特開 2022-139421 検査装置及び振動抑制方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022139421

(43)【公開日】2022-09-26

(54)【発明の名称】検査装置及び振動抑制方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/956 20060101AFI20220915BHJP

   G03F 7/20 20060101ALI20220915BHJP

   G03F 1/84 20120101ALN20220915BHJP

【ＦＩ】

G01N21/956 A

G03F7/20 521

G03F1/84

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021039800

(22)【出願日】2021-03-12

(71)【出願人】

【識別番号】000115902

【氏名又は名称】レーザーテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100103894

【弁理士】

【氏名又は名称】家入 健

(74)【代理人】

【識別番号】100129953

【弁理士】

【氏名又は名称】岩瀬 康弘

(72)【発明者】

【氏名】高野 真

【テーマコード（参考）】

2G051

2H195

2H197

【Ｆターム（参考）】

2G051AA56

2G051BA01

2G051BC06

2G051CA04

2G051CA07

2G051CB01

2G051CB02

2G051CD04

2G051EA23

2H195BD02

2H197CD13

2H197HA03

2H197HA04

2H197JA09

2H197JA18

(57)【要約】

【課題】マスクの振動を抑制し、デフォーカスを抑制することができる検査装置及び振動抑制方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る検査装置１は、基台１００と、マスク１８０を保持するマスクホルダ１３０と、マスクホルダ１３０の上方に配置された上部フレーム１２０と、マスク１８０からの光を受光する検査ヘッド２００と、基台１００上に固定されるとともに上部フレーム１２０に固定され、検査ヘッド２００が取り付けられた支柱１５０と、マスク１８０の振動Ａによってマスクホルダ１３０に発生した振動Ｂを検出するホルダ振動検出センサ３１０と、検出した振動Ｂに基づいて、振動Ａを抑制するようにマスクホルダ１３０に振動Ｃを加振するホルダ加振ユニット３２０と、振動Ｃによって支柱１５０に発生した振動Ｄを検出する支柱振動検出センサ３３０と、検出した振動Ｄを抑制するように支柱１５０に振動Ｅを加振する支柱加振ユニット３４０と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基台と、
前記基台上に配置されたマスクを保持するマスクホルダと、
前記マスクホルダの上方に配置された上部フレームであって、前記基台と前記上部フレームとの間で前記マスクホルダがスライド移動する前記上部フレームと、
前記マスクからの光を受光する検査ヘッドと、
前記基台上に固定されるとともに前記上部フレームに固定され、前記検査ヘッドが取り付けられた支柱と、
前記マスクの第１振動によって前記マスクホルダに発生した第２振動を検出するホルダ振動検出センサと、
検出した前記第２振動に基づいて、前記第１振動を抑制するように前記マスクホルダに第３振動を加振するホルダ加振ユニットと、
前記第３振動によって前記支柱に発生した第４振動を検出する支柱振動検出センサと、
検出した前記第４振動を抑制するように前記支柱に第５振動を加振する支柱加振ユニットと、
を備えた検査装置。

【請求項2】

前記ホルダ加振ユニットは、少なくとも第１ホルダ加振ユニット及び第２ホルダ加振ユニットを含み、
前記第３振動は、前記第１ホルダ加振ユニットが加振する第６振動及び前記第２ホルダ加振ユニットが加振する第７振動を合成したものである、
請求項１に記載の検査装置。

【請求項3】

前記第１振動の周波数及び振幅は、前記第２振動の前記周波数及び前記振幅と異なり、
前記第３振動の周波数及び振幅は、前記第４振動の前記周波数及び前記振幅と異なる、
請求項１または２に記載の検査装置。

【請求項4】

前記マスクは、矩形状であり、
前記マスクホルダは、前記マスクの上方に配置された上辺部、前記マスクの下方に配置された下辺部、前記マスクの両側方にそれぞれ配置された側辺部を有し、
前記ホルダ加振ユニットは、前記上辺部と前記側辺部とが接続した角部に配置され、
前記支柱加振ユニットは、前記支柱の上部に配置された、
請求項１～３のいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項5】

基台と、
前記基台上に配置されたマスクを保持するマスクホルダと、
前記マスクホルダの上方に配置された上部フレームであって、前記基台と前記上部フレームとの間で前記マスクホルダがスライド移動する前記上部フレームと、
前記マスクからの光を受光する検査ヘッドと、
前記基台上に固定されるとともに前記上部フレームに固定され、前記検査ヘッドが取り付けられた支柱と、
を備えた検査装置の振動抑制方法であって、
前記マスクの第１振動によって前記マスクホルダに発生した第２振動を検出するステップと、
検出した前記第２振動に基づいて、前記第１振動を抑制するように前記マスクホルダに第３振動を加振するステップと、
前記第３振動によって前記支柱に発生した第４振動を検出するステップと、
検出した前記第４振動を抑制するように前記支柱に第５振動を加振するステップと、
を備えた振動抑制方法。

【請求項6】

前記マスクホルダに前記第３振動を加振するステップにおいて、
少なくとも第１ホルダ加振ユニット及び第２ホルダ加振ユニットを含むホルダ加振ユニットによって、前記マスクホルダに前記第３振動を加振し、
前記第３振動は、前記第１ホルダ加振ユニットが加振する第６振動及び前記第２ホルダ加振ユニットが加振する第７振動を合成したものである、
請求項５に記載の振動抑制方法。

