2022-146082 アクチュエータ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022146082

(43)【公開日】2022-10-05

(54)【発明の名称】アクチュエータ

(51)【国際特許分類】

   H02K 7/08 20060101AFI20220928BHJP

   H02K 7/06 20060101ALI20220928BHJP

   H02K 16/00 20060101ALI20220928BHJP

   F16H 25/20 20060101ALI20220928BHJP

   F16H 25/24 20060101ALI20220928BHJP

   F16J 15/3236 20160101ALI20220928BHJP

   F16J 15/447 20060101ALI20220928BHJP

【ＦＩ】

H02K7/08 Z

H02K7/06 A

H02K16/00

F16H25/20 Z

F16H25/24 L

F16J15/3236

F16J15/447

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021046875

(22)【出願日】2021-03-22

(71)【出願人】

【識別番号】000004204

【氏名又は名称】日本精工株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】平尾 基裕

(72)【発明者】

【氏名】小泉 和則

【テーマコード（参考）】

3J006

3J042

3J062

5H607

【Ｆターム（参考）】

3J006AA01

3J006AB01

3J006AE25

3J006AE34

3J006AE50

3J006CA01

3J042AA04

3J042AA12

3J042CA10

3J042CA15

3J042DA20

3J062AB24

3J062BA16

3J062BA23

3J062CD02

3J062CD23

3J062CD66

5H607AA05

5H607BB01

5H607BB07

5H607BB14

5H607BB21

5H607CC03

5H607DD03

5H607EE53

5H607JJ10

(57)【要約】

【課題】防水性能の低下を抑制することのできるアクチュエータを提供すること。
【解決手段】スプライン溝部６３３と雄ねじ部５３３とが形成される軸部材ＳＦと、
軸部材ＳＦをスプライン溝部６３３に沿って案内すると共に、軸部材ＳＦを中心軸ＡＸの軸回り方向に回転させるスプライン外筒６１と、軸部材ＳＦにおけるスプライン溝部６３３側の端部に固定されるアーム取付部材７０と、スプライン外筒６１及び軸部材ＳＦを覆うスプライン外筒用ハウジング４３と、アーム取付部材７０における連結部７１から軸部材ＳＦが位置する側に軸線方向に沿って延び、スプライン外筒用ハウジング４３から離隔してスプライン外筒用ハウジング４３を覆う筒状部７２と、筒状部７２の内周面に配置されてスプライン外筒用ハウジング４３に接触する摺動シール７７と、筒状部７２の内周面における摺動シール７７よりも連結部７１寄りに配置される補助シール部材７８と、を備える。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

軸線方向に沿って延びるスプライン溝部と、中心軸を中心とする螺旋状に形成される雄ねじ部とが形成される軸部材と、
前記軸部材の前記スプライン溝部と係合して前記軸部材を前記スプライン溝部に沿って前記軸線方向に案内すると共に、前記軸部材を前記中心軸の軸回り方向に回転させるスプライン外筒と、
前記軸部材における前記スプライン溝部側の端部と前記雄ねじ部側の端部との両端部のうち、前記スプライン溝部側の端部に固定されるアーム取付部材と、
前記スプライン外筒及び前記軸部材における前記スプライン外筒よりも前記アーム取付部材が固定される側の端部側の部分を覆うスプライン外筒用ハウジングと、
内径が前記スプライン外筒用ハウジングの外径よりも大きい円筒形状に形成され、前記アーム取付部材における前記軸部材に連結される部分である連結部から前記軸部材が位置する側に前記軸線方向に沿って延び、前記スプライン外筒用ハウジングから離隔して前記スプライン外筒用ハウジングを覆う筒状部と、
前記筒状部の内周面に配置されて前記スプライン外筒用ハウジングに接触する摺動シールと、
内径が前記筒状部の内径よりも小さい円筒形状で形成され、前記筒状部の内周面における前記摺動シールよりも前記連結部寄りに配置される補助シール部材と、
を備えることを特徴とするアクチュエータ。

【請求項2】

前記補助シール部材は、前記軸線方向に離隔して複数が配置される
請求項１に記載のアクチュエータ。

【請求項3】

前記補助シール部材には、内周面に円周方向に延びる中間溝部が形成される
請求項１に記載のアクチュエータ。

【請求項4】

前記補助シール部材は、前記軸部材に連結される前記連結部が前記スプライン外筒用ハウジングから離れる方向へ前記軸部材が前記軸線方向に沿って移動した際における、前記連結部と前記スプライン外筒用ハウジングとの距離が最大となる状態において、
前記軸線方向における前記補助シール部材の前記連結部側の端部が、前記軸線方向における前記スプライン外筒用ハウジングの前記連結部側の端部よりも前記摺動シール寄りに位置する
請求項１から３のいずれか１項に記載のアクチュエータ。

【請求項5】

第１ロータを有する第１モータと、
前記第１ロータと同軸に配置される第２ロータを有する第２モータと、
前記軸部材の前記雄ねじ部と噛み合う雌ねじ部が設けられるナット部材と、
を備え、
前記軸部材は、前記第１ロータ及び前記第２ロータを前記軸線方向に貫通することにより、前記第１ロータと前記第２ロータとに対して同軸に配置され、
前記スプライン外筒は、前記第１ロータに連結されて前記第１ロータと共に回転することにより、前記軸部材を前記中心軸の軸回り方向に回転させ、
前記ナット部材は、前記雌ねじ部を前記軸部材の前記雄ねじ部に噛み合わせて配置され、前記第２ロータに連結されて前記第２ロータと共に回転することにより、前記軸部材を前記軸線方向に移動させる
請求項１から４のいずれか１項に記載のアクチュエータ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、アクチュエータに関する。

【背景技術】

【0002】

回転運動と直動運動を行うアクチュエータとして、例えば、特許文献１や特許文献２に記載のアクチュエータが知られている。特許文献１、２に記載のアクチュエータは、ボールねじ及びボールスプラインを有し、ボールねじのネジ軸とボールスプラインのシャフトとが連結された軸部材が用いられる。この構成では、ボールねじのナットが回転することで軸部材が直動運動を行い、ボールスプラインのスプライン外筒が回転することで軸部材が回転運動を行う。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１９－１７１６０号公報

【特許文献2】特開２０２０－６１９２６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

アクチュエータは、アクチュエータが設置される環境によっては、水や油等の液体がかかる環境で使用されることもある。例えば、アクチュエータが、工作機械に設置された場合、工作機械におけるワークの切削加工時に、切削部分にかける切削液が、アクチュエータにまでかかるような環境で使用されることもある。このような液体がかかる環境で使用されるアクチュエータの防水構造としては、特許文献１、２に記載されているような、アクチュエータにおけるワークを移送するアームを移動させる移動部材と固定部材との間の部分に、移動部材と一体となって移動すると共に双方の間の隙間を塞ぐシール部材を配置することが挙げられる。しかし、移動部材と固定部材との間の隙間をシール部材によって塞ぐことにより防水性能を確保する場合、移動部材が固定部材に対して相対移動した際に、シール部材は固定部材に擦れながら移動するため、摩耗する可能性があり、防水性能が低下する可能性がある。

