知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022144344
(43)【公開日】2022-10-03
(54)【発明の名称】脆性板の加工装置および脆性板の加工方法
(51)【国際特許分類】
B24B 7/02 20060101AFI20220926BHJP
B24B 49/10 20060101ALI20220926BHJP
B24B 49/12 20060101ALI20220926BHJP
H01L 21/304 20060101ALI20220926BHJP
【ＦＩ】
B24B7/02
B24B49/10
B24B49/12
H01L21/304 621E
【審査請求】未請求
【請求項の数】13
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021045291
(22)【出願日】2021-03-18
(71)【出願人】
【識別番号】000174220
【氏名又は名称】坂東機工株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100108442
【弁理士】
【氏名又は名称】小林 義孝
(72)【発明者】
【氏名】坂東 和明
【テーマコード（参考）】
3C034
3C043
5F057
【Ｆターム（参考）】
3C034BB73
3C034BB92
3C034CA12
3C043BA01
3C043BA16
3C043CC04
3C043DD02
3C043DD04
3C043DD05
3C043DD06
5F057AA34
5F057BA30
5F057BB03
5F057BB09
5F057BB40
5F057CA16
5F057DA17
5F057GB02
5F057GB03
5F057GB31
(57)【要約】 （修正有）
【課題】加工ホイール交換後の手動による脆性板に対する加工ホイールの位置合わせの手間と時間を短くでき、全体として脆性板の加工の効率が高い脆性板の加工装置および脆性板の加工方法を提供する。
【解決手段】脆性板２の加工装置１は、脆性板２を保持するテーブル４と、テーブル４に保持された脆性板２の外周縁５を加工する加工ホイール６を有した加工ヘッド７と、脆性板２に対する加工ホイール６の軸心方向における位置ずれ量を測定する測定部８と、測定部８が測定した加工ホイール６の軸心方向における位置ずれ量に基づいて加工ホイール６のＺ軸方向における位置ずれを補正し、位置ずれが補正された加工ホイール６に脆性板２の外周縁５の加工を行わせる制御部９とを備えている。
【選択図】図１
【解決手段】脆性板２の加工装置１は、脆性板２を保持するテーブル４と、テーブル４に保持された脆性板２の外周縁５を加工する加工ホイール６を有した加工ヘッド７と、脆性板２に対する加工ホイール６の軸心方向における位置ずれ量を測定する測定部８と、測定部８が測定した加工ホイール６の軸心方向における位置ずれ量に基づいて加工ホイール６のＺ軸方向における位置ずれを補正し、位置ずれが補正された加工ホイール６に脆性板２の外周縁５の加工を行わせる制御部９とを備えている。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
脆性板を保持するテーブルと、前記テーブルに保持された前記脆性板の外周縁を加工する加工ホイールを有した加工ヘッドと、前記脆性板に対する前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を測定する測定部と、前記測定部が測定した前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて該加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせる制御部とを備えたことを特徴とする脆性板の加工装置。
【請求項2】
前記測定部が、取付板と、前記加工ホイールの軸心に直交する第一の方向において前記取付板に対して相対移動自在に設けられている移動台と、前記移動台を前記第一の方向に移動させる移動手段と、前記移動台に設けられていると共に先端部を備えた軸部材を有する回転手段とを備え、
前記測定部は、前記軸部材をその軸周りにおける第一の周り方向に回転させて前記先端部を前記加工ホイールの前記加工面に接触させ、前記先端部が第一の周り方向に回転して前記加工ホイールの前記加工面に接触した第一の位置を測定し、前記軸部材を前記第一の周り方向とは逆方向である第二の周り方向に回転させて前記先端部を前記加工ホイールの前記加工面に接触させ、前記先端部が第二の周り方向に回転して前記加工ホイールの前記加工面に接触した第二の位置を測定し、
前記制御部は、所定の加工基準位置から前記第一の位置までの前記加工ホイールの軸心方向における第一の距離を算出し、前記所定の加工基準位置から前記第二の位置までの前記加工ホイールの軸心方向における第二の距離を算出し、前記第一の距離及び前記第二の距離に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出し、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向の位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせることを特徴とする請求項１に記載の脆性板の加工装置。
前記測定部は、前記軸部材をその軸周りにおける第一の周り方向に回転させて前記先端部を前記加工ホイールの前記加工面に接触させ、前記先端部が第一の周り方向に回転して前記加工ホイールの前記加工面に接触した第一の位置を測定し、前記軸部材を前記第一の周り方向とは逆方向である第二の周り方向に回転させて前記先端部を前記加工ホイールの前記加工面に接触させ、前記先端部が第二の周り方向に回転して前記加工ホイールの前記加工面に接触した第二の位置を測定し、
前記制御部は、所定の加工基準位置から前記第一の位置までの前記加工ホイールの軸心方向における第一の距離を算出し、前記所定の加工基準位置から前記第二の位置までの前記加工ホイールの軸心方向における第二の距離を算出し、前記第一の距離及び前記第二の距離に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出し、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向の位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせることを特徴とする請求項１に記載の脆性板の加工装置。
【請求項3】
脆性板の加工装置は、前記測定部による第一の位置及び第二の位置の測定と、前記制御部による前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれの補正とを交互に複数回繰り返し、前記位置ずれが複数回補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせることを特徴とする請求項２に記載の脆性板の加工装置。
【請求項4】
前記回転手段が、トルクを制御するサーボモータであることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の脆性板の加工装置。
【請求項5】
前記測定部が、取付板と、前記加工ホイールの軸心に直交する第一の方向において前記取付板に対して相対移動自在に設けられている移動台と、前記移動台を前記第一の方向に移動させる移動手段と、前記移動台に設けられていると共に前記加工ホイールの加工面にレーザーを照射して加工面を測定するレーザー測定手段とを備え、
前記制御部は、レーザー測定手段が測定した測定値に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における所定の加工基準位置からの位置ずれ量を算出し、前記加工ホイールの軸心方向における所定の加工基準位置からの位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせることを特徴とする請求項１に記載の脆性板の加工装置。
前記制御部は、レーザー測定手段が測定した測定値に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における所定の加工基準位置からの位置ずれ量を算出し、前記加工ホイールの軸心方向における所定の加工基準位置からの位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせることを特徴とする請求項１に記載の脆性板の加工装置。
【請求項6】
前記レーザー測定手段は、前記加工ホイールの加工面にレーザーを照射した状態で、前記加工ホイールと前記レーザー測定手段とのうちの少なくとも一方が該加工ホイールの軸心方向の一方から他方に向かって移動することにより、前記加工ホイールの加工面を測定し、
前記制御部は、前記レーザー測定手段が測定した前記第一の方向における前記レーザー測定手段から前記加工ホイールの加工面までの距離が最大となる位置と所定の加工基準位置とに基づいて、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出し、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせることを特徴とする請求項５に記載の脆性板の加工装置。
前記制御部は、前記レーザー測定手段が測定した前記第一の方向における前記レーザー測定手段から前記加工ホイールの加工面までの距離が最大となる位置と所定の加工基準位置とに基づいて、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出し、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせることを特徴とする請求項５に記載の脆性板の加工装置。
【請求項7】
前記レーザー測定手段は、前記加工ホイールの軸心方向における加工面の所定の領域又は全領域にレーザーを照射して加工ホイールの加工面を測定し、
前記制御部は、前記レーザー測定手段が測定した前記第一の方向における前記レーザー測定手段から前記加工ホイールの加工面までの距離が最大となる位置と所定の加工基準位置とに基づいて、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出し、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせることを特徴とする請求項５に記載の脆性板の加工装置。
前記制御部は、前記レーザー測定手段が測定した前記第一の方向における前記レーザー測定手段から前記加工ホイールの加工面までの距離が最大となる位置と所定の加工基準位置とに基づいて、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出し、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせることを特徴とする請求項５に記載の脆性板の加工装置。
【請求項8】
脆性板の加工装置が、脆性板を保持するテーブルと、前記テーブルに保持された前記脆性板の外周縁を加工する加工ホイールを有した加工ヘッドと、前記脆性板に対する前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を測定する測定部と、前記測定部が測定した前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて該加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせる制御部とを備えている脆性板の加工装置を用いた脆性板の加工方法であって、
前記脆性板に対する前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を測定する測定工程と、
前記測定工程で測定した前記位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向の位置ずれを補正する補正工程と、
