特開 2022-144386 インクジェット塗布装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022144386

(43)【公開日】2022-10-03

(54)【発明の名称】インクジェット塗布装置

(51)【国際特許分類】

   B05C 5/00 20060101AFI20220926BHJP

   B05C 11/10 20060101ALI20220926BHJP

   B41J 2/175 20060101ALI20220926BHJP

【ＦＩ】

B05C5/00 101

B05C11/10

B41J2/175 503

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021045369

(22)【出願日】2021-03-19

(71)【出願人】

【識別番号】000219314

【氏名又は名称】東レエンジニアリング株式会社

(72)【発明者】

【氏名】藤原 久嘉

【テーマコード（参考）】

2C056

4F041

4F042

【Ｆターム（参考）】

2C056EA14

2C056EC54

2C056FA04

2C056JC13

2C056KB21

4F041AA02

4F041AA05

4F041AB01

4F041BA01

4F041BA10

4F041BA13

4F041BA23

4F041BA60

4F042AA02

4F042AA06

4F042AB00

4F042CC04

4F042CC07

(57)【要約】

【課題】インクジェットヘッドに塗布液を供給する送液配管内の塗布液が要因となってノズル詰まりを発生させるのを抑えることができるインクジェット塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布液が貯留される塗布液タンクと、塗布液タンクと送液配管で連結され、液滴状の塗布液を吐出するインクジェットヘッドとを備え、送液配管には、送液配管内を洗浄するインライン洗浄部が設けられている構成とし、インライン洗浄部が送液配管内の塗布液、又は、洗浄液を介して洗浄機能が発揮される構成とする。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

塗布液が貯留される塗布液タンクと、
前記塗布液タンクと送液配管で連結され、液滴状の塗布液を吐出するインクジェットヘッドと、
を備え、
前記送液配管には、前記送液配管内を洗浄するインライン洗浄部が設けられていることを特徴とするインクジェット塗布装置。

【請求項2】

前記インライン洗浄部は、前記送液配管に接続され洗浄液が送液される洗浄配管と、洗浄機能を発揮させる洗浄機能部とによって形成され、前記洗浄機能部が洗浄液を介して洗浄機能が発揮されることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット塗布装置。

【請求項3】

前記インライン洗浄部は、洗浄機能を発揮させる洗浄機能部で形成されており、この洗浄機能部が前記送液配管に設けられており、前記送液配管の塗布液を介して洗浄機能が発揮されることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェット塗布装置。

【請求項4】

前記洗浄機能部は、超音波振動子であることを特徴とする請求項２又は３に記載のインクジェット塗布装置。

【請求項5】

前記洗浄機能部は、マイクロバブル発生器であることを特徴とする請求項２又は３に記載のインクジェット塗布装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液滴状の塗布液を吐出するインクジェット塗布装置であり、洗浄機構を有するインクジェット塗布装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

ガラスやフィルム等の基材上に線分、矩形状等、様々な形状の塗布膜（膜パターン）がインクジェット塗布装置により形成されている。インクジェット塗布装置は、図９（ａ）に示すように、基材Ｗを載置するステージ１００と、塗布液（液滴）を吐出するヘッドモジュール１０２を有するインクジェットヘッド１０１を備えており、基材Ｗとインクジェットヘッド１０１を相対的に移動させつつ基材Ｗ上の所定位置にヘッドモジュール１０２のノズル孔１０４から液滴を吐出することにより精度のよい膜パターンが形成される。

【0003】

インクジェット塗布装置は、稼働するに伴い、ノズル孔１０４（図９（ｂ）参照）が形成されるノズル面１０３に塗布液が付着することにより、吐出不良や飛行曲がり等が生じ、着弾精度が低下する。そのため、インクジェット塗布装置は、洗浄装置１１０を備えており、インクジェットヘッド１０１を定期的に洗浄することにより塗布液を精度よく着弾させることができる。すなわち、洗浄装置１１０は、ノズル面１０３を洗浄液で洗浄する洗浄部１１０ａと、洗浄後のノズル面１０３を拭き取る拭き取り部１１０ｂと、液滴を吐出させるトレイ部１１０ｃとを有しており、ノズル面１０３が洗浄装置１０１で洗浄されることにより、それぞれのノズル孔１０４の吐出状態が回復される。そして、トレイ部１１０ｃにおいて、ノズル孔１０４から塗布液を強制的に吐出させることにより、ブリード、フラッシングが行われ、再度、ノズル面１０３が拭き取られることにより、ノズル孔１０４の吐出状態が正常に回復される（例えば、下記特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１２－２０１０７６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかし、上述のインクジェット装置では、ノズル詰まりが完全には解消されない場合があるという問題があった。すなわち、インクジェットヘッド１０１への塗布液の供給は、塗布液タンクから送液配管を通じて行われるが、この送液配管に塗布液がゲル化、固化する場合がある。そして、一度ゲル化、固化した塗布液が送液配管から剥離すると、送液配管内で塗布液と共に送液され、ノズル孔内に入ってノズル詰まりを発生させる場合があった。

