特開 2022-137911 光周波数コムの周波数掃引量測定装置及び方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022137911

(43)【公開日】2022-09-22

(54)【発明の名称】光周波数コムの周波数掃引量測定装置及び方法

(51)【国際特許分類】

   G01M 11/00 20060101AFI20220914BHJP

   G02F 2/00 20060101ALI20220914BHJP

【ＦＩ】

G01M11/00 T

G02F2/00

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021037634

(22)【出願日】2021-03-09

【国等の委託研究の成果に係る記載事項】（出願人による申告）令和元年度、国立研究開発法人科学技術振興機構、戦略的創造研究推進事業「マイクロ光周波数コムの新規制御技術の開発」委託研究、産業技術力強化法第１７条の適用を受ける特許出願

(71)【出願人】

【識別番号】304020292

【氏名又は名称】国立大学法人徳島大学

(74)【代理人】

【識別番号】110002516

【氏名又は名称】特許業務法人白坂

(72)【発明者】

【氏名】久世 直也

【テーマコード（参考）】

2G086

2K102

【Ｆターム（参考）】

2G086EE03

2G086EE07

2G086EE12

2K102BA40

2K102BC01

2K102BD09

2K102DA04

2K102DB04

2K102EB06

2K102EB20

2K102EB22

(57)【要約】

【課題】サイズを抑え、低コストで、全てのコムモード周波数掃引量の測定を可能にする光周波数コムの周波数掃引量測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】光周波数コムと、時間τだけ遅延した光周波数コムとを干渉させた出力光を出力するアンバランスマッハツェンダ―干渉計と、Ｎ番目のコムモード及びＭ番目のコムモードをそれぞれ透過する２つのバンドパスフィルタと、２つのバンドパスフィルタから出力される光をそれぞれ検出する２つの光検出器と、２つの光検出器からの信号からコムモード周波数掃引量を算出する信号処理装置とを備え、干渉の波形の位相の、Ｎ番目及びＭ番目のコムモードにおける変化量δφ_Ｎ及びδφ_Ｍを用いて、δν_Ｎ＝１／τ×（δφ_Ｎ／２π）、δν_Ｍ＝１／τ×（δφ_Ｍ／２π）の関係によりＮ番目及びＭ番目のコムモード周波数の変化量δν_Ｎ及びδν_Ｍを算出し、任意のコムモード周波数の掃引量δν_Ｋを算出する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

周波数掃引される光周波数コムを入力し、前記光周波数コムと、時間τの遅延を受けた前記光周波数コムとを干渉させた出力光を出力するアンバランスマッハツェンダ―干渉計と、
前記出力光のＮ番目のコムモードのみを透過する第１光バンドパスフィルタ及びＭ番目のコムモードのみを透過する第２光バンドバスフィルタと（ただし、Ｎ≠Ｍ）、
前記第１光バンドバスフィルタ及び前記第２光バンドパスフィルタから出力される光をそれぞれ検出する２つの光検出器と、
前記２つの光検出器からの信号から、前記光周波数コムのコムモード周波数掃引量を算出する信号処理装置と
を備え、前記信号処理装置は、前記２つの光検出器からの信号によって得られた干渉の波形の位相の、前記Ｎ番目のコムモードにおける変化量δφ_Ｎ及び前記Ｍ番目のコムモードにおけるδφ_Ｍを用いて、

【数1】

【数2】

の関係により前記光周波数コムの前記Ｎ番目のコムモード及び前記Ｍ番目のコムモードのコムモード周波数の変化量δν_Ｎ及びδν_Ｍを算出し、前記算出した変化量δν_Ｎ及びδν_Ｍから任意のコムモード周波数の掃引量δν_Ｋを算出することを特徴とする光周波数コムの周波数掃引量測定装置。

