ここで開示される技術の効果が発揮させる限りにおいて特に制限されないが、例えば金属部材４の説明において例示した材料から構成されているものを用いることができる。
本実施形態に係るリード５は、金属製のリードである。図１に示すように、リード５は矩形の板状であって、金属部材４の一の短辺側に備えられている。リード５を構成する材料としては、ここで開示される技術の効果が発揮させる限りにおいて特に制限されないが、例えば金属部材４の説明において例示した材料から構成されているものを用いることができる。
【0034】
≪ガラス－金属複合体１の製造方法≫
続いて、ガラス－金属複合体１の製造方法の一例について説明する。なお、以下の製造方法は、ここで開示されるガラス－金属複合体の製造方法をかかる方法に限定することを意図したものではない。また、以下に記載の各ステップは、適宜順序を入れ替えて実施することができる。
続いて、ガラス－金属複合体１の製造方法の一例について説明する。なお、以下の製造方法は、ここで開示されるガラス－金属複合体の製造方法をかかる方法に限定することを意図したものではない。また、以下に記載の各ステップは、適宜順序を入れ替えて実施することができる。
【0035】
先ず、ガラス部材２を構成するガラス材料を準備する。具体的には、ガラス材料を構成する各種構成成分の酸化物、炭酸塩、硝酸塩、複合酸化物等を含む工業製品、試薬、または各種の鉱物原料を用意し、これらが所望の組成比になるように混合する。かかる混合は、例えば各粉末をボールミル等の混合機に投入し、数時間～数十時間混合することにより実施することができる。
次に、得られた原料粉末を乾燥させた後、所定の温度条件（典型的には、１３００℃～１５００℃）で加熱して原料粉末を溶融する。そして、溶融した原料粉末を冷却（好ましくは急冷）することにより、所望のガラス体を得ることができる。得られたガラス体を所望の大きさ（粒径）となるまで粉砕・分級（篩いがけ）することにより、カレット状またはパウダー状等のガラス材料を得ることができる。かかるガラス材料の平均粒径は、典型的には０．５～５０μｍ（例えば、１～４０μｍや２～３０μｍ）等とすることができる。なお、本明細書において「平均粒子径」とは、レーザー回折・散乱法に基づく体積基準の粒度分布において、粒径の小さい側から積算値５０％に相当する粒径（Ｄ５０粒径）を意味する。かかる測定は、例えばマルバーン社製、Ｍａｓｔｅｒｓｉｚｅｒ３０００を用いて実施することができる。
次に、得られた原料粉末を乾燥させた後、所定の温度条件（典型的には、１３００℃～１５００℃）で加熱して原料粉末を溶融する。そして、溶融した原料粉末を冷却（好ましくは急冷）することにより、所望のガラス体を得ることができる。得られたガラス体を所望の大きさ（粒径）となるまで粉砕・分級（篩いがけ）することにより、カレット状またはパウダー状等のガラス材料を得ることができる。かかるガラス材料の平均粒径は、典型的には０．５～５０μｍ（例えば、１～４０μｍや２～３０μｍ）等とすることができる。なお、本明細書において「平均粒子径」とは、レーザー回折・散乱法に基づく体積基準の粒度分布において、粒径の小さい側から積算値５０％に相当する粒径（Ｄ５０粒径）を意味する。かかる測定は、例えばマルバーン社製、Ｍａｓｔｅｒｓｉｚｅｒ３０００を用いて実施することができる。
【0036】
上記のとおり作製したガラス材料と、溶剤と、必要に応じてバインダー等を、攪拌機を備えた回転式混合機やロールミル、ボールミル等を用いた従来公知の方法により攪拌混合することにより、ガラススラリーを得ることができる。なお、かかるガラススラリーの粘度は、適宜調整されることが好ましいが、典型的には０．１～２０[Ｐａ・ｓ]（例えば、０．３～１５[Ｐａ・ｓ]や０．５～１０[Ｐａ・ｓ]）（液温２５℃、Ｅ型粘度計ローター回転数１ｒｐｍで測定）等とすることができる。かかる粘度は、例えば市販の粘度計を用い、該粘度計に付随するマニュアル等に基づいて測定することができる。
ここで、上記ガラス材料の含有量は、ここで開示される技術の効果が発揮される限りにおいて特に制限されないが、例えばガラススラリーの重量を１００重量％としたときに、概ね９０重量％以下、典型的には４０～８５重量％、例えば６０～８０重量％の範囲内とすることができる。
ここで、上記ガラス材料の含有量は、ここで開示される技術の効果が発揮される限りにおいて特に制限されないが、例えばガラススラリーの重量を１００重量％としたときに、概ね９０重量％以下、典型的には４０～８５重量％、例えば６０～８０重量％の範囲内とすることができる。
【0037】
