特開 2022-142237 受光素子及び測定装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022142237

(43)【公開日】2022-09-30

(54)【発明の名称】受光素子及び測定装置

(51)【国際特許分類】

   G01S 7/481 20060101AFI20220922BHJP

【ＦＩ】

G01S7/481 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021042343

(22)【出願日】2021-03-16

(71)【出願人】

【識別番号】000001133

【氏名又は名称】株式会社小糸製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110000176

【氏名又は名称】一色国際特許業務法人

(72)【発明者】

【氏名】井上 宙

【テーマコード（参考）】

5J084

【Ｆターム（参考）】

5J084AA05

5J084AC02

5J084AD01

5J084BA04

5J084BA05

5J084BA36

5J084BA38

5J084BB02

5J084BB04

5J084CA03

5J084CA31

5J084CA49

5J084DA01

5J084DA08

5J084EA07

5J084EA31

(57)【要約】

【課題】歪んだ集光スポットを受光可能な受光素子を提供すること。
【解決手段】本開示に係る受光素子は、第１受光窓に照射された光を検出する第１受光部と、第２受光窓に照射された光を検出する第２受光部とを備え、前記第２受光窓は、前記第１受光窓の周囲に設けられていることを特徴とする。
【選択図】図６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１受光窓に照射された光を検出する第１受光部と、
第２受光窓に照射された光を検出する第２受光部と
を備え、
前記第２受光窓は、前記第１受光窓の周囲に設けられていることを特徴とする受光素子。

【請求項2】

請求項１に記載の受光素子であって、
前記第２受光部は、前記第１受光部よりも感度が高いことを特徴とする受光素子。

【請求項3】

請求項１又は２に記載の受光素子であって、
前記第１受光窓は、前記第２受光窓よりも大きいことを特徴とする受光素子。

【請求項4】

請求項１～３のいずれかに記載の受光素子であって、
前記第２受光部を複数備え、
複数の前記第２受光窓が前記第１受光窓の周囲に設けられていることを特徴とする受光素子。

【請求項5】

請求項４に記載の受光素子であって、
複数の前記第２受光窓が前記第１受光窓を挟むように配置されていることを特徴とする受光素子。

【請求項6】

請求項４又は５に記載の受光素子であって、
矩形状の受光面の対角線上に前記第１受光窓及び複数の前記第２受光窓が配置されていることを特徴とする受光素子。

【請求項7】

請求項１～６のいずれかに記載の受光素子であって、
前記第１受光部の電流に前記第２受光部の電流を加えた電流を出力する信号線を有することを特徴とする受光素子。

【請求項8】

対象物に光を照射する発光素子と、
光学系と、
前記光学系を介して前記対象物からの反射光を受光する受光素子と、
を備え、
前記受光素子は、
第１受光窓に照射された光を検出する第１受光部と、
第２受光窓に照射された光を検出する第２受光部と
を備え、
前記第２受光窓は、前記第１受光窓の周囲に設けられていることを特徴とする測定装置。

【請求項9】

請求項８に記載の測定装置であって、
第１受光素子及び第２受光素子を含む複数の前記受光素子を備えており、
前記光学系の光軸に対する前記第１受光素子の位置と、前記光軸に対する前記第２受光素子の位置とが異なっており、
前記第１受光素子の第１受光窓と前記第２受光窓の並ぶ方向と、前記第２受光素子の第１受光窓と前記第２受光窓の並ぶ方向とが異なることを特徴とする測定装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、受光素子及び測定装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ＬｉＤＡＲ（Light Detection and Ranging）などの距離測定システムでは、パルス状のレーザー光を投光してから反射光を受光するまでの時間を計測することによって、対象物までの距離を測定するＴＯＦ方式（Time of flight）が知られている。また、ＬｉＤＡＲなどの距離測定システムでは、レーザー光を走査させて広い範囲で計測することも行われている。例えば特許文献１には、レーザー光を２次元走査させる距離測定システムが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特表２０２１－５００５５４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ＬｉＤＡＲなどの距離測定システムを車両に搭載する場合には、距離測定システムを構成する発光素子、受光素子及び光学系などを狭い空間に配置する必要がある。また、１つの光学系に対して複数の受光素子を配置する場合には、光学系の光軸に対して受光素子をずらして配置する必要がある。この結果、受光素子の受光面上において反射光の集光スポットの歪みが大きくなり、受光素子が反射光を正常に受光できないおそれがある。特に、近距離から遠距離までの幅広い範囲で測距可能に距離測定システムを構成しようとすると、少なくともいずれかの測定条件下で受光素子の受光面上における集光スポットの歪みが大きくなり、受光素子が反射光を正常に受光できないおそれがある（若しくは、全ての測定条件下で受光素子の受光窓に集光スポットが照射されるように光学系を構成しようとすると、光学系が大型化してしまい、距離測定システムの車載が困難になる）。

【0005】

本発明は、歪んだ集光スポットを受光可能な受光素子を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記目的を達成するための本発明の一つは、第１受光窓に照射された光を検出する第１受光部と、第２受光窓に照射された光を検出する第２受光部とを備え、前記第２受光窓は、前記第１受光窓の周囲に設けられていることを特徴とする受光素子である。

【0007】

その他、本願が開示する課題、及びその解決方法は、発明を実施するための形態の欄、及び図面により明らかにされる。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、歪んだ集光スポットを受光素子が受光可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】図１は、測定装置の一例の説明図である。

【図2】図２は、Ｘ方向から見た実装基板５の説明図である。

【図3】図３Ａは、２次元走査の説明図である。図３Ｂは、或るフレームにおける２次元走査の説明図である。図３Ｃは、複数チャンネルによる２次元走査の説明図である。

【図4】図４Ａは、比較例の受光素子２０を上から見た図である。図４Ｂは、受光素子の受光部の一例の断面図である。

【図5】図５Ａは、受光用光学系３２による集光の様子の説明図である。図５Ｂは、受光用光学系３２の光軸上の受光素子２０における受光窓２２と集光スポットの説明図である。図５Ｃは、受光用光学系３２の光軸から外れた位置の受光素子２０における受光窓２２と集光スポットの説明図である。

【図6】図６Ａは、本実施形態の受光素子の一例の説明図である。図６Ｂは、本実施形態の受光素子２０における受光窓２２（第１受光窓２２Ａ及び第２受光窓２２Ｂ）と集光スポットの説明図である。