【0006】

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、インクジェットヘッドに塗布液を供給する送液配管内の塗布液が要因となってノズル詰まりを発生させるのを抑えることができるインクジェット塗布装置を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するために本発明のインクジェット塗布装置は、塗布液が貯留される塗布液タンクと、前記塗布液タンクと送液配管で連結され、液滴状の塗布液を吐出するインクジェットヘッドと、を備え、前記送液配管には、前記送液配管内を洗浄するインライン洗浄部が設けられていることを特徴としている。

【0008】

上記インクジェット塗布装置によれば、送液配管にインライン洗浄部が設けられているため、このインライン洗浄部により送液配管内を洗浄することができる。すなわち、送液配管内で塗布液がゲル化、固化する場合があっても、インライン洗浄部により送液配管内が洗浄され、ゲル化、固化した塗布液が剥離してノズル詰まりを発生させるのを抑えることができる。

【0009】

また、前記インライン洗浄部は、前記送液配管に接続され洗浄液が送液される洗浄配管と、洗浄機能を発揮させる洗浄機能部とによって形成され、前記洗浄機能部が洗浄液を介して洗浄機能が発揮される構成としてもよい。

【0010】

この構成によれば、洗浄液配管から送液配管に供給された洗浄液を介して洗浄機能部による洗浄機能を送液配管に対して発揮させることができるため、送液配管に洗浄液のみを送液させて洗浄する場合に比べて、ゲル化、固化した塗布液を効果的に除去することができる。

【0011】

また、前記インライン洗浄部は、洗浄機能を発揮させる洗浄機能部で形成されており、この洗浄機能部が前記送液配管に設けられており、前記送液配管の塗布液を介して洗浄機能が発揮される構成にしてもよい。

【0012】

この構成によれば、送液配管内の塗布液を介して洗浄機能を発揮させることができるため、送液配管内の液環境を変えることなく、また、洗浄後に送液配管内を乾燥させる必要がないため、洗浄機能部による洗浄処理を所定のタイミングで行うことができる。

【0013】

また、具体的な洗浄機能部の態様としては、超音波振動子、マイクロバブル発生器を使用することができる。

【発明の効果】

【0014】

本発明のインクジェット塗布装置によれば、インクジェットヘッドに塗布液を供給する送液配管内の塗布液が要因となってノズル詰まりを発生させるのを抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明の一実施形態におけるインクジェット塗布装置を概略的に示す側面図である。

【図2】上記インクジェット塗布装置を概略的に示す上面図である。

【図3】インクジェットヘッドの周りの配管経路図である。

【図4】上記インクジェットヘッドを示す図であり、（ａ）はノズル面側から見た図、（ｂ）はヘッドモジュールの拡大図である。

【図5】洗浄部をＹ軸方向から見た図である。

【図6】洗浄部をＸ軸方向から見た図である。

【図7】拭き取り部を示す図である。

【図8】他の実施形態におけるインクジェットヘッドの周りの配管経路図である。

【図9】従来のインクジェット塗布装置を概略的に示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）はインクジェットヘッドを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

本発明のインクジェット塗布装置に係る実施の形態について図面を用いて説明する。

【0017】

図１は、洗浄装置を備えたインクジェット塗布装置の一実施形態を示す側面図であり、図２は、インクジェット塗布装置の上面図、図３は、インクジェットヘッドの周りの配管経路図、図４は、インクジェットヘッドをノズル面側から見た図である。なお、本実施形態のインクジェット塗布装置に用いられるインクは、カラーフィルタに用いられるインクや、有機ＥＬ、配線パターンの導電性インク、保護膜等、インクジェット形式で吐出できるものであれば、あらゆるものを対象とすることができる。