また、上記溶剤の含有量は特に制限されないが、例えばガラススラリーの重量を１００重量％としたときに、概ね６０重量％以下、典型的には１５～５０重量％、例えば２０～４０重量％の範囲内とすることができる。また、かかる溶剤としては、通常ガラススラリーに使用されるものを使用することが可能であり、例えば、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルエチルケトン、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、イソブチルアルコール、イソプロピルアルコール、ターピネオール、テトラヒドロフラン、ジメチルスルフォキシド、γ－ブチルラクトン、ブロモベンゼン、クロロベンゼン、ジブロモベンゼン、ジクロロベンゼン、ブロモ安息香酸、クロロ安息香酸、キシレン、イオン交換水等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を適宜選択して用いることができる。
【0038】
そして、上記バインダーの含有量は特に制限されないが、例えばガラススラリーの重量を１００重量％としたときに、概ね２０重量％以下、典型的には１～１５重量％、例えば２～１０重量％の範囲内とすることができる。また、かかるバインダーとしては、通常ガラススラリーに使用されるものを使用することが可能であり、例えば、エチルセルロース、メチルセルロース、ニトロセルロース、セルロースアセテート、セルロースプロピオネート、セルロースブチレート等のセルロース系樹脂、または、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ノルマルブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、２－エチルメチル（メタ）アクリレート、２－ヒドキシルエチル（メタ）アクリレート等の重合体もしくは共重合体からなるアクリル樹脂、ポリ－α－メチルスルホン、ポリビニルアルコール、ポリブテン、フタル酸エステル等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を適宜選択して用いることができる。
【0039】
なお、上記ガラススラリーは、必要に応じて、無機フィラー、着色顔料、チキソトロピー付与剤、分散剤、可塑剤、酸化防止剤、消泡剤、レベリング剤等の添加剤成分を含有してもよい。上記成分としては、通常ガラススラリーに使用されるものを使用することができる。例えば、上記無機フィラーとしては、ガラス部材２に含有され得るガラス成分以外の成分の説明において記載したようなものを、１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。なお、ガラススラリーが無機フィラーを含有する場合、無機フィラーの含有量は、ここで開示される技術の効果が発揮される限りにおいて特に制限されないが、ガラススラリーの重量を１００重量％としたときに、概ね３０重量％以下、典型的には１～２５重量％、例えば２～２０重量％の範囲内とすることができる。
【0040】
上記のとおり作製したガラススラリーを、所定の厚みを有するキャリアシート上に塗工し、乾燥させることによって、ガラスグリーンシートを得ることができる。かかる塗工は、例えばドクターブレード法等により実施することができる。
続いて、セラミック部材（セラミック焼結体）を用意する。ここでは市販のセラミック部材を用いるが、当然のことながら従来公知の方法に基づいて作製したセラミック部材を用いてもよい。そして、２本のリードを備えた金属部材を、上記のとおり作製したガラスグリーンシートおよびセラミック部材によって挟持し、接着剤等によって一体化させる。ここで、金属部材としては、耐熱性を担保するために、予め酸化雰囲気中において所定の温度（例えば１０００℃～１１００℃）で数時間（例えば、１～２時間程度）熱処理を行ったものを用いてもよい。また、かかる接着剤としては、例えばポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレート、ポリエチルアクリレート、ポリブチルアクリレート、シアノアクリレート等のアクリル系樹脂等が挙げられる。
このようにして一体化させたものを、アルミナセッターの上に設置し、所定の温度（例えば、２００℃～６００℃）で数時間（例えば、２～３時間程度）脱脂し、所定の温度（例えば、１０００℃～１１００℃）で数時間（例えば、２～３時間程度）焼成することにより、ガラス－金属複合体１を得ることができる。
続いて、セラミック部材（セラミック焼結体）を用意する。ここでは市販のセラミック部材を用いるが、当然のことながら従来公知の方法に基づいて作製したセラミック部材を用いてもよい。そして、２本のリードを備えた金属部材を、上記のとおり作製したガラスグリーンシートおよびセラミック部材によって挟持し、接着剤等によって一体化させる。ここで、金属部材としては、耐熱性を担保するために、予め酸化雰囲気中において所定の温度（例えば１０００℃～１１００℃）で数時間（例えば、１～２時間程度）熱処理を行ったものを用いてもよい。また、かかる接着剤としては、例えばポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレート、ポリエチルアクリレート、ポリブチルアクリレート、シアノアクリレート等のアクリル系樹脂等が挙げられる。