【図7】図７Ａ及び図７Ｂは、受光素子２０の出力信号の説明図である。

【図8】図８Ａは、本実施形態の受光素子を用いた光検出装置の一例の説明図である。図８Ｂは、光検出装置の別の一例の説明図である。

【図9】図９は、変形例の受光素子を用いた光検出装置の一例の説明図である。

【図10】図１０Ａ～図１０Ｆは、第１受光窓２２Ａ及び第２受光窓２２Ｂの例の説明図である。

【図11】図１１Ａ～図１１Ｄは、第１受光窓２２Ａ及び第２受光窓２２Ｂの別の例の説明図である。

【図12】図１２は、受光素子アレイの一例の説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明する。なお、以下の説明において、同一の又は類似する構成について共通の符号を付して重複した説明を省略することがある。

【0011】

＜測定装置について＞
図１は、測定装置の一例の説明図である。

【0012】

以下の説明では、図１に示すように各方向を定めている。受光用光学系３２（若しくは投光用光学系３１）の光軸（レンズの回転対称軸）に沿った方向をＺ方向とする。なお、測定装置１の測定対象となる対象物９０は、測定装置１に対してＺ方向に離れていることになる。また、Ｚ方向に垂直な方向であって、投光用光学系３１と受光用光学系３２の並ぶ方向をＸ方向とする。また、Ｚ方向及びＸ方向に垂直な方向をＹ方向とする。

【0013】

測定装置１は、対象物９０の表面を測定するための装置である。具体的には、測定装置１は、発光素子１０からレーザー光（図１のＴｘ）を射出し、対象物９０の表面で反射した反射光（図１のＲｘ）を受光素子２０によって検出し、検出結果に基づいて、対象物９０までの距離を算出する装置である。測定装置１は、発光素子１０と、受光素子２０と、光学系３０と、コントローラー４０とを備える。また、測定装置１は、複数の発光素子１０と複数の受光素子２０を有する実装基板５と、駆動装置４５を備えている。

【0014】

発光素子１０は、電気信号を光信号に変換する素子である。例えば、発光素子１０は、ＬＤチップ（ＬＤ：Laser Diode）であり、レーザー光を射出する。本実施形態では、発光素子１０は、対象物９０の表面に向かってパルス光（図１のＴｘ）を射出する。本実施形態の発光素子１０は、端面発光半導体レーザーで構成されており、実装基板５に表面実装されており、基板面に平行にレーザー光を射出する。なお、発光素子１０は、端面発光半導体レーザーに限られるものではなく、実装基板５への実装方法もこれに限られるものではない。

【0015】

受光素子２０は、光信号を電気信号に変換する素子である。例えば、受光素子２０は、ＰＤチップ（Photodiode）である。受光素子２０の詳しい構成については後述する。受光素子２０は、受光面に反射光が入射されるように、実装基板５の基板面に対して受光面を立てた状態で実装されている。なお、受光素子２０の実装方法はこれに限られるものではない。

【0016】

光学系３０は、発光素子１０から出力される光を対象物９０に向かって照射するとともに、対象物９０からの反射光を受光素子２０に受光させるための光学系である。発光素子１０と受光素子２０は、光学系３０に対して共役の位置に配置されている。本実施形態の光学系３０は、投光用光学系３１と、受光用光学系３２とを有する。

【0017】

投光用光学系３１は、発光素子１０から出力される光を対象物９０に向かって照射するための光学系である。投光用光学系３１の焦点面内に発光素子１０が配置されている。投光用光学系３１は、発光素子１０から射出されたレーザー光をコリメート光として対象物９０に照射する。発光素子１０と投光用光学系３１との位置関係に応じた所定の方向（所定の角度）にコリメート光が照射されることになる。発光素子１０は投光用光学系３１を介して対象物９０に光を照射することになる。投光用光学系３１は、複数枚（例えば５～７枚）のレンズで構成されたレンズ群によってそれぞれ構成されている（図１では、投光用光学系３１のレンズ群が簡易的に示されている）。

【0018】

受光用光学系３２は、対象物９０からの反射光を受光素子２０に受光させるための光学系である。受光用光学系３２の焦点面内に受光素子２０の受光面が配置されている。受光用光学系３２は、対象物９０の反射光を所定の受光素子２０の受光面に集光する。受光素子２０は受光用光学系３２を介して対象物９０からの反射光を受光することになる。受光用光学系３２も、投光用光学系３１と同様に、複数枚（例えば５～７枚）のレンズで構成されたレンズ群によってそれぞれ構成されている（図１では、受光用光学系３２のレンズ群が簡易的に示されている）。

【0019】

投光用光学系３１と受光用光学系３２は、一体的に構成されており、互いの位置関係が固定されている。具体的には、投光用光学系３１を構成する投光用鏡筒と、受光用光学系３２を構成する受光用鏡筒とが共通の光学用フレーム３３に固定されている。

【0020】

コントローラー４０は、測定装置１の制御を司る制御部である。コントローラー４０は、発光素子１０からのレーザー光の射出を制御する。また、コントローラー４０は、受光素子２０の出力信号に基づいて、対象物９０までの距離を算出する。具体的には、コントローラー４０は、発光素子１０からパルス状のレーザー光を投光してから、受光素子２０が反射光を受光するまでの時間を計測することによって、対象物９０までの距離を測定する。すなわち、コントローラー４０は、発光素子１０及び受光素子２０を制御することによって、ＴＯＦ方式（Time of flight）により対象物９０までの距離を測定する（対象物９０の表面のＺ座標を測定する）。また、所定の方向にレーザー光が照射され、所定の方向の反射光を受光することを利用して、コントローラー４０は、ＸＹ方向に走査しながら対象物９０の表面のＺ座標を測定することによって、対象物９０の表面のＸ，Ｙ，Ｚ座標を測定可能である。

【0021】

コントローラー４０は、演算装置４１と、記憶装置４２とを有する。演算装置４１は、例えばＣＰＵ、ＧＰＵなどの演算処理装置である。記憶装置４２は、主記憶装置と補助記憶装置とにより構成され、プログラムやデータを記憶する装置である。記憶装置４２に記憶されているプログラムを演算装置４１が実行することにより、演算装置４１は、発光素子１０からのレーザー光の射出を制御するとともに、受光素子２０の出力信号に基づいて、対象物９０までの距離を算出することになる。また、演算装置４１は、受光素子２０の出力信号に基づいて、対象物９０の表面のＸ，Ｙ，Ｚ座標を算出することになる。演算装置４１は、取得した座標データを記憶装置４２に記憶しても良いし、外部の記憶装置に記憶しても良い。対象物９０の表面上の多数の点のＸ，Ｙ，Ｚ座標のデータは、対象物９０の表面の３次元画像（点群：点クラウド）を示すデータとなる。演算装置４１は、記憶装置４２に記憶されているプログラムを演算装置４１が実行することにより、記憶装置４２に記憶された３次元画像に基づいて、対象物９０の解析を行っても良い。