【請求項2】

前記信号処理装置は、算出した前記Ｎ番目のコムモード及び前記Ｍ番目のコムモードのコムモード周波数の変化量δν_Ｎ及びδν_Ｍを用いて、

【数3】

の関係により前記任意のコムモード周波数の掃引量δν_Ｋを算出することを特徴とする請求項１に記載の光周波数コムの周波数掃引量測定装置。

【請求項3】

光周波数コムをアンバランスマッハツェンダ―干渉計に入力し、前記光周波数コムと、時間τの遅延を受けた前記光周波数コムとを干渉させた出力光を出力するステップと、
前記出力光のＮ番目のコムモードとＭ番目のコムモードをそれぞれ独立に出力するステップと、
前記Ｎ番目のコムモードと前記Ｍ番目のコムモードを検出し電気信号に変換するステップと、
前記光周波数コムのコムモード周波数を掃引することにより、前記電気信号によって得られた干渉の波形の位相の、前記Ｎ番目のコムモードにおける変化量δφ_Ｎ及び前記Ｍ番目のコムモードにおける変化量δφ_Ｍを測定するステップと、
前記測定した変化量δφ_Ｎ及び変化量δφ_Ｍを用いて、

【数4】

【数5】

の関係により前記光周波数コムの前記Ｎ番目のコムモード及び前記Ｍ番目のコムモードのコムモード周波数の変化量δν_Ｎ及びδν_Ｍを算出するステップと
前記算出した変化量δν_Ｎ及びδν_Ｍから任意のコムモード周波数の掃引量δν_Ｋを算出するステップと
を備えたことを特徴とする光周波数コムの周波数掃引量測定方法。

【請求項4】

算出した前記Ｎ番目のコムモード及び前記Ｍ番目のコムモードのコムモード周波数の変化量δν_Ｎ及びδν_Ｍを用いて、

【数6】

の関係により前記任意のコムモード周波数の掃引量δν_Ｋを算出するステップをさらに備えたことを特徴とする請求項３に記載の光周波数コムの周波数掃引量測定方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光周波数コムの周波数掃引量測定装置及び方法に関する。

【背景技術】

【0002】

光周波数コムは、超短パルスモード同期レーザの一種であり、離散的かつ等間隔に並んだ櫛（コム）状のスペクトルを有する。光周波数コムの各コムモードをＣＷレーザ光源とみなし、コムモード周波数を掃引することによって、光を用いた距離測定（Ｌｉｇｈｔ Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ ａｎｄ Ｒａｎｇｉｎｇ，ＬｉＤＡＲ）や形状測定等が可能となる（例えば、非特許文献２参照）。

【0003】

コムモード周波数の掃引は、例えば、ＣＷレーザからの励起光を掃引する方法（非特許文献１）、光周波数コムを発生させる微小共振器に取り付けたマイクロヒーターによる方法（非特許文献３参照）、共振器に取り付けた圧電素子による方法（非特許文献４参照）、電気光学変調器によりコムモード周波数の制御を行う方法（非特許文献５参照）、あるいはそれらの組み合わせ等によって可能である。コムモード周波数掃引量を測定する方法としては、ＣＷレーザと、コムモードを干渉させ、その周波数差を光検出器で測定することによってコムモード周波数掃引量を測定する方法等が挙げられる。

【先行技術文献】

【非特許文献】

【0004】

【非特許文献1】Ｎ．Ｋｕｓｅ，ｅｔ ａｌ．，Ｏｐｔｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ，４５，ｐｐ．９２７－９３０（２０２０）

【非特許文献2】Ｊ．Ｒｉｅｍｅｎｓｂｅｒｇｅｒ．ｅｔ ａｌ．，Ｎａｔｕｒｅ，５８１，１６４（２０２０）

【非特許文献3】Ｃ．Ｊｏｓｈｉ，ｅｔ ａｌ．，Ｏｐｔｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ，４１，ｐｐ．２５６５－２５６８（２０１６）