【0005】

本開示は、上記に鑑みてなされたものであって、防水性能の低下を抑制することのできるアクチュエータを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示のアクチュエータは、軸線方向に沿って延びるスプライン溝部と、中心軸を中心とする螺旋状に形成される雄ねじ部とが形成される軸部材と、前記軸部材の前記スプライン溝部と係合して前記軸部材を前記スプライン溝部に沿って前記軸線方向に案内すると共に、前記軸部材を前記中心軸の軸回り方向に回転させるスプライン外筒と、前記軸部材における前記スプライン溝部側の端部と前記雄ねじ部側の端部との両端部のうち、前記スプライン溝部側の端部に固定されるアーム取付部材と、前記スプライン外筒及び前記軸部材における前記スプライン外筒よりも前記アーム取付部材が固定される側の端部側の部分を覆うスプライン外筒用ハウジングと、内径が前記スプライン外筒用ハウジングの外径よりも大きい円筒形状に形成され、前記アーム取付部材における前記軸部材に連結される部分である連結部から前記軸部材が位置する側に前記軸線方向に沿って延び、前記スプライン外筒用ハウジングから離隔して前記スプライン外筒用ハウジングを覆う筒状部と、前記筒状部の内周面に配置されて前記スプライン外筒用ハウジングに接触する摺動シールと、内径が前記筒状部の内径よりも小さい円筒形状で形成され、前記筒状部の内周面における前記摺動シールよりも前記連結部寄りに配置される補助シール部材と、を備える。

【0007】

この構成によれば、スプライン外筒用ハウジングを覆う筒状部の内周面における、摺動シールよりもアーム取付部材の連結部寄りに補助シール部材を配置することにより、摺動シールが摩耗した際に、液体がスプライン外筒用ハウジングと筒状部との間の隙間を通ってアクチュエータ内に入り込むことを抑制できる。これにより、摺動シールが摩耗した際における防水性能を確保することができ、防水性能の低下を抑制することができる。

【0008】

望ましい形態として、前記補助シール部材は、前記軸線方向に離隔して複数が配置される。

【0009】

この構成によれば、スプライン外筒用ハウジングと筒状部との間の隙間における補助シール部材が配置されている部分に液体が入り込んだ際における液体の流路の幅を、補助シール部材が位置する部分と、補助シール部材同士の間の部分とで大きく変化させることができる。これにより、液体の流れを乱すことができるため、液体が流れる際における抵抗を大きくすることができ、液体がスプライン外筒用ハウジングと筒状部との間の隙間を通ってアクチュエータ内に入り込むことを、より確実に抑制できる。従って、より確実に防水性能の低下を抑制することができる。

【0010】

望ましい形態として、前記補助シール部材には、内周面に円周方向に延びる中間溝部が形成される。

【0011】

この構成によれば、スプライン外筒用ハウジングと筒状部との間の隙間における補助シール部材が配置されている部分に液体が入り込んだ際における液体の流路の幅を、中間溝部が形成されている部分と、中間溝部以外の部分とで大きく変化させることができる。これにより、液体の流れを乱すことができるため、液体が流れる際における抵抗を大きくすることができ、液体がスプライン外筒用ハウジングと筒状部との間の隙間を通ってアクチュエータ内に入り込むことを、より確実に抑制できる。従って、より確実に防水性能の低下を抑制することができる。

【0012】

望ましい形態として、前記補助シール部材は、前記軸部材に連結される前記連結部が前記スプライン外筒用ハウジングから離れる方向へ前記軸部材が前記軸線方向に沿って移動した際における、前記連結部と前記スプライン外筒用ハウジングとの距離が最大となる状態において、前記軸線方向における前記補助シール部材の前記連結部側の端部が、前記軸線方向における前記スプライン外筒用ハウジングの前記連結部側の端部よりも前記摺動シール寄りに位置する。

【0013】

この構成によれば、連結部とスプライン外筒用ハウジングとの距離が最大となる状態において、補助シール部材における連結部側の端部が、スプライン外筒用ハウジングにおける連結部側の端部よりも摺動シール寄りに位置するため、軸部材の移動状態に関わらず、筒状部とスプライン外筒用ハウジングとの間の防水性能を、補助シール部材により確保することができる。これにより、より確実に防水性能の低下を抑制することができる。

【0014】

望ましい形態として、第１ロータを有する第１モータと、前記第１ロータと同軸に配置される第２ロータを有する第２モータと、前記軸部材の前記雄ねじ部と噛み合う雌ねじ部が設けられるナット部材と、を備え、前記軸部材は、前記第１ロータ及び前記第２ロータを前記軸線方向に貫通することにより、前記第１ロータと前記第２ロータとに対して同軸に配置され、前記スプライン外筒は、前記第１ロータに連結されて前記第１ロータと共に回転することにより、前記軸部材を前記中心軸の軸回り方向に回転させ、前記ナット部材は、前記雌ねじ部を前記軸部材の前記雄ねじ部に噛み合わせて配置され、前記第２ロータに連結されて前記第２ロータと共に回転することにより、前記軸部材を前記軸線方向に移動させる。

【0015】

この構成によれば、軸部材を中心軸の軸回り方向に回転させる第１ロータと、軸部材を中心軸の軸線方向に移動させる第２ロータとを軸部材が貫通するため、軸部材に対して軸回り方向の回転と軸線方向の移動とを行わせるアクチュエータを、コンパクトに構成することができる。これにより、アクチュエータの省スペース化を図ることができる。

【発明の効果】

【0016】

本開示に係るアクチュエータは、防水性能の低下を抑制することができる、という効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】図１は、第１実施形態に係るアクチュエータの断面図である。

【図2】図２は、図１に示すアクチュエータの上端付近を拡大した断面図である。

【図3】図３は、図２に示すアーム取付部材周りの詳細図である。

【図4】図４は、図１に示すアクチュエータの下端付近を拡大した断面図である。

【図5】図５は、図１に示す軸部材が上昇した状態を示す説明図である。

【図6】図６は、摺動シールが摩耗した場合における摺動シール周りの模式図である。

【図7】図７は、軸部材が上昇した際におけるアクチュエータの上端付近を拡大した断面図である。

【図8】図８は、第２実施形態のアクチュエータの要部断面図であり、摺動シール周りの模式図である。

【図9】図９は、第３実施形態のアクチュエータの要部断面図であり、摺動シール周りの模式図である。

【図10】図１０は、第４実施形態に係るアクチュエータの断面図である。

【図11】図１１は、図１０に示す二軸一体型モータの詳細図である。

【図12】図１２は、回転軸と直交する平面による二軸一体型モータの断面図である。

【図13】図１３は、図１０に示す第４実施形態に係るアクチュエータの上端付近を拡大した断面図である。

【図14】図１４は、図１０に示す第４実施形態に係るアクチュエータ１Ａの軸部材が上昇した状態を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。

【0019】

[第１実施形態]
図１は、第１実施形態に係るアクチュエータ１の断面図である。図１の断面は、後述する第１ロータ及び第２ロータの中心軸ＡＸを含む平面による断面である。

【0020】

図１に示すように、アクチュエータ１は、例えば、ピックアンドプレース装置として用いられる。アクチュエータ１は、アーム部８０と、第１モータＭ１と、第２モータＭ２と、軸部材ＳＦと、スプライン外筒６１と、ナット部材５１と、を備える。

【0021】

以下、Ｚ方向に平行な方向であって、第１モータＭ１からアーム部８０に向けた方向を上方とし、アーム部８０から第１モータＭ１に向けた方向を下方として説明する。また、アーム部８０の中心軸ＡＸの軸線方向は、Ｚ方向と同一とする。

