2022-137716 集塵方法、集塵装置、レーザ加工方法、およびレーザ加工装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022137716

(43)【公開日】2022-09-22

(54)【発明の名称】集塵方法、集塵装置、レーザ加工方法、およびレーザ加工装置

(51)【国際特許分類】

   B23K 26/142 20140101AFI20220914BHJP

【ＦＩ】

B23K26/142

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021037353

(22)【出願日】2021-03-09

(71)【出願人】

【識別番号】000110859

【氏名又は名称】キヤノンマシナリー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107423

【弁理士】

【氏名又は名称】城村 邦彦

(74)【代理人】

【識別番号】100120949

【弁理士】

【氏名又は名称】熊野 剛

(74)【代理人】

【識別番号】100148987

【弁理士】

【氏名又は名称】前田 礼子

(72)【発明者】

【氏名】馬場 崇史

(72)【発明者】

【氏名】小林 恭子

(72)【発明者】

【氏名】前川 優太

(72)【発明者】

【氏名】二宮 孝文

(72)【発明者】

【氏名】川原 公介

【テーマコード（参考）】

4E168

【Ｆターム（参考）】

4E168AD07

4E168AD11

4E168AD18

4E168FB03

4E168FB05

4E168FC04

4E168JA01

4E168JA14

4E168JA17

(57)【要約】

【課題】発生した加工飛散物を安定して回収（集塵）できる集塵方法、集塵装置、レーザ加工方法、およびレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】ワークの加工面に対して所定第１角度で傾斜した方向に沿って流体を吹き付ける。ワークの加工面に対して所定第２角度で傾斜した方向に沿って流体を吹き付ける。所定第１角度で傾斜した方向からの流体流に、所定第２角度で傾斜した方向からの流体流をぶつける。これにより、ボックス内に巻き上げ、この巻き上げた加工飛散物を集塵ボックス内に集塵する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークからの加工飛散物を集塵する集塵方法であって、
ワークの加工面に対して所定第１角度で傾斜した方向に沿って流体を吹き付け、ワークの加工面に対して所定第２角度で傾斜した方向に沿って流体を吹き付けて、所定第１角度で傾斜した方向からの流体流に、所定第２角度で傾斜した方向からの流体流をぶつけて、加工飛散物を集塵ボックス内に巻き上げ、この巻き上げた加工飛散物を集塵ボックス内に集塵することを特徴とする集塵方法。

【請求項2】

ワークにレーザ光を照射するレーザ照射器と、ワークを受けるテーブルと、ワークに対してレーザ照射器からのワークへのレーザ照射によって生じる加工飛散物を集塵する集塵ボックスとを備えたレーザ加工装置を用いるレーザ加工方法であって、
前記請求項１に記載の集塵方法を含むことを特徴とするレーザ加工方法。

【請求項3】

ワークに対して反対側に設けられた各第１・第２吹き出し口を有する第１・第２の送風機と、ワークからの加工飛散物を集塵するための集塵ボックスとを備えた集塵装置であって、
前記第１の送風機の第１の吹き出し口は、ワークに対して所定第１角度で傾斜した方向に向かって流体を吹き付け、前記第２の送風機は、ワークに対して所定第２角度で傾斜した方向に向かって流体を吹き付け、第１の送風機の第１吹き出し口からの第１流体流に第２の送風機の第２の吹き出し口からの第２流体流をぶつけて、加工飛散物を前記集塵ボックス内に巻き上げ、この巻き上げた加工飛散物を集塵ボックス内に集塵することを特徴とする集塵装置。

【請求項4】

第１の送風機からの第１の流体流に第２の送風機の第２の流体流がぶつけられることによって生じる第３の流体流の方向は、ワークの加工面と、この加工面と直交する垂直面との間の斜め方向であることを特徴とする請求項３に記載の集塵装置。