前記補正工程後の前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせる加工工程と、を備えたことを特徴とする脆性板の加工方法。
前記脆性板に対する前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を測定する測定工程と、
前記測定工程で測定した前記位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向の位置ずれを補正する補正工程と、
前記補正工程後の前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせる加工工程と、を備えたことを特徴とする脆性板の加工方法。
【請求項9】
脆性板の加工装置が、脆性板を保持するテーブルと、前記テーブルに保持された前記脆性板の外周縁を加工する加工ホイールを有した加工ヘッドと、前記脆性板に対する前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を測定する測定部と、前記測定部が測定した前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて該加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせる制御部とを備え、前記測定部が、取付板と、前記加工ホイールの軸心に直交する第一の方向において前記取付板に対して相対移動自在に設けられている移動台と、前記移動台を前記第一の方向に移動させる移動手段と、前記移動台に設けられていると共に先端部を備えた軸部材を有する回転手段とを備えた脆性板の加工装置を用いた脆性板の加工方法であって、
前記軸部材を所定の位置に合わせる位置合わせ工程と、
前記軸部材をその軸周りにおける第一の周り方向に回転させて前記先端部を前記加工ホイールの前記加工面に接触させ、前記先端部が接触した前記加工ホイールの前記加工面上の第一の位置を測定する第一の測定工程と、
前記軸部材を前記第一の周り方向とは逆方向である第二の周り方向に回転させて前記先端部を前記加工ホイールの前記加工面に接触させ、前記先端部が接触した前記加工ホイールの前記加工面上の第二の位置を測定する第二の測定工程と、
所定の加工基準位置から前記第一の位置までの前記加工ホイールの軸心方向における第一の距離を算出し、前記所定の加工基準位置から前記第二の位置までの前記加工ホイールの軸心方向における第二の距離を算出し、前記第一の距離及び前記第二の距離に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出する算出工程と、
前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向の位置ずれを補正する補正工程と、
補正工程後の前記位置ずれが補正された前記加工ホイールに脆性板の外周縁の加工を行わせる加工工程と、を備えたことを特徴とする脆性板の加工方法。
前記軸部材を所定の位置に合わせる位置合わせ工程と、
前記軸部材をその軸周りにおける第一の周り方向に回転させて前記先端部を前記加工ホイールの前記加工面に接触させ、前記先端部が接触した前記加工ホイールの前記加工面上の第一の位置を測定する第一の測定工程と、
前記軸部材を前記第一の周り方向とは逆方向である第二の周り方向に回転させて前記先端部を前記加工ホイールの前記加工面に接触させ、前記先端部が接触した前記加工ホイールの前記加工面上の第二の位置を測定する第二の測定工程と、
所定の加工基準位置から前記第一の位置までの前記加工ホイールの軸心方向における第一の距離を算出し、前記所定の加工基準位置から前記第二の位置までの前記加工ホイールの軸心方向における第二の距離を算出し、前記第一の距離及び前記第二の距離に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出する算出工程と、
前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向の位置ずれを補正する補正工程と、
補正工程後の前記位置ずれが補正された前記加工ホイールに脆性板の外周縁の加工を行わせる加工工程と、を備えたことを特徴とする脆性板の加工方法。
【請求項10】
前記第一の測定工程と、前記第二の測定工程と、前記算出工程と、前記補正工程とを複数回繰り返し、前記位置ずれが複数回補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせることを特徴とする請求項９に記載の脆性板の加工方法。
【請求項11】
脆性板の加工装置が、脆性板を保持するテーブルと、前記テーブルに保持された前記脆性板の外周縁を加工する加工ホイールを有した加工ヘッドと、前記脆性板に対する前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を測定する測定部と、前記測定部が測定した前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて該加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせる制御部とを備え、前記測定部が、取付板と、前記加工ホイールの軸心に直交する第一の方向において前記取付板に対して相対移動自在に設けられている移動台と、前記移動台を前記第一の方向に移動させる移動手段と、前記移動台を前記第一の方向に移動させる移動手段と、前記移動台に設けられていると共に前記加工ホイールの加工面にレーザーを照射して加工面を測定するレーザー測定手段とを備えた脆性板の加工装置を用いた脆性板の加工方法であって、
前記レーザー測定手段を所定の位置に合わせる位置合わせ工程と、
前記加工ホイールの加工面にレーザー測定手段のレーザー光を照射して、前記加工ホイールの加工面を測定する測定工程と、
レーザー測定手段が測定した測定値に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出する算出工程と、
前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正する補正工程と、
補正工程後の前記位置ずれが補正された前記加工ホイールに脆性板の外周縁の加工を行わせる加工工程と、を備えたことを特徴とする脆性板の加工方法。
前記レーザー測定手段を所定の位置に合わせる位置合わせ工程と、
前記加工ホイールの加工面にレーザー測定手段のレーザー光を照射して、前記加工ホイールの加工面を測定する測定工程と、
レーザー測定手段が測定した測定値に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出する算出工程と、
前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正する補正工程と、
補正工程後の前記位置ずれが補正された前記加工ホイールに脆性板の外周縁の加工を行わせる加工工程と、を備えたことを特徴とする脆性板の加工方法。
【請求項12】
前記測定工程は、前記レーザー測定手段が前記加工ホイールの加工面にレーザーを照射した状態で、前記加工ホイールと前記レーザー測定手段とのうちの少なくとも一方が該加工ホイールの軸心方向の一方から他方に向かって移動することにより、前記加工ホイールの加工面を測定し、
前記算出工程は、前記レーザー測定手段が測定した前記第一の方向における前記レーザー測定手段から前記加工ホイールの加工面までの距離が最大となる位置と所定の加工基準位置とに基づいて、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出することを特徴とする請求項１１に記載の脆性板の加工方法。
前記算出工程は、前記レーザー測定手段が測定した前記第一の方向における前記レーザー測定手段から前記加工ホイールの加工面までの距離が最大となる位置と所定の加工基準位置とに基づいて、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出することを特徴とする請求項１１に記載の脆性板の加工方法。
【請求項13】
前記測定工程は、前記レーザー測定手段により、前記加工ホイールの軸心方向における加工面の所定の領域又は全領域にレーザーを照射して加工ホイールの加工面を測定し、
前記算出工程は、前記レーザー測定手段が測定した前記第一の方向における前記レーザー測定手段から前記加工ホイールの加工面までの距離が最大となる位置と所定の加工基準位置とに基づいて、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出することを特徴とする請求項１１に記載の脆性板の加工方法。
前記算出工程は、前記レーザー測定手段が測定した前記第一の方向における前記レーザー測定手段から前記加工ホイールの加工面までの距離が最大となる位置と所定の加工基準位置とに基づいて、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出することを特徴とする請求項１１に記載の脆性板の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、自動車用、液晶テレビ等の液晶パネル用、太陽電池用、家具用及び建築用等の脆性板において、例えば、矩形状の脆性板の外周縁を研削若しくは研磨又は研削及び研磨（以下、加工という）する脆性板の加工装置および脆性板の加工方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、例えばガラス板の研削装置は、例えば、研削ホイールを電動モータの作動により回転させながらガラス板の周縁に当接させて、当該ガラス板を研削するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１０－５８２６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
前記特許文献1に開示のガラス板の研削装置では、研削ホイール交換時などにガラス研削位置と研削ホイール位置とを合わせる方法として、研削ホイール制作時に研削ホイール取付面から研削ホイール溝の基準位置までの寸法を手動で合わせるようにしていたが、この方法だとガラス板を加工した時に微妙に加工形状がずれることがあり、その一回目のガラス板の加工形状を見て研削ホイール位置を再度調整するという方法をとっており、ガラス板に対する研削ホイールの位置合わせに時間がかかり、全体としてガラス板の加工の効率が悪くなっている。
【0005】
本発明は、前記諸点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、脆性板と加工ホイール溝との手作業による位置合わせを何度も試験することなく、脆性板の加工前に加工ホイールの位置ずれ量を自動で測定し、前記位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの位置ずれを自動で補正し、前記加工ホイールの位置ずれが補正された前記加工ホイールに脆性板の外周縁の加工を行わせるため、加工ホイール交換後の手動による脆性板に対する加工ホイールの位置合わせの手間と時間を短くでき、全体として脆性板の加工の効率が高い脆性板の加工装置および脆性板の加工方法を提供するところにある。
【0006】
本発明の他の目的は、脆性板の加工前に加工ホイールの位置ずれ量を自動で測定し、前記位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの位置ずれを自動で補正し、これら測定と補正とを交互に複数回繰り返すことにより、前記加工ホイールの位置ずれを自動で更に精度よく補正し、前記加工ホイールの位置ずれが補正された前記加工ホイールに脆性板の外周縁の加工を行わせるため、前記加工ホイール交換後の手動による脆性板に対する加工ホイールの位置合わせの手間と時間を短くでき、全体として脆性板の加工の効率が高い脆性板の加工装置および脆性板の加工方法を提供するところにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
