特開 2022-139954 配線基板、半導体パッケージおよび配線基板の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022139954

(43)【公開日】2022-09-26

(54)【発明の名称】配線基板、半導体パッケージおよび配線基板の製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 23/12 20060101AFI20220915BHJP

   H01L 25/065 20060101ALI20220915BHJP

   H05K 1/03 20060101ALI20220915BHJP

   H05K 3/00 20060101ALI20220915BHJP

【ＦＩ】

H01L23/12 F

H01L23/12 Q

H01L25/08 E

H05K1/03 630C

H05K1/03 630H

H05K3/00 T

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021040554

(22)【出願日】2021-03-12

(71)【出願人】

【識別番号】318010018

【氏名又は名称】キオクシア株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100091487

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 行孝

(74)【代理人】

【識別番号】100120031

【弁理士】

【氏名又は名称】宮嶋 学

(74)【代理人】

【識別番号】100107582

【弁理士】

【氏名又は名称】関根 毅

(74)【代理人】

【識別番号】100118843

【弁理士】

【氏名又は名称】赤岡 明

(72)【発明者】

【氏名】瀬戸 基司

(57)【要約】

【課題】配線材料の溶出を抑制することができる配線基板および半導体パッケージを提供する。
【解決手段】本実施形態による配線基板は、複数の配線層を備える。絶縁層は、複数の配線層の間に設けられている。炭素を含む第１膜が配線層の少なくとも一部を被覆する。
【選択図】図１Ｂ

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の配線層と、
前記複数の配線層の間に設けられた絶縁層と、
前記配線層の少なくとも一部を被覆する炭素を含む第１膜とを備える配線基板。

【請求項2】

前記配線層には、銅が用いられている、請求項１に記載の配線基板。

【請求項3】

前記配線層および前記絶縁層の上方に設けられ、半導体パッケージを搭載可能な少なくとも１つの搭載部と、
前記搭載部に設けられ、前記配線層に電気的に接続され、前記半導体パッケージの端子と接触可能なコネクタと、
前記半導体パッケージの電気的特性を測定するために外部装置と前記半導体パッケージを電気的に接続可能な測定端子とをさらに備える、請求項１または請求項２に記載の配線基板。

【請求項4】

請求項１または請求項２に記載の配線基板と、
前記配線基板の上方に設けられた少なくとも１つの半導体チップと、
前記少なくとも１つの半導体チップと前記配線層との間を電気的に接続する導電材料と、
前記少なくとも１つの半導体チップおよび前記導電材料を被覆する第１樹脂層とを備える半導体パッケージ。

【請求項5】

第１面と該第１面に対して反対側の第２面とを有する絶縁層の前記第１および第２面に配線層の材料を成膜し、
前記絶縁層の前記第１面と前記第２面との間を貫通する貫通孔を形成し、
前記第１面、前記第２面および前記貫通孔の内面に炭素をめっきして第１膜を成膜し、
前記第１膜に前記配線層の材料をさらに成膜し、
前記配線層の材料および前記第１膜を加工して前記配線層を形成し、
前記配線層の一部を被覆する第１樹脂層を形成することを具備する、配線基板の製造方法。

【請求項6】

前記配線層および前記絶縁層の上方に、半導体パッケージを搭載可能な少なくとも１つの搭載部を取り付け、
前記配線層に電気的に接続され、前記半導体パッケージの端子と接触可能なコネクタを前記搭載部に設け、
前記半導体パッケージの電気的特性を測定するために外部装置と前記半導体パッケージを電気的に接続可能な測定端子を設けることをさらに具備する、請求項５に記載の配線基板の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本実施形態は配線基板、半導体パッケージおよび配線基板の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

電気製品の配線ボードや様々な半導体パッケージには、配線基板が用いられている。電気製品や半導体パッケージが様々な環境のもとで使用されると、配線基板に用いられている金属が溶出する場合がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】米国特許第８９５１４０１号