【0022】

実装基板５は、複数の発光素子１０と、複数の受光素子２０とを実装した基板である。或る受光素子２０は特定の発光素子１０に対応付けられており、或る受光素子２０の検出位置は、特定の発光素子１０の発光位置と共役である。本実施形態では、発光素子１０と受光素子２０との対が複数あり、複数のチャンネルで対象物９０の表面を測定可能である。なお、発光素子１０は、実装基板５の基板面に平行にレーザー光を射出し、受光素子２０は、実装基板５の基板面にほぼ平行な方向から入射する光（反射光）を受光する。

【0023】

図１に示すように、実装基板５は、５個の発光素子１０と、５個の受光素子２０とを有する。但し、発光素子１０や受光素子２０の数は、これに限られるものではない。実装基板５には、複数の発光素子１０がＸ方向の異なる位置に配置されている。また、実装基板５には、複数の受光素子２０がＸ方向の異なる位置に配置されている。

【0024】

図１に示すように、実装基板５には、発光側湾曲部６と、受光側湾曲部７とが設けられている。
発光側湾曲部６は、円弧状の縁を有する部位である。発光側湾曲部６は、投光用光学系３１の像面湾曲に沿うように複数の発光素子１０を配置するための部位である。発光側湾曲部６の円弧状の縁に沿って複数の発光素子１０が配置されている。これにより、それぞれの発光素子１０は、投光用光学系３１に対して、適切な位置及び角度に配置され、投光用光学系３１の像面湾曲の影響を軽減できる。
受光側湾曲部７は、円弧状の縁を有する部位であり、発光側湾曲部６とはＸ方向の異なる位置に設けられている。受光側湾曲部７は、受光用光学系３２の像面湾曲に沿うように複数の受光素子２０を配置するための部位である。受光側湾曲部７の円弧状の縁に沿って、複数の受光素子２０が配置されている。これにより、それぞれの受光素子２０は、受光用光学系３２に対して、適切な位置及び角度に配置され、受光用光学系３２の像面湾曲の影響を軽減できる。
但し、実装基板５に発光側湾曲部６や受光側湾曲部７が設けられていなくても良い。この場合、実装基板５のＺ方向に垂直な縁に沿って、複数の発光素子１０や複数の受光素子２０が配列されることになる。

【0025】

図２は、Ｘ方向から見た実装基板５の説明図である。ここでは説明のため、実装基板５の発光側湾曲部６や受光側湾曲部７を省略し、実装基板５のＸ方向に平行な縁に沿って発光素子１０及び受光素子２０が配置されているものとする。なお、ここでは説明のため、実装基板５の傾きが強調されて図示されている。

【0026】

図２に示すように、測定装置１は、複数枚の実装基板５（ここでは３枚の実装基板５）を有している。複数枚の実装基板５は、Ｙ方向の異なる位置に配置されている。各実装基板５には、図１に示すように、Ｘ方向の異なる位置に複数（ここでは５個）の発光素子１０及び複数の受光素子２０が配置されている。このため、Ｘ方向及びＹ方向に複数（ここでは１５個）の発光素子１０を配列させた発光素子アレイが構成されるとともに、Ｘ方向及びＹ方向に複数の受光素子２０を配列させた受光素子アレイが構成される。ここでは、５×３の１５チャンネル（Ｘ方向に５チャンネル、Ｙ方向に３チャンネル）で対象物９０の表面を測定することになる。

【0027】

複数枚の実装基板５は、Ｚ方向に対して異なる角度で配置されている。具体的には、図２に示すように、各実装基板５の発光素子１０が投光用光学系３１を向くように、また、各実装基板５の受光素子２０の受光面が受光用光学系３２を向くように、それぞれの実装基板５が、Ｚ方向に対して異なる角度で配置されている。これにより、発光素子１０及び受光素子２０が光学系３０に対してそれぞれ適切な位置及び角度に配置されるため、光学系３０の像面湾曲の影響を軽減できる。各実装基板５の発光素子１０は、その実装基板５の基板面に平行にレーザー光を射出するように配置されている。また、各実装基板５の受光素子２０は、その実装基板５の基板面にほぼ平行な方向から入射する光（反射光）を受光するように配置されている。複数（ここでは５個）の発光素子１０及び複数（ここでは５個）の受光素子２０が同じ基板に実装されているため、また、投光用光学系３１と受光用光学系３２がそれぞれ別に設けられているため、実装基板５をＺ方向（光学系３０の光軸の方向）に対して傾けても、それぞれの発光素子１０と受光素子２０とを光学系３０に対して共役の位置関係に維持することができる。なお、本実施形態のように実装基板５に発光側湾曲部６及び受光側湾曲部７が設けられていれば、実装基板５を傾けても、投光用光学系３１の像面湾曲に沿うように複数の発行素子を配置させ易く、また、受光用光学系３２の像面湾曲に沿うように複数の受光素子２０を配置させ易い。

【0028】

なお、複数の実装基板５をＺ方向に平行に配置し、互いに平行に配置しても良い。但し、仮に各実装基板５を互いに平行に配置した場合には、実装基板５ごとに、発光素子１０及び受光素子２０が光学系３０に対して適切な位置及び角度になるように、実装基板５に対する発光素子１０及び受光素子２０の位置及び角度を異ならせる必要がある。これに対し、本実施形態では、実装基板５の傾きを異ならせるため、いずれの実装基板５においても、発光素子１０が実装基板５に平行にレーザー光を射出し、受光素子２０が実装基板５にほぼ平行な方向から入射する光（反射光）を受光するように構成することができる。このため、本実施形態では、複数の発光素子１０及び複数の受光素子２０を、Ｘ方向及びＹ方向の異なる位置に、簡易な構成で、光学系３０に対して適切な位置及び角度に配置できる。

【0029】

複数（ここでは３枚）の実装基板５は、一体的に固定されており、互いの位置関係が固定されている。具体的には、複数の実装基板５は、共通の基板用フレーム８に固定されている。但し、複数の発光素子１０及び複数の受光素子２０の位置関係を固定できれば、他の方法で複数の発光素子１０及び複数の受光素子２０の位置関係を固定しても良い。また、測定装置１が複数の実装基板５を備えていなくても良い。