【非特許文献4】Ｊ．Ｌｉｕ，ｅｔ ａｌ．，Ｎａｔｕｒｅ，５８３，ｐｐ．３８５－３９０（２０２０）

【非特許文献5】Ｃ．Ｗａｎｇ，ｅｔ ａｌ．，Ｎａｔｕｒｅ，５６２，ｐｐ．１０１－１０４（２０１８）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ＬｉＤＡＲや形状測定等の測定を行う際、利用する全てのコムモードのコムモード周波数掃引量を測定する必要がある。ＣＷレーザと、コムモードを干渉させ、その周波数差を測定する方法等による、従来のコムモード周波数掃引量の測定方法によれば、単一のコムモードの周波数掃引量のみの測定が可能である。利用する全てのコムモードのコムモード周波数掃引量を測定するためには、従来のコムモード周波数掃引量の測定装置であれば複数用意する必要があり、サイズが大きく、かつコストがかかる。

【0006】

上記問題点を鑑み、本発明は、サイズを抑え、かつ低コストで、全てのコムモード周波数掃引量の測定を可能にする光周波数コムの周波数掃引量測定装置及び方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の第１の態様は、光周波数コムの周波数掃引量測定装置であって、周波数掃引される光周波数コムを入力し、光周波数コムと、時間τの遅延を受けた光周波数コムとを干渉させた出力光を出力するアンバランスマッハツェンダ―干渉計と、出力光のＮ番目のコムモードのみを透過する第１光バンドパスフィルタ及びＭ番目のコムモードのみを透過する第２光バンドパスフィルタと（ただし、Ｎ≠Ｍ）、第１光バンドパスフィルタ及び第２光バンドパスフィルタから出力される光をそれぞれ検出する２つの光検出器と、２つの光検出器からの信号から、光周波数コムのコムモード周波数掃引量を算出する信号処理装置とを備え、信号処理装置は、２つの光検出器からの信号によって得られた干渉の波形の位相の、Ｎ番目のコムモードにおける変化量δφ_Ｎ及びＭ番目のコムモードにおけるδφ_Ｍを用いて、δν_Ｎ＝１／τ×（δφ_Ｎ／２π）、δν_Ｍ＝１／τ×（δφ_Ｍ／２π）の関係により光周波数コムのＮ番目のコムモード及びＭ番目のコムモードのコムモード周波数の変化量δν_Ｎ及びδν_Ｍを算出し、算出した変化量δν_Ｎ及びδν_Ｍから任意のコムモード周波数の掃引量δν_Ｋを算出することを要旨とする。

【0008】

本発明の第１の態様において、信号処理装置は、算出したＮ番目のコムモード及びＭ番目のコムモードのコムモード周波数の変化量δν_Ｎ及びδν_Ｍを用いて、δν_Ｋ＝δν_Ｎ＋（Ｋ－Ｎ）／（Ｎ－Ｍ）×（δν_Ｎ―δν_Ｍ）の関係により任意のコムモード周波数の掃引量δν_Ｋを算出してもよい。

【0009】

本発明の第２の態様は、光周波数コムの周波数掃引量測定方法であって、光周波数コムをアンバランスマッハツェンダ―干渉計に入力し、光周波数コムと、時間τの遅延を受けた光周波数コムとを干渉させた出力光を出力するステップと、出力光のＮ番目のコムモードとＭ番目のコムモードをそれぞれ独立に出力するステップと、Ｎ番目のコムモードとＭ番目のコムモードを検出し電気信号に変換するステップと、光周波数コムのコムモード周波数を掃引することにより、電気信号によって得られた干渉の波形の位相の、Ｎ番目のコムモードにおける変化量δφ_Ｎ及びＭ番目のコムモードにおける変化量δφ_Ｍを測定するステップと、測定した変化量δφ_Ｎ及び変化量δφ_Ｍを用いて、δν_Ｎ＝１／τ×（δφ_Ｎ／２π）、δν_Ｍ＝１／τ×（δφ_Ｍ／２π）の関係により光周波数コムのＮ番目のコムモード及びＭ番目のコムモードのコムモード周波数の変化量δν_Ｎ及びδν_Ｍを算出するステップと、算出した変化量δν_Ｎ及びδν_Ｍから任意のコムモード周波数の掃引量δν_Ｋを算出するステップとを備えたことを要旨とする。