【0022】

アーム部８０は、例えば、単一のアームのみを有する片持ちのアームである。アクチュエータ１は、例えば、アーム部８０の中心軸ＡＸをＺ方向に向けた状態で固定台ＳＴに固定されている。アーム部８０は、アーム取付部材７０の上に固定される。アーム取付部材７０は、後述するシャフト６３の上端にボルトを介して固定される。アクチュエータ１は、アーム部８０をＺ方向（直動方向、中心軸ＡＸの軸線方向）に上下させ、アーム部８０をＺ方向と直交する平面内で、中心軸ＡＸの軸回り方向に回転させる。アーム部８０には図示しないワークが搭載されるため、ワークが所望の位置に移送される。

【0023】

第１モータＭ１は、第１ステータ１０と、第１ロータ２０と、第１モータハウジング４０と、第１回転検出部１０１と、を有する。

【0024】

第１ステータ１０の径方向内側には、第１ステータ保持体１１が配置される。第１ステータ１０は、第１ステータ保持体１１に固定される。第１ロータ２０は、第１ステータ１０の外周側に配置される。第１ロータ２０は、中心軸ＡＸを中心として回転する。第１ロータ２０は、第１ロータブラケット２１と、第１ロータブラケット２１の径方向内側に固定され永久磁石を有する第１ロータコア２２とを有する。第１ロータブラケット２１は、中心軸ＡＸを中心とする筒状に形成されている。また、第１ロータブラケット２１は、第１軸受３１の外輪を支持する外輪押さえ２１ａを有する。

【0025】

第１ステータ１０及び第１ロータ２０は、中心軸ＡＸを中心として同軸に配置されている。第１ロータ２０は、第１ステータ１０及び第１ステータ保持体１１の径方向外側に配置され、第１ステータ１０に対して相対回転する。換言すると、第１ロータ２０は、第１軸受３１を介して、第１ステータ１０及び第１ステータ保持体１１に回転可能に支持される。第１ステータ保持体１１は、ボルトを介して第１モータハウジング４０に固定されている。第１ステータ１０は、中心軸ＡＸの周りに筒状に設けられている。

【0026】

第１モータハウジング４０は、例えば円筒状に形成され、第１モータＭ１を収容する。第１モータハウジング４０の上端は、開口しており、当該開口部には蓋部材１１１が設けられる。蓋部材１１１は、ボルトを介して第１ロータブラケット２１の外輪押さえ２１ａに固定される。蓋部材１１１の径方向中央部には貫通孔が設けられ、貫通孔はスプライン外筒６１で覆われており、スプライン外筒６１は、蓋部材１１１にボルトを介して固定される。

【0027】

また、第１モータハウジング４０の上端には、径方向外側に広がる取付用フランジ４０ａが設けられる。取付用フランジ４０ａは、固定台ＳＴの上面に載置され、ボルトを介して固定台ＳＴに固定可能である。蓋部材１１１の外周端と第１モータハウジング４０の内周端との間には、微小な隙間が形成され、蓋部材１１１が第１モータハウジング４０に対して回転可能となる。

【0028】

第１回転検出部１０１は、例えば、レゾルバである。第１回転検出部１０１は、第１モータＭ１の回転状態を検出する。第１回転検出部１０１は、第１軸受３１の上側に配置される。

【0029】

第２モータＭ２は、第１モータＭ１に対して中心軸ＡＸの軸線方向に並んで配置される。第２モータＭ２は、第２ステータ１０Ａと、第２ロータ２０Ａと、第２モータハウジング４０Ａと、第２回転検出部１０１Ａと、を有する。第１モータＭ１及び第２モータＭ２は、円筒状のダイレクトドライブモータである。即ち、第１モータＭ１が有する第１ロータ２０と、第２モータＭ２が有する第２ロータ２０Ａとは、いずれも円筒状の形状で形成されており、第１モータＭ１や第２モータＭ２の駆動時は、円筒状の第１ロータ２０や第２ロータ２０Ａが、中心軸ＡＸを中心として回転をする。軸部材ＳＦは、第１ロータ２０及び第２ロータ２０Ａを軸線方向に貫通することにより、第１ロータ２０と第２ロータ２０Ａとに対して同軸に配置される。

【0030】

第２ロータ２０Ａは、第２ステータ１０Ａの外周側に配置される。第２ロータ２０Ａは、中心軸ＡＸを中心として回転する。即ち、第２ロータ２０Ａの中心軸は、第１ロータ２０の中心軸ＡＸと同軸である。第２ロータ２０Ａは、第２ロータブラケット２１Ａと、第２ロータブラケット２１Ａの径方向内側に固定され永久磁石を有する第２ロータコア２２Ａとを有する。第２ロータブラケット２１Ａは、中心軸ＡＸを中心とする筒状に形成されている。第２ステータ１０Ａ及び第２ロータ２０Ａは、中心軸ＡＸを中心として同軸に配置されている。

【0031】

第２ステータ１０Ａの径方向内側には、第２ステータ保持体１１Ａが配置される。第２ステータ１０Ａは、第２ステータ保持体１１Ａに固定される。第２ロータ２０Ａは、第２ステータ１０Ａ及び第２ステータ保持体１１Ａの径方向外側に配置され、第２ステータ１０Ａ及び第２ステータ保持体１１Ａに対して相対回転する。換言すると、第２ロータ２０Ａは、第２軸受３２を介して、第２ステータ１０Ａ及び第２ステータ保持体１１Ａに回転可能に支持される。第２ステータ１０Ａは、第２ステータ１０Ａの径方向内側に配置された第２ステータ保持体１１Ａに固定されている。第２ステータ保持体１１Ａは、ボルトを介して第２モータハウジング４０Ａに固定されている。第２ステータ１０Ａは、中心軸ＡＸの周りに筒状に設けられている。

【0032】

ここで、軸部材ＳＦについて説明する。軸部材ＳＦは、上方のシャフト６３と、下方のネジ軸５３と、を有する。シャフト６３は、アーム取付部材７０から中心軸ＡＸの軸線方向に沿って連結部１００まで延びている。連結部１００は、第２回転検出部１０１Ａと並ぶ位置に設けられる。シャフト６３は、縮径部６３ａと大径部６３１と小径部６３２とを有し、一体になって構成される。縮径部６３ａは、シャフト６３におけるネジ軸５３が位置する側の端部の反対側に位置しており、直径が大径部６３１の直径よりも小さい径で形成されている。即ち、縮径部６３ａは、シャフト６３の上端に位置しており、シャフト６３におけるアーム取付部材７０が取り付けられる部分に形成されている。

【0033】

大径部６３１は、軸部材ＳＦが最も下方に位置する状態において、アーム取付部材７０から第１モータハウジング４０の下底部４０ｂ付近まで延びている。大径部６３１は、縮径部６３ａの下側に配置される第１大径部６３１ａと、第１大径部６３１ａの下端と小径部６３２の上端との間に位置する第２大径部６３１ｂとを有する。第２大径部６３１ｂの外周には、中心軸ＡＸの軸線方向に沿って延びるスプライン溝部６３３が周方向に間隔をおいて複数設けられる。スプライン外筒６１の内周側には、図示しないが、スプライン溝部６３３に係合可能な複数の凸部を有するスプライン部が設けられる。第２大径部６３１ｂは、スプライン外筒６１の内側を通して配置され、第２大径部６３１ｂに形成されるスプライン溝部６３３は、スプライン外筒６１の内周側に設けられるスプライン部と係合する。