前記課題を解決するための本発明の第１の特徴は、脆性板の加工装置が、脆性板を保持するテーブルと、前記テーブルに保持された前記脆性板の外周縁を加工する加工ホイールを有した加工ヘッドと、前記脆性板に対する前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を測定する測定部と、前記測定部が測定した前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて該加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせる制御部とを備えたことにある。
【0008】
第１の特徴を有した本発明の脆性板の加工装置の一例としては、前記測定部が、取付板と、前記加工ホイールの軸心に直交する第一の方向において前記取付板に対して相対移動自在に設けられている移動台と、前記移動台を前記第一の方向に移動させる移動手段と、前記移動台に設けられていると共に先端部を備えた軸部材を有する回転手段とを備え、
前記測定部が、前記軸部材をその軸周りにおける第一の周り方向に回転させて前記先端部を前記加工ホイールの前記加工面に接触させ、前記先端部が第一の周り方向に回転して前記加工ホイールの前記加工面に接触した第一の位置を測定し、前記軸部材を前記第一の周り方向とは逆方向である第二の周り方向に回転させて前記先端部を前記加工ホイールの前記加工面に接触させ、前記先端部が第二の周り方向に回転して前記加工ホイールの前記加工面に接触した第二の位置を測定し、
前記制御部が、所定の加工基準位置から前記第一の位置までの前記加工ホイールの軸心方向における第一の距離を算出し、前記所定の加工基準位置から前記第二の位置までの前記加工ホイールの軸心方向における第二の距離を算出し、前記第一の距離及び前記第二の距離に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出し、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向の位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせる。
前記測定部が、前記軸部材をその軸周りにおける第一の周り方向に回転させて前記先端部を前記加工ホイールの前記加工面に接触させ、前記先端部が第一の周り方向に回転して前記加工ホイールの前記加工面に接触した第一の位置を測定し、前記軸部材を前記第一の周り方向とは逆方向である第二の周り方向に回転させて前記先端部を前記加工ホイールの前記加工面に接触させ、前記先端部が第二の周り方向に回転して前記加工ホイールの前記加工面に接触した第二の位置を測定し、
前記制御部が、所定の加工基準位置から前記第一の位置までの前記加工ホイールの軸心方向における第一の距離を算出し、前記所定の加工基準位置から前記第二の位置までの前記加工ホイールの軸心方向における第二の距離を算出し、前記第一の距離及び前記第二の距離に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出し、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向の位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせる。
【0009】
第１の特徴を有した本発明の脆性板の加工装置の他の一例としては、脆性板の加工装置が、前記測定部による第一の位置及び第二の位置の測定と、前記制御部による前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれの補正とを交互に複数回繰り返し、前記位置ずれが複数回補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせる。
【0010】
第１の特徴を有した本発明の脆性板の加工装置の他の一例としては、前記回転手段が、トルクを制御するサーボモータである。
【0011】
第１の特徴を有した本発明の脆性板の加工装置の他の一例としては、前記測定部が、取付板と、前記加工ホイールの軸心に直交する第一の方向において前記取付板に対して相対移動自在に設けられている移動台と、前記移動台を前記第一の方向に移動させる移動手段と、前記移動台に設けられていると共に前記加工ホイールの加工面にレーザーを照射して加工面を測定するレーザー測定手段とを備え、
前記制御部が、レーザー測定手段が測定した測定値に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における所定の加工基準位置からの位置ずれ量を算出し、前記加工ホイールの軸心方向における所定の加工基準位置からの位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせる。
前記制御部が、レーザー測定手段が測定した測定値に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における所定の加工基準位置からの位置ずれ量を算出し、前記加工ホイールの軸心方向における所定の加工基準位置からの位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせる。
【0012】
第１の特徴を有した本発明の脆性板の加工装置の他の一例としては、前記レーザー測定手段が、前記加工ホイールの加工面にレーザーを照射した状態で、前記加工ホイールと前記レーザー測定手段とのうちの少なくとも一方が該加工ホイールの軸心方向の一方から他方に向かって移動することにより、前記加工ホイールの加工面を測定し、
前記制御部が、前記レーザー測定手段が測定した前記第一の方向における前記レーザー測定手段から前記加工ホイールの加工面までの距離が最大となる位置と、所定の加工基準位置とに基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出し、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせる。
前記制御部が、前記レーザー測定手段が測定した前記第一の方向における前記レーザー測定手段から前記加工ホイールの加工面までの距離が最大となる位置と、所定の加工基準位置とに基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出し、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせる。
【0013】
第１の特徴を有した本発明の脆性板の加工装置の他の一例としては、前記レーザー測定手段が、前記加工ホイールの軸心方向における加工面の所定の領域又は全領域にレーザーを照射して加工ホイールの加工面を測定し、
前記制御部が、前記レーザー測定手段が測定した前記第一の方向における前記レーザー測定手段から前記加工ホイールの加工面までの距離が最大となる位置と、所定の加工基準位置とに基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出し、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせる。
前記制御部が、前記レーザー測定手段が測定した前記第一の方向における前記レーザー測定手段から前記加工ホイールの加工面までの距離が最大となる位置と、所定の加工基準位置とに基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出し、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせる。
【0014】
前記課題を解決するための本発明の第２の特徴は、脆性板を保持するテーブルと、前記テーブルに保持された前記脆性板の外周縁を加工する加工ホイールを有した加工ヘッドと、前記脆性板に対する前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を測定する測定部と、前記測定部が測定した前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて該加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせる制御部とを備えている脆性板の加工装置を用いた脆性板の加工方法であって、
脆性板の加工方法が、
前記脆性板に対する前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を測定する測定工程と、
前記測定工程で測定した前記位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向の位置ずれを補正する補正工程と、
前記補正工程後の前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせる加工工程と、を備えている。
脆性板の加工方法が、
前記脆性板に対する前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を測定する測定工程と、
前記測定工程で測定した前記位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向の位置ずれを補正する補正工程と、
前記補正工程後の前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせる加工工程と、を備えている。
【0015】
前記課題を解決するための本発明の第３の特徴は、脆性板の加工装置が、脆性板を保持するテーブルと、前記テーブルに保持された前記脆性板の外周縁を加工する加工ホイールを有した加工ヘッドと、前記脆性板に対する前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を測定する測定部と、前記測定部が測定した前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて該加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせる制御部とを備え、前記測定部が、取付板と、前記加工ホイールの軸心に直交する第一の方向において前記取付板に対して相対移動自在に設けられている移動台と、前記移動台を前記第一の方向に移動させる移動手段と、前記移動台に設けられていると共に先端部を備えた軸部材を有する回転手段とを備えた脆性板の加工装置を用いた脆性板の加工方法であって、
脆性板の加工方法が、
前記軸部材を所定の位置に合わせる位置合わせ工程と、
前記軸部材をその軸周りにおける第一の周り方向に回転させて前記先端部を前記加工ホイールの前記加工面に接触させ、前記先端部が接触した前記加工ホイールの前記加工面上の第一の位置を測定する第一の測定工程と、
前記軸部材を前記第一の周り方向とは逆方向である第二の周り方向に回転させて前記先端部を前記加工ホイールの前記加工面に接触させ、前記先端部が接触した前記加工ホイールの前記加工面上の第二の位置を測定する第二の測定工程と、
所定の加工基準位置から前記第一の位置までの前記加工ホイールの軸心方向における第一の距離を算出し、前記所定の加工基準位置から前記第二の位置までの前記加工ホイールの軸心方向における第二の距離を算出し、前記第一の距離及び前記第二の距離に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出する算出工程と、
前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向の位置ずれを補正する補正工程と、
補正工程後の前記位置ずれが補正された前記加工ホイールに脆性板の外周縁の加工を行わせる加工工程と、を備えている。
脆性板の加工方法が、
前記軸部材を所定の位置に合わせる位置合わせ工程と、