このようにして一体化させたものを、アルミナセッターの上に設置し、所定の温度（例えば、２００℃～６００℃）で数時間（例えば、２～３時間程度）脱脂し、所定の温度（例えば、１０００℃～１１００℃）で数時間（例えば、２～３時間程度）焼成することにより、ガラス－金属複合体１を得ることができる。
【0041】
なお、上記製造方法では、ガラスグリーンシートを用いた製造方法について説明したが、これに限定されず、ガラス－金属部材１は、セラミック部材３の上に金属部材４を配置した後、該金属部材を被覆するようにしてガラススラリーを塗工し、乾燥させた後、焼成することによっても得ることができる。また、上記製造方法では、一体化させた部材をアルミナセッターの上に設置して焼成を行っていたが、これに限定されず、例えば吊るし焼きや砂中における焼成を行うこともできる。
【0042】
＜変形例＞
以上、ここで開示されるガラス－金属複合体（および、ガラス－金属複合体の製造方法）の具体例を詳細に説明したが、ここで開示されるガラス－金属複合体をかかる具体例に限定するものではない。ここで開示されるガラス－金属複合体は、上述した具体例をその目的を変更しない限りにおいて種々変更したものが包含される。
以上、ここで開示されるガラス－金属複合体（および、ガラス－金属複合体の製造方法）の具体例を詳細に説明したが、ここで開示されるガラス－金属複合体をかかる具体例に限定するものではない。ここで開示されるガラス－金属複合体は、上述した具体例をその目的を変更しない限りにおいて種々変更したものが包含される。
【0043】
図１に示すように、上記実施形態に係る金属部材４は矩形の板状であるが、これに限定されず、ここで開示される金属部材は、例えばシート状（箔状）、楕円の板状、その他種々の形状等であってもよい。
【0044】
上記実施形態に係るガラス－金属複合体は、ガラス部材２と、セラミック部材３とを備えているが、これに限定されず、例えば、セラミック部材３がガラス部材２に変更された態様のものや、セラミック部材３がガラス部材２とは異なる組成のガラス部材に変更された態様のものであってもよい。
セラミック部材３がガラス部材２に変更された態様のガラス－金属複合体は、上記のとおり作製したガラスグリーンシート２枚によってリードを備えた金属部材を挟持し、一体化させた後、焼成すること等によって得ることができる。また、セラミック部材３がガラス部材２とは異なる組成のガラス部材に変更された態様のガラス－金属複合体は、２種類のガラスグリーンシート２枚によりリードを備えた金属部材を挟持し、一体化させた後、焼成すること等によって得ることができる。
セラミック部材３がガラス部材２に変更された態様のガラス－金属複合体は、上記のとおり作製したガラスグリーンシート２枚によってリードを備えた金属部材を挟持し、一体化させた後、焼成すること等によって得ることができる。また、セラミック部材３がガラス部材２とは異なる組成のガラス部材に変更された態様のガラス－金属複合体は、２種類のガラスグリーンシート２枚によりリードを備えた金属部材を挟持し、一体化させた後、焼成すること等によって得ることができる。
【0045】
また、例えば金属部材が円筒状である場合、ガラス部材は円筒状の金属部材の外側および／または内側を被覆する態様であり得る。かかる被覆は、外側の一部あるいは全面であってもよいし、内側の一部あるいは全面であってもよい。
【0046】
上記実施形態では、ガラス部材２およびセラミック部材３の形状がともに六面体形状であるが、これに限定されず、例えばガラス部材および／またはセラミック部材として４つの角部が無いものを用いてもよい。
【0047】
上記実施形態では、金属部材４が２本のリード５を備え態様について説明しているが、当然のことながらこれに限定されず、ここで開示されるガラス－金属部材における金属部材は、リードを備えていなくてもよい。即ち、ここで開示されるガラス－金属部材は、金属部材が、ガラス部材およびセラミック部材の複合体に挟持された態様であってもよい。
そして、かかるガラス－金属部材において、金属部材は、ガラス部材およびセラミック部材の複合体の一の短辺側からはみ出した態様でもよいし、金属部材の一の短辺側の一部分に加えて、該一の短辺側の反対側に相当する短辺側からも、該金属部材の一部分がはみ出していてもよい。また、金属部材全体が、上記複合体によって被覆（埋設）されていてもよい。なお、ガラス－金属部材がかかる態様であった場合についても、段落００４３～００４６で説明した変形例を適応することができる。
そして、かかるガラス－金属部材において、金属部材は、ガラス部材およびセラミック部材の複合体の一の短辺側からはみ出した態様でもよいし、金属部材の一の短辺側の一部分に加えて、該一の短辺側の反対側に相当する短辺側からも、該金属部材の一部分がはみ出していてもよい。また、金属部材全体が、上記複合体によって被覆（埋設）されていてもよい。なお、ガラス－金属部材がかかる態様であった場合についても、段落００４３～００４６で説明した変形例を適応することができる。
【0048】
［実施例］