【請求項5】

前記ボックスは、加工飛散物を下流側の集塵方向に流す筒状飛散物流路を備え、前記筒状飛散物流路の上流側には、前記集塵ボックス内に巻き上げられた加工飛散物を含む第３の流体流を筒状飛散物流路の周方向渦流とするために渦流発生部を備えることを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の集塵装置。

【請求項6】

前記筒状飛散物流路の上流端には、渦流発生部で発生した渦流を筒状飛散物流路の下流側である集塵方向への流れに促進するためのエア流入口を設けたことを特徴とする請求項５に記載の集塵装置。

【請求項7】

ワークにレーザ光を照射するレーザ照射器と、ワークを受けるテーブルと、ワークに対してレーザ照射器からのワークへのレーザ照射によって生じる加工飛散物を集塵する集塵ボックスとを備えたレーザ加工装置であって、
前記請求項３～請求項６のいずれか１項に記載の集塵装置を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

レーザ加工には、レーザ光をワークに照射することで、ワークを瞬時に溶融・蒸発させるアブレーション加工がある。しかしながら、アブレーション加工では、加工時にデブリ（加工飛散物）が発生する。

【0002】

このようにデブリが発生すれば、デブリがレーザ光を遮断したり、デブリがワークに付着したりして、高精度の加工の妨げとなっていた。そこで、従来では、レーザ加工で生じた加工飛散物を集塵するレーザ加工機用集塵装置（特許文献１）及び加工飛散物を回収するための回収機構を備えたレーザ加工装置（特許文献２）がある。

【0003】

特許文献１に記載のレーザ加工機用集塵装置は、図４に示すように、加工対象物Ｗの表面Ｗ１と隙間Ｓを開けて配置される筐体１と、この筐体１に斜め方向から挿入される加工ガス供給ノズル２と、筐体１の内部に配置された整流板３とを備える。

【0004】

また、筐体１の上壁１ａにレーザ透過孔４が設けられ、筐体１の下方は底壁が設けられていない開放部１ｂとされている。筐体１の長手方向の一方の端部は開放部６とされ、筐体１の長手方向の他方の端部には吸引ノズル７が配置されている。

【0005】

このため、加工ガス供給ノズル２からレーザ加工部位Ｐに向けて加工ガスが斜め下方に噴き付けられる。すなわち、筐体１の上流側の開放部側上方から下流側下方へ噴きつけられる。この際、吸引ノズル７からエアが吸引され、筐体１内を矢印のような気流の流れが発生する。これによって、加工飛散物は、その急流に乗って、吸引ノズル７側へ搬送され、デブリがレーザ光Ｌを遮断したり、デブリが加工対象物（ワーク）Ｗに付着したりするのを防止する。

【0006】

特許文献２に記載のレーザ加工装置は、図５に示すように、デブリ回収機構１０と、送風機１１と、集塵機１２とを備え、また、デブリ回収機構１０は、ダクト１５と、噴出部材１６とを有する。ダクト１５は箱体からなり、フレキシブルホース１７を介して集塵機１２に接続されている。

【0007】

また、送風機１１は高圧のエアを送風するものであり、集塵機１２は、送風機１１の高圧のエアとともに塵を吸引する。また、噴出部材１６は送風機１１に接続管１８を介して接続される。これにより、噴出部材１６は送風機１１から送風されたエアをダクト１５の内部に噴出する。

【0008】

ダクト１５の上壁１５ａに開口部１５ａ１が設けられ、ダクト１５の下壁１５ｂに上壁１５ａには開口部１５ａ１に対向する開口部１５ｂ１が設けられている。これによって、レーザ照射器２０からのレーザ光Ｌは、開口部１５ａ１を介してダクト１５内に入り、このダクト１５を通過して、開口部１５ｂ１を介してワークＷの加工部に照射される。