前記軸部材をその軸周りにおける第一の周り方向に回転させて前記先端部を前記加工ホイールの前記加工面に接触させ、前記先端部が接触した前記加工ホイールの前記加工面上の第一の位置を測定する第一の測定工程と、
前記軸部材を前記第一の周り方向とは逆方向である第二の周り方向に回転させて前記先端部を前記加工ホイールの前記加工面に接触させ、前記先端部が接触した前記加工ホイールの前記加工面上の第二の位置を測定する第二の測定工程と、
所定の加工基準位置から前記第一の位置までの前記加工ホイールの軸心方向における第一の距離を算出し、前記所定の加工基準位置から前記第二の位置までの前記加工ホイールの軸心方向における第二の距離を算出し、前記第一の距離及び前記第二の距離に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出する算出工程と、
前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向の位置ずれを補正する補正工程と、
補正工程後の前記位置ずれが補正された前記加工ホイールに脆性板の外周縁の加工を行わせる加工工程と、を備えている。
【0016】
第３の特徴を有した本発明の脆性板の加工装置の一例としては、脆性板の加工方法が、前記第一の測定工程と、前記第二の測定工程と、前記算出工程と、前記補正工程とを複数回繰り返し、前記位置ずれが複数回補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせる。
【0017】
前記課題を解決するための本発明の第４の特徴は、脆性板の加工装置が、脆性板を保持するテーブルと、前記テーブルに保持された前記脆性板の外周縁を加工する加工ホイールを有した加工ヘッドと、前記脆性板に対する前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を測定する測定部と、前記測定部が測定した前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて該加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせる制御部とを備え、前記測定部が、取付板と、前記加工ホイールの軸心に直交する第一の方向において前記取付板に対して相対移動自在に設けられている移動台と、前記移動台を前記第一の方向に移動させる移動手段と、前記移動台に設けられていると共に前記加工ホイールの加工面にレーザーを照射して加工面を測定するレーザー測定手段とを備えた脆性板の加工装置を用いた脆性板の加工方法であって、
脆性板の加工方法が、
前記レーザー測定手段を所定の位置に合わせる位置合わせ工程と、
前記加工ホイールの加工面にレーザー測定手段のレーザー光を照射して、前記加工ホイールの加工面を測定する測定工程と、
レーザー測定手段が測定した測定値に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出する算出工程と、
前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正する補正工程と、
補正工程後の前記位置ずれが補正された前記加工ホイールに脆性板の外周縁の加工を行わせる加工工程と、を備えている。
脆性板の加工方法が、
前記レーザー測定手段を所定の位置に合わせる位置合わせ工程と、
前記加工ホイールの加工面にレーザー測定手段のレーザー光を照射して、前記加工ホイールの加工面を測定する測定工程と、
レーザー測定手段が測定した測定値に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出する算出工程と、
前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正する補正工程と、
補正工程後の前記位置ずれが補正された前記加工ホイールに脆性板の外周縁の加工を行わせる加工工程と、を備えている。
【0018】
第４の特徴を有した本発明の脆性板の加工装置の一例としては、前記測定工程が、前記レーザー測定手段が前記加工ホイールの加工面にレーザーを照射した状態で、前記加工ホイールと前記レーザー測定手段とのうちの少なくとも一方が該加工ホイールの軸心方向の一方から他方に向かって移動することにより、前記加工ホイールの加工面を測定し、
前記算出工程が、前記レーザー測定手段が測定した前記第一の方向における前記レーザー測定手段から前記加工ホイールの加工面までの距離が最大となる位置と所定の加工基準位置とに基づいて、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出する。
前記算出工程が、前記レーザー測定手段が測定した前記第一の方向における前記レーザー測定手段から前記加工ホイールの加工面までの距離が最大となる位置と所定の加工基準位置とに基づいて、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出する。
【0019】
第４の特徴を有した本発明の脆性板の加工装置の他の一例としては、前記測定工程が、前記レーザー測定手段により、前記加工ホイールの軸心方向における加工面の所定の領域又は全領域にレーザーを照射して加工ホイールの加工面を測定し、
前記算出工程が、前記レーザー測定手段が測定した前記第一の方向における前記レーザー測定手段から前記加工ホイールの加工面までの距離が最大となる位置と所定の加工基準位置とに基づいて、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出する。
前記算出工程が、前記レーザー測定手段が測定した前記第一の方向における前記レーザー測定手段から前記加工ホイールの加工面までの距離が最大となる位置と所定の加工基準位置とに基づいて、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出する。
【発明の効果】
【0020】
第１の特徴を有した脆性板の加工装置によれば、前記測定部が、前記脆性板に対する前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を測定し、前記制御部が、前記測定部が測定した前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて該加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせるので、脆性板と加工ホイール溝との手作業による位置合わせを何度も試験することなく、加工ホイール交換後の手動による脆性板に対する加工ホイールの位置合わせの手間と時間を短くでき、全体として脆性板の加工の効率が高い脆性板の加工装置を提供することができる。
【0021】
第１の特徴を有した一の脆性板の加工装置によれば、前記制御部が、所定の加工基準位置から前記第一の位置までの前記加工ホイールの軸心方向における第一の距離を算出し、前記所定の加工基準位置から前記第二の位置までの前記加工ホイールの軸心方向における第二の距離を算出し、前記第一の距離及び前記第二の距離に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出し、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向の位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせるので、脆性板と加工ホイール溝との手作業による位置合わせを何度も試験することなく、加工ホイール交換後の手動による脆性板に対する加工ホイールの位置合わせの手間と時間を短くでき、全体として脆性板の加工の効率が高い脆性板の加工装置を提供することができる。
【0022】
第１の特徴を有した他の一の脆性板の加工装置によれば、前記測定部による第一の位置及び第二の位置の測定と、前記制御部による前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれの補正とを交互に複数回繰り返すことにより、前記加工ホイールの位置ずれを自動で更に精度よく補正し、前記加工ホイールの位置ずれが補正された前記加工ホイールに脆性板の外周縁の加工を行わせるため、前記加工ホイール交換後の手動による脆性板に対する加工ホイールの位置合わせの手間と時間を短くでき、全体として脆性板の加工の効率が高い脆性板の加工装置を提供することができる。
【0023】
第１の特徴を有した他の一の脆性板の加工装置によれば、回転手段が、トルクを制御するサーボモータであるので、前記軸部材の前記先端部が加工面に接触した位置において、回転手段の回転（角度）を制御し、確実に止めることができ、而して、前記加工ホイールの位置ずれ量を更に精確に測定することができ、前記加工ホイールの位置ずれを精度よく補正することができる。
【0024】
第１の特徴を有した他の一の脆性板の加工装置によれば、前記制御部が、レーザー測定手段が測定した測定値に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における所定の加工基準位置からの位置ずれ量を算出し、前記加工ホイールの軸心方向における所定の加工基準位置からの位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせるので、脆性板と加工ホイール溝との手作業による位置合わせを何度も試験することなく、加工ホイール交換後の手動による脆性板に対する加工ホイールの位置合わせの手間と時間を短くでき、全体として脆性板の加工の効率が高い脆性板の加工装置を提供することができる。
【0025】
第１の特徴を有した他の一の脆性板の加工装置によれば、前記レーザー測定手段が、前記加工ホイールの加工面にレーザーを照射した状態で、前記加工ホイールと前記レーザー測定手段とのうちの少なくとも一方が該加工ホイールの軸心方向の一方から他方に向かって移動することにより、前記加工ホイールの加工面を測定し、前記制御部が、前記レーザー測定手段が測定した前記第一の方向における前記レーザー測定手段から前記加工ホイールの加工面までの距離が最大となる位置と所定の加工基準位置とに基づいて、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出し、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせるので、脆性板と加工ホイール溝との手作業による位置合わせを何度も試験することなく、加工ホイール交換後の手動による脆性板に対する加工ホイールの位置合わせの手間と時間を短くでき、全体として脆性板の加工の効率が高い脆性板の加工装置を提供することができる。
【0026】
第１の特徴を有した他の一の脆性板の加工装置によれば、前記レーザー測定手段が、前記加工ホイールの軸心方向における加工面の所定の領域又は全領域にレーザーを照射して加工ホイールの加工面を測定し、前記制御部が、前記レーザー測定手段が測定した前記第一の方向における前記レーザー測定手段から前記加工ホイールの加工面までの距離が最大となる位置と所定の加工基準位置とに基づいて、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出し、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正し、前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせるので、脆性板と加工ホイール溝との手作業による位置合わせを何度も試験することなく、加工ホイール交換後の手動による脆性板に対する加工ホイールの位置合わせの手間と時間を短くでき、全体として脆性板の加工の効率が高い脆性板の加工装置を提供することができる。
【0027】
