特開 2022-144591 光測定装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022144591

(43)【公開日】2022-10-03

(54)【発明の名称】光測定装置

(51)【国際特許分類】

   G01J 1/00 20060101AFI20220926BHJP

   G01J 1/06 20060101ALI20220926BHJP

   G01M 11/00 20060101ALI20220926BHJP

【ＦＩ】

G01J1/00 E

G01J1/06 A

G01M11/00 T

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021045665

(22)【出願日】2021-03-19

(71)【出願人】

【識別番号】000226242

【氏名又は名称】日機装株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100105924

【弁理士】

【氏名又は名称】森下 賢樹

(72)【発明者】

【氏名】鳥井 信宏

【テーマコード（参考）】

2G065

2G086

【Ｆターム（参考）】

2G065AA11

2G065AB05

2G065AB28

2G065BA09

2G065BB21

2G065BB22

2G086EE03

(57)【要約】

【課題】簡易な構成で光強度分布を測定する。
【解決手段】光測定装置１０は、測定面２０に配置され、測定面２０内の一部領域に入射する光を通過させ、測定面２０内の一部領域以外に入射する光を遮蔽する遮光機構１２と、測定面２０内において一部領域の位置を変化させる変位機構１４と、一部領域を通過した光を集光するレンズ１６と、レンズ１６が集光した光の強度を測定する受光センサ１８と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

測定面に配置され、前記測定面内の一部領域に入射する光を通過させ、前記測定面内の前記一部領域以外に入射する光を遮蔽する遮光機構と、
前記測定面内において前記一部領域の位置を変化させる変位機構と、
前記一部領域を通過した光を集光するレンズと、
前記レンズが集光した光の強度を測定する受光センサと、を備える光測定装置。

【請求項2】

前記遮光機構は、開口を有する遮光板を含み、
前記変位機構は、前記遮光板を移動または回転させることにより前記測定面内における前記開口の位置を変化させる、請求項１に記載の光測定装置。

【請求項3】

前記遮光機構は、第１開口を有する第１遮光板と、第２開口を有する第２遮光板とを含み、前記第１開口と前記第２開口が重なる領域に入射する光を通過させるよう構成され、
前記変位機構は、前記第１遮光板および前記第２遮光板のそれぞれを回転させることにより、前記測定面内において前記第１開口と前記第２開口が重なる領域を変位させる、請求項１に記載の光測定装置。

【請求項4】

前記第２遮光板は、複数の第２開口を有し、前記複数の第２開口は、前記第２遮光板の回転方向の開口範囲が互いに異なり、かつ、前記回転方向と直交する径方向の開口範囲が互いに異なるように形成され、
前記変位機構は、前記第１遮光板および前記第２遮光板のそれぞれを回転させることにより、前記測定面内において前記第１開口と前記複数の第２開口のいずれかとが重なる領域を変位させる、請求項３に記載の光測定装置。

【請求項5】

前記変位機構は、前記第１遮光板および前記第２遮光板のそれぞれを異なる速度で回転させる、請求項３または４に記載の光測定装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光測定装置に関する。

【背景技術】

【0002】

複数のＬＥＤを配列したアレイ状光源の光強度分布を測定する方法として、受光センサの手前に微小な光透過部を有する遮光板を配置し、遮光板を振動させながら、遮光板を受光センサとともに移動させる方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００５－１７１０６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

光源の光強度分布を高精度で測定するためには、光源に対する受光センサの向きや距離を一定にしながら受光センサを移動させる必要があり、動作機構が複雑になる。

【0005】

本発明はこうした課題に鑑みてなされたものであり、簡易な構成で光強度分布を測定する技術を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明のある態様の光測定装置は、測定面に配置され、測定面内の一部領域に入射する光を通過させ、測定面内の一部領域以外に入射する光を遮蔽する遮光機構と、測定面内において一部領域の位置を変化させる変位機構と、一部領域を通過した光を集光するレンズと、レンズが集光した光の強度を測定する受光センサと、を備える。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、簡易な構成で光強度分布を測定できる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】第１の実施の形態に係る光測定装置の構成を概略的に示す側面図である。