【0009】

このようにレーザ光を加工対象物（ワーク）Ｗに照射してレーザ加工している際には、集塵機１２が動作され、各開口部１５ａ１、１５ｂ１、１５ｃからエアＡ１、Ａ２，Ａ３がダクトに流入する。また、噴出部材１６からはエアＢ１がダクトに流入する。

【0010】

これらのエアＡ１、Ａ２，Ａ３、Ｂ１にて、レーザ加工にて生じた加工飛散物が集塵機１２に流入させることができ、デブリがレーザ光Ｌを遮断したり、デブリがワークに付着したりするのを防止する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0011】

【特許文献1】実用新案登録第３１４３４５７号公報

【特許文献2】特開２０１７－１００１７０公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0012】

ところで、図４で示される特許文献１では、加工ガス供給ノズルから加工ガスが加工部位に吹き付けられた場合、筐体とワークとの間に隙間があり、この隙間から筐体外に加工飛散物が飛散することになる。これによって、加工飛散物がワーク上面に付着するおそれがある。また、筐体の吸引ノズル側に内部コーナ部乃至端面に加工飛散物が付着して、吸引ノズルに吸引されない加工飛散物が生じるおそれがあった。

【0013】

図５で示される特許文献２においても、ダクトとワークとの間に隙間があり、この隙間に加工飛散物が飛散するおそれがあり、加工飛散物がワーク上面に付着するおそれがある。また、この場合のダクトとしても箱型であり、内部の角部を有し、この角部に加工飛散物が溜まるおそれがあり、長期にわたって、加工飛散物の回収が困難である。

【0014】

そこで、本発明は、上記課題に鑑みて、発生した加工飛散物を安定して回収（集塵）できる集塵方法、集塵装置、レーザ加工方法、およびレーザ加工装置を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0015】

本発明の集塵方法は、ワークからの加工飛散物を集塵する集塵方法であって、ワークの加工面に対して所定第１角度で傾斜した方向に沿って流体を吹き付け、ワークの加工面に対して所定第２角度で傾斜した方向に沿って流体を吹き付けて、所定第１角度で傾斜した方向からの流体流に、所定第２角度で傾斜した方向からの流体流をぶつけて、加工飛散物を集塵ボックス内に巻き上げ、この巻き上げた加工飛散物を集塵ボックス内に集塵するものである。

【0016】

本発明の集塵方法によれば、所定第１角度で傾斜した方向からの流体流に、所定第２角度で傾斜した方向からの流体流をぶつけて、加工飛散物を集塵ボックス内に巻き上げるものであるので、加工飛散物が集塵ボックス外への流出を防止できる。

【0017】

本発明のレーザ加工方法は、ワークにレーザ光を照射するレーザ照射器と、ワークを受けるテーブルと、ワークに対してレーザ照射器からのワークへのレーザ照射によって生じる加工飛散物を集塵する集塵ボックスとを備えたレーザ加工装置を用いるレーザ加工方法であって、前記集塵方法を含むものである。

【0018】

本発明のレーザ加工方法によれば、加工飛散物を集塵ボックス内に巻き上げるものであるので、レーザ加工によって生じるデブリ等の加工飛散物の集塵ボックス外への流出を防止できる。

【0019】

本発明の集塵装置は、ワークに対して反対側に設けられた各第１・第２吹き出し口を有する第１・第２の送風機と、ワークからの加工飛散物を集塵するための集塵ボックスとを備えた集塵装置であって、前記第１の送風機の第１の吹き出し口は、ワークに対して所定第１角度で傾斜した方向に向かって流体を吹き付け、前記第２の送風機は、ワークに対して所定第２角度で傾斜した方向に向かって流体を吹き付け、第１の送風機の第１吹き出し口からの第１流体流に第２の送風機の第２の吹き出し口からの第２流体流をぶつけて、加工飛散物を前記集塵ボックス内に巻き上げ、この巻き上げた加工飛散物を集塵ボックス内に集塵するものである。