【請求項7】

前記第１振動の周波数及び振幅は、前記第２振動の前記周波数及び前記振幅と異なり、
前記第３振動の周波数及び振幅は、前記第４振動の前記周波数及び前記振幅と異なる、
請求項５または６に記載の振動抑制方法。

【請求項8】

前記マスクは、矩形状であり、
前記マスクホルダは、前記マスクの上方に配置された上辺部、前記マスクの下方に配置された下辺部、前記マスクの両側方にそれぞれ配置された側辺部を有し、
前記マスクホルダに前記第３振動を加振するステップにおいて、
前記上辺部と前記側辺部とが接続した角部に配置されたホルダ加振ユニットによって前記第３振動を加振し、
前記支柱に第５振動を加振するステップにおいて、
前記支柱の上部に配置された支柱加振ユニットによって、前記支柱に第５振動を加振する、
請求項５～７のいずれか１項に記載の振動抑制方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、検査装置及び振動抑制方法に関するものであり、例えば、大型のフォトマスクを検査する検査装置及び振動抑制方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１～３には、除振台を備えたフォトマスク検査装置が記載されている。

【0003】

大型のフォトマスク等のマスクを検査する検査装置は、基台に設けられたレール上にマスクを立てた状態で保持し、レールに沿って水平方向にスキャンさせることにより、マスクを検査する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１８－１０９７１４号公報

【特許文献2】特開２００２－１６８７９６号公報

【特許文献3】特開２００７－１６３５６６号公報

【特許文献4】特開２０１７－１０２０７４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

基台上に立てた状態の大型のマスクは、振動が励起されやすく、微小に振動している場合がある。振動の方向は、マスク面に直交する方向であり、マスクを撮像するカメラヘッドのフォーカス方向である。したがって、このようなマスクの振動は、デフォーカスの原因となる。

【0006】

本発明の目的は、このような問題を解決するためになされたものであり、マスクの振動を抑制し、デフォーカスを抑制することができる検査装置及び振動抑制方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本実施形態の一態様に係る検査装置は、基台と、前記基台上に配置されたマスクを保持するマスクホルダと、前記マスクホルダの上方に配置された上部フレームであって、前記基台と前記上部フレームとの間で前記マスクホルダがスライド移動する前記上部フレームと、前記マスクからの光を受光する検査ヘッドと、前記基台上に固定されるとともに前記上部フレームに固定され、前記検査ヘッドが取り付けられた支柱と、前記マスクの第１振動によって前記マスクホルダに発生した第２振動を検出するホルダ振動検出センサと、検出した前記第２振動に基づいて、前記第１振動を抑制するように前記マスクホルダに第３振動を加振するホルダ加振ユニットと、前記第３振動によって前記支柱に発生した第４振動を検出する支柱振動検出センサと、検出した前記第４振動を抑制するように前記支柱に第５振動を加振する支柱加振ユニットと、を備える。

【0008】

上記の検査装置では、前記ホルダ加振ユニットは、少なくとも第１ホルダ加振ユニット及び第２ホルダ加振ユニットを含み、前記第３振動は、前記第１ホルダ加振ユニットが加振する第６振動及び前記第２ホルダ加振ユニットが加振する第７振動が合成されたものでもよい。

【0009】

上記の検査装置では、前記第１振動の周波数及び振幅は、前記第２振動の前記周波数及び前記振幅と異なってもよく、前記第３振動の周波数及び振幅は、前記第４振動の前記周波数及び前記振幅と異なってもよい。

【0010】

上記の検査装置では、前記マスクは、矩形状であり、前記マスクホルダは、前記マスクの上方に配置された上辺部、前記マスクの下方に配置された下辺部、前記マスクの両側方にそれぞれ配置された側辺部を有し、前記ホルダ加振ユニットは、前記上辺部と前記側辺部とが接続した角部に配置され、前記支柱加振ユニットは、前記支柱の上部に配置されてもよい。

【0011】

本実施形態の一態様に係る振動抑制方法は、基台と、前記基台上に配置されたマスクを保持するマスクホルダと、前記マスクホルダの上方に配置された上部フレームであって、前記基台と前記上部フレームとの間で前記マスクホルダがスライド移動する前記上部フレームと、前記マスクからの光を受光する検査ヘッドと、前記基台上に固定されるとともに前記上部フレームに固定され、前記検査ヘッドが取り付けられた支柱と、を備えた検査装置の振動抑制方法であって、前記マスクの第１振動によって前記マスクホルダに発生した第２振動を検出するステップと、検出した前記第２振動に基づいて、前記第１振動を抑制するように前記マスクホルダに第３振動を加振するステップと、前記第３振動によって前記支柱に発生した第４振動を検出するステップと、検出した前記第４振動を抑制するように前記支柱に第５振動を加振するステップと、を備える。

【0012】

上記の振動抑制方法では、前記マスクホルダに前記第３振動を加振するステップにおいて、少なくとも第１ホルダ加振ユニット及び第２ホルダ加振ユニットを含むホルダ加振ユニットによって、前記マスクホルダに前記第３振動を加振し、前記第３振動は、前記第１ホルダ加振ユニットが加振する第６振動及び前記第２ホルダ加振ユニットが加振する第７振動が合成されたものでもよい。