【0034】

このように、軸部材ＳＦは、第１ロータ２０から第２ロータ２０Ａの反対側に向けて軸線方向の一方である上方に突出する第１部分Ｓ１を有し、第１部分Ｓ１には、軸線方向に沿って延びるスプライン溝部６３３が設けられる。スプライン溝部６３３とスプライン部とが複数のボールを介して係合することで、スプライン部に沿って軸部材ＳＦが軸線方向に案内されると共に、軸部材ＳＦは第１ロータ２０と共に回転することにより軸部材ＳＦが中心軸の軸回り方向に回転可能となる。換言すると、スプライン外筒６１は、軸部材ＳＦのスプライン溝部６３３と係合して軸部材ＳＦをスプライン溝部６３３に沿って中心軸ＡＸの軸線方向に案内すると共に、軸部材ＳＦを中心軸ＡＸの軸回り方向に回転させることが可能になっている。

【0035】

また、スプライン外筒６１は、蓋部材１１１を介して第１ロータ２０の第１ロータブラケット２１に連結されており、即ち、スプライン外筒６１は、蓋部材１１１を介して第１ロータ２０に連結されている。これにより、スプライン外筒６１は、第１モータＭ１の駆動時には、第１ロータ２０と一体となって回転することが可能になっており、第１ロータ２０と共に回転することにより、軸部材ＳＦを中心軸ＡＸの軸回り方向に回転させることができる。

【0036】

なお、シャフト６３の小径部６３２は、大径部６３１の下端から連結部１００まで延びている。このように、第１部分Ｓ１では、ころがり案内のボールスプラインが適用される。

【0037】

ネジ軸５３は、連結部１００からストッパ５５まで延びている。ネジ軸５３は、上方の大径部５３１と、下方の小径部５３２とを有する。ネジ軸５３の大径部５３１の先端部（図１の上端部）には、上方に突出する細径部５３１ａが設けられる。細径部５３１ａの外周には、雄ねじが設けられる。シャフト６３の小径部６３２の下端部には、凹部６３２ａが設けられる。凹部６３２ａの内周には、細径部５３１ａの雄ねじと噛み合う雌ねじが設けられる。凹部６３２ａの内周の雌ねじは、細径部５３１ａの雄ねじと噛み合っている。これにより、シャフト６３の小径部６３２とネジ軸５３の大径部５３１とが一体に連結される。即ち、シャフト６３とネジ軸５３とがねじ締結によって連結される。なお、大径部５３１の外周には雄ねじ部５３３が形成される。即ち、軸部材ＳＦは、第２ロータ２０Ａから第１ロータ２０の反対側に向けて軸線方向の他方である下方に突出する第２部分Ｓ２を有し、第２部分Ｓ２には、中心軸ＡＸを中心とする螺旋状に形成される雄ねじ部５３３が設けられる。なお、小径部５３２の外周には雄ねじ部が設けられていない。また、軸部材ＳＦにおけるスプライン溝部６３３の径Ｄ１は、雄ねじ部５３３の径Ｄ２よりも大きい。なお、スプライン溝部６３３の径Ｄ１は、大径及び小径のうちの大径である。雄ねじ部５３３の径Ｄ２は、外径及び内径（谷径）のうちの外径である。

【0038】

第２モータハウジング４０Ａは、例えば円筒状に形成され、第２モータＭ２を収容する。第２モータハウジング４０Ａの上端は、開口しており、当該開口部には軸部材ＳＦが貫通して設けられる。開口部の外周には、中心軸ＡＸの軸回り方向に環状に延びる上底部４０Ａａが設けられる。上底部４０Ａａは、第１モータハウジング４０の下底部４０ｂと当接し下底部４０ｂにボルトを介して固定されている。第２モータハウジング４０Ａの下底部４０Ａｂも開口しており、当該開口部には、ナット用ハウジング４２が取り付けられる。

【0039】

ナット用ハウジング４２は、上端フランジ４２ａと、上端フランジ４２ａの内周端から下方に延びる筒状に形成された筒状部４２ｂとを有する。上端フランジ４２ａは、第２モータハウジング４０Ａの下底部４０Ａｂにボルトを介して固定されている。

【0040】

小径部５３２の下端には、ストッパ５５がナット５６によって取り付けられている。ナット用ハウジング４２の内方には、ナット部材５１と、第２連結ブラケット４５とが収容される。

【0041】

ナット部材５１の内周側には、雌ねじ部が設けられる。雌ねじ部は、軸部材ＳＦの第２部分Ｓ２の雄ねじ部５３３と複数のボールを介して噛み合う。このため、ナット部材５１は、内周側の雌ねじ部を軸部材ＳＦの雄ねじ部５３３に噛み合わせて配置される。ナット部材５１の上方寄りの径方向外側の位置には、第２連結ブラケット４５が配置されており、ナット部材５１は、ボルトを介して第２連結ブラケット４５に固定される。第２連結ブラケット４５の上端には、径方向外側に広がるフランジ４５ａが設けられ、フランジ４５ａはボルトを介して第１連結ブラケット４６に固定される。このように、第２部分Ｓ２では、ころがり案内のボールねじが適用される。

【0042】

第１連結ブラケット４６は、ボルトを介して第２ロータブラケット２１Ａに固定される。このように、ナット部材５１と、第２連結ブラケット４５と、第１連結ブラケット４６と、第２ロータブラケット２１Ａとは、一体になって回転可能である。詳細には、ナット部材５１、第２連結ブラケット４５、第１連結ブラケット４６及び第２ロータブラケット２１Ａは、第２軸受３２を介して、第２ステータ１０Ａ及び第２ステータ保持体１１Ａに対して回転可能に支持される。ナット部材５１は、このように、第２連結ブラケット４５と第１連結ブラケット４６とを介して第２ロータブラケット２１Ａに連結されており、即ち、第２ロータ２０Ａに連結されている。このため、ナット部材５１は、第２モータＭ２の駆動時には、第２ロータ２０Ａと一体となって、第２ロータ２０Ａと共に回転することが可能になっている。

【0043】

また、ナット部材５１は、内周側の雌ねじ部が、軸部材ＳＦの雄ねじ部５３３に噛み合わせて配置されている。このため、ナット部材５１が中心軸ＡＸの軸回りに回転した際には、ナット部材５１は、軸部材ＳＦを中心軸ＡＸの軸線方向に移動させることが可能になっている。従って、ナット部材５１は、第２モータＭ２の駆動時には、第２ロータ２０Ａと共に回転することにより、軸部材ＳＦを中心軸ＡＸの軸線方向に移動させることができる。

【0044】

第２回転検出部１０１Ａは、例えば、レゾルバである。第２回転検出部１０１Ａは、第２モータＭ２の回転状態を検出する。第２回転検出部１０１Ａは、軸方向において連結部１００に並んだ位置に配置される。

