ホーム > 特許ランキング > アルテミラ製缶株式会社
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022137446
(43)【公開日】2022-09-22
(54)【発明の名称】マイクロバブル発生装置
(51)【国際特許分類】
B01F 23/20 20220101AFI20220914BHJP
B01F 23/23 20220101ALI20220914BHJP
B01F 25/40 20220101ALI20220914BHJP
B01F 25/10 20220101ALI20220914BHJP
【ＦＩ】
B01F3/04 Z
B01F3/04 A
B01F5/00 D
B01F5/00 G
【審査請求】未請求
【請求項の数】5
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021036953
(22)【出願日】2021-03-09
(71)【出願人】
【識別番号】305060154
【氏名又は名称】アルテミラ製缶株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100149548
【弁理士】
【氏名又は名称】松沼 泰史
(74)【代理人】
【識別番号】100175802
【弁理士】
【氏名又は名称】寺本 光生
(74)【代理人】
【識別番号】100142424
【弁理士】
【氏名又は名称】細川 文広
(74)【代理人】
【識別番号】100140774
【弁理士】
【氏名又は名称】大浪 一徳
(72)【発明者】
【氏名】鷹取 敏治
【テーマコード（参考）】
4G035
【Ｆターム（参考）】
4G035AB04
4G035AB06
4G035AC02
4G035AC44
4G035AC55
4G035AE13
(57)【要約】
【課題】エア供給量を少なく抑えて、効率よくマイクロバブルを発生させることが可能なマイクロバブル発生装置を提供する。
【解決手段】液体が流通する管に設けられ、液体中にマイクロバブルを発生させるマイクロバブル発生装置１０であって、装置本体２０と、装置本体２０の内部を延び、液体が流通する流路５０と、を備え、流路５０は、装置本体２０の中心軸Ｏに沿って軸方向の下流側へ向かうに従い、中心軸Ｏ回りの周方向位置が段階的に変化する段差付き螺旋流路３８ｂと、段差付き螺旋流路３８ｂの軸方向の上流側に配置されて軸方向に延び、段差付き螺旋流路３８ｂと連通するエア供給流路３６と、を有し、装置本体２０は、エア供給流路３６にエアを供給するエア供給部１４を有し、エア供給部１４は、エア供給流路３６の内周面に沿って環状に延び、軸方向の下流側に向けて開口するエア噴射スリット４６を有する。
【選択図】図３
【解決手段】液体が流通する管に設けられ、液体中にマイクロバブルを発生させるマイクロバブル発生装置１０であって、装置本体２０と、装置本体２０の内部を延び、液体が流通する流路５０と、を備え、流路５０は、装置本体２０の中心軸Ｏに沿って軸方向の下流側へ向かうに従い、中心軸Ｏ回りの周方向位置が段階的に変化する段差付き螺旋流路３８ｂと、段差付き螺旋流路３８ｂの軸方向の上流側に配置されて軸方向に延び、段差付き螺旋流路３８ｂと連通するエア供給流路３６と、を有し、装置本体２０は、エア供給流路３６にエアを供給するエア供給部１４を有し、エア供給部１４は、エア供給流路３６の内周面に沿って環状に延び、軸方向の下流側に向けて開口するエア噴射スリット４６を有する。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
液体が流通する管に設けられ、液体中にマイクロバブルを発生させるマイクロバブル発生装置であって、
装置本体と、
前記装置本体の内部を延び、液体が流通する流路と、を備え、
前記流路は、
前記装置本体の中心軸に沿って軸方向の下流側へ向かうに従い、前記中心軸回りの周方向位置が段階的に変化する段差付き螺旋流路と、
前記段差付き螺旋流路の軸方向の上流側に配置されて軸方向に延び、前記段差付き螺旋流路と連通するエア供給流路と、を有し、
前記装置本体は、前記エア供給流路にエアを供給するエア供給部を有し、
前記エア供給部は、前記エア供給流路の内周面に沿って環状に延び、軸方向の下流側に向けて開口するエア噴射スリットを有する、
マイクロバブル発生装置。
装置本体と、
前記装置本体の内部を延び、液体が流通する流路と、を備え、
前記流路は、
前記装置本体の中心軸に沿って軸方向の下流側へ向かうに従い、前記中心軸回りの周方向位置が段階的に変化する段差付き螺旋流路と、
前記段差付き螺旋流路の軸方向の上流側に配置されて軸方向に延び、前記段差付き螺旋流路と連通するエア供給流路と、を有し、
前記装置本体は、前記エア供給流路にエアを供給するエア供給部を有し、
前記エア供給部は、前記エア供給流路の内周面に沿って環状に延び、軸方向の下流側に向けて開口するエア噴射スリットを有する、
マイクロバブル発生装置。
【請求項2】
前記エア噴射スリットのスリット幅寸法が、０．１ｍｍ以下である、
請求項１に記載のマイクロバブル発生装置。
請求項１に記載のマイクロバブル発生装置。
【請求項3】
前記段差付き螺旋流路は、前記中心軸回りの周方向に並んで複数設けられる、
請求項１または２に記載のマイクロバブル発生装置。
請求項１または２に記載のマイクロバブル発生装置。
【請求項4】
前記エア噴射スリットは、前記中心軸を中心とする環状である、
請求項１から３のいずれか１項に記載のマイクロバブル発生装置。
請求項１から３のいずれか１項に記載のマイクロバブル発生装置。
【請求項5】
前記エア噴射スリットは、前記段差付き螺旋流路の軸方向の上流側の端部に接続される流路部分の流路中心と同心とされた環状である、
請求項１から３のいずれか１項に記載のマイクロバブル発生装置。
請求項１から３のいずれか１項に記載のマイクロバブル発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、マイクロバブル発生装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、例えば特許文献１に記載のマイクロバブル発生装置が知られている。マイクロバブル発生装置は、管の一部に設けられ、管を流れる液体中にマイクロバブルを発生させる。液体中のマイクロバブルは、管の内壁等に付着した堆積物を除去する機能や、堆積物が新たに付着することを抑制する機能等を有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２０－１４２１８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
この種のマイクロバブル発生装置では、液体へのエア供給量を少なく抑えて、効率よくマイクロバブルを発生させることが求められている。
【0005】
本発明は、エア供給量を少なく抑えて、効率よくマイクロバブルを発生させることが可能なマイクロバブル発生装置を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の一つの態様は、液体が流通する管に設けられ、液体中にマイクロバブルを発生させるマイクロバブル発生装置であって、装置本体と、前記装置本体の内部を延び、液体が流通する流路と、を備え、前記流路は、前記装置本体の中心軸に沿って軸方向の下流側へ向かうに従い、前記中心軸回りの周方向位置が段階的に変化する段差付き螺旋流路と、前記段差付き螺旋流路の軸方向の上流側に配置されて軸方向に延び、前記段差付き螺旋流路と連通するエア供給流路と、を有し、前記装置本体は、前記エア供給流路にエアを供給するエア供給部を有し、前記エア供給部は、前記エア供給流路の内周面に沿って環状に延び、軸方向の下流側に向けて開口するエア噴射スリットを有する。
【0007】
本発明のマイクロバブル発生装置では、エア供給部のエア噴射スリットから液体中に環状に細かなエア（気泡）が噴射され、このエアを含む液体が、軸方向の下流側の段差付き螺旋流路を流れる。これにより、細かな気泡がより微小化されて、マイクロバブルが発生する。すなわち、エアを含む液体が段差付き螺旋流路を流れることで、段差付き螺旋流路の内面の凹凸によってキャビテーション作用が得られたり、液体に遠心力が作用したりして、液体中にマイクロバブルが発生する。
液体中のマイクロバブルは、管の内壁等に付着した堆積物を除去する機能や、堆積物が新たに付着することを抑制する機能等を有する。したがって、液体が流通する管を含む液体の流通系統全域にわたって、洗浄効果を得ることができる。
液体中のマイクロバブルは、管の内壁等に付着した堆積物を除去する機能や、堆積物が新たに付着することを抑制する機能等を有する。したがって、液体が流通する管を含む液体の流通系統全域にわたって、洗浄効果を得ることができる。
【0008】
本発明によれば、エア噴射スリットから、いわゆるエアナイフ等と呼ばれる厚さ寸法が薄く高速のエアカーテン状のエアが、液体中に供給される。