【0018】

図１～図４に示すように、インクジェット塗布装置１は、基材Ｗを載置するステージ２と、基材Ｗにインクを吐出する液滴ユニット３とを有しており、液滴ユニット３がステージ２に載置された基材Ｗ上を移動しつつ、インクを所定の位置に吐出することにより、基材Ｗ上に所定のパターンが形成される。

【0019】

なお、以下の説明では、この液滴ユニット３が移動する方向をＸ軸方向、これと水平面上で直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向として説明を進めることとする。

【0020】

液滴ユニット３は、本実施形態では、基材Ｗ上に塗布液（液滴）を塗布するものであり、塗布液を吐出するインクジェットヘッド３１と、このインクジェットヘッド３１を支持するガントリ３２とを有している。ガントリ３２は、ステージ２のＹ軸方向両端部分に設けられる支持部材３２ａと、これら２つの支持部材３２ａを連結するビーム部３２ｂとを有しており、支持部材３２ａとビーム部３２ｂによって略門型形状を有している。また、ステージ２に隣接する位置には、Ｘ軸方向に延びるレール２１が設けられており、支持部材３２ａは、それぞれレール２１上に沿ってスライド自在に設けられている。そして、支持部材３２ａには、リニアモータなどの駆動手段が設けられており、リニアモータを駆動制御することにより、支持部材３２ａがＸ軸方向に移動し、任意の位置で停止できるようになっている。すなわち、液滴ユニット３がステージ２上を跨ぐ状態でＸ軸方向に移動し、任意の位置で停止することができる。なお、レール２１は、洗浄装置４まで延びており、リニアモータを駆動制御することにより、液滴ユニット３が洗浄装置４で停止することができる。

【0021】

また、ビーム部３２ｂには、インクを吐出するインクジェットヘッド３１が設けられている。インクジェットヘッド３１は、ビーム部３２ｂが支持部材３２ａに対して昇降動作することにより、基材Ｗに対して昇降動作できるようになっている。これにより基材Ｗにインクを吐出する塗布動作の際には、基材Ｗとインクジェットヘッド３１との距離が適切になるように調節される。また、インクジェットヘッド３１は、ビーム部３２ｂに沿ってＹ軸方向に移動可能に取付けられている。すなわち、Ｘ軸方向の所定位置で基材Ｗと対向するインクジェットヘッド３１は、Ｙ軸方向に移動することにより、そのＸ軸方向所定位置における基材ＷのすべてのＹ軸方向領域と対向できるようになっている。すなわち、支持部材３２ａがレール２１に沿って移動することによりＸ軸方向に移動し、さらにインクジェットヘッド３１がビーム部３２ｂに沿ってＹ軸方向に移動することにより、基材Ｗの所定位置にインクジェットヘッド３１が移動しインクを着弾させることができるようになっている。

【0022】

また、インクジェットヘッド３１は、基材Ｗに対向する基材対向面３０ａ（図４（ａ）参照）に、複数のヘッドモジュール５を搭載しており、このヘッドモジュール５からインクが吐出される。ヘッドモジュール５は、ピエゾ素子を駆動源としたインク吐出装置である。ヘッドモジュール５は、インクを吐出するノズル孔５１を有しており、基材Ｗに対向するノズル面５１ａ（図４（ｂ）参照）に複数のノズル孔５１がヘッドモジュール５の長手方向に一方向に並んで配置されている。図４の例では、ノズル孔５１がＹ軸方向に配列されている。

【0023】

そして、ヘッドモジュール５は、Ｙ軸方向において、それぞれが互いに重複する部分を有し、かつ、Ｘ軸方向に隣接して配置されており、複数のヘッドモジュール５が、いわゆる階段状に配置されている。すなわち、ヘッドモジュール５は、ノズル配置間隔とヘッドモジュール５の両端部分とでは寸法が異なっているため、この両端部分の寸法分を相殺できるようにＸ軸方向にずらしつつＹ軸方向に配列される。そして、この階段状に配置された３つのヘッドモジュール５の集合体をヘッドモジュール５の両端部分の寸法分を相殺できるように繰り返しＹ軸方向に配置することにより、インクジェットヘッド３１全体としてＸ軸方向に見て、すべてのノズル孔５１がＹ軸方向に沿って配列され、Ｘ軸方向から見てＹ軸方向に亘って等間隔で配置される。

