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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022140949
(43)【公開日】2022-09-29
(54)【発明の名称】Ｘ線検査装置およびＸ線検査方法
(51)【国際特許分類】
G01N 23/046 20180101AFI20220921BHJP
【ＦＩ】
G01N23/046
【審査請求】未請求
【請求項の数】13
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021041046
(22)【出願日】2021-03-15
(71)【出願人】
【識別番号】000002945
【氏名又は名称】オムロン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002860
【氏名又は名称】特許業務法人秀和特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】七呂 真
(72)【発明者】
【氏名】笠原 啓雅
【テーマコード（参考）】
2G001
【Ｆターム（参考）】
2G001AA01
2G001BA11
2G001CA01
2G001DA09
2G001HA14
2G001JA01
2G001LA11
2G001SA13
2G001SA29
2G001SA30
(57)【要約】
【課題】Ｘ線検査装置における検査対象や装置内部材の被曝量を低減できる技術を提供する。
【解決手段】Ｘ線源（１０）と、Ｘ線源のＸ線照射を制御するＸ線源制御部と、Ｘ線カメラ（２０）と、検査対象を保持する保持部（４０）を備え、Ｘ線源とＸ線カメラと保持部のいずれかが、旋回部（１０、２０、４０）として旋回運動してＸ線画像を撮影し、検査対象を検査するＸ線検査装置であり、旋回部は、複数の場所で順次旋回運動し、一の旋回円から次の旋回円へ移動運動を行い、旋回部が、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点までを所定時間で移動するように、次の旋回開始点及び、旋回終了点と旋回開始点とを結ぶ特定移動軌跡を決定する軌跡算出部を（１１１ｂ）さらに備え、Ｘ線源制御部（１０５）は、所定時間の中の少なくとも一部において、Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減する。
【選択図】図４
【解決手段】Ｘ線源（１０）と、Ｘ線源のＸ線照射を制御するＸ線源制御部と、Ｘ線カメラ（２０）と、検査対象を保持する保持部（４０）を備え、Ｘ線源とＸ線カメラと保持部のいずれかが、旋回部（１０、２０、４０）として旋回運動してＸ線画像を撮影し、検査対象を検査するＸ線検査装置であり、旋回部は、複数の場所で順次旋回運動し、一の旋回円から次の旋回円へ移動運動を行い、旋回部が、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点までを所定時間で移動するように、次の旋回開始点及び、旋回終了点と旋回開始点とを結ぶ特定移動軌跡を決定する軌跡算出部を（１１１ｂ）さらに備え、Ｘ線源制御部（１０５）は、所定時間の中の少なくとも一部において、Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減する。
【選択図】図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
検査対象に照射するＸ線を発生するＸ線源と、
前記Ｘ線源からのＸ線の照射を制御するＸ線源制御部と、
前記Ｘ線源から前記検査対象に照射されたＸ線によるＸ線画像を撮影するＸ線カメラと、
前記検査対象を保持する保持部と、を備え、
前記Ｘ線源と、前記Ｘ線カメラと、前記保持部のうちのいずれかが、旋回部として旋回運動することで、撮影方向を変更しつつ前記Ｘ線画像を撮影して、前記検査対象の３次元画像を取得して検査するＸ線検査装置であって、
前記旋回部は、複数の場所において順次旋回運動するとともに、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点へ移動するための移動運動を行い、
前記旋回部が、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点までを、所定時間で移動するように、前記次の旋回運動の旋回開始点及び、前記一の旋回運動の旋回終了点と前記次の旋回運動の旋回開始点とを結ぶ特定移動軌跡を決定する軌跡算出部をさらに備え、
前記Ｘ線源制御部は、前記所定時間の中の少なくとも一部の時間において、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、Ｘ線検査装置。
前記Ｘ線源からのＸ線の照射を制御するＸ線源制御部と、
前記Ｘ線源から前記検査対象に照射されたＸ線によるＸ線画像を撮影するＸ線カメラと、
前記検査対象を保持する保持部と、を備え、
前記Ｘ線源と、前記Ｘ線カメラと、前記保持部のうちのいずれかが、旋回部として旋回運動することで、撮影方向を変更しつつ前記Ｘ線画像を撮影して、前記検査対象の３次元画像を取得して検査するＸ線検査装置であって、
前記旋回部は、複数の場所において順次旋回運動するとともに、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点へ移動するための移動運動を行い、
前記旋回部が、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点までを、所定時間で移動するように、前記次の旋回運動の旋回開始点及び、前記一の旋回運動の旋回終了点と前記次の旋回運動の旋回開始点とを結ぶ特定移動軌跡を決定する軌跡算出部をさらに備え、
前記Ｘ線源制御部は、前記所定時間の中の少なくとも一部の時間において、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、Ｘ線検査装置。
【請求項2】
前記Ｘ線源制御部は、前記Ｘ線源における管電流及び管電圧の少なくとも一方を停止あるいは低減することで、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項3】
前記Ｘ線源制御部は、前記所定時間が、前記Ｘ線源における管電流及び管電圧の少なくとも一方が停止あるいは低減した状態から使用可能な状態に回復する昇圧時間より長い場合に、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項4】
前記Ｘ線源制御部は、前記Ｘ線源のＸ線照射口を遮蔽することで、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項5】
前記次の旋回運動の旋回開始点は、前記次の旋回運動の旋回円上に配置するように設定された複数の候補点のうち、前記旋回部である前記Ｘ線源と、前記Ｘ線カメラと、前記保持部のうちのいずれかが、前記特定移動軌跡に沿って、前記一の旋回運動の旋回円から前記次の旋回運動の旋回円まで最短の移動時間で移動可能な点として算出されることを特徴とする、請求項１から４のいずれか一項に記載のＸ線検査装置。
【請求項6】
前記特定移動軌跡は、前記旋回終了点および／または前記旋回開始点において前記旋回部の線速度または、線速度及び加速度または、線速度、加速度及び躍度が連続となる軌跡であることを特徴とする、請求項１から５のいずれか一項に記載のＸ線検査装置。
【請求項7】
前記特定移動軌跡は、多項式として、または三角関数に対して媒介変数を用いて算出されることを特徴とする、請求項１から５のいずれか一項に記載のＸ線検査装置。
【請求項8】
前記旋回部は、前記Ｘ線源と前記Ｘ線カメラであり、前記保持部はＸ線検査装置内の所定位置に保持されることを特徴とする、請求項１から７のいずれか一項に記載のＸ線検査装置。
【請求項9】
検査対象に照射するＸ線を発生するＸ線源と、
前記Ｘ線源からのＸ線の照射を制御するＸ線源制御部と、
前記Ｘ線源から前記検査対象に照射されたＸ線によるＸ線画像を撮影するＸ線カメラと、
前記検査対象を保持する保持部と、を備え、
前記Ｘ線源と、前記Ｘ線カメラと、前記保持部のうちのいずれかが、旋回部として旋回運動することで、撮影方向を変更しつつ前記Ｘ線画像を撮影して、前記検査対象の３次元画像を取得して検査するＸ線検査装置を用いたＸ線検査方法であって、
前記旋回部は、複数の場所において順次旋回運動するとともに、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点へ移動するための移動運動を行い、
前記旋回部が、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点までを、所定時間で移動可能なように、前記次の旋回運動の旋回開始点及び、前記一の旋回運動の旋回終了点と前記次の旋回運動の旋回開始点とを結ぶ特定移動軌跡を決定し、
前記所定時間の中の少なくとも一部の時間において、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、Ｘ線検査方法。
前記Ｘ線源からのＸ線の照射を制御するＸ線源制御部と、
前記Ｘ線源から前記検査対象に照射されたＸ線によるＸ線画像を撮影するＸ線カメラと、
前記検査対象を保持する保持部と、を備え、
前記Ｘ線源と、前記Ｘ線カメラと、前記保持部のうちのいずれかが、旋回部として旋回運動することで、撮影方向を変更しつつ前記Ｘ線画像を撮影して、前記検査対象の３次元画像を取得して検査するＸ線検査装置を用いたＸ線検査方法であって、
前記旋回部は、複数の場所において順次旋回運動するとともに、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点へ移動するための移動運動を行い、
前記旋回部が、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点までを、所定時間で移動可能なように、前記次の旋回運動の旋回開始点及び、前記一の旋回運動の旋回終了点と前記次の旋回運動の旋回開始点とを結ぶ特定移動軌跡を決定し、
前記所定時間の中の少なくとも一部の時間において、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、Ｘ線検査方法。
【請求項10】
前記Ｘ線源における管電流または管電圧の少なくとも一方を停止あるいは低減することで、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、請求項９に記載のＸ線検査方法。
【請求項11】
前記Ｘ線源制御部は、前記所定時間が、前記Ｘ線源における管電流または管電圧の少なくとも一方が停止あるいは低減した状態から使用可能な状態に回復する昇圧時間より長い場合に、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、請求項１０に記載のＸ線検査方法。