【特許文献2】米国特許第８５４５６８８号

【特許文献3】特許第４７５６１３２号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

配線材料の溶出を抑制することができる配線基板および半導体パッケージを提供する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本実施形態による配線基板は、複数の配線層を備える。絶縁層は、複数の配線層の間に設けられている。炭素を含む第１膜が配線層の少なくとも一部を被覆する。

【図面の簡単な説明】

【0006】

【図1A】第１実施形態による半導体パッケージの構成例を示す断面図。

【図1B】配線基板の一部分の構成例を示す拡大断面図。

【図2A】第１実施形態による配線基板の製造方法の一例を示す断面図。

【図2B】第１実施形態による配線基板の製造方法の一例を示す平面図。

【図3A】図２Ａに続く、配線基板の製造方法の一例を示す断面図。

【図3B】図２Ｂに続く、配線基板の製造方法の一例を示す平面図。

【図4A】図３Ａに続く、配線基板の製造方法の一例を示す断面図。

【図4B】図３Ｂに続く、配線基板の製造方法の一例を示す平面図。

【図5A】図４Ａに続く、配線基板の製造方法の一例を示す断面図。

【図5B】図４Ｂに続く、配線基板の製造方法の一例を示す平面図。

【図6A】図５Ａに続く、配線基板の製造方法の一例を示す断面図。

【図6B】図５Ｂに続く、配線基板の製造方法の一例を示す平面図。

【図7A】図６Ａに続く、配線基板の製造方法の一例を示す断面図。

【図7B】図６Ｂに続く、配線基板の製造方法の一例を示す平面図。

【図8A】図７Ａに続く、配線基板の製造方法の一例を示す断面図。

【図8B】図７Ｂに続く、配線基板の製造方法の一例を示す平面図。

【図9】第２実施形態による配線ボードの構成例を示す平面図。

【図10】信頼性試験装置の構成例を示す概略外観図。

【発明を実施するための形態】

【0007】

以下、図面を参照して本発明に係る実施形態を説明する。本実施形態は、本発明を限定するものではない。図面は模式的または概念的なものであり、各部分の比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。明細書と図面において、既出の図面に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。

【0008】

（第１実施形態）
図１Ａは、第１実施形態による半導体パッケージ１の構成例を示す模式断面図である。本実施形態による半導体パッケージ１は、配線基板１０と、半導体チップＣ１と、金属ワイヤ４０と、樹脂層２０、６０と、金属バンプ８０とを備えている。

【0009】

配線基板１０は、絶縁層１１と、配線層１２～１４と、ソルダレジスト１６とを備える。絶縁層１１の第１面１１ａには、配線層１２が設けられている。第１面１１ａとは反対側の第２面１１ｂには、配線層１３が設けられている。絶縁層１１は、配線層１２と配線層１３との間に設けられている。絶縁層１１には、貫通孔１５が設けられていてもよい。この場合、配線層１２と１３は、貫通孔１５内に設けられた配線層１４を介して電気的に接続されていてもよい。絶縁層１１には、例えば、ガラスエポキシ樹脂等の絶縁性材料を用いている。配線層１２～１４には、例えば、銅等の低抵抗金属材料が用いられる。

【0010】

配線基板１０の第１面１１ａ上には、複数の半導体チップＣ１が積層されている。複数の半導体チップＣ１は、配線基板１０のソルダレジスト１６または他の半導体チップＣ１上にＤＡＦ（Die Attach Film）等の接着材を用いて接着されている。半導体チップＣ１のパッド（図示せず）と配線層１２との間には、金属ワイヤ４０がボンディングされており、それらの間を電気的に接続する。

【0011】

半導体チップＣ１および金属ワイヤ４０は、樹脂層６０によって被覆されている。樹脂層６０には、絶縁性樹脂材料が用いられる。

【0012】

配線基板１０の第２面１１ｂ側には、金属バンプ８０が設けられている。金属バンプ８０は、配線層１３に電気的に接続されている。金属バンプ８０は、図示しない他の基板や装置と配線層１３とを電気的に接続するために設けられている。金属バンプ８０には、例えば、はんだ等の低抵抗金属材料が用いられる。

