特開 2022-139838 減圧乾燥装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022139838

(43)【公開日】2022-09-26

(54)【発明の名称】減圧乾燥装置

(51)【国際特許分類】

   F26B 5/04 20060101AFI20220915BHJP

【ＦＩ】

F26B5/04

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021040388

(22)【出願日】2021-03-12

(71)【出願人】

【識別番号】000219314

【氏名又は名称】東レエンジニアリング株式会社

(72)【発明者】

【氏名】前田 進太郎

【テーマコード（参考）】

3L113

【Ｆターム（参考）】

3L113AA03

3L113AC21

3L113AC24

3L113AC46

3L113AC49

3L113AC57

3L113AC67

3L113AC75

3L113AC86

3L113BA32

3L113BA34

3L113CB13

3L113CB16

3L113DA01

3L113DA30

(57)【要約】

【課題】チャンバ部から排出されるエアから効率よく塗布液を回収することができる減圧乾燥装置を提供する。
【解決手段】減圧環境を形成するチャンバ部と、前記チャンバ部内を減圧させる減圧ポンプと、前記減圧ポンプから排出されるエアを冷却することにより、前記エア内の液体を凝縮させつつ冷却後の前記エアを排気流路を通じて排気するコールドトラップと有し、さらに、前記コールドトラップの排気流路には、前記エアの流れを抑制する排気抵抗部が設けられている構成とする。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

減圧環境を形成するチャンバ部と、
前記チャンバ部内を減圧させる減圧ポンプと、
前記減圧ポンプから排出されるエアを冷却することにより、前記エア内の液体を凝縮させつつ冷却後の前記エアを排気流路を通じて排気するコールドトラップと、
を備えることを特徴とする減圧乾燥装置。

【請求項2】

前記コールドトラップの排気流路には、前記エアの流れを抑制する排気抵抗部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の減圧乾燥装置。

【請求項3】

前記排気抵抗部は、前記排気流路のみの場合に比べて前記コールドトラップの圧力を増加させるように形成されていることを特徴とする請求項２に記載の減圧乾燥装置。

【請求項4】

前記排気抵抗部は、前記排気流路に比べて、流路断面積が小さくなるように形成されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の減圧乾燥装置。

【請求項5】

前記排気抵抗部は、流路断面積を調節するバルブによって形成されていることを特徴とする請求項２～４のいずれかに記載の減圧乾燥装置。

【請求項6】

前記排気抵抗部は、前記エアの流れを抑制する障壁部を有しており、この障壁部により前記排気流路内を流れる前記エアの流れ方向が変更されることを特徴とする請求項２～４のいずれかに記載の減圧乾燥装置。

【請求項7】

前記排気抵抗部は、前記障壁部を複数有しており、前記障壁部には、前記排気流路に比べて流路断面積が小さい挿通孔が形成されており、それぞれの障壁部に形成された挿通孔が前記障壁部の配列方向を軸とした軸周りに変位した状態で配置されるように前記障壁部が設けられていることを特徴とする請求項６に記載の減圧乾燥装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、チャンバ内の圧力を減圧させることにより乾燥させる減圧乾燥装置に関するものであり、特に、チャンバから排出されるエア内の液体を効率よく回収することができる減圧乾燥装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイには、ガラスやフィルム等の回路基材上に線分、矩形状等、様々な形状の塗布膜（膜パターン）が形成されている。基板上の塗布膜は、インクジェット等の塗布装置により形成され、その後、減圧乾燥装置により塗布膜を乾燥させることにより形成される。

【0003】

減圧乾燥装置は、チャンバ部の基板収容部に基板が収容された状態で、基板収容部を減圧させることにより基板上の塗布膜を乾燥させるようになっている（下記特許文献１参照）。具体的には、図６に示すように、減圧乾燥装置１００は、基板Ｗを収容し減圧環境を形成するチャンバ部１０１と、チャンバ部１０１内を減圧させる減圧ポンプ１０２（真空ポンプともいう）と、を有しており、減圧ポンプ１０２によりチャンバ部１０１が排気されることにより、チャンバ部１０１が減圧環境に形成される。そして、チャンバ部１０１に収容される基板Ｗが減圧環境に曝されることにより、基板Ｗ上に形成された塗布膜の溶媒成分が蒸発することにより塗布膜を乾燥させることができる。