このようにして噴射されたエアおよびエアを含む液体は、コアンダ効果によって、流路の内周面に沿うように流れつつ、下流側の段差付き螺旋流路に流入する。細かなエアを含んだ液体が、段差付き螺旋流路の内面の凹凸に沿って流されるため、気泡を効率よくマイクロバブルへ変化させることができる。またコアンダ効果により、下流側へ送り出される液体の流速を高めることができるため、マイクロバブル発生装置から遠い管の部分にまでマイクロバブルを安定して到達させることが可能になり、流通系統の洗浄効果がより高められる。
このようにして噴射されたエアおよびエアを含む液体は、コアンダ効果によって、流路の内周面に沿うように流れつつ、下流側の段差付き螺旋流路に流入する。細かなエアを含んだ液体が、段差付き螺旋流路の内面の凹凸に沿って流されるため、気泡を効率よくマイクロバブルへ変化させることができる。またコアンダ効果により、下流側へ送り出される液体の流速を高めることができるため、マイクロバブル発生装置から遠い管の部分にまでマイクロバブルを安定して到達させることが可能になり、流通系統の洗浄効果がより高められる。
【0009】
また、エア噴射スリットは、エア供給流路の内周面に沿って環状に、すなわち３６０°全周にわたって細かなエアを噴射するので、段差付き螺旋流路内の周方向の広範囲にわたって上述の作用効果を得ることができる。
また、エア噴射スリットは、液体が流れる向きつまり下流側へ向けてエアを噴射するので、エア噴射スリット内への液体の逆流が抑制される。このため、エア噴射スリット内への堆積物の付着等が抑えられ、上述したエア噴射スリットによる各機能が良好に維持される。
また、エア噴射スリットは、液体が流れる向きつまり下流側へ向けてエアを噴射するので、エア噴射スリット内への液体の逆流が抑制される。このため、エア噴射スリット内への堆積物の付着等が抑えられ、上述したエア噴射スリットによる各機能が良好に維持される。
【0010】
段差付き螺旋流路を通過した後の液体は、旋回流となってマイクロバブル発生装置の下流側へと流れていく。この旋回流によっても、マイクロバブル発生装置から遠く離れた管の部分にまでマイクロバブルが安定して行き渡りやすくなり、液体の流通系統全域において洗浄効果を高めることができる。
【0011】
以上より本発明によれば、エア噴射スリットから高い流速かつ流量が少なく抑えられたエアを液体中に噴射することで、液体へのエア供給量を少なく抑えつつ、効率よくマイクロバブルを発生させることができる。具体的に、従来方式のマイクロバブル発生装置のエア供給量に比べて、本発明のマイクロバブル発生装置では、十分な洗浄効果を確保しつつエア供給量を１／３程度にまで削減することが可能となった。また、エア噴射スリットをコンパクトに構成することが容易であり、マイクロバブル発生装置の小型化が図りやすい。また、既存の配管設備等に本発明のマイクロバブル発生装置を適用することが容易であり、汎用性が高い。
【0012】
上記マイクロバブル発生装置において、前記エア噴射スリットのスリット幅寸法が、０．１ｍｍ以下であることが好ましい。
【0013】
エア噴射スリットのスリット幅寸法が０．１ｍｍ以下であると、エアナイフとしての機能が安定して確保される。すなわち、エア噴射スリットから液体中に高速で細かなエア（気泡）を安定して噴射することができ、マイクロバブルをより多く発生させることができる。また、エア供給量をより好適に削減できる。また、スリット幅寸法が十分に小さいことで、このエア噴射スリットを通して流路からエア供給部内へと液体が逆流することを抑制できる。したがって、エア供給部の機能が良好に維持される。
なお、好ましくは、エア噴射スリットのスリット幅寸法は０．０５ｍｍ以下であり、より望ましくは、０．０３ｍｍ以下である。また、製造を容易とし、かつ所定以上のエア供給量を確保する点からは、スリット幅寸法は、例えば０．０１ｍｍ以上であることが好ましい。
なお、好ましくは、エア噴射スリットのスリット幅寸法は０．０５ｍｍ以下であり、より望ましくは、０．０３ｍｍ以下である。また、製造を容易とし、かつ所定以上のエア供給量を確保する点からは、スリット幅寸法は、例えば０．０１ｍｍ以上であることが好ましい。
【0014】
上記マイクロバブル発生装置において、前記段差付き螺旋流路は、前記中心軸回りの周方向に並んで複数設けられることが好ましい。
【0015】
この場合、複数の段差付き螺旋流路によって、マイクロバブルをより多く発生させることができる。
【0016】
上記マイクロバブル発生装置において、前記エア噴射スリットは、前記中心軸を中心とする環状であることとしてもよい。
【0017】
この場合、装置本体の中心軸回りに周方向均等にマイクロバブルを発生させることができる。
【0018】
上記マイクロバブル発生装置において、前記エア噴射スリットは、前記段差付き螺旋流路の軸方向の上流側の端部に接続される流路部分の流路中心と同心とされた環状であることとしてもよい。
【0019】
この場合、細かなエアを含む液体を段差付き螺旋流路の内周面全周に供給することができ、マイクロバブルをより効率よく発生させることができる。
【発明の効果】
【0020】
本発明の一つの態様のマイクロバブル発生装置によれば、エア供給量を少なく抑えて、効率よくマイクロバブルを発生させることができる。
【図面の簡単な説明】
【0021】
【発明を実施するための形態】
【0022】
＜第１実施形態＞
本発明の第１実施形態のマイクロバブル発生装置１０について、図１～図５を参照して説明する。
図１に示すように、本実施形態のマイクロバブル発生装置１０は、液体が流通する管１００に設けられ、管１００を流れる液体中にマイクロバブルを発生させる。具体的に、マイクロバブル発生装置１０は、例えば製缶工場において、用水が流通する管（配管）１００の途中に設けられ、管１００の一部を構成する。管１００に流れる液体は、例えばアルカリ性の消石灰溶液等である。すなわち、液体の溶質は消石灰等であり、溶媒は水等である。
本発明の第１実施形態のマイクロバブル発生装置１０について、図１～図５を参照して説明する。
図１に示すように、本実施形態のマイクロバブル発生装置１０は、液体が流通する管１００に設けられ、管１００を流れる液体中にマイクロバブルを発生させる。具体的に、マイクロバブル発生装置１０は、例えば製缶工場において、用水が流通する管（配管）１００の途中に設けられ、管１００の一部を構成する。管１００に流れる液体は、例えばアルカリ性の消石灰溶液等である。すなわち、液体の溶質は消石灰等であり、溶媒は水等である。
【0023】
液体は、消石灰溶液が貯留される槽１０１からポンプ１０２によって汲み出され、管１００内を流通して、管１００が有する複数の分岐管１００ａから各処理槽（図示省略）に送られる。また、分岐管１００ａに流入しなかった余剰の液体については、管１００を通って槽１０１に戻される。図示しない複数の処理槽には、製缶加工の処理に用いられた例えば酸性の排液が流入し、この排液に分岐管１００ａを通して消石灰溶液が供給されることにより、処理槽の排液のＰＨが調整される。ＰＨ調整された排液は、図示しないシックナー等に送られる。
【0024】
図２および図３に示すように、マイクロバブル発生装置１０は、装置本体２０と、装置本体２０の内部を延び、液体が流通する流路５０と、を備える。
装置本体２０は、中心軸Ｏを中心とする柱状であり、本実施形態では略円柱状である。装置本体２０は、本体筒１１と、エア供給部１４と、複数の板部材１３と、スペーサー部材１２と、固定部１５と、を備える。
液体は、装置本体２０の中心軸Ｏに沿う方向の一方側の端部から他方側の端部へ向けて、流路５０の内部を流通する。
装置本体２０は、中心軸Ｏを中心とする柱状であり、本実施形態では略円柱状である。装置本体２０は、本体筒１１と、エア供給部１４と、複数の板部材１３と、スペーサー部材１２と、固定部１５と、を備える。
液体は、装置本体２０の中心軸Ｏに沿う方向の一方側の端部から他方側の端部へ向けて、流路５０の内部を流通する。
【0025】
本実施形態では、装置本体２０の中心軸Ｏが延びる方向を軸方向と呼ぶ。軸方向は、各図に示すＺ軸方向に相当する。軸方向のうち、液体が流れる方向を軸方向の下流側（＋Ｚ側）または単に下流側と呼ぶ。軸方向の下流側は、装置本体２０の軸方向の一方側の端部から他方側の端部へ向かう方向である。軸方向のうち、液体が流れる方向とは反対方向を、軸方向の上流側（－Ｚ側）または単に上流側と呼ぶ。軸方向の上流側は、装置本体２０の軸方向の他方側の端部から一方側の端部へ向かう方向である。
図１に示すように、本実施形態ではマイクロバブル発生装置１０が、軸方向の下流側を鉛直方向の上側へ向けた姿勢で、管１００に設けられる。このため、マイクロバブル発生装置１０の下流側へ、エア（気泡）とともにマイクロバブルがより流れやすくなる。
図１に示すように、本実施形態ではマイクロバブル発生装置１０が、軸方向の下流側を鉛直方向の上側へ向けた姿勢で、管１００に設けられる。このため、マイクロバブル発生装置１０の下流側へ、エア（気泡）とともにマイクロバブルがより流れやすくなる。
【0026】
図２および図３において、中心軸Ｏと直交する方向を径方向と呼ぶ。径方向のうち、中心軸Ｏに接近する方向を径方向内側と呼び、中心軸Ｏから離れる方向を径方向外側と呼ぶ。
