特開 2022-135006 レーザ媒質ユニット及びレーザ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022135006

(43)【公開日】2022-09-15

(54)【発明の名称】レーザ媒質ユニット及びレーザ装置

(51)【国際特許分類】

   H01S 3/06 20060101AFI20220908BHJP

   H01S 3/042 20060101ALI20220908BHJP

   H01S 3/091 20060101ALI20220908BHJP

   H01S 3/02 20060101ALI20220908BHJP

【ＦＩ】

H01S3/06

H01S3/042

H01S3/091

H01S3/02

【審査請求】未請求

【請求項の数】16

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021034560

(22)【出願日】2021-03-04

【国等の委託研究の成果に係る記載事項】（出願人による申告）国立研究開発法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構、高輝度・高効率次世代レーザー技術開発、産業技術力強化法第１７条の適用を受ける特許出願

(71)【出願人】

【識別番号】000236436

【氏名又は名称】浜松ホトニクス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100140442

【弁理士】

【氏名又は名称】柴山 健一

(72)【発明者】

【氏名】村松 侑輝

(72)【発明者】

【氏名】関根 尊史

(72)【発明者】

【氏名】幡野 佑真

(72)【発明者】

【氏名】玉置 善紀

(72)【発明者】

【氏名】倉田 将輝

【テーマコード（参考）】

5F172

【Ｆターム（参考）】

5F172AE03

5F172AF06

5F172AL07

5F172DD02

5F172EE16

5F172NS02

5F172NS18

5F172WW13

(57)【要約】

【課題】応力複屈折に起因するレーザ媒質の特性の低下及び熱複屈折に起因するレーザ媒質の特性の低下の両方を十分に抑制すると共に、レーザ媒質の温度制御を容易にすることができるレーザ媒質ユニット及びレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ媒質ユニット１０Ａは、レーザ媒質１１と、保持体１２と、を備えている。レーザ媒質１１は、一対の端面１１ａ，１１ｂを有している。保持体１２は、Ｚ軸方向から見た場合にレーザ媒質１１を包囲し、レーザ媒質１１を保持している。保持体１２は、Ｚ軸方向から見た場合に保持体１２の内側から外側に延在する変形許容部１３１を含んでいる。レーザ媒質１１と保持体１２とは、互いに接触している。保持体１２におけるレーザ媒質１１との接触領域Ｒは、Ｚ軸方向において幅を有し、Ｚ軸方向から見た場合にレーザ媒質１１の側面１１ｃに沿って延在している。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

一対の端面を有するレーザ媒質と、
前記一対の端面に交差する方向から見た場合に前記レーザ媒質を包囲し、前記レーザ媒質を保持する保持体と、を備え、
前記保持体は、前記一対の端面に交差する前記方向から見た場合に前記保持体の内側から外側に延在する変形許容部を含み、
前記レーザ媒質と前記保持体とは、互いに接触しており、
前記保持体における前記レーザ媒質との接触領域は、前記一対の端面に交差する前記方向において幅を有し、前記一対の端面に交差する前記方向から見た場合に前記レーザ媒質の外縁に沿って延在している、レーザ媒質ユニット。

【請求項2】

前記レーザ媒質は、前記一対の端面のそれぞれを主面とする板状を呈している、請求項１に記載のレーザ媒質ユニット。

【請求項3】

前記保持体は、前記変形許容部を含む本体部と、前記レーザ媒質と前記本体部との間に設けられた応力緩和部と、を有する、請求項１又は２に記載のレーザ媒質ユニット。

【請求項4】

前記レーザ媒質は、光増幅領域と、前記一対の端面に交差する前記方向から見た場合に前記光増幅領域を包囲する光吸収領域と、を有する、請求項１～３のいずれか一項に記載のレーザ媒質ユニット。

【請求項5】

前記変形許容部は、前記一対の端面に交差する前記方向から見た場合に前記保持体の内側から外側に延在するスリットを含む、請求項１～４のいずれか一項に記載のレーザ媒質ユニット。

【請求項6】

前記スリットは、複数のスリットのそれぞれであり、
前記複数のスリットは、前記一対の端面に交差する前記方向から見た場合に等角度間隔で配置されている、請求項５に記載のレーザ媒質ユニット。

【請求項7】

第１弾性部材を更に備え、
前記スリットは、複数のスリットのそれぞれであり、
前記第１弾性部材は、前記複数のスリットのそれぞれに配置されている、請求項５又は６に記載のレーザ媒質ユニット。

【請求項8】

取付部材を更に備え、
前記スリットは、複数のスリットのそれぞれであり、
前記取付部材は、前記一対の端面に交差する前記方向から見た場合に前記保持体を包囲している、請求項５～７のいずれか一項に記載のレーザ媒質ユニット。

【請求項9】

前記保持体と前記取付部材との間に配置された第２弾性部材を更に備える、請求項８に記載のレーザ媒質ユニット。

【請求項10】

前記取付部材の熱膨張率は、前記保持体の熱膨張率よりも小さい、請求項９に記載のレーザ媒質ユニット。

【請求項11】

前記取付部材の熱膨張率は、前記保持体の熱膨張率よりも大きい、請求項９に記載のレーザ媒質ユニット。

【請求項12】

請求項１～１１のいずれか一項に記載のレーザ媒質ユニットを備える、レーザ装置。

【請求項13】

前記レーザ媒質ユニットを収容し、冷媒が流れるチャンバを更に備える、請求項１２に記載のレーザ装置。

【請求項14】

前記レーザ媒質ユニットは、複数のレーザ媒質ユニットのそれぞれであり、
前記複数のレーザ媒質ユニットのそれぞれは、前記冷媒が流れる隙間を介して配置されている、請求項１３に記載のレーザ装置。

【請求項15】

前記レーザ媒質ユニットによって増幅されるレーザ光を出射するレーザ光源と、
前記レーザ媒質を励起する励起光を出射する励起光源と、を更に備える、請求項１２～１４のいずれか一項に記載のレーザ装置。