以下、ここで開示されるガラス－金属複合体に関する実施例を説明するが、本発明をかかる実施例に限定することを意図したものではない。
以下、ここで開示されるガラス－金属複合体に関する実施例を説明するが、本発明をかかる実施例に限定することを意図したものではない。
【0049】
１．ガラス－金属複合体の作製
本実施例では、２２種類のガラス－金属複合体（サンプル１～２２）を作製した。以下、各サンプルの作製方法について説明する。
本実施例では、２２種類のガラス－金属複合体（サンプル１～２２）を作製した。以下、各サンプルの作製方法について説明する。
【0050】
１－１．ガラス材料Ａ～Ｉおよび各ガラス材料を含有するグリーンシートの作製
先ず、表１の該当欄に示す組成（モル％）となるように各原料粉末を調合し、混合した。そして、１３００℃～１５００℃で１時間溶融し、急冷することによって、ガラス体を得た。かかるガラス体を粉砕、分級することにより、ガラス材料Ａ～Ｉを得た。ここで、ガラス材料Ａ～Ｉの平均粒子径は１０μｍ程度であった。
続いて、上記のとおり作製したガラス材料と、市販のアクリル樹脂と、フタル酸エステルと、キシレンとを混合し、撹拌することによってガラススラリーを得た。ここで、上記各成分の配合量は、上記ガラススラリーの重量を１００重量％としたとき、ガラス材料が６０重量％、アクリル樹脂が１０重量％、フタル酸エステルが５重量％、残部がキシレンとなるようにした。そして、上記のとおり作製したガラススラリーを、ドクターブレード法によりキャリアシート上に塗工した後、乾燥し、縦６０ｍｍ×横４０ｍｍの大きさに切り出し、キャリアシートを剥がすことによって、ガラス材料Ａ～Ｉを含有する厚み１．５ｍｍ程度のグリーンシートを作製した。
先ず、表１の該当欄に示す組成（モル％）となるように各原料粉末を調合し、混合した。そして、１３００℃～１５００℃で１時間溶融し、急冷することによって、ガラス体を得た。かかるガラス体を粉砕、分級することにより、ガラス材料Ａ～Ｉを得た。ここで、ガラス材料Ａ～Ｉの平均粒子径は１０μｍ程度であった。
続いて、上記のとおり作製したガラス材料と、市販のアクリル樹脂と、フタル酸エステルと、キシレンとを混合し、撹拌することによってガラススラリーを得た。ここで、上記各成分の配合量は、上記ガラススラリーの重量を１００重量％としたとき、ガラス材料が６０重量％、アクリル樹脂が１０重量％、フタル酸エステルが５重量％、残部がキシレンとなるようにした。そして、上記のとおり作製したガラススラリーを、ドクターブレード法によりキャリアシート上に塗工した後、乾燥し、縦６０ｍｍ×横４０ｍｍの大きさに切り出し、キャリアシートを剥がすことによって、ガラス材料Ａ～Ｉを含有する厚み１．５ｍｍ程度のグリーンシートを作製した。
【0051】
１－２．セラミック材料Ｊの準備
セラミック材料Ｊとして、表１の該当欄に示す組成（モル％）の共立マテリアル製の８ｍｏｌ％イットリア安定化ジルコニアを使用した。ここで、セラミック材料Ｊの平均粒子径は０．５μｍ程度であった。
セラミック材料Ｊとして、表１の該当欄に示す組成（モル％）の共立マテリアル製の８ｍｏｌ％イットリア安定化ジルコニアを使用した。ここで、セラミック材料Ｊの平均粒子径は０．５μｍ程度であった。
【0052】
１－３．金属材料の準備
縦８０ｍｍ×横１５ｍｍ（後述する４－２の評価用として、縦３５ｍｍ×横１５ｍｍのものも準備した）、厚み３０～１００μｍに箔化された耐熱フェライト系ステンレス（具体的には、日本製鉄株式会社製のＮＣＡ－１，ＮＣＡ－２、ＪＦＥスチール株式会社製のＪＦＥ２０－５ＵＳＲ，ＪＦＥ１８－３ＵＳＲ）を用意した。サンプル１～１０，１４～１６，１８～２２ではＮＣＡ－１、サンプル１１ではＮＣＡ－２、サンプル１２ではＪＦＥ２０－５ＵＳＲ、サンプル１３ではＪＦＥ１８－３ＵＳＲをそれぞれ使用した。なお、各金属箔について、耐熱性を担保するために、予め酸化雰囲気において１１００℃で１時間熱処理を行った。また、サンプル１７では、株式会社ニラコ製のＳＵＳ４３０（厚み５０μｍ）をそのまま使用した。
縦８０ｍｍ×横１５ｍｍ（後述する４－２の評価用として、縦３５ｍｍ×横１５ｍｍのものも準備した）、厚み３０～１００μｍに箔化された耐熱フェライト系ステンレス（具体的には、日本製鉄株式会社製のＮＣＡ－１，ＮＣＡ－２、ＪＦＥスチール株式会社製のＪＦＥ２０－５ＵＳＲ，ＪＦＥ１８－３ＵＳＲ）を用意した。サンプル１～１０，１４～１６，１８～２２ではＮＣＡ－１、サンプル１１ではＮＣＡ－２、サンプル１２ではＪＦＥ２０－５ＵＳＲ、サンプル１３ではＪＦＥ１８－３ＵＳＲをそれぞれ使用した。なお、各金属箔について、耐熱性を担保するために、予め酸化雰囲気において１１００℃で１時間熱処理を行った。また、サンプル１７では、株式会社ニラコ製のＳＵＳ４３０（厚み５０μｍ）をそのまま使用した。
【0053】
１－４．サンプル１～９，１１～１３，１７～２２の作製