中心軸Ｏ回りに周回する方向を周方向と呼ぶ。図２に示すように、装置本体２０を軸方向の上流側から見て、周方向のうち、所定の方向を周方向一方側θ１と呼び、所定の方向とは反対方向を周方向他方側θ２と呼ぶ。本実施形態では、周方向一方側θ１は、図２において中心軸Ｏを中心とする反時計回りの方向であり、周方向他方側θ２は、図２において中心軸Ｏを中心とする時計回りの方向である。
中心軸Ｏ回りに周回する方向を周方向と呼ぶ。図２に示すように、装置本体２０を軸方向の上流側から見て、周方向のうち、所定の方向を周方向一方側θ１と呼び、所定の方向とは反対方向を周方向他方側θ２と呼ぶ。本実施形態では、周方向一方側θ１は、図２において中心軸Ｏを中心とする反時計回りの方向であり、周方向他方側θ２は、図２において中心軸Ｏを中心とする時計回りの方向である。
【0027】
本体筒１１は、中心軸Ｏを中心として軸方向に延びる略円筒状である。図３に示すように、本体筒１１は、本体筒１１の軸方向の下流側の端部に位置する流出筒部１７と、軸方向において流出筒部１７の上流側に配置される中間筒部１８と、を有する。
【0028】
流出筒部１７は、下流側流通筒１７ａと、下流側フランジ１７ｂと、を有する。
下流側流通筒１７ａは、軸方向に延びる筒状である。下流側流通筒１７ａは、下流側シール溝１７ｃと、下流側シール部材１７ｄと、を有する。
下流側流通筒１７ａは、軸方向に延びる筒状である。下流側流通筒１７ａは、下流側シール溝１７ｃと、下流側シール部材１７ｄと、を有する。
【0029】
下流側シール溝１７ｃは、下流側流通筒１７ａの外周面から径方向内側に窪み、周方向に延びる環状である。本実施形態では下流側シール溝１７ｃが、軸方向に互いに間隔をあけて複数設けられる。
下流側シール部材１７ｄは、周方向に延びる環状の弾性部材等であり、例えばＯリング等である。本実施形態では下流側シール部材１７ｄが、軸方向に互いに間隔をあけて複数設けられる。各下流側シール部材１７ｄは、各下流側シール溝１７ｃに配置される。
下流側シール部材１７ｄは、周方向に延びる環状の弾性部材等であり、例えばＯリング等である。本実施形態では下流側シール部材１７ｄが、軸方向に互いに間隔をあけて複数設けられる。各下流側シール部材１７ｄは、各下流側シール溝１７ｃに配置される。
【0030】
下流側流通筒１７ａの内周面１７ｅは、下流側流通筒１７ａの軸方向の上流側の端部から下流側へ向かうに従い、内径が小さくなる。下流側流通筒１７ａの内周面１７ｅは、軸方向の下流側へ向かうに従い徐々に縮径するテーパ面状である。
【0031】
下流側フランジ１７ｂは、下流側流通筒１７ａの外周面における軸方向の下流側の部分から径方向外側に拡がるフランジ状である。下流側フランジ１７ｂは、複数のボルト部材１９ｂにより、中間筒部１８の軸方向の下流側の端部と固定される。特に図示しないが、下流側フランジ１７ｂは、マイクロバブル発生装置１０と軸方向に隣り合う管１００の部分、すなわち、マイクロバブル発生装置１０の軸方向の下流側に隣接する管１００の接続端部と、ボルト部材等により固定される。
【0032】
中間筒部１８は、軸方向に延びる円筒状である。中間筒部１８の軸方向の下流側を向く端面は、下流側フランジ１７ｂの軸方向の上流側を向く端面と接触する。中間筒部１８の軸方向の下流側の端部は、下流側流通筒１７ａの外周面に嵌合する。中間筒部１８の内周面のうち軸方向の下流側の端部には、下流側シール部材１７ｄが周方向全周にわたって接触する。
【0033】
図２および図３において、エア供給部１４は、流路５０のうち、複数の板部材１３の軸方向の上流側に位置する部分（後述するエア供給流路３６）に、エアを供給する。
エア供給部１４は、流入筒部１６と、エア供給筒部４３と、エア導入孔４４と、エア供給路４５と、エア噴射スリット４６と、チェックバルブ（逆止弁）２９と、エア供給源（図示省略）と、を有する。
エア供給部１４は、流入筒部１６と、エア供給筒部４３と、エア導入孔４４と、エア供給路４５と、エア噴射スリット４６と、チェックバルブ（逆止弁）２９と、エア供給源（図示省略）と、を有する。
【0034】
流入筒部１６は、上流側流通筒１６ａと、上流側フランジ１６ｂと、を有する。
上流側流通筒１６ａは、軸方向に延びる筒状である。上流側流通筒１６ａは、上流側シール溝１６ｃと、上流側シール部材１６ｄと、を有する。
上流側流通筒１６ａは、軸方向に延びる筒状である。上流側流通筒１６ａは、上流側シール溝１６ｃと、上流側シール部材１６ｄと、を有する。
【0035】
上流側シール溝１６ｃは、上流側流通筒１６ａの外周面から径方向内側に窪み、周方向に延びる環状である。本実施形態では上流側シール溝１６ｃが、軸方向に互いに間隔をあけて複数設けられる。
上流側シール部材１６ｄは、周方向に延びる環状の弾性部材等であり、例えばＯリング等である。本実施形態では上流側シール部材１６ｄが、軸方向に互いに間隔をあけて複数設けられる。各上流側シール部材１６ｄは、各上流側シール溝１６ｃに配置される。
上流側シール部材１６ｄは、周方向に延びる環状の弾性部材等であり、例えばＯリング等である。本実施形態では上流側シール部材１６ｄが、軸方向に互いに間隔をあけて複数設けられる。各上流側シール部材１６ｄは、各上流側シール溝１６ｃに配置される。
【0036】
図５に示すように、上流側流通筒１６ａはその内周面に、大径内周部１６ｅと、中径内周部１６ｆと、小径内周部１６ｇと、テーパ部１６ｈと、を有する。
大径内周部１６ｅは、上流側流通筒１６ａの内周面のうち上流側の端部に配置される。大径内周部１６ｅは、径方向内側を向き、軸方向に沿って延びる。
中径内周部１６ｆは、大径内周部１６ｅの下流側に配置される。中径内周部１６ｆは、大径内周部１６ｅよりも内径が小さい。中径内周部１６ｆは、径方向内側を向き、軸方向に沿って延びる。
大径内周部１６ｅは、上流側流通筒１６ａの内周面のうち上流側の端部に配置される。大径内周部１６ｅは、径方向内側を向き、軸方向に沿って延びる。
中径内周部１６ｆは、大径内周部１６ｅの下流側に配置される。中径内周部１６ｆは、大径内周部１６ｅよりも内径が小さい。中径内周部１６ｆは、径方向内側を向き、軸方向に沿って延びる。
【0037】
小径内周部１６ｇは、中径内周部１６ｆの下流側に配置される。小径内周部１６ｇは、上流側流通筒１６ａの内周面の中で内径が最も小さい。小径内周部１６ｇは、径方向内側を向き、軸方向に沿って延びる。小径内周部１６ｇの下流側部分（一部）は、エア噴射スリット４６から噴射されるエアを、コアンダ効果によって、軸方向の下流側に向けてガイドする。このため小径内周部１６ｇは、軸方向エアガイド部１６ｇと言い換えてもよい。
また、小径内周部１６ｇの上流側部分（上記一部とは別の一部）は、エア噴射スリット４６を画成する、径方向に隙間をあけて対向する一対のスリット内壁のうち一方を構成する。
また、小径内周部１６ｇの上流側部分（上記一部とは別の一部）は、エア噴射スリット４６を画成する、径方向に隙間をあけて対向する一対のスリット内壁のうち一方を構成する。
【0038】
小径内周部１６ｇは、エア供給筒部４３の下流側の端部よりも下流側に位置する部分を有する。図示の例では、小径内周部１６ｇのうち下流側の端部を含む軸方向半分以上の部分が、エア供給筒部４３よりも軸方向の下流側に突出して延びる。
【0039】
テーパ部１６ｈは、小径内周部１６ｇの下流側に配置される。テーパ部１６ｈは、小径内周部１６ｇの下流端と接続され、この接続部分から下流側へ向かうに従い径方向外側に位置する。テーパ部１６ｈは、軸方向の下流側へ向かうに従い徐々に拡径するテーパ面状である。テーパ部１６ｈは、エア噴射スリット４６から噴射されるエアを、コアンダ効果によって、軸方向の下流側へ向かうに従い径方向外側に向けてガイドする。このためテーパ部１６ｈは、拡径エアガイド部１６ｈと言い換えてもよい。
【0040】
図３に示すように、上流側フランジ１６ｂは、上流側流通筒１６ａの外周面における軸方向の上流側の部分から径方向外側に拡がるフランジ状である。上流側フランジ１６ｂは、複数のボルト部材１９ａにより、中間筒部１８の軸方向の上流側の端部と固定される。特に図示しないが、上流側フランジ１６ｂは、マイクロバブル発生装置１０と軸方向に隣り合う管１００の部分、すなわち、マイクロバブル発生装置１０の軸方向の上流側に隣接する管１００の接続端部と、ボルト部材等により固定される。
【0041】
中間筒部１８の軸方向の上流側を向く端面は、上流側フランジ１６ｂの軸方向の下流側を向く端面と接触する。中間筒部１８の軸方向の上流側の端部は、上流側流通筒１６ａの外周面に嵌合する。中間筒部１８の内周面のうち軸方向の上流側の端部には、上流側シール部材１６ｄが周方向全周にわたって接触する。
【0042】
エア供給筒部４３は、軸方向に延びる筒状である。エア供給筒部４３は、上流側流通筒１６ａ内に嵌合する。図５に示すように、エア供給筒部４３はその外周面に、大径外周部４３ａと、中径外周部４３ｂと、小径外周部４３ｃと、環状溝４３ｄと、を有する。
大径外周部４３ａは、エア供給筒部４３の外周面のうち上流側の端部に配置される。大径外周部４３ａは、径方向外側を向き、軸方向に沿って延びる。大径外周部４３ａは、大径内周部１６ｅと接触する。
大径外周部４３ａは、エア供給筒部４３の外周面のうち上流側の端部に配置される。大径外周部４３ａは、径方向外側を向き、軸方向に沿って延びる。大径外周部４３ａは、大径内周部１６ｅと接触する。
