特開2022-142421静電チャック装置およびその製造方法

発明の名称　静電チャック装置およびその製造方法

出願人　株式会社巴川製紙所　（識別番号 153591）

　　　　特許公開件数ランキング 2205 位（9件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1160 位（16件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-142421

公報発行日　2022年9月30

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-142421

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2022-142421「静電チャック装置およびその製造方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録