【請求項16】

前記励起光源は、第１励起光源及び第２励起光源のそれぞれであり、
前記第１励起光源は、前記レーザ媒質ユニットに対して、前記一対の端面に交差する前記方向における一方の側に配置されており、
前記第２励起光源は、前記レーザ媒質ユニットに対して、前記一対の端面に交差する前記方向における他方の側に配置されている、請求項１５に記載のレーザ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、レーザ媒質ユニット及びレーザ装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、円板状を呈するレーザ媒質と、レーザ媒質の厚さ方向から見た場合にレーザ媒質を包囲する保持プレートと、レーザ媒質と保持プレートとの間に配置されたＣリング、スプリング又は複数のコンタクトフィンガ（以下、「Ｃリング等」という）と、を備えるレーザ媒質ユニットが記載されている。特許文献１に記載のレーザ媒質ユニットでは、冷却ガスによって保持プレートが冷却されている際に、Ｃリング等が、レーザ媒質で発生した熱を保持プレートに逃がす熱伝導部として機能すると共に、保持プレートの収縮によってレーザ媒質に生じる応力を緩和する応力緩和部として機能する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】国際公開第２０１３／０９３５０３号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載のレーザ媒質ユニットでは、Ｃリング等が応力緩和部としては機能し、応力複屈折に起因するレーザ媒質の特性の低下が抑制されると想定される。しかし、特許文献１に記載のレーザ媒質ユニットでは、Ｃリング等とレーザ媒質との接触が不十分であるため、Ｃリング等が熱伝導部としては十分に機能せず、熱複屈折に起因するレーザ媒質の特性の低下が十分に抑制されないことに加え、レーザ媒質の温度制御が難しくなることが想定される。

【0005】

そこで、本発明は、応力複屈折に起因するレーザ媒質の特性の低下及び熱複屈折に起因するレーザ媒質の特性の低下の両方を十分に抑制すると共に、レーザ媒質の温度制御を容易にすることができるレーザ媒質ユニット及びレーザ装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明のレーザ媒質ユニットは、一対の端面を有するレーザ媒質と、一対の端面に交差する方向から見た場合にレーザ媒質を包囲し、レーザ媒質を保持する保持体と、を備え、保持体は、一対の端面に交差する方向から見た場合に保持体の内側から外側に延在する変形許容部を含み、レーザ媒質と保持体とは、互いに接触しており、保持体におけるレーザ媒質との接触領域は、一対の端面に交差する方向において幅を有し、一対の端面に交差する方向から見た場合にレーザ媒質の外縁に沿って延在している。

【0007】

このレーザ媒質ユニットでは、レーザ媒質を保持する保持体が、保持体の内側から外側に延在する変形許容部を含んでいる。これにより、レーザ媒質ユニットが冷却されて保持体が収縮したとしても、保持体の収縮によってレーザ媒質に生じる応力を緩和することができ、応力複屈折に起因するレーザ媒質の特性の低下を抑制することができる。また、保持体におけるレーザ媒質との接触領域が、レーザ媒質の一対の端面に交差する方向において幅を有しており、当該方向から見た場合にレーザ媒質の外縁に沿って延在している。これにより、レーザ媒質で発生した熱を保持体に効率良く逃がすことができ、熱複屈折に起因するレーザ媒質の特性の低下を抑制すると共に、レーザ媒質の温度制御を容易にすることができる。以上により、このレーザ媒質ユニットによれば、応力複屈折に起因するレーザ媒質の特性の低下及び熱複屈折に起因するレーザ媒質の特性の低下の両方を十分に抑制すると共に、レーザ媒質の温度制御を容易にすることができる。

【0008】

本発明のレーザ媒質ユニットでは、レーザ媒質は、一対の端面のそれぞれを主面とする板状を呈していてもよい。レーザ媒質が板状を呈している場合には、例えばレーザ媒質がロッド状を呈している場合に比べ、保持体におけるレーザ媒質との接触領域の確保が難しくなるおそれがある。そのため、レーザ媒質が板状を呈している場合には、上述した保持体の構成が特に有効である。

【0009】

本発明のレーザ媒質ユニットでは、保持体は、変形許容部を含む本体部と、レーザ媒質と本体部との間に設けられた応力緩和部と、を有してもよい。これにより、保持体の収縮によってレーザ媒質に生じる応力をより確実に緩和することができ、応力複屈折に起因するレーザ媒質の特性の低下をより確実に抑制することができる。

【0010】

本発明のレーザ媒質ユニットでは、レーザ媒質は、光増幅領域と、一対の端面に交差する方向から見た場合に光増幅領域を包囲する光吸収領域と、を有してもよい。これにより、光増幅領域で発生した放出光の一部が光吸収領域によって吸収されるため、寄生発振の発生が抑制される。また、光吸収領域では、放出光の一部の吸収によって熱が発生するため、上述した保持体の構成が特に有効である。

【0011】

本発明のレーザ媒質ユニットでは、変形許容部は、一対の端面に交差する方向から見た場合に保持体の内側から外側に延在するスリットを含んでもよい。これにより、保持体の収縮によってレーザ媒質に生じる応力を緩和すること、及びレーザ媒質で発生した熱を保持体に効率良く逃がすことの両方を実現し得る保持体を容易且つ確実に得ることができる。

【0012】

本発明のレーザ媒質ユニットでは、スリットは、複数のスリットのそれぞれであり、複数のスリットは、一対の端面に交差する方向から見た場合に等角度間隔で配置されていてもよい。これにより、保持体の収縮によってレーザ媒質に生じる応力を均一に緩和することができると共に、レーザ媒質で発生した熱を保持体に均一に逃がすことができる。

【0013】

本発明のレーザ媒質ユニットは、第１弾性部材を更に備え、スリットは、複数のスリットのそれぞれであり、第１弾性部材は、複数のスリットのそれぞれに配置されていてもよい。これにより、保持体が複数のスリットによって分割されたとしても、保持体をレーザ媒質に適切に接触させることができる。

【0014】

本発明のレーザ媒質ユニットは、取付部材を更に備え、スリットは、複数のスリットのそれぞれであり、取付部材は、一対の端面に交差する方向から見た場合に保持体を包囲していてもよい。これにより、保持体が複数のスリットによって分割されたとしても、保持体をレーザ媒質に適切に接触させることができる。

【0015】

本発明のレーザ媒質ユニットは、保持体と取付部材との間に配置された第２弾性部材を更に備えてもよい。これにより、保持体が複数のスリットによって分割されたとしても、保持体をレーザ媒質に適切に接触させることができる。

【0016】

本発明のレーザ媒質ユニットでは、取付部材の熱膨張率は、保持体の熱膨張率よりも小さくてもよい。これにより、レーザ媒質ユニットが冷却された際に、取付部材の収縮量が保持体の収縮量よりも小さくなるが、保持体と取付部材との間に第２弾性部材が配置されているため、取付部材の収縮の影響がレーザ媒質に及ぶのを抑制することができる。