【0010】

本発明の第２の態様において、算出したＮ番目のコムモード及び記Ｍ番目のコムモードのコムモード周波数の変化量δν_Ｎ及びδν_Ｍを用いて、δν_Ｋ＝δν_Ｎ＋（Ｋ－Ｎ）／（Ｎ－Ｍ）×（δν_Ｎ―δν_Ｍ）の関係により任意のコムモード周波数の掃引量δν_Ｋを算出するステップをさらに備えてもよい。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、サイズを抑え、かつ低コストで全てのコムモード周波数掃引量の測定を可能にする光周波数コムの周波数掃引量測定装置及び方法を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の実施形態に係る光周波数コムの周波数掃引量測定装置の構成の一例を示す模式図である。

【図2】Ｎ番目のコムモード及びＭ番目のコムモードのＭＺＩを経て、光検出器で観測される干渉信号の時間変化を示すグラフである。

【図3】本実施形態に係る周波数掃引量測定装置を用いた実測によって得られた０番目と―１６番目のコムモードの周波数掃引量を示すグラフである。

【図4】本実施形態に係る周波数掃引量測定装置を用いた実測及び計算によって得られた―４番目のコムモードの周波数掃引量を示すグラフである。

【図5】図４に示す―４番目のコムモードの周波数掃引量の実測値と計算値の差を示すグラフである。

【図6】本実施形態に係る光周波数コムの周波数掃引量測定方法を説明するフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0013】

次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。実施形態に係る図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。但し、図面は模式的なものであり、厚みと平面寸法との関係、各部材の厚みの比率等は現実のものとは異なることに留意すべきである。したがって、具体的な厚みや寸法は以下の説明を参酌して判断すべきものである。又、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。

【0014】

又、実施形態は、本発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、本発明の技術的思想は、各構成要素の構成や配置、レイアウト等を下記のものに特定するものでない。本発明の技術的思想は、特許請求の範囲に記載された請求項が規定する技術的範囲内において、種々の変更を加えることができる。

【0015】

（実施形態）
本発明の実施形態に係る光周波数コムの周波数掃引量測定装置を図面を参照しながら説明する。図１に本発明の実施形態に係る光周波数コムの周波数掃引量測定装置の構成の一例を示す。図１に示すように、本実施形態に係る光周波数コムの周波数掃引量測定装置１０は、干渉計１０１と、光バンドパスフィルタ（ＢＰＦ）１０２、１０３と、光検出器１０４、１０５と、光方向性結合器１０６、１０７と、アナログデジタル変換器（ＡＤＣ）１１７、１１８と、信号処理装置１１９とから構成される。

【0016】

干渉計１０１は、２波長アンバランスマッハツェンダ―型干渉計であり、互いに光路長の異なる第１光ファイバ１０８と、第２光ファイバ１０９と、第１光方向性結合器１０６と、第２光方向性結合器１０７とから構成される。第１光ファイバ１０８と、第２光ファイバ１０９の光路長差は既知であるとする。図１には、干渉計１０１として光ファイバから構成されるものが示されているが、空間から構成されるものであってもよく、光導波路から構成されるものであってもよい。

【0017】

光周波数コム１１０は、光ファイバによって発生するもの、電気光学変調器により発生するもの、微小共振器により発生するもの等、いずれの種類の光周波数コムであっても構わない。また、光周波数コム１１０のコムモード周波数を掃引する方法は、ＣＷレーザからの励起光による方法（非特許文献１）、マイクロヒーターによる方法（非特許文献３参照）、圧電素子による方法（非特許文献４参照）、電気光学変調器による方法（非特許文献５参照）、あるいはそれらの組み合わせ等、いずれの方法によるものでも構わない。

【0018】

光周波数コム１１０は光ファイバ１１６を伝搬し、干渉計１０１に入射されたのち、第１光方向性結合器１０６において２分岐し、干渉計１０１において光路長の異なる第１光ファイバ１０８と、第２光ファイバ１０９とを伝搬する。第２光ファイバ１０９を伝搬した光周波数コム１１２は、時間τの遅延を受けたのち、第１光ファイバ１０８を伝搬した光周波数コム１１１と、第２光方向性結合器１０７において合流し、出力光１１３として出力される。光周波数コム１１０と、光周波数コム１１１と、光周波数コム１１２とは、互いに同一の光であるが、光周波数コム１１２は、光周波数コム１１１と比較して時間τだけ遅延しており、出力光１１３は周波数コム１１１と光周波数コム１１２とが干渉した光である。