【請求項12】
前記Ｘ線源のＸ線照射口を遮蔽することで、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、請求項９に記載のＸ線検査方法。
【請求項13】
前記次の旋回運動の旋回開始点は、前記次の旋回運動の旋回円上に配置するように設定された複数の候補点のうち、前記旋回部である前記Ｘ線源と、前記Ｘ線カメラと、前記保持部のうちのいずれかが、前記特定移動軌跡に沿って、前記一の旋回運動の旋回円から前記次の旋回運動の旋回円まで最短の移動時間で移動可能な点として算出されることを特徴とする、請求項９から１２のいずれか一項に記載のＸ線検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、検査対象のＸ線画像を複数取得して３次元データを作成するＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従前より、基板表面等の検査対象のＸ線画像を複数の方向から撮影し、撮影された複数のＸ線画像から３次元データを作成し、検査箇所の内部構造の検査を行う技術がある。この例としては、トモシンセシスやＣＴなどの技術を挙げることができる。この技術においては、検査対象の検査箇所に対して、Ｘ線源からＸ線を照射し、透過したＸ線をＸ線カメラで撮影する。そして、Ｘ線源、検査対象、Ｘ線カメラの位置関係を相対的に変化させつつ複数枚のＸ線画像を撮影する。
【0003】
その際、Ｘ線源、検査対象、Ｘ線カメラの少なくともいずれかを旋回運動させることにより互いの相対位置を変化させ、一回の旋回運動が終わり当該検査箇所の撮影が終わると、次の検査箇所を撮影するための撮影位置へ移動運動を行い、さらに旋回運動させる。よって、検査対象の検査時間を短縮するためには、上記した旋回運動と移動運動とを効率的に行う必要がある。ここで、旋回運動とは、等速で円旋回する運動を示し、円旋回の前の加速助走運動や、円旋回の後の減速制動運動を含まない。一方、移動運動は、旋回円から次の旋回円に移動する運動を示す。例えば、移動運動に係る運動距離は旋回円間の移動距離となる。
【0004】
また、従来は、検査対象の検査時間を短縮するために、Ｘ線画像の撮影中は連続で画像を取り込む連続撮像方式を採用していた。そのためにはＸ線源は、実際に画像を取得している以外の動作においても連続照射していた。そのため、検査対象やＸ線カメラに対しても不要な被曝をさせる場合があった。一方、近年の電子部品などは被曝量が許容範囲を超えると故障することがわかっており、基板上に実装されるＳｏＰやＢＧＡなど高性能化したチップにおいても、メーカのデータシートで被曝量が制約される場合が増加している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開２０１１－２０９０５４号公報
【特許文献2】特開２０１３－２４７２２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、Ｘ線検査装置における検査対象や装置内部材の被曝量を低減できる技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記の課題を解決するための本発明は、検査対象に照射するＸ線を発生するＸ線源と、
前記Ｘ線源からのＸ線の照射を制御するＸ線源制御部と、
前記Ｘ線源から前記検査対象に照射されたＸ線によるＸ線画像を撮影するＸ線カメラと、
前記検査対象を保持する保持部と、を備え、
前記Ｘ線源と、前記Ｘ線カメラと、前記保持部のうちのいずれかが、旋回部として旋回運動することで、撮影方向を変更しつつ前記Ｘ線画像を撮影して、前記検査対象の３次元画像を取得して検査するＸ線検査装置であって、
前記旋回部は、複数の場所において順次旋回運動するとともに、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点へ移動するための移動運動を行い、
前記旋回部が、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点までを、所定時間で移動可能なように、前記次の旋回運動の旋回開始点及び、前記一の旋回運動の旋回終了点と前記次の旋回運動の旋回開始点とを結ぶ特定移動軌跡を決定する軌跡算出部をさらに備え、
前記Ｘ線源制御部は、前記所定時間の中の少なくとも一部の時間において、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、Ｘ線検査装置である。
前記Ｘ線源からのＸ線の照射を制御するＸ線源制御部と、
前記Ｘ線源から前記検査対象に照射されたＸ線によるＸ線画像を撮影するＸ線カメラと、
前記検査対象を保持する保持部と、を備え、
前記Ｘ線源と、前記Ｘ線カメラと、前記保持部のうちのいずれかが、旋回部として旋回運動することで、撮影方向を変更しつつ前記Ｘ線画像を撮影して、前記検査対象の３次元画像を取得して検査するＸ線検査装置であって、
前記旋回部は、複数の場所において順次旋回運動するとともに、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点へ移動するための移動運動を行い、
前記旋回部が、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点までを、所定時間で移動可能なように、前記次の旋回運動の旋回開始点及び、前記一の旋回運動の旋回終了点と前記次の旋回運動の旋回開始点とを結ぶ特定移動軌跡を決定する軌跡算出部をさらに備え、
前記Ｘ線源制御部は、前記所定時間の中の少なくとも一部の時間において、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、Ｘ線検査装置である。
【0008】
すなわち、本発明におけるＸ線検査装置においては、Ｘ線源と、Ｘ線カメラと、保持部のうちのいずれかが、旋回部として旋回運動することで、撮影方向を変更しつつ検査箇所のＸ線画像を撮影して、該検査箇所の３次元画像を取得して検査する。そして、旋回部は、複数の検査箇所について３次元画像を取得するために、異なる場所において順次旋回運動を行う。また、旋回部は、各旋回運動中と、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点へ移動するための移動運動を行う。
【0009】
そして、その際、旋回部が、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点までを所定時間で移動可能なように、軌道算出部が、次の旋回運動の旋回開始点及び、一の旋回運動の旋回終了点と次の旋回運動の旋回開始点とを結ぶ特定移動軌跡を決定する。これにより、旋回部の移動運動は時間基準で管理されることになる。
【0010】
さらに、本発明においては、Ｘ線源制御部は、上述の所定時間の中の少なくとも一部の時間において、Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減する。すなわち、旋回部が移動運動を行う時間中の少なくとも一部の時間において、Ｘ線源からのＸ線の照射が停止され、または照射量が低減される。これにより、旋回部の移動運動中の不要なＸ線照射を抑制することができ、検査対象や装置内の部材の被曝量を低減することができる。
【0011】
また、本発明においては、前記Ｘ線源制御部は、前記Ｘ線源における管電流または管電圧の少なくとも一方を停止あるいは低減することで、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減してもよい。ここで、Ｘ線源のＸ線照射量を制御する場合に、Ｘ線源の管電流を制御する場合と管電圧を制御する場合が考えられる。このいずれを制御してもＸ線源のＸ線照射量を良好に制御できるため、本発明においては、管電流または管電圧の少なくとも一方を制御することとした。これによれば、より簡単な制御で、Ｘ線源のＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することが可能である。なお、管電流を制御する場合は、管電圧を制御する場合と比較して、Ｘ線の照射を停止し、または照射量を低減した後に、Ｘ線源が使用可能な状態まで回復（昇圧）させるのに必要な時間が短いことが分かっている。
【0012】
従って、本発明においては、Ｘ線源制御部は、Ｘ線源における管電流を停止あるいは低減することで、Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することとしてもよい。これによれば、Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減した後に、より短時間でＸ線源を使用可能な状態にまで回復させることができる。その結果、移動運動に係る所定時間中において、より長い時間、Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することが可能となる。よって、より効果的に、検査対象や装置内の部材の被曝量を低減することができる。
【0013】
また、本発明においては、前記Ｘ線源制御部は、前記所定時間が、前記Ｘ線源における管電流または管電圧の少なくとも一方が停止あるいは低減した状態から使用可能な状態に
回復する昇圧時間より長い場合に、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減するようにしてもよい。
回復する昇圧時間より長い場合に、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減するようにしてもよい。
【0014】
これによれば、Ｘ線源が移動運動中（すなわち、所定時間中）に、Ｘ線の照射を停止し、または照射量を低減した状態からＸ線源が使用可能な状態に回復できないという状況を、より確実に防止できる。その結果、旋回部が旋回運動を開始時する際に、Ｘ線源が使用可能な状態でないことによる、検査時間の増加や検査精度の低下を防止することができる。
【0015】
また、本発明においては、前記Ｘ線源制御部は、前記Ｘ線源のＸ線照射口を遮蔽することで、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減するようにしてもよい。これによれば、Ｘ線源制御部が、Ｘ線源のＸ線照射口を遮蔽し、あるいは遮蔽を解除するだけで、Ｘ線源からのＸ線の照射を停止しまたは照射量を低減する状態と、Ｘ線源が使用可能な状態とを、即時に切換えることができる。これによれば、Ｘ線源が移動運動中（すなわち、所定時間中）に、より長い時間、Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することが可能となる。
【0016】