【0017】

本発明のレーザ媒質ユニットでは、取付部材の熱膨張率は、保持体の熱膨張率よりも大きくてもよい。これにより、レーザ媒質ユニットが冷却された際に、取付部材の収縮量が保持体の収縮量よりも大きくなるが、保持体と取付部材との間に第２弾性部材が配置されているため、取付部材の収縮の影響がレーザ媒質に及ぶのを抑制することができる。

【0018】

本発明のレーザ装置は、上記のレーザ媒質ユニットを備える。

【0019】

本発明のレーザ装置によれば、上述したように、応力複屈折に起因するレーザ媒質の特性の低下及び熱複屈折に起因するレーザ媒質の特性の低下の両方を十分に抑制すると共に、レーザ媒質の温度制御を容易にすることができる。

【0020】

本発明のレーザ装置は、レーザ媒質ユニットを収容し、冷媒が流れるチャンバを更に備えてもよい。これにより、レーザ媒質ユニットを効率良く冷却することができる。

【0021】

本発明のレーザ装置では、レーザ媒質ユニットは、複数のレーザ媒質ユニットのそれぞれであり、複数のレーザ媒質ユニットのそれぞれは、冷媒が流れる隙間を介して配置されていてもよい。これにより、複数のレーザ媒質ユニットを効率良く冷却することができる。

【0022】

本発明のレーザ装置は、レーザ媒質ユニットによって増幅されるレーザ光を出射するレーザ光源と、レーザ媒質を励起する励起光を出射する励起光源と、を更に備えてもよい。これにより、良好な特性でレーザ光を増幅させることができる。

【0023】

本発明のレーザ装置では、励起光源は、第１励起光源及び第２励起光源のそれぞれであり、第１励起光源は、レーザ媒質ユニットに対して、一対の端面に交差する方向における一方の側に配置されており、第２励起光源は、レーザ媒質ユニットに対して、一対の端面に交差する方向における他方の側に配置されていてもよい。これにより、より良好な特性でレーザ光を増幅させることができる。

【発明の効果】

【0024】

本発明によれば、応力複屈折に起因するレーザ媒質の特性の低下及び熱複屈折に起因するレーザ媒質の特性の低下の両方を十分に抑制すると共に、レーザ媒質の温度制御を容易にすることができるレーザ媒質ユニット及びレーザ装置を提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0025】

【図1】第１実施形態のレーザ装置の構成図である。

【図2】図１に示されるレーザ媒質ユニットの正面図である。

【図3】図２に示されるレーザ媒質ユニットの分解斜視図である。

【図4】第２実施形態のレーザ媒質ユニットの正面図である。

【図5】図４に示されるレーザ媒質ユニットの分解斜視図である。

【図6】第３実施形態のレーザ媒質ユニットの正面図である。

【図7】変形例のレーザ媒質ユニットの正面図である。

【図8】変形例のレーザ媒質ユニットの正面図である。

【図9】変形例の第１弾性部材を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0026】

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

【0027】

［第１実施形態］
図１に示されるように、第１実施形態のレーザ装置１は、複数のレーザ媒質ユニット１０Ａと、チャンバ２と、レーザ光源３と、複数の励起光源４と、を備えている。各レーザ媒質ユニット１０Ａは、Ｚ軸方向に沿って隙間を介して配置されている。

【0028】

チャンバ２は、本体部２１と、一対の窓部２２と、導入部２５と、導出部２６と、を有している。本体部２１は、複数のレーザ媒質ユニット１０Ａを収容する内部空間Ｓを有している。本体部２１には、一対の開口２１ａ及び一対の開口２１ｂが形成されている。一対の開口２１ａは、Ｚ軸方向において互いに対向している。一対の開口２１ｂは、Ｙ軸方向において互いに対向している。

【0029】

各窓部２２は、各開口２１ａを塞ぐように本体部２１に取り付けられている。窓部２２は、枠体２３と、枠体２３によって保持された窓部材２４と、を含んでいる。窓部材２４は、後述するレーザ光Ｌ１及び励起光Ｌ２を透過させる。

【0030】

導入部２５は、導入通路２５ａを有している。導入部２５は、導入通路２５ａが開口２１ｂを介して内部空間Ｓと連通するように、本体部２１に取り付けられている。導入部２５は、冷媒Ｃ（例えば、低温ヘリウムガス等の冷却ガス）を内部空間Ｓに導入する。冷媒Ｃは、内部空間Ｓにおいて、隣り合うレーザ媒質ユニット１０Ａの間に形成された隙間を流れる。導出部２６は、導出通路２６ａを有している。導出部２６は、導出通路２６ａが開口２１ｂを介して内部空間Ｓと連通するように、本体部２１に取り付けられている。導出部２６は、冷媒Ｃを内部空間Ｓから導出する。

【0031】

レーザ光源３は、チャンバ２（複数のレーザ媒質ユニット１０Ａ）に対して、Ｚ軸方向における一方の側に配置されている。レーザ光源３は、複数のレーザ媒質ユニット１０Ａに対して種光であるレーザ光Ｌ１を出射する。レーザ光源３から出射されたレーザ光Ｌ１は、複数のレーザ媒質ユニット１０Ａに対してＺ軸方向における一方の側に配置された窓部２２の窓部材２４を介して複数のレーザ媒質ユニット１０Ａに入射する。レーザ光Ｌ１は、各レーザ媒質ユニット１０Ａによって増幅される。

【0032】

複数の励起光源４は、一対の第１励起光源４１と、一対の第２励起光源４２と、を含んでいる。一対の第１励起光源４１は、チャンバ２（複数のレーザ媒質ユニット１０Ａ）に対して、Ｚ軸方向における一方の側に配置されている。各第１励起光源４１は、複数のレーザ媒質ユニット１０Ａに対して励起光Ｌ２を出射する。各第１励起光源４１から出射された励起光Ｌ２は、複数のレーザ媒質ユニット１０Ａに対してＺ軸方向における一方の側に配置された窓部２２の窓部材２４を介して複数のレーザ媒質ユニット１０Ａに入射する。一対の第２励起光源４２は、チャンバ２（複数のレーザ媒質ユニット１０Ａ）に対して、Ｚ軸方向における他方の側に配置されている。各第２励起光源４２は、複数のレーザ媒質ユニット１０Ａに対して励起光Ｌ２を出射する。各第２励起光源４２から出射された励起光Ｌ２は、複数のレーザ媒質ユニット１０Ａに対してＺ軸方向における他方の側に配置された窓部２２の窓部材２４を介して複数のレーザ媒質ユニット１０Ａに入射する。励起光Ｌ２は、後述するレーザ媒質１１を励起する。