【図2】図１の光源の構成を概略的に示す正面図である。

【図3】図１の遮光板の構成を概略的に示す正面図である。

【図4】図４（ａ）～（ｃ）は、遮光機構の動作を模式的に示す図である。

【図5】第２の実施の形態に係る光測定装置の構成を概略的に示す側面図である。

【図6】図５の光源の構成を概略的に示す正面図である。

【図7】図５の第１遮光板の構成を概略的に示す正面図である。

【図8】図５の第１遮光板の構成を概略的に示す正面図である。

【図9】図９（ａ），（ｂ）は、遮光機構の動作を模式的に示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、図面を参照しながら、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。なお、説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を適宜省略する。また、説明の理解を助けるため、各図面における各構成要素の寸法比は、必ずしも実際の発光素子の寸法比と一致しない。

【0010】

（第１の実施の形態）
図１は、第１の実施の形態に係る光測定装置１０の構成を概略的に示す側面図である。光測定装置１０は、遮光機構１２と、変位機構１４と、レンズ１６と、受光センサ１８とを備える。

【0011】

遮光機構１２、レンズ１６および受光センサ１８は、測定面２０に直交する光軸２２上に設けられる。測定面２０は、測定対象となる光源４０からの光が入射する面であり、光強度分布を測定する平面である。測定面２０は、例えば、光源４０の正面に設定される。光測定装置１０は、光源４０から出力される光の強度分布を測定する。

【0012】

図面において、光軸２２が延びる方向をｚ方向とし、光軸２２に直交する方向をｘ方向およびｙ方向としている。測定面２０は、ｘ方向およびｙ方向に沿った平面である。本明細書において、ｚ軸に直交する方向を径方向ということがあり、ｚ軸まわりの方向を周方向ということがある。

【0013】

図２は、図１の光源４０の構成を概略的に示す正面図である。光源４０は、基板４２上にアレイ状に配置される複数のＬＥＤ４４ａ，４４ｂ，４４ｃ，４４ｄ，４４ｅ，４４ｆを有する。光源４０は、いわゆるアレイ状光源であり、面発光光源である。各ＬＥＤ４４ａ～４４ｆは、可視光を出力してもよいし、赤外光を出力してもよいし、紫外光を出力してもよい。一例において、各ＬＥＤ４４ａ～４４ｆは、波長２４０ｎｍ～３２０ｎｍ程度の紫外光を出力する。

【0014】

図１に戻り、遮光機構１２は、測定面２０に配置される。遮光機構１２は、測定面２０内の一部領域に入射する光を通過させ、測定面２０内の一部領域以外に入射する光を遮蔽する。遮光機構１２は、開口２６を有する遮光板２４を含む。開口２６は、測定面２０内に入射する光を通過させる一部領域に相当する。遮光板２４は、開口２６に入射する光をレンズ１６に向けて通過させ、開口２６以外に入射する光を遮蔽する。図１の例では、第１ＬＥＤ４４ａからの第１光束４６ａが開口２６を通過しており、第２ＬＥＤ４４ｂからの第２光束４６ｂが遮光板２４によって遮蔽される。開口２６は、貫通孔として構成されてもよいし、測定対象となる光を透過可能な透明材料によって構成されてもよい。

【0015】

変位機構１４は、測定面２０内において一部領域の位置を変化させる。変位機構１４は、モータなどの駆動機構によって遮光板２４を移動または回転させることにより、測定面２０内での開口２６の位置を変化させる。遮光板２４は、例えば、光軸２２上に設けられる回転軸２８を中心に回転可能となるよう構成される。変位機構１４は、遮光板２４を回転させることにより、開口２６の周方向の位置を変化させる。変位機構１４は、遮光板２４をｘ方向およびｙ方向に移動させるよう構成されてもよい。