第２の特徴を有した脆性板の加工方法によれば、脆性板の加工方法が、前記脆性板に対する前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を測定する測定工程と、前記測定工程で測定した前記位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向の位置ずれを補正する補正工程と、前記補正工程後の前記位置ずれが補正された加工ホイールに前記脆性板の外周縁の加工を行わせる加工工程とを備えているので、脆性板と加工ホイール溝との手作業による位置合わせを何度も試験することなく、加工ホイール交換後の手動による脆性板に対する加工ホイールの位置合わせの手間と時間を短くでき、全体として脆性板の加工の効率が高い脆性板の加工方法を提供することができる。
【0028】
第３の特徴を有した脆性板の加工方法によれば、脆性板の加工方法が、前記軸部材を所定の位置に合わせる位置合わせ工程と、前記軸部材をその軸周りにおける第一の周り方向に回転させて前記先端部を前記加工ホイールの前記加工面に接触させ、前記先端部が接触した前記加工ホイールの前記加工面上の第一の位置を測定する第一の測定工程と、前記軸部材を前記第一の周り方向とは逆方向である第二の周り方向に回転させて前記先端部を前記加工ホイールの前記加工面に接触させ、前記先端部が接触した前記加工ホイールの前記加工面上の第二の位置を測定する第二の測定工程と、所定の加工基準位置から前記第一の位置までの前記加工ホイールの軸心方向における第一の距離を算出し、前記所定の加工基準位置から前記第二の位置までの前記加工ホイールの軸心方向における第二の距離を算出し、前記第一の距離及び前記第二の距離に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出する算出工程と、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向の位置ずれを補正する補正工程と、補正工程後の前記位置ずれが補正された前記加工ホイールに脆性板の外周縁の加工を行わせる加工工程とを備えているので、脆性板と加工ホイール溝との手作業による位置合わせを何度も試験することなく、加工ホイール交換後の手動による脆性板に対する加工ホイールの位置合わせの手間と時間を短くでき、全体として脆性板の加工の効率が高い脆性板の加工方法を提供することができる。
【0029】
第３の特徴を有した一の脆性板の加工方法によれば、脆性板の加工方法が、前記第一の測定工程と、前記第二の測定工程と、前記算出工程と、前記補正工程とを複数回繰り返し、前記加工ホイールの位置ずれを自動で更に精度よく補正でき、前記位置ずれが複数回補正された前記加工ホイールに脆性板の外周縁の加工を行わせるため、前記加工ホイール交換後の手動による脆性板に対する加工ホイールの位置合わせの手間と時間を短くでき、全体として脆性板の加工の効率が高い脆性板の加工方法を提供することができる。
【0030】
第４の特徴を有した脆性板の加工方法によれば、脆性板の加工方法が、前記レーザー測定手段を所定の位置に合わせる位置合わせ工程と、前記加工ホイールの加工面にレーザー測定手段のレーザー光を照射して、前記加工ホイールの加工面を測定する測定工程と、レーザー測定手段が測定した測定値に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出する算出工程と、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量に基づいて前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれを補正する補正工程と、補正工程後の前記位置ずれが補正された前記加工ホイールに脆性板の外周縁の加工を行わせる加工工程とを備えているので、脆性板と加工ホイール溝との手作業による位置合わせを何度も試験することなく、加工ホイール交換後の手動による脆性板に対する加工ホイールの位置合わせの手間と時間を短くでき、全体として脆性板の加工の効率が高い脆性板の加工方法を提供することができる。
【0031】
第４の特徴を有した一の脆性板の加工方法によれば、前記測定工程が、前記レーザー測定手段が前記加工ホイールの加工面にレーザーを照射した状態で、前記加工ホイールと前記レーザー測定手段とのうちの少なくとも一方が該加工ホイールの軸心方向の一方から他方に向かって移動することにより、前記加工ホイールの加工面を測定し
前記算出工程が、前記レーザー測定手段が測定した前記第一の方向における前記レーザー測定手段から前記加工ホイールの加工面までの距離が最大となる位置と所定の加工基準位置とに基づいて、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出するので、脆性板と加工ホイール溝との手作業による位置合わせを何度も試験することなく、加工ホイール交換後の手動による脆性板に対する加工ホイールの位置合わせの手間と時間を短くでき、全体として脆性板の加工の効率が高い脆性板の加工方法を提供することができる。
前記算出工程が、前記レーザー測定手段が測定した前記第一の方向における前記レーザー測定手段から前記加工ホイールの加工面までの距離が最大となる位置と所定の加工基準位置とに基づいて、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出するので、脆性板と加工ホイール溝との手作業による位置合わせを何度も試験することなく、加工ホイール交換後の手動による脆性板に対する加工ホイールの位置合わせの手間と時間を短くでき、全体として脆性板の加工の効率が高い脆性板の加工方法を提供することができる。
【0032】
第４の特徴を有した他の一の脆性板の加工方法によれば、前記測定工程が、前記レーザー測定手段により、前記加工ホイールの軸心方向における加工面の所定の領域又は全領域にレーザーを照射して加工ホイールの加工面を測定し、
前記算出工程が、前記レーザー測定手段が測定した前記第一の方向における前記レーザー測定手段から前記加工ホイールの加工面までの距離が最大となる位置と所定の加工基準位置とに基づいて、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出するので、脆性板と加工ホイール溝との手作業による位置合わせを何度も試験することなく、加工ホイール交換後の手動による脆性板に対する加工ホイールの位置合わせの手間と時間を短くでき、全体として脆性板の加工の効率が高い脆性板の加工方法を提供することができる。
前記算出工程が、前記レーザー測定手段が測定した前記第一の方向における前記レーザー測定手段から前記加工ホイールの加工面までの距離が最大となる位置と所定の加工基準位置とに基づいて、前記加工ホイールの軸心方向における位置ずれ量を算出するので、脆性板と加工ホイール溝との手作業による位置合わせを何度も試験することなく、加工ホイール交換後の手動による脆性板に対する加工ホイールの位置合わせの手間と時間を短くでき、全体として脆性板の加工の効率が高い脆性板の加工方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0033】
【発明を実施するための形態】
【0034】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。各図面において、同一の又は対応する構成には、同一の又は対応する符号を付して説明を省略する。なお、本発明はこれら実施例に何等限定されないのである。
【0035】
一例として示す脆性板の加工装置１の正面図である図１等に添付の図面を参照し、本発明にかかる脆性板の加工装置の詳細を説明すると、以下のとおりである。なお、図２は、脆性板の加工装置１の一部省略平面説明図であり、図３は、脆性板の加工装置１の一部省略左側面説明図であり、図４は、脆性板の加工装置１の加工ヘッド７の説明図であり、図５は、脆性板の加工装置１を用いた脆性板の加工方法を示すフローチャートである。図６は、脆性板の加工装置１の測定部８の動作説明図であり、図７は、脆性板の加工装置１の軸部材９７の動作説明図であり、図８は、脆性板の加工装置１の軸部材９７の測定動作説明図であり、図１では、脆性板の加工装置１の上流側、例えば、脆性板の搬入部、スクライブ、折割部等の図示を省略しており、図２では、基台３の横支持枠１３及び加工ヘッド７等の図示を省略しており、図３では、テーブル４及び加工ヘッド７等の図示を省略している。図１では、脆性板２の搬送方向をＸ軸方向、上下方向をＺ軸方向、Ｘ軸方向及びＺ軸方向に直交する方向をＹ軸方向で示す。
【0036】
図１から図３において、一例として示す脆性板の加工装置１は、基台３と、基台３に設けられていると共にＸＹ平面で規定される所定の面積を有した長方形平板状の脆性板２を下面から保持するテーブル４と、テーブル４に保持された脆性板２の外周縁５を加工する加工ホイール６を有した加工ヘッド７と、脆性板２に対する加工ホイール６の軸心方向であると共にＸＹ平面に直交するＺ軸方向における位置ずれ量Δを測定する測定部８と、測定部８が測定した加工ホイール６のＺ軸方向における位置ずれ量Δに基づいて加工ホイール６のＺ軸方向における位置ずれを補正し、位置ずれが補正された加工ホイール６に脆性板２の外周縁５の加工を行わせる制御部９とを備えている。
【0037】
本例において、例えば、脆性板２は、自動車用、液晶テレビ等の液晶パネル用、太陽電池用、家具用及び建築用の脆性を有した板であればよく、脆性板２の種類は多種多様であり、脆性板２は、ガラス板、炭化珪素板、シリコン基板等などであってもよい。
【0038】
本例において、脆性板２は長方形平板状であるが、これに代えて、脆性板２は、楕円形、円形、多角形、正方形、矩形等のいずれの形状であってもよく、また、脆性板２は、所定の面積、所定の厚みを有していればよい。
【0039】
基台３は、地面１０に載置される本体１１と、本体１１の上面であって脆性板２の搬送方向であるＸ軸方向の両端部に立設された一対の門形の枠１２と、前記一対の門形の枠１２に架設されていると共にＸ軸方向に延びる横支持枠１３とを備えている。
【0040】
本体１１の上面には、テーブル４が設けられ、一対の門形の枠１２のうちの一方の門形の枠１２Ａには、測定部８が設けられ、そして、横支持枠１３には、加工ヘッド７が設けられている。
【0041】
テーブル４は、脆性板２の下面から吸着保持する複数の吸盤２１と、複数の吸盤２１が載置される吸盤台２２と、吸盤台２２をＸ軸方向に直行するＹ軸方向に案内移動させるＹ軸移動手段２３と、Ｙ軸移動手段２３に電気的に接続されているケーブルベア（登録商標）２４とを備えている。
【0042】
本例では、脆性板２は、複数の吸盤２１により支持されているが、これに代えて、脆性板２は、一つの吸盤２１で支持されてもよい。
【0043】
Ｙ軸移動手段２３は、Ｙ軸方向に延びていると共にＹ軸方向に互いに平行に敷設された２本のガイドレール２５と、ガイドレール２５の夫々にＹ軸方向に移動自在に装着されていると共に吸盤台２２の下面に取付けられているスライドブロック２６と、吸盤台２２の下面に固着されたナット（図示せず）に螺合されていると共に一対のガイドレール２５間に設けられた送りネジ２７と、送りネジ２７を回転させるＹ軸制御モータ（図示せず）とを備えている。
【0044】
吸盤台２２は、Ｙ軸制御モータの作動により送りネジ２７が回転させられて、Ｙ軸方向に移動する。
【0045】
加工ヘッド７を図４（ａ）から図４（ｃ）を参照し、詳細を説明する。なお、図４（ａ）は加工ヘッド７の一部省略正面図であり、図４（ｂ）は、加工ヘッド７の一部省略側面図であり、図４（ｃ）は、加工ヘッド７の一部省略平面図である。
【0046】
加工ヘッド７は、脆性板２の外周縁５を加工するペンシルエッジ型の加工ホイール６と、Ｚ軸方向における下端に加工ホイール６が装着されていると共に加工ホイール６を軸心Ｃ１中心として回転させる出力回転軸を有した回転手段３１と、加工ホイール６の脆性板２に対する切り込み量を調節する切り込み量調節手段３２と、加工ホイール６をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動手段３３と、加工ホイール６をＺ軸方向に移動させるＺ軸移動手段３４と、加工ホイール６を軸心Ｃ２中心として旋回させる旋回軸３５を有した旋回手段３６と、旋回手段３６の旋回軸３５の下端部３７の旋回軸ホルダー３８に取付けられている基台３９とを備えている。
【0047】