また、本発明においては、前記次の旋回運動の旋回開始点は、前記次の旋回運動の旋回円上に配置するように設定された複数の候補点のうち、前記旋回部である前記Ｘ線源と、前記Ｘ線カメラと、前記保持部のうちのいずれかが、前記特定移動軌跡に沿って、前記一の旋回運動の旋回円から前記次の旋回運動の旋回円まで最短の移動時間で移動可能な点として算出されることとしてもよい。
【0017】
これによれば、旋回部が一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点に移動する際に、次の旋回運動の旋回円上に配置された複数の候補点の中から、最短の移動時間で移動可能な旋回開始点を選択することができる。その結果、より確実に、旋回部が一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点に早期に移動することが可能となる。その結果、より確実に、Ｘ線検査装置における検査対象の検査時間を短縮することが可能となる。ここで、旋回部（Ｘ線源と、Ｘ線カメラと、保持部のうち、旋回運動するもの）は、移動運動時には次の旋回運動の旋回開始点に同着するように制御される。そして、上記における最短の移動時間とは、例えば旋回部であるＸ線源とＸ線カメラとが、次の旋回運動の旋回開始点に同着するような移動時間の時間候補を各候補点について算出し、算出された時間候補の中で、最も早い移動時間である。
【0018】
また、本発明においては、前記特定移動軌跡は、前記旋回終了点および／または前記旋回開始点において前記旋回部の線速度または、線速度及び加速度または、線速度、加速度及び躍度が連続となる軌跡であることとしてもよい。
【0019】
すなわち、本発明の特定移動軌跡においては、旋回終了点および／または旋回開始点において旋回部の線速度が連続となることが要求される。そして、線速度及び加速度が連続であることが望ましい。また、線速度、加速度及び躍度が連続であることが理想である。これによれば、旋回運動から移動運動へ、または移動運動から旋回運動へ移行する際に旋回部に作用する加速や衝撃を緩和することができる。その結果、検査時間をより短縮することが可能となる。ここにおいても上述のとおり、旋回運動とは、等速で円旋回する運動を示し、円旋回の前の加速助走運動や、円旋回の後の減速制動運動を含まない。一方、移動運動は、旋回円から次の旋回円に移動する運動を示す。
【0020】
また、本発明においては、前記特定移動軌跡は、多項式として、または三角関数に対して媒介変数を用いて算出されるようにしてもよい。これによれば、特定移動軌跡を一般的な数学的解法により取得することが可能である。なお、前記特定移動軌跡は、その他の数
式によって定義されてもよく、特に制限されない。
式によって定義されてもよく、特に制限されない。
【0021】
また、本発明においては、前記旋回部は、前記Ｘ線源と前記Ｘ線カメラであり、前記保持部はＸ線検査装置内の所定位置に保持されるようにしてもよい。この場合には、検査対象を固定し、検査対象の上下においてＸ線カメラとＸ線源に旋回運動と移動運動を行わせることで検査を行うことができ、Ｘ線検査装置内における非検査物の移動機構、搬入機構等を単純化することが可能である。
【0022】
また、本発明は、検査対象に照射するＸ線を発生するＸ線源と、
前記Ｘ線源からのＸ線の照射を制御するＸ線源制御部と、
前記Ｘ線源から前記検査対象に照射されたＸ線によるＸ線画像を撮影するＸ線カメラと、
前記検査対象を保持する保持部と、を備え、
前記Ｘ線源と、前記Ｘ線カメラと、前記保持部のうちのいずれかが、旋回部として旋回運動することで、撮影方向を変更しつつ前記Ｘ線画像を撮影して、前記検査対象の３次元画像を取得して検査するＸ線検査装置を用いたＸ線検査方法であって、
前記旋回部は、複数の場所において順次旋回運動するとともに、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点へ移動するための移動運動を行い、
前記旋回部が、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点までを、所定時間で移動可能なように、前記次の旋回運動の旋回開始点及び、前記一の旋回運動の旋回終了点と前記次の旋回運動の旋回開始点とを結ぶ特定移動軌跡を決定し、
前記所定時間の中の少なくとも一部の時間において、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、Ｘ線検査方法であってもよい。
前記Ｘ線源からのＸ線の照射を制御するＸ線源制御部と、
前記Ｘ線源から前記検査対象に照射されたＸ線によるＸ線画像を撮影するＸ線カメラと、
前記検査対象を保持する保持部と、を備え、
前記Ｘ線源と、前記Ｘ線カメラと、前記保持部のうちのいずれかが、旋回部として旋回運動することで、撮影方向を変更しつつ前記Ｘ線画像を撮影して、前記検査対象の３次元画像を取得して検査するＸ線検査装置を用いたＸ線検査方法であって、
前記旋回部は、複数の場所において順次旋回運動するとともに、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点へ移動するための移動運動を行い、
前記旋回部が、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点までを、所定時間で移動可能なように、前記次の旋回運動の旋回開始点及び、前記一の旋回運動の旋回終了点と前記次の旋回運動の旋回開始点とを結ぶ特定移動軌跡を決定し、
前記所定時間の中の少なくとも一部の時間において、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、Ｘ線検査方法であってもよい。
【0023】
また、本発明は、前記Ｘ線源における管電流または管電圧の少なくとも一方を停止あるいは低減することで、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、上記のＸ線検査方法であってもよい。
【0024】
また、本発明は、前記Ｘ線源制御部は、前記所定時間が、前記Ｘ線源における管電流または管電圧の少なくとも一方が停止あるいは低減した状態から使用可能な状態に回復する昇圧時間より長い場合に、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、請求項１０に記載のＸ線検査方法であってもよい。
【0025】
また、本発明は、前記Ｘ線源のＸ線照射口を遮蔽することで、前記Ｘ線源からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、上記のＸ線検査方法であってもよい。
【0026】
また、本発明は、前記次の旋回運動の旋回開始点は、前記次の旋回運動の旋回円上に配置するように設定された複数の候補点のうち、前記旋回部である前記Ｘ線源と、前記Ｘ線カメラと、前記保持部のうちのいずれかが、前記特定移動軌跡に沿って、前記一の旋回運動の旋回円から前記次の旋回運動の旋回円まで最短の移動時間で移動可能な点として算出されることを特徴とする、上記のＸ線検査方法であってもよい。
【0027】
以上のように本発明は、上記手段の少なくとも一部を含むＸ線検査装置として捉えることができる。また、本発明は、上記手段が行う処理の少なくとも一部を含むＸ線検査方法として捉えることもできる。また、これらの方法の各ステップをコンピュータに実行させるためのコンピュータプログラムや、当該プログラムを非一時的に記憶したコンピュータ読取可能な記憶媒体として捉えることもできる。上記構成および処理の各々は技術的な矛盾が生じない限り互いに組み合わせて本発明を構成することができる。
【発明の効果】
【0028】
本発明によれば、Ｘ線検査装置における検査対象や装置内部材の被曝量を低減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【0029】
【図1】本発明の実施例におけるＸ線検査装置の概要を示す図である。
【図2】本発明の実施例におけるＸ線源またはＸ線カメラの旋回運動と移動運動の関係を示す図である。
【図3】本発明１の実施例におけるＸ線源またはＸ線カメラの旋回運動と移動運動の軌跡の例を示す図である。
【図4】本発明の実施例における低被曝制御と、Ｘ線源またはＸ線カメラの旋回運動と移動運動の関係を示す図である。
【図5】本発明の実施例２における次の旋回運動の旋回開始点を決定するする方法について説明するための図である。
【図6】本発明の実施例２におけるＸ線源及びＸ線カメラの制御を示すフローチャートである。
【図7】本発明の実施例２におけるＸ線源及びＸ線カメラの制御を示すフローチャートの続きである。
【図8】本発明の実施例に２おけるＸ線源及びＸ線カメラの制御を示すフローチャートの続きである。
【図9】本発明の実施例２におけるＸ線源及びＸ線カメラの制御を示すフローチャートの続きである。
【図10】本発明の実施例２における低被曝制御の効果を示すグラフである。
【図11】本発明の実施例３における次の旋回運動の旋回開始点を決定する方法について説明するための図である。
【図12】本発明におけるＸ線検査装置の別例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0030】
〔適用例〕
以下に本発明の適用例について一部の図面を用いて説明する。本発明は図１に示すようなＸ線検査装置１に適用される。Ｘ線検査装置１では、Ｘ線源１０から検査対象ＳにＸ線を照射し、透過量によるＸ線画像をＸ線カメラ２０によって撮影する。Ｘ線源１０およびＸ線カメラ２０はそれぞれ旋回円１２１，１２２上を旋回運動し、軌跡上の複数の位置において検査対象ＳのＸ線画像の撮影を行う。その後、別の検査箇所を検査するために、Ｘ線源１０、Ｘ線カメラ２０はともに、次の旋回円まで移動運動を行い、さらに旋回円上を旋回運動しつつＸ線画像の撮影を行う。
以下に本発明の適用例について一部の図面を用いて説明する。本発明は図１に示すようなＸ線検査装置１に適用される。Ｘ線検査装置１では、Ｘ線源１０から検査対象ＳにＸ線を照射し、透過量によるＸ線画像をＸ線カメラ２０によって撮影する。Ｘ線源１０およびＸ線カメラ２０はそれぞれ旋回円１２１，１２２上を旋回運動し、軌跡上の複数の位置において検査対象ＳのＸ線画像の撮影を行う。その後、別の検査箇所を検査するために、Ｘ線源１０、Ｘ線カメラ２０はともに、次の旋回円まで移動運動を行い、さらに旋回円上を旋回運動しつつＸ線画像の撮影を行う。
【0031】
ここで、Ｘ線源１０、Ｘ線カメラ２０が旋回運動から移動運動に移行する場合には、図２（ａ）に示すように、一旦停止する停止区間が設けられていた。これに伴い、旋回運動の前後において旋回円上の加速運動及び減速運動が追加されていた。本適用例では、図２（ｂ）に示すように、Ｘ線源１０、Ｘ線カメラ２０が旋回運動から移動運動に移行する場合の停止区間を無くした。これにより、余分な停止状態や余分な旋回運動が省略され、Ｘ線源１０、Ｘ線カメラ２０がより迅速に旋回円から次の旋回円に移動することが可能となる。
【0032】