【0033】

図２及び図３に示されるように、レーザ媒質ユニット１０Ａは、レーザ媒質１１と、保持体１２と、第１弾性部材１５と、を備えている。レーザ媒質１１は、一対の端面１１ａ，１１ｂ、及び側面１１ｃを有している。レーザ媒質１１は、一対の端面１１ａ，１１ｂを主面とする板状を呈している。レーザ媒質１１は、例えば円板状を呈している。レーザ媒質１１の側面１１ｃは、Ｚ軸方向（レーザ媒質１１の一対の端面１１ａ，１１ｂに交差する方向）において所定の幅を有している。レーザ媒質１１の厚さ（すなわち、Ｚ軸方向における側面１１ｃの幅）は、例えば数ｍｍ～数十ｍｍ程度である。

【0034】

レーザ媒質１１は、固体レーザ媒質である。レーザ媒質１１は、例えば、活性元素としてＹｂがドープされたＹＡＧである。レーザ媒質１１は、励起光Ｌ２によって励起されて放出光を出力する。放出光は、例えば誘導放出光である。誘導放出光は、レーザ光Ｌ１の光増幅に寄与する。

【0035】

保持体１２は、Ｚ軸方向から見た場合にレーザ媒質１１を包囲しており、レーザ媒質１１を保持している。保持体１２は、本体部１３と、複数の係止部（爪部）１４と、を有している。本体部１３は、例えば板状を呈している。本体部１３は、内側面１３ａ及び外側面１３ｂを有している。第１実施形態では、本体部１３の内側面１３ａが保持体１２の内側面１２ａを構成しており、本体部１３の外側面１３ｂが保持体１２の外側面１２ｂを構成している。

【0036】

内側面１３ａは、Ｚ軸方向から見た場合にレーザ媒質１１の側面１１ｃに沿って延在している。第１実施形態では、内側面１３ａは、Ｚ軸方向から見た場合に円形状を呈している。外側面１３ｂは、Ｚ軸方向から見た場合に例えば矩形状を呈している。本体部１３の内側面１３ａ及び外側面１３ｂのそれぞれは、Ｚ軸方向（本体部１３の厚さ方向）において所定の幅を有している。本体部１３の厚さ（すなわち、Ｚ軸方向における内側面１３ａ及び外側面１３ｂのそれぞれの幅）は、例えば数ｍｍ～数十ｍｍ程度である。本体部１３の厚さは、レーザ媒質１１の厚さと略同じである。本体部１３の熱膨張率は、レーザ媒質１１の熱膨張率よりも大きい。本体部１３の材料は、例えば銅等である。

【0037】

本体部１３の一方の主面には、一対の係止部１４が設けられている。同様に、本体部１３の他方の主面には、一対の係止部１４が設けられている。本体部１３の一方の主面及び他方の主面のそれぞれにおいて、一対の係止部１４は、Ｚ軸方向から見た場合に本体部１３の内側の領域を介して互いに対向している。本体部１３の一方の主面及び他方の主面のそれぞれにおいて、各係止部１４は、Ｚ軸方向から見た場合に内側面１３ａよりも本体部１３の内側に突出している。

【0038】

本体部１３は、Ｚ軸方向から見た場合にレーザ媒質１１を包囲している。つまり、レーザ媒質１１は、本体部１３の内側に配置されている。Ｚ軸方向から見た場合に、レーザ媒質１１の直径は、本体部１３の内側面１３ａの直径と略同じである。Ｚ軸方向に垂直な方向へのレーザ媒質１１の移動は、本体部１３によって規制されている。レーザ媒質１１は、Ｚ軸方向において複数の係止部１４によって挟まれている。Ｚ軸方向におけるレーザ媒質１１の移動は、複数の係止部１４によって規制されている。このように、レーザ媒質１１は、本体部１３の内側において、本体部１３及び複数の係止部１４によって、保持されている。

【0039】

レーザ媒質１１と保持体１２とは、互いに接触している。レーザ媒質１１と保持体１２とは、他の部材（例えば伝熱性の悪い部材等）等を介さずに直接的に接触している。具体的には、レーザ媒質１１の側面１１ｃと本体部１３の内側面１３ａとは、互いに接触している。保持体１２におけるレーザ媒質１１との接触領域Ｒは、Ｚ軸方向において所定の幅を有している。Ｚ軸方向における接触領域Ｒの幅は、好ましくはレーザ媒質１１の厚さの５０％以上であり、より好ましくはレーザ媒質１１の厚さの７０％以上であり、更に好ましくはレーザ媒質１１の厚さの９０％以上である。第１実施形態では、本体部１３の内側面１３ａが接触領域Ｒに相当する。つまり、Ｚ軸方向における接触領域Ｒの幅は、レーザ媒質１１の厚さと略同じである。

【0040】

接触領域Ｒは、Ｚ軸方向から見た場合にレーザ媒質１１の側面１１ｃに沿って延在している。つまり、接触領域Ｒは、Ｚ軸方向から見た場合にレーザ媒質１１の外縁に沿って延在している。接触領域Ｒは、Ｚ軸方向から見た場合にレーザ媒質１１の外縁から離れていない。レーザ媒質１１の側面１１ｃ及び接触領域Ｒは、一続きの面である。側面１１ｃ及び接触領域Ｒには、例えば穴等の凹部が形成されていない。側面１１ｃと接触領域Ｒとの間には、空間が存在しない。レーザ媒質１１と保持体１２とは、接触領域Ｒにおいて連続的に且つ隙間なく接触している。レーザ媒質１１と保持体１２とは、接触領域Ｒにおいて互いに密着している。