【0004】

また、チャンバ部１０１と減圧ポンプ１０２との間には、コールドトラップ１０３が設けられており、チャンバ部１０１から排出されたエアがコールドトラップ１０３により冷却される。すなわち、チャンバ部１０１から排気されるエアには塗布液（実際には塗布液の溶媒。以下、単に塗布液と称す。）が含まれており、このエアが冷却されることにより、エア内に含まれる塗布液が凝縮され、コールドトラップ１０３の底面部に一時的に貯留される。そして、貯留された塗布液が一定量に達するとコールドトラップ１０３から回収され再利用されるようになっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１９－１５８１５７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかし、近年では、塗布液のコストが増大しており、エアに含まれる塗布液の回収も効率よく行いたいという要望がある。コールドトラップ１０３で凝縮により回収できる塗布液は、減圧ポンプ１０２の吸引状態に依存するため、コールドトラップ１０３のみで回収率を向上させるのは困難であるという問題があった。すなわち、減圧ポンプ１０２の吸引によってコールドトラップ１０３に入ったエアは、減圧ポンプ１０２が吸引し続けることにより、コールドトラップ１０３で滞留することなく吸引され、排出される。そして、減圧ポンプ１０２の運転は、チャンバ部１０１の圧力コントロールによって決定されているため、塗布液回収のために減圧ポンプ１０２の運転状態を変更することは容易にはできない。したがって、エアに含まれる塗布液の回収効率を上げることは非常に困難であるという問題があった。

【0007】

本発明では、上記問題点に鑑みてなされたものであり、チャンバ部から排出されるエアから効率よく塗布液を回収することができる減圧乾燥装置を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するために本発明の減圧乾燥装置は、減圧環境を形成するチャンバ部と、前記チャンバ部内を減圧させる減圧ポンプと、前記減圧ポンプから排出されるエアを冷却することにより、前記エア内の液体を凝縮させつつ冷却後の前記エアを排気流路を通じて排気するコールドトラップと、を備えることを特徴としている。
上記減圧乾燥装置によれば、チャンバ部、減圧ポンプ、コールドトラップの順に配列され、コールドトラップが減圧ポンプから排出されるエアを冷却する構成であるため、減圧ポンプから直接チャンバ部の圧力コントロールを行うことができる。すなわち、減圧ポンプの運転への影響を極力少なくすることができるため、コールドトラップでガスを滞留させることが可能になる。これにより、チャンバ部から排出されるエアから効率よく塗布液を回収することができる。

【0009】

具体的なコールドトラップにガスを滞留させる様態としては、前記コールドトラップの排気流路には、前記エアの流れを抑制する排気抵抗部が設けられている構成にしてもよい。

【0010】

この構成によれば、コールドトラップの排気流路に排気抵抗部が設けられているため、排気流路から排気されるエアの流れが妨げられる。すなわち、熱交換機内でエアを滞留させることにより、エアが冷却されて凝縮される時間を稼ぐことができるため、コールドトラップにおける塗布液の回収効率を向上させることができる。

【0011】

すなわち、前記排気抵抗部は、前記排気流路のみの場合に比べて前記コールドトラップの圧力を増加させるように形成されている構成により、排気流路のみの場合に比べて、コールドトラップでエアを滞留させることができるため、エアの凝縮が進み、回収できる塗布液の量を増やすことができる。

【0012】

また、前記排気抵抗部は、前記排気流路に比べて、流路断面積が小さくなるように形成されている構成にすることができる。

【0013】

この構成によれば、排気流路のみの場合に比べて排気流路を通るエアの流れが抑制されるため、コールドトラップでエアを滞留させることができる。

【0014】

また、前記排気抵抗部は、流路断面積を調節するバルブによって形成されている構成にしてもよい。

【0015】

この構成によれば、バルブにより流路断面積が排気流路に比べて小さくなるように調節することにより、エアの流れを抑制することができコールドトラップでエアを滞留させることができる。