加工ホイール６は、円盤状の本体４１と、ダイヤモンド砥粒等を含んでいる加工面４２とを備えている。また、加工ホイール６は、脆性板２を加工面４２で研削若しくは研磨又は研削及び研磨（以下、加工という）する。
【0048】
加工ヘッド７と脆性板２とは、制御部９により数値制御されてＸＹ平面座標系を移動し、加工ホイール６が脆性板２の外周縁５に対して常に法線方向を向くように角度制御されつつ、脆性板２の外周を回り、脆性板２の外周縁５の加工を行う。
【0049】
回転手段３１は、Ｚ軸方向における下端４５に加工ホイール６が取り付けられた出力回転軸４６を有したスピンドルモータであり、スピンドルモータの駆動により出力回転軸４６の回転軸心Ｃ１を中心として加工ホイール６を回転軸心Ｃ１の軸周りのＲ１方向に回転させる。
【0050】
切り込み量調節手段３２は、基台３９に取り付けられていると共にＸ軸方向に延びて互いに平行に敷設された２本の切り込みスライド５１と、切り込みスライド５１の夫々にＸ軸方向に相対移動自在に装着されているＸ軸方向スライド台５２と、Ｘ軸方向スライド台５２に固着されたナット５３に螺合されている送りネジ５４と、送りネジ５４に取り付けられた切り込みギヤー５５と、切り込みギヤー５５に噛み合う切り込みギヤー５６を有していると共にブラケット５７を介して基台３９に取り付けられた切り込み量を調節する切り込みサーボモータ５８とを備えている。
【0051】
制御部９は、切り込みサーボモータ５８を作動させ、切り込みギヤー５５及び切り込みギヤー５６を介して送りネジ５４を回転させ、Ｘ軸方向スライド台５２をＸ軸方向に移動させ、加工ホイール６の脆性板２に対する切り込み量を調節する。
【0052】
加工ホイール６は、切り込み量調節手段３２の調整により、その周端面（加工面４２）が旋回軸３５の回転軸心Ｃ２に一致されるようになっている。
【0053】
Ｘ軸移動手段３３は、加工ヘッド７が取り付けられているＸ軸移動台６１と、横支持枠１３の側面６２に取り付けられたＸ軸方向に平行に延びた一対のガイドレール６３と、一対のガイドレール６３に滑動自在に嵌合されていると共にＸ軸移動台６１の裏面に固着されたスライダ（図示せず）と、Ｘ軸移動台６１に取り付けられたナット（図示せず）と、一対のガイドレール６３間に設けられていると共にナットが螺合している送りネジ６４と、送りネジ６４が軸受６５を介して連結されている出力回転軸６６を有したＸ軸サーボモータ６７とを備えている。
【0054】
加工ヘッド７は、Ｘ軸移動手段３３によってＸ軸方向にＸ軸移動台６１と共に一体となって直動するようになっており、Ｘ軸移動台６１のＸ軸方向の直動は、Ｘ軸サーボモータ６７の駆動により軸受６５を介して送りネジ６４を回転させ、Ｘ軸移動台６１がＸ軸方向に移動する。
【0055】
Ｚ軸移動手段３４は、Ｘ軸方向スライド台５２に取り付けられていると共にＺ軸方向に延びて互いに平行に敷設された２本のガイドレール７１と、ガイドレール７１の夫々に移動自在に装着されていると共にＸ軸方向スライド台５２に対してＺ軸方向に相対移動自在に取付けられたＺ軸方向スライド台７２と、Ｘ軸方向スライド台５２に固着されたナット７３に螺合されている送りネジ７４と、送りネジ７４連結されたギヤーボックス７５と、ギヤーボックス７５に連結された出力回転軸７６を有した加工ホイール６のＺ軸方向の位置を調節するＺ軸サーボモータ７７とを備えている。
【0056】
制御部９は、Ｚ軸サーボモータ７７を作動させ、送りネジ７４を回転させ、Ｚ軸方向スライド台７２をＺ軸方向に移動させ、加工ホイール６をＺ軸方向に移動させる。
【0057】
加工ホイール６は、Ｚ軸移動手段３４の調整により、軸心方向における位置ずれが補正される。
【0058】
旋回手段３６は、加工ヘッド７を軸心Ｃ２周りで回転させる旋回サーボモータ８１と、旋回サーボモータ８１の出力回転軸に連結されたギヤーボックス８２と、ギヤーボックス８２の回転ギヤー８３に噛み合わされた回転ギヤー８４を有した旋回軸３５と、旋回軸３５を回動自在に保持するベアリングケース８５とを備えている。
【0059】
旋回手段３６は、Ｘ軸移動するＸ軸移動台６１に取付けられ、旋回軸３５は、その軸心Ｃ２がＸＹ平面座標系、つまり、脆性板２の上面に直交して組込まれている。
【0060】
加工ヘッド７は、旋回手段３６の旋回軸３５に基台３９を介して取付けられ、旋回軸３５と一体となって、かつ旋回軸３５の軸心Ｃ２を中心として軸心Ｃ２の軸周りＲ２方向に角度制御され水平回動する。
【0061】
測定部８は、一対の枠１２のうちの一方の枠１２Ａの側面に取り付けられた取付板９１と、取付板９１にＺ軸方向に移動自在に取り付けられたＺ軸移動台９２と、Ｚ軸移動台９２をＺ方向に移動させるＺ軸移動手段９３と、取付板９１に対してＸ軸方向に移動自在に取り付けられているＸ軸移動台９４と、Ｘ軸移動台９４を加工ホイール６の軸心Ｃ１に対して直交する第一の方向としてのＸ軸方向に移動させるＸ軸移動手段９５と、Ｘ軸移動台９４に設けられていると共に先端部９６を有した軸部材９７を有した回転手段９８と、加工ホイール６の加工面４４の位置を計測する位置計測センサ９９とを備えている。
【0062】
Ｚ軸移動台９２は、基台１０１と、基台１０１に取付けられていると共にＺ軸方向における一端１０２からＹ軸方向に延延びるフランジ部１０３を有したプレート１０４と、フランジ部１０３のＹ軸方向における先端部１０５が嵌合する溝１０６を有した板部１０７とを備えている。
【0063】
プレート１０４は、本例では、フランジ部１０３がＺ軸方向における一端１０２に一体的に形成されている。
【0064】
Ｚ軸移動手段９３は、Ｚ軸方向に延びていると共に互いに平行に敷設された１本のガイドレール（図示せず）と、ガイドレール（図示せず）の夫々にＺ軸方向に移動自在に装着されていると共にＺ軸移動台９２に取付けられているスライドブロック（図示せず）と、Ｚ軸移動台９２の下面に固着されたナット（図示せず）に螺合されている送りネジ（図示せず）と、送りネジを回転させるＺ軸制御モータ１０８とを備えている。
【0065】
Ｘ軸移動台９４は、Ｘ軸方向に延びる所定の面積を有した板部１１１から形成され、板部１１１にはケーブルベア１１２を取り付けるケーブルベア取付けプレート１１３が取り付けられている。
【0066】
Ｘ軸移動手段９５は、板部１０７のＹ軸方向の一方の面１０９に取付けられていると共にＸ軸方向に移動自在なスライダ１２１を有したロッドレスエアーシリンダ１２３と、スライダ１２１に連結されていると共に板部１１１に連結されたロッドレスエアーシリンダ接続プレート１２４と、板部１０７のＹ軸方向の他方の面１１０に敷設されたＸ軸方向に延びるガイドレール１２５と、ガイドレール１２５にＸ軸方向に移動自在に装着されていると共に板部１１１のＹ軸方向の一方の面１１５に取付けられているガイドブロック１２６とを備えている。
【0067】
Ｘ軸移動手段９５は、ロッドレスエアーシリンダ１２３の駆動により、スライダ１２１に連結されたロッドレスエアーシリンダ接続プレート１２４を介して板部１１１をＸ軸方向に移動させる。
【0068】
回転手段９８は、ブラケット１３１を介して板部１１１のＹ軸方向の他方の面１１６に取付けられていると共に出力回転軸１３２を有したトルクを制御するサーボモータ１３３と、先端部９６を有した軸部材９７と、出力回転軸１３２と軸部材９７とを連結するカップリング１３４と、板部１１１のＹ軸方向の他方の面１１６に取付けられていると共に軸部材９７を回転自在に支持するベアリングケース１３５とを備えている。
【0069】
本例では、軸部材９７の軸心とサーボモータ１３３の出力回転軸１３２の軸心とは、軸心Ｃ３（同軸）上に配置されている。
【0070】
回転手段９８は、サーボモータ１３３の駆動により、カップリング１３４を介して軸部材９７を軸心Ｃ３の軸周りＲ３方向に回転させる。
【0071】
軸部材９７は、Ｘ軸方向に延びる軸本体１４１と、Ｘ軸方向における軸本体１４１の一端部１４２に設けられた切り欠き部１４３と、切り欠き部１４３に挿入されて挟持される先端部９６と、先端部９６を軸本体１４１に固定する固定手段１４４とを備えている。
【0072】
先端部９６は、硬質材料から形成されていると共に貫通孔１５１を有した矩形状の先端部本体１５２と、先端部本体１５２の軸心Ｃ３方向の端部１５３に形成された先端部切り欠き部１５４とを備えている。
【0073】
先端部９６は、硬質材料から形成されていればよく、本例では、先端部９６は、ステンレス硬質材料から形成されている。
【0074】
固定手段１４４は、雄ネジ部（図示せず）が外周面に形成されているネジ本体１６１と、ネジ本体１６１の一端に設けられたヘッド部１６２とから形成されており、軸部材９７の貫通孔１５１には、貫通孔１５１を規定する内周面に形成された雌ネジ部（図示せず）が形成され、固定手段１４４は、ネジ本体１６１が貫通孔１５１を貫通し、雄ネジ部が貫通孔の雌ネジ部に螺合して、先端部９６を軸部材９７に固定する。
【0075】
位置計測センサ９９は、ブラケット１７１を介して板部１１１のＹ軸方向の他方の面１１６に取付けられている接触センサ１７２と、ブラケット１７１を介して板部１１１のＹ軸方向の他方の面１１６に取付けられていると共にフランジ部１０３のＹ軸方向の一方の側面１７３に接触するストッパ１７４とを備えている。
【0076】
Ｘ軸移動台９４は、ロッドレスエアーシリンダ１２３によるＸ軸方向の一の方向であるＸ１方向において、先ず、接触センサ１７２がフランジ部１０３の側面１７３に接触し、次に、Ｘ軸移動台９４のＸ１方向への更なる移動で、ストッパ１７４がフランジ部１０３の側面１７３に接触し、Ｘ１方向への移動が停止される。
【0077】
Ｘ軸移動台９４は、フランジ部１０３の側面１７３に接触センサ１７２及びストッパ１７４が接触した状態でロッドレスエアーシリンダ１２３によるエアー圧力による弾性力によりＸ１方向へ付勢されている。
【0078】
接触センサ１７２は、制御部９に接続されており、制御部９は、加工ヘッド７のＸ２方向への移動で、Ｘ軸移動台９４をＸ２方向へ移動させる。制御部９は、このＸ軸移動台９４をＸ２方向へ移動において、接触センサ１７２に予め設定された移動量に達した時に、加工ヘッド７のＸ１方向への移動を停止する。
【0079】
接触センサ１７２は、本例では、接触式のセンサであるが、これに代えて、例えば、電気的或いは光学的に変位を検出するディジタル式のダイヤルゲージ、レーザー変位センサ、また、非接触センサ等であってもよい。
【0080】
ストッパ１７４は、ブラケット１７１からのＸ１方向における突出量を調節することにより、ストッパ１７４がフランジ部１０３の側面１７３に接触するまでの距離を調節できる。
【0081】
制御部９は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の演算処理（プロセッシング）手段１８１と、フラッシュメモリ等の記憶（メモリー）手段１８２とを備えている。例えば、制御部９は、マイクロプロセッサのような計算機（コンピューター）であってもよく、制御部９は、クラウドに構築された仮想サーバ又は機械室等に設置された物理的なコンピュータであってもよい。また、制御部９は、単一のコンピュータによって構成されてもよく、互いに連携する複数のコンピュータによって構成されてもよく、コンピュータ資源の集合であるクラウドによって構成されてもよい。
【0082】
制御部９は、テーブル４と、加工ヘッド７と、測定部８並びに脆性板の加工装置１を駆動させるために必要なモータ、ロッドレスエアーシリンダ、ケーブルベア等に接続され、これらを予めプログラムされた数値制御命令を介して制御する。このような制御部９は公知であるので、それの詳細な説明は省略する。
【0083】
記憶手段１８２は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ハードディスクドライブ等を含む記憶媒体である。記憶手段１８２は、制御部９が実行するプログラムを予め記憶している。記憶手段１８２は、脆性板の加工装置１の外部に設けられてもよく、その場合にネットワークを介して制御部９との間でデータの授受を行ってもよい。
【0084】
本例において、テーブル４、加工ヘッド７及び測定部８の夫々は独立して数値制御され、また、テーブル４、加工ヘッド７及び測定部８の夫々は同期して数値制御されてもよい。
【0085】