【0030】

駆動装置４５（図１参照）は、光学系３０と実装基板５（発光素子１０及び受光素子２０）とをＸＹ方向に相対移動させる装置である。駆動装置４５が光学系３０と実装基板５とをＸＹ方向に相対移動させることによって、光学系３０に対する発光素子１０の位置関係を変化させ、レーザー光の照射される角度を変化させ、これにより、レーザー光を走査させることができる。

【0031】

駆動装置４５は、光学系３０と実装基板５の少なくとも一方（光学系３０と実装基板５の一方、又は光学系３０と実装基板５の両方）を移動させることになる。なお、駆動装置４５は、光学系３０を実装基板５に対してＸＹ方向に移動させても良いし、実装基板５に対して光学系３０をＸＹ方向に移動させても良いし、光学系３０をＸ方向（又はＹ方向）に移動させつつ実装基板５をＹ方向（又はＸ方向）に移動させても良い。本実施形態では、光学用フレーム３３と基板用フレーム８の少なくとも一方がＸ方向及びＹ方向にそれぞれ所定の共振周波数で筐体３に支持されており、駆動装置４５は、光学系３０と実装基板５の少なくとも一方をＸ方向及びＹ方向にそれぞれの共振周波数で振動させている。駆動装置４５は、例えばボイスコイルモータで構成されるが、これに限られるものではない（例えば圧電素子によって構成されても良い）。

【0032】

図３Ａは、２次元走査の説明図である。本実施形態では、光学系３０と実装基板５の少なくとも一方をＸ方向及びＹ方向にそれぞれの共振周波数で振動させることによって、光学系３０と実装基板５（発光素子１０又は受光素子２０）が図３Ａに示すようにリサージュ曲線に沿ってＸＹ方向に相対的に変位する。リサージュ曲線は、Ｘ＝Ａsin（ａｔ＋δ），Ｙ＝Ｂｓｉｎ（ｂｔ）のグラフとなる。ここで、ａ及びｂは、それぞれＸ方向及びＹ方向の周波数であり、ｔは時間であり、δは位相差である。既に説明した通り、光学用フレーム３３と基板用フレーム８の少なくとも一方がＸ方向及びＹ方向にそれぞれ所定の共振周波数で支持されているため、ａ及びｂは既知の値となる。また、駆動装置４５が所定の振幅で光学用フレーム３３又は基板用フレーム８を共振させることによってＡ，Ｂは既知の値となり、駆動装置４５によるＸ方向及びＹ方向の駆動タイミングに基づいてδは既知の値となる。このため、コントローラー４０は、時間ｔに基づいて、光学系３０二対する発光素子１０（若しくは受光素子２０）のＸＹ方向の位置を算出可能である。つまり、コントローラー４０は、時間ｔに基づいて、レーザー光が照射される方向を算出可能である。なお、コントローラー４０は、時間ｔに基づいて、レーザー光が照射される方向を算出する代わりに、不図示の位置検出器によって光学用フレーム３３と基板用フレーム８とのＸＹ方向の相対位置を検出し、この検出結果に基づいてレーザー光が照射される方向を算出しても良い。

【0033】

図３Ｂは、或るフレームにおける２次元走査の説明図である。コントローラー４０は、所定時間毎に、１枚のフレーム（対象物９０の１枚の３次元画像）を取得する。１枚のフレーム（１枚の３次元画像）の測定ごとに、リサージュ曲線上の複数の点において対象物９０の表面のＸ，Ｙ，Ｚ座標を測定することになる。これにより、解像度を高めて座標を測定可能である。なお、フレーム毎に同じリサージュ曲線が反復されても良い。この場合、各フレームにおいて、同じ位置で対象物９０の表面の測定が可能になる。一方、フレーム毎にリサージュ曲線がシフトしても良い。この場合、次のフレームにおいて、前のフレームで測定した点群の間を補間するように、対象物９０の表面の測定が可能になる。

【0034】

図３Ｃは、複数チャンネルによる２次元走査の説明図である。図示するように、本実施形態では、チャンネル毎に異なる範囲で２次元走査が行われる。これにより、Ｘ方向及びＹ方向の広い範囲において、対象物９０の表面の測定が可能になり、広いＦＯＶ（field of view）を実現できる。

【0035】

なお、２次元走査がリサージュ曲線に沿って行われなくても良い。例えば、Ｘ方向（又はＹ方向）のライン走査をＹ方向（又はＸ方向）にずらして複数回行うことによって、２次元走査が行われても良い。また、２次元走査ではなく、１次元走査が行われるだけでも良い。また、走査が行われなくても良い。走査を行わない場合には、測定装置１は駆動装置４５を備えていなくても良い。但し、走査を行わない場合には、本実施形態と比べて、点群の解像度が低下する。

【0036】

＜受光素子について＞
まず比較例の受光素子について説明した後、本実施形態の受光素子について説明する。

【0037】

図４Ａは、比較例の受光素子２０を上から見た図である。図４Ｂは、受光素子の受光部の一例の断面図である。

【0038】

受光素子２０は、光を受光する受光窓２２を有する。受光窓２２は、受光素子２０の受光面に設けられた受光領域である。例えば受光素子２０がアバランシェフォトダイオード（ＡＰＤ：Avalanche Photodiode）の場合、受光素子２０の受光部２１は、基板上にバッファ層、光吸収層、中間層、倍増層、窓層を有しており、更に受光領域と受光領域の外周部のガードリングとを有しており、基板表面及び裏面にそれぞれ電極２３及び電極２４を有している（後述の第１受光部２１Ａ及び第２受光部２１Ｂも同様である）。また、受光素子２０の受光面には保護層も形成される。ここでは、受光窓２２は、環状の電極２３（受光面側の電極；基板表面側の電極）の内側の領域に相当する。受光窓２２の直径のことを受光径と呼ぶことがある。受光素子２０の大きさが数ミリ角（例えば５ｍｍ角）であるのに対し、受光径は例えば５００μｍである。但し、受光素子２０や受光径の大きさは、これに限られるものではない。

【0039】

図４Ａに示すように、比較例の受光素子２０は、受光素子２０を構成するチップの中央に受光窓２２が１つ設けられている。比較例の受光素子２０の受光窓２２は、チップの中央に設けられた１つのみである。

【0040】

図５Ａは、受光用光学系３２による集光の様子の説明図である。図５Ｂは、受光用光学系３２の光軸上の受光素子２０における受光窓２２と集光スポットの説明図である。図５Ｃは、受光用光学系３２の光軸から外れた位置の受光素子２０における受光窓２２と集光スポットの説明図である。