【0020】

本発明の集塵装置によれば、加工飛散物の集塵ボックス外への流出を防止できる。

【0021】

第１の送風機からの第１の流体流に第２の送風機の第２の流体流がぶつけられることによって生じる第３の流体流の方向は、ワークの加工面と、この加工面と直交する垂直面との間の斜め方向であるように設定できる。このように設定することによって、加工飛散物の集塵ボックス外への流出を安定して防止できる。また、加工飛散物がレーザ光照射によるアブレーション加工で生じるデブリであれば、第３の流体流の方向は、ワークの加工面と、この加工面と直交する垂直面との間の斜め方向であるので、デブリがレーザ光照射の妨げにならない。

【0022】

集塵ボックスは、加工飛散物を下流側の集塵方向に流す筒状飛散物流路を備え、前記筒状飛散物流路の上流側には、前記集塵ボックス内に巻き上げられた加工飛散物を含む第３の流体流を筒状飛散物流路の周方向渦流とするために渦流発生部を備えるように構成できる。このように構成することによって、筒状飛散物流路の渦流発生部にて加工飛散物を含む第３の流体流を周方向渦流とすることができ、この周方向渦流を筒状飛散物流路内で下流側の集塵方向に流すことができる。このため、加工飛散物が筒状飛散物流路内で溜まることを有効に防止できる。すなわち、加工飛散物が筒状飛散物流路のコーナ部等に溜まることなく、安定して、筒状飛散物流路の下流側へ搬送することができる。

【0023】

前記筒状飛散物流路の上流端には、渦流発生部で発生した渦流を筒状飛散物流路の下流側である集塵方向への流れに促進するためのエア流入口を設けたものであってもよい。このようなエア流入口を設けることによって、このエア流入口から外気が流入して、筒状飛散物流路内での、加工飛散物の下流側の流れを促進することができ、より安定して、加工飛散物を集塵方向下流側へ搬送できる。

【0024】

本発明のレーザ加工装置は、ワークにレーザ光を照射するレーザ照射器と、ワークを受けるテーブルと、ワークに対してレーザ照射器からのワークへのレーザ照射によって生じる加工飛散物を集塵する集塵ボックスとを備えたレーザ加工装置であって、前記集塵装置を備えたものである。

【0025】

本発明のレーザ加工装置によれば、前記集塵装置を用いるので、レーザ加工にて生じた加工飛散物を集塵ボックス外へ流出させることなく、集塵方向下流側へ搬送できる。

【発明の効果】

【0026】

本発明は、加工飛散物が集塵ボックス外への流出を防止できるので、加工飛散物がワークに付着（堆積）せず、ワークの加工を安定して行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】本発明の集塵装置を備えたレーザ加工装置の簡略断面正面図である。

【図2】レーザ加工装置の簡略断面平面図である。

【図3】第１の送風機からの流体流と第２の送風機からの流体流との関係を示し、（ａ）は第１の流体流がＰ点に衝突する場合の簡略図であり、（ｂ）は第１の流体流の衝突範囲及び第２の衝突範囲を示す簡略図である。

【図4】従来のレーザ加工機用集塵装置の簡略図である。

【図5】従来のレーザ加工装置（レーザ加工機）の簡略図である。

【発明を実施するための形態】

【0028】

以下本発明の実施の形態を図１～図３に基づいて説明する。

【0029】

図１と図２とは、本発明に係る集塵装置を備えたレーザ加工装置を示し、この集塵装置は、一対の第１・第２の送風機３１，３２と、ワークＷからの加工飛散物を集塵するための集塵ボックス３３を備える。集塵ボックス３３は、加工飛散物５０（この場合、デブリＤ）を下流側に流す筒状飛散物流路３５を備え、この筒状飛散物流路３５には加工飛散物５０を吸引する図示省略の集塵機が連設されている。