【0045】

図２は、図１に示すアクチュエータ１の上端付近を拡大した断面図である。第１モータハウジング４０の上端には、ボルトを介してスプライン外筒用ハウジング４３が固定されている。スプライン外筒用ハウジング４３は、第１筒状部４３１と、第２筒状部４３２と、を有する。スプライン外筒用ハウジング４３の内側には、軸部材ＳＦにおける第１部分Ｓ１、即ち、シャフト６３における第１大径部６３１ａ及び第２大径部６３１ｂと、内側に第２大径部６３１ｂが通るスプライン外筒６１とが配置される。つまり、スプライン外筒用ハウジング４３は、スプライン外筒６１及び軸部材ＳＦにおけるスプライン外筒６１よりもアーム取付部材７０が固定される側の端部側の部分を覆う。詳しくは、スプライン外筒用ハウジング４３の第１筒状部４３１は、スプライン外筒６１を覆い、スプライン外筒用ハウジング４３の第２筒状部４３２は、軸部材ＳＦにおけるスプライン外筒６１よりもアーム取付部材７０が固定される側の端部側でスプライン外筒６１から露出する部分を覆う。

【0046】

また、第１ロータブラケット２１（図１参照）の上端には、蓋部材１１１がボルトを介して固定される。蓋部材１１１の上端には、スプライン外筒６１のフランジ６２がボルトを介して固定される。

【0047】

スプライン外筒用ハウジング４３の第１筒状部４３１は、上下方向の上側に配置された第１円筒部４３１ｂと、第１円筒部４３１ｂの下側に配置された段部４３１ｄと、段部４３１ｄの下側に配置された第２円筒部４３１ｅとを有する。

【0048】

第１円筒部４３１ｂには、径方向内側に延びる受け部４３１ａが周方向に沿って円環状に設けられている。受け部４３１ａの上面には、下方に凹む凹部が設けられ、凹部にＯリング７４が収容されている。第２筒状部４３２の下端面がＯリング７４を押圧した状態で、ボルトを介して第２筒状部４３２の下端部が第１筒状部４３１の受け部４３１ａに固定される。第２円筒部４３１ｅの下端部４３１ｃの側面には、凹部が形成され、凹部にはＯリング７５が収容されている。

【0049】

第１モータハウジング４０の上端部の内周面がＯリング７５を押圧している。この状態で、ボルトを介して第１筒状部４３１の下端部が第１モータハウジング４０の上端部に固定される。さらに、第１モータハウジング４０の上端部の外周面には、径方向内側に凹む凹部が設けられ、凹部にＯリング７６が収容されている。固定台ＳＴの内周面がＯリング７６を押圧した状態で、第１モータハウジング４０の取付用フランジ４０ａが固定台ＳＴの上面にボルトを介して固定される。

【0050】

スプライン外筒６１におけるフランジ６２の上側の部分には、スプライン外筒６１を囲む円環状の連結ブラケット３４が配置される。連結ブラケット３４は、中心軸ＡＸの軸線方向における位置が、第１筒状部４３１における第２円筒部４３１ｅと重なる位置に配置されており、第１筒状部４３１の第２円筒部４３１ｅと連結ブラケット３４との間には、第３軸受３３が保持される。連結ブラケット３４は、スプライン外筒６１のフランジ６２に固定される。よって、第３軸受３３は、スプライン外筒６１及び連結ブラケット３４を回転自在に支持している。第３軸受３３は、例えば、転がり軸受である。第３軸受３３は、ウェーブワッシャ３９ａ及び押さえ部材３９ｂを介して第１筒状部４３１の段部４３１ｄに支持されている。第３軸受３３は、ウェーブワッシャ３９ａ及び押さえ部材３９ｂにより、中心軸ＡＸの軸線方向における位置が規制されている。また、第３軸受３３は、第１筒状部４３１、第１モータハウジング４０及び固定台ＳＴで径方向に支持されている。

【0051】

図３は、図２に示すアーム取付部材７０周りの詳細図である。シャフト６３の上端に固定されるアーム取付部材７０は、連結部７１と、筒状部７２と、蓋部７３とを有する。連結部７１は、シャフト６３におけるネジ軸５３が位置する側の端部の反対側に位置する縮径部６３ａに連結される。このため、アーム取付部材７０は、軸部材ＳＦにおけるスプライン溝部６３３側の端部と雄ねじ部５３３側の端部との両端部のうち、スプライン溝部６３３側の端部に固定される。

【0052】

アーム取付部材７０が有する筒状部７２は、円筒状に形成され、アーム取付部材７０における軸部材ＳＦに連結される部分である連結部７１から、下方に延びた状態で設けられる。筒状部７２は、スプライン外筒用ハウジング４３の第２筒状部４３２よりも外側に配置され、第２筒状部４３２の上部４３２ａを収容する。換言すると、筒状部７２は、内径がスプライン外筒用ハウジング４３が有する第２筒状部４３２の上部４３２ａの外径よりも大きい円筒形状に形成され、アーム取付部材７０の連結部７１から軸部材ＳＦが位置する側に軸線方向に沿って延びる。これにより、筒状部７２は、スプライン外筒用ハウジング４３から離隔してスプライン外筒用ハウジング４３の第２筒状部４３２を覆う。

【0053】

筒状部７２の下端には、凹部７２ａが設けられる。凹部７２ａは、筒状部７２における内周面の下端が拡径されて形成される。凹部７２ａには、摺動シール７７が配置される。摺動シール７７は、筒状部７２の内周面に配置されて、スプライン外筒用ハウジング４３に接触する。詳しくは、摺動シール７７は、スプライン外筒用ハウジング４３が有する第２筒状部４３２の上部４３２ａに接触する。これにより、摺動シール７７は、アーム取付部材７０の筒状部７２とスプライン外筒用ハウジング４３の第２筒状部４３２の上部４３２ａとの間に形成される隙間を封止する。

【0054】

つまり、アーム取付部材７０の筒状部７２は、内径が、第２筒状部４３２の上部４３２ａの外径に対して僅かに大きくなっており、筒状部７２と第２筒状部４３２との間には隙間が形成されている。これにより、アーム取付部材７０の筒状部７２は、スプライン外筒用ハウジング４３が有する第２筒状部４３２の上部４３２ａに対して、中心軸ＡＸの軸線方向、及び軸回りの回転方向に相対移動をすることが可能に配置されている。筒状部７２の内周面側に配置される摺動シール７７は、第２筒状部４３２の上部４３２ａに接触することにより、アーム取付部材７０の筒状部７２と、第２筒状部４３２の上部４３２ａとの間に形成される隙間を封止することができる。

【0055】

摺動シール７７としては、例えば断面視でＵ字状又はコ字状の部材をリング状に形成した構造等が挙げられる。摺動シール７７は、例えば弾性変形可能な材料を用いて形成される。摺動シール７７は、凹部７２ａの内周面と第２筒状部４３２の外周面との双方に当接して弾性変形した状態で配置される。摺動シール７７により、シャフト６３が外部から保護された状態となる。なお、凹部７２ａの下端部には、内側に突出する突起部７２ｂが形成される。この突起部７２ｂにより、摺動シール７７の落下が抑制される。

【0056】

さらに、筒状部７２の内周面には、補助シール部材７８が配置されている。補助シール部材７８は、内径が筒状部７２の内径よりも小さい円筒形状で形成され、筒状部７２の内周面における摺動シール７７よりも、連結部７１寄りに配置されている。詳しくは、筒状部７２の内周面には、摺動シール７７が配置される凹部７２ａの上側、即ち、凹部７２ａに対して突起部７２ｂが形成される側の反対側に、凹部７２ａに隣接する切欠き部７２ｃが形成されている。切欠き部７２ｃは、凹部７２ａの径よりは小さい径で、筒状部７２の内周面が拡径されることにより形成されている。補助シール部材７８は、このように筒状部７２の内周面に形成される切欠き部７２ｃに配置されている。