【0013】

上記の振動抑制方法では、前記第１振動の周波数及び振幅は、前記第２振動の前記周波数及び前記振幅と異なってもよく、前記第３振動の周波数及び振幅は、前記第４振動の前記周波数及び前記振幅と異なってもよい。

【0014】

上記の振動抑制方法では、前記マスクは、矩形状であり、前記マスクホルダは、前記マスクの上方に配置された上辺部、前記マスクの下方に配置された下辺部、前記マスクの両側方にそれぞれ配置された側辺部を有し、前記マスクホルダに前記第３振動を加振するステップにおいて、前記上辺部と前記側辺部とが接続した角部に配置されたホルダ加振ユニットによって前記第３振動を加振し、前記支柱に第５振動を加振するステップにおいて、前記支柱の上部に配置された支柱加振ユニットによって、前記支柱に第５振動を加振してもよい。

【発明の効果】

【0015】

本発明によれば、マスクの振動を抑制し、デフォーカスを抑制することができる検査装置及び振動抑制方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】実施形態に係る検査装置を例示した正面図である。

【図2】実施形態に係る検査装置を例示した上面図である。

【図3】実施形態に係る検査装置を例示した斜視図である。

【図4】実施形態に係る検査装置において、ホルダ加振ユニットが加振する振動に含まれた周波数と振幅の関係を模式的に例示した図である。

【図5】実施形態に係る振動抑制方法を例示したフローチャート図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、本実施形態の具体的構成について図面を参照して説明する。以下の説明は、本発明の好適な実施の形態を示すものであって、本発明の範囲が以下の実施の形態に限定されるものではない。以下の説明において、同一の符号が付されたものは実質的に同様の内容を示している。

【0018】

（実施形態）
実施形態に係る検査装置を説明する。まず、実施形態に係る検査装置の概要を説明し、その後、検査装置の各構成を説明する。そして、検査装置の振動抑制方法を説明する。

【0019】

＜検査装置の概要＞
図１は、実施形態に係る検査装置を例示した正面図である。図２は、実施形態に係る検査装置を例示した上面図である。図３は、実施形態に係る検査装置を例示した斜視図である。図１～３に示すように、検査装置１は、基台１００、下部フレーム１１０、上部フレーム１２０、マスクホルダ１３０、支柱１４０、支柱１５０、照明部１６０、外装部１７０、検査ヘッド２００、ホルダ振動検出センサ３１０、ホルダ加振ユニット３２０、支柱振動検出センサ３３０、及び、支柱加振ユニット３４０を備えている。検査装置１は、これ以外にも、適宜、光学部材及び構成部材等を備えてもよい。なお、図１～３において、図が煩雑にならないように、適宜、符号及びハッチングを省略している。

【0020】

検査装置１は、ホルダに保持した検査対象を検査する。以下では、一例として、検査対象をマスク１８０とし、ホルダをマスクホルダ１３０として説明する。また、マスク１８０は、次世代の大型のマスクを含んでもよい。例えば、マスク１８０のサイズは、横が１５５０［ｍｍ］、縦が１３００［ｍｍ］、厚さが１５［ｍｍ］であってもよいし、横が２０００［ｍｍ］、縦が１８００［ｍｍ］、厚さが２３［ｍｍ］であってもよい。なお、検査装置１の検査対象は、フォトマスク等のマスク１８０に限らず、半導体基板等の他の部材でもよい。

【0021】

＜基台＞
基台１００は、例えば、床面上に配置されている。基台１００は、床面からの振動を除去する除振機能を有した除振台が好ましい。基台１００は、例えば、上面を有する直方体状であり、上面上に、下部フレーム１１０、上部フレーム１２０、マスクホルダ１３０、支柱１４０、支柱１５０等の部材を載置する。なお、基台１００は、下部フレーム１１０、上部フレーム１２０、マスクホルダ１３０、支柱１４０、支柱１５０等の部材を載置することができれば、直方体状にこだわらない。

【0022】

ここで、検査装置１の説明の便宜のために、ＸＹＺ直交座標軸系を導入する。基台１００の上面を、便宜的に、ＸＺ平面とする。例えば、ＸＺ面は、水平面であり、Ｙ軸方向は、鉛直方向である。＋Ｙ軸方向を上方とし、－Ｙ軸方向を下方とする。

【0023】

＜下部フレーム＞
下部フレーム１１０は、基台１００上に配置されている。下部フレーム１１０は、例えば、Ｘ軸方向に延びたレール状の部材である。下部フレーム１１０は、水平移動機構として機能し、例えば、エアスライダー、リニアガイド等のように、下部フレーム１１０上に取り付けられた部材をＸ軸方向にスライド移動させる。

【0024】

下部フレーム１１０上には、マスクホルダ１３０が取り付けられている。例えば、マスクホルダ１３０の下部は、エアスライダーで移動するブロック１３９ａを介して下部フレーム１１０に取り付けられている。例えば、ブロック１３９ａは、マスクホルダ１３０の下部における＋Ｘ軸方向側及び－Ｘ軸方向側の２か所に取り付けられている。ブロック１３９ａを例えば、リニアモータ等で駆動することにより、マスクホルダ１３０は、下部フレーム１１０上をスライド移動する。