【0016】

レンズ１６は、遮光機構１２と受光センサ１８の間に設けられる。レンズ１６は、測定面２０内の一部領域を通過した光を受光センサ１８に向けて集光する。レンズ１６は、遮光機構１２に近接して設けられることが好ましい。

【0017】

受光センサ１８は、レンズ１６が集光した光の強度を測定する。受光センサ１８は、レンズ１６の焦点に配置される。受光センサ１８は、フォトダイオードなどで構成される。

【0018】

図３は、図１の遮光機構１２の構成を概略的に示す正面図である。遮光板２４は、レンズ１６の外径に対応した大きさの円板である。開口２６は、回転軸２８から径方向に離れた一部箇所に設けられる。遮光板２４は、開口２６を一つだけ有する。開口２６の形状は特に問わないが、例えば、円形状、矩形状、扇形状などである。開口２６は、遮光板２４の回転方向Ｒ（つまり、周方向）の開口範囲ｗと、回転方向Ｒに直交する径方向の開口範囲ｄとを有する。開口２６の開口範囲ｗ，ｄの大きさは特に問わないが、例えば、光源４０に含まれるＬＥＤ４４ａ～４４ｆの大きさと同程度となるように設定される。例えば、ＬＥＤ４４ａ～４４ｆが３．５ｍｍ角の矩形状であり、対角の大きさが５ｍｍ程度である場合、ＬＥＤ４４の開口範囲ｗ，ｄは、５ｍｍ程度である。

【0019】

図４（ａ）～（ｃ）は、遮光機構１２の動作を模式的に示す図である。図４（ａ）～（ｃ）は、レンズ１６から遮光機構１２を通じて光源４０を見た様子を示している。図４（ａ）は、遮光板２４の開口２６と光源４０の第１ＬＥＤ４４ａがｚ方向に重なった状態を示している。図４（ａ）のように開口２６の位置を調整することで、主に、第１ＬＥＤ４４ａから出力される第１光束４６ａが開口２６を通過する。開口２６を通過した光は、レンズ１６によって受光センサ１８に集光される。したがって、受光センサ１８は、第１ＬＥＤ４４ａから出力される第１光束４６ａの光強度を測定できる。

【0020】

図４（ｂ）は、図４（ａ）の状態から遮光板２４を矢印Ｒで示される方向に約６０度回転させた状態を示す。図４（ｂ）では、遮光板２４の開口２６と光源４０の第３ＬＥＤ４４ｃがｚ方向に重なった状態を示している。図４（ｂ）のように開口２６の位置を調整することで、主に、第３ＬＥＤ４４ｃから出力される第３光束が開口２６を通過する。開口２６を通過した光は、レンズ１６によって受光センサ１８に集光される。したがって、受光センサ１８は、第３ＬＥＤ４４ｃから出力される第３光束の光強度を測定できる。

【0021】

図４（ｃ）は、図４（ｂ）の状態から遮光板２４を矢印Ｒで示される方向に約６０度回転させた状態を示す。図４（ｃ）では、遮光板２４の開口２６と光源４０の第４ＬＥＤ４４ｄがｚ方向に重なった状態を示している。図４（ｃ）のように開口２６の位置を調整することで、主に、第４ＬＥＤ４４ｄから出力される第４光束が開口２６を通過する。開口２６を通過した光は、レンズ１６によって受光センサ１８に集光される。したがって、受光センサ１８は、第４ＬＥＤ４４ｄから出力される第３光束の光強度を測定できる。

【0022】

なお、図４（ｃ）の状態から遮光板２４を矢印Ｒで示される方向にさらに回転することで、第２ＬＥＤ４４ｂ、第６ＬＥＤ４４ｆ、および、第５ＬＥＤ４４ｅの光強度を順に測定することができる。このようにして、光源４０に含まれる複数のＬＥＤ４４ａ～４４ｆのそれぞれの光強度を順に測定することができ、光源４０の全体としての光強度分布を得ることができる。