【0016】

また、前記排気抵抗部は、前記エアの流れを抑制する障壁部を有しており、この障壁部により前記排気流路内を流れる前記エアの流れ方向が変更される構成にしてもよい。

【0017】

この構成によれば、排気流路を流れるエアが障壁部に衝突することによりエアの流れ方向が変更され、エアの流れが抑制される。この構成であっても排気流路のみの場合に比べてコールドトラップでエアを滞留させることができる。

【0018】

また、前記排気抵抗部は、前記障壁部を複数有しており、前記障壁部には、前記排気流路に比べて流路断面積が小さい挿通孔が形成されており、それぞれの障壁部に形成された挿通孔が前記障壁部の配列方向を軸とした軸周りに変位した状態で配置されるように前記障壁部が設けられている構成してもよい。

【0019】

この構成によれば、障壁部に設けられた挿通孔が、障壁部の配列方向に見た場合に、位相差を有するように設けられているため、一の障壁部の挿通孔を通過したエアは、次の障壁部に衝突して流れの向きを変えられ、その障壁部の挿通孔を通過するようにして、複数の障壁部を通過する。これにより、エアの流れが抑制されるため、排気流路のみの場合に比べてコールドトラップでエアを滞留させることができる。

【発明の効果】

【0020】

本発明の減圧乾燥装置によれば、チャンバ部から排出されるエアから効率よく塗布液を回収することができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】本発明の一実施形態における減圧乾燥装置のチャンバ蓋部とチャンバ本体が閉じた状態を示す図である。

【図2】上記減圧乾燥装置のチャンバ蓋部とチャンバ本体が離間した状態を示す図である。

【図3】上記実施形態におけるコールドトラップを示す図である。

【図4】上記実施形態における排気抵抗部を示す図であり、（ａ）は、ケース本体部の内部を示す図、（ｂ）は障壁部を示す図である。

【図5】他の実施形態における排気抵抗部を示す図であり、（ａ）は挿通孔が傾斜して形成された状態を示す図であり、（ｂ）は、障壁部の一部に隙間を形成した状態を示す図である。

【図6】従来の減圧乾燥装置を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

本発明に係る実施の形態について図面を用いて説明する。

【0023】

図１、図２は、本発明の一実施形態における減圧乾燥装置を概略的に示す図であり、図１は、減圧乾燥装置のチャンバ蓋部１０とチャンバ本体２０が閉じた状態を示す図であり、図２はチャンバ蓋部１０とチャンバ本体２０が離間した状態を示す図である。

【0024】

図１、図２に示すように、減圧乾燥装置は、基板Ｗ上に塗布して形成された塗布膜を乾燥させるものであり、基板Ｗを収容するチャンバ部２と、このチャンバ部２を減圧させる吸引減圧部３とを備えている。そして、チャンバ部２に基板Ｗを収容した状態でチャンバ部２内を減圧環境に維持することにより基板Ｗ上に形成された塗布膜を乾燥できるようになっている。

【0025】

なお、以下の説明では、図１、図２における紙面上側を減圧乾燥装置の上方、図１、図２における紙面下側を減圧乾燥装置の下方として説明を進めることとする。

【0026】

チャンバ部２は、チャンバ本体２０とチャンバ蓋部１０とを備えている。チャンバ蓋部１０は、チャンバ本体２０に対して開閉できるように形成されており、チャンバ蓋部１０が閉状態では、図１に示すように、チャンバ蓋部１０とチャンバ本体２０とで基板Ｗを収容する基板収容部３０が形成されるようになっている。

【0027】

チャンバ本体２０は、塗布膜が形成された基板Ｗを保持するものである。チャンバ本体２０は、上面が開放された箱状部材であり、チャンバ本体２０内に基板Ｗを保持することができる。具体的には、チャンバ本体２０は、平板形状のプレート部２２を有しており、このプレート部２２上に基板Ｗを載置することができる。すなわち、プレート部２２には、複数のピン孔が形成されており、このピン孔からリフトピン２３が突出するようになっている。そして、この突出した複数のリフトピン２３の先端部分に基板Ｗが載置されることにより基板Ｗが保持されるようになっている。