また、本適用例では、図３に示すように、ｎ回目の旋回円１２２ｎ（１２２ａ）からｎ＋１回目の旋回円１２２ｎ＋１（１２２ｂ）に移動する際の移動運動の軌跡として、ｎ回目の旋回円１２２ｎとｎ＋１回目の旋回円１２２ｎ＋１とを、旋回終了点と旋回開始点において滑らかに結び、最短の時間で移動可能な軌跡を用いることとした。これにより、Ｘ線源１０、Ｘ線カメラ２０に過度な加速度や衝撃を与えることなく、より迅速に移動する
ことが可能となる。なお、上記の、旋回終了点と旋回開始点において滑らかに結び、最短の時間で移動可能な軌跡は、後述のように、Ｘ線源１０及び／またはＸ線カメラの線速度、軸速度、加速度及び移動範囲が、許容値を超えない（オーバーリミットにならない）範囲内のものである必要がある。
ことが可能となる。なお、上記の、旋回終了点と旋回開始点において滑らかに結び、最短の時間で移動可能な軌跡は、後述のように、Ｘ線源１０及び／またはＸ線カメラの線速度、軸速度、加速度及び移動範囲が、許容値を超えない（オーバーリミットにならない）範囲内のものである必要がある。
【0033】
さらに、本適用例では、図４（ｂ）に示したように、ｎ回目の旋回運動からｎ＋１回目の旋回運動に移行する際の、実際に画像を取得している動作以外の動作である移動運動に係る移動時間中の少なくとも一部について、低被曝制御を行うこととした。この低被曝制御は、Ｘ線源１０からのＸ線照射をＯＦＦにするか、Ｘ線照射量を低減する制御である。この制御によれば、Ｘ線源１０からの不要なＸ線照射を低減することができ、検査対象Ｓは当然、Ｘ線カメラ２０をはじめとする、Ｘ線検査装置1内の部材における被曝量も低減
することが可能である。
することが可能である。
【0034】
なお、本適用例における低被曝制御は、図３に示したような、ｎ回目の旋回円１２２ｎ（１２２ａ）における旋回終了点と、ｎ＋１回目の旋回円１２２ｎ＋１（１２２ｂ）における旋回開始点が予め固定されている場合の他、移動時間が最短になるように都度、ｎ＋１回目の旋回円１２２ｎ＋１（１２２ｂ）における旋回開始点を決める場合にも適用可能である。
【0035】
その場合には、図４に示すような方法で、ｎ＋１回目の旋回円１２２ｎ＋１における旋回開始点を決定してもよい。より具体的には、ｎ＋１回目の旋回円１２２ｎ＋１上に配置された例えばｍ個（ｍは所定の整数）の候補点を設定する。その際、ｎ＋１回目の旋回円１２２ｎ＋１においてＸ線カメラ２０が時計回りに旋回する場合と、反時計回りに旋回する場合とを想定する。
【0036】
そして、この時計回りの場合と反時計回り場合の合計２ｍ個（ｍの2倍）の候補点につ
いて、ｎ回目の旋回円１２２ｎにおける旋回終了点とｎ＋１回目の旋回円１２２ｎ＋１における旋回開始点とを滑らかに結び最短の時間で移動可能な曲線を求め、移動時間を算出する。そして、移動時間が最短となる候補点をｎ＋１回目の旋回円１２２ｎ＋１における旋回開始点とする。これにより、ｎ回目の旋回円１２２ｎにおける旋回終了点とｎ＋１回目の旋回円１２２ｎ＋１における旋回開始点の間の移動時間をより確実に最短とし、検査時間の短縮を図ることが可能である。
いて、ｎ回目の旋回円１２２ｎにおける旋回終了点とｎ＋１回目の旋回円１２２ｎ＋１における旋回開始点とを滑らかに結び最短の時間で移動可能な曲線を求め、移動時間を算出する。そして、移動時間が最短となる候補点をｎ＋１回目の旋回円１２２ｎ＋１における旋回開始点とする。これにより、ｎ回目の旋回円１２２ｎにおける旋回終了点とｎ＋１回目の旋回円１２２ｎ＋１における旋回開始点の間の移動時間をより確実に最短とし、検査時間の短縮を図ることが可能である。
【0037】
以下に各図面（上記の適用例で一旦説明した図も含む）を順次参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている具体的構成は、特に記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
【0038】
〔実施例１〕
本発明の実施例１に係るＸ線検査装置は、例えば、プリント基板にはんだ付けされた電子部品のはんだ付け状態やボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）のバンプ等の良否判定をする装置である。より具体的には、Ｘ線源と検査対象とを相対的に移動させて複数回のＸ線撮影を行い、検査対象場所の内部の状態を取得し、適切な位置での断面画像を生成して、当該断面画像に基づいて良否を検査する。
本発明の実施例１に係るＸ線検査装置は、例えば、プリント基板にはんだ付けされた電子部品のはんだ付け状態やボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）のバンプ等の良否判定をする装置である。より具体的には、Ｘ線源と検査対象とを相対的に移動させて複数回のＸ線撮影を行い、検査対象場所の内部の状態を取得し、適切な位置での断面画像を生成して、当該断面画像に基づいて良否を検査する。
【0039】
＜装置構成＞
図１には、本発明の実施例１に係るＸ線検査装置１における、Ｘ線源１０、検査対象Ｓを保持する保持部４０、Ｘ線カメラ２０の配置図を示す。Ｘ線検査装置１においては、搬送ローラ（不図示）によって搬送され保持部４０に保持される検査対象Ｓにおける各検査箇所について、複数の撮影位置においてＸ線画像を撮影して３次元データを取得する。具
体的には、Ｘ線源１０から検査対象ＳにＸ線を照射し、透過光によるＸ線画像をＸ線カメラ２０によって撮影する。Ｘ線源１０、Ｘ線カメラ２０はともに、ステージ（不図示）によって移動可能である。Ｘ線源１０およびＸ線カメラ２０はこれらのステージによってそれぞれ旋回円１２１，１２２上を移動し、旋回円上の複数の位置において撮影が行われる。
図１には、本発明の実施例１に係るＸ線検査装置１における、Ｘ線源１０、検査対象Ｓを保持する保持部４０、Ｘ線カメラ２０の配置図を示す。Ｘ線検査装置１においては、搬送ローラ（不図示）によって搬送され保持部４０に保持される検査対象Ｓにおける各検査箇所について、複数の撮影位置においてＸ線画像を撮影して３次元データを取得する。具
体的には、Ｘ線源１０から検査対象ＳにＸ線を照射し、透過光によるＸ線画像をＸ線カメラ２０によって撮影する。Ｘ線源１０、Ｘ線カメラ２０はともに、ステージ（不図示）によって移動可能である。Ｘ線源１０およびＸ線カメラ２０はこれらのステージによってそれぞれ旋回円１２１，１２２上を移動し、旋回円上の複数の位置において撮影が行われる。
【0040】
Ｘ線検査装置１における各部の制御は制御部１００からの制御信号に基づいて行われる。Ｘ線検査装置１は、制御部１００として、カメラ用ＸＹステージ制御部１０１、カメラ制御部１０２、Ｘ線源用ＸＹステージ制御部１０７を備える。加えて、高さ計測部１０３、検査対象位置制御部１０４、Ｘ線源制御部１０５、撮像高さ制御部１０６を備える。さらに、Ｘ線検査装置１は、演算部１１１、主記憶部１１２、補助記憶部１１３、入力部１１４、出力部１１５を備える。
【0041】
カメラ用ＸＹステージ制御部１０１は、カメラ用ＸＹステージ（不図示）を駆動しＸ線カメラ２０の水平方向の移動を行うための制御信号を送信する。カメラ制御部１０２は、Ｘ線カメラ２０によるＸ線画像の撮影を行うための制御信号を送信する。高さ計測部１０３は、変位計３０からの信号を受信して検査対象Ｓの被検箇所の高さを計測する。検査対象位置制御部１０４は、搬送ローラ及び検査対象Ｓの保持部４０に制御信号を送信し検査対象Ｓの水平方向位置及び鉛直方向位置を撮影に最適な位置に制御する。
【0042】
Ｘ線源制御部１０５は、Ｘ線源１０によるＸ線の照射の開始、終了の他、Ｘ線強度を調整するための信号を送信する。撮像高さ制御部１０６は、Ｘ線源１０及びＸ線カメラ２０の高さ制御用の信号を送信する。Ｘ線源用ＸＹステージ制御部１０７は、Ｘ線源用ＸＹステージ（不図示）を駆動しＸ線源１０の水平方向の移動を行うための信号を送信する。カメラ用ＸＹステージ制御部１０１、カメラ制御部１０２、検査対象位置制御部１０４、Ｘ線源制御部１０５、撮像高さ制御部１０６、Ｘ線源用ＸＹステージ制御部１０７から出力される信号は演算部１１１の演算結果及び、主記憶部１１２、補助記憶部１１３に記憶された情報に基づいて決定される。
【0043】
特に演算部１１１の撮像命令部１１１ａは、カメラ制御部１０２を含む各部に対し、Ｘ線画像取得に必要な情報を送信する。また、軌跡算出部１１１ｂは、後述する手法により、Ｘ線源１０やＸ線カメラ２０が沿うべき軌跡を算出するとともに、旋回運動の旋回開始点を選択する。また、ユーザとの間の設定情報、検査結果等の情報の授受は、入力部１１４及び出力部１１５を介して行われる。
【0044】
Ｘ線カメラ２０は、Ｘ線源１０から照射され、検査対象Ｓを透過したＸ線を検出する２次元Ｘ線検出器である。Ｘ線カメラ２０としては、Ｉ．Ｉ．（Image Intensifier）管や
、ＦＰＤ（フラットパネルディテクタ）を用いることができる。ここでは１つのみのＸ線カメラ２０が採用されているが、複数個のＸ線カメラを用いても構わない。
、ＦＰＤ（フラットパネルディテクタ）を用いることができる。ここでは１つのみのＸ線カメラ２０が採用されているが、複数個のＸ線カメラを用いても構わない。
【0045】
変位計３０は、検査対象Ｓまでの距離を、検査対象Ｓの複数の位置について計測する。したがって、変位計３０によって検査対象Ｓの反りや傾きを計測することが可能である。検査対象Ｓの製造過程においては、反りや傾きが生じることがあり、その量は個体によって異なる。そこで、それぞれの検査対象Ｓの反りや傾きを計測して、保持部４０の高さ位置を調整して適切なＸ線撮影が行えるようにする。保持部４０は高さ位置を調整後、固定される。この保持部４０が固定される位置は、本実施例における所定位置に相当する。
【0046】
以上の構成により、Ｘ線検査装置１は、様々な方向から基板を撮像できるように、Ｘ線源１０とＸ線カメラ２０の位置を制御することができる。本実施例では、このように様々な方向からの撮像結果を基に、ＣＴ（Computed Tomography）と呼ばれる３次元データ生
成手法を用いて、検査対象Ｓの被検箇所の３次元データを生成する。
成手法を用いて、検査対象Ｓの被検箇所の３次元データを生成する。
【0047】
なお、演算部１１１としては、ＣＰＵ（中央演算処理装置）と呼ばれる一般的な汎用演算装置を用いることができる。主記憶部１１２としてはＲＡＭなどのメモリを用いることができる。補助記憶部１１３は、ＲＯＭやＨＤＤなどを用いることができる。入力部１１４は、キーボード、ボタン、スイッチ、マウスなど、ユーザが演算部１１１に対して指示を入力可能な任意の装置である。出力部１１５は、ディスプレイ、スピーカなど、映像や音声等によって演算部１１１からの出力をユーザに提示可能な任意の装置である。
【0048】
すなわち、一般的なコンピュータシステムを用いて、これらの機能を実現することができる。補助記憶部１１３に格納されたプログラムを演算部１１１が読み込んで実行することにより、以下に示す、Ｘ線源１０およびＸ線カメラ２０の移動制御が行われる。なお、本実施例における演算部１１１は、並列演算が可能であり、複数のＣＰＵを含んでいてもよいし、一つのＣＰＵ中に複数の並列演算機能を含んでいてもよい。