【0024】

ヘッドモジュール５は、ノズル面５１ａに複数のノズル孔５１が形成されており、ノズル孔５１の先端位置とノズル面５１ａとがほぼ一致するように形成されている。すなわち、ノズル面５１ａは平坦な形状を有しており、ノズル孔５１がノズル面５１ａと面一になっている。そして、インクジェットヘッド３１には、一体化されたすべてのヘッドモジュール５のノズル面５１ａが基材Ｗ側に向く状態で配置されており、全てのノズル面５１ａが基材Ｗと平行になっている。そして、ピエゾ素子を駆動させることにより、ノズル面５１ａに配列された各ノズル孔５１から一滴ずつインクを吐出できるようになっている。

【0025】

また、インクジェットヘッド３１に供給される塗布液は、塗布液タンク１０（図３参照）に収容されている。この塗布液タンク１０は、基材Ｗに吐出するための塗布液を貯留するためのものであり、生産に必要となる量の塗布液が貯留されている。そして、図３に示すように、インクジェットヘッド３１は、塗布液タンク１０と送液配管１１で連結されており、塗布液タンク１０が加圧されることにより、塗布液タンク１０の塗布液が送液配管１１を通じてインクジェットヘッド３１に送液される。また、送液配管１１には、気泡除去タンク１２が設けられており、この気泡除去タンク１２により塗布液内の気泡を含む異物が除去されるようになっている。

【0026】

また、ステージ２のＸ軸方向に隣接する位置には、洗浄装置４が配置されている。この洗浄装置４は、ヘッドモジュール５のノズル面５１ａに付着した塗布液を除去し、ノズル孔５１の吐出状態を回復するためのものであり、ノズル面５１ａを洗浄する洗浄部４１と、洗浄後のノズル面５１ａを拭き取る拭き取り部７１とを有している。

【0027】

洗浄部４１は、図５、図６に示すように、廃棄する洗浄液等（洗浄液、及び、除去されたインクの混合物）を受ける廃液トレイ４１と、洗浄液を噴出する洗浄ユニット４２とを有している。洗浄動作時には、インクジェットヘッド３１が廃液トレイ４１上に配置された状態で洗浄ユニット４２から噴出された洗浄液をノズル面５１ａに噴出することによりインクの除去が行われる。

【0028】

廃液トレイ４１は、上方に開放された器形状を有しており、廃棄すべき洗浄液等を貯めることができる。廃液トレイ４１内には、洗浄ユニット４２が設けられている。この洗浄ユニット４２は、洗浄液を噴出する洗浄液噴射部４３と、洗浄液噴射部４３が取り付けられる洗浄フレームトレイ４４とを有しており、洗浄フレームトレイ４４がインクジェットヘッド３１に当接した状態で洗浄液噴射部４３から洗浄液を噴出させることによりノズル面５１ａを洗浄することができる。

【0029】

洗浄フレームトレイ４４は、その底面部４４ａに洗浄液噴射部４３が取り付けられている。この洗浄フレームトレイ４４は、インクジェットヘッド３１とほぼ同じ大きさに形成されており、底面部４４ａの周囲に位置する端部から垂直に延びる側壁部４４ｂが、洗浄フレームトレイ４４の上方にインクジェットヘッド３１が配置された際に、インクジェットヘッド３１と対向するようになっている。そして、側壁部４４ｂには、基材対向面３０ａに対向する対向面４４ｂ１にはシール部４６が環状に設けられており、シール部４６の一部が対向面４４ｂ１から突出するように配置されている。

【0030】

また、洗浄フレームトレイ４４には、鉛直方向に昇降する昇降機構４９が設けられており、洗浄フレームトレイ４４の上方にインクジェットヘッド３１が配置された状態で、インクジェットヘッド３１に対して近接、離間できるように構成されている。そのため、洗浄フレームトレイ４４の上方にインクジェットヘッド３１が配置された状態で、昇降機構４９により洗浄フレームトレイ４４を上昇させると、側壁部４４ｂに設けられたシール部４６がインクジェットヘッド３１の基材対向面３０ａに当接し、インクジェットヘッド３１の基材対向面３０ａと洗浄フレームトレイ４４とで形成された領域が外部に対して密封されるようになっている。これにより、洗浄液噴射部４３から洗浄液を噴出させても洗浄液が外部に飛散するのを防止できるようになっている。