【0041】

１つの受光用光学系３２に対して複数の受光素子２０が配置されるため、図５Ａに示すように、受光用光学系３２に対して、光軸上に配置される受光素子２０とは別に、光軸から外れた位置に配置される受光素子２０が存在する。図５Ａでは、受光用光学系３２の光軸から外れた受光素子２０が１つだけ描かれているが、受光用光学系３２の光軸から外れた受光素子２０は複数存在しており、更に、受光用光学系３２の光軸に対する外れ方も互いに異なっている（後述；図１２参照）。

【0042】

図５Ｂに示すように、光軸上に配置された受光素子２０では、受光用光学系３２によって集光された反射光の集光スポットは、ほぼ円形状になっており、受光窓２２の内部に位置している。一方、図５Ｃに示すように、光軸から外れた位置に配置された受光素子２０では、受光用光学系３２によって集光された反射光の集光スポットは、楕円状に歪んでいる。集光スポットの歪み方は、楕円に限られるものではなく、受光用光学系３２の構成や光の角度などの影響によって異なる。例えば、集光スポットは、円形スポットから尾を引く形状（彗星形状）や、帯状や弓なり状などの様々な形状に歪むことがある。前述の受光側湾曲部７に受光素子２０が設けられた場合であっても、光軸から外れた位置に配置された受光素子２０では、集光スポットの歪みを完全に除去することはできず、集光スポットは歪んでしまう。

【0043】

図４Ａに示す比較例のように受光素子２０の受光窓２２が１つの場合、図５Ｃに示すように集光スポットの歪みが大きくなると、集光スポットの一部が受光窓２２から外れるおそれがある。そして、図５Ｃに示すように、集光スポットの一部が受光窓２２から外れると、受光素子２０が受光する光エネルギーが低下し、この結果、受光素子２０が反射光を正常に検出できないおそれがある。

【0044】

図６Ａは、本実施形態の受光素子の一例の説明図である。図６Ｂは、本実施形態の受光素子２０における受光窓２２（第１受光窓２２Ａ及び第２受光窓２２Ｂ）と集光スポットの説明図である。

【0045】

図６Ａに示すように、本実施形態の受光素子２０の受光面には、第１受光窓２２Ａと、第２受光窓２２Ｂとが設けられている。第１受光窓２２Ａと第２受光窓２２Ｂには、それぞれ、受光部２１（図４Ｂ参照）が設けられている。以下の説明では、第１受光窓２２Ａを有する受光部２１のことを「第１受光部」と呼び、第２受光窓２２Ｂを有する受光部２１のことを「第２受光部」と呼ぶ。本実施形態の受光素子２０は、第１受光窓２２Ａに照射された光を検出する第１受光部２１Ａと、第２受光窓２２Ｂに照射された光を検出する第２受光部２１Ｂとを有する。なお、第１受光窓２２Ａ及び第２受光窓２２Ｂのことをそれぞれ「メイン受光窓」及び「サブ受光窓」と呼び、第１受光部２１Ａ及び第２受光部２１Ｂのことをそれぞれ「メイン受光部」及び「サブ受光部」と呼んでも良い。

【0046】

既に説明した通り、光軸から外れた位置に配置された受光素子２０では、受光用光学系３２によって集光された反射光の集光スポットが歪むことがある。本実施形態の受光素子２０によれば、図６Ｂに示すように、仮に集光スポットの一部が第１受光窓２２Ａから外れても、集光スポットが第２受光窓２２Ｂに照射されることによって、第２受光部２１Ｂによって反射光を検出することが可能になる。

【0047】

図７Ａ及び図７Ｂは、受光素子２０の出力信号の説明図である。それぞれの図の上側のグラフは、第１受光部２１Ａから出力される電流を示しており、下側のグラフは、第２受光部２１Ｂから出力される電流を示している。なお、受光素子２０から出力される電流は、プラス側の電流になる場合もあるし、マイナス側の電流になる場合もある（後述）。以下の説明では、第１受光部２１Ａから出力された信号のことを第１信号と呼び、第２受光部２１Ｂから出力された信号のことを第２信号と呼ぶことがある。第１受光部２１Ａは、第１受光窓２２Ａに照射された光に応じた電流（第１信号）を出力することになる。また、第２受光部２１Ｂは、第２受光窓２２Ｂに照射された光に応じた電流（第２信号）を出力することになる。

【0048】

図７Ａは、集光スポットが第１受光窓２２Ａの内部に位置する場合の第１信号及び第２信号の説明図である。
既に説明した通り、本実施形態では、発光素子１０はパルス光（図１のＴｘ）を射出するため、パルス状の反射光（図１のＲｘ）の集光スポットが受光素子２０に照射される。集光スポットが第１受光窓２２Ａの内部に位置する場合には、第１受光窓２２Ａに十分な光量の反射光が照射されるため、第１受光部２１Ａは、図７Ａの上側のグラフに示すように、比較的大きなパルス状の電流（第１信号）を出力する。この場合には、コントローラー４０は、第１信号に基づいて、パルス状の反射光を受光した時間ｔを求めることができる。つまり、コントローラー４０は、発光素子１０からパルス状のレーザー光を投光してから、受光素子２０が反射光を受光するまでの時間を計測することができ、対象物９０までの距離を測定することができる。

【0049】

図７Ｂは、集光スポットの一部が第１受光窓２２Ａから外れた場合の第１信号及び第２信号の説明図である。
集光スポットの一部が第１受光窓２２Ａから外れると（図６Ｂ参照）、図７Ａの上側のグラフに示すように、第１信号のパルス状の電流は小さくなる。一方、パルス状の反射光の集光スポットが第２受光窓２２Ｂに照射されると、第２信号は、パルス状の信号となる。第１受光窓２２Ａと第２受光窓２２Ｂには同時にパルス状の集光スポットが照射されるため、第２信号のパルスのタイミングは、パルス状の反射光を受光したタイミングを示している。このため、コントローラー４０は、第２信号に基づいて、パルス状の反射光を受光した時間ｔを求めることが可能である。つまり、仮に第１信号の電流が弱いために第１信号に基づいて時間ｔを求めることができなくても、コントローラー４０は、第２信号に基づいて、発光素子１０からパルス状のレーザー光を投光してから、受光素子２０が反射光を受光するまでの時間を計測することができ、対象物９０までの距離を測定することができる。