【0049】
ここで、図１に示すように、Ｘ線源１０およびＸ線カメラ２０は、Ｘ線源用ＸＹステージ制御部１０７及びカメラ用ＸＹステージ制御部１０１からの制御信号に基づいて、それぞれ旋回円１２１，１２２上を移動し、軌跡上の複数の位置においてＸ線画像の撮影が行われる。そして、検査対象Ｓ上の各検査箇所に対して旋回円１２１、１２２上を旋回運動することで、当該検査箇所の３次元画像の作成が可能となる。そして、検査対象Ｓの検査を行う場合には、検査箇所の位置が複数あるために、Ｘ線源１０およびＸ線カメラ２０は一回の３６０度に亘る旋回運動（ｎ回目の旋回運動ともいう）を行って当該検査箇所のＸ線画像を取得した後に、次の被検箇所を撮影可能な位置まで移動運動を行う。そして、その位置から次の３６０度に亘る旋回運動（ｎ＋１回目の旋回運動ともいう）を開始する。
【0050】
図２には、Ｘ線源１０またはＸ線カメラ２０が、ｎ回目の旋回運動を行い、移動運動を行い、ｎ＋１回目の旋回運動を行う場合のＸ線源１０またはＸ線カメラ２０の軌跡を示す。その際、従来の技術によれば、図２（ａ）に示すように、ｎ回目の旋回運動を行う前に加速運動が行われ、ｎ回目の旋回運動は等速で行われ、ｎ回目の旋回運動（３６０度）が完了した後に、減速運動が行われ一旦停止する。そして、その後に、予め決められた軌跡に沿って移動運動が行われる。これは、Ｘ線源１０またはＸ線カメラ２０の旋回運動中は、高速で高画質なＸ線画像の撮影を行うため、高速で等速円運動を行う必要があるからである。
【0051】
そして、同様に、Ｘ線源１０またはＸ線カメラ２０が、移動運動が終了して停止後に、再度加速運動が行われ、Ｘ線源１０またはＸ線カメラ２０は旋回運動の開始点に到達する前に所定の速度まで加速され、その後ｎ＋１回目の旋回運動（３６０度）が開始される。換言すると、Ｘ線源１０またはＸ線カメラ２０は、n回目の旋回運動における撮像が終了
したのちに減速制動距離を設け一旦停止し、n＋１回目の旋回に備え、加減速を伴う移動
運動を行い移動後に停止する。そののちに、n＋１回の撮影ができるように旋回軌道に沿
って加速を行う。
したのちに減速制動距離を設け一旦停止し、n＋１回目の旋回に備え、加減速を伴う移動
運動を行い移動後に停止する。そののちに、n＋１回の撮影ができるように旋回軌道に沿
って加速を行う。
【0052】
それに対し、本実施例においては、図２（ｂ）に示すように、ｎ回目の旋回運動からｎ＋１回目の旋回運動への移動運動中において停止区間を無くし、Ｘ線画像の撮影のための旋回運動の他に、停止前後の加減速のための旋回運動を行わない。
【0053】
そして、本実施例では、移動運動の軌跡を、ｎ回目の旋回運動の旋回円とｎ＋１回目の旋回運動の旋回円とを、旋回終了点と旋回開始点において滑らかに繋ぐ軌跡のうち、最短の時間で移動可能な軌跡とする。ここで、ｎ回目の旋回運動の旋回円とｎ＋１回目の旋回運動の旋回円を滑らかに繋ぐ軌跡とは、旋回終了点および／または旋回開始点においてＸ
線源１０またはＸ線カメラ２０の線速度が連続となる軌跡であってもよい。または、旋回終了点および／または旋回開始点においてＸ線源１０またはＸ線カメラ２０の線速度及び加速度が連続となる軌跡であることが望ましい。または、旋回終了点および／または旋回開始点においてＸ線源１０またはＸ線カメラ２０の線速度、加速度及び躍度が連続であることが理想である。また、加速度が連続の場合には、加速度が０であることが理想である。
線源１０またはＸ線カメラ２０の線速度が連続となる軌跡であってもよい。または、旋回終了点および／または旋回開始点においてＸ線源１０またはＸ線カメラ２０の線速度及び加速度が連続となる軌跡であることが望ましい。または、旋回終了点および／または旋回開始点においてＸ線源１０またはＸ線カメラ２０の線速度、加速度及び躍度が連続であることが理想である。また、加速度が連続の場合には、加速度が０であることが理想である。
【0054】
図３には、その場合の移動運動の軌跡の例を示す。図中の矢印と丸１～丸３の番号は、各々ｎ回目の旋回運動、移動運動、ｎ＋１回目の旋回運動に相当する。図３（ａ）は、Ｘ線カメラ２０の移動運動の軌跡の例を示す。図３（ａ）に示すように、Ｘ線カメラ２０の移動運動の軌跡１２３ａは、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ａと、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｂとを、両者の最上の点（以下、この点を０度位置または３６０度位置ともいう）において繋ぐ曲線のうち最短の時間で移動可能な曲線となっている。
【0055】
図３（ｂ）には、同様に、Ｘ線源１０の移動運動の軌跡の例を示す。図３（ｂ）に示すように、Ｘ線源１０の移動運動の軌跡１２３ｂは、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２１ａと、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２１ｂとを、両者の最下の点（以下、この点を１８０度位置ともいう）において滑らかに結び最短の時間で移動可能な曲線となっている。ここで、図３（ａ）と図３（ｂ）とで、移動運動の軌跡と各旋回運動の旋回円とが繋がる場所が１８０度異なっているのは、Ｘ線源１０とＸ線カメラ２０は、検査対象Ｓの検査箇所を挟んで点対称となる位置に配置される必要があるからである。この場合、Ｘ線カメラ２０が０度位置または３６０度位置に配置された場合には、Ｘ線源１０は１８０度位置に配置される必要がある。
【0056】
なお、図３に示すような、ｎ回目の旋回運動の旋回円と、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円とを、所定の点において滑らかに結び最短の時間で移動可能な曲線は、公知の数学的な手法によって多項式として導出可能であるので、ここでは曲線の導出方法については特に説明しない。また、ｎ回目の旋回運動の旋回終了点と、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回開始点を滑らかに結ぶ曲線のうち、最短の時間で移動可能な曲線を導出する方法については、公知の方法で求まった多項式の曲線の各項の係数等の数学的パラメータを振り、繰り返し演算により移動時間が最短のものを選択しても良い。
【0057】
なお、図３においては、Ｘ線カメラ２０が図３（ａ）に示す軌跡１２３ａに沿って移動運動した場合の移動時間と、Ｘ線源１０が図３（ｂ）に示す軌跡１２３ｂに沿って移動運動した場合の移動時間が一致するようにしても構わない。すなわち、両者のうち移動時間が長い方の移動運動における速度を高めて両者が同時に移動完了するようにする。そうすることで、両者が同時に移動運動を完了し、次の旋回運動に移行することが可能となる。
【0058】
以上のように、本実施例においては、Ｘ線源１０とＸ線カメラ２０が、ｎ回目の旋回運動から移動運動に移行し、移動運動からｎ＋１回目の旋回運動に移行する際の停止区間を無くし、Ｘ線源１０とＸ線カメラ２０が停止しない。これにより、Ｘ線画像の撮影のための旋回運動において、停止区間の前後に加減速のための旋回運動を付加する必要がなくなり、旋回運動の終了後、直ちに次の旋回運動への移動運動に移行することができ、移動運動の終了後、直ちに次の旋回運動に移行することができる。その結果、Ｘ線検査装置１における検査時間を短縮することが可能となる。
【0059】
また、本実施例においては、ｎ回目の旋回運動からｎ＋１回目の旋回運動に移行する際の移動運動の軌跡を、ｎ回目の旋回運動の旋回円とｎ＋１回目の旋回運動の旋回円とを、旋回終了点と旋回開始点において結び最短の時間で移動可能な曲線とした。これにより、Ｘ線源１０とＸ線カメラ２０を、旋回運動から移動運動に、または移動運動から旋回運動
に、より円滑に（過度な加速度や衝撃がＸ線源１０やＸ線カメラ２０に作用することなく）移行することができる。その結果、旋回運動における速度が高い場合でも、より確実に、移動運動の途中で加減速運動を行うことが可能となる。
に、より円滑に（過度な加速度や衝撃がＸ線源１０やＸ線カメラ２０に作用することなく）移行することができる。その結果、旋回運動における速度が高い場合でも、より確実に、移動運動の途中で加減速運動を行うことが可能となる。
【0060】
また、Ｘ線源１０とＸ線カメラ２０を、旋回運動から移動運動に、または移動運動から旋回運動に、より迅速に移行することが可能となる。ここで、図３におけるＸ線カメラ２０の移動運動の軌跡１２３ａ及びＸ線源１０の移動運動の軌跡１２３ｂは、本実施例において特定移動軌跡に相当する。この点は以下の実施例についても同じである。また、本実施例においては、Ｘ線カメラ２０の移動運動の軌跡１２３ａ及びＸ線源１０の移動運動の軌跡１２３ｂは、旋回円どうしを滑らかに結び最短の時間で移動可能な曲線としたが、必ずしも正確に最短である必要はない。旋回円どうしを滑らかに結ぶ曲線のうち充分に検査時間を短縮できるものであれば良い。なお、ここにおいて、ｎ回目の旋回運動からｎ＋１回目の旋回運動に移行する際のＸ線カメラ２０の移動時間は所定時間に相当する。
【0061】
次に、図４を用いて、本実施例における、検査対象Ｓや、Ｘ検査装置１における各部材のＸ線の被曝量を低減する制御について説明する。従来は、検査対象Ｓの検査時間を短縮するために、図４（ａ）に示すように、Ｘ線画像の撮影中は連続で画像を取り込む連続撮像方式を採用していた。すなわち、旋回部の旋回運動中の他、実際に画像を取得している動作以外の動作である移動運動中もＸ線源１０からＸ線を連続照射していた。そのため、検査対象ＳやＸ線カメラ２０に対しても不要な被曝をさせてしまう場合があった。一方、近年の電子部品などは被曝量が許容範囲を超えると故障することがわかっており、検査対象Ｓである基板上に実装されるＳｏＰやＢＧＡなど高性能化したチップにおいても被曝量が制約される場合が増加している。
【0062】
それに対し、本実施例においては、図４（ｂ）に示すように、ｎ回目の旋回運動からｎ＋１回目の旋回運動に移行する際の、実際に画像を取得している動作以外の動作である移動運動に係る移動時間中の少なくとも一部について、低被曝制御を行うこととした。この低被曝制御は、Ｘ線源１０からのＸ線照射をＯＦＦにするか、Ｘ線照射量を低減する制御である。以下では、低被曝制御が、Ｘ線源１０からのＸ線照射をＯＦＦにする制御として説明を続ける。この制御によれば、Ｘ線源１０からの不要なＸ線照射を低減することができ、検査対象Ｓは当然、Ｘ線カメラ２０をはじめとする、Ｘ線検査装置1内の部材におけ
る被曝量も低減することが可能である。
る被曝量も低減することが可能である。
【0063】
その際、Ｘ線源１０におけるＸ照射量の制御は、前述のようにＸ線源制御部１０５によって行われる。また、本実施例において、Ｘ線源１０からのＸ線照射をＯＦＦにする制御ととしては、Ｘ線源１０に印加する管電流または管電圧の少なくとも一方の制御が行われる。ここで、Ｘ線源１０のＸ線照射を制御する場合に、Ｘ線源１０の管電流をしてもよいし管電圧を制御してもよい。