表２～表４の該当欄に示す金属箔を、表２～表４の該当欄に示す２枚のグリーンシートによって挟み込んだ後、一軸プレス（プレス圧：５０ＭＰａ）により２枚のグリーンシートを圧着し、一体化させた。ここで、各サンプルについて、後述する４－１の評価に用いる、金属箔の一の短辺側の一部分が２枚のグリーンシートからはみ出したものと、後述する４－２の評価に用いる、金属箔の全体が２枚のグリーンシートによって埋設されたものの２種類を作製した。なお、この段階で、グリーンシートから形成される２層のそれぞれの厚みが１．０ｍｍよりも厚いものに関しては、適宜グリーンシートを複数枚積層してからプレスを行った。
このようにして一体化させたものを、アルミナセッターの上に設置し、２００℃～６００℃で２時間脱脂し、表２～表４の該当欄に示す焼成温度で、大気雰囲気中、２時間焼成することによって、各サンプルに係るガラス－金属複合体を作製した。そして、２枚のグリーンシートから形成された２層を、ダイヤモンド研磨パッドを用いて研磨し、縦５０ｍｍ×横３０ｍｍ、厚みを表２～４の該当欄に示す厚みになるように調整した。
表２～表４の該当欄に示す金属箔を、表２～表４の該当欄に示す２枚のグリーンシートによって挟み込んだ後、一軸プレス（プレス圧：５０ＭＰａ）により２枚のグリーンシートを圧着し、一体化させた。ここで、各サンプルについて、後述する４－１の評価に用いる、金属箔の一の短辺側の一部分が２枚のグリーンシートからはみ出したものと、後述する４－２の評価に用いる、金属箔の全体が２枚のグリーンシートによって埋設されたものの２種類を作製した。なお、この段階で、グリーンシートから形成される２層のそれぞれの厚みが１．０ｍｍよりも厚いものに関しては、適宜グリーンシートを複数枚積層してからプレスを行った。
このようにして一体化させたものを、アルミナセッターの上に設置し、２００℃～６００℃で２時間脱脂し、表２～表４の該当欄に示す焼成温度で、大気雰囲気中、２時間焼成することによって、各サンプルに係るガラス－金属複合体を作製した。そして、２枚のグリーンシートから形成された２層を、ダイヤモンド研磨パッドを用いて研磨し、縦５０ｍｍ×横３０ｍｍ、厚みを表２～４の該当欄に示す厚みになるように調整した。
【0054】
１－５．サンプル１０の作製
ガラス材料Ｅに加えて、無機フィラーとしてのセラミック材料Ｊを添加したガラススラリーからなるグリーンシートを２枚用いたこと以外はサンプル６と同様にして、サンプル１０に係るガラス－金属複合体を作製した。ここで、かかるガラススラリーは、該ガラススラリーの重量を１００重量％としたときに、ガラス材料Ｅが４５重量％、アクリル樹脂が１０重量％、フタル酸エステルが５重量％、セラミック材料Ｊが１５重量％、残部がキシレンとなるように作製した。そして、上記のとおり作製したガラススラリーを、ドクターブレード法によりキャリアシート上に塗工した後、乾燥し、縦６０ｍｍ×横４０ｍｍの大きさに切り出し、キャリアシートを剥がすことによって、サンプル１０に係る厚み１．５ｍｍ程度のガラスグリーンシートを作製した。
ガラス材料Ｅに加えて、無機フィラーとしてのセラミック材料Ｊを添加したガラススラリーからなるグリーンシートを２枚用いたこと以外はサンプル６と同様にして、サンプル１０に係るガラス－金属複合体を作製した。ここで、かかるガラススラリーは、該ガラススラリーの重量を１００重量％としたときに、ガラス材料Ｅが４５重量％、アクリル樹脂が１０重量％、フタル酸エステルが５重量％、セラミック材料Ｊが１５重量％、残部がキシレンとなるように作製した。そして、上記のとおり作製したガラススラリーを、ドクターブレード法によりキャリアシート上に塗工した後、乾燥し、縦６０ｍｍ×横４０ｍｍの大きさに切り出し、キャリアシートを剥がすことによって、サンプル１０に係る厚み１．５ｍｍ程度のガラスグリーンシートを作製した。
【0055】
１－６．サンプル１４～１６の作製
表３の該当欄に示す金属箔を、ガラス材料Ｅからなるガラスグリーンシートおよび表３の該当欄に示すセラミック焼結体によって挟持した後、シアノアクリレート系接着剤を用いて一体化させた。
ここで、８％イットリア安定化ジルコニア焼結体としては、セラミック材料Ｊを一軸プレス（プレス圧：５０ＭＰａ）により成形し、１５００℃で４時間焼成したものを、ダイヤモンド研磨パッドを用いて研磨し、縦５０ｍｍ×横３０ｍｍ×厚み１．０ｍｍとしたものを用いた。フォルステライト焼結体としては、丸ス釉薬合資社製のフォルステライト粉を一軸プレス（プレス圧：５０ＭＰａ）により成形し、１３００℃で４時間焼成したものを、ダイヤモンド研磨パッドを用いて研磨し、縦５０ｍｍ×横３０ｍｍ×厚み１．０ｍｍとしたものを用いた。マグネシア焼結体としては、株式会社ニッカトー製のものを、ダイヤモンド研磨パッドを用いて研磨し、縦５０ｍｍ×横３０ｍｍ×厚み１．０ｍｍとしたものを用いた。各焼結体の相対密度は、ピクノメーター法で算出した真密度と、アルキメデス法によって算出した嵩密度から９９％以上であった。これ以外はサンプル７と同様にして、サンプル１４～１６に係るガラス－金属複合体を作製した。
表３の該当欄に示す金属箔を、ガラス材料Ｅからなるガラスグリーンシートおよび表３の該当欄に示すセラミック焼結体によって挟持した後、シアノアクリレート系接着剤を用いて一体化させた。