【0041】

本体部１３は、本体部１３の変形を許容する複数の変形許容部１３１を含んでいる。各変形許容部１３１は、Ｚ軸方向から見た場合に保持体１２の内側から外側に延在している。各変形許容部１３１は、スリット１３ｃである。各スリット１３ｃは、Ｚ軸方向から見た場合に保持体１２の内側から外側に延在している。各スリット１３ｃは、本体部１３の内側面１３ａ及び外側面１３ｂに至っている。これにより、本体部１３は、複数の本体部材１３２に分割されている。複数のスリット１３ｃは、Ｚ軸方向から見た場合に等角度間隔で配置されている。一例として、各スリット１３ｃは、Ｚ軸方向から見た場合に本体部１３の外側面１３ｂの各辺部における略中央の位置から内側面１３ａに向かって延在している。

【0042】

Ｚ軸方向から見た場合に、各スリット１３ｃの幅は、本体部１３の内側面１３ａ（レーザ媒質１１の側面１１ｃ）の長さに対して十分に小さい。Ｚ軸方向から見た場合に、各スリット１３ｃ幅は、本体部１３の内側面１３ａ（レーザ媒質１１の側面１１ｃ）の長さの５％以下である。Ｚ軸方向から見た場合におけるスリット１３ｃの幅は、スリット１３ｃの延在方向におけるスリット１３ｃの長さよりも小さい。Ｚ軸方向から見た場合におけるスリット１３ｃの幅は、Ｚ軸方向における接触領域Ｒの幅よりも小さい。Ｚ軸方向から見た場合におけるスリット１３ｃの幅は、例えば数百μｍ～数ｍｍ程度である。

【0043】

第１弾性部材１５は、各スリット１３ｃに配置されている。第１弾性部材１５は、例えば、重なり合った複数のワイヤ状の弾性体によって構成されている。第１弾性部材１５の材料は、例えば銅等である。第１弾性部材１５は、例えば銅メッシュである。第１弾性部材１５は、例えば溶接又はろう付けによって、スリット１３ｃを構成する各本体部材１３２の側面に固定されている。複数の本体部材１３２は、第１弾性部材１５によって一体的に保持されている。本体部１３の内側面１３ａは、第１弾性部材１５の弾性力によって、レーザ媒質１１の側面１１ｃに接触している。具体的には、本体部１３の内側面１３ａがレーザ媒質１１の側面１１ｃに接触している状態においては、第１弾性部材１５は、引っ張られている。複数の本体部材１３２は、第１弾性部材１５の弾性力によって、互いに近寄せられている。

【0044】

以上説明したように、レーザ媒質ユニット１０Ａでは、レーザ媒質１１を保持する保持体１２が、保持体１２の内側から外側に延在する変形許容部１３１を含んでいる。これにより、レーザ媒質ユニット１０Ａが冷却されて保持体１２が収縮したとしても、保持体１２の収縮によってレーザ媒質１１に生じる応力を緩和することができ、応力複屈折に起因するレーザ媒質１１の特性の低下を抑制することができる。また、保持体１２におけるレーザ媒質１１との接触領域Ｒが、Ｚ軸方向において幅を有しており、Ｚ軸方向から見た場合にレーザ媒質１１の側面１１ｃに沿って延在している。すなわち、保持体１２の接触領域Ｒとレーザ媒質１１の側面１１ｃとの間には、空間が存在しない。保持体１２とレーザ媒質１１とは、接触領域Ｒにおいて互いに密着している。更に、Ｚ軸方向から見た場合に、各スリット１３ｃの幅が、本体部１３の内側面１３ａの長さに対して十分に小さい。これにより、レーザ媒質１１で発生した熱を保持体１２に効率良く逃がすことができ、熱複屈折に起因するレーザ媒質１１の特性の低下を抑制すると共に、レーザ媒質１１の温度制御を容易にすることができる。レーザ媒質１１は、熱が溜まりやすい性質を持つ場合があるため、レーザ媒質１１を効率良く冷却するのが特に重要である。上記の構成によれば、レーザ媒質１１の熱を効率良く逃がすことができ、レーザ媒質１１の特性の低下又はレーザ媒質１１の特性の不安定化を抑制することができる。以上により、レーザ媒質ユニット１０Ａによれば、応力複屈折に起因するレーザ媒質１１の特性の低下及び熱複屈折に起因するレーザ媒質１１の特性の低下の両方を十分に抑制すると共に、レーザ媒質１１の温度制御を容易にすることができる。

【0045】

レーザ媒質ユニット１０Ａでは、レーザ媒質１１が、一対の端面１１ａ，１１ｂのそれぞれを主面とする板状を呈している。レーザ媒質１１が板状を呈している場合には、例えばレーザ媒質がロッド状を呈している場合に比べ、保持体１２におけるレーザ媒質１１との接触領域Ｒの確保が難しくなるおそれがある。そのため、レーザ媒質１１が板状を呈している場合には、上述した保持体１２の構成が特に有効である。また、保持体１２におけるレーザ媒質１１との接触領域Ｒに加え、レーザ媒質１１の一対の端面１１ａ，１１ｂからもレーザ媒質１１で発生した熱を効率よく放出させることができる。

【0046】

レーザ媒質ユニット１０Ａでは、変形許容部１３１が、Ｚ軸方向から見た場合に保持体１２の内側から外側に延在するスリット１３ｃを含んでいる。これにより、保持体１２の収縮によってレーザ媒質１１に生じる応力を緩和すること、及びレーザ媒質１１で発生した熱を保持体に効率良く逃がすことの両方を実現し得る保持体を容易且つ確実に得ることができる。

【0047】

レーザ媒質ユニット１０Ａでは、複数のスリット１３ｃが、Ｚ軸方向から見た場合に等角度間隔で配置されている。これにより、保持体１２の収縮によってレーザ媒質１１に生じる応力を均一に緩和することができると共に、レーザ媒質１１で発生した熱を保持体１２に均一に逃がすことができる。

【0048】

レーザ媒質ユニット１０Ａは、第１弾性部材１５を備えている。第１弾性部材１５は、複数のスリット１３ｃのそれぞれに配置されている。これにより、保持体１２が複数のスリット１３ｃによって分割されたとしても、保持体１２をレーザ媒質１１に適切に接触させることができる。

【0049】

レーザ装置１によれば、上述したように、応力複屈折に起因するレーザ媒質１１の特性の低下及び熱複屈折に起因するレーザ媒質１１の特性の低下の両方を十分に抑制すると共に、レーザ媒質１１の温度制御を容易にすることができる。