【0064】
管電流を制御する場合は、管電圧を制御する場合と比較して、Ｘ線照射をＯＦＦした後に、Ｘ線源１０が使用可能な状態になるまで回復（昇圧）させるのに必要な時間（昇圧時間）が短いことが分かっている。従って、本発明においては、Ｘ線源制御部１０５は、Ｘ線源１０における管電流を制御することで、Ｘ線源１０からのＸ線照射をＯＦＦするようにしてもよい。この場合には、Ｘ線源１０からのＸ線照射をＯＦＦした後に、より短時間でＸ線源１０を使用可能な状態にまで回復させることができる。その結果、移動運動に係る所定時間中において、より長い時間、Ｘ線源１０からのＸ線照射をＯＦＦ停止することができ、より効果的に、検査対象ＳやＸ線カメラ２０等、Ｘ線検査装置１内の部材の被曝量を低減することができる。
【0065】
実際に低被曝制御が行われる時間は、移動時間からＸ線源１０の昇圧時間を差し引いた
時間としてもよい。これによれば、移動運動と次の旋回運動との間に、Ｘ線源１０を使用可能な状態にまで回復させるための待ち時間が発生する等の非効率を防止することができる。また、本実施例においては、旋回部であるＸ線源１０及びＸ線カメラ２０が、移動運動を行う際に、移動時間がＸ線源１０の昇圧時間以上か否かを判断し、移動時間がＸ線源１０の昇圧時間以上である場合にのみ、低被曝制御を行うこととしてもよい。これによれば、より確実に、移動運動と次の旋回運動との間に、Ｘ線源１０を使用可能な状態にまで回復させるための待ち時間が発生する等の非効率を防止することができる。
時間としてもよい。これによれば、移動運動と次の旋回運動との間に、Ｘ線源１０を使用可能な状態にまで回復させるための待ち時間が発生する等の非効率を防止することができる。また、本実施例においては、旋回部であるＸ線源１０及びＸ線カメラ２０が、移動運動を行う際に、移動時間がＸ線源１０の昇圧時間以上か否かを判断し、移動時間がＸ線源１０の昇圧時間以上である場合にのみ、低被曝制御を行うこととしてもよい。これによれば、より確実に、移動運動と次の旋回運動との間に、Ｘ線源１０を使用可能な状態にまで回復させるための待ち時間が発生する等の非効率を防止することができる。
【0066】
なお、上記では低被曝制御においてＸ線源１０の管電流または管電圧の少なくとも一方を制御して、Ｘ線源１０からのＸ線照射をＯＦＦする例について説明したが、必ずしもＸ線源１０からのＸ線照射を零にする必要はない。Ｘ線源１０からのＸ線照射量を低減することとしても構わない。これによれば、低被曝制御におけるＸ線源１０における管電流や管電圧の低減量を抑えることができるので、昇圧時間を短縮することが可能な場合がある。
【0067】
なお、上記の実施例においては、検査対象Ｓの位置を固定し、その上下においてＸ線カメラ２０とＸ線源１０とを旋回運動させる形式のＸ線検査装置１に対して、本発明を適用した例について説明した。しかしながら、本発明の適用対象は構成を有するＸ線検査装置に限られない。Ｘ線源１０を固定し、検査対象Ｓ及び、Ｘ線カメラ２０を旋回させる形式のＸ線検査装置１１に対して、本発明を適用してもよい。
【0068】
さらに、上記の実施例では、本発明が、Ｘ線源１０と、Ｘ線カメラ２０と、保持部４０とを備え、Ｘ線源と、Ｘ線カメラと、保持部のうちのいずれかが、旋回部として旋回運動することで、検査対象の３次元画像を取得して検査するＸ線検査装置１に適用される例について説明した。
【0069】
しかしながら、本発明の技術思想はこれ以外の検査装置に適用することが可能である。例えば、線源からはＸ線以外の電磁波（光を含む）を照射してもよい。そして、その場合、カメラはＸ線カメラである必要はない。さらに、上記の実施例では、ｎ回目の旋回運動の旋回円と、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円とを、所定の点において滑らかに結び最短の時間で移動可能な曲線を、多項式として導出したが、当該曲線は、他の方法で導出しても構わない。例えば、クロソイドセグメント等、三角関数に対して媒介変数を用いた算出方法を用いて導出しても構わない。
【0070】
〔実施例２〕
実施例１では、上記のように、ｎ回目の旋回運動からｎ＋１回目の旋回運動に移行する際の移動運動の軌跡を、ｎ回目の旋回運動の旋回円とｎ＋１回目の旋回運動の旋回円とを、旋回終了点と旋回開始点において滑らかに結び最短の時間で移動可能な曲線とした。そして、実施例２においては、このことに加えて、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回開始点を、０度位置や１８０度位置に固定するのではなく、ｎ回目の旋回運動からｎ＋１回目の旋回運動に移行する際の移動時間が最短になるように定める。
実施例１では、上記のように、ｎ回目の旋回運動からｎ＋１回目の旋回運動に移行する際の移動運動の軌跡を、ｎ回目の旋回運動の旋回円とｎ＋１回目の旋回運動の旋回円とを、旋回終了点と旋回開始点において滑らかに結び最短の時間で移動可能な曲線とした。そして、実施例２においては、このことに加えて、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回開始点を、０度位置や１８０度位置に固定するのではなく、ｎ回目の旋回運動からｎ＋１回目の旋回運動に移行する際の移動時間が最短になるように定める。
【0071】
図５に示すように、本実施例では、例えば、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１における旋回開始点の候補点として、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１上に配置されたｍ個の点を設定する。その際、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１においてＸ線カメラ２０が時計回りに旋回する場合と、反時計回りに旋回する場合とを想定する。そして、この時計回りの場合と反時計回りの場合の合計２ｍ個の候補点について、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ｎにおける旋回終了点とｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１における旋回開始点とを滑らかに結び最短の時間で移動可能な曲線を求め、移動時間を算出する。そして、その中でも移動時間が最短となる候補点を、ｎ＋１回目の
旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１における旋回開始点とする。
旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１における旋回開始点とする。
【0072】
これによれば、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１における旋回開始点の複数の候補点について、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ｎと旋回開始点と滑らかに結び最短の時間で移動可能な曲線を算出するとともに移動時間を算出する。そして、ｎ回目の旋回運動からｎ＋１回目の旋回運動に移行する際のＸ線カメラ２０の移動時間が最短となるような旋回開始点を決定する。従って、より確実に、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ｎから、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１への移動時間を最短とすることが可能である。図４の説明、あるいは以下の説明においては、Ｘ線カメラ２０の運動の軌跡を例として説明する場合があるが、Ｘ線源１０の運動の軌跡についても同様のことが言える点は当然である。なお、ここにおいて、ｎ回目の旋回運動からｎ＋１回目の旋回運動に移行する際のＸ線カメラ２０の移動時間は所定時間に相当する。
【0073】
次に、本実施例における演算部１１１、制御部１００、Ｘ線源制御部１０５による制御のフローについて説明する。図６～図９には、本実施例におけるＸ線源１０及びＸ線カメラ２０の移動制御及び低被曝制御のフローチャートを示す。本フローチャートは、主記憶部１１２に記憶されたプログラムであり、演算部１１１、制御部１００及びＸ線源制御部１０５により実行される。図６～図７の前半に示すステップＳ０１～ステップＳ０７においては、ｎ＋１回目の旋回運動における旋回開始点と移動時間が決定され、図８に示すステップＳ１１～ステップＳ１４においてＸ線源１０及びＸ線カメラ２０の移動制御が行われる。また、図７の後半及び図９に示すステップＳ０８～ステップＳ１０、ステップＳ１６～ステップＳ１９においては低被曝制御が行われる。
【0074】
本フローが実行されると、先ずステップＳ０１において、旋回円間の移動軌跡を滑らかに接続する軌跡を演算するための情報を取得する。より具体的には、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１に対して、時計回りに旋回する場合と反時計回りに旋回する場合を合わせて２ｍ個設定された、旋回開始点の候補点について、旋回終了点と旋回開始点とを滑らかに結ぶ軌跡を算出する。これは多項式をはじめ、公知の手法で実行されるので、ここでは詳細な説明は省略する。ステップＳ０１の処理が終了するとステップＳ０２に進む。
【0075】
ステップＳ０２においては、ステップＳ０１において取得した情報を基に、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ｎと、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１とを滑らかに結び最短の時間で移動可能な軌跡を算出するための多項式の係数を演算して取得する。ステップＳ０２の処理が終了するとステップＳ０３に進む。
【0076】
ステップＳ０３～ステップＳ０６の処理は、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１に対して、時計回りに旋回する場合と反時計回りに旋回する場合を合わせて２ｍ個設定された、旋回開始点の候補点について、並列に移動時間を演算するステップである。ここでは、代表してＳ０３－１～Ｓ０６－１のステップを例にとって説明するが、２ｍ個の候補点について同じ処理（ステップＳ０３－１～Ｓ０６－１、・・・・、ステップＳ０３－２ｍ～Ｓ０６－２ｍ）が並列に行われる。ステップＳ０３－１においては、移動時間の算出が開始される。
【0077】