【0019】

第２光方向性結合器１０７において光路は２分岐しており、２分岐した光路のそれぞれに第１光バンドパスフィルタ（第１ＢＰＦ）１０２、第２光バンドパスフィルタ（第２ＢＰＦ）１０３が接続されている。第１光バンドパスフィルタ１０２及び第２光バンドパスフィルタ１０３は、出力光１１３の、互いに異なるコムモードのみを透過するように設定される。本実施形態において、出力光１１３は、第１光バンドパスフィルタ１０２によってＮ番目のコムモード１１４が、第２光バンドパスフィルタ１０３によってＭ番目のコムモード１１５が取り出されるものとする（ただし、Ｎ≠Ｍ）。つまり、第１光バンドパスフィルタ１０２は、Ｎ番目のコムモード１１４が対応する周波数帯の出力光のみを通過させる。また、第２光バンドパスフィルタ１０３は、Ｍ番目のコムモード１１５が対応する周波数帯の出力光のみを通過させる。

【0020】

第１光検出器１０４及び第２光検出器１０５によって、Ｎ番目のコムモード１１４及びＭ番目のコムモード１１５の干渉信号が検出される。第１光検出器１０４及び第２光検出器１０５によって得られた信号は、アナログデジタル変換器（ＡＤＣ）１１７、１１８によってデジタル化され、信号処理装置１１９によって以下に述べる計算処理がなされる。

【0021】

第１光検出器１０４及び第２光検出器１０５によって、Ｎ番目のコムモード１１４及びＭ番目のコムモード１１５の干渉信号の時間変化を測定する。出力光１１３は、光周波数コム１１１と、時間τの遅延を受けた光周波数コム１１２との重ね合わせた光であり、従って、図２のようにＮ番目のコムモード１１４及びＭ番目のコムモード１１５の干渉信号の時間変化をグラフに示すと、干渉が生じている様子が観測される。

【0022】

光周波数コム１１０のコムモード周波数をシフトさせると、光周波数コム１１０の全てのコムモードの周波数は同時にシフトし、コムモード周波数の変化に応答して、図２に示す干渉の波形の位相が変化する。以下に述べるように、図２に示す干渉波形の、光周波数コム１１０のコムモード周波数をシフトさせる前と、光周波数コム１１０のコムモード周波数をシフトさせた後の位相の変化を測定することによって、コムモード周波数のシフト量を算出することが出来る。

【0023】

Ｎ番目のコムモード１１４のコムモード周波数をν_Ｎ、Ｍ番目のコムモード１１５のコムモード周波数をν_Ｍとする。光周波数コム１１０のコムモード周波数をシフトさせたときのＮ番目のコムモードのコムモード周波数の掃引量をδν_Ｎ、Ｍ番目のコムモードのコムモード周波数の掃引量をδν_Ｍとすると、δν_Ｎ、δν_Ｍは次の数式より算出することが出来る。

【0024】

【数1】

【0025】

【数2】

ここで、上式中のτは干渉計１０１の第２光ファイバ１０９を伝搬した光の遅延時間であり、既知の値である。δφ_Ｍ及びδφ_Ｎは図２に示す干渉の波の位相変化量であり、光周波数コム１１０のコムモード周波数を掃引することによって変化する量である。

【0026】

ここで、光周波数コムのｎ番目のコムモードのコムモード周波数ν_nは、

【0027】

【数3】

で表される。ｆ_ＣＥＯはキャリアエンベロープオフセット周波数、ｆ_ｒｅｐはコムモード間の周波数間隔であり、コムモードの番号（上式においては、ｎ番目）に依存しない値である。Ｎ番目及びＭ番目のコムモードのコムモード周波数の周波数掃引量δν_Ｎ、δν_Ｍは、コムモード周波数を掃引することによるｆ_ＣＥＯ及びｆ_ｒｅｐの変化量をδｆ_ＣＥＯ及びδｆ_ｒｅｐとすると、