【0028】

具体的には、プレート部２２には、ピン孔に対応する位置にピン収容孔が形成されており、このピン収容孔にリフトピン２３が埋設されている。このリフトピン２３は、プレート部２２の下側に設けられた駆動装置（不図示）と接続されており、この駆動装置を駆動させることにより、リフトピン２３が昇降動作するとともに、任意の位置で停止できるようになっている。本実施形態では、リフトピン２３が基部２１内に収容される収容位置と、プレート部２２から突出し基板Ｗの受渡しを行う基板受渡位置（図２参照）と、乾燥工程を行う乾燥位置（図１参照）とに停止できるように設定されている。そして、リフトピン２３が基板受渡位置に位置した状態で基板Ｗがリフトピン２３の先端部分に載置されると、リフトピン２３を所定量だけ下降させて基板Ｗが乾燥位置に位置した状態で保持される。なお、このピン収容孔にはシールが設けられており、リフトピン２３が突出した状態であってもピン収容孔から基板収容部３０の大気の漏れを防止できるようになっている。

【0029】

また、チャンバ蓋部１０は、チャンバ本体２０とともにチャンバ部２内に基板収容部３０を形成するものである。チャンバ蓋部１０は、チャンバ本体２０に対して開閉できるようになっており、チャンバ蓋部１０がチャンバ本体２０に対して、昇降動作可能に形成されている。すなわち、チャンバ蓋部１０がチャンバ本体２０に対して上昇することによって開状態が形成され、チャンバ蓋部１０がチャンバ本体２０に対して下降し当接することによって閉状態が形成される。このチャンバ蓋部１０は、チャンバ本体２０に保持された基板Ｗを覆う形状を有しており、チャンバ本体２０と対面する平板状の平板部１１と、この平板部１１の外周縁からチャンバ本体２０側に突出し、保持された基板Ｗを囲む形状を有する側壁部１２とを有している。すなわち、チャンバ蓋部１０がチャンバ本体２０に当接した状態では、チャンバ蓋部１０の側壁部１２がチャンバ本体２０に当接することにより、基板Ｗを収容可能な基板収容部３０が形成されるようになっている。

【0030】

チャンバ蓋部１０の平板部１１の基板収容部３０側は、平滑な平坦状に形成されている。すなわち、基板収容部３０を吸引した際に発生する気流（大気の流れ）が妨げられないように形成されている。また、基板収容部３０側の裏面側には、リブ（不図示）が取付けられており、基板収容部３０が減圧された場合に平板部１１が変形するのを防止できるようになっている。これにより、基板収容部３０内の大気が吸引されて基板収容部３０内が減圧された場合であっても、平板部１１の基板収容部３０側が平坦度を維持することができ、基板収容部３０の気流の乱れによって生じる乾燥ムラの発生を抑えることができるようになっている。

【0031】

また、側壁部１２の基板収容部３０側は、平板部１１と同様に平滑な平坦状に形成されており、基板収容部３０の大気の流れが妨げられないように形成されている。また、側壁部１２には、チャンバ本体２０の基部２１と当接する面にシール部材１３が設けられている。このシール部材１３は、保持された基板Ｗを囲むように環状に形成されている。したがって、チャンバ蓋部１０を下降させてチャンバ本体２０に当接させた場合に、シール部材１３がチャンバ本体２０に当接して押圧されることにより、基板収容部３０が密封状態にすることができる。

【0032】

また、チャンバ部２には、吸引減圧部３が設けられており、吸引減圧部３により基板収容部３０を減圧させることができる。吸引減圧部３は、吸引力を発生させる減圧ポンプ３１（真空ポンプ３１ともいう）と、この減圧ポンプ３１と基板収容部３０とを連結する吸引配管３２とを有している。すなわち、吸引配管３２が基板収容部３０に接続されており、減圧ポンプ３１を作動させると吸引配管３２を通じて、基板収容部３０が吸引される。これにより基板収容部３０は、大気圧よりも小さい所定の圧力に減圧されるようになっている。