次に、図５から図８を参照して、脆性板の加工装置１を用いた脆性板２を加工する脆性板の加工法について説明する。脆性板の加工装置１の下記の動作は、制御部９によって制御される。また、図５は、本例の脆性板の加工装置１を用いた脆性板２を加工する脆性板の加工法を示すフローチャートである。
【0086】
図５に示すように、脆性板の加工法は、軸部材９７を所定の位置に合わせる位置合わせ工程Ｓ１０１と、軸部材９７を軸心Ｃ３の軸周りＲ３方向の第一の周り方向であるＲ４方向に回転させて先端部９６を加工ホイール６の加工面４２に接触させ、先端部９６が接触した加工ホイール６の加工面４２上の第一の位置Ａを測定する第一の測定工程Ｓ１０２と、軸部材９７を軸心Ｃ３の軸周りＲ３方向の第一の周り方向であるＲ４方向とは逆方向である第二の周り方向であるＲ５方向に回転させて先端部９６を加工ホイール６の加工面４２に接触させ、先端部９６が接触した加工ホイール６の加工面４２上の第二の位置Ｂを測定する第二の測定工程Ｓ１０３と、所定の加工基準位置Ｂ１から第一の位置Ａまでの加工ホイール６のＺ軸方向における第一の距離Ｄ３を算出し、所定の加工基準位置Ｂ１から第二の位置Ｂまでの加工ホイール６のＺ軸方向における第二の距離Ｄ４を算出し、第一の距離Ｄ３及び第二の距離Ｄ４に基づいて脆性板２に対する加工ホイール６のＺ軸方向における位置ずれ量Δを算出する算出工程Ｓ１０４と、加工ホイール６のＺ軸方向における位置ずれ量Δに基づいて加工ホイール６のＺ軸方向の位置ずれを補正する補正工程Ｓ１０５と、補正工程後の加工ホイール６に脆性板２の外周縁５の加工を行わせる加工工程Ｓ１０６とを備えている。
【0087】
まず、位置合わせ工程Ｓ１０１として、加工すべき脆性板２をテーブル４の上方に載置し、テーブル４の吸盤２１により脆性板２を真空吸着支持して位置決めする。
【0088】
Ｚ軸移動台９２をＺ軸移動手段９３によりＺ軸方向に移動させ、所定の加工基準位置Ｂ１に軸部材９７の軸心Ｃ３を位置合わせする。本例では、所定の加工基準位置Ｂ１は、脆性板２をＺ軸方向（脆性板２の厚み方向）において二分する位置である。
【0089】
図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、Ｘ軸移動手段９５を駆動させ、Ｘ軸移動台９４をＸ１方向に移動させ、加工基準位置Ｂ１に位置合わせ後の軸部材９７を、Ｘ１方向に移動させ、接触センサ１７２をフランジ部１０３の側面１７３に接触させ、Ｘ軸移動台９４をＸ１方向に更に移動させ、ストッパ１７４をフランジ部１０３の側面１７３へ接触させ、Ｘ軸移動台９４のＸ１方向への移動を停止（制限）する。
【0090】
図６（ｂ）及び図６（ｃ）に示すように、接触センサ１７２がフランジ部１０３の側面１７３に接触し、ストッパ１７４がフランジ部１０３の側面１７３へ接触し、Ｘ軸移動台９４のＸ１方向への移動が停止（制限）された状態において、Ｘ軸移動手段３３により加工ホイール６をＸ２方向に移動させ、加工ホイール６の加工面４２を軸部材９７に徐々に接近させる。
【0091】
制御部９は、加工ホイール６をＸ２方向に徐々に移動させ、加工ホイール６の加工面４２を先端部本体１５２の端部１５３に接触させ、ロッドレスエアーシリンダ１２３のＸ１方向へのエアー圧力とは逆向きのＸ２方向への対抗力をもって加工ホイール６をＸ２方向に更に移動させる。
【0092】
加工ホイール６は、加工面４２に先端部本体１５２の端部１５３が接触した状態でＸ２方向へ移動する。
【0093】
制御部９は、接触センサ１７２がフランジ部１０３の側面１７３から加工ホイール６によりＸ２方向へ移動させられた水平距離Ｄ１が接触センサ１７２に予め設定された移動量に達した時、加工ホイール６のＸ２方向の移動を停止する。
【0094】
この時、加工ホイール６の加工面４２と先端部本体１５２の端部１５３とは接触した状態を維持している。接触センサ１７２がＸ２方向へ移動した水平距離Ｄ１と、加工ホイール６がＸ２方向へ移動した水平距離Ｄ２とは、等しい。
【0095】
加工ホイール６のＸ２方向の移動が停止された後、加工ホイール６の加工面４２と先端部本体１５２の端部１５３とが接触した状態を維持したまま、接触センサ１７２に予め設定された移動量に基づいて、加工ホイール６をＸ１方向に移動させる。
【0096】
以上により、制御部９は、加工面４２と先端部本体１５２の端部１５３とが接触する位置を計測し、位置情報を取得する。
【0097】
加工ホイール６の加工面４２と先端部本体１５２の端部１５３とを所定の隙間Ｓ１をもって対面させるべく、加工ホイール６をＸ１方向に更に移動させる。
【0098】
図７に示すように、所定の隙間Ｓ１は、本例では、先端部本体１５２の端部１５３が、加工ホイール６の加工面４２に接触しない程度であればよく、好ましくは、隙間Ｓ１は、０．１ｍｍから０．５ｍｍ程度であってもよく、より好ましくは、０．３ｍｍである。隙間Ｓ１は、加工面４２の形状により変更され得る。
【0099】
先端部本体１５２の端部１５３は、径方向における加工ホイール６の外輪郭と加工面４２で規定された環状の空間Ｓ２内に位置している。
【0100】
次に、軸部材９７の測定動作を図８（ａ１）から（ａ３）及び図８（ｂ１）から（ｂ３）を参照し、詳細を説明する。なお、図８（ａ１）から（ａ３）は、軸部材９７の一部省略断面図であり、図８（ｂ１）から（ｂ３）は、先端部９６の一部省略側面図である。
【0101】
第一の測定工程Ｓ１０２として、図８（ａ１）及び（ａ２）並びに図８（ｂ１）及び（ｂ２）に示すように、測定部８は、軸部材９７をＲ４方向に回転させて先端部本体１５２の端部１５３を加工ホイール６の加工面４２に接触させ、先端部本体１５２の端部１５３がＲ４方向に回転して加工ホイール６の加工面４２に接触した第一の位置Ａの位置座標を測定する。
【0102】
次に、図８（ａ３）及び図８（ｂ３）に示すように、第二の測定工程Ｓ１０３として、測定部８は、軸部材９７をＲ５方向に回転させて先端部本体１５２の端部１５３を加工ホイール６の加工面４２に接触させ、先端部本体１５２の端部１５３がＲ５方向に回転して加工ホイール６の加工面４２に接触した第二の位置Ｂの位置座標を測定する。
【0103】
次に、算出工程Ｓ１０４として、制御部９は、所定の加工基準位置Ｂ１から第一の位置Ａまでの加工ホイール６のＺ軸方向における第一の距離Ｄ３を算出し、所定の加工基準位置Ｂ１から第二の位置Ｂまでの加工ホイール６のＺ軸方向における第二の距離Ｄ４を算出する。例えば、第一の距離Ｄ３は、先端部本体１５２と加工基準位置Ｂ１とがなす角度θ1と先端部本体１５２のＹ軸方向の長さｈ１とから算出され、第二の距離Ｄ４は、先端部本体１５２と加工基準位置Ｂ１とがなす角度θ２と先端部本体１５２のＹ軸方向の長さｈ１とから算出される。また、角度θ1および角度θ２は、サーボモータ１３３から算出されてもよい。
【0104】
第一の距離Ｄ３及び第二の距離Ｄ４に基づいて脆性板２に対する加工ホイール６のＺ軸方向における位置ずれ量Δを算出する。
【0105】
位置ずれ量Δの算出は、演算処理手段１８１にて行われる。演算処理手段１８１での算出において、位置ずれ量Δは、例えば、Ｄ３＜Ｄ４の場合、位置ずれ量Δ（補正量）＝（（Ｄ３＋Ｄ４）／２－Ｄ３）により求められる。
【0106】
次に、補正工程Ｓ１０５として、制御部９は、演算処理手段１８１での位置ずれ量Δに基づいて、Ｚ軸移動手段３４を駆動させ、加工ホイール６をＺ軸方向の他方であるＺ２方向（上方）に移動させ、加工ホイール６のＺ軸方向における位置ずれ（脆性板２の所定の加工基準位置Ｂ１から加工ホイール６の加工面４２をＺ軸方向において二分する位置Ｂ２までの位置ずれ）を補正する。
【0107】
次に、加工工程Ｓ１０６として、位置ずれが補正された加工ホイール６に脆性板２の外周縁５の加工を行わせる。
【0108】
本例の脆性板の加工方法によれば、加工ホイール６の加工面４２に回転手段３１の先端部９６を有した軸部材９７を環状の空間Ｓ２内に差し入れ、軸部材９７をＲ４方向及びＲ５方向に回転させて、先端部９６が加工ホイール６の加工面４２に接触した位置座標（第一の位置Ａ及び第二の位置Ｂ）を夫々測定し、その位置座標により加工基準位置Ｂ１から加工ホイール６のＺ軸方向の位置ずれ量Δを制御部９により自動で計算し、加工ホイール６のＺ軸方向の位置ずれを自動で補正できるため、例えば、加工ホイール６の交換のたびに行われる、手動による加工ホイール６の位置合わせを自動化でき、加工ホイール６の交換後の手動による脆性板２に対する加工ホイール６の位置合わせの手間と時間を短くでき、全体として脆性板の加工の効率を高くすることができる。
【0109】
本例の他の一例によれば、脆性板の加工方法は、第一の測定工程Ｓ１０２、第二の測定工程Ｓ１０３、算出工程Ｓ１０４及び補正工程Ｓ１０５を順番に複数回繰り返すことにより、脆性板２に対する加工ホイール６のＺ軸方向における位置ずれ量Δを限りなく０に近づけることができ、加工ホイール６のＺ軸方向における位置ずれをなくし、複数回補正された加工ホイール６の加工面４２を脆性板２に精度よく接触させ、脆性板２の高精度な加工を行うことができる。本例の他の一例において、脆性板の加工方法は、好ましくは、第一の測定工程Ｓ１０２から補正工程Ｓ１０５までの各工程を、順番に２回から５回繰り返してもよく、より好ましくは、第一の測定工程Ｓ１０２から補正工程Ｓ１０５までの工程を、順番に３回繰り返し、脆性板２に対する加工ホイール６のＺ軸方向における位置ずれ量Δを限りなく０に近づけることができる。また、脆性板２に対する加工ホイール６のＺ軸方向における位置ずれ少なくするために、更に第一の測定工程Ｓ１０２、第二の測定工程Ｓ１０３、算出工程Ｓ１０４及び補正工程Ｓ１０５を順番に繰り返してもよい。
【0110】
本例の他の一の例によれば、脆性板の加工方法は、補正工程Ｓ１０５後のＺ軸方向における位置ずれが補正された加工ホイール６又は第一の測定工程Ｓ１０２から補正工程Ｓ１０５までの各工程が順番に複数回繰り返されて位置ずれが複数回補正された加工ホイール６において、制御部９は、Ｘ軸移動手段９５を駆動させ、Ｘ軸移動台９４をＸ１方向に移動させ、加工基準位置Ｂ１に位置合わせ後の軸部材９７をＸ１方向に移動し、接触センサ１７２及びストッパ１７４をフランジ部１０３の側面１７３に接触させ、Ｘ軸移動台９４のＸ１方向への移動を停止（制限）し、Ｘ軸移動台９４のＸ１方向への移動が停止（制限）された状態において、Ｘ軸移動手段３３により加工ホイール６をＸ２方向に移動させ、加工ホイール６の加工面４２を軸部材９７に徐々に接近させ（移動させ）、加工ホイール６の加工面４２を先端部本体１５２の端部１５３に接触させ、ロッドレスエアーシリンダ１２３のＸ１方向へのエアー圧力とは逆向きのＸ２方向への対抗力をもって加工ホイール６をＸ２方向に更に移動させ、センサ１７２のフランジ部１０３の側面１７５からのＸ２方向へ移動した水平距離Ｄ１が接触センサ１７２に予め設定された移動量に達した時、加工ホイール６のＸ２方向の移動を停止し、加工ホイール６のＸ２方向の移動が停止された後、加工ホイール６の加工面４２と先端部本体１５２の端部１５３とが接触した状態を維持したまま、接触センサ１７２に予め設定された移動量に基づいて、加工ホイール６をＸ１方向に移動させることにより、制御部９が、Ｚ軸方向における位置ずれが補正された加工ホイール６の加工面４２と先端部本体１５２の端部１５３とが接触する位置を計測し、位置情報を取得し、この位置情報と制御部９とに予め設定された値、例えば、加工ホイール６、軸部材９７、先端部９６の寸法等の予め設定された情報に基づいて加工ホイール６の加工面４２を脆性板２の外周縁５に精確に接触させることができるので、脆性板の加工方法は、補正工程Ｓ１０５後のＺ軸方向における位置ずれが補正された加工ホイール６又は第一の測定工程Ｓ１０２から補正工程Ｓ１０５までの各工程が順番に複数回繰り返されて位置ずれが複数回補正された加工ホイール６により、脆性板２に対する精確な切り込みができる。
【0111】
他の一例として示す脆性板の加工装置２００の正面図である図９等に添付の図面を参照し、本発明にかかる脆性板の加工装置２００の詳細を説明すると、以下のとおりである。図１０は、脆性板の加工装置２００の脆性板の加工方法を示すフローチャートである。また、図９に示す脆性板の加工装置２００は、図１のそれと異なるところは、回転手段９８及び位置計測センサ９９に代えて、レーザー測定手段２０１が使用されている点にある。この脆性板の加工装置２００のその他の構成は図１の脆性板の加工装置１のそれらと同一であるから、図１と同一の符号を付すとともに図１の説明を援用することで、この脆性板の加工装置１のその他の構成の詳細な説明を省略する。