【0050】

レーザ装置１は、レーザ媒質ユニット１０Ａが収容され、冷媒Ｃが流れるチャンバ２を備えている。これにより、レーザ媒質ユニット１０Ａを効率良く冷却することができる。

【0051】

レーザ装置１では、複数のレーザ媒質ユニット１０Ａのそれぞれが、冷媒Ｃが流れる隙間を介して配置されている。これにより、複数のレーザ媒質ユニット１０Ａを効率良く冷却することができる。

【0052】

レーザ装置１は、レーザ媒質ユニット１０Ａによって増幅されるレーザ光Ｌ１を出射するレーザ光源３と、レーザ媒質１１を励起する励起光Ｌ２を出射する励起光源４と、を備えている。これにより、良好な特性でレーザ光Ｌ１を増幅させることができる。

【0053】

レーザ装置１では、第１励起光源４１が、レーザ媒質ユニット１０Ａに対して、Ｚ軸方向における一方の側に配置されており、第２励起光源４２が、レーザ媒質ユニット１０Ａに対して、Ｚ軸方向における他方の側に配置されている。これにより、より良好な特性でレーザ光Ｌ１を増幅させることができる。

【0054】

［第２実施形態］
図４及び図５に示されるように、第２実施形態のレーザ媒質ユニット１０Ｂは、保持体１２に代えて保持体１２Ｂを備えている点、取付部材１６を更に備えている点、及び、第１弾性部材１５を備えていない点で、第１実施形態のレーザ媒質ユニット１０Ａと主に相違している。

【0055】

レーザ媒質ユニット１０Ｂは、保持体１２Ｂを備えている。保持体１２Ｂは、一対の本体部１３Ａ，１３Ｂを有している。本体部１３Ａは、第１実施形態の本体部１３のＺ軸方向における一方側の一部に相当し、本体部１３Ｂは、第１実施形態の本体部１３のＺ軸方向における他方側の一部に相当する。

【0056】

具体的には、各本体部１３Ａ，１３Ｂは、内側面１３ａ及び外側面１３ｂを有している。各本体部１３Ａ，１３Ｂの厚さは、第１実施形態の本体部１３の厚さの半分程度である。本体部１３Ａの一方の主面には、一対の係止部１４が設けられている。本体部１３Ｂの他方の主面には、一対の係止部１４が設けられている。レーザ媒質１１は、Ｚ軸方向において本体部１３Ａと本体部１３Ｂとによって挟まれている。各本体部１３Ａ，１３Ｂは、複数の変形許容部１３１を含んでいる。各変形許容部１３１は、スリット１３ｃである。レーザ媒質１１が本体部１３Ａと本体部１３Ｂとによって挟まれている状態においては、本体部１３Ａ，１３Ｂは、第１実施形態の本体部１３と同じ構成を有している。第２実施形態では、各スリット１３ｃに第１弾性部材１５が配置されていない。

【0057】

レーザ媒質ユニット１０Ｂは、取付部材１６を備えている。取付部材１６は、Ｚ軸方向から見た場合に保持体１２Ｂを包囲している。具体的には、取付部材１６は、第１取付部材１６１と、第２取付部材１６２と、を有している。第１取付部材１６１は、例えば矩形枠状を呈している。第１取付部材１６１には、内縁１６ａと外縁１６ｂとの間において第１段差部１６ｃ及び第２段差部１６ｄが形成されている。第１段差部１６ｃは、Ｚ軸方向から見た場合に例えば矩形状を呈している。第２段差部１６ｄは、Ｚ軸方向から見た場合に第１段差部１６ｃの外側に位置している。第２段差部１６ｄは、Ｚ軸方向から見た場合にＹ軸方向に沿って延在し、且つ第１取付部材１６１の外縁１６ｂに至っている。

【0058】

第２取付部材１６２は、例えば矩形枠状を呈している。第２取付部材１６２の内縁１６ｅは、Ｚ軸方向から見た場合に第１取付部材１６１の内縁１６ａと略一致している。第２取付部材１６２の外縁１６ｆは、Ｚ軸方向から見た場合に第１取付部材１６１の第２段差部１６ｄと略一致している。第２取付部材１６２は、第１取付部材１６１の第２段差部１６ｄに配置されている。

【0059】

一対の本体部１３Ａ，１３Ｂの外側面１３ｂは、Ｚ軸方向から見た場合に第１取付部材１６１の内縁１６ａ及び第２取付部材１６２の内縁１６ｅよりも外側に位置しており、第１段差部１６ｃと略一致している。レーザ媒質１１及び保持体１２Ｂは、第１段差部１６ｃに配置された状態で、第１取付部材１６１及び第２取付部材１６２によって挟まれている。このように、保持体１２Ｂは、取付部材１６によって一括で保持されている。

【0060】

以上説明したように、レーザ媒質ユニット１０Ｂは、取付部材１６を備えている。取付部材１６は、Ｚ軸方向から見た場合に保持体１２Ｂを包囲している。これにより、保持体１２が複数のスリット１３ｃによって分割されたとしても、保持体１２をレーザ媒質１１に適切に接触させることができる。

【0061】

［第３実施形態］
図６に示されるように、第３実施形態のレーザ媒質ユニット１０Ｃは、レーザ媒質１１に代えてレーザ媒質１１Ｃを備えている点、保持体１２に代えて保持体１２Ｃを備えている点、第１弾性部材１５を備えていない点、取付部材１８を更に備えている点、及び、第２弾性部材１９を更に備えている点で、第１実施形態のレーザ媒質ユニット１０Ａと主に相違している。

【0062】

レーザ媒質ユニット１０Ｃは、レーザ媒質１１Ｃを備えている。レーザ媒質１１Ｃは、光増幅領域１１１と、光吸収領域１１２と、を有している。光増幅領域１１１は、例えば、活性元素としてＹｂがドープされたＹＡＧである。光増幅領域１１１は、例えば円板状を呈している。光吸収領域１１２は、Ｚ軸方向から見た場合に光増幅領域１１１を包囲している。光吸収領域１１２は、光増幅領域１１１と一体的に形成されている。光吸収領域１１２は、光増幅領域１１１で発生した放出光の一部を吸収することで、寄生発振の発生を抑制している。光吸収領域１１２の外側面は、レーザ媒質１１Ｃの側面１１ｃを構成している。光吸収領域１１２の材料は、例えばＣｒ：ＹＡＧセラミクス、Ｓｍ：ＹＡＧ、黒色インク又は黒色樹脂等である。