【0013】

図１Ｂは、配線基板１０の一部分の構成例を示す拡大断面図である。配線基板１０は、配線層１２～１４内に設けられた炭素膜１８を備えている。第１膜としての炭素膜１８は、配線層１２～１４の少なくとも一部を被覆している。炭素膜１８は、バリア膜として機能し、配線層１２～１４を構成する材料（例えば、銅等の金属材料）が拡散することを抑制することができる。炭素膜１８は、プロセス上可能な限り配線層１２～１４の全体を被覆していることが好ましい。炭素膜１８は、例えば、炭素を含有する材料膜であり、めっき法により形成され得る。

【0014】

炭素は、イオン化傾向が、配線層１２～１４に用いられる銅等の金属より高い。また、炭素は、ＴｉＮ、ＴａＮ、金、プラチナ等のような貴金属に比べて安価であり、配線に用いても配線基板のコストをさほど上昇させない。さらに、炭素は、メッキ技術により成膜可能となり、耐水性および導電性も良好である。従って、炭素膜１８で配線層１２～１４を被覆することによって、配線層１２～１４の導電性を阻害せずに、それらの拡散を抑制することができる。また、水分が炭素膜１８を通過することを抑制することができる。これにより、配線層１２～１４が腐食することを抑制することができる。

【0015】

図２Ａ～図８Ｂは、第１実施形態による配線基板１０の製造方法の一例を示す断面図または平面図である。尚、図２Ａ～図８Ａは断面を示し、図２Ｂ～図８Ｂは平面を示す。

【0016】

まず、図２Ａおよび図２Ｂに示すように、コアとなる絶縁層１１の第１面１１ａおよび第２面１１ｂ上に、材料膜１２＿１、１３＿１をそれぞれ成膜する。材料膜１２＿１、１３＿１には、例えば、銅等の金属材料が用いられる。材料膜１２＿１、１３＿１は、スパッタ法、めっき法等を用いて形成され得る。材料膜１２＿１、１３＿１の厚みは、例えば、１０μｍである。材料膜１２＿１、１３＿１は、それぞれ配線層１２、１３の一部となる。

【0017】

次に、図３Ａおよび図３Ｂに示すように、必要に応じて、貫通孔１５が絶縁層１１および材料膜１２＿１、１３＿１に形成される。貫通孔１５は、絶縁層１１の第１面１１ａと第２面１１ｂとの間を貫通するように形成される。貫通孔１５は、リソグラフィ技術およびエッチング技術を用いて形成してもよく、レーザ加工法を用いて形成してもよい。

【0018】

次に、図４Ａおよび図４Ｂに示すように、めっき法を用いて炭素材料を絶縁層１１に成膜する。炭素膜１８は、第１面１１ａ上の材料膜１２＿１、第２面１１ｂ上の材料膜１３＿１および貫通孔１５の内面に成膜される。炭素膜１８の厚みは、例えば、１μｍである。ここで、炭素膜１８は、材料膜１２＿１、１３＿１の表面を被覆する。上述の通り、炭素膜１８は、銅等の金属よりもイオン化傾向が高く、耐水性および導電性に優れている。従って、炭素膜１８は、材料膜１２＿１、１３＿１の溶出や腐食を抑制することができ、かつ、導電性も阻害しない。