ここで、８％イットリア安定化ジルコニア焼結体としては、セラミック材料Ｊを一軸プレス（プレス圧：５０ＭＰａ）により成形し、１５００℃で４時間焼成したものを、ダイヤモンド研磨パッドを用いて研磨し、縦５０ｍｍ×横３０ｍｍ×厚み１．０ｍｍとしたものを用いた。フォルステライト焼結体としては、丸ス釉薬合資社製のフォルステライト粉を一軸プレス（プレス圧：５０ＭＰａ）により成形し、１３００℃で４時間焼成したものを、ダイヤモンド研磨パッドを用いて研磨し、縦５０ｍｍ×横３０ｍｍ×厚み１．０ｍｍとしたものを用いた。マグネシア焼結体としては、株式会社ニッカトー製のものを、ダイヤモンド研磨パッドを用いて研磨し、縦５０ｍｍ×横３０ｍｍ×厚み１．０ｍｍとしたものを用いた。各焼結体の相対密度は、ピクノメーター法で算出した真密度と、アルキメデス法によって算出した嵩密度から９９％以上であった。これ以外はサンプル７と同様にして、サンプル１４～１６に係るガラス－金属複合体を作製した。
【0056】
２．セラミック－金属複合体の作製（サンプル２３の作製）
セラミック材料Ｊに対して、５重量％のメチルセルロースを添加し、乳鉢、乳棒を用いて混合することで得た造粒粉を、一軸プレス（プレス圧：５０ＭＰａ）で縦６０ｍｍ×横４０ｍｍ×厚み１．５ｍｍに成形したものを２枚用い、焼成温度を１１００℃にしたこと以外はサンプル８と同様にして、サンプル２３に係るセラミック－金属複合体を作製した。
セラミック材料Ｊに対して、５重量％のメチルセルロースを添加し、乳鉢、乳棒を用いて混合することで得た造粒粉を、一軸プレス（プレス圧：５０ＭＰａ）で縦６０ｍｍ×横４０ｍｍ×厚み１．５ｍｍに成形したものを２枚用い、焼成温度を１１００℃にしたこと以外はサンプル８と同様にして、サンプル２３に係るセラミック－金属複合体を作製した。
【0057】
３．ガラス材料Ａ～Ｉおよびセラミック材料Ｊの評価試験
上記のとおり作製したガラス材料Ａ～Ｉおよびセラミック材料Ｊについて、熱膨張係数および耐熱性の評価を行った。以下、各評価について説明する。
上記のとおり作製したガラス材料Ａ～Ｉおよびセラミック材料Ｊについて、熱膨張係数および耐熱性の評価を行った。以下、各評価について説明する。
【0058】
３－１．熱膨張係数の評価
ガラス材料Ａ～Ｉおよびセラミック材料Ｊについて、プレス成形プレス圧：５０ＭＰａを行うことによって直径２０ｍｍ，厚み７ｍｍの圧粉体を作製した後、ガラス材料Ａ，Ｄ，Ｅを１１００℃、ガラス材料Ｂ，Ｃ，Ｇを１０００℃、ガラス材料Ｆ，Ｉを９００℃、ガラス材料Ｈを４５０℃で、大気雰囲気中、２時間熱処理を行うことで、焼成体を得た。そして、ダイヤモンドカッターを用いて直径１５ｍｍ，厚み５ｍｍの円柱状に切り出し、熱機械分析装置（株式会社リガク製、ＴＭＡ８３１０）を用いて熱膨張係数を測定した。具体的には、室温（２５℃）から１０００℃まで１０℃／分の一定速度で昇温したときの、３０℃から５００℃の間の平均線膨張量から熱膨張係数を算出した。なお、ガラス材料Ｈに関しては、他のサンプルと異なり、３０℃から３００℃の間の平均線膨張量から熱膨張係数を算出した。結果を表１の該当欄に示した。
ガラス材料Ａ～Ｉおよびセラミック材料Ｊについて、プレス成形プレス圧：５０ＭＰａを行うことによって直径２０ｍｍ，厚み７ｍｍの圧粉体を作製した後、ガラス材料Ａ，Ｄ，Ｅを１１００℃、ガラス材料Ｂ，Ｃ，Ｇを１０００℃、ガラス材料Ｆ，Ｉを９００℃、ガラス材料Ｈを４５０℃で、大気雰囲気中、２時間熱処理を行うことで、焼成体を得た。そして、ダイヤモンドカッターを用いて直径１５ｍｍ，厚み５ｍｍの円柱状に切り出し、熱機械分析装置（株式会社リガク製、ＴＭＡ８３１０）を用いて熱膨張係数を測定した。具体的には、室温（２５℃）から１０００℃まで１０℃／分の一定速度で昇温したときの、３０℃から５００℃の間の平均線膨張量から熱膨張係数を算出した。なお、ガラス材料Ｈに関しては、他のサンプルと異なり、３０℃から３００℃の間の平均線膨張量から熱膨張係数を算出した。結果を表１の該当欄に示した。
【0059】
３－２．耐熱性の評価
上記３－１で得られたガラス材料Ａ～Ｉおよびセラミック材料Ｊの焼成体を、大気雰囲気中、４００℃～１１００℃において、加熱温度が５０℃単位で異なる熱暴露（加熱時間：１００時間）を行い、該熱暴露後の熱膨張係数を測定した。かかる測定には、熱機械分析装置（株式会社リガク製、ＴＭＡ８３１０）を用いた。そして、上記熱暴露の前後の熱膨張係数の変化率が１０％以下であることを確認した温度のうち最も高い温度を「材料耐熱温度」とした。結果を表１の該当欄に示した。
上記３－１で得られたガラス材料Ａ～Ｉおよびセラミック材料Ｊの焼成体を、大気雰囲気中、４００℃～１１００℃において、加熱温度が５０℃単位で異なる熱暴露（加熱時間：１００時間）を行い、該熱暴露後の熱膨張係数を測定した。かかる測定には、熱機械分析装置（株式会社リガク製、ＴＭＡ８３１０）を用いた。そして、上記熱暴露の前後の熱膨張係数の変化率が１０％以下であることを確認した温度のうち最も高い温度を「材料耐熱温度」とした。結果を表１の該当欄に示した。