【0043】
中径外周部４３ｂは、大径外周部４３ａの下流側に配置される。中径外周部４３ｂは、大径外周部４３ａよりも外径が小さい。中径外周部４３ｂは、径方向外側を向き、軸方向に沿って延びる。中径外周部４３ｂは、中径内周部１６ｆと接触する。
大径外周部４３ａと中径外周部４３ｂとの間に配置されて軸方向の下流側を向く端面は、大径内周部１６ｅと中径内周部１６ｆとの間に配置されて軸方向の上流側を向く端面と接触する。
大径外周部４３ａと中径外周部４３ｂとの間に配置されて軸方向の下流側を向く端面は、大径内周部１６ｅと中径内周部１６ｆとの間に配置されて軸方向の上流側を向く端面と接触する。
【0044】
小径外周部４３ｃは、中径外周部４３ｂの下流側に配置される。小径外周部４３ｃは、中径外周部４３ｂよりも外径が小さい。小径外周部４３ｃは、エア供給筒部４３の外周面のうち下流側の端部に配置される。小径外周部４３ｃは、径方向外側を向き、軸方向に沿って延びる。小径外周部４３ｃは、周方向全周にわたって、小径内周部１６ｇと径方向に隙間をあけて対向する。小径外周部４３ｃは、エア噴射スリット４６を画成する、径方向に隙間をあけて対向する一対のスリット内壁のうち他方を構成する。
【0045】
環状溝４３ｄは、軸方向において中径外周部４３ｂと小径外周部４３ｃとの間に配置される。環状溝４３ｄは、小径外周部４３ｃよりも径方向内側に窪み、周方向に延びる。環状溝４３ｄは、中心軸Ｏを中心とする円形リング状の溝である。環状溝４３ｄは、径方向から見て、中径内周部１６ｆと重なって配置される。
【0046】
エア供給筒部４３はその内周面に、傾斜部４３ｅを有する。傾斜部４３ｅは、エア供給筒部４３の内周面のうち少なくとも下流側の端部に配置される。傾斜部４３ｅは、軸方向の下流側へ向かうに従い径方向外側に位置するテーパ面状である。傾斜部４３ｅは、エア噴射スリット４６から下流側へ向けてエアが噴射されたときに、このエアに液体を引き込ませるようにガイドする。このため傾斜部４３ｅは、液体引込みガイド部４３ｅと言い換えてもよい。図示の例では、エア供給筒部４３の内周面のうち傾斜部４３ｅの上流側に位置する部分が、軸方向に沿って延びる。
【0047】
図３に示すように、エア導入孔４４は、流入筒部１６を径方向に貫通する。エア導入孔４４の径方向外側の端部は、上流側フランジ１６ｂの外周面に開口する。エア導入孔４４の径方向内側の端部は、上流側流通筒１６ａの内周面に開口する。具体的には図５に示すように、エア導入孔４４の径方向内端部は、中径内周部１６ｆに開口する。
【0048】
エア供給路４５は、径方向において、上流側流通筒１６ａとエア供給筒部４３との間に配置される。エア供給路４５は、中心軸Ｏを中心とする環状のエア流路である。エア供給路４５は、エア導入孔４４の径方向内端部と接続され、エア導入孔４４と連通する。エア供給路４５は、中径内周部１６ｆと小径内周部１６ｇとの間に配置されて軸方向の上流側を向く端面と、中径内周部１６ｆと、環状溝４３ｄと、により画成される環状の室（空間）である。
【0049】
図３および図５に示すように、エア噴射スリット４６は、径方向において、上流側流通筒１６ａとエア供給筒部４３との間に配置される。エア噴射スリット４６は、中心軸Ｏを中心とする環状のエア流路である。具体的に、エア噴射スリット４６は、軸方向に延びる円筒状のエア流路である。詳しくは、エア噴射スリット４６は、径方向において、小径内周部１６ｇと小径外周部４３ｃとの間に画成される円筒状の隙間（空間）である。エア噴射スリット４６は、エア供給路４５の軸方向の下流側に配置される。エア噴射スリット４６の軸方向の上流側の端部は、エア供給路４５と接続される。エア噴射スリット４６の軸方向の下流側の端部は、流入筒部１６内で軸方向の下流側へ向けて開口する。エア噴射スリット４６は、軸方向の下流側に向けて、中心軸Ｏ回りの３６０°全周にわたって開口する。
【0050】
図５に示すように、エア噴射スリット４６の径方向寸法、すなわちスリット幅寸法Ｓは、０．１ｍｍ以下である。好ましくは、エア噴射スリット４６のスリット幅寸法Ｓは０．０５ｍｍ以下であり、より望ましくは、０．０３ｍｍ以下である。また、スリット幅寸法Ｓは、例えば０．０１ｍｍ以上であることが好ましい。
【0051】
図３に示すように、本実施形態ではチェックバルブ２９が、流入筒部１６に設けられる。チェックバルブ２９は、エア導入孔４４にねじ止め等により固定される。チェックバルブ２９は、エア供給源（図示省略）からエア導入孔４４へ向けたエアの流通を許容し、エア導入孔４４からエア供給源へ向けたエアおよび液体の流通を遮断する。
【0052】
特に図示しないが、エア供給源は、配管やチューブ等によりチェックバルブ２９と接続される。エア供給源は、例えばエアコンプレッサ等である。エア供給源は、チェックバルブ２９に圧縮エアを供給する。
【0053】
複数の板部材１３は、中間筒部１８の内部に配置され、軸方向に互いに重なる。複数の板部材１３は、それぞれ板状であり、各板面が軸方向を向く。軸方向に隣り合う板部材１３同士は、互いの板面同士が接触する。本実施形態では図４に示すように、板部材１３が、円板状である。板部材１３は、軸方向の厚さ寸法が、例えば３～５ｍｍである。板部材１３は、例えばプラスチック等の樹脂製である。
板部材１３は、流通孔２１と、固定孔２２と、を有する。
板部材１３は、流通孔２１と、固定孔２２と、を有する。
【0054】
流通孔２１は、板部材１３を軸方向に貫通し、流路５０の一部を構成する。流通孔２１は、板部材１３のうち中心軸Ｏから径方向にずれた位置に配置される。本実施形態では流通孔２１が、円孔状である。軸方向に並ぶ複数の板部材１３は、互いの流通孔２１同士が連通させられており、互いに連通する複数の流通孔２１により、流路５０の部分（後述する段差付き螺旋流路３８ｂ）が構成される。
【0055】
図２～図４に示すように、複数の板部材１３の各流通孔２１は、軸方向の下流側へ向かうに従い中心軸Ｏ回りの周方向の位置がずらされて螺旋状に配列する。軸方向に隣り合う板部材１３同士の間には、互いに連通する流通孔２１同士が周方向にずらされて配置されることにより、段差部２３が形成される。段差部２３は、板部材１３の板面のうち流通孔２１に隣接する部分に配置される。複数の板部材１３が軸方向に配列することで、段差部２３は、軸方向に互いに間隔をあけて複数設けられる。
【0056】
なお図４は、軸方向に並ぶ複数の板部材１３のうち、軸方向の中央部近傍に配置される５つの板部材１３ｇ，１３ｈ，１３ｉ，１３ｈ，１３ｇを抜粋して示す正面図であり、各板部材１３の流通孔２１の配置を説明する図である。図４においては、図中の右側に位置する板部材１３ほど軸方向の上流側に位置し、図中の左側に位置する板部材１３ほど軸方向の下流側に位置する。
【0057】
本実施形態では、複数の板部材１３の互いに連通する各流通孔２１が、軸方向の下流側へ向かうに従い周方向一方側θ１へ向けて、螺旋状に配列する。すなわち本実施形態では、互いに流通孔２１の配置が異なる複数種類の板部材１３が設けられ、具体的には図３に示すように、１０種類の板部材１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ，１３ｅ，１３ｆ，１３ｇ，１３ｈ，１３ｉ，１３ｊが、軸方向に並んで計１８枚設けられる。より詳しくは、複数の板部材１３が、軸方向の上流から下流側へ向けて、板部材１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ，１３ｅ，１３ｆ，１３ｇ，１３ｈ，１３ｉ，１３ｈ，１３ｇ，１３ｆ，１３ｅ，１３ｄ，１３ｃ，１３ｂ，１３ａ，１３ｊの順に並ぶ。
【0058】
図２に示すように、軸方向から見て、軸方向に隣接する一対の板部材１３の各流通孔２１の孔中心Ｃ同士の、中心軸Ｏを中心とする中心角βは、１°以上５°以下であり、本実施形態では例えば２．５°である。具体的には、図３および図４に示す複数の板部材１３のうち、軸方向の上流端に位置する板部材１３ａから、軸方向の下流側へ向けて板部材１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ，１３ｅ，１３ｆ，１３ｇ，１３ｈ，１３ｉ，１３ｈ，１３ｇ，１３ｆ，１３ｅ，１３ｄ，１３ｃ，１３ｂ，１３ａ，１３ｊの順に、各板部材１３の流通孔２１は、例えば２．５°毎に周方向一方側θ１にずらされて配置される。
【0059】
図３において、複数の板部材１３のうち、軸方向の中央部に位置する板部材１３ｉよりも軸方向の上流側に位置する板部材１３ａ～１３ｈと、この板部材１３ｉよりも軸方向の下流側に位置する板部材１３ａ～１３ｈとは、互いに軸方向に表裏反転した姿勢で配置されている。すなわち、板部材１３ａ～１３ｈのうち、板部材１３ｉの軸方向の上流側と下流側とに配置される同一符号の一対の板部材１３同士は、互いに同一部品である。言い換えると、複数の板部材１３は、互いに軸方向に表裏反転された姿勢で配置される同一部品からなる一対の板部材１３の組を有し、本実施形態ではこの組が複数設けられる。
【0060】