【0030】

また、レーザ加工装置は、筒状飛散物流路３５の上流側の上方に配置されるレーザ照射器３６を備え、筒状飛散物流路３５の上流側上部に設けられたレーザ透過孔３５ａを介して、筒状飛散物流路３５に入光したレーザ光Ｌの上流側下部に配置されたワークＷにレーザ照射器３６からのレーザ光Ｌを照射することになる。この場合、ワークＷはテーブル４０に載置され、ワークＷが筒状飛散物流路３５の上流側下部の孔部３５ｂを介して筒状飛散物流路３５に侵入状となっている。テーブル４０は、例えば、ＸＹＺθテーブル等で構成することができる。

【0031】

ところで、レーザ加工装置は、レーザ光ＬをワークＷに照射することで、ワークＷを瞬時に溶融・蒸発させるアブレーション加工である。このため、本レーザ加工装置では加工時にデブリＤ（加工飛散物５０）が発生する。本レーザ加工装置では、樹脂を含む高分子材、半導体材、ガラス材、金属材等からなる被加工物Ｗを加工（孔明けや切断等の加工）することができる。レーザＬとしては、アブレーション加工が可能なパルスレーザ等を用いることができる。

【0032】

第１の送風機３１は、ワークＷ(具体的には、ワークＷの加工部位Ｐ)に対して所定第１角度θ１で傾斜した方向に向かって流体（エア）を吹き付ける吹き出し口３１ａを有し、第２の送風機３２は、ワークＷ(具体的には、ワークＷの加工部位)に対して所定第２角度θ２で傾斜した方向に向かって流体（エア）を吹き付ける吹き出し口３１ａを有するものである。各吹き出し口３１ａ、３２ａとしては、扁平矩形状の一つの吹き出し孔で構成しても、多数の小孔を併設したものであってもよい。このため、後述する各流体流Ｆ１，Ｆ２として、一つの吹き出し孔で吹き出し口３１ａ（３２ａ）を構成した場合、幅方向（流体流の流れ方向と直交する方向）に連続したものとなり、多数の小孔を併設したもので吹き出し口３１ａ（３２ａ）を構成した場合、非連続なものや連続したものとなる。

【0033】

この場合、第１・第２の送風機３１、３２は、図２に示すように、筒状飛散物流路３５の軸心を通る鉛直面を挟んで、反対側に配設されるものであって、図３（ａ）に示す、所定第１角度θ１としては、例えば、０°～９０°に設定され、図３（ａ）に示す、所定第２角度θ２としては、０°～９０°に設定される。この場合、θ１≧θ２であっても、θ１≦θ２であってもいい。例えば、θ１＝４５°のときに、θ２＝１０°とし、θ１＝６０°のときに、θ２＝９０°としたりできる。なお、各送風機３１・３２は、遠心送風機、軸流送風機、斜流送風機、及び横流送風機等の公知公用の既存の送風機で構成できる。また、この実施形態では、第１角度θ１は、加工面Ｗ１に対して、時計まわりに開く角度であり、第２角度θ２は、加工面Ｗ１に対して、反時計まわりに開く角度である。

【0034】

また、筒状飛散物流路３５の上流端側開口部は、端壁３５ｃにて塞がれているが、この端壁３５ｃにはエア流入口（窓部）４１が形成されている。この場合、第１・第２の送風機３１・３２が、端壁３５ｃよりも下流側に設けられ、筒状飛散物流路３５の上流部には、短筒部からなる渦流発生部４２が形成される。

【0035】

次に、上述のように構成された集塵装置を備えたレーザ加工装置にて、ワークＷを加工する方法を説明する。この場合、図１に示すように、テーブル４０上に加工するワークＷをセットする。そして、ワークＷの加工部位に、レーザ照射器３６からレーザ光Ｌを照射する。この場合、テーブル４０をＸＹ平面上を移動させたり、Ｚ軸方向に沿って、上下動させたり、テーブル軸心回りに回転させたりできる。