【0025】

＜上部フレーム＞
上部フレーム１２０は、マスクホルダ１３０の上方に配置されている。上部フレーム１２０は、例えば、Ｘ軸方向に延びたレール状の部材である。上部フレーム１２０は、水平移動機構として機能し、例えば、エアスライダー、リニアガイド等のように、上部フレーム１２０の下方に取り付けられた部材をＸ軸方向にスライド移動させる。

【0026】

上部フレーム１２０の下方には、マスクホルダ１３０が取り付けられている。例えば、マスクホルダ１３０の上部は、エアスライダーで移動するブロック１３９ｂを介して上部フレーム１２０に取り付けられている。例えば、ブロック１３９ｂは、マスクホルダ１３０の上部における中央の１か所に取り付けられている。ブロック１３９ｂを例えば、リニアモータ等で駆動することにより、マスクホルダ１３０は、基台１００上の下部フレーム１１０と上部フレーム１２０との間でスライド移動する。

【0027】

＜マスクホルダ＞
マスクホルダ１３０は、基台１００上に配置されたマスク１８０を保持する。マスク１８０は、例えば、矩形状である。マスク１８０が矩形状の場合には、マスクホルダ１３０は、例えば、下辺部１３１、上辺部１３２、側辺部１３３、側辺部１３４、左移動バー１３５、右移動バー１３６、左サポート１３７、右サポート１３８を有している。下辺部１３１は、マスク１８０の下方に配置されている。上辺部１３２は、マスク１８０の上方に配置されている。側辺部１３３及び１３４は、マスク１８０の両側方にそれぞれ配置されている。このように、マスクホルダ１３０は、下辺部１３１、上辺部１３２、側辺部１３３及び側辺部１３４から構成された矩形の額縁状である。

【0028】

左移動バー１３５、右移動バー１３６、左サポート１３７、右サポート１３８は、マスク１８０の大きさに合わせて移動させることができる。具体的には、左移動バー１３５及び右移動バー１３６は、Ｙ軸方向に延びた板状の部材である。左移動バー１３５及び右移動バー１３６は、マスクホルダ１３０の側辺部１３３と側辺部１３４との間に配置され、マスク１８０のＸ軸方向の幅に合わせてＸ軸方向に移動する。そして、左移動バー１３５及び右移動バー１３６は、それぞれマスク１８０の左辺及び右辺を固定する。左サポート１３７及び右サポート１３８は、マスク１８０の下辺の－Ｘ軸方向側及び＋Ｘ軸方向側の２カ所を固定する。

【0029】

したがって、マスク１８０は、Ｘ軸方向における両辺を、左移動バー１３５及び右移動バー１３６によって保持され、下辺の２か所を、左サポート１３７及び右サポート１３８によって保持される。このように、マスク１８０は、３辺周縁で保持される。

【0030】

マスク１８０は、パターンが形成されたマスク面１８１が＋Ｚ軸方向を向くように、左移動バー１３５、右移動バー１３６、左サポート１３７及び右サポート１３８を介して、マスクホルダ１３０によって保持される。よって、マスク１８０は、鉛直方向に縦に保持される。

【0031】

マスク１８０のマスク面１８１を＋Ｚ軸方向に向くように保持した場合に、マスクホルダ１３０の下辺部１３１は、ブロック１３９ａを介して下部フレーム１１０に取り付けられ、マスクホルダ１３０の上辺部１３２は、ブロック１３９ｂを介して上部フレーム１２０に取り付けられている。よって、下部フレーム１１０及び上部フレーム１２０は、マスクホルダ１３０に保持されたマスク１８０を、鉛直方向に立てた状態で、Ｘ軸方向に移動させることができる。

【0032】

検査装置１は、マスクホルダ１３０に保持させたマスク１８０を縦に置いて検査する。すなわち、マスク１８０は、マスク面１８１に直交する方向を、水平方向となるように配置されている。ここで、マスク面１８１に直交する方向は、厳密に水平方向でなくてもよく、さらに、マスク面１８１に直交する方向を水平方向に限定するものではない。

【0033】

＜支柱＞
支柱１４０及び支柱１５０は、基台１００上に固定されている。なお、照明光Ｌ１０をマスク１８０に透過させて検査する透過型ではなく、照明光Ｌ１０をマスク１８０に反射させて検査する反射型の場合には、支柱１４０がなくてもよい。

【0034】

支柱１４０及び支柱１５０は、例えば、Ｙ軸方向に延びた柱状の部材である。よって、支柱１４０及び支柱１５０は、鉛直方向に延びている。支柱１４０及び支柱１５０は、基台１００上において、下部フレーム１１０及び上部フレーム１２０を挟むように配置されている。よって、下部フレーム１１０及び上部フレーム１２０は、基台１００上において、支柱１４０と支柱１５０との間に延びている。支柱１４０は、下部フレーム１１０及び上部フレーム１２０の－Ｚ軸方向側に配置され、支柱１５０は、下部フレーム１１０及び上部フレーム１２０の＋Ｚ軸方向側に配置されている。

【0035】

支柱１４０及び支柱１５０は、例えば、エアスライダー、リニアガイド等のように、支柱１４０及び支柱１５０に取り付けられた部材を鉛直方向にスライド移動させる機能を有している。支柱１４０には、照明部１６０が取り付けられている。照明部１６０を例えば、サーボモータ等で駆動することにより、照明部１６０を支柱１４０に沿って、鉛直方向に移動させることができる。支柱１５０には、検査ヘッド２００が取り付けられている。検査ヘッド２００を例えば、サーボモータ等で駆動することにより、検査ヘッド２００を支柱１５０に沿って、鉛直方向に移動させることができる。