【0112】
レーザー測定手段２０１は、Ｘ軸移動台９４に設けられていると共に加工ホイール６の加工面４２にレーザーを照射して加工面４２を測定する。
【0113】
レーザー測定手段２０１の測定範囲は、レーザー測定手段２０１の種類によって異なるが、例えば、ＫＥＹＥＮＣＥ社のＣＬ－３０００シリーズのミドルレンジタイプ（ＣＬ－Ｌ０７０／ＣＬ－Ｐ０７０）であれば、その測定範囲は、７０ｍｍ±１０ｍｍであり、ＬＪ－Ｇ５０００シリーズのミドルレンジタイプ（ＬＪ－Ｇ０８０）であれば、その測定範囲は、８０ｍｍ±２３ｍｍであり、ＬＪ－Ｇ５０００シリーズの高精度（ＬＪ－Ｇ０３０）であれば、その測定範囲は、８０ｍｍ±２３ｍｍである。また、レーザー測定手段２０１の種類は、特にこれらに限定されないが、用途に応じて適宜選択し、使用することができる。
【0114】
また、レーザー測定手段２０１は、例えば、高さ（ピーク高さ、ボトム高さ、平均高さ）、幅、位置、段差、角度、交点、形状、断面積、形状比較などの多彩な測定ができ、また、所定の領域又は全領域を瞬時に測定が可能であり、本例では、レーザー測定手段２０１から加工ホイール６の加工面４２までの間のＸ軸方向の距離が最大となる位置を測定できる。
【0115】
制御部９は、レーザー測定手段２０１が測定した測定値により、レーザー測定手段２０１から加工ホイール６の加工面４２までの間のＸ軸方向の距離が最大となる位置を算出し、レーザー測定手段２０１から加工ホイール６の加工面４２までの間の距離が最大となる位置（加工ホイール６のＺ軸方向における中心Ｂ２）と加工基準位置Ｂ１とに基づいて加工ホイール６のＺ軸方向における位置ずれ量Δを算出し、加工ホイール６のＺ軸方向における位置ずれ量Δに基づいて加工ホイール６のＺ軸方向における位置ずれを補正し、位置ずれが補正された加工ホイール６に脆性板２の外周縁５の加工を行わせる。
【0116】
次に、図１０を参照して、本例の脆性板の加工装置２００により脆性板２を加工する脆性板の加工法について説明する。脆性板の加工装置２００の下記の動作は、制御部９によって制御される。また、図１０は、本例の脆性板の加工装置２００を用いた脆性板２を加工する脆性板の加工法を示すフローチャートである。
【0117】
図１０に示すように、脆性板の加工法は、レーザー測定手段２０１を所定の位置に合わせる位置合わせ工程Ｓ２０１と、加工ホイール６の加工面４２にレーザー測定手段２０１のレーザー光を照射して、加工ホイール６の加工面４２を測定する測定工程Ｓ２０２と、レーザー測定手段２０１による測定値に基づいて加工ホイール６のＺ軸方向における位置ずれ量Δを算出する算出工程Ｓ２０３と、加工ホイール６のＺ軸方向における位置ずれ量Δに基づいて加工ホイール６のＺ軸心方向における位置ずれを補正する補正工程Ｓ２０４と、補正工程後の加工ホイール６に脆性板２の外周縁５の加工を行わせる加工工程Ｓ２０５とを備えている。
【0118】
まず、位置合わせ工程Ｓ２０１として、加工すべき脆性板２をテーブル４の上方に載置し、テーブル４の吸盤２１により脆性板２を真空吸着支持して位置決めする。
【0119】
レーザー測定手段２０１により加工ホイール６の加工面４２を測定できる範囲に配置させるべく、Ｚ軸移動手段９３を駆動させ、Ｚ軸移動台９２のＺ軸方向の位置を調節し、Ｘ軸移動手段９５を駆動させ、Ｘ軸移動台９４をＸ１方向に移動させ、レーザー測定手段２０１を、レーザー測定手段２０１の測定範囲内において、加工ホイール６に近接させる。
【0120】
次に、測定工程Ｓ２０２として、レーザー測定手段２０１は、加工ホイール６の加工面４２にレーザー光を照射して加工ホイール６の加工面４２を測定する。
【0121】
次に、算出工程Ｓ２０３として、制御部９は、レーザー測定手段２０１が測定した測定値に基づいて加工ホイール６のＺ軸方向における位置ずれ量Δを算出する。
【0122】
位置ずれ量Δの算出は、演算処理手段１８１にて行われる。
【0123】
次に、補正工程Ｓ２０４として、制御部９は、演算処理手段１８１での位置ずれ量Δに基づいて、Ｚ軸移動手段３４を駆動させ、加工ホイール６のＺ軸方向における位置ずれを補正する。
【0124】
次に、加工工程Ｓ２０５として、Ｚ位置ずれが補正された加工ホイール６に脆性板２の外周縁５の加工を行わせる。
【0125】
本他の一例の脆性板の加工方法によれば、レーザー測定手段２０１により加工ホイール６のＺ軸方向における位置ずれ量Δを容易に自動で計算し、加工ホイール６のＺ軸方向の位置ずれを自動で補正できるため、例えば、加工ホイール６の交換のたびに行われる、手動による加工ホイール６の位置合わせを自動化でき、加工ホイール６の交換後の手動による脆性板２に対する加工ホイール６の位置合わせの手間と時間を短くでき、全体として脆性板の加工の効率を高くすることができる。
【0126】
本他の一例の一の例によれば、測定工程Ｓ２０２は、レーザー測定手段２０１が加工ホイール６の加工面４２にレーザーを照射した状態で、加工ホイール６とレーザー測定手段２０１とのうちの少なくとも一方がＺ軸方向の一方から他方に向かって相対的に移動することにより、加工ホイール６の加工面４２の測定の時間を短縮できるため、例えば、加工ホイール６の交換のたびに行われる、手動による加工ホイール６の脆性板２に対する位置合わせを自動化でき、加工ホイール６の脆性板２に対する位置合わせの時間を大幅に短縮することができる。
【0127】
本他の一例の他の一の例によれば、測定工程Ｓ２０２は、レーザー測定手段２０１がＺ軸方向における加工ホイール６の加工面４２の少なくとも一の所定の領域、複数の所定の領域又は全領域にレーザーを照射して加工ホイール６の加工面４２を測定でき、加工ホイール６の加工面４２の測定の時間を短縮できるため、例えば、加工ホイール６の交換のたびに行われる、手動による加工ホイール６の位置合わせを自動化でき、加工ホイール６の位置合わせの時間を大幅に短縮することができる。所定の領域は、Ｚ軸方向における加工ホイール６の加工面４２に対するレーザーの照射幅であればよく、一つの幅を有した領域、または、複数の幅を有した領域であてもよい。
【0128】
本他の一例の他の一の例によれば、測定工程Ｓ２０２は、Ｚ軸方向における加工ホイール６の加工面４２の所定の領域、例えば、Ｚ軸方向における加工ホイール６の加工面４２上の任意の８か所にレーザーを同時に照射して、加工ホイール６の加工面４２を同時に測定でき、また、測定工程Ｓ２０２は、Ｚ軸方向における加工ホイール６の加工面４２の全領域にレーザーを同時に照射して、加工ホイール６の加工面４２を同時に測定できる。
【0129】
脆性板の加工装置１及び脆性板の加工装置２００の例では、測定部８は、取付板９１にＺ軸方向に移動自在に取り付けられたＺ軸移動台９２と、Ｚ軸移動台９２をＺ方向に移動させるＺ軸移動手段９３とを備えて、Ｚ軸方向に移動するようになっているが、これに代えて、測定部８は、Ｚ軸移動台９２及びＺ軸移動手段９３を備えることなしに、枠１２ＡにＺ軸方向に位置合わせされた状態でＺ軸方向に不動に取り付けられていてもよい。
【符号の説明】
【0130】
１ 脆性板の加工装置
２ 脆性板
３ 基台
４ テーブル
５ 外周縁
６ 加工ホイール
７ 加工ヘッド
８ 測定部
９ 制御部
１０ 地面
１１ 本体
１２ 枠
１２Ａ 枠
１３ 横支持枠
２１ 吸盤
２２ 吸盤台
２３ Ｙ軸移動手段
２４ ケーブルベア
２５ ガイドレール
２６ スライドブロック
２７ 送りネジ
３１ 回転手段
３２ 切り込み量調節手段
３３ Ｘ軸移動手段
３４ Ｚ軸移動手段
３５ 旋回軸
３６ 旋回手段
３７ 下端部
３８ 旋回ホルダー
３９ 基台
４１ 本体
４２ 加工面
４５ 下端
４６ 出力回転軸
５１ 切り込みスライド
５２ Ｘ軸方向スライド台
５３ ナット
５４ 送りネジ
５５ 切り込みギヤー
５６ 切り込みギヤー
５７ ブラケット
５８ 切り込みサーボモータ
６１ Ｘ軸移動台
６２ 側面
６３ ガイドレール
６４ 送りネジ
６５ 軸受け
６６ 出力回転軸
６７ Ｘ軸サーボモータ
７１ ガイドレール
７２ Ｚ軸方向スライド台
７３ ナット
７４ 送りネジ
７５ ギヤーボックス
７６ 出力回転軸
７７ Ｚ軸サーボモータ
８１ 旋回サーボモータ
８２ ギヤーボックス
８３ 回転ギヤー
８４ 回転ギヤー
８５ ベアリングケース
９１ 取付台
９２ Ｚ軸移動台
９３ Ｚ軸移動手段
９４ Ｘ軸移動台
９５ Ｘ軸移動手段
９６ 先端部
９７ 軸部材
９８ 回転手段
９９ 位置計測センサ
１０１ 基台
１０２ 一端
１０３ フランジ部
１０４ プレート
１０５ 先端部
１０６ 溝
１０７ 板部
１０８ Ｚ軸制御モータ
１０９ 面
１１０ 面
１１１ 板部
１１２ ケーブルベア
１１３ ケーブルベア取付けプレート１１３
１１５ 面
１１６ 面
１２１ スライダ
１２３ ロッドレスエアーシリンダ
１２４ ロッドレスエアーシリンダ接続プレート
１２５ ガイドレール
１２６ ガイドブロック
１３１ ブラケット
１３２ 出力回転軸
１３３ サーボモータ
１３４ カップリング
１３５ ベアリングケース
１４１ 軸本体
１４２ 端部
１４３ 切欠き部
１４４ 固定手段
１５１ 貫通孔
１５２ 先端部本体
１５３ 端部
１５４ 先端部切欠き部
１６１ ネジ本体
１６２ ヘッド部
１７１ ブラケット
１７２ 接触センサ
１７３ 側面
１７４ ストッパ
１８１ 演算処理手段
１８２ 記憶手段
２００ 脆性板の加工装置
２０１ レーザー測定手段
２ 脆性板
３ 基台
４ テーブル
５ 外周縁
６ 加工ホイール
７ 加工ヘッド
８ 測定部
９ 制御部
１０ 地面
１１ 本体
１２ 枠
１２Ａ 枠
１３ 横支持枠
２１ 吸盤
２２ 吸盤台
２３ Ｙ軸移動手段
２４ ケーブルベア
２５ ガイドレール
２６ スライドブロック
２７ 送りネジ
３１ 回転手段
３２ 切り込み量調節手段
３３ Ｘ軸移動手段
３４ Ｚ軸移動手段
３５ 旋回軸
３６ 旋回手段
３７ 下端部
３８ 旋回ホルダー
３９ 基台
４１ 本体
４２ 加工面
４５ 下端
４６ 出力回転軸
５１ 切り込みスライド
５２ Ｘ軸方向スライド台
５３ ナット
５４ 送りネジ
５５ 切り込みギヤー
５６ 切り込みギヤー
５７ ブラケット
５８ 切り込みサーボモータ
６１ Ｘ軸移動台
６２ 側面
６３ ガイドレール
６４ 送りネジ
６５ 軸受け
６６ 出力回転軸
６７ Ｘ軸サーボモータ
７１ ガイドレール
７２ Ｚ軸方向スライド台
７３ ナット
７４ 送りネジ
７５ ギヤーボックス
７６ 出力回転軸
７７ Ｚ軸サーボモータ
８１ 旋回サーボモータ
８２ ギヤーボックス
８３ 回転ギヤー
８４ 回転ギヤー
８５ ベアリングケース
９１ 取付台
９２ Ｚ軸移動台
９３ Ｚ軸移動手段
９４ Ｘ軸移動台
９５ Ｘ軸移動手段
９６ 先端部
９７ 軸部材
９８ 回転手段
９９ 位置計測センサ
１０１ 基台
１０２ 一端
１０３ フランジ部
１０４ プレート
１０５ 先端部
１０６ 溝
１０７ 板部
１０８ Ｚ軸制御モータ
１０９ 面
１１０ 面
１１１ 板部
１１２ ケーブルベア
１１３ ケーブルベア取付けプレート１１３
１１５ 面
１１６ 面
１２１ スライダ
１２３ ロッドレスエアーシリンダ
１２４ ロッドレスエアーシリンダ接続プレート
１２５ ガイドレール
１２６ ガイドブロック
１３１ ブラケット
１３２ 出力回転軸
１３３ サーボモータ
１３４ カップリング
１３５ ベアリングケース
１４１ 軸本体
１４２ 端部
１４３ 切欠き部
１４４ 固定手段
１５１ 貫通孔
１５２ 先端部本体
１５３ 端部
１５４ 先端部切欠き部
１６１ ネジ本体
１６２ ヘッド部
１７１ ブラケット
１７２ 接触センサ
１７３ 側面
１７４ ストッパ
１８１ 演算処理手段
１８２ 記憶手段
２００ 脆性板の加工装置
２０１ レーザー測定手段
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】