【0060】
３－３．相対密度の評価
上記３－１で得られたガラス材料Ａ～Ｉおよびセラミック材料Ｊの圧粉体を、１０００℃程度で２時間熱処理をすることによって得られた焼成物に対して、アルキメデス法に基づく相対密度の測定を行った。具体的には、先ず、各焼成物の乾燥重量Ｗ１を測定した。次に、各ガラス焼成物を蒸留水に浸けた後に真空ポンプ付きのデシケータ内に入れ、４５分間真空引きを行った後、各焼成物の水中重量Ｗ２と含水重量Ｗ３を測定した。そして、水中重量Ｗ２測定時の水温での水の密度σｗを用いて、下記の式（Ｉ）に基づいて嵩密度を算出した。
（嵩密度）＝Ｗ１σｗ／（Ｗ３－Ｗ２）・・・（Ｉ）
上記各焼結体を、メノウ乳鉢で十分粉砕した後、真密度を、ピクノメーター（マイクロメリティックス社製、ＡｃｃｕＰｙｃＩＩ１３４０）を用いて測定した。上記嵩密度と真密度を用いて、下記式（ＩＩ）に基づいて、相対密度を算出した。
（相対密度）＝（嵩密度）／（真密度）・・・（ＩＩ）
結果を表１の該当欄に示した。なお、ガラス材料Ｈに関しては、上記熱処理において溶融してしまったため、「－」と表記した。
上記３－１で得られたガラス材料Ａ～Ｉおよびセラミック材料Ｊの圧粉体を、１０００℃程度で２時間熱処理をすることによって得られた焼成物に対して、アルキメデス法に基づく相対密度の測定を行った。具体的には、先ず、各焼成物の乾燥重量Ｗ１を測定した。次に、各ガラス焼成物を蒸留水に浸けた後に真空ポンプ付きのデシケータ内に入れ、４５分間真空引きを行った後、各焼成物の水中重量Ｗ２と含水重量Ｗ３を測定した。そして、水中重量Ｗ２測定時の水温での水の密度σｗを用いて、下記の式（Ｉ）に基づいて嵩密度を算出した。
（嵩密度）＝Ｗ１σｗ／（Ｗ３－Ｗ２）・・・（Ｉ）
上記各焼結体を、メノウ乳鉢で十分粉砕した後、真密度を、ピクノメーター（マイクロメリティックス社製、ＡｃｃｕＰｙｃＩＩ１３４０）を用いて測定した。上記嵩密度と真密度を用いて、下記式（ＩＩ）に基づいて、相対密度を算出した。
（相対密度）＝（嵩密度）／（真密度）・・・（ＩＩ）
結果を表１の該当欄に示した。なお、ガラス材料Ｈに関しては、上記熱処理において溶融してしまったため、「－」と表記した。
【0061】
３－４．結晶化部分の有無の評価
ガラス材料Ａ～Ｉおよびセラミック材料Ｊについて、結晶化部分の有無を評価した。具体的には、上記３－１で得られたガラス材料Ａ～Ｉおよびセラミック材料Ｊの圧粉体を、１０００℃程度で２時間熱処理した後、得られたガラス体およびセラミック体を粉砕して粉末状の試料を得た。そして、かかる粉末状の試料に対して粉末Ｘ線結晶回折（ＸＲＤ）を行い、結晶析出の有無を確認した。かかる測定には、Ｘ線回折装置（リガク社製、ＲＩＮＴ－ＴＴＲＩＩＩ）を用いた。このとき、結晶が確認されなかったものを「無」、結晶が確認されたものを「有」と表記した。結果を表１の該当欄に示した。なお、ガラス材料Ｈに関しては、上記熱処理において溶融してしまったため、「－」と表記した。
ガラス材料Ａ～Ｉおよびセラミック材料Ｊについて、結晶化部分の有無を評価した。具体的には、上記３－１で得られたガラス材料Ａ～Ｉおよびセラミック材料Ｊの圧粉体を、１０００℃程度で２時間熱処理した後、得られたガラス体およびセラミック体を粉砕して粉末状の試料を得た。そして、かかる粉末状の試料に対して粉末Ｘ線結晶回折（ＸＲＤ）を行い、結晶析出の有無を確認した。かかる測定には、Ｘ線回折装置（リガク社製、ＲＩＮＴ－ＴＴＲＩＩＩ）を用いた。このとき、結晶が確認されなかったものを「無」、結晶が確認されたものを「有」と表記した。結果を表１の該当欄に示した。なお、ガラス材料Ｈに関しては、上記熱処理において溶融してしまったため、「－」と表記した。
【0062】
【表1】
【0063】
４．ガラス－金属複合体（または、セラミック－金属複合体）の評価試験
上記のとおり作製したサンプル１～２３について、耐熱性および耐腐食性の評価を行った。以下、各評価について説明する。
上記のとおり作製したサンプル１～２３について、耐熱性および耐腐食性の評価を行った。以下、各評価について説明する。
【0064】
４－１．耐熱性の評価
金属箔の一の短辺側の一部分が、グリーンシートからはみ出したものを焼成することによって得られた各ガラス－金属複合体について、１０００℃、２時間の熱処理を行った。このとき、２層のいずれか一方にでもクラックが入ったものや、２層が剥離したもの、ガラス材料が溶解してアルミナセッターに固着したもの等、形状を維持できなかったものを「×」と表記した。そして、上記熱処理後において、熱処理前の形状を保ったサンプルについて、金属箔を面方向に９０°折り曲げた。このとき、金属箔の表面に存在する酸化被膜（具体的には、Ａｌ２Ｏ３もしくはＣｒ２Ｏ３）が剥がれ落ちたものを「×」、剥がれ落ちなかったものを「〇」と表記した。結果を表２～表４の該当欄に示した。