図２に示すように軸方向から見て、複数の板部材１３のうち、軸方向の上流端に位置する板部材１３ａの流通孔２１の孔中心Ｃと、軸方向の下流端に位置する板部材１３ｊの流通孔２１の孔中心Ｃとの間の、中心軸Ｏを中心とする中心角αは、４０°以上９０°以下である。本実施形態では中心角αが、例えば４５°である。
【0061】
図４に示すように、流通孔２１は、板部材１３に周方向に互いに間隔をあけて複数設けられる。本実施形態では流通孔２１が、板部材１３に周方向に等ピッチで８つ設けられる。
【0062】
固定孔２２は、板部材１３を軸方向に貫通する。固定孔２２は、板部材１３において中心軸Ｏ上に位置する。固定孔２２は、中心軸Ｏと同軸に配置される。本実施形態では固定孔２２が、略円孔状である。固定孔２２は、キー嵌合部２２ａを有する。キー嵌合部２２ａは、固定孔２２の内周面から径方向外側に窪む凹状である。
【0063】
図３に示すように、スペーサー部材１２は、中間筒部１８の内部に配置される。スペーサー部材１２は、一対の板面が軸方向を向く板状、または、一対の端面が軸方向を向く柱状である。本実施形態ではスペーサー部材１２が、中心軸Ｏを中心とする円板状または円柱状である。スペーサー部材１２は、中間筒部１８内に嵌合し、複数の板部材１３よりも軸方向の上流側に位置する。スペーサー部材１２は、複数の板部材１３のうち、軸方向の上流端に位置する板部材１３ａに対して、軸方向の上流側に隣接して配置される。つまり、軸方向においてスペーサー部材１２と板部材１３ａとは、互いに接触する。またスペーサー部材１２は、上流側流通筒１６ａに対して、軸方向の下流側に隣接して配置される。つまり、軸方向においてスペーサー部材１２と流入筒部１６とは、互いに接触する。
【0064】
スペーサー部材１２は、挿通孔２４ａと、中間シール溝２４ｂと、中間シール部材２８と、貫通孔２５と、を有する。
挿通孔２４ａは、スペーサー部材１２を軸方向に貫通する。挿通孔２４ａは、スペーサー部材１２において中心軸Ｏ上に位置する。挿通孔２４ａは、中心軸Ｏと同軸に配置される。本実施形態では挿通孔２４ａが、略円孔状である。挿通孔２４ａは、キー嵌合溝２４ｃを有する。キー嵌合溝２４ｃは、挿通孔２４ａの内周面から径方向外側に窪み、軸方向に延びる溝状である。軸方向から見て、キー嵌合溝２４ｃは、複数の板部材１３の各キー嵌合部２２ａと重なって配置される。
挿通孔２４ａは、スペーサー部材１２を軸方向に貫通する。挿通孔２４ａは、スペーサー部材１２において中心軸Ｏ上に位置する。挿通孔２４ａは、中心軸Ｏと同軸に配置される。本実施形態では挿通孔２４ａが、略円孔状である。挿通孔２４ａは、キー嵌合溝２４ｃを有する。キー嵌合溝２４ｃは、挿通孔２４ａの内周面から径方向外側に窪み、軸方向に延びる溝状である。軸方向から見て、キー嵌合溝２４ｃは、複数の板部材１３の各キー嵌合部２２ａと重なって配置される。
【0065】
中間シール溝２４ｂは、スペーサー部材１２の外周面から径方向内側に窪み、周方向に延びる溝状である。中間シール溝２４ｂは、中心軸Ｏを中心とする環状の溝である。
中間シール部材２８は、周方向に延びる環状の弾性部材等であり、例えばＯリング等である。中間シール部材２８は、中間シール溝２４ｂに配置される。中間筒部１８の内周面には、中間シール部材２８が周方向全周にわたって接触する。
中間シール部材２８は、周方向に延びる環状の弾性部材等であり、例えばＯリング等である。中間シール部材２８は、中間シール溝２４ｂに配置される。中間筒部１８の内周面には、中間シール部材２８が周方向全周にわたって接触する。
【0066】
貫通孔２５は、スペーサー部材１２を軸方向に貫通し、流路５０の部分（後述する直線流路３８ａ）を構成する。貫通孔２５は、スペーサー部材１２のうち中心軸Ｏから径方向にずれた位置に配置される。本実施形態では貫通孔２５が、円孔状である。貫通孔２５は、流通孔２１の軸方向の上流側に位置し、流通孔２１と連通する。
貫通孔２５は、スペーサー部材１２に周方向に互いに間隔をあけて複数設けられる。本実施形態では貫通孔２５が、スペーサー部材１２に周方向に等ピッチで８つ設けられる。スペーサー部材１２の各貫通孔２５の径方向位置と、板部材１３の各流通孔２１の径方向位置とは、互いに同じである。貫通孔２５の内径寸法は、流通孔２１の内径寸法と同じかまたはそれ以上である。
貫通孔２５は、スペーサー部材１２に周方向に互いに間隔をあけて複数設けられる。本実施形態では貫通孔２５が、スペーサー部材１２に周方向に等ピッチで８つ設けられる。スペーサー部材１２の各貫通孔２５の径方向位置と、板部材１３の各流通孔２１の径方向位置とは、互いに同じである。貫通孔２５の内径寸法は、流通孔２１の内径寸法と同じかまたはそれ以上である。
【0067】
図２および図３に示すように、固定部１５は、シャフト３１と、キー３２と、流入ガイド３３と、流出ガイド３４と、を有する。
シャフト３１は、軸方向に延びる。本実施形態ではシャフト３１が、円柱状である。シャフト３１は、スペーサー部材１２の挿通孔２４ａと、複数の板部材１３の各固定孔２２とに挿入される。シャフト３１は、キー溝を有する。キー溝は、シャフト３１の外周面から径方向内側に窪み、軸方向に延びる。
シャフト３１は、軸方向に延びる。本実施形態ではシャフト３１が、円柱状である。シャフト３１は、スペーサー部材１２の挿通孔２４ａと、複数の板部材１３の各固定孔２２とに挿入される。シャフト３１は、キー溝を有する。キー溝は、シャフト３１の外周面から径方向内側に窪み、軸方向に延びる。
【0068】
キー３２は、軸方向に延びる。キー３２は、シャフト３１のキー溝に配置され、シャフト３１の外周面から径方向外側に突出する。キー３２は、スペーサー部材１２のキー嵌合溝２４ｃと、複数の板部材１３の各キー嵌合部２２ａとに挿入される。これにより、シャフト３１、スペーサー部材１２および複数の板部材１３が、周方向に相対的に移動することが規制される。
【0069】
流入ガイド３３は、シャフト３１の軸方向の上流側に配置される。本実施形態では流入ガイド３３が、シャフト３１と一体に形成される。流入ガイド３３は、中心軸Ｏを中心として軸方向に延びる錘状であり、本実施形態では円錐状である。流入ガイド３３の外径は、シャフト３１の外径よりも大きい。流入ガイド３３の外径は、軸方向の上流から下流側へ向かうに従い大きくなる。すなわち、流入ガイド３３の外周面は、軸方向の下流側へ向かうに従い拡径するテーパ面状である。
【0070】
流入ガイド３３の軸方向の上流側を向く先端面は、上流側へ向けて凸となる曲面状であり、本実施形態では凸球面状である。流入ガイド３３の軸方向の下流側を向く後端面は、中心軸Ｏと垂直な方向に拡がる平面状である。流入ガイド３３の後端面は、スペーサー部材１２の軸方向の上流側を向く板面（端面）のうち、貫通孔２５の径方向内側に位置する部分と接触する。
【0071】
図３に示すように、流出ガイド３４は、シャフト３１の軸方向の下流側に配置される。本実施形態では流出ガイド３４が、ボルト部材３５によりシャフト３１と固定される。流出ガイド３４は、軸方向に延びるボルト孔を有しており、ボルト部材３５はこのボルト孔に挿入されて、シャフト３１とねじ止めされる。流出ガイド３４は、中心軸Ｏを中心として軸方向に延びる錘状であり、本実施形態では円錐状である。流出ガイド３４の外径は、シャフト３１の外径よりも大きい。流出ガイド３４の外径は、軸方向の上流から下流側へ向かうに従い小さくなる。すなわち、流出ガイド３４の外周面は、軸方向の下流側へ向かうに従い縮径するテーパ面状である。
【0072】
流出ガイド３４の軸方向の下流側を向く後端面には、ボルト孔が開口する。流出ガイド３４の軸方向の上流側を向く先端面は、中心軸Ｏと垂直な方向に拡がる平面状である。流出ガイド３４の先端面は、軸方向の下流端に位置する板部材１３ｊの軸方向の下流側を向く板面のうち、流通孔２１の径方向内側に位置する部分と接触する。
【0073】
流路５０は、装置本体２０を軸方向に貫通して設けられる。流路５０の内部には、液体が流通する。流路５０は、上流側流路部（エア供給流路）３６と、下流側流路部３７と、中間流路部３８と、を有する。本実施形態のエア供給部１４は、上流側流路部３６にエアを供給する。すなわち本実施形態では、上流側流路部３６が、エア供給流路に相当する。このため、上流側流路部３６をエア供給流路３６と呼ぶ場合がある。
【0074】
上流側流路部３６は、流路５０のうち軸方向の上流側の端部に位置する。上流側流路部３６は、装置本体２０のうち少なくとも軸方向の上流側の端部に配置される。上流側流路部３６は、上流側流通筒１６ａの内周面およびエア供給筒部４３の内周面と、流入ガイド３３の外面との間に形成された流路５０の部分である。上流側流路部３６は、軸方向の下流側へ向かうに従い直径が大きくなる。
【0075】
上流側流路部３６つまりエア供給流路３６は、中間流路部３８の後述する段差付き螺旋流路３８ｂの軸方向の上流側に配置されて軸方向に延び、段差付き螺旋流路３８ｂと連通する。エア供給部１４のエア噴射スリット４６は、エア供給流路３６の内周面に沿って環状に延び、エア供給流路３６内において下流側へ向けて開口する。
【0076】