【0057】

円筒形状で形成されて切欠き部７２ｃに配置される補助シール部材７８は、外径が切欠き部７２ｃの径とほぼ同じ大きさになっている。また、補助シール部材７８の内径は、筒状部７２の内周面における切欠き部７２ｃよりも上側の部分よりも小さく、スプライン外筒用ハウジング４３が有する第２筒状部４３２の上部４３２ａの外径よりも大きくなっている。即ち、円筒形状で形成される補助シール部材７８の内径は、筒状部７２の内周面における切欠き部７２ｃよりも上側の部分の内径と、第２筒状部４３２の上部４３２ａの外径との間の大きさになっている。また、中心軸ＡＸの軸線方向における補助シール部材７８の長さは、同方向における切欠き部７２ｃの長さと同程度になっている。これにより、補助シール部材７８は、筒状部７２の内周面が拡径されることにより形成される切欠き部７２ｃに嵌り込んだ状態で配置される。

【0058】

また、補助シール部材７８は、軸線方向における補助シール部材７８の、アーム取付部材７０における軸部材ＳＦに連結される部分である連結部７１側の端部７８ａが、中心軸ＡＸの軸線方向におけるスプライン外筒用ハウジング４３の連結部７１側の端部４３ｂよりも、摺動シール７７寄りに位置している。つまり、軸部材ＳＦは、中心軸ＡＸの軸線方向に移動することが可能になっており、軸部材ＳＦに取り付けられるアーム取付部材７０も、軸部材ＳＦと共に軸線方向に移動することが可能になっている。このように、軸線方向に移動可能なアーム取付部材７０が有する筒状部７２に配置される補助シール部材７８は、筒状部７２の移動状態に関わらず、補助シール部材７８の連結部７１側の端部７８ａが、スプライン外筒用ハウジング４３の連結部７１側の端部４３ｂよりも、摺動シール７７寄りに位置するように形成されている。

【0059】

補助シール部材７８は、例えば、黄銅や真鍮等の比較的柔らかい金属材料を用いて形成され、切欠き部７２ｃに圧入されることにより切欠き部７２ｃに配置される。または、補助シール部材７８は、硬めの樹脂材料を用いて形成され、切欠き部７２ｃに圧入されることにより切欠き部７２ｃに配置される。

【0060】

なお、凹部７２ａは、凹部７２ａに隣接する切欠き部７２ｃが、凹部７２ａの径よりも小さい径で形成されることにより、切欠き部７２ｃと突起部７２ｂとの間で溝状の形状で形成される。摺動シール７７は、溝状の凹部７２ａに嵌り込むことにより配置される。

【0061】

蓋部７３は、ボルトにより連結部７１の蓋部取り付け面７１ｄに取り付けられる。蓋部７３は、シャフト６３の縮径部６３ａを外部から保護する。

【0062】

図４は、図１に示すアクチュエータ１の下端付近を拡大した断面図である。アクチュエータ１におけるナット用ハウジング４２の下側には、クランプ機構１３０が配置されている。クランプ機構１３０は、ネジ軸５３の小径部５３２と、コレット１３２と、シリンダ１３４と、を含む。コレット１３２は、径方向に変形可能な把持部１３２Ａと、略筒形状のフランジ部１３２Ｂと、を備える。把持部１３２Ａには、Ｚ方向にスリ割りが４つ形成されている。図４に示す断面図は、該スリ割りに沿って切断した断面を示している。スリ割りは、周方向に９０度ずつ異なる位置に形成されている。これにより、把持部１３２Ａは、径方向に弾性変形が可能となる。なお、スリ割りの数、形状及び位置は、特に限定されない。スリ割りは、把持部１３２Ａが径方向に弾性変形可能となるように、形成されていればよい。

【0063】

コレット１３２には、ネジ軸５３の小径部５３２が挿入される。コレット１３２は、第１テーパ面１３２ａと、第２テーパ面１３２ｂと、凹部１３２ｃと、内周面１３２ｄと、を備える。第１テーパ面１３２ａは、把持部１３２Ａの外周面である。第１テーパ面１３２ａは、Ｚ方向下側に向かうにつれて外径が小さくなる傾斜面である。つまり、第１テーパ面１３２ａは、略円錐面の形状である。

【0064】

第２テーパ面１３２ｂは、フランジ部１３２ＢのＺ方向上側の外周面である。第２テーパ面１３２ｂは、Ｚ方向上側に向かうにつれて外径が小さくなる傾斜面である。つまり、第２テーパ面１３２ｂは、略円錐面の形状である。凹部１３２ｃは、フランジ部１３２Ｂの外周面に形成された溝である。凹部１３２ｃは、Ｚ方向において、第１テーパ面１３２ａと第２テーパ面１３２ｂとの間に形成される。内周面１３２ｄは、ネジ軸５３の被クランプ部５３ｂと対向する面である。コレット１３２は、ネジ軸５３が軸線方向に最大限移動した場合でも内周面１３２ｄがネジ軸５３の被クランプ部５３ｂと対向するように配置されている。

【0065】

シリンダ１３４は、ピストン１３６と、シリンダチューブ１３８と、第１シール部材１６０と、第２シール部材１６２と、を備える。また、シリンダ１３４は、気体供給部１６３と、固定部材１４４と、ストッパ部１４６と、ネジ軸用ハウジング１５０と、ばね１５６と、を備える。

【0066】

ピストン１３６には、ネジ軸５３の小径部５３２が挿入される。ピストン１３６は、傾斜面１３６ａと、第１外側面１３６ｂと、第２外側面１３６ｃと、溝部１３６ｄと、下面１３６ｅと、凹部１３６ｆと、上面１３６ｇと、を備える。

【0067】

傾斜面１３６ａは、ピストン１３６のＺ方向上側の内周面である。傾斜面１３６ａは、Ｚ方向上側に向かうにつれて径が大きくなるように傾斜している。傾斜面１３６ａは、Ｚ方向においてコレット１３２の第１テーパ面１３２ａと重なる。このような構成により、傾斜面１３６ａは、ピストン１３６がＺ方向上側に移動した場合に第１テーパ面１３２ａと接触できる。そして、傾斜面１３６ａは、第１テーパ面１３２ａと接触した場合に、第１テーパ面１３２ａを径方向内側に押圧できる。すなわち、傾斜面１３６ａは、把持部１３２Ａを径方向内側に押圧可能なチャック部である。傾斜面１３６ａは、第１テーパ面１３２ａと対向する。すなわち、傾斜面１３６ａと第１テーパ面１３２ａとは、略同じ傾きを有する。傾斜面１３６ａは、径方向において第１テーパ面１３２ａと重なるように配置される。これにより、ピストン１３６及びコレット１３２が占有する空間の軸線方向の寸法を小さくすることができる。