【0033】

また、吸引配管３２には、コールドトラップ４が設けられている。図１の例では、減圧ポンプ３１の下流側に設けられており、チャンバ部２、減圧ポンプ３１、コールドトラップ４がこの順で並ぶように配置されている。このコールドトラップ４は、チャンバ部２から減圧ポンプ３１によって排出されるエアを冷却し、エア内の液体（塗布液の溶媒。以下、単に塗布液とも言う。）を凝縮させて、エア中の塗布液を回収するためのものである。

【0034】

コールドトラップ４は、図３に示すように、密閉構造のコールドトラップ本体４１と、熱交換の対象となる気体を取り込む取込ポート４２と、熱交換後の気体を排気する排気ポート４３とを有しており、対象となる気体を取り込んでコールドトラップ本体４１で冷却（熱交換）した後、冷却後の気体を排気ポート４３から排気できるようになっている。本実施形態では、取込ポート４２に冷却配管６２が接続されており、排気ポート４３に排気配管３３が接続されている。したがって、減圧ポンプ３１から排出されたエアが取込ポート４２から取り込まれてコールドトラップ本体４１で冷却（熱交換）される。そして、さらに取込ポート４２からエアが取り込まれることにより、冷却後のエアが排気ポート４３から排気配管３３を通じて排気されるようになっている。なお、排気ポート４３及び排気配管３３は、排気流路５であり、コールドトラップ本体４１に備えられた排気ポート４３と、この排気ポート４３とほぼ同じ開口寸法（流路断面積）を有する汎用性のある配管（排気配管３３）が本発明の排気流路５である。

【0035】

コールドトラップ本体４１は、気体を一時的に貯留できるケーシング部である。図３の例では、容積が小さい上側部分４１ａと、上側部分４１ａよりも容積が大きい下側部分４１ｂで形成されており、上側部分４１ａと下側部分４１ｂとが連通して一体的に形成されている。すなわち、下側部分４１ｂには、取込ポート４２が設けられており、この取込ポート４２を通じて流入したエアは、下側部分４１ｂ及び上側部分４１ａに収容される。すなわち、取り込まれたエアは、コールドトラップ本体４１全体に広がった状態で収容されるようになっている。

【0036】

また、コールドトラップ本体４１内には、熱交換器６が収容されている。本実施形態では、熱交換器６は、複数の冷却配管６２を有しており、これらの冷却配管６２に冷媒が流れることによりコールドトラップ本体４１内の気体を冷却することができるようになっている。具体的には、コールドトラップ本体４１の上側部分４１ａには、チラー６１と接続される流入口４４と流出口４５とが設けられており、これらが複数の冷却配管６２と接続されている。すなわち、チラー６１により冷却された冷媒が流入口４４から流入されると、その冷媒が複数の冷却配管６２内を一方向に流れることによりコールドトラップ本体４１内のエアの熱を吸収し、すべての冷却配管６２内を流れた後、流出口４５から排出される。そして、排出された冷媒は、チラー６１により再度冷却される。したがって、取込ポート４２を通じて流入されたエアは、冷却配管６２に接触することにより、チラー６１により冷却された冷媒を通して熱交換が行われる。

【0037】

また、コールドトラップ本体４１には、エアに含まれた液体（塗布膜から蒸発した塗布液）を回収するトレイ７が設けられている。図３の例では、コールドトラップ本体４１の底面部に配置されている。これにより、エアに含まれた塗布液を回収できるようになっている。すなわち、冷却配管６２に触れたエアは、冷却されることによりエア内に含まれる塗布液が凝縮されることにより、液滴状の塗布液が冷却配管６２に析出する。そして、時間の経過により液滴状の塗布液が合体しつつ落下し、トレイ７内に塗布液として溜められる。トレイ７には、排出口７１が設けられており、トレイ７内に貯留された塗布液は、所定時間経過すると排出口７１から回収されるようになっている。

【0038】

また、コールドトラップ本体４１の上側部分４１ａには、コールドトラップ本体４１内のエアを排気する排気ポート４３が設けられており、排気配管３３と接続されている。すなわち、コールドトラップ本体４１内で滞留しているエアは、減圧ポンプ３１からエアが排出されることにより継続的に取込ポート４２を通じてコールドトラップ本体４１に供給されるため、コールドトラップ本体４１内に滞留しているエアが押し出され、排気ポート４３を通じて排気される。そして、本実施形態では、排気ポート４３と排気配管３３とは、流路断面積がほぼ同じ大きさで形成されているため、コールドトラップ本体４１から排出されたエアは、排気ポート４３及び排気配管３３を通じてスムーズに排気されるようになっている。