【0019】

次に、図５Ａおよび図５Ｂに示すように、スパッタ法、めっき法等を用いて、材料膜１２＿２、１３＿２が、第１面１１ａ、第２面１１ｂ、貫通孔１５の内壁に設けられた炭素膜１８上に形成される。材料膜１２＿２、１３＿２には、材料膜１２＿１、１３＿１と同様に、例えば、銅等の金属材料が用いられる。材料膜１２＿２、１３＿２は、スパッタ法、めっき法等を用いて形成され得る。材料膜１２＿２、１３＿２の厚みは、例えば、５μｍである。材料膜１２＿２、１３＿２は、材料膜１２＿１、１３＿１と同様に、それぞれ配線層１２、１３の材料となる。材料膜１２＿１、１３＿１と材料膜１２＿２、１３＿２との間には、炭素膜１８が設けられているが、炭素膜１８は導電性を有するので、材料膜１２＿１、１３＿１と材料膜１２＿２、１３＿２との間の導電性は阻害されない。即ち、材料膜１２＿１、１２＿２は一体の配線層１２として機能可能である。また、材料膜１３＿１、１３＿２も一体の配線層１３として機能可能である。以下、材料膜１２＿１、１２＿２は配線層１２とも呼び、材料膜１３＿１、１３＿２は配線層１３とも呼ぶ。

【0020】

次に、図６Ａおよび図６Ｂに示すように、リソグラフィ技術およびエッチング技術を用いて、配線層１２、１３を所望の配線パターンに加工する。このとき、配線層１２、１３とともに炭素膜１８も同様の配線パターンに加工される。

【0021】

次に、図７Ａおよび図７Ｂに示すように、絶縁層１１の第１面１１ａおよび第２面１１ｂの上方および貫通孔１５内にソルダレジスト１６を形成する。リソグラフィ技術およびエッチング技術を用いて、ソルダレジスト１６を加工する。これにより、ソルダレジスト１６は、配線層１２、１３のうちコンタクト領域を露出させ、その他の領域を被覆するように形成される。

【0022】

次に、図８Ａおよび図８Ｂに示すように、スパッタ法またはめっき法等を用いて、ソルダレジスト１６から露出された配線層１２、１３のコンタクト領域に、コンタクト膜１９を形成する。コンタクト膜１９には、例えば、金またはニッケル等の低抵抗金属材料が用いられる。

【0023】

これにより、配線基板１０が完成する。

【0024】

図１Ａに示すように、配線基板１０を半導体パッケージ１に用いる場合、配線基板１０の配線層１２およびソルダレジスト１６上に半導体チップＣ１を、樹脂層２０を用いて接着する。半導体チップＣ１上に他の半導体チップＣ１を樹脂層２０を用いて接着する。半導体チップＣ１は、例えば、メモリチップである。複数の半導体チップＣ１は、例えば、他の半導体チップのパッドに重複しないようにずれて配置されている。

【0025】

次に、ワイヤボンディング法を用いて、半導体チップＣ１のパッドと配線基板１０における配線層１２のコンタクト膜１９との間を金属ワイヤ４０で接続する。

【0026】

次に、樹脂層６０で半導体チップＣ１および金属ワイヤ４０等の配線基板１０上の構造全体を被覆する。これにより、樹脂層６０で半導体チップＣ１および金属ワイヤ４０を封止し保護する。これにより、図１に示す半導体パッケージ１が完成する。

【0027】

本実施形態による配線基板１０は、配線層１２、１３の少なくとも一部分が炭素膜１８によって被覆されている。炭素膜１８は、銅等の金属よりもイオン化傾向が高く、耐水性および導電性に優れている。従って、炭素膜１８は、配線層１２、１３の溶出や腐食を抑制することができ、かつ、導電性も阻害しない。また、炭素膜１８は、ＴｉＮ、ＴａＮ、金、プラチナ等の貴金属と比べ安価である。従って、配線基板１０のコストをさほど増大させない。

【0028】

尚、本実施形態では、炭素膜１８は、配線層１２、１３の一部である材料膜１２＿１、１３＿１を被覆している。しかし、炭素膜１８は、材料膜１２＿１、１３＿１に代えて、または、これらに加えて、材料膜１２＿２、１３＿２を被覆してもよい。これにより、配線層１２、１３の導電性を阻害することなく、配線層１２、１３の溶出や腐食をさらに抑制することができる。