【0068】

第１外側面１３６ｂ及び第２外側面１３６ｃは、ピストン１３６の外側面である。第１外側面１３６ｂは、第２外側面１３６ｃよりもＺ方向上側に位置する。第１外側面１３６ｂよりもＺ方向下側に位置する第２外側面１３６ｃは、第１外側面１３６ｂよりも径が大きい。第１外側面１３６ｂ及び第２外側面１３６ｃは、径方向において第１テーパ面１３２ａと重なるように配置される。溝部１３６ｄは、第１外側面１３６ｂに形成された角溝である。溝部１３６ｄは、第１外側面１３６ｂの周方向に沿って形成されている。下面１３６ｅは、ピストン１３６のＺ方向下側の面である。下面１３６ｅには、Ｚ方向上側に凹んだ凹部１３６ｆが形成される。上面１３６ｇは、ピストン１３６のＺ方向上側の面である。

【0069】

シリンダチューブ１３８は、ピストン１３６を収容する略筒形状の部材である。シリンダチューブ１３８は、筒状部１３８ａと、外径側フランジ部１３８ｂと、内径側フランジ部１３８ｃと、溝部１３８ｄと、第１内側面１３８ｅと、第２内側面１３８ｆと、気体供給路１３８ｇと、を備える。筒状部１３８ａは、筒形状の部材である。筒状部１３８ａのＺ方向上側の端部に外径側フランジ部１３８ｂ及び内径側フランジ部１３８ｃが接続される。外径側フランジ部１３８ｂは、円環状に形成されたフランジ面である。外径側フランジ部１３８ｂは、ボルト等の固定部材１４０により、ナット用ハウジング４２が有する筒状部４２ｂの下端に固定される。内径側フランジ部１３８ｃは、円環状に形成され、外径側フランジ部１３８ｂよりも径方向内側に配置される。内径側フランジ部１３８ｃには、段差面１４２が形成される。段差面１４２は、内径側フランジ部１３８ｃの内周面側の位置における、Ｚ方向上側の端部に形成される。段差面１４２は、Ｚ方向上側から見て、円環形状である。

【0070】

第１内側面１３８ｅは、内径側フランジ部１３８ｃの径方向内側の側面である。第１内側面１３８ｅは、ピストン１３６の第１外側面１３６ｂと対向する。第２内側面１３８ｆは、筒状部１３８ａの径方向内側の側面である。第２内側面１３８ｆの径は、第１内側面１３８ｅの径よりも大きい。第２内側面１３８ｆは、ピストン１３６の第２外側面１３６ｃと対向する。第１内側面１３８ｅ及び第２内側面１３８ｆは、径方向においてコレット１３２の第１テーパ面１３２ａと重なるように配置される。溝部１３８ｄは、第２内側面１３８ｆに形成された角溝である。溝部１３８ｄは、第２内側面１３８ｆの周方向に沿って形成されている。

【0071】

気体供給路１３８ｇは、シリンダチューブ１３８の外部からシリンダチューブ１３８の内部まで貫通する開口である。気体供給路１３８ｇには、気体供給配管１５８が接続されている。気体供給路１３８ｇと気体供給配管１５８とは、例えば、シールテープを介してネジ固定されている。

【0072】

第１シール部材１６０は、Ｏリングである。第１シール部材１６０は、ピストン１３６の第１外側面１３６ｂに形成される溝部１３６ｄに配置される。第１シール部材１６０は、ピストン１３６の第１外側面１３６ｂと、シリンダチューブ１３８の第１内側面１３８ｅとの間の隙間を埋める。これによれば、ピストン１３６の第１外側面１３６ｂと、シリンダチューブ１３８の第１内側面１３８ｅとの隙間がシールされる。

【0073】

第２シール部材１６２は、Ｏリングである。第２シール部材１６２は、シリンダチューブ１３８の第２内側面１３８ｆに形成される溝部１３８ｄに配置される。第２シール部材１６２は、ピストン１３６の第２外側面１３６ｃと、シリンダチューブ１３８の第２内側面１３８ｆとの間の隙間を埋める。これによれば、ピストン１３６の第２外側面１３６ｃと、シリンダチューブ１３８の第２内側面１３８ｆとの隙間がシールされる。このような構成により、クランプ機構１３０には、気体供給配管１５８、気体供給路１３８ｇ、第１外側面１３６ｂ、第２外側面１３６ｃ、第１内側面１３８ｅ、第２内側面１３８ｆ、第１シール部材１６０及び第２シール部材１６２で囲まれた圧力室１３９が形成される。

【0074】

気体供給部１６３は、圧縮空気を供給するコンプレッサである。気体供給部１６３は、気体供給配管１５８に接続される。なお、気体供給部１６３が供給する気体は、圧縮空気に限定されない。気体供給部１６３は、例えば、圧縮された窒素を供給してもよい。

【0075】

固定部材１４４は、円環形状の板部材である。固定部材１４４は、径方向外側の下面が、シリンダチューブ１３８の内径側フランジ部１３８ｃに形成される段差面１４２と接触するように配置される。また、固定部材１４４は、径方向内側の端部が、コレット１３２に形成される凹部１３２ｃに挿入されている。

【0076】

ストッパ部１４６は、円環形状の部材である。ストッパ部１４６には、ネジ軸５３の小径部５３２が挿入される。ストッパ部１４６は、コレット１３２の第２テーパ面１３２ｂと対向する傾斜面１４６ａを備える。これにより、ストッパ部１４６は、コレット１３２のＺ方向上側への移動を制限できる。また、ストッパ部１４６は、固定部材１４４を、シリンダチューブ１３８の段差面１４２と挟んだ状態で、ボルト等の固定部材１４８によって、シリンダチューブ１３８の内径側フランジ部１３８ｃに固定される。したがって、ストッパ部１４６は、固定部材１４４のＺ方向における位置を固定する。そして、固定部材１４４の内径側の端部は、コレット１３２の凹部１３２ｃに挿入されている。これによれば、固定部材１４４は、コレット１３２のＺ方向下側への移動を制限できる。このような構成により、コレット１３２のＺ方向における位置が決定される。

【0077】

ネジ軸用ハウジング１５０は、シリンダチューブ１３８、ナット用ハウジング４２、第２モータハウジング４０Ａ及び第１モータハウジング４０を介して、固定台ＳＴに固定されている。ネジ軸用ハウジング１５０は、フランジ部１５０ａと、フランジ面１５０ｂと、筒状部１５０ｃと、凹部１５０ｄと、蓋部材１５０ｅと、を有する。フランジ部１５０ａは、円環状に形成され、ボルト等の固定部材１５２により、シリンダチューブ１３８の筒状部１３８ａの下端に固定される。フランジ面１５０ｂは、フランジ部１５０ａのＺ方向上側の面である。

【0078】

フランジ面１５０ｂは、ピストン１３６の下面１３６ｅと対向する。筒状部１５０ｃは、フランジ部１５０ａの内周から下方に延びている。筒状部１５０ｃは、図４に示すように、ネジ軸５３の下側の端部を収容する。凹部１５０ｄは、フランジ面１５０ｂからＺ方向下側に凹んだ凹部である。蓋部材１５０ｅは、筒状部１５０ｃのＺ方向下側を塞ぐ部材である。蓋部材１５０ｅは、ボルトによって、筒状部１５０ｃのＺ方向下側の端面に固定される。これにより、Ｚ方向下側から、ネジ軸用ハウジング１５０の内部に異物が侵入することを防ぐことができる。