【0036】

支柱１５０は、上部フレーム１２０に固定されている。なお、支柱１４０も上部フレーム１２０に固定されてもよい。支柱１５０は、上部フレーム１２０に設けられた短フレーム１２１に固定されている。短フレーム１２１は、Ｚ軸方向に延び、上部フレーム１２０のＸ軸方向に延びた部分と、支柱１５０と、を固定する。なお、短フレーム１２１は、支柱１５０及び支柱１４０に固定されてもよい。

【0037】

＜照明部＞
照明部１６０は、支柱１４０に取り付けられている。照明部１６０は、マスク１８０を照明する照明光Ｌ１０を出射する。照明部１６０は、例えば、キセノンランプである。なお、照明部１６０は、キセノンランプに限らず、検査対象に応じて、水銀ランプ、白色光ランプ、ＬＥＤ等の光源に適宜変えてもよい。また、照明部１６０は、所定の位置に配置された光源から光ファイバ等で導いた照明光Ｌ１０を出射してもよい。

【0038】

照明部１６０は、照明部１６０から＋Ｚ軸方向側に配置されたマスク１８０に対して、照明光Ｌ１０を出射する。例えば、照明部１６０は、マスク１８０におけるマスク面１８１の反対側の裏面に照明光Ｌ１０を入射させる。これにより、照明部１６０は、マスク１８０に対して、照明光Ｌ１０を透過させる。

【0039】

照明部１６０は、支柱１４０によってＹ軸方向に移動する。マスク１８０は、下部フレーム１１０及び上部フレーム１２０によって、Ｘ軸方向に移動する。これにより、照明部１６０は、マスク１８０に対して、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に照明光Ｌ１０を走査させることができる。照明部１６０から出射された照明光Ｌ１０は、マスク１８０を透過する。検査ヘッド２００は、マスク１８０を透過した透過光を受光する。よって、検査ヘッド２００は、マスク１８０を透過した透過光を検出することにより、マスク１８０を透過した透過光の画像を取得する。

【0040】

照明部１６０は、複数設けられてもよい。例えば、マスク１８０の上部をスキャンして照明する上部照明部、及び、マスク１８０の下部をスキャンして照明する下部照明部が設けられてもよい。

【0041】

また、図示しないが、照明部１６０は、支柱１５０または検査ヘッド２００に配置されてもよい。例えば、支柱１５０または検査ヘッド２００に光ファイバを導いて、＋Ｚ軸方向側からマスク１８０のマスク面１８１を照明光Ｌ１０で照明してもよい。照明部１６０から出射された照明光Ｌ１０は、マスク１８０で反射する。検査ヘッド２００は、マスク１８０で反射した反射光を受光してもよい。

【0042】

＜外装部＞
外装部１７０は、基台１００、及び、基台１００上に配置された下部フレーム１１０及び上部フレーム１２０、マスクホルダ１３０、支柱１４０及び支柱１５０、照明部１６０、検査ヘッド２００を囲んでいる。本実施形態の検査装置１は、例えば、マスク１８０として、大型のフォトマスクを検査可能なものである。よって、検査装置１は大型である。それに対応して、外装部１７０は、例えば、幅が６［ｍ］、奥行きが２［ｍ］、高さが３［ｍ］程度の大きさを有している。

【0043】

＜検査ヘッド＞
検査ヘッド２００は、支柱１５０に取り付けられている。検査ヘッド２００は、照明光Ｌ１０で照明されたマスク１８０からの光を受光する。マスク１８０からの光は、照明光Ｌ１０がマスク１８０を透過した透過光、または、照明光Ｌ１０がマスク１８０で反射した反射光である。以下では、マスク１８０からの光を、マスク１８０を透過した透過光として説明する。なお、マスク１８０からの光は、マスク１８０で反射した反射光でもよい。検査ヘッド２００は、－Ｚ軸方向側に配置されたマスク１８０を透過した透過光を受光する。

【0044】

検査ヘッド２００は、支柱１５０によってＹ軸方向に移動する。マスク１８０は、下部フレーム１１０及び上部フレーム１２０によって、Ｘ軸方向に移動する。これにより、検査ヘッド２００は、マスク１８０に対して、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に走査させることができる。具体的には、照明部１６０が照明光Ｌ１０をマスク１８０に対してＸ軸方向及びＹ軸方向に走査させる動作に同期させて、検査ヘッド２００を走査させる。

【0045】

検査ヘッド２００は、複数設けられてもよい。例えば、マスク１８０の上部をスキャンして透過光を受光する上部検査ヘッド部、及び、マスク１８０の下部をスキャンして透過光を受光する下部検査ヘッド部が設けられてもよい。

【0046】

検査ヘッド２００は、例えば、対物レンズ及び検出器を有し、マスク１８０の透過光または反射光による像を検出して、マスク１８０の検査を行う。検査ヘッド２００は、Ｚ軸方向にフォーカス動作を行うことにより、透過光または反射光による像の焦点を検出器に合わせる。