【0023】

本実施の形態によれば、レンズ１６および受光センサ１８の位置および向きを固定したまま光強度を測定できる。つまり、測定面２０内の光強度分布を測定するために受光センサ１８の位置を動かす必要がない。そのため、受光センサ１８を移動させるための機構を設けずに済む。また、受光センサ１８の移動時に受光センサ１８の向きが僅かにずれることにより測定精度が低下する影響を抑制できる。

【0024】

本実施の形態によれば、ＣＣＤセンサやＣＭＯＳセンサといった画像センサを用いずに測定面２０の光強度分布を測定できる。光源４０が紫外光を出力する場合、画像センサの画素を構成する半導体素子が紫外光によって劣化しやすい。そのため、長時間にわたって光源４０の光強度分布を測定しようとすると、画素ごとの劣化度に差が生じ、光強度分布を適切に測定できなくなることがある。一方、本実施の形態では、単一の受光センサ１８を用いるため、画素ごとの劣化度の違いによる測定誤差の発生を防止できる。また、フォトダイオードと比較して高価な画像センサを使用しなくて済むため、光測定装置１０のコストを低減できる。

【0025】

（第２の実施の形態）
図５は、第２の実施の形態に係る光測定装置５０の構成を概略的に示す側面図である。光測定装置５０は、遮光機構５２と、変位機構５４と、レンズ１６と、受光センサ１８とを備える。光測定装置５０は、光源９０から出力される光の強度分布を測定する。本実施の形態では、遮光機構５２が第１遮光板６０および第２遮光板６２を含み、第１遮光板６０および第２遮光板６２を組み合わせることにより、光が通過する領域を変化させる点で上述の実施の形態と相違する。以下、第２の実施の形態について、第１の実施の形態との相違点を中心に説明する。

【0026】

図６は、図５の光源９０の構成を概略的に示す正面図である。光源９０は、基板９２上にアレイ状に配置される複数のＬＥＤ９４ａ～９４ｎを有する。図６の例において、光源９０は、破線９８より内側に配置される４個のＬＥＤ９４ｂ，９４ｃ，９４ｉ，９４ｊと、破線９８より外側に配置される１０個のＬＥＤ９４ａ，９４ｄ，９４ｅ，９４ｆ，９４ｇ，９４ｈ，９４ｋ，９４ｌ，９４ｍ，９４ｎとを含む。例えば、第１ＬＥＤ９４ａおよび第４ＬＥＤ９４ｄは、破線９８よりも外側の外周部に配置され、第２ＬＥＤ９４ｂおよび第３ＬＥＤ９４ｃは、破線９８よりも内側の中央部に配置される。各ＬＥＤ９４ａ～９４ｎは、可視光を出力してもよいし、赤外光を出力してもよいし、紫外光を出力してもよい。一例において、各ＬＥＤ９４ａ～９４ｎは、波長２４０ｎｍ～３２０ｎｍ程度の紫外光を出力する。

【0027】

図５に戻り、遮光機構５２は、測定面２０に配置され、測定面２０内の一部領域に入射する光を通過させ、測定面２０内の一部領域以外に入射する光を遮蔽するよう構成される。遮光機構５２は、第１遮光板６０および第２遮光板６２を含む。第１遮光板６０は、第１開口６４を有する。第２遮光板６２は、複数の第２開口６６ａ，６６ｂを有する。遮光機構５２は、第１開口６４と複数の第２開口６６ａ，６６ｂのいずれかとが重なる領域に入射する光を通過させるよう構成される。

【0028】

第１遮光板６０および第２遮光板６２は、光軸２２上に配置される。図５の例では、第１遮光板６０が測定面２０に配置され、第２遮光板６２が測定面２０とレンズ１６の間に配置されている。なお、第１遮光板６０および第２遮光板６２の配置順は特に問わず、第２遮光板６２が測定面２０に配置され、第１遮光板６０が測定面２０とレンズ１６の間に配置されてもよい。第１遮光板６０および第２遮光板６２は、ｚ方向に近接して配置されることが好ましい。