【0029】

（第２実施形態）
図９は、第２実施形態による配線ボード１００の構成例を示す平面図である。配線ボード１００は、例えば、ＨＡＳＴ（Highly Accelerated Steam and Temperature）等の被試験デバイス（ＤＵＴ（Device Under Test））の信頼性テストに用いられる信頼性試験装置のマザーボードである。信頼性試験装置の全体構成については、図１０を参照して後述する。信頼性試験では、信頼性試験装置のユーザーが、少なくとも１つのＤＵＴを配線ボード１００に搭載し、配線ボード１００上の該ＤＵＴに対して温度、湿度等の周囲の雰囲気の条件を設定する。そして、信頼性試験装置は、設定された雰囲気中におけるＤＵＴの特性を測定する。これにより、ＤＵＴの信頼性を評価することができる。ＤＵＴは、例えば、図１Ａに示すような半導体パッケージ１でよい。

【0030】

このような信頼性試験に用いられる配線ボード１００は、試験を受けるＤＵＴと同様の雰囲気中に置かれる。従って、配線ボード１００自体の配線層の材料の溶出および劣化等も問題となる。そこで、第２実施形態では、配線ボード１００に第１実施形態の配線基板１０と同様の構成を適用する。

【0031】

配線ボード１００は、配線基板１１０と、ソケット１２０と、コネクタ１３０と、配線部１４０と、ボードコネクタ１５０と、ボード端子１６０とを備えている。配線基板１１０は、縮尺は異なるものの、図１Ｂを参照して説明した配線基板１０と基本的に同一構成でよい。従って、図１Ｂに示すように、炭素膜１８が配線層１２～１４の少なくとも一部を被覆している。炭素膜１８は、配線層１２～１４を構成する銅等の金属が拡散することを抑制する。炭素膜１８は、例えば、炭素を含有する材料膜であり、めっき法により形成され得る。

【0032】

搭載部としてのソケット１２０は、ソルダレジスト１６上に設けられ、ＤＵＴを所定位置に固定するために、ＤＵＴの外形とほぼ同じ、あるいは、若干大きな枠状または椀状の形状を有する。ソケット１２０には、例えば、樹脂等の絶縁性材料が用いられる。ＤＵＴをソケット１２０に嵌めることによって、配線基板１１０にＤＵＴを搭載することができる。また、ＤＵＴをソケット１２０に嵌めることによって、配線ボード１００に対するＤＵＴの相対位置を固定し、ＤＵＴの特性の測定を可能にする。

【0033】

コネクタ１３０は、ソケット１２０の底部に設けられ、図１Ｂの配線層１２、１３に電気的に接続されている。コネクタ１３０は、ＤＵＴの端子に対応して設けられている。ＤＵＴがソケット１２０に装着されると、ＤＵＴの端子（例えば、図１のバンプ８０）が、対応するコネクタ１３０に電気的に接続される。

【0034】

配線部１４０は、コネクタ１３０とボードコネクタ１５０の間に過剰な電流が流れないように、コネクタ１３０とボードコネクタ１５０の間に直列接続された抵抗素子である。
。

【0035】

ボードコネクタ１５０は、配線ボード１００を図１０に示す信頼性試験装置２００内に装着したときに、信頼性試験装置２００の端子または外部装置（例えば、コンピュータ）と配線ボード１００に搭載されているＤＵＴを電気的に接続するためのコネクタである。外部装置は、ＤＵＴの電気的特性を測定する。ボードコネクタ１５０は、配線層１２～１４のいずれかに電気的に接続され、外部からの制御信号や電力をＤＵＴに供給し、あるいは、ＤＵＴからの信号を外部へ出力することができる。

【0036】

ボード端子１６０も、配線ボード１００を信頼性試験装置２００内に装着したときに、信頼性試験装置２００の端子または外部装置と配線ボード１００に搭載されているＤＵＴを電気的に接続するための電極である。様々な雰囲気中のチャンバ２１０内において、測定端子としてのボードコネクタ１５０およびボード端子１６０は、ＤＵＴの電気的特性を測定する外部装置にＤＵＴを電気的に接続することができる。