【0047】

＜ホルダ振動検出センサ＞
マスク１８０は、微小ながらＺ軸方向に振動している場合がある。マスク１８０に発生した振動（以下、振動Ａと呼ぶ。）は、基台１００に備えられた除振機能が除去しきれなかった床からの振動、並びに、音圧及び風圧を含む外装部１７０からの振動等の外乱振動を含む。振動Ａによって、マスク１８０を保持したマスクホルダ１３０にも振動が発生する。ホルダ振動検出センサ３１０は、マスクホルダ１３０に発生した振動（以下、振動Ｂと呼ぶ。）を検出する。このように、ホルダ振動検出センサ３１０は、マスク１８０の振動Ａによってマスクホルダ１３０に発生した振動Ｂを検出する。

【0048】

マスク１８０に発生する振動Ａを、マスク１８０の下方と上方とで比較すると、上方の振動Ａの振幅は、下方の振動Ａの振幅よりも大きい。また、このような振動Ａは、検査ヘッド２００のフォーカス方向に振動する。よって、マスク１８０の振動Ａが大きいほど、デフォーカスの原因になる。そこで、ホルダ振動検出センサ３１０は、マスクホルダ１３０の上方の部分における振動Ｂを検知することが好ましい。よって、ホルダ振動検出センサ３１０は、上辺部１３２と側辺部１３３とが接続した角部、または、上辺部１３２と側辺部１３４とが接続した角部に配置されてもよい。これにより、微小な振動を高精度で検出することができる。複数のホルダ振動検出センサ３１０がマスクホルダ１３０に配置されてもよい。例えば、マスクホルダ１３０の上辺部１３２における両端にホルダ振動検出センサ３１０が配置されてもよい。

【0049】

ホルダ振動検出センサ３１０が配置されたマスクホルダ１３０と、マスク１８０との間には、左移動バー１３５及び右移動バー１３６等の部材が介在している。よって、マスク１８０の振動Ａの周波数及び振幅は、マスクホルダ１３０の振動Ｂの周波数及び振幅と異なってもよい。ホルダ振動検出センサ３１０は、マスクホルダ１３０の振動Ｂを検出する接触型のセンサでもよいし、非接触型のセンサでもよい。

【0050】

＜ホルダ加振ユニット＞
ホルダ加振ユニット３２０は、検出したマスクホルダ１３０の振動Ｂに基づいて、マスク１８０の振動Ａを抑制するようにマスクホルダ１３０に振動（以下、振動Ｃと呼ぶ。）を加振する。例えば、ホルダ加振ユニット３２０は、Ｚ軸方向の振動Ｃをマスクホルダ１３０に加振する。ホルダ加振ユニット３２０は、マスク１８０の振動Ａを抑制するのに適切な振動Ｃをマスクホルダ１３０に加振し、マスク１８０への伝播を利用してマスク１８０の振動Ａを抑制する。

【0051】

例えば、ホルダ加振ユニット３２０は、アクティブ型の加振装置である。例えば、予め、マスク１８０の振動Ａの周波数及び振幅と、その場合のマスクホルダ１３０の振動Ｂの周波数及び振幅とを検出する。そして、マスクホルダ１３０に振動Ｃを加振した場合のマスク１８０の振動Ａの変化を測定しておいてもよい。このような測定により、マスク１８０の振動Ａを抑制するのに適切な振動Ｃを予測・設定しておいてもよい。ホルダ加振ユニット３２０はアクティブ型であるので，振動Ｃの周波数及び振幅の設定・微調整が可能である。

【0052】

ホルダ加振ユニット３２０は、上辺部１３２と側辺部１３３とが接続した角部、または、上辺部１３２と側辺部１３４とが接続した角部に配置されてもよい。これにより、微小な振動を高精度で加振することができる。

【0053】

また、複数のホルダ加振ユニット３２０がマスクホルダ１３０に配置されてもよい。例えば、複数のホルダ加振ユニット３２０は、上辺部１３２と側辺部１３３との角部、及び、上辺部１３２と側辺部１３４との角部に配置されてもよい。さらに、各角部に複数のホルダ加振ユニット３２０が配置されてもよい。このように、ホルダ加振ユニット３２０は、少なくとも第１ホルダ加振ユニット及び第２ホルダ加振ユニットを含んでもよい。そして、ホルダ加振ユニット３２０がマスクホルダ１３０に加振する振動Ｃは、第１ホルダ加振ユニットが加振する振動Ｃ１及び第２ホルダ加振ユニットが加振する振動Ｃ２を合成したものでもよい。

【0054】

図４は、実施形態に係る検査装置において、ホルダ加振ユニットが加振する振動に含まれた周波数と振幅の関係を模式的に例示した図である。図４に示すように、マスク１８０の振動Ａは、中心周波数からある程度幅を持った複数の周波数の振動を有している。マスク１８０の振動Ａを抑制するために、第１ホルダ加振ユニットが加振する振動Ｃ１及び第２ホルダ加振ユニットが加振する振動Ｃ２が合成された振動Ｃを加振してもよい。振動Ｃ１と振動Ｃ２の中心周波数を異なるものとしてもよい。これにより、ある程度の幅を持った周波数の振動を含む振動Ａを効果的に抑制することができる。

【0055】

第１ホルダ加振ユニットを、上辺部１３２と側辺部１３３との角部に配置し、第２ホルダ加振ユニットを、上辺部１３２と側辺部１３４との角部に配置してもよい。または、第１ホルダ加振ユニット及び第２ホルダ加振ユニットを、上辺部１３２と側辺部１３３との角部に配置し、同様に、第１ホルダ加振ユニット及び第２ホルダ加振ユニットを、上辺部１３２と側辺部１３４との角部に配置してもよい。