【0063】

レーザ媒質ユニット１０Ｃは、保持体１２Ｃを備えている。保持体１２Ｃは、本体部１３と、応力緩和部１７と、を有している。応力緩和部１７は、本体部１３の内側面１３ａに設けられている。つまり、応力緩和部１７は、レーザ媒質１１Ｃと本体部１３との間に設けられている。応力緩和部１７は、リング状を呈している。応力緩和部１７は、Ｚ軸方向において所定の幅を有している。Ｚ軸方向における応力緩和部１７の幅は、例えば数ｍｍ～数十ｍｍ程度である。Ｚ軸方向における応力緩和部１７の幅は、レーザ媒質１１Ｃの厚さと略同じである。応力緩和部１７は、Ｚ軸方向から見た場合にレーザ媒質１１Ｃの側面１１ｃに沿って延在している。応力緩和部１７は、Ｚ軸方向から見た場合に連続的に繋がっている。応力緩和部１７には、例えば局所的に切欠き等が形成されていてもよい。当該切欠きは、例えば、本体部１３のスリット１３ｃに対応する位置に形成され、スリット１３ｃと略同じ幅を有していてもよい。

【0064】

レーザ媒質１１Ｃと保持体１２Ｃとは、互いに接触している。具体的には、レーザ媒質１１Ｃの側面１１ｃと応力緩和部１７の内側面１７ａとは、互いに接触している。第３実施形態では、応力緩和部１７の内側面１７ａが保持体１２の内側面１２ａを構成している。第３実施形態では、応力緩和部１７の内側面１７ａが接触領域Ｒに相当する。応力緩和部１７の弾性係数は、本体部１３の弾性係数よりも小さい。応力緩和部１７の熱伝導率は、レーザ媒質１１Ｃの熱伝導率よりも大きい。応力緩和部１７の熱伝導率と本体部１３の熱伝導率との差の絶対値は、応力緩和部１７の熱伝導率とレーザ媒質１１Ｃの熱伝導率との差の絶対値よりも小さい。つまり、応力緩和部１７の熱伝導率は、レーザ媒質１１Ｃよりも本体部１３に近い。応力緩和部１７の材料は、例えばインジウム等である。

【0065】

レーザ媒質ユニット１０Ｃは、取付部材１８を備えている。取付部材１８は、Ｚ軸方向から見た場合に保持体１２Ｃを包囲している。取付部材１８は、Ｚ軸方向から見た場合に、例えば矩形枠状を呈している。取付部材１８の内側面１８ａは、Ｚ軸方向から見た場合に本体部１３の外側面１３ｂよりも外側に位置している。取付部材１８の熱膨張率は、本体部１３の熱膨張率よりも小さい。取付部材１８の材料は、例えばステンレス等である。

【0066】

レーザ媒質ユニット１０Ｃは、第２弾性部材１９を備えている。第２弾性部材１９は、本体部１３と取付部材１８との間に配置されている。第２弾性部材１９は、Ｚ軸方向から見た場合に本体部１３の外側面１３ｂに沿って延在している。第２弾性部材１９は、第１弾性部材１５と同様に、例えば、重なり合った複数のワイヤ状の弾性体によって構成されている。第２弾性部材１９の材料は、例えば銅等である。第２弾性部材１９は、例えば銅メッシュである。第２弾性部材１９は、例えば溶接又はろう付けによって、本体部１３の外側面１３ｂ及び取付部材１８の内側面１８ａに固定されている。

【0067】

本体部１３の複数の本体部材１３２は、取付部材１８及び第２弾性部材１９によって一括で保持されている。応力緩和部１７の内側面１７ａは、第２弾性部材１９の弾性力によって、レーザ媒質１１Ｃの側面１１ｃに接触している。具体的には、第２弾性部材１９は、圧縮されている。複数の本体部材１３２は、第２弾性部材１９の弾性力によって、レーザ媒質１１Ｃに押し付けられている。応力緩和部１７の内側面１７ａは、複数の本体部材１３２に押圧されることによって、レーザ媒質１１Ｃの側面１１ｃに接触している。なお、図６においては、係止部１４の図示が省略されている。

【0068】

以上説明したように、レーザ媒質ユニット１０Ｃでは、保持体１２Ｃが、変形許容部１３１を含む本体部１３と、レーザ媒質１１Ｃと本体部１３との間に設けられた応力緩和部１７と、を有している。これにより、保持体１２Ｃの収縮によってレーザ媒質１１Ｃに生じる応力をより確実に緩和することができ、応力複屈折に起因するレーザ媒質１１Ｃの特性の低下をより確実に抑制することができる。また、応力緩和部１７の弾性係数は、本体部１３の弾性係数よりも小さいため、レーザ媒質１１Ｃと保持体１２Ｃとの密着性を向上させることができる。これにより、レーザ媒質１１Ｃで発生した熱を保持体１２Ｃに更に効率良く逃がすことができる。

【0069】

レーザ媒質ユニット１０Ｃでは、レーザ媒質１１Ｃが、光増幅領域１１１と、Ｚ軸方向から見た場合に光増幅領域１１１を包囲する光吸収領域１１２と、を有している。これにより、光増幅領域１１１で発生した放出光の一部が光吸収領域１１２によって吸収されるため、寄生発振の発生が抑制される。また、光吸収領域１１２では、放出光の一部の吸収によって熱が発生するため、上述した保持体１２Ｃの構成が特に有効である。また、レーザ媒質１１Ｃが板状を呈している場合には、レーザ媒質１１Ｃの主面である端面からの冷却（端面冷却）が主流（一般的）であり、レーザ媒質１１Ｃの側面１１ｃからの冷却（側面冷却）については、注目されない傾向にある。更に、レーザ媒質１１Ｃが、寄生発振を抑制する光吸収領域１１２を有している場合には、特にレーザ媒質１１Ｃの側面１１ｃでの発熱が多くなる。そのため、上述した保持体１２Ｃの構成によれば、例えば冷却ガス等の冷媒による端面冷却、及び保持体１２Ｃによる側面冷却が可能となり、レーザ媒質１１Ｃで発生した熱を効率良く逃がすことができ、レーザ媒質１１Ｃのレーザ特性の低下を効果的に抑制することができる。

【0070】

レーザ媒質ユニット１０Ｃは、保持体１２Ｃと取付部材１８との間に配置された第２弾性部材１９を備えている。これにより、保持体１２Ｃが複数のスリット１３ｃによって分割されたとしても、保持体１２Ｃをレーザ媒質１１Ｃに適切に接触させることができる。