【0039】

また、排気配管３３（排気流路５）には、排気抵抗部８が設けられている。排気抵抗部８は、排気流路５のエアの流れを抑制するためのものである。すなわち、排気流路５のみ（例えば、排気ポート４３のみ、又は、排気ポート４３と排気配管３３のみ）の場合に比べて、エアが流れにくくするものであり、その結果、コールドトラップ本体４１の圧力が増加し、排気流路５のみの場合に比べて、コールドトラップ本体４１内にエアを長い時間滞留させることができる。

【0040】

本実施形態では、図４（ａ）に示すように、排気抵抗部８は、ケース本体部８１と、このケース本体部８１内に配置される障壁部８２によって形成されている。具体的には、ケース本体部８１は、円筒形状に形成されており、軸方向（長手方向）両端部には、排気配管３３と接続されるインポート部８３と、インポート部８３の反対側にアウトポート部８４とを有している。すなわち、インポート部８３から取り込まれたエアをアウトポート部８４から排出されるようになっている。なお、インポート部８３とアウトポート部８４は、その流路断面積が排気配管３３とほぼ同じ大きさに形成されており、排気配管３３を流れるエアは、インポート部８３で実質的に抵抗を受けることなくケース本体部８１に取り込まれ、アウトポート部８４から実質的に抵抗を受けることなく排出されるようになっている。

【0041】

このケース本体部８１は、インポート部８３から供給されたエアの流れを抑制するためのものである。すなわち、ケース本体部８１には、複数の障壁部８２が設けられており、この障壁部８２によりエアの流れが妨げられるようになっている。障壁部８２は、図４（ａ）、図４（ｂ）に示すように、円盤形状の板状部材であり、ケース本体部８１内に厚み方向が軸方向（長手方向）と一致するように配置されている。図４（ａ）に示す例では、３つの障壁部８２がケース本体部８１内にほぼ等間隔に配置されている。すなわち、障壁部８２は、ケース本体部８１内では、ケース本体部８１の内壁と障壁部８２の外径部分とによって、ほぼ隙間が形成されることなくエアの流れを遮るように設けられている。

【0042】

また、障壁部８２には、厚さ方向に貫通する挿通孔８２ａが２カ所形成されており、この挿通孔８２ａをエアが通過できるように形成されている。本実施形態では、挿通孔８２ａが１８０度方向に対抗する位置に配置されている（図４（ｂ）において実線の挿通孔８２ａ）。この挿通孔８２ａは、その断面積が排気流路５（排気ポート４３及び排気配管３３）の流路断面積より小さくなるように形成されている。すなわち、挿通孔８２ａは、排気流路５に比べてエアが流れにくくなるように形成されている。

【0043】

また、３つの障壁部８２は、それぞれの隣り合う障壁部８２の挿通孔８２ａが一方向（障壁部８２の配列方向）に整列するのを避けるように配置されている。本実施形態では、図４（ｂ）に示すように、３つの障壁部８２は、その挿通孔８２ａが６０度ずつずれた状態になるように配置されている。すなわち、図４（ａ）に示すように、インポート部８３に最も近い障壁部８２は、挿通孔８２ａが上下方向に対して右回りに６０度傾斜した位置（図４（ｂ）の破線で示す挿通孔８２ａ）になるように配置されている。そして、次の障壁部８２は、挿通孔８２ａが上下方向に一致する位置（図４（ｂ）の実線で示す挿通孔８２ａ）になるように配置されている。そして、次の障壁部８２は、挿通孔８２ａが上下方向に対して左回りに６０度傾斜した位置（図４（ｂ）の２点鎖線で示す挿通孔８２ａ）になるように配置されている。これにより、インポート部８３から供給されたエアは、各挿通孔８２ａを通過するために軸方向に沿う一直線状に流れることができず、それぞれの挿通孔８２ａを経由しながら流れることになる。これにより、排気流路５のみの場合に比べて、エアの流れを抑制することができ、エアをコールドトラップ４内で排気流路５のみの場合よりも長い間、滞留させることができる。したがって、コールドトラップ４の排気流路５に排気抵抗部８を設けることにより、コールドトラップ４内でエアを滞留させることにより、より多くの塗布液を回収することができる。