【0028】

【数4】

【0029】

【数5】

である。任意のコムモードのコムモード周波数の掃引量は、

【0030】

【数6】

であるから、Ｋ番目のコムモード周波数の掃引量は、

【0031】

【数7】

より算出することが出来る。

【0032】

図３に、実測によって得られた０番目と―１６番目のコムモードの周波数掃引量を示す。ここで、０番目と―１６番目のコムモードとは、ＣＷレーザからの励起光を基準として数えた場合のコムモードの次数である。図４に、実測及び数式７を用いた計算によって得られた―４番目のコムモードの周波数掃引量を示す。図３及び図４に示すグラフの縦軸は周波数の掃引量、横軸は周波数を掃引し、その周波数に到達した時間を表している。図４において、―４番目のコムモードの周波数掃引量の実測値と計算値の差は観られない。図５に、図４に示す―４番目のコムモードの周波数掃引量の実測値と計算値の差を示す。６０ＧＨｚ程度の周波数掃引量に対して、１０ＭＨｚ程度の誤差となっており、数式７を用いて任意のコムモード周波数の掃引量を得られたといえる。

【0033】

図６に示すフローチャートを参照しながら、本実施形態に係る光周波数コムの周波数掃引量測定方法の一例を説明する。

【0034】

ステップＳ６０１において、光周波数コム１１０をアンバランスマッハツェンダ―干渉計１０１に入力し、光周波数コム１１１と、時間τの遅延を受けた光周波数コム１１２とを干渉させた出力光１１３を出力する。

【0035】

ステップＳ６０２において、光バンドパスフィルタ１０２，１０３を用いて、出力光１１３のＮ番目のコムモード１１４とＭ番目のコムモード１１５をそれぞれ独立に出力する。

【0036】

ステップＳ６０３において、光検出器１０４、１０５により、Ｎ番目のコムモードとＭ番目のコムモードを検出し電気信号に変換する。

【0037】

ステップＳ６０４において、光周波数コム１１０のコムモード周波数を掃引したことによる、Ｎ番目のコムモードにおける干渉の波形の位相の変化量δφ_Ｎ及びＭ番目のコムモードにおける干渉の波形の位相のδφ_Ｍを測定する。

【0038】

ステップＳ６０５において、測定した変化量δφ_Ｎ及びδφ_Ｍを用いて、数式１、数式２の関係により、光周波数コムのＮ番目のコムモード及びＭ番目のコムモードのコムモード周波数の変化量δν_Ｎ及びδν_Ｍを算出する。

【0039】

ステップＳ６０６において、算出した前記Ｎ番目のコムモード及び前記Ｍ番目のコムモードのコムモード周波数の変化量δν_Ｎ及びδν_Ｍを用いて、数式７の関係により任意のコムモード周波数の掃引量δν_Ｋを算出する。

【0040】

光周波数コムの任意のコムモードの周波数掃引量は、光周波数コムの複数のコムモードのうち、２つのコムモードの周波数掃引量を測定によって得ることにより算出することが出来る。周波数掃引量を測定する２つのコムモードはいずれのコムモードでも構わないが、２つのコムモードは周波数が互いに離れているほど、図４に示すような、任意のコムモードの周波数掃引量の実測値と計算値の差は小さくなる。

【0041】

以上、本発明はここでは記載していない様々な実施形態等を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。

【符号の説明】

【0042】

１０ 周波数掃引量測定装置
１０１ 干渉計
１０２ 第１光バンドパスフィルタ
１０３ 第２光バンドパスフィルタ
１０４ 第１光検出器
１０５ 第２光検出器
１０６ 第１光方向性結合器
１０７ 第２光方向性結合器
１０８ 第１光ファイバ
１０９ 第２光ファイバ
１１０、１１１、１１２ 光周波数コム
１１３ 出力光
１１４ Ｎ番目のコムモード
１１５ Ｍ番目のコムモード
１１６ 光ファイバ
１１７、１１８ アナログデジタル変換器
１１９ 信号処理装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】