より具体的には、ステップＳ０２で取得された係数を用いて、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ｎの旋回終了点とｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１における１番目の候補点とを滑らかに結び最短の時間で移動可能な曲線を算出し、移動時間を算出する。なお、本実施例においては、Ｘ線カメラ２０は各旋回運動において３６０度旋回するので、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ｎの旋回終了点は、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ｎの旋回開始点と同一である。ステップＳ０３－１の処理が終了すると、ステップ０４－１
に進む。
に進む。
【0078】
ステップＳ０４－１においては、ステップＳ０３－１において算出された移動時間で移動した場合に、Ｘ線カメラ２０の線速度及び軸速度のいずれかが許容速度を超えるか否かが判断される。また、Ｘ線カメラ２０に作用する加速度が許容加速度を超えるか否かと、Ｘ線カメラ２０の旋回運動と移動運動における運動範囲が許容移動範囲を超えるか否かが判定される。
【0079】
ここで、Ｘ線カメラ２０の線速度及び軸速度のいずれかが許容速度を超えるか、Ｘ線カメラ２０に作用する加速度が許容加速度を超えるか、または、Ｘ線カメラ２０の運動範囲が許容移動範囲を超えると判定された場合には、ステップＳ０５－１の処理に進む。これは、モータやボールねじの許容回転数を超えるか、Ｘ線カメラ２０が加速度に耐えられず劣化するか、Ｘ線カメラ２０がＸ線検査装置１内の部材に衝突する虞があると判断されるからである。
【0080】
一方、ステップＳ０４－１において、Ｘ線カメラ２０の線速度及び軸速度のいずれかが許容速度を超えず、且つＸ線カメラ２０に作用する加速度が許容加速度を超えず、且つ、Ｘ線カメラ２０の運動範囲が許容移動範囲を超えないと判定された場合には、ステップＳ０６－１に進む。
【0081】
ステップＳ０５－１においては、算出された移動時間の値が収束するまで移動時間の演算を再演算する。より具体的には、Ｘ線カメラ２０の速度、Ｘ線カメラ２０に作用する加速度が低くなり、または、Ｘ線カメラ２０の運動範囲が狭くなるように曲線の数学パラメータを変更の後、再度ステップＳ０３－１処理に戻る。そして、ステップＳ０３－１～ステップＳ０５－１のルーチンを、ステップＳ０４－１において、Ｘ線カメラ２０の線速度及び軸速度のいずれかが許容速度を超えず、且つＸ線カメラ２０に作用する加速度が許容加速度を超えず、且つＸ線カメラ２０の運動範囲が許容移動範囲を超えないと判定されるまで繰り返し実行する。
【0082】
ステップＳ０４－１において、Ｘ線カメラ２０の線速度及び軸速度のいずれかが許容速度を超えず、且つＸ線カメラ２０に作用する加速度が許容加速度を超えず、且つ、Ｘ線カメラ２０の運動範囲が許容移動範囲を超えないと判定された場合には、ステップＳ０６－１に進む。ここで、許容速度とは、モータやボールねじの許容回転数を超えない閾値として予め定められた速度値である。許容加速度とは、Ｘ線カメラ２０に作用してもＸ線カメラが劣化しない閾値として予め定められた加速度値である。許容移動範囲とは、Ｘ線カメラ２０が装置内の他部材に衝突等しない運動範囲の閾値として予め定められた運動範囲である。
【0083】
ステップＳ０６－１においては、移動時間の算出が完了する。より詳細には、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ｎの旋回終了点とｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１における１番目の候補点とを滑らかに結び最短の時間で移動可能な曲線と、その移動時間が算出される。ステップＳ０６－１の処理（及び、他の候補点についての同等のステップＳ０６－２～ステップＳ０６－２ｍ）が終了すると、図７に記載したステップＳ０７に進む。
【0084】
次に、ステップＳ０７においては、最短移動かつ許容値を超えない時間候補が選定される。より具体的には、ステップＳ０６－１～Ｓ０６－２ｍにおいて算出された移動時間のうち、最短の移動時間を選定し、当該移動時間に対応する候補点を選定する。Ｓ０７の処理が終了すると、図８に記載されたように、選定された情報が制御部１００に渡される。
【0085】
図８のステップＳ１１においては、制御部１００が、ステップＳ０７で算出された移動時間を受取る。また、ステップＳ１２においては、Ｘ線カメラ２０を移動する位置座標（旋回開始点）、旋回速度、旋回中心、旋回半径など、Ｘ線源１０及びＸ線カメラ２０の移動運動に必要な情報を受取る。ステップＳ１１及びステップＳ１２の処理が終了するとステップＳ１３に進む。
【0086】
ステップＳ１３においては、次の移動先である旋回開始点への移動の軌跡を算出する。ここでは、Ｓ１１で受取った移動時間に対応する移動の軌跡を再度算出する。ステップＳ１３の処理が終了するとステップＳ１４に進む。ステップＳ１４においては、Ｘ線カメラ２０及びＸ線源１０が、次の旋回開始点への軌跡に沿って移動するための出力を、Ｘ線源１０及びＸ線カメラ２０の運動を制御するＸＹステージの駆動モータ（不図示）に出力する。なお、ステップＳ１１～ステップＳ１４までの処理は制御部１００において実行される。
【0087】
図７の説明に戻る。ステップＳ０７において、最短移動で且つ、許容値を超えない時間候補が選定された後には、図８のステップＳ１１に進むのと並行してステップＳ０８に進む。ステップＳ０８においては、算出された移動時間が、Ｘ線源１０の昇圧時間以上か否かが判定される。ここで、肯定判定された場合には、Ｘ線源１０からのＸ線照射をＯＦＦすることが可能と判断されるのでステップＳ０９の処理に進む。一方、ステップＳ０８において否定判定された場合には、Ｘ線源１０からのＸ線照射をＯＦＦしてしまうと、ｎ＋１回目の旋回運動において、最初からＸ線画像の撮影を行うことが不可能で待ち時間が発生してしまうと判断されるので、ステップＳ１０に進む。
【0088】
ステップＳ０９の処理においては、Ｘ線源１０からのＸ線照射がＯＦＦされる、ステップＳ０９の処理が終了すると、図９に示す、ステップＳ１６に進む。一方、ステップＳ１０の処理においては、Ｘ線源１０からのＸ線照射のＯＮ状態が継続される。ステップＳ１０の処理が終了すると、図９に示す、ステップＳ１７に進む。
【0089】
図９におけるステップＳ１６からステップＳ１９の処理は、Ｘ線源制御部１０５において実行される。ステップＳ１６においては、演算部１１１から受け取った、Ｘ線源１０からのＸ線照射のＯＦＦ命令が実行される。そして、ステップＳ１８に進み、実際にＸ線源１０からのＸ線照射がＯＦＦされる。ステップＳ１７の処理においては、演算部１１１から受け取った、Ｘ線源１０からのＸ線照射のＯＮ状態維持の命令が実行される。そして、ステップＳ１９に進み、実際にＸ線源１０からのＸ線照射のＯＮ状態が維持される。ステップＳ１８またはステップＳ１９の処理が終了すると、本フローが一旦、終了する。
【0090】
以上のように、本実施例においては、ｎ回目の旋回運動からｎ＋１回目の旋回運動に移行する際の移動運動の軌跡を、ｎ回目の旋回運動の旋回円とｎ＋１回目の旋回運動の旋回円とを、旋回終了点と旋回開始点において滑らかに結び最短の時間で移動可能な曲線とした。そして、本実施例では、このことに加えて、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回開始点を、０度位置や１８０度位置に固定するのではなく、ｎ回目の旋回運動からｎ＋１回目の旋回運動に移行する際の移動時間が最短になるように定めた。
【0091】
このことにより、Ｘ線源１０及びＸ線カメラ２０の移動運動に係る移動時間を、より確実に短くすることができ、検査時間の短縮を図ることが可能である。また、このことにより、Ｘ線源１０及びＸ線カメラ２０の移動運動に係る移動時間をリアルタイムに算出することができ、移動時間がＸ線源１０の昇圧時間以上か否かの判断を正確に行うことができる。そして、本実施例では、移動時間がＸ線源１０の昇圧時間以上である場合に、Ｘ線源１０からのＸ線照射をＯＦＦすることとした。これにより、検査対象ＳとＸ線検査装置１の装置内部材の被曝量を低減することが可能となる。
【0092】
図１０には、本実施例における被曝量低減の効果について示す。上述のステップＳ０８～ステップＳ１０、ステップＳ１６～ステップＳ１９の処理を実行しない場合であっても、ステップＳ０１～ステップＳ０７、ステップＳ１１～ステップＳ１４の処理による、旋回部の移動時間の短縮効果に基づいて、検査対象ＳとＸ線検査装置１の装置内部材の被曝量の低減効果が得られる。これは、図１０に図示すように９％程度の低減に留まる。これに対し、本実施例における低被曝制御を行った場合には、検査対象ＳとＸ線検査装置１の装置内部材の被曝量の低減効果は１３％程度であった。また、将来、Ｘ線源１０の高速昇圧が可能となり、昇圧時間が略零になった場合には、２１％程度の被曝量の低減効果が見込める。
【0093】
なお、上記の実施例では、Ｘ線源１０からのＸ線照射を停止またはＸ線照射量を低減するために、Ｘ線源１０の管電流または管電圧の少なくとも一方をＯＦＦまたは低減する例について説明したが、例えば、Ｘ線源１０のＸ線照射口をシャッター等によって機構的に遮蔽することとしてもよい。これによれば、Ｘ線源１０の昇圧時間を考慮する必要がなくなる。その結果、上述したように将来、Ｘ線源１０の高速昇圧が可能となり、昇圧時間が略零になった場合と同様、２１％程度の被曝量の低減効果を見込むことが可能である。
【0094】
なお、本ルーチンにおいては、ステップＳ０４－１（～ステップＳ０４－２ｍ）において、速度（線速度及び軸速度のいずれか）、加速度、移動位置の全てが許容値を超えないと判定されるまで、ステップＳ０３－１（～ステップＳ０３－２ｍ）において、旋回終了点と旋回開始点とを滑らかに結び最短で移動可能な軌跡と移動時間とが算出された。しかしながら、速度（線速度及び軸速度のいずれか）、加速度、移動位置のうちのいずれかが許容値を超えないと判定されるまで、旋回終了点と旋回開始点とを滑らかに結び最短で移動可能な軌跡と移動時間とが算出されるようなフローとしても構わない。
【0095】
上記の実施例においては、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１における旋回開始点の候補点を、時計回りの場合と反時計回りの場合を合せて２ｍ個設定した。しかしながら、候補点の数はこれに限られない。候補点の数は、並列演算の負荷と、移動時間を最短とする旋回開始点の精度とを、比較考量して決定すればよい。
【0096】
〔実施例３〕
次に、本発明の実施例３について示す。本実施例においては、ｎ回目の旋回運動の旋回終了点とｎ＋１回目の旋回運動の旋回開始点とを上記の実施例２とは異なる方法で決定する。図１１に示すように、本実施例では、例えば、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ｎの旋回終了点を算出する際には、旋回円１２２ｎにおいて、一つ前のｎ－１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ－１と旋回円１２２ｎの中心を結んだ直線と旋回円１２２ｎとの交点を求める。また、旋回円１２２ｎと一つ後の旋回円１２２ｎ＋１の中心を結んだ直線と旋回円１２２ｎとの交点を求める。そして、それらの２つの交点で挟まれる円弧のうちの短い方の円弧の中央の点Ｐｎを、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ｎの旋回終了点とする。