下流側流路部３７は、流路５０のうち軸方向の下流側の端部に位置する。下流側流路部３７は、装置本体２０のうち少なくとも軸方向の下流側の端部に配置される。下流側流路部３７は、下流側流通筒１７ａの内周面１７ｅと、流出ガイド３４の外面との間に形成された流路５０の部分である。下流側流路部３７は、軸方向の下流側へ向かうに従い直径が小さくなる。
【0077】
中間流路部３８は、流路５０のうち、軸方向の上流側の端部と下流側の端部との間に位置する。中間流路部３８は、装置本体２０のうち軸方向の上流側の端部と下流側の端部との間の中間部分に配置される。中間流路部３８は、上流側流路部３６および下流側流路部３７と連通する。中間流路部３８の軸方向の上流側の端部は、上流側流路部３６の軸方向の下流側の端部と接続する。中間流路部３８の軸方向の下流側の端部は、下流側流路部３７の軸方向の上流側の端部と接続する。
【0078】
中間流路部３８は、直線流路３８ａと、段差付き螺旋流路３８ｂと、を有する。
直線流路３８ａは、中間流路部３８のうち、軸方向の上流側の端部に位置する。直線流路３８ａは、軸方向に沿って直線状に延びる。直線流路３８ａは、スペーサー部材１２の貫通孔２５の内周面により形成された流路５０の部分である。直線流路３８ａは、周方向に互いに間隔をあけて複数設けられる。本実施形態では直線流路３８ａが、周方向に等ピッチで８つ設けられる。
直線流路３８ａは、中間流路部３８のうち、軸方向の上流側の端部に位置する。直線流路３８ａは、軸方向に沿って直線状に延びる。直線流路３８ａは、スペーサー部材１２の貫通孔２５の内周面により形成された流路５０の部分である。直線流路３８ａは、周方向に互いに間隔をあけて複数設けられる。本実施形態では直線流路３８ａが、周方向に等ピッチで８つ設けられる。
【0079】
段差付き螺旋流路３８ｂは、中間流路部３８のうち、軸方向の上流側の端部以外の部分に位置する。段差付き螺旋流路３８ｂは、直線流路３８ａの軸方向の下流側に配置される。段差付き螺旋流路３８ｂは、直線流路３８ａと連通する。段差付き螺旋流路３８ｂは、軸方向の下流側へ向かうに従い周方向に延びる。本実施形態では段差付き螺旋流路３８ｂが、軸方向の上流から下流側へ向かうに従い、周方向一方側θ１へ向けて、螺旋状に延びる。段差付き螺旋流路３８ｂは、軸方向の下流側へ向かうに従い、中心軸Ｏ回りの周方向位置が段階的に変化する。段差付き螺旋流路３８ｂは、複数の板部材１３の各流通孔２１の内周面と、複数の段差部２３とにより形成された流路５０の部分である。段差付き螺旋流路３８ｂは、周方向に互いに間隔をあけて複数設けられる。つまり段差付き螺旋流路３８ｂは、周方向に並んで複数設けられる。本実施形態では段差付き螺旋流路３８ｂが、周方向に等ピッチで８つ設けられる。
【0080】
このように本実施形態では、装置本体２０内の流路５０が、軸方向の上流から下流側へ向かって、１つの上流側流路部３６から複数の中間流路部３８に分岐し、さらに複数の中間流路部３８から１つの下流側流路部３７へとまとまる。
【0081】
以上説明した本実施形態のマイクロバブル発生装置１０では、エア供給部１４のエア噴射スリット４６から液体中に環状に細かなエア（気泡）が噴射され、このエアを含む液体が、軸方向の下流側の段差付き螺旋流路３８ｂを流れる。これにより、細かな気泡がより微小化されて、マイクロバブルが発生する。すなわち、エアを含む液体が段差付き螺旋流路３８ｂを流れることで、段差付き螺旋流路３８ｂの内面の凹凸によってキャビテーション作用が得られたり、液体に遠心力が作用したりして、液体中にマイクロバブルが発生する。
液体中のマイクロバブルは、管１００の内壁等に付着した堆積物を除去する機能や、堆積物が新たに付着することを抑制する機能等を有する。したがって、液体が流通する管１００を含む液体の流通系統全域にわたって、洗浄効果を得ることができる。
液体中のマイクロバブルは、管１００の内壁等に付着した堆積物を除去する機能や、堆積物が新たに付着することを抑制する機能等を有する。したがって、液体が流通する管１００を含む液体の流通系統全域にわたって、洗浄効果を得ることができる。
【0082】
本実施形態によれば、エア噴射スリット４６から、いわゆるエアナイフ等と呼ばれる厚さ寸法が薄く高速のエアカーテン状のエアが、液体中に供給される。
このようにして噴射されたエアおよびエアを含む液体は、コアンダ効果によって、流路５０の内周面に沿うように流れつつ、下流側の段差付き螺旋流路３８ｂに流入する。細かなエアを含んだ液体が、段差付き螺旋流路３８ｂの内面の凹凸に沿って流されるため、気泡を効率よくマイクロバブルへ変化させることができる。またコアンダ効果により、下流側へ送り出される液体の流速を高めることができるため、マイクロバブル発生装置１０から遠い管１００の部分にまでマイクロバブルを安定して到達させることが可能になり、流通系統の洗浄効果がより高められる。
このようにして噴射されたエアおよびエアを含む液体は、コアンダ効果によって、流路５０の内周面に沿うように流れつつ、下流側の段差付き螺旋流路３８ｂに流入する。細かなエアを含んだ液体が、段差付き螺旋流路３８ｂの内面の凹凸に沿って流されるため、気泡を効率よくマイクロバブルへ変化させることができる。またコアンダ効果により、下流側へ送り出される液体の流速を高めることができるため、マイクロバブル発生装置１０から遠い管１００の部分にまでマイクロバブルを安定して到達させることが可能になり、流通系統の洗浄効果がより高められる。
【0083】
また、エア噴射スリット４６は、エア供給流路３６の内周面に沿って環状に、すなわち３６０°全周にわたって細かなエアを噴射するので、段差付き螺旋流路３８ｂ内の周方向の広範囲にわたって上述の作用効果を得ることができる。
また、エア噴射スリット４６は、液体が流れる向きつまり下流側へ向けてエアを噴射するので、エア噴射スリット４６内への液体の逆流が抑制される。このため、エア噴射スリット４６内への堆積物の付着等が抑えられ、上述したエア噴射スリット４６による各機能が良好に維持される。
また、エア噴射スリット４６は、液体が流れる向きつまり下流側へ向けてエアを噴射するので、エア噴射スリット４６内への液体の逆流が抑制される。このため、エア噴射スリット４６内への堆積物の付着等が抑えられ、上述したエア噴射スリット４６による各機能が良好に維持される。
【0084】
段差付き螺旋流路３８ｂを通過した後の液体は、旋回流となってマイクロバブル発生装置１０の下流側へと流れていく。この旋回流によっても、マイクロバブル発生装置１０から遠く離れた管１００の部分にまでマイクロバブルが安定して行き渡りやすくなり、液体の流通系統全域において洗浄効果を高めることができる。
【0085】
以上より本実施形態によれば、エア噴射スリット４６から高い流速かつ流量が少なく抑えられたエアを液体中に噴射することで、液体へのエア供給量を少なく抑えつつ、効率よくマイクロバブルを発生させることができる。具体的に、従来方式のマイクロバブル発生装置のエア供給量に比べて、本実施形態のマイクロバブル発生装置１０では、十分な洗浄効果を確保しつつエア供給量を１／３程度にまで削減することが可能となった。また、エア噴射スリット４６をコンパクトに構成することが容易であり、マイクロバブル発生装置１０の小型化が図りやすい。また、既存の配管設備等に本実施形態のマイクロバブル発生装置１０を適用することが容易であり、汎用性が高い。
【0086】
また本実施形態では、エア噴射スリット４６のスリット幅寸法Ｓが、０．１ｍｍ以下である。
エア噴射スリット４６のスリット幅寸法Ｓが０．１ｍｍ以下であると、エアナイフとしての機能が安定して確保される。すなわち、エア噴射スリット４６から液体中に高速で細かなエア（気泡）を安定して噴射することができ、マイクロバブルをより多く発生させることができる。また、エア供給量をより好適に削減できる。また、スリット幅寸法Ｓが十分に小さいことで、このエア噴射スリット４６を通して流路５０からエア供給路４５へと液体が逆流することを抑制できる。したがって、エア供給部１４の機能が良好に維持される。
なお、好ましくは、エア噴射スリット４６のスリット幅寸法Ｓは０．０５ｍｍ以下であり、より望ましくは、０．０３ｍｍ以下である。また、製造を容易とし、かつ所定以上のエア供給量を確保する点からは、スリット幅寸法Ｓは、例えば０．０１ｍｍ以上であることが好ましい。
エア噴射スリット４６のスリット幅寸法Ｓが０．１ｍｍ以下であると、エアナイフとしての機能が安定して確保される。すなわち、エア噴射スリット４６から液体中に高速で細かなエア（気泡）を安定して噴射することができ、マイクロバブルをより多く発生させることができる。また、エア供給量をより好適に削減できる。また、スリット幅寸法Ｓが十分に小さいことで、このエア噴射スリット４６を通して流路５０からエア供給路４５へと液体が逆流することを抑制できる。したがって、エア供給部１４の機能が良好に維持される。
なお、好ましくは、エア噴射スリット４６のスリット幅寸法Ｓは０．０５ｍｍ以下であり、より望ましくは、０．０３ｍｍ以下である。また、製造を容易とし、かつ所定以上のエア供給量を確保する点からは、スリット幅寸法Ｓは、例えば０．０１ｍｍ以上であることが好ましい。
【0087】
また本実施形態では、段差付き螺旋流路３８ｂが、中心軸Ｏ回りの周方向に並んで複数設けられる。
この場合、複数の段差付き螺旋流路３８ｂによって、マイクロバブルをより多く発生させることができる。