【0036】

そして、このレーザ加工時には、第１の送風機３１及び第２の送風機３２から流体（エア）が加工部位Ｐに向かって吹き付けられる。すなわち、第１の送風機３１の吹き出し口３１ａからの所定第１角度θ１（加工面Ｗ１に対して、時計まわりに開く角度θ１）で加工部位に向かって吹き付けられ、第２の送風機３２の吹き出し口３２ａからの所定第２角度θ２（加工面Ｗ１に対して、反時計まわりに開く角度θ２）で加工部位に向かってエアが吹き付けられる。

【0037】

このため、第１の送風機３１の吹き出し口３１ａからの第１の流体流（エア流）Ｆ１と、第２の送風機３２の吹き出し口３２ａからの第２の流体流（エア流）Ｆ２が衝突して、この衝突部位から下流側に傾いた上昇流である第３の流体流（エア流）Ｆ３が形成される。すなわち、この第３の流体流Ｆ３は、所定第３角度θ３（加工面Ｗ１に対して反時計まわりに開く角度θ３）をなす。θ３としては、例えば、０°＜θ３≦９０°に設定される。

【0038】

また、図３（ａ）では、第１の流体流Ｆ１をＰ点に衝突させているが、図３（ｂ）に示すように、このＰ点より下流側の範囲Ｈ１内であればよく、第２の流体流Ｆ２も、このＰ点よりも上流側の範囲Ｈ２内であればよい。このため、第３の流体流Ｆ３は、仮想線で示すように、範囲Ｈ２のいずれかから立ち上がることになる。この立ち上がる位置は、Ｆ１の角度とＦ２の角度と、流体流の流量比等で変わる。

【0039】

ところで、第１の流体流Ｆ１に第２の流体流Ｆ２を衝突させない場合、図３（ａ）の仮想線で示すよう、第１の流体流Ｆ１が、第１の送風機３１の吹き出し口３１ａからそのまま、斜め下方に向かって流れ、図２及び図３の仮想線で示すよう、流体流ＦＳが発生して、加工飛散物５０が筒状飛散物流路３５から外部へ排出されるおそれがある。

【0040】

しかしながら、この集塵装置では、レーザアブレーション加工にて形成されたデブリＤが、この上昇流（エア流）Ｆ３に乗って、筒状飛散物流路３５に舞い上がる。この場合、筒状飛散物流路３５の下流側の短筒部からなる渦流発生部４２において、図２のＶで示す周方向渦流が発生する。

【0041】

この際には、筒状飛散物流路３５の下流側には、図示省略の集塵機が配置され、この集塵機によって、筒状飛散物流路３５のエアが下流側へ流れることになる。このため、第３の流体流Ｆ３に乗って、筒状飛散物流路３５内に舞い上がったデブリＤは、筒状飛散物流路３５の下流側へ搬送される。また、筒状飛散物流路３５内に舞い上がって、周方向渦流Ｖに乗って、渦流発生部４２で浮遊しているデブリも筒状飛散物流路３５の下流側へ搬送される。

【0042】

このため、本発明の集塵方法によれば、所定第１角度θ１で傾斜した方向からの流体流Ｆ１に、所定第２角度θ２で傾斜した方向からの流体流Ｆ２をぶつけて、加工飛散物５０を集塵ボックス３３内に巻き上げるものであるので、加工飛散物５０の集塵ボックス３３外への流出を防止できる。このため、加工飛散物５０がワークＷに付着（堆積）せず、ワークＷの加工を安定して行うことができる。

【0043】

また、本発明のレーザ加工方法によれば、加工飛散物５０を集塵ボックス３３内に巻き上げるものであるので、レーザ加工によって生じるデブリＤ等の加工飛散物５０の集塵ボックス３３外への流出を防止できる。