次に、本発明の実施例３について示す。本実施例においては、ｎ回目の旋回運動の旋回終了点とｎ＋１回目の旋回運動の旋回開始点とを上記の実施例２とは異なる方法で決定する。図１１に示すように、本実施例では、例えば、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ｎの旋回終了点を算出する際には、旋回円１２２ｎにおいて、一つ前のｎ－１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ－１と旋回円１２２ｎの中心を結んだ直線と旋回円１２２ｎとの交点を求める。また、旋回円１２２ｎと一つ後の旋回円１２２ｎ＋１の中心を結んだ直線と旋回円１２２ｎとの交点を求める。そして、それらの２つの交点で挟まれる円弧のうちの短い方の円弧の中央の点Ｐｎを、ｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ｎの旋回終了点とする。
【0097】
また、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１の旋回開始点を算出する際には、旋回円１２２ｎ＋１において、一つ前のｎ回目の旋回運動の旋回円１２２ｎと旋回円１２２ｎ＋１の中心を結んだ直線と旋回円１２２ｎ＋１との交点を求める。また、旋回円１２２ｎ＋１と一つ後の旋回円１２２ｎ＋２の中心を結んだ直線と旋回円１２２ｎ＋１との交点を求める。そして、それらの２つの交点で挟まれる円弧のうち短い方の円弧の中央の点Ｐｎ＋１を、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回円１２２ｎ＋１の旋回開始点とする。そして、ＰｎとＰｎ＋１とを滑らかに結ぶ曲線１２３ｎで結ぶ。
【0098】
なお、例えば旋回円が横一列に並ぶような場合のように、図１１に示す比較例に係る手
法によっては、２つの交点で挟まれる円弧のうちの短い方の円弧が特定できない場合がある。よって、比較例においては、このような場合には、旋回運動における旋回終了点と旋回開始点とを、所定の角度位置に設定しなければならない。この場合、例えば、ｎ回目の旋回運動の旋回円における旋回終了点を反時計回りに９０度ずらし、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回開始点を時計回りに９０度ずらす処理を行う。
法によっては、２つの交点で挟まれる円弧のうちの短い方の円弧が特定できない場合がある。よって、比較例においては、このような場合には、旋回運動における旋回終了点と旋回開始点とを、所定の角度位置に設定しなければならない。この場合、例えば、ｎ回目の旋回運動の旋回円における旋回終了点を反時計回りに９０度ずらし、ｎ＋１回目の旋回運動の旋回開始点を時計回りに９０度ずらす処理を行う。
【0099】
このことで、旋回運動における旋回終了点と旋回開始点が算出できないという事態を回避する。このような方法で、次の旋回運動における旋回開始点を求める場合であって、特定移動軌跡を、例えば、ｎ回目の旋回運動の旋回終了点とｎ＋１回目の旋回開始点の間の移動時間を最短にするように決定した場合は、実施例１の場合と同様、旋回部の移動運動を時間基準で管理することが可能である。このような場合に対しても、本実施例における低被曝制御を適用することが可能である。また、本変形例に限らず、旋回部の移動運動を時間基準で管理する場合には、本実施例の低被曝化制御を適用することが可能である。
【0100】
図１２には、本実施例におけるＸ線検査装置１１における、Ｘ線カメラ２０、被検査対象Ｓ、Ｘ線源１０の配置の例を示す。図１２（ａ）に示すのは、Ｘ線カメラ２０が検査対象Ｓの上側、Ｘ線源１０が検査対象Ｓの下側に配置される例、図１２（ｂ）に示すのは、Ｘ線源１０が検査対象Ｓの上側、Ｘ線カメラ２０が検査対象Ｓの下側に配置される例である。いずれの場合においても、Ｘ線源１０が固定され、Ｘ線カメラ２０及び検査対象Ｓが旋回運動を行う。
【0101】
なお、以下には本発明の構成要件と実施例の構成とを対比可能とするために、本開示の構成要件を図面の符号付きで付記しておく。
＜付記１＞
検査対象に照射するＸ線を発生するＸ線源（１０）と、
前記Ｘ線源（１０）からのＸ線の照射を制御するＸ線源制御部と、
前記Ｘ線源（１０）から前記検査対象に照射されたＸ線によるＸ線画像を撮影するＸ線カメラ（２０）と、
前記検査対象を保持する保持部（４０）と、を備え、
前記Ｘ線源（１０）と、前記Ｘ線カメラ（２０）と、前記保持部（４０）のうちのいずれかが、旋回部（１０、２０、４０）として旋回運動することで、撮影方向を変更しつつ前記Ｘ線画像を撮影して、前記検査対象の３次元画像を取得して検査するＸ線検査装置であって、
前記旋回部（１０、２０、４０）は、複数の場所において順次旋回運動するとともに、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点へ移動するための移動運動を行い、
前記旋回部（１０、２０、４０）が、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点までを、所定時間で移動するように、前記次の旋回運動の旋回開始点及び、前記一の旋回運動の旋回終了点と前記次の旋回運動の旋回開始点とを結ぶ特定移動軌跡を決定する軌跡算出部を（１１１ｂ）さらに備え、
前記Ｘ線源制御部（１０５）は、前記所定時間の中の少なくとも一部の時間において、前記Ｘ線源（１０）からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、Ｘ線検査装置（１）。
＜付記９＞
検査対象に照射するＸ線を発生するＸ線源（１０）と、
前記Ｘ線源（１０）からのＸ線の照射を制御するＸ線源制御部と、
前記Ｘ線源（１０）から前記検査対象に照射されたＸ線によるＸ線画像を撮影するＸ線カメラ（２０）と、
前記検査対象を保持する保持部（４０）と、を備え、
前記Ｘ線源（１０）と、前記Ｘ線カメラ（２０）と、前記保持部（４０）のうちのいず
れかが、旋回部（１０、２０、４０）として旋回運動することで、撮影方向を変更しつつ前記Ｘ線画像を撮影して、前記検査対象の３次元画像を取得して検査するＸ線検査装置を用いたＸ線検査方法であって、
前記旋回部（１０、２０、４０）は、複数の場所において順次旋回運動するとともに、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点へ移動するための移動運動を行い、
前記旋回部（１０、２０、４０）が、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点までを、所定時間で移動可能なように、前記次の旋回運動の旋回開始点及び、前記一の旋回運動の旋回終了点と前記次の旋回運動の旋回開始点とを結ぶ特定移動軌跡を決定し、
前記所定時間の中の少なくとも一部の時間において、前記Ｘ線源（１０）からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、Ｘ線検査方法。
＜付記１＞
検査対象に照射するＸ線を発生するＸ線源（１０）と、
前記Ｘ線源（１０）からのＸ線の照射を制御するＸ線源制御部と、
前記Ｘ線源（１０）から前記検査対象に照射されたＸ線によるＸ線画像を撮影するＸ線カメラ（２０）と、
前記検査対象を保持する保持部（４０）と、を備え、
前記Ｘ線源（１０）と、前記Ｘ線カメラ（２０）と、前記保持部（４０）のうちのいずれかが、旋回部（１０、２０、４０）として旋回運動することで、撮影方向を変更しつつ前記Ｘ線画像を撮影して、前記検査対象の３次元画像を取得して検査するＸ線検査装置であって、
前記旋回部（１０、２０、４０）は、複数の場所において順次旋回運動するとともに、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点へ移動するための移動運動を行い、
前記旋回部（１０、２０、４０）が、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点までを、所定時間で移動するように、前記次の旋回運動の旋回開始点及び、前記一の旋回運動の旋回終了点と前記次の旋回運動の旋回開始点とを結ぶ特定移動軌跡を決定する軌跡算出部を（１１１ｂ）さらに備え、
前記Ｘ線源制御部（１０５）は、前記所定時間の中の少なくとも一部の時間において、前記Ｘ線源（１０）からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、Ｘ線検査装置（１）。
＜付記９＞
検査対象に照射するＸ線を発生するＸ線源（１０）と、
前記Ｘ線源（１０）からのＸ線の照射を制御するＸ線源制御部と、
前記Ｘ線源（１０）から前記検査対象に照射されたＸ線によるＸ線画像を撮影するＸ線カメラ（２０）と、
前記検査対象を保持する保持部（４０）と、を備え、
前記Ｘ線源（１０）と、前記Ｘ線カメラ（２０）と、前記保持部（４０）のうちのいず
れかが、旋回部（１０、２０、４０）として旋回運動することで、撮影方向を変更しつつ前記Ｘ線画像を撮影して、前記検査対象の３次元画像を取得して検査するＸ線検査装置を用いたＸ線検査方法であって、
前記旋回部（１０、２０、４０）は、複数の場所において順次旋回運動するとともに、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点へ移動するための移動運動を行い、
前記旋回部（１０、２０、４０）が、一の旋回運動の旋回終了点から次の旋回運動の旋回開始点までを、所定時間で移動可能なように、前記次の旋回運動の旋回開始点及び、前記一の旋回運動の旋回終了点と前記次の旋回運動の旋回開始点とを結ぶ特定移動軌跡を決定し、
前記所定時間の中の少なくとも一部の時間において、前記Ｘ線源（１０）からのＸ線の照射を停止し、または照射量を低減することを特徴とする、Ｘ線検査方法。
【符号の説明】
【0102】
１、１１・・・Ｘ線検査装置
１０・・・Ｘ線源
２０・・・Ｘ線カメラ
４０・・・保持部
１００・・・制御部
１１１・・・演算部
１１１ｂ・・・軌跡算出部
１２１・・・Ｘ線源旋回運動旋回円
１２２・・・Ｘ線カメラ旋回運動旋回円
１２３・・・移動運動軌跡
Ｓ・・・検査対象（基板）
１０・・・Ｘ線源
２０・・・Ｘ線カメラ
４０・・・保持部
１００・・・制御部
１１１・・・演算部
１１１ｂ・・・軌跡算出部
１２１・・・Ｘ線源旋回運動旋回円
１２２・・・Ｘ線カメラ旋回運動旋回円
１２３・・・移動運動軌跡
Ｓ・・・検査対象（基板）
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】