この場合、複数の段差付き螺旋流路３８ｂによって、マイクロバブルをより多く発生させることができる。
【0088】
また本実施形態では、エア噴射スリット４６が、中心軸Ｏを中心とした環状である。
この場合、装置本体２０の中心軸Ｏ回りに周方向均等にマイクロバブルを発生させることができる。
この場合、装置本体２０の中心軸Ｏ回りに周方向均等にマイクロバブルを発生させることができる。
【0089】
また本実施形態では、複数の板部材１３が、互いに軸方向に表裏反転された姿勢で配置される同一部品からなる一対の板部材１３の組を有するので、部品共通化により、複数の板部材１３の種類が少なく抑えられる。特に本実施形態では、上記組が複数設けられるので、板部材１３の種類をより削減できる。
【0090】
また本実施形態では、軸方向から見て、複数の板部材１３のうち、軸方向の上流端に位置する板部材１３ａの流通孔２１の孔中心Ｃと、軸方向の下流端に位置する板部材１３ｊの流通孔２１の孔中心Ｃとの間の、中心軸Ｏを中心とする中心角αが、４０°以上９０°以下である。
複数の板部材１３の各流通孔２１により形成される螺旋階段状の流路部分（段差付き螺旋流路３８ｂ）の中心角αが、４０°以上であると、段差付き螺旋流路３８ｂを流れる液体に旋回流を安定して発生させることができ、本実施形態による洗浄効果がより高められる。また段差部２３の表面積が大きく確保されるため、キャビテーション作用によりマイクロバブルがより安定して発生しやすい。
また中心角αが、９０°以下であると、螺旋階段状の流路部分の軸方向の全長が長くなり過ぎることを抑えられ、装置をコンパクトに構成できる。
複数の板部材１３の各流通孔２１により形成される螺旋階段状の流路部分（段差付き螺旋流路３８ｂ）の中心角αが、４０°以上であると、段差付き螺旋流路３８ｂを流れる液体に旋回流を安定して発生させることができ、本実施形態による洗浄効果がより高められる。また段差部２３の表面積が大きく確保されるため、キャビテーション作用によりマイクロバブルがより安定して発生しやすい。
また中心角αが、９０°以下であると、螺旋階段状の流路部分の軸方向の全長が長くなり過ぎることを抑えられ、装置をコンパクトに構成できる。
【0091】
また本実施形態では、軸方向から見て、軸方向に隣接する一対の板部材１３の各流通孔２１の孔中心Ｃ同士の、中心軸Ｏを中心とする中心角βが、１°以上５°以下である。
中心角βが、１°以上であると、段差付き螺旋流路３８ｂに形成される段差部２３の機能が安定して得られ、マイクロバブルが効率よく発生させられる。
また中心角βが、５°以下であると、段差付き螺旋流路３８ｂを流れる液体の圧力損失が大きくなり過ぎることが抑えられ、流路５０を流れる液体の流通状態を安定させることができる。
中心角βが、１°以上であると、段差付き螺旋流路３８ｂに形成される段差部２３の機能が安定して得られ、マイクロバブルが効率よく発生させられる。
また中心角βが、５°以下であると、段差付き螺旋流路３８ｂを流れる液体の圧力損失が大きくなり過ぎることが抑えられ、流路５０を流れる液体の流通状態を安定させることができる。
【0092】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態のマイクロバブル発生装置４０について、図６～図８を参照して説明する。なお、第２実施形態では、第１実施形態と同じ構成については同じ符号を付して、その説明を省略する場合がある。
次に、本発明の第２実施形態のマイクロバブル発生装置４０について、図６～図８を参照して説明する。なお、第２実施形態では、第１実施形態と同じ構成については同じ符号を付して、その説明を省略する場合がある。
【0093】
本実施形態のマイクロバブル発生装置４０は、前述の実施形態で説明したマイクロバブル発生装置１０とは、エア供給部２７等の構成が異なる。またこれにともない、エア供給部２７からエアを供給するエア供給流路３８ａが異なる。
前述の実施形態では、エア供給部１４が装置本体２０の上流側の端部に設けられ、流入筒部１６およびエア供給筒部４３等を有するのに対して、本実施形態では、エア供給部２７が装置本体２０の上流端部と下流端部との間の中間部分に設けられ、中間筒部１８、スペーサー部材１２およびエア供給筒部４１等を有する。また本実施形態では、本体筒１１が流入筒部１６を有する。
前述の実施形態では、エア供給部１４が装置本体２０の上流側の端部に設けられ、流入筒部１６およびエア供給筒部４３等を有するのに対して、本実施形態では、エア供給部２７が装置本体２０の上流端部と下流端部との間の中間部分に設けられ、中間筒部１８、スペーサー部材１２およびエア供給筒部４１等を有する。また本実施形態では、本体筒１１が流入筒部１６を有する。
【0094】
図６および図７に示すように、詳しくは、本実施形態ではエア供給部２７が、中間筒部１８と、スペーサー部材１２と、エア供給筒部４１と、エア導入孔５１と、エア供給路５２と、連通孔４２と、エア噴射スリット５３と、チェックバルブ（逆止弁）２９と、エア供給源（図示省略）と、を有する。
【0095】
図７に示すように、本実施形態ではスペーサー部材１２が、中間シール溝２４ｂおよび中間シール部材２８の組を複数有する。複数の上記組は、軸方向に互いに間隔をあけて配置される。
またスペーサー部材１２は、供給溝２６を有する。供給溝２６は、スペーサー部材１２の外周面から径方向内側に窪み、周方向に延びる溝状である。供給溝２６は、中心軸Ｏを中心とする環状である。本実施形態では供給溝２６が、軸方向に隣り合う一対の中間シール溝２４ｂ同士の間に配置される。
またスペーサー部材１２は、供給溝２６を有する。供給溝２６は、スペーサー部材１２の外周面から径方向内側に窪み、周方向に延びる溝状である。供給溝２６は、中心軸Ｏを中心とする環状である。本実施形態では供給溝２６が、軸方向に隣り合う一対の中間シール溝２４ｂ同士の間に配置される。
【0096】
スペーサー部材１２の貫通孔２５は、その中心軸である孔中心Ａが、装置本体２０の中心軸Ｏと平行に延びる。このため孔中心Ａが延びる方向は、中心軸Ｏの軸方向に相当する。
また本実施形態では、孔中心Ａと直交する方向を孔径方向と呼ぶ。孔径方向のうち、孔中心Ａに接近する方向を孔径方向の内側と呼び、孔中心Ａから離れる方向を孔径方向の外側と呼ぶ。
孔中心Ａ回りに周回する方向を孔周方向と呼ぶ。
また本実施形態では、孔中心Ａと直交する方向を孔径方向と呼ぶ。孔径方向のうち、孔中心Ａに接近する方向を孔径方向の内側と呼び、孔中心Ａから離れる方向を孔径方向の外側と呼ぶ。
孔中心Ａ回りに周回する方向を孔周方向と呼ぶ。
【0097】
貫通孔２５の内周面は、孔径方向の内側を向き、軸方向に沿って延びる。貫通孔２５の下流側部分（一部）は、エア噴射スリット５３から噴射されるエアを、コアンダ効果によって、軸方向の下流側に向けてガイドする。このため貫通孔２５は、軸方向エアガイド部２５と言い換えてもよい。
図８（ａ）に示すように、貫通孔２５のうち軸方向において上流端部と下流端部との間に位置する中間部分の一部（上記一部とは別の一部）は、エア噴射スリット５３を画成する、孔径方向に隙間をあけて対向する一対のスリット内壁のうち一方を構成する。
図８（ａ）に示すように、貫通孔２５のうち軸方向において上流端部と下流端部との間に位置する中間部分の一部（上記一部とは別の一部）は、エア噴射スリット５３を画成する、孔径方向に隙間をあけて対向する一対のスリット内壁のうち一方を構成する。
【0098】
貫通孔２５は、エア供給筒部４１の下流側の端部よりも下流側に位置する部分を有する。図示の例では、貫通孔２５のうち少なくとも下流側の端部を含む下流側部分が、エア供給筒部４１の下流側を向く端面４１ｄよりも軸方向の下流側に突出して延びる。
【0099】
また本実施形態では、スペーサー部材１２が、段部２４ｄを有する。段部２４ｄは、貫通孔２５の軸方向の上流側に配置される。段部２４ｄは、孔中心Ａを中心として孔周方向に延びる環状である。段部２４ｄの内径は、貫通孔２５の内径よりも大きい。
【0100】
エア供給筒部４１は、孔中心Ａを中心とする筒状であり、軸方向に延びる。本実施形態ではエア供給筒部４１が、略円筒状である。エア供給筒部４１は、貫通孔２５内に嵌合する。図６に示すように、エア供給筒部４１は、中心軸Ｏ回りに互いに間隔をあけて複数設けられる。本実施形態ではエア供給筒部４１が、スペーサー部材１２に周方向に等ピッチで８つ設けられる。各エア供給筒部４１は、各貫通孔２５内に１つ配置される。
図７および図８（ａ）に示すように、エア供給筒部４１の軸方向の長さは、貫通孔２５の軸方向の長さよりも小さい。エア供給筒部４１は、貫通孔２５の内部のうち、下流側部分以外の部分に位置する。
図７および図８（ａ）に示すように、エア供給筒部４１の軸方向の長さは、貫通孔２５の軸方向の長さよりも小さい。エア供給筒部４１は、貫通孔２５の内部のうち、下流側部分以外の部分に位置する。
【0101】
図８（ａ）、（ｂ）に示すように、エア供給筒部４１は、筒本体４１ａと、筒フランジ４１ｂと、を有する。
筒本体４１ａは、孔中心Ａを中心とする円筒状であり、軸方向に延びる。筒本体４１ａは、貫通孔２５内に嵌合する。