【0050】

ところで、受光用光学系３２は、主に受光素子２０の第１受光窓２２Ａに光が集光するように（図５Ｂ参照）、設計されている。このため、主な測定条件下では、第１受光窓２２Ａに照射される光量は、比較的多くなる。これに対し、第２受光窓２２Ｂは、歪んだ集光スポットの一部の光を検出することが目的であるため、第２受光窓２２Ｂに照射される光量は、比較的少なくなる。そこで、本実施形態では、第２受光窓２２Ｂを有する第２受光部２１Ｂは、第１受光窓２２Ａを有する第１受光部２１Ａよりも、感度が高くなるように構成されている。つまり、第２受光部２１Ｂは、受光量に対して高い電流（図７Ｂ下側参照）を出力可能に構成されている。これにより、本実施形態では、第２受光部２１Ｂによって反射光を検出し易くなる。

【0051】

なお、対象物９０との距離に応じて反射光の強度が異なるため、第１受光部２１Ａは、異なる強度の光量に応じた検出信号を出力できるように、ダイナミックレンジが広くなるように構成されている。一般的に、ダイナミックレンジが広くなると、弱い受光量で強い電流を出力し難くなるため、感度が低くなる。一方、第２受光部２１Ｂは、歪んだ集光スポットの一部の光を検出できれば良いため、ダイナミックレンジは広くなくても良い。このため、第２受光部２１Ｂを第１受光部２１Ａよりも感度が高くなるように構成することが許容されている。
また、一般的に、ダイナミックレンジを比較的広く構成する場合には、受光窓が比較的大きく構成され、感度を比較的高く構成する場合には、受光窓が比較的小さく構成される。このような理由から、広いダイナミックレンジと高い感度を両立させて受光素子２０を構成することは一般的には困難である。但し、本実施形態では、第１受光部２１Ａと第２受光部２１Ｂとを分けて構成しているため、第１受光部２１Ａはダイナミックレンジを広く構成し、第２受光部２１Ｂは感度を高く構成することが可能である。このような理由から、本実施形態では、第１受光部２１Ａは第２受光窓２２Ｂよりも大きく構成されている。これにより、第１受光部２１Ａの出力する第１信号のダイナミックレンジを広くしつつ、第２受光部２１Ｂの出力する第２信号の電流を高めることができる。なお、受光窓２２の大きさは、受光窓２２が円形の場合には直径（受光径）によって定められ、受光窓２２が非円形の場合には受光窓２２の面積によって定められる。

【0052】

本実施形態では、第２受光窓２２Ｂが複数（図６Ａでは２つ）設けられている。これにより、集光スポットが条件に応じて異なる方向に歪んでも（集光スポットが第１受光窓２２Ａから異なる方向に外れても）、第２受光窓２２Ｂによって反射光を検出し易くなる。なお、本実施形態では、第２受光窓２２Ｂが２つであるが、第２受光窓２２Ｂの数は２つに限られるものではない（後述）。

【0053】

図８Ａは、本実施形態の受光素子を用いた光検出装置の一例の説明図である。例えば、前述の実装基板５には、図８Ａに示す光検出装置５０を構成するための回路が設けられている。

【0054】

光検出装置５０は、上記の受光素子２０と、変換部５１とを有する。変換部５１は、受光素子２０から出力される信号を電流から電圧に変換する回路である。光検出装置５０は、受光素子２０毎に変換部５１を有している。図８Ａに示す変換部５１は、第１変換部５１Ａと、第２変換部５１Ｂとを有する。第１変換部５１Ａは、第１受光部２１Ａから出力される第１信号を電流から電圧に変換する回路である。第２変換部５１Ｂは、第２受光部２１Ｂから出力される第２信号を電流から電圧に変換する回路である。第１変換部５１Ａ及び第２変換部５１Ｂは、トランスインピーダンス・アンプ（ＴＩＡ）で構成される。

【0055】

光検出装置５０は、アナログ－デジタル変換回路５２（ＡＤＣ）を有している。ここでは、第１変換部５１Ａ及び第２変換部５１Ｂのそれぞれにアナログ－デジタル変換回路５２（ＡＤＣ）が設けられている。それぞれのアナログ－デジタル変換回路５２は、第１変換部５１Ａ又は第２変換部５１Ｂから出力される電圧（アナログ信号）をデジタル信号に変換し、コントローラー４０（演算装置４１）に信号を出力する。コントローラー４０（演算装置４１）は、第１信号及び第２信号の少なくとも一方の電圧値と閾値とを比較することによって、パルス状の反射光を受光した時間ｔを求め（図７Ａ及び図７Ｂ参照）、発光素子１０からパルス状のレーザー光を投光してから、受光素子２０が反射光を受光するまでの時間を算出し、対象物９０までの距離を算出することになる。

【0056】

図８Ｂは、光検出装置の別の一例の説明図である。ここでは、変換部５０は、第１変換部５１Ａ及び第２変換部５１Ｂから出力される電圧を電圧加算部５３で加算する。アナログ－デジタル変換回路５２は、電圧加算部５３から出力される電圧（アナログ信号）をデジタル信号に変換し、コントローラー４０（演算装置４１）に信号を出力する。コントローラー４０は、第１信号及び第２信号の電圧を加算した値と閾値とを比較することによって、パルス状の反射光を受光した時間ｔを求めることになる。このようにしても、第１信号と第２信号に基づいて、パルス状の反射光を受光した時間ｔを求めることが可能である。

【0057】

図９Ａは、変形例の受光素子を用いた光検出装置の一例の説明図である。

【0058】

変形例の受光素子２０は、第１受光部２１Ａの電流Ｉ１に第２受光部２１Ｂの電流Ｉ２を加えた電流Ｉを出力する。図９Ａには、プラス側の電流が出力される場合の電流の向きが矢印で示されているが、後述するように、マイナス側の電流（図中の矢印とは逆側の向きの電流）が出力される場合もある。
既に説明したように、集光スポットの一部が第１受光窓２２Ａから外れると（図６Ｂ参照）、図７Ａの上側のグラフに示すように、第１信号のパルス状の電流Ｉ１は小さくなる。但し、パルス状の反射光の集光スポットが第２受光窓２２Ｂに照射されると、図７Ｂの下側のグラフに示すように、第２信号としてパルス状の電流Ｉ２が生成される。第１信号のパルスと及び第２信号のパルスは同じタイミングになるため、集光スポットの一部が第１受光窓２２Ａから外れても、受光素子２０は、信号線２５から比較的大きいパルス状の電流Ｉを出力できる。