【0029】

図５の例では、第１ＬＥＤ９４ａからの第１光束９６ａが第１開口６４および第２開口６６ａを通過するが、他のＬＥＤ９４ｂ～９４ｄからの光束９６ｂ～９６ｄは、第１遮光板６０または第２遮光板６２によって遮蔽される。第１開口６４および複数の第２開口６６ａ，６６ｂは、貫通孔として構成されてもよいし、測定対象となる光を透過可能な透明材料によって構成されてもよい。第１遮光板６０および第２遮光板６２は、光軸２２上に設けられる回転軸２８を中心に回転可能となるよう構成される。

【0030】

図７は、図５の第１遮光板６０の構成を概略的に示す正面図である。第１遮光板６０は、レンズ１６の外径に対応した大きさの円板である。第１遮光板６０は、一つの第１開口６４を有する。第１開口６４は、回転軸２８から径方向外側に延びるスリット開口として形成される。第１開口６４は、周方向の開口範囲（スリット幅）ｗ１が小さく、径方向の開口範囲（スリット長）ｄ１が大きい。第１開口６４の周方向の開口範囲ｗ１は、光源９０に含まれるＬＥＤ９４ａ～９４ｎの大きさと同程度か、ＬＥＤ９４ａ～９４ｎの大きさよりも小さい。第１開口６４の周方向の開口範囲ｗ１は、例えば、１ｍｍ～５ｍｍ程度である。第１開口６４の径方向の開口範囲ｄ１は、第１遮光板６０の半径と同程度である。第１開口６４の径方向の開口範囲ｄ１は、例えば、１０ｍｍ～１５ｍｍ程度である。

【0031】

図８は、図５の第２遮光板６２の構成を概略的に示す正面図である。第２遮光板６２は、レンズ１６の外径に対応した大きさの円板である。第２遮光板６２は、複数の第２開口６６ａ，６６ｂを有する。複数の第２開口６６ａ，６６ｂは、周方向の開口範囲が互いに異なり、かつ、径方向の開口範囲が違いに異なるように形成される。図８の例において、第２遮光板６２は、外側第２開口６６ａと、内側第２開口６６ｂとを有する。

【0032】

内側第２開口６６ｂは、半円形状の開口である。内側第２開口６６ｂの周方向の開口範囲ｗ３は、１６０度～１８０度程度である。内側第２開口６６ｂの径方向の開口範囲ｄ３は、第２遮光板６２の半径の半分程度であり、例えば、５ｍｍ～８ｍｍ程度である。外側第２開口６６ａは、アーチ形状の開口であり、第２遮光板６２を半分にした半円形状から内側第２開口６６ｂに対応する半円形状を除去したような形状を有する。外側第２開口６６ａの周方向の開口範囲ｗ２は、１６０度～１８０度程度である。外側第２開口６６ａの径方向の開口範囲ｄ２は、第２遮光板６２の半径の半分程度であり、例えば、５ｍｍ～８ｍｍ程度である。

【0033】

外側第２開口６６ａの径方向の開口範囲ｄ２は、内側第２開口６６ｂの径方向の開口範囲ｄ３と異なる。内側第２開口６６ｂは、回転軸２８から所定の距離ｄ３となる範囲内に設けられる。一方、外側第２開口６６ａは、内側第２開口６６ｂよりも径方向外側に設けられる。外側第２開口６６ａは、回転軸２８から所定の距離ｄ３となる範囲外に設けられる。

【0034】

外側第２開口６６ａの周方向の開口範囲ｗ２は、内側第２開口６６ｂの周方向の開口範囲ｗ３と異なる。外側第２開口６６ａは、周方向の角度が所定の範囲（例えば、０度～＋１８０度）となる範囲内に設けられる。一方、内側第２開口６６ｂは、外側第２開口６６ａとは周方向の位置が異なる範囲（例えば、０度～－１８０度）となる範囲内に設けられる。