【0056】

＜支柱振動検出センサ＞
支柱振動検出センサ３３０は、支柱１５０に発生した振動Ｄ（以下、振動Ｄと呼ぶ。）を検出する。支柱１５０は、上部フレーム１２０に固定されている。上部フレーム１２０は、マスクホルダ１３０と接触している。よって、マスクホルダ１３０に加振された振動Ｃが上部フレーム１２０を介して支柱１５０に伝播することにより、支柱１５０も振動Ｄが発生する。また、振動Ｄは、マスク１８０に発生した振動Ａがマスクホルダ１３０及び上部フレーム１２０を介して支柱１５０に伝播することによる振動を含んでもよい。よって、振動Ｄは、基台１００に備えられた除振機能が除去しきれなかった床からの振動、並びに、音圧及び風圧を含む外装部１７０からの振動等の外乱振動を含んでもよい。ホルダ振動検出センサ３１０は、こうして、マスクホルダ１３０の振動Ｃによって支柱１５０に発生した振動Ｄを検出する。

【0057】

支柱１５０に発生する振動Ｄを支柱１５０の下方と上方とで比較すると、上方の振動Ｄの振幅は、下方の振動Ｄの振幅よりも大きい。また、このような振動Ｄは、検査ヘッド２００のフォーカス方向に振動する。よって、支柱１５０の振動Ｄが大きいほど、デフォーカスの原因になる。そこで、支柱振動検出センサ３３０は、支柱１５０の上方の部分における振動Ｄを検知することが好ましい。よって、支柱振動検出センサ３３０は、支柱１５０の上部に配置されてもよい。これにより、微小な振動を高精度で検出することができる。複数の支柱振動検出センサ３３０が支柱１５０に配置されてもよい。例えば、支柱１５０の上部及び下部に支柱振動検出センサ３３０が配置されてもよい。

【0058】

支柱振動検出センサ３３０が配置された支柱１５０と、マスクホルダ１３０との間には、上部フレーム１２０等の部材が介在している。よって、マスクホルダ１３０に加振する振動Ｃの周波数及び振幅は、支柱１５０に発生した振動Ｄの周波数及び振幅と異なってもよい。支柱振動検出センサ３３０は、支柱１５０の振動Ｄを検出する接触型のセンサでもよいし、非接触型のセンサでもよい。

【0059】

＜支柱加振ユニット＞
支柱加振ユニット３４０は、検出した支柱１５０の振動Ｄを抑制するように支柱１５０に振動（以下、振動Ｅと呼ぶ。）を加振する。例えば、支柱加振ユニット３４０は、Ｚ軸方向の振動Ｅを支柱１５０に加振する。支柱加振ユニット３４０は、支柱１５０の振動Ｄを抑制するのに適切な振動を支柱１５０に加振し、支柱１５０の振動Ｄを抑制する。支柱加振ユニット３４０は、支柱１５０の上部に配置されてもよい。これにより、微小な振動を高精度で加振することができる。

【0060】

支柱加振ユニット３４０についても、ホルダ加振ユニット３２０と同様に、予め、振動Ｃの周波数及び振幅と、その場合の支柱１５０の振動Ｄの周波数及び振幅とを検出する。そして、支柱１５０に振動Ｅを加振した場合の支柱１５０の振動Ｄの変化を測定しておいてもよい。このような測定により、支柱１５０の振動Ｄを抑制するのに適切な振動Ｅを予測・設定しておいてもよい。また、支柱加振ユニット３４０は、複数設けられてもよいし、複数の支柱加振ユニット３４０は、それぞれ異なる中心周波数を有する振動Ｅを支柱１５０に加振してもよい。支柱加振ユニット３４０はアクティブ型であるので，振動Ｅの周波数及び振幅の設定・微調整が可能である。

【0061】

＜振動抑制方法＞
次に、実施形態に係る検査装置１の振動抑制方法を説明する。図５は、実施形態に係る検査装置１の振動抑制方法を例示したフローチャート図である。

【0062】

図５のステップＳ１１に示すように、マスク１８０の振動Ａによってマスクホルダ１３０に発生した振動Ｂを検出する。例えば、マスクホルダ１３０に配置されたホルダ振動検出センサ３１０によって、マスクホルダ１３０に発生した振動Ｂを検出する。振動Ｂは、外乱振動を含む。マスク１８０の振動Ａの周波数及び振幅は、マスクホルダ１３０に発生した振動Ｂの周波数及び振幅と異なってもよい。

【0063】

次に、ステップＳ１２に示すように、検出したマスクホルダ１３０の振動Ｂに基づいて、マスク１８０の振動Ａを抑制するようにマスクホルダ１３０に振動Ｃを加振する。具体的には、マスクホルダ１３０に配置されたホルダ加振ユニット３２０によって、マスクホルダ１３０に振動Ｃを加振する。