【0031】

洗浄液噴射部４３は、洗浄液をインクジェットヘッド３１のノズル面５１ａに直接噴出するものである。洗浄液噴射部４３は、シャワー型のノズル（シャワーノズル４７）であり、本実施形態では２つのシャワーノズル４７が一方向に沿って配置されている。具体的には、洗浄フレームトレイ４４の幅方向（短手方向）中央位置に２つのシャワーノズル４７が設けられており、この２つのシャワーノズル４７が長手方向に所定間隔で複数箇所に設けられている（図６参照）。すなわち、シャワーノズル４７は、洗浄フレームトレイ４４の上方にインクジェットヘッド３１が配置された状態でインクジェットヘッド３１の長手方向にわたって洗浄液を噴出できる位置に配置されている。

【0032】

シャワーノズル４７は、洗浄液が噴出される部分であり、本体部分に洗浄液が噴射される噴射口が多数形成されている。これらの噴射口は、洗浄フレームトレイ４４の上方にインクジェットヘッド３１が配置された状態で、インクジェットヘッド３１のノズル面５１ａに向かって直接噴射される向きに設定されている。本実施形態では、シャワーノズル４７は、本体部分から扇型に噴射されるように設定されており、基材対向面３０ａに配置されるすべてのヘッドモジュール５のノズル面５１ａに向かって吹き付けるように洗浄液が噴射される。これにより、ノズル面５１ａに付着したインクは、洗浄液の成分により軟化されつつ、洗浄液の噴射力により、ノズル面５１ａから引き剥がされて除去される。

【0033】

また、拭き取り部７１は、シャワーノズル４７による洗浄後、ノズル面５１ａに残留する洗浄液を拭き取るためのものである。具体的には、図７に示すように、Ｙ軸方向に離れて配置されたロール７２間に帯状の布部材である拭き取り部材７３が掛け渡されており、一方のロール７２から拭き取り部材７３が繰り出され、もう一方のロール７２で拭き取り部材７３が巻き取られるように形成されている。拭き取り動作時には、ノズル面５１ａに洗浄液が付着したインクジェットヘッド３１が拭き取り部材７３上に下降すると、ノズル面５１ａが拭き取り部材７３に押圧されることにより、ノズル面５１ａに付着した塗布液、洗浄液等が拭き取り部材７３の吸水力により吸収されることによりノズル面５１ａの拭き取りが行われる。そして、洗浄液が付着した拭き取り部材７３は、ロール７２により巻き取られ、操り出し側の拭き取り部材７３がなくなると、新しい拭き取り部材７３が巻回されたロール７２が供給される。すなわち、ノズル面５１ａを拭き取る拭き取り部材７３は、常に新しい拭き取り部材７３が供給されるようになっており、拭き取られた洗浄液が再度、ノズル面５１ａに付着するのを防止できるようになっている。

【0034】

また、Ｘ軸方向端部には、塗布液を捨て打ちする排液トレイ部８が設けられており、この排液トレイ部８でブリード動作、フラッシング動作が行われる。すなわち、インクジェットヘッド３１が排液トレイ部８上に配置された状態で、排液トレイ部８にインクを吐出することによりブリード動作、フラッシング動作が行われる。

【0035】

また、上記洗浄装置４とは別に、インクジェット塗布装置１には、インライン洗浄部６が設けられている。インライン洗浄部６は、送液配管１１内を洗浄するものであり、送液配管１１内に付着してゲル化、固化等により残留した塗布液（残留塗布液ともいう）を除去するためのものである。図３に示すように、インライン洗浄部６は、送液配管１１に３方弁６１を介して設けられている。すなわち、３方弁６１を切り替えることにより、塗布液タンク１０とインクジェットヘッド３１とが接続される状態と、インクジェットヘッド３１とインライン洗浄部６とが接続される状態に切り替えられるようになっている。

【0036】

インライン洗浄部６は、洗浄配管６２と洗浄機能部６３とを有している。洗浄配管６２は、送液配管１１と洗浄液タンク６４とを接続する配管であり、インライン洗浄時に使用する洗浄液を送液配管１１に供給するために使用される。また、洗浄液タンク６４には、送液配管１１内を洗浄する洗浄液が貯留されており、インライン洗浄時に洗浄液タンク６４が加圧されることにより洗浄液が供給されるようになっている。