【0035】

第１開口６４は、第１遮光板６０および第２遮光板６２の回転方向（つまり周方向）の開口範囲を規定する。一方、複数の第２開口６６ａ，６６ｂは、第１遮光板６０および第２遮光板６２の回転方向に直交する径方向の開口範囲を規定する。第１開口６４の周方向の開口範囲ｗ１は、第２開口６６ａ，６６ｂの周方向の開口範囲ｗ２，ｗ３よりも小さい。また、第１開口６４の径方向の開口範囲ｄ１は、第２開口６６ａ，６６ｂの径方向の開口範囲ｄ２，ｄ３よりも大きい。周方向および径方向の開口範囲の大小関係が異なる第１開口６４と第２開口６６ａ，６６ｂを組み合わせることで、測定される光強度分布の周方向および径方向の分解能を高めることができる。

【0036】

図５に戻り、変位機構５４は、遮光機構５２を回転させ、第１開口６４と第２開口６６ａ，６６ｂが重なる領域の位置を変化させる。変位機構５４は、モータなどの駆動機構によって第１遮光板６０および第２遮光板６２を個別に回転させる。変位機構５４は、第１遮光板６０と第２遮光板６２の回転速度を異ならせることにより、第１開口６４と第２開口６６ａ，６６ｂが重なる領域の位置を変化させる。

【0037】

図９（ａ），（ｂ）は、遮光機構５２の動作を模式的に示す図である。図９（ａ），（ｂ）は、レンズ１６から遮光機構５２を通じて光源９０を見た様子を示している。図９（ａ）は、第１開口６４および外側第２開口６６ａが光源９０の第１ＬＥＤ９４ａとｚ方向に重なった状態を示している。図９（ａ）のように第１開口６４および外側第２開口６６ａの位置を調整することで、第１開口６４と外側第２開口６６ａが重なる通過領域７０を第１ＬＥＤ９４ａから出力される第１光束９６ａが通過する。通過領域７０を通過した光は、レンズ１６によって受光センサ１８に集光される。したがって、受光センサ１８は、第１ＬＥＤ９４ａから出力される第１光束９６ａの光強度を測定できる。

【0038】

図９（ｂ）は、第１開口６４および内側第２開口６６ｂが光源９０の第２ＬＥＤ９４ｂとｚ方向に重なった状態を示している。図９（ａ）のように第１開口６４および内側第２開口６６ｂの位置を調整することで、第１開口６４と内側第２開口６６ａが重なる通過領域７０を第２ＬＥＤ９４ｂから出力される第２光束９６ｂが通過する。通過領域７０を通過した光は、レンズ１６によって受光センサ１８に集光される。したがって、受光センサ１８は、第２ＬＥＤ９４ｂから出力される第２光束９６ｂの光強度を測定できる。

【0039】

なお、第１遮光板６０および第２遮光板６２の回転角度を個別に調整することにより、図６に示される１４個のＬＥＤのそれぞれの光強度を個別に測定できる。例えば、第１開口６４と外側第２開口６６ａが重なった状態で、第１遮光板６０が１回転することにより、基板９２の外周部に配置される１０個のＬＥＤの光強度を個別に測定できる。第１開口６４と内側第２開口６６ｂが重なった状態で、第１遮光板６０が１回転することにより、基板９２の内周部に配置される４個のＬＥＤの光強度を個別に測定できる。また、第１遮光板６０の回転速度を第２遮光板６２の回転速度の２倍とすることで、光源９０に含まれる１４個のＬＥＤのそれぞれの光強度を順番に測定できる。

【0040】

以上、本発明を実施例に基づいて説明した。本発明は上述の実施の形態に限定されず、種々の設計変更が可能であり、様々な変形例が可能であること、また、そうした変形例も本発明の範囲にあることは、当業者に理解されるところである。