【0044】

本発明の集塵装置によれば、加工飛散物５０の集塵ボックス３３外への流出を防止できる。

【0045】

第１の送風機３１からの第１の流体流Ｆ１に第２の送風機３２の第２の流体流Ｆ２がぶつけられることによって生じる第３の流体流Ｆ３の方向は、ワークＷの加工面Ｗ１と、この加工面Ｗ１と直交する垂直面との間の斜め方向であるよう設定できる。このように設定することによって、加工飛散物５０の集塵ボックス３３外への流出を安定して防止できる。また、加工飛散物５０がレーザ光照射によるアブレーション加工で生じるデブリＤであれば、第３の流体流Ｆ３の方向は、ワークＷの加工面Ｗ１と、この加工面Ｗ１と直交する垂直面との間の斜め方向であるので、デブリＤがレーザ光照射の妨げにならない。

【0046】

また、集塵ボックス３３は、加工飛散物５０を下流側の集塵方向に流す筒状飛散物流路３５を備え、前記筒状飛散物流路３５の上流側には、集塵ボックス３３内に巻き上げられた加工飛散物５０を含む第３の流体流を筒状飛散物流路３５の周方向渦流とするために渦流発生部４２を備えるように構成できる。このように構成することによって、筒状飛散物流路３５の渦流発生部にて加工飛散物５０を含む第３の流体流Ｆ３を周方向渦流とすることができ、この周方向渦流を筒状飛散物流路３５内で下流側の集塵方向に流すことができる。このため、加工飛散物５０が筒状飛散物流路３５内で溜まることを有効に防止できる。

【0047】

さらに、筒状飛散物流路３５の上流端には、渦流発生部４２で発生した渦流を筒状飛散物流路３５の下流側である集塵方向への流れに促進するためのエア流入口４１を設けたものであってもよい。このようなエア流入口を４１設けることによって、このエア流入口４２から外気が流入して、筒状飛散物流路３５内での、加工飛散物５０の下流側の流れを促進することができ、より安定して、加工飛散物５０を集塵方向下流側へ搬送できる。

【0048】

また、本発明のレーザ加工装置によれば、本集塵装置を用いるので、レーザ加工にて生じた加工飛散物５０を集塵ボックス３３外へ流出させることなく、集塵方向下流側へ搬送できる。

【0049】

本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、第１の送風機３１からのエア流（流体流）の傾斜角度θ１及び第２の送風機３２からのエア流（流体流）の傾斜角度θ２、各送風機３１、３２の吹き出す流体の流速、及び各送風機３１、３２の吹き出す流体の流量等は、加工飛散物５０を集塵ボックス内に巻き上げることが可能な、第３の流体流Ｆ３を形成できる範囲で、種々変更できる。

【0050】

また、各送風機３１、３２の吹き出す流体として、エアに限るものではなく、レーザ加工に影響を与えない窒素（Ｎ２）やアルゴン（Ａｒ）等の不活性ガスであってもよい。また、実施形態のように、筒状飛散物流路３５の上流端の端壁にエア流入口（窓部）４１を設けているが、このようなエア流入口４１を設けないものであってもよい。エア流入口４１を設ける場合、エア流入口４１の大きさ、形状、及び数等は任意に設定できるが、エア流入口４１から加工飛散物５０が外部に流出させない必要がある。このため、エア流入口４１に、エアの流入を許容し、加工飛散物５０の外部への流出を防止するフィルター等を設けてもよい。

【符号の説明】

【0051】

３１，３２ 送風機
３１ａ、３２ａ 吹き出し口
３３ 集塵ボックス
３５ 筒状飛散物流路
３６ レーザ照射器
４０ テーブル
４１ エア流入口（窓部）
４２ 渦流発生部
５０ 加工飛散物
Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３ 流体流
Ｌ レーザ光
Ｐ レーザ加工部位
Ｓ デブリ
Ｖ 周方向渦流
Ｗ ワーク（加工対象物）
Ｗ１ 加工面
θ１、θ２、θ３ 傾斜角度

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】