【0037】

図１０は、信頼性試験装置２００の構成例を示す概略外観図である。信頼性試験装置２００は、チャンバ２１０と、蓋部２２０とを備える。チャンバ２１０は、本体に設けられており、内部に配線ボード１００を収容可能となっている。チャンバ２１０は、複数の配線ボード１００を収容可能であってもよい。蓋部２２０は、チャンバ２１０の開口部を開閉することができるように構成されている。蓋部２２０を閉じると、チャンバ２１０の内部は密閉される。図示しないが、信頼性試験装置２００は、ヒータ、冷却器、加湿器等を備えており、配線ボード１００の周囲の雰囲気の温度や湿度等の条件を変更することができる。これにより、信頼性試験装置２００は、高温多湿雰囲気中における配線ボード１００の信頼性試験（ＨＡＳＴ）を実行することができる。

【0038】

次に、配線ボード１００の製造方法について説明する。

【0039】

配線基板１１０の製造方法は、基本的に第１実施形態の配線基板１０の製造方法と同じでよいので、ここではその説明を省略する。

【0040】

配線基板１１０のソルダレジスト（図１Ｂの１６）上に、ソケット１２０を取り付ける。次に、配線層１２、１３に電気的に接続されるコネクタ１３０をソケット１２０に設ける。次に、ＤＵＴの電気的特性を測定する外部装置にＤＵＴを電気的に接続するために、配線基板１１０上にボードコネクタ１５０およびボード端子１６０を設ける。このようにして、配線ボード１００が完成する。

【0041】

第２実施形態による配線ボード１００は、第１実施形態による配線基板１０と同様に、配線層１２、１３（図１Ｂ参照）の少なくとも一部分が炭素膜１８によって被覆されている。従って、配線ボード１００の配線層１２、１３の溶出や腐食を抑制することができ、かつ、導電性も阻害しない。また、炭素膜１８は比較的安価であるので、配線ボード１００のコストをさほど増大させない。

【0042】

尚、第２実施形態でも、炭素膜１８は、材料膜１２＿１、１３＿１に代えて、または、これらに加えて、材料膜１２＿２、１３＿２を被覆してもよい。これにより、配線層１２、１３の導電性を阻害することなく、配線層１２、１３の溶出や腐食をさらに抑制することができる。

【0043】

例えば、第２実施形態による配線ボード１００を用いて、図１Ａに示すＢＧＡ（Ball Grid Array）の半導体パッケージ１の試験を実行した。このとき、チャンバ２１０内の温度は、約１１０度に設定し、湿度は、約８５％に設定した。

【0044】

もし、配線ボード１００が炭素膜１８を有しない場合、配線ボード１００は、約１０００時間のＨＡＳＴによって交換が必要となっていた。

【0045】

一方、本実施形態による配線ボード１００のように炭素膜１８を有する場合、配線ボード１００は、約１０００時間を超えるＨＡＳＴであっても劣化が小さく交換が不要であった。このように、炭素膜１８を配線ボード１００に適用すると、配線ボード１００の寿命を延長することができる。

【0046】

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

【符号の説明】

【0047】

１ 半導体パッケージ、１０ 配線基板、Ｃ１ 半導体チップ、４０ 金属ワイヤ、２０、６０ 樹脂層、８０ 金属バンプ、１１ 絶縁層、１２＿１、１３＿１、１２＿２、１３＿２ 材料膜、１２、１３、１４ 配線層、１５ 貫通孔、１６ ソルダレジスト、１８ 炭素膜、１００ 配線ボード、１１０ 配線基板、１２０ ソケット、１３０ コネクタ、１４０配線部、１５０ ボードコネクタ、１６０ ボード端子、２００ 信頼性試験装置、２１０ チャンバ、２２０ 蓋部

【図1A】

【図1B】

【図2A】

【図2B】

【図3A】

【図3B】

【図4A】

【図4B】

【図5A】

【図5B】

【図6A】

【図6B】

【図7A】

【図7B】

【図8A】

【図8B】

【図9】

【図10】