【0044】

このように、上記実施形態における減圧乾燥装置によれば、チャンバ部２、減圧ポンプ３１、コールドトラップ４の順に配列され、コールドトラップ４が減圧ポンプ３１から排出されるエアを冷却する構成であるため、減圧ポンプ３１から直接チャンバ部２の圧力コントロールを行うことができる。そして、コールドトラップ４の排気流路５に排気抵抗部８が設けられているため、排気流路５から排気されるエアの流れが妨げられる。すなわち、熱交換機内でエアを滞留させることにより、エアが冷却されて凝縮される時間を稼ぐことができるため、コールドトラップ４における塗布液の回収効率を向上させることができる。

【0045】

また、上記実施形態では、挿通孔８２ａが障壁部８２の厚み方向に貫通する例について説明したが、厚み方向に対して傾斜する方向に貫通するものであってもよい。具体的には、図５（ａ）に示すように、障壁部８２の厚み方向と所定角度を有する方向に貫通させることにより、エアの流れが挿通孔８２ａによって変更されるため、エアの流れを妨げることができる。なお、この場合、挿通孔８２ａの開口部分が、一方向に整列され、隣り合う障壁部８２同士で対向する位置に配置されていても、挿通孔８２ａが傾斜されていることにより、エアの流れを抑制することができる。

【0046】

また、上記実施形態では、障壁部８２に挿通孔８２ａを２カ所設ける例について説明したが、多数の挿通孔８２ａを設けてもよく、１カ所のみ設けるものであってもよい。そして、各挿通孔８２ａが障壁部８２の配列方向に並ぶのを避けるようにすることがエアの流れを抑制できる点で有効である。

【0047】

また、上記実施形態では、排気抵抗部８の障壁部８２が３つ設ける例について説明したが、４つ以上設けてもよく、１つ、又は、２つ設けるものであってもよい。挿通孔８２ａが障壁部８２の配列方向に並ぶのを避けるようにすれば、複数設けた方がエアの流れを効果的に抑制することができる。

【0048】

また、上記実施形態では、排気抵抗部８の障壁部８２に挿通孔８２ａを設ける例について説明したが、図５（ｂ）に示すように、障壁部８２の一部に隙間８２ｂを形成するものであってもよい。すなわち、その隙間８２ｂが排気流路５に比べて流路断面積が小さくなるように形成されることにより、挿通孔８２ａと同様の機能を果たすことができる。また、障壁部８２を複数設けた場合には、その隙間８２ｂが障壁部８２の配列方向に並ぶのを避けるように形成されることにより、エアの流れ方向が変更され、エアの流れを効果的に抑制できる点で好ましい。

【0049】

また、上記実施形態では、排気抵抗部８に障壁部８２を設ける例について説明したが、排気抵抗部８をバルブとしたものであってもよい。すなわち、排気配管３３にバルブを取付け、このバルブの開口状態を排気流路５の流路断面積より小さく調節されているものであってもよい。この構成であっても排気流路５のみの場合に比べてエアの流れを抑制することができる。

【0050】

また上記実施形態では、排気抵抗部８内に排気流路５に比べて流路断面積の小さいものを形成する例について説明したが、排気抵抗部８自体の流路断面積が排気流路５に比べて小さく形成されているもの、あるいは排気抵抗部８の流路全体がエアの流れの抵抗となるように形成されているものであってもよい。例えば、排気抵抗部８が排気流路５に比べて流路断面積の小さい配管である場合、また、排気抵抗部８が配管であって、屈曲部分が形成されており、その屈曲部分がエアの流れの抵抗となり、エアの流れを抑制するものであってもよい。

【符号の説明】

【0051】

２ チャンバ部
４ コールドトラップ
５ 排気流路
８ 排気抵抗部
３１ 減圧ポンプ
８２ 障壁部
８２ａ 挿通孔

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】