【0071】

レーザ媒質ユニット１０Ｃでは、取付部材１８の熱膨張率が、本体部１３の熱膨張率よりも小さい。これにより、レーザ媒質ユニット１０Ｃが冷却された際に、取付部材１８の収縮量が保持体１２Ｃの収縮量よりも小さくなる。しかし、保持体１２Ｃと取付部材１８との間に配置されている第２弾性部材１９によって、取付部材１８の収縮量と保持体１２Ｃの収縮量との差を調整でき、取付部材１８の収縮の影響がレーザ媒質１１Ｃに及ぶのを抑制することができる。

【0072】

［変形例］
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。

【0073】

第３実施形態において、本体部１３の外側面１３ｂが、Ｚ軸方向から見た場合に矩形状を呈している例を示したが、図７に示されるように、本体部１３Ｄは、Ｚ軸方向から見た場合に例えば円環状を呈していてもよい。この場合、取付部材１８Ｄの内側面１８ａは、Ｚ軸方向から見た場合に円形状を呈している。また、保持体１２Ｄと取付部材１８Ｄとの間には、第２弾性部材１９が配置されていなくてもよい。この場合、取付部材１８Ｄの熱膨張率は、本体部１３Ｄの熱膨張率よりも大きい。これにより、取付部材１８Ｄが冷却された場合、取付部材１８Ｄの収縮によって、保持体１２Ｄを保持することができ、保持体１２Ｄをレーザ媒質１１Ｃに適切に接触させることができる。また、図８に示されるように、本体部１３Ｅは、１つのスリット１３ｃ（変形許容部１３１）を含んでいてもよい。

【0074】

第１実施形態において、第１弾性部材１５が重なり合った複数のワイヤ状の弾性体によって構成されている例を示したが、図９に示されるように、第１弾性部材１５は、例えばスプリング等であってもよい。第３実施形態においても、第２弾性部材１９は、例えばスプリング等であってもよい。第１弾性部材１５及び第２弾性部材１９のそれぞれは、例えば、弾性接着剤等の弾性樹脂によって構成されていてもよい。

【0075】

各実施形態において、レーザ媒質１１，１１Ｃが板状を呈している例を示したが、レーザ媒質１１，１１Ｃは、例えばロッド状を呈していてもよい。また、レーザ媒質１１，１１Ｃが円板状を呈している例を示したが、レーザ媒質１１，１１Ｃは、例えば矩形板状を呈していてもよい。

【0076】

各実施形態において、スリット１３ｃが本体部１３，１３Ａ，１３Ｂの内側面１３ａ及び外側面１３ｂに至っている例を示したが、スリット１３ｃは、本体部１３，１３Ａ，１３Ｂの内側面１３ａ及び外側面１３ｂに至っていなくてもよい。スリット１３ｃは、本体部１３，１３Ａ，１３Ｂの内側面１３ａ及び外側面１３ｂのいずれか一方に至っていてもよく、内側面１３ａ及び外側面１３ｂのいずれにも至っていなくてもよい。つまり、スリット１３ｃは、本体部１３，１３Ａ，１３Ｂの内側面１３ａ及び外側面１３ｂの少なくとも一方に至っていてもよい。

【0077】

各実施形態において、各変形許容部１３１がスリット１３ｃである例を示したが、変形許容部１３１は、スリット１３ｃではなくてもよい。変形許容部１３１は、例えば、保持体１２，１２Ｂ，１２Ｃのうちの第１領域であって、弾性係数が、保持体１２，１２Ｂ，１２Ｃのうちの第２領域よりも小さい領域であってもよい。また、変形許容部１３１は、例えば、保持体１２，１２Ｂ，１２Ｃのうちの第１領域であって、Ｚ軸方向における厚さが、保持体１２，１２Ｂ，１２Ｃのうちの第２領域よりも小さい領域であってもよい。つまり、変形許容部１３１は、Ｚ軸方向において保持体１２，１２Ｂ，１２Ｃを貫通していなくてもよい。変形許容部１３１は、保持体１２，１２Ｂ，１２Ｃの変形を許容するものであればよい。

【0078】

第１実施形態のレーザ媒質ユニット１０Ａ及び第２実施形態のレーザ媒質ユニット１０Ｂのそれぞれも、第３実施形態のレーザ媒質ユニット１０Ｃと同様に、応力緩和部１７を有する保持体１２Ｃを備えていてもよい。

【0079】

第１実施形態のレーザ媒質ユニット１０Ａ及び第２実施形態のレーザ媒質ユニット１０Ｂのそれぞれも、第３実施形態のレーザ媒質ユニット１０Ｃと同様に、光増幅領域１１１及び光吸収領域１１２を有するレーザ媒質１１Ｃを備えていてもよい。

【0080】

第３実施形態において、光吸収領域１１２が光増幅領域１１１と一体的に形成されている例を示したが、光吸収領域１１２は、光増幅領域１１１と別体的に形成されていてもよい。光吸収領域１１２は、別部材として光増幅領域１１１の側面に設けられていてもよい。

【0081】

第３実施形態において、取付部材１８の熱膨張率が、本体部１３の熱膨張率よりも小さい例を示したが、取付部材１８の熱膨張率は、本体部１３の熱膨張率よりも大きくてもよい。この場合、レーザ媒質ユニット１０Ｃが冷却された際に、取付部材１８の収縮量が保持体１２Ｃの収縮量よりも大きくなる。しかし、保持体１２Ｃと取付部材１８との間に配置されている第２弾性部材１９によって、取付部材１８の収縮量と保持体１２Ｃの収縮量との差を調整でき、取付部材１８の収縮の影響がレーザ媒質１１Ｃに及ぶのを抑制することができる。

【符号の説明】

【0082】

１…レーザ装置、２…チャンバ、３…レーザ光源、４…励起光源、１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ…レーザ媒質ユニット、１１，１１Ｃ…レーザ媒質、１１ａ，１１ｂ…端面、１１ｃ…側面、１２，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄ…保持体、１３，１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｄ…本体部、１３ｃ…スリット、１５…第１弾性部材、１６，１８，１８Ｄ…取付部材、１７…応力緩和部、１９…第２弾性部材、４１…第１励起光源、４２…第２励起光源、１１１…光増幅領域、１１２…光吸収領域、１３１…変形許容部、Ｃ…冷媒。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】