【0064】

マスクホルダ１３０に振動Ｃを加振する際には、マスクホルダ１３０の上辺部１３２と、側辺部１３３及び１３４とが接続した角部に配置されたホルダ加振ユニット３２０によって振動Ｃを加振してもよい。また、マスクホルダ１３０に振動Ｃを加振する際には、少なくとも第１ホルダ加振ユニット及び第２ホルダ加振ユニットを含むホルダ加振ユニット３２０によって、マスクホルダ１３０に振動Ｃを加振してもよい。その場合には、振動Ｃは、第１ホルダ加振ユニットが加振する振動Ｃ１及び第２ホルダ加振ユニットが加振する振動Ｃ２を合成したものとなる。

【0065】

次に、ステップＳ１３に示すように、ホルダ加振ユニット３２０がマスクホルダ１３０に加振した振動Ｃによって支柱１５０に発生した振動Ｄを検出する。例えば、支柱１５０に配置された支柱振動検出センサ３３０によって、支柱１５０の振動Ｄを検出する。振動Ｄは、外乱振動を含む。マスクホルダ１３０に加振した振動Ｃの周波数及び振幅は、支柱１５０の振動Ｄの周波数及び振幅と異なってもよい。

【0066】

次に、ステップＳ１４に示すように、検出した支柱１５０の振動Ｄを抑制するように支柱１５０に振動Ｅを加振する。例えば、支柱１５０に配置された支柱加振ユニット３４０によって、振動Ｅを支柱１５０に加振する。支柱１５０に振動Ｅを加振する際には、支柱１５０の上部に配置された支柱加振ユニット３４０によって、支柱１５０に振動Ｅを加振してもよい。このようにして、検査装置１のマスク１８０及び検査ヘッド２００の振動を抑制することができる。

【0067】

次に、本実施形態の効果を説明する。本実施形態の検査装置１は、マスク１８０の振動Ａによってマスクホルダ１３０に発生した振動Ｂを検出し、マスク１８０の振動Ａを抑制するように、マスクホルダ１３０に振動Ｃを加振する。これにより、マスク１８０の振動を抑制し、検査ヘッド２００におけるデフォーカスを抑制することができる。

【0068】

また、本実施形態の検査装置１は、振動Ｃによって支柱１５０に発生した振動Ｄを検出し、検出した振動Ｄを抑制するように、支柱１５０に振動Ｅを加振する。これにより、ホルダ加振ユニット３２０の影響を抑制することができるとともに、支柱１５０及び検査ヘッド２００の振動を抑制し、検査ヘッド２００におけるデフォーカスを抑制することができる。

【0069】

さらに、本実施形態の検査装置１は、基台１００上に載置されたマスク１８０等の部材に発生した振動を抑制することができる。基台１００に備えられた除振機能は、床面からの振動を抑制することができるが、基台１００上の振動を抑制することは困難である。本実施形態のホルダ加振ユニット３２０及び支柱加振ユニット３４０は、基台１００上の部材に発生した振動を抑制する除振機能を有している。これにより、基台１００の除振機能では除去困難なマスク１８０及び検査ヘッド２００等の振動を抑制し、マスク１８０と検査ヘッド２００間の相対的な振動の振幅差を極小化することによりデフォーカスを抑制することができる。また、基台１００に備えられた除振機能が除去しきれなかった床からの振動、並びに、音圧及び風圧を含む外装部１７０からの振動の影響を抑制し、外乱振動に対する耐性を向上させることができる。

【0070】

本実施形態の検査装置１は、前提として、マスクホルダ１３０の上方を支持する上部フレーム１２０と、支柱１５０とが固定されている。これにより、マスクホルダ１３０及び支柱１５０は、下方で基台１００により固定され、上方で上部フレーム１２０により固定されている。よって、マスクホルダ１３０及び上部フレーム１２０が個別に振動して、相対距離が大きく変化することを抑制することができる。よって、マスク１８０に発生する微小な振動Ａを抑制することにより、デフォーカスを極めて低減することができる。

【0071】

マスク１８０及びマスクホルダ１３０は、それぞれのサイズ、材料、質量、形状が異なるので、マスク１８０の振動Ａの周波数及び振幅と、マスクホルダ１３０の振動Ｂの周波数及び振幅とは、異なる場合がある。同様に、マスクホルダ１３０及び支柱１５０は、それぞれのサイズ、材料、質量、形状が異なるので、支柱１５０の振動Ｂの周波数及び振幅と、マスク１８０の振動Ａの周波数及び振幅とは、異なる場合がある。本実施形態では、マスクホルダ１３０及び支柱１５０に対して別々に振動検出センサ及び加振ユニットを配置させるので、高精度に振動を検出することができ、振動を抑制することができる。

【0072】

以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明はその目的と利点を損なうことのない適宜の変形を含み、更に、上記の実施形態による限定は受けない。

【符号の説明】

【0073】

１ 検査装置
１００ 基台
１１０ 下部フレーム
１２０ 上部フレーム
１２１ 短フレーム
１３０ マスクホルダ
１３１ 下辺部
１３２ 上辺部
１３３、１３４ 側辺部
１３５ 左移動バー
１３６ 右移動バー
１３７ 左サポート
１３８ 右サポート
１３９ａ、１３９ｂ ブロック
１４０、１５０支柱
１６０ 照明部
１７０ 外装部
１８０ マスク
１８１ マスク面
２００ 検査ヘッド
３１０ ホルダ振動検出センサ
３２０ ホルダ加振ユニット
３３０ 支柱振動検出センサ
３４０ 支柱加振ユニット３４０

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】