筒本体４１ａは、筒エア溝４１ｃと、筒小径外周部４１ｅと、を有する。筒本体４１ａの外周面のうち筒エア溝４１ｃおよび筒小径外周部４１ｅ以外の部分は、貫通孔２５の内周面と接触する。
筒本体４１ａは、孔中心Ａを中心とする円筒状であり、軸方向に延びる。筒本体４１ａは、貫通孔２５内に嵌合する。
筒本体４１ａは、筒エア溝４１ｃと、筒小径外周部４１ｅと、を有する。筒本体４１ａの外周面のうち筒エア溝４１ｃおよび筒小径外周部４１ｅ以外の部分は、貫通孔２５の内周面と接触する。
【0102】
筒エア溝４１ｃは、筒本体４１ａの外周面から孔径方向の内側に窪み、孔周方向に延びる。筒エア溝４１ｃは、孔中心Ａを中心とする環状の溝である。筒エア溝４１ｃは、筒本体４１ａの下流側部分に配置される。
【0103】
筒小径外周部４１ｅは、筒エア溝４１ｃの下流側に配置される。筒小径外周部４１ｅは、筒本体４１ａのうち筒エア溝４１ｃおよび筒小径外周部４１ｅ以外の部分よりも外径が小さい。筒小径外周部４１ｅは、筒本体４１ａの外周面のうち下流側の端部に配置される。筒小径外周部４１ｅは、孔径方向の外側を向き、軸方向に沿って延びる。筒小径外周部４１ｅは、孔周方向の全周にわたって、貫通孔２５の内周面と孔径方向に隙間をあけて対向する。筒小径外周部４１ｅは、エア噴射スリット５３を画成する、孔径方向に隙間をあけて対向する一対のスリット内壁のうち他方を構成する。
【0104】
筒フランジ４１ｂは、孔中心Ａを中心とする円環板状である。筒フランジ４１ｂは、筒本体４１ａの軸方向の上流側の端部から、孔径方向の外側に拡がる。筒フランジ４１ｂの外径は、貫通孔２５の内径よりも大きい。筒フランジ４１ｂは、段部２４ｄに配置される。筒フランジ４１ｂの軸方向の下流側を向く板面は、段部２４ｄの軸方向の上流側を向く底面と接触する。
【0105】
図７に示すように、エア導入孔５１は、中間筒部１８を径方向に貫通する。エア導入孔５１の径方向外側の端部は、中間筒部１８の外周面に開口する。エア導入孔５１の径方向内側の端部は、中間筒部１８の内周面に開口する。
図６に示すように、本実施形態ではエア導入孔５１が、周方向に互いに等間隔をあけて複数（２つ）設けられる。
図６に示すように、本実施形態ではエア導入孔５１が、周方向に互いに等間隔をあけて複数（２つ）設けられる。
【0106】
図７に示すように、エア供給路５２は、径方向において、中間筒部１８とスペーサー部材１２との間に配置される。エア供給路５２は、中心軸Ｏを中心とする環状のエア流路である。エア供給路５２は、複数のエア導入孔５１の各径方向内端部と接続され、各エア導入孔５１と連通する。エア供給路５２は、供給溝２６と、中間筒部１８の内周面と、により画成される環状の室（空間）である。
【0107】
連通孔４２は、供給溝２６と、貫通孔２５のうち筒エア溝４１ｃと対向する部分と、に開口する。連通孔４２は、供給溝２６と筒エア溝４１ｃとの間で、径方向に延びる。図６に示すように、連通孔４２は、周方向に互いに間隔をあけて複数設けられる。本実施形態では連通孔４２が、スペーサー部材１２に周方向に等ピッチで８つ設けられる。すなわち、連通孔４２の数とエア供給筒部４１の数とは、互いに同じであり、各連通孔４２は、各エア供給筒部４１の筒エア溝４１ｃと連通する。また各連通孔４２は、供給溝２６を介して各エア導入孔５１と連通する。
【0108】
図７および図８（ａ）、（ｂ）に示すように、エア噴射スリット５３は、孔径方向において、スペーサー部材１２とエア供給筒部４１との間に配置される。エア噴射スリット５３は、孔中心Ａを中心とする環状のエア流路である。すなわち、エア噴射スリット５３は、段差付き螺旋流路３８ｂの軸方向の上流側の端部に接続される流路部分（直線流路３８ａ）の流路中心（孔中心Ａ）と同心とされた環状である。具体的に、エア噴射スリット５３は、軸方向に延びる円筒状のエア流路である。詳しくは、エア噴射スリット５３は、孔径方向において、貫通孔２５の内周面と筒小径外周部４１ｅとの間に画成される円筒状の隙間（空間）である。
【0109】
エア噴射スリット５３は、筒エア溝４１ｃの軸方向の下流側に配置される。エア噴射スリット５３の軸方向の上流側の端部は、筒エア溝４１ｃと接続される。エア噴射スリット５３の軸方向の下流側の端部は、貫通孔２５内で軸方向の下流側へ向けて開口する。エア噴射スリット５３は、軸方向の下流側に向けて、孔中心Ａ回りの３６０°全周にわたって開口する。
【0110】
エア噴射スリット５３の孔径方向の寸法、つまりスリット幅寸法Ｓは、前述の実施形態で説明したエア噴射スリット４６のスリット幅寸法Ｓと同様である。
エア噴射スリット５３は、中心軸Ｏ回りの周方向に並んで複数設けられる。各エア噴射スリット５３は、各貫通孔２５内に１つ配置される。本実施形態ではエア噴射スリット５３が、周方向に等ピッチで８つ設けられる。
エア噴射スリット５３は、中心軸Ｏ回りの周方向に並んで複数設けられる。各エア噴射スリット５３は、各貫通孔２５内に１つ配置される。本実施形態ではエア噴射スリット５３が、周方向に等ピッチで８つ設けられる。
【0111】
図７に示すように、本実施形態ではチェックバルブ２９が、中間筒部１８に設けられる。図６に示すように、本実施形態ではチェックバルブ２９が、周方向に互いに等間隔をあけて複数（２つ）設けられる。各チェックバルブ２９は、各エア導入孔５１にねじ止め等により固定される。チェックバルブ２９は、エア供給源（図示省略）からエア導入孔５１へ向けたエアの流通を許容し、エア導入孔５１からエア供給源へ向けたエアおよび液体の流通を遮断する。
【0112】
図７および図８（ａ）、（ｂ）に示すように、本実施形態では、流路５０の直線流路３８ａが、エア供給筒部４１の内周面と、貫通孔２５の内周面の下流側部分とにより形成される。直線流路３８ａは、段差付き螺旋流路３８ｂの軸方向の上流側に配置されて軸方向に延び、段差付き螺旋流路３８ｂと連通する。そして本実施形態では、エア供給部２７が、直線流路３８ａにエアを供給する。すなわち本実施形態では、直線流路３８ａが、エア供給流路に相当する。このため、直線流路３８ａをエア供給流路３８ａと呼ぶ場合がある。エア供給部２７のエア噴射スリット５３は、エア供給流路３８ａの内周面に沿って環状に延び、エア供給流路３８ａ内において下流側へ向けて開口する。
【0113】
以上説明した本実施形態のマイクロバブル発生装置４０によれば、前述した実施形態と同様の作用効果が得られる。
【0114】
また本実施形態では、エア噴射スリット５３が、段差付き螺旋流路３８ｂと接続される直線流路３８ａの流路中心（孔中心Ａ）と同心の環状である。
この場合、細かなエアを含む液体を段差付き螺旋流路３８ｂの内周面全周に供給することができ、マイクロバブルをより効率よく発生させることができる。
この場合、細かなエアを含む液体を段差付き螺旋流路３８ｂの内周面全周に供給することができ、マイクロバブルをより効率よく発生させることができる。
【0115】
また本実施形態では、エア噴射スリット５３が、複数の直線流路３８ａに１つずつ、つまり複数設けられており、各エア噴射スリット５３は、各直線流路３８ａを通して各段差付き螺旋流路３８ｂにエアを供給する。
この場合、液体中にマイクロバブルをより効率よく多量に発生させることができる。
この場合、液体中にマイクロバブルをより効率よく多量に発生させることができる。
【0116】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されず、例えば下記に説明するように、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において構成の変更等が可能である。
【0117】
前述の実施形態では、図２および図６に示すように、装置本体２０を軸方向の上流側から見て、周方向一方側θ１が中心軸Ｏを中心とする反時計回りの方向であり、周方向他方側θ２が中心軸Ｏを中心とする時計回りの方向である例を挙げたが、これに限らない。すなわち、装置本体２０を軸方向の上流側から見て、周方向一方側θ１が中心軸Ｏを中心とする時計回りの方向であり、周方向他方側θ２が中心軸Ｏを中心とする反時計回りの方向であってもよい。この場合、段差付き螺旋流路３８ｂの中心軸Ｏ回りのねじれの向きが、前述の実施形態とは反対方向となる。
【0118】
その他、本発明の趣旨から逸脱しない範囲において、前述の実施形態および変形例等で説明した各構成を組み合わせてもよく、また、構成の付加、省略、置換、その他の変更が可能である。また本発明は、前述した実施形態によって限定されず、特許請求の範囲によってのみ限定される。
【産業上の利用可能性】
【0119】
本発明のマイクロバブル発生装置によれば、エア供給量を少なく抑えて、効率よくマイクロバブルを発生させることができる。したがって、産業上の利用可能性を有する。
【符号の説明】
【0120】
１０，４０…マイクロバブル発生装置、１４，２７…エア供給部、２０…装置本体、３６…上流側流路部（エア供給流路）、３８ａ…直線流路（エア供給流路）、３８ｂ…段差付き螺旋流路、４６，５３…エア噴射スリット、５０…流路、１００…管、Ｏ…中心軸、Ｓ…スリット幅寸法
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】