【0059】

図９Ｂ及び図９Ｃは、変形例の受光素子と変換部５１（トランスインピーダンス・アンプ）との接続の説明図である。

【0060】

図９Ｂには、変形例の受光素子の一例が示されている。ここでは、第１受光部２１Ａのアノードと、第２受光部２１Ｂのアノードとが信号線２５を介して変換部５１（トランスインピーダンス・アンプ）に接続されている。この構成の場合、第１受光部２１Ａのプラス側の電流Ｉ１に第２受光部２１Ｂのプラス側の電流Ｉ２を加えた電流Ｉが信号線２５に流れることになる。この場合、受光素子２０からプラス側の電流Ｉが出力されることになる。

【0061】

図９Ｃには、変形例の受光素子の別の一例が示されている。ここでは、第１受光部２１Ａのカソードと、第２受光部２１Ｂのカソードとが信号線２５を介して変換部５１に接続されている。この構成の場合、第１受光部２１Ａのマイナス側の電流Ｉ１に第２受光部２１Ｂのマイナス側の電流Ｉ２を加えた電流Ｉが信号線２５に流れることになる。つまり、この場合、受光素子２０からマイナス側の電流Ｉが出力されることになる（受光素子２０は変換部５１から電流Ｉを吸い込むことになる）。

【0062】

図９Ａ～図９Ｃに示す変形例の受光素子２０を用いることによって、受光素子２０から信号を出力する信号線を減らすことができる。また、変形例の受光素子２０を用いることによって、光検出装置５０のトランスインピーダンス・アンプ（ＴＩＡ）やアナログ－デジタル変換回路５２（ＡＤＣ）の数を減らすことができる。

【0063】

図１０Ａ～図１０Ｆは、第１受光窓２２Ａ及び第２受光窓２２Ｂの例の説明図である。
図１０Ａ～図１０Ｆに示す受光素子２０は、第１受光窓２２Ａと、２つの第２受光窓２２Ｂとを有する。受光素子２０の受光面の中央に第１受光窓２２Ａが配置されており、その第１受光窓２２Ａの周囲に２つの第２受光窓２２Ｂが配置されている。なお、「第１受光窓２２Ａの周囲」とは、第１受光窓２２Ａの外周よりも外側であり、且つ、その第１受光窓２２Ａが設けられたチップの外縁よりも内側の範囲を意味する。図１０Ａ～図１０Ｆでは、２つの第２受光窓２２Ｂが第１受光窓２２Ａを挟むように配置されている。第１受光窓２２Ａを挟むように複数の第２受光窓２２Ｂを配置することによって、ある測定条件下では集光スポットが第１受光窓２２Ａに対して所定方向（例えば＋Ｙ方向）に外れるように歪み、別の測定条件下では集光スポットが第１受光窓２２Ａに対して逆方向（例えば－Ｙ方向）に外れるように歪むような場合でも、第２受光窓２２Ｂによって反射光を検出し易くなる。若しくは、第１受光窓２２Ａを挟むように複数の第２受光窓２２Ｂを配置することによって、集光スポットが帯状に歪むことによって集光スポットが第１受光窓２２Ａを跨がるように大きく歪むような場合でも、第２受光窓２２Ｂによって反射光を検出し易くなる。

【0064】

なお、図１０Ａ～図１０Ｃ（若しくは図１０Ｄ～図１０Ｆ）に示すように、２つの第２受光窓２２Ｂが第１受光窓２２Ａを挟む方向は、Ｘ方向でも良いし、Ｙ方向でも良いし、Ｘ方向及びＹ方向と交差する方向でも良い。また、図１０Ｃに示すように、矩形の受光面の対角線上に第１受光窓２２Ａ及び２つの第２受光窓２２Ｂを配置すると、受光面の狭いスペース上に第１受光窓２２Ａ及び２つの第２受光窓２２Ｂを配置させ易くなる（この結果、受光素子２０のチップの小型化を図ることも可能である）。なお、２つの第２受光窓２２Ｂが第１受光窓２２Ａを挟むように配置されていなくても良い。例えば、２つの第２受光窓２２Ｂの両方が、第１受光窓２２Ａに対して＋Ｙ方向に配置されていても良い。

【0065】

既に説明したように、第１受光部２１Ａのダイナミックレンジを広くし、第２受光部２１Ｂの感度を高くするためには、図１０Ａ～図１０Ｃに示すように、第１受光窓２２Ａが第２受光窓２２Ｂよりも大きいことが望ましい。但し、ダイナミックレンジや感度に問題が無ければ、図１０Ｄ～図１０Ｆに示すように、第１受光窓２２Ａが第２受光窓２２Ｂよりも小さくても良い。なお、第２受光窓２２Ｂが第１受光窓２２Ａよりも大きければ、集光スポットが大きく歪んで第１受光窓２２Ａから外れたときに、第２受光窓２２Ｂで反射光を受光し易くなる。

【0066】

図１１Ａ～図１１Ｄは、第１受光窓２２Ａ及び第２受光窓２２Ｂの別の例の説明図である。図１１Ａ～図１１Ｄに示す受光素子２０においても、２つの第２受光窓２２Ｂが第１受光窓２２Ａを挟むように配置されているため、第２受光窓２２Ｂによって反射光を検出し易くなる。なお、図１１Ａ～図１１Ｄに示すように、４つの第２受光窓２２Ｂは、第１受光窓２２Ａの周囲に均等に配置されることが望ましい。また、図１１Ｂ及び図１１Ｄに示すように、矩形の受光面の対角線上に第１受光窓２２Ａ及び２つの第２受光窓２２Ｂを配置すると、受光面の狭いスペース上に第１受光窓２２Ａ及び２つの受光窓を配置させ易くなる（この結果、受光素子２０のチップの小型化を図ることも可能である）。また、第１受光部２１Ａのダイナミックレンジを広くし、第２受光部２１Ｂの感度を高くするためには、図１１Ａ及び図１１Ｂに示すように、第１受光窓２２Ａを第２受光窓２２Ｂよりも大きくすることが望ましい。但し、ダイナミックレンジや感度に問題が無ければ、図１１Ｃ及び図１１Ｄに示すように、第１受光窓２２Ａが第２受光窓２２Ｂよりも小さくても良い。なお、第２受光窓２２Ｂの数は、２又は４に限られるものではなく、他の数でも良い。

