特開2022-144266基板処理方法、および、基板処理装置

発明の名称　基板処理方法、および、基板処理装置

出願人　株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス　（識別番号 207551）

　　　　特許公開件数ランキング 60 位（418件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 69 位（323件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-144266

公報発行日　2022年10月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-144266

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