金属箔の一の短辺側の一部分が、グリーンシートからはみ出したものを焼成することによって得られた各ガラス－金属複合体について、１０００℃、２時間の熱処理を行った。このとき、２層のいずれか一方にでもクラックが入ったものや、２層が剥離したもの、ガラス材料が溶解してアルミナセッターに固着したもの等、形状を維持できなかったものを「×」と表記した。そして、上記熱処理後において、熱処理前の形状を保ったサンプルについて、金属箔を面方向に９０°折り曲げた。このとき、金属箔の表面に存在する酸化被膜（具体的には、Ａｌ２Ｏ３もしくはＣｒ２Ｏ３）が剥がれ落ちたものを「×」、剥がれ落ちなかったものを「〇」と表記した。結果を表２～表４の該当欄に示した。
【0065】
４－２．耐腐食性の評価
耐熱性評価において「〇」であったサンプルについて、金属箔の全体がガラス層（またはセラミック層）により埋設されたものを焼成することによって得られたガラス－金属複合体を、アンモニアガスを流通することができる機構を備えた電気炉内に設置し、７００℃のアンモニア雰囲気に２時間暴露させた。かかる暴露後の複合体を樹脂詰めし、ダイヤモンドカッターにより切断加工し、ガラス層（またはセラミック層）と金属箔の断面を露出させた。そして、かかる断面について、ＥＤＸ（Ｅｎｅｒｇｙ Ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ Ｘ－ｒａｙ）分析し、窒素およびクロムの共存層を窒化層として、かかる窒化層の厚みを測定した。上記窒化層は、例えば厚みが２μｍ以下で検出される場合が好ましく、検出されない（即ち、Ｎ．Ｄ．である）場合がより好ましいとされる。これに基づいて、窒化層が２μｍ超確認されたものを「×」、窒化層が確認されたが、２μｍ以下であったものを「△」、窒化層が確認されなかったものを「〇」と表記した。結果を表２～表４の該当欄に示した。
耐熱性評価において「〇」であったサンプルについて、金属箔の全体がガラス層（またはセラミック層）により埋設されたものを焼成することによって得られたガラス－金属複合体を、アンモニアガスを流通することができる機構を備えた電気炉内に設置し、７００℃のアンモニア雰囲気に２時間暴露させた。かかる暴露後の複合体を樹脂詰めし、ダイヤモンドカッターにより切断加工し、ガラス層（またはセラミック層）と金属箔の断面を露出させた。そして、かかる断面について、ＥＤＸ（Ｅｎｅｒｇｙ Ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ Ｘ－ｒａｙ）分析し、窒素およびクロムの共存層を窒化層として、かかる窒化層の厚みを測定した。上記窒化層は、例えば厚みが２μｍ以下で検出される場合が好ましく、検出されない（即ち、Ｎ．Ｄ．である）場合がより好ましいとされる。これに基づいて、窒化層が２μｍ超確認されたものを「×」、窒化層が確認されたが、２μｍ以下であったものを「△」、窒化層が確認されなかったものを「〇」と表記した。結果を表２～表４の該当欄に示した。
【0066】
４－３．総合評価
上記評価の結果を踏まえて、耐熱性評価および耐腐食性評価が共に「〇」であったものを「〇」、耐熱性評価および／または耐腐食性評価が「△」であったものを「△」、耐熱性評価および／または耐腐食性評価が「×」であったものを「×」と表記した。結果を表２～表４の該当欄に示した。
上記評価の結果を踏まえて、耐熱性評価および耐腐食性評価が共に「〇」であったものを「〇」、耐熱性評価および／または耐腐食性評価が「△」であったものを「△」、耐熱性評価および／または耐腐食性評価が「×」であったものを「×」と表記した。結果を表２～表４の該当欄に示した。
【0067】
【表2】
【0068】
【表3】
【0069】
【表4】
【0070】
以上の結果より、金属箔（即ち、金属部材）と、該金属箔の少なくとも一部を被覆するガラス部材とを備えるガラス－金属複合体であって、該ガラス部材において、アモルファスマトリックス中に結晶化部分が存在し、材料耐熱温度が１０００℃以上であるサンプル１～１３に係るガラス－金属複合体において、耐熱性（具体的には、１０００℃～１１００℃程度）および耐窒化性の両立が好適に実現されることが確認された。また、１層がガラス部材であり、他の１層がセラミック焼結体（即ち、セラミックを主体とする部材）であるサンプル１４～１６に係るガラス－金属複合体についても、かかる両立が好適に実現されることが確認された。一方、２層が共にセラミック部材であるサンプル２３においては、耐窒化性が十分でないことが確認された。
このように、ここで開示されるガラス－金属複合体によると、耐熱性および耐窒化性の両立が好適に実現された複合体を提供することができる。
このように、ここで開示されるガラス－金属複合体によると、耐熱性および耐窒化性の両立が好適に実現された複合体を提供することができる。
【符号の説明】
【0071】
１ ガラス－金属複合体
２ ガラス部材
３ セラミック部材
４ 金属部材
５ リード
Ｓ 金属部材４の厚み
Ｔ ガラス部材２の厚み
２ ガラス部材
３ セラミック部材
４ 金属部材
５ リード
Ｓ 金属部材４の厚み
Ｔ ガラス部材２の厚み
【図1】