【0067】

図１２は、受光素子アレイの一例の説明図である。
既に説明した通り、測定装置１は、Ｘ方向及びＹ方向に２次元配列させた複数の受光素子２０を有する。受光用光学系３２（図中の点線）に対して複数の受光素子２０を配置する場合、受光用光学系３２の光軸（点線の円の中心）に対して受光素子２０をずらして配置する必要がある。この結果、或る受光素子２０（第１受光素子）の光軸に対する位置と、別の受光素子２０（第２受光素子）の光軸に対する位置が異なる。集光スポットの歪み方は、受光用光学系３２に対する受光素子２０の位置に応じて異なるため、２次元配列させた複数の受光素子２０のそれぞれに入射する集光スポットは異なる形状になる。

【0068】

そこで、図に示すように、本実施形態では、集光スポットの歪み方に応じて、それぞれの受光素子２０の第１受光窓２２Ａと第２受光窓２２Ｂの並ぶ方向を異ならせている。この結果、本実施形態では、或る受光素子２０（第１受光素子）では、第１受光窓２２Ａと第２受光窓２２Ｂの並ぶ方向が例えばＸ方向であるのに対し、別の受光素子２０（第２受光素子）では、第１受光窓２２Ａと第２受光窓２２Ｂの並ぶ方向がＹ方向（若しくは、Ｘ方向及びＹ方向に交差する方向）となる。本実施形態によれば、第２受光部２１Ｂが反射光を検出し易くなる。

【0069】

なお、受光素子アレイの全ての受光素子２０の第１受光窓２２Ａと第２受光窓２２Ｂの並ぶ方向が同じでも良い。また、受光素子アレイの全ての受光素子が本実施形態の第１受光窓２２Ａ及び第２受光窓２２Ｂを有する受光素子でなくても良く、一部の受光素子が図４Ａに示す受光素子であっても良い。

【0070】

上記の通り、本実施形態の受光素子２０は、第１受光窓２２Ａに照射された光を検出する第１受光部２１Ａと、第２受光窓２２Ｂに照射された光を検出する第２受光部２１Ｂとを備え、第２受光窓２２Ｂは、第１受光窓２２Ａの周囲に設けられている（図６Ａ参照）。これにより、仮に集光スポットの一部が第１受光窓２２Ａから外れても、集光スポットが第２受光窓２２Ｂに照射されることによって、第２受光部２１Ｂによって反射光を検出することが可能になる（図６Ｂ参照）。

【0071】

また、本実施形態では、第２受光部２１Ｂは、第１受光部２１Ａよりも感度が高いことが望ましい。これにより、第２受光部２１Ｂによって反射光を検出し易くなる。

【0072】

また、本実施形態では、第１受光窓２２Ａは、第２受光窓２２Ｂよりも大きいことが望ましい。これにより、第１受光部２１Ａのダイナミックレンジを広くしつつ、第２受光部２１Ｂの感度を高くすることの両立が可能になる。

【0073】

また、本実施形態では、複数の第２受光窓２２Ｂが第１受光窓２２Ａの周囲に設けられていることが望ましい（図１０、図１１参照）。これにより、第２受光窓２２Ｂによって反射光を検出し易くなる。但し、第２受光窓２２Ｂの数が１つでも良い。

【0074】

また、本実施形態では、複数の第２受光窓２２Ｂが第１受光窓２２Ａを挟むように配置されていることが望ましい。これにより、第２受光窓２２Ｂによって反射光を検出し易くなる。但し、２つの第２受光窓２２Ｂが第１受光窓２２Ａを挟むように配置されていなくても良い。

【0075】

また、本実施形態では、矩形状の受光面の対角線上に第１受光窓２２Ａ及び複数の第２受光窓２２Ｂが配置されている（図１０、図１１参照）。これにより、受光面の狭いスペース上に第１受光窓２２Ａ及び２つの第２受光窓２２Ｂを配置させ易くなる。

【0076】

また、本実施形態の受光素子２０は、第１受光部２１Ａの電流に第２受光部２１Ｂの電流を加えた電流を出力する信号線２５を有することが望ましい（図９参照）。これにより、受光素子２０から信号を出力する信号線を減らすことができる。

【0077】

また、上記の通り、本実施形態の測定装置１は、対象物９０に光を照射する発光素子１０と、光学系３０と、対象物９０からの反射光を受光する受光素子２０と、を備えている。そして、測定装置１に用いられる受光素子２０は、第１受光窓２２Ａに照射された光を検出する第１受光部２１Ａと、第２受光窓２２Ｂに照射された光を検出する第２受光部２１Ｂとを備え、第２受光窓２２Ｂは、第１受光窓２２Ａの周囲に設けられている（図６Ａ参照）。これにより、仮に集光スポットの一部が第１受光窓２２Ａから外れても、集光スポットが第２受光窓２２Ｂに照射されることによって、第２受光部２１Ｂによって反射光を検出することが可能になる（図６Ｂ参照）。

【0078】

また、本実施形態では、測定装置１は、複数の受光素子を備えており、受光用光学系３２の光軸に対する或る受光素子（第１受光素子）の位置と、受光用光学系３２の光軸に対する別の第２受光素子（第２受光素子）の位置とが異なっており、或る受光素子（第１受光素子）の第１受光窓２２Ａと第２受光窓２２Ｂの並ぶ方向と、別の受光素子（第２受光素子）の第１受光窓２２Ａと第２受光窓２２Ｂの並ぶ方向とが異なっていることが望ましい。これにより、それぞれの第２受光部２１Ｂが反射光を検出し易くなる。

【0079】

以上、本発明の実施形態につき詳述したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。また、上記の実施形態は本発明を分かりやすく説明するために構成を詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、上記の実施形態の構成の一部について、他の構成に追加、削除、置換することが可能である。

【符号の説明】

【0080】

１ 測定装置、３ 筐体、５ 実装基板、
６ 発光側湾曲部、７ 受光側湾曲部、
８ 基板用フレーム、１０ 発光素子、２０ 受光素子、
２１ 受光部、２１Ａ 第１受光部、２１Ｂ 第２受光部、
２２ 受光窓、２２Ａ 第１受光窓、２２Ｂ 第２受光窓、
２３ 電極、２４ 電極、２５ 信号線、
３０ 光学系、３１ 投光用光学系、
３２ 受光用光学系、３３ 光学用フレーム、
４０ コントローラー、４１ 演算装置、４２ 記憶装置、
５０ 光検出装置、５１ 変換部、
５１Ａ 第１変換部、５１Ｂ 第２変換部、
５２ アナログ－デジタル変換回路、５３ 電圧加算部、
９０ 対象物

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】