【0041】

上述の実施の形態では、第２遮光板６２に二つの第２開口６６ａ，６６ｂを設ける場合を示した。別の実施の形態では、第２遮光板６２に三以上の第２開口を設けてもよい。第２遮光板６２に設けられる三以上の第２開口のそれぞれは、周方向の開口範囲が違いに異なり、かつ、径方向の開口範囲が異なるように設定される。例えば、周方向の開口範囲を１２０度ずつ３分割し、径方向の開口範囲を等間隔に３分割した９領域のうち、周方向および径方向の位置が重ならない３領域のそれぞれに第２開口を設けてもよい。

【0042】

以下、本発明のいくつかの態様について説明する。

【0043】

本発明の第１の態様は、測定面に配置され、前記測定面内の一部領域に入射する光を通過させ、前記測定面内の前記一部領域以外に入射する光を遮蔽する遮光機構と、前記測定面内において前記一部領域の位置を変化させる変位機構と、前記一部領域を通過した光を集光するレンズと、前記レンズが集光した光の強度を測定する受光センサと、を備える光測定装置である。第１の態様によれば、測定面内で光が通過する一部領域の位置を変化させることで、測定面内の複数の位置における光強度を測定できる。これにより、受光センサの位置を変化させることなく、測定面内の光強度分布を測定できる。

【0044】

本発明の第２の態様は、前記遮光機構は、開口を有する遮光板を含み、前記変位機構は、前記遮光板を移動または回転させることにより前記測定面内における前記開口の位置を変化させる、第１の態様に記載の光測定装置である。第２の態様によれば、開口を有する遮光板を移動または回転させる簡易な構成により、測定面内の複数の位置における光強度を測定できる。

【0045】

本発明の第３の態様は、前記遮光機構は、第１開口を有する第１遮光板と、第２開口を有する第２遮光板とを含み、前記第１開口と前記第２開口が重なる領域に入射する光を通過させるよう構成され、前記変位機構は、前記第１遮光板および前記第２遮光板のそれぞれを回転させることにより、前記測定面内における前記第１開口と前記第２開口が重なる領域を変位させる、第１の態様に記載の光測定装置である。第３の態様によれば、第１遮光板と第２遮光板を回転させる簡易な構成により、第１開口および第２開口が重なる領域を二次元的に変化させることができる。これにより、測定面内の光強度の二次元分布を測定できる。

【0046】

本発明の第４の態様は、前記第２遮光板は、複数の第２開口を有し、前記複数の第２開口は、前記第２遮光板の回転方向の開口範囲が互いに異なり、かつ、前記回転方向と直交する径方向の開口範囲が互いに異なるように形成され、前記変位機構は、前記第１遮光板および前記第２遮光板のそれぞれを回転させることにより、前記測定面内において前記第１開口と前記複数の第２開口のいずれかとが重なる領域を変位させる、第３の態様に記載の光測定装置である。第４の態様によれば、複数の第２開口を設けることで、第１開口と重なる第２開口を複数の候補の中から切り替えることができる。また、複数の第２開口の回転方向および径方向の開口範囲を違いに異ならせることで、第１開口と第２開口が重なる領域の位置を回転方向および径方向の双方について切り替えることができる。これにより、測定面内の光強度の二次元分布を測定できる。

【0047】

本発明の第５の態様は、前記変位機構は、前記第１遮光板および前記第２遮光板のそれぞれを異なる速度で回転させる、第３または第４の態様に記載の光測定装置である。第５の態様によれば、第１開口および第２開口が重なる領域を二次元的に連続的に切り替えながら、測定面内の複数の位置における光強度を連続的に測定できる。

【符号の説明】

【0048】

１０…光測定装置、１２…遮光機構、１４…変位機構、１６…レンズ、１８…受光センサ、２０…測定面、２２…光軸、２４…遮光板、２６…開口、５０…光測定装置、５２…遮光機構、５４…変位機構、６０…第１遮光板、６２…第２遮光板、６４…第１開口、６６ａ，６６ｂ…第２開口、７０…通過領域。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】