【0037】

また、洗浄機能部６３は、残留塗布液を剥離させる洗浄機能を発揮するものであり、本実施形態では、超音波振動子が使用されている。これにより、インライン洗浄時には、送液配管１１内が超音波洗浄される。すなわち、インライン洗浄時には、洗浄配管６２から送液配管１１に洗浄液を供給しつつ、超音波振動子を作動させると、超音波振動が洗浄液を通じて送液配管１１内に伝達され、送液配管１１内がキャビテーション効果を含む超音波洗浄が行われる。すなわち、超音波振動により、送液配管１１内にゲル化、固化した残留塗布液が剥離され除去される。また、インクジェットヘッド３１は、廃液タンク６５に接続されており、インライン洗浄に使用した洗浄液は、廃液タンク６５に排出される。このようにして、インライン洗浄を行うことにより、送液配管１１内に残留した塗布液が除去されるため、送液配管１１内の塗布液が要因となるノズル詰まりが発生するのを抑えることができる。なお、本実施形態では、洗浄機能部６３は洗浄配管６２に設けられているが、洗浄液タンク６４に設け、洗浄液タンク６４から超音波振動を付与するものであってもよい。すなわち、洗浄機能部６３は、送液配管１１内の液体を介して洗浄機能を発揮させるものであればよい。

【0038】

このインライン洗浄処理は、上述の洗浄装置４に比べて、送液配管１１内を洗浄するため、異なる種類の塗布液に交換する場合や、長期的にインクジェット塗布装置１を停止させる場合の保守作業時に行われる。なお、後述するように、洗浄液を塗布液とすることにより、上述の洗浄装置４と同じタイミングでもインライン洗浄処理を行うことができる。

【0039】

このように、上記説明したインクジェット塗布装置１によれば、送液配管１１にインライン洗浄部６が設けられているため、このインライン洗浄部６により送液配管１１内を洗浄することができる。すなわち、送液配管１１内で塗布液がゲル化、固化する場合があっても、インライン洗浄部６により送液配管１１内が洗浄され、ゲル化、固化した塗布液が剥離してノズル詰まりを発生させるのを抑えることができる。そして、洗浄配管６２から送液配管１１に供給された洗浄液を介して洗浄機能部６３による洗浄機能を送液配管１１に対して発揮させることができるため、送液配管１１に洗浄液のみを送液させて洗浄する場合に比べて、ゲル化、固化した塗布液を効果的に除去することができる。

【0040】

また、上記実施形態では、洗浄機能部６３として、超音波振動子を用いる例について説明したが、マイクロバブル発生器を使用するものであってもよい。このマイクロバブル発生器を使用する場合であっても、マイクロバブルが洗浄液を通じて送液配管１１内に付着した残留塗布液に作用し、残留塗布液を剥離することにより、送液配管１１内の残留塗布液を除去することができる。

【0041】

また、上記実施形態では、洗浄配管６２に洗浄機能部６３を設けた例について説明したが、送液配管１１に直接設けるものであってもよい。すなわち、図８に示すように、例えば、洗浄機能部６３としての超音波振動子を送液配管１１に直接取り付ける。この場合、送液配管１１は、塗布液で満たされた状態で超音波振動子を作用させることになるが、塗布液が液体であるため、超音波振動が送液配管１１に伝達され、送液配管１１内の残留塗布液が超音波振動により剥離され除去される。

【0042】

また、上記実施形態では、洗浄液タンク６４、洗浄配管６２に洗浄液を用いる例について説明したが、洗浄液として塗布液を使用するものであってもよい。すなわち、洗浄液タンク６４、洗浄配管６２に使用する洗浄液は、洗浄機能部６３が作用する媒体であればよく、塗布液も含まれるものとする。仮に洗浄液として塗布液を用いた場合には、送液配管１１内の液環境を変えることなくインライン洗浄を行うことができるため、洗浄機能部６３によるインライン洗浄処理を製品の生産途中など、所定のタイミングで行うことができる。

【符号の説明】

【0043】

１ インクジェット塗布装置
３ 液滴ユニット
４ 洗浄装置
６ インライン洗浄部
１０ 塗布液タンク
１１ 送液配管
３１ インクジェットヘッド
５１ ノズル孔
５１ａ ノズル面
６２ 洗浄配管
６３ 洗浄機能部
６４ 洗浄液タンク

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】