【0079】

ばね１５６は、圧縮コイルばねである。ばね１５６は、一方の端部がピストン１３６の下面１３６ｅに形成される凹部１３６ｆの底面と接触する。ばね１５６は、他方の端部が、ネジ軸用ハウジング１５０のフランジ面１５０ｂに形成される凹部１５０ｄの底面と接触する。したがって、ばね１５６は、ピストン１３６の凹部１３６ｆの底面、及びネジ軸用ハウジング１５０の凹部１５０ｄの底面によって圧縮されている。ネジ軸用ハウジング１５０が固定台ＳＴに固定されているので、凹部１５０ｄの底面はＺ軸方向下側に移動しない。したがって、ばね１５６は、ピストン１３６をＺ方向上側に押圧する。なお、ばね１５６は、圧縮コイルばねであるとしたがこれに限定されない。ばね１５６は、ピストン１３６が、コレット１３２の把持部１３２Ａに近づく方向にピストン１３６を付勢する弾性部材であればよい。ばね１５６は、例えば、角ばね及び円錐ばねでもよい。また、ばね１５６は、複数配置されていてもよい。

【0080】

ネジ軸５３の下端部には、ストッパ５５がナット５６によって取り付けられている。ストッパ５５は、円環形状の部材である。ストッパ５５は、ネジ軸５３に挿入されている。ストッパ５５のＺ方向上側には、円環形状の緩衝部材５５ａが配置されている。緩衝部材５５ａは、例えば、弾性体のウレタンゴムである。緩衝部材５５ａ及びストッパ５５の外径ｒ２は、ネジ軸用ハウジング１５０のフランジ部１５０ａの内径ｒ１よりも大きい。したがって、ストッパ５５は、ネジ軸５３が所定の長さだけ上昇した場合に、緩衝部材５５ａを介してフランジ部１５０ａと接する。これにより、ストッパ５５は、ネジ軸５３が所定の長さを超えて上昇することを規制できる。

【0081】

次に、アクチュエータ１の動きを説明する。図５は、図１に示す軸部材ＳＦが上昇した状態を示す説明図である。まず、軸部材ＳＦが昇降する（直動する）態様を説明する。この態様では、第２モータＭ２のみが作動し、第１モータＭ１は作動しない。

【0082】

第２モータＭ２が作動すると、第２ロータ２０Ａが中心軸ＡＸの軸回り方向に回転する。詳細には、第２ロータ２０Ａは、第２軸受３２を介して、第２ステータ１０Ａ及び第２ステータ保持体１１Ａに対して中心軸ＡＸ回りに回転する。なお、第１ロータ２０は、回転しない。

【0083】

ナット部材５１は、第２連結ブラケット４５と第１連結ブラケット４６とを介して第２ロータブラケット２１Ａに連結されることにより、第２ロータ２０Ａと一体になっている。よって、ナット部材５１も第２ロータ２０Ａと一体に中心軸ＡＸの軸回り方向に回転する。ナット部材５１の内周側に形成される雌ねじ部は、軸部材ＳＦの第２部分Ｓ２に形成される雄ねじ部５３３と噛み合っているため、ナット部材５１の回転により軸部材ＳＦが軸線方向に沿って直動する。例えば、図２に示すように、ナット部材５１の回転により、軸部材ＳＦが軸線方向に沿って上昇する。なお、軸線方向に沿って軸部材ＳＦが上昇する際には、緩衝部材５５ａを介してストッパ５５がネジ軸用ハウジング１５０のフランジ部１５０ａに当たることによって軸部材ＳＦの上昇が規制される。

【0084】

次いで、軸部材ＳＦが旋回する（回転する）態様を説明する。この態様では、軸部材ＳＦのＺ方向の移動の仕方により、第１の態様、第２の態様及び第３の態様が含まれる。

【0085】

第１の態様では、第１モータＭ１が作動し、第２モータＭ２が作動しない。前述したように、軸部材ＳＦのシャフト６３に形成されるスプライン溝部６３３は、スプライン外筒６１の内周側に形成されるスプライン部と噛み合っている。これにより、軸部材ＳＦは、スプライン外筒６１のスプライン部に沿って軸線方向に案内される。また、スプライン外筒６１は、蓋部材１１１を介して第１モータＭ１の第１ロータ２０に連結されている。このため、第１モータＭ１が作動した際には、軸部材ＳＦは、スプライン外筒６１を介して第１ロータ２０と共に回転することにより、中心軸ＡＸの軸回り方向に回転可能となる。

【0086】

さらに、第１の態様では、第２モータＭ２が作動しないため、ナット部材５１も回転しない。よって、スプライン外筒６１の回転に伴って軸部材ＳＦが回転すると、軸部材ＳＦは、ナット部材５１に対して軸線方向に沿って相対移動をする。以上より、第１の態様では、軸部材ＳＦはスプライン外筒６１と一体に回転しつつ、静止したナット部材５１と相対的に回転することでＺ方向に直動する。

【0087】

第２の態様では、軸部材ＳＦをスプライン外筒６１と一体に回転させつつ、軸部材ＳＦのＺ方向の位置が変化しないようにナット部材５１を回転させる。従って、第２の態様では、第１モータＭ１及び第２モータＭ２の双方を作動させる。即ち、第１モータＭ１が作動することによる動作は、第１の態様と同様であり、第１モータＭ１が作動した際には、軸部材ＳＦはスプライン外筒６１を介して第１ロータ２０と共に回転することにより、中心軸ＡＸの軸回り方向に回転する。第２モータＭ２は、第１の態様では作動させなかったが、第２の態様では、第２モータＭ２を作動させることにより、第１モータＭ１の作動による軸部材ＳＦの回転に伴って軸部材ＳＦが直動する方向と逆方向に、ナット部材５１を回転させる。以上より、第２の態様では、軸部材ＳＦのＺ方向の位置が変化しないまま、軸部材ＳＦがスプライン外筒６１と一体に回転する。

【0088】

第３の態様では、軸部材ＳＦをスプライン外筒６１と一体に回転させつつ、ナット部材５１の回転速度を適宜調整することにより、軸部材ＳＦが直動する速度（Ｚ方向の移動速度）を可変させる。従って、第３の態様では、第１モータＭ１及び第２モータＭ２の双方を作動させる。即ち、第１モータＭ１による回転は第１及び第２の態様と同様であり、軸部材ＳＦはスプライン外筒６１を介して第１ロータ２０と共に回転することにより、中心軸ＡＸの軸回り方向に回転する。その際に、第２モータＭ２は、軸部材ＳＦの所望する直動の速度に合わせて、モータの回転速度を設定する。以上より、第３の態様では、軸部材ＳＦのＺ方向の移動速度を適宜に調整しつつ、軸部材ＳＦがスプライン外筒６１と一体に回転する。

【0089】

アクチュエータ１は、これらのように第１モータＭ１や第２モータＭ２を作動させることにより、軸部材ＳＦを中心軸ＡＸの軸回り方向に回転させたり、中心軸ＡＸの軸線方向に直動させたりする。これにより、軸部材ＳＦに取り付けられるアーム取付部材７０を移動させ、アーム取付部材７０に取り付けられるアーム部８０により、ワークを所望の位置に移送する。

【0090】

アクチュエータ１は、第１モータハウジング４０が有する取付用フランジ４０ａにより、固定台ＳＴに固定されているが、固定台ＳＴに対してワークが位置する側の面である固定台ＳＴの上面では、水や油等の液体がかかる環境で作業が行われることがある。例えば、ワークに対して切削等の機械加工を行う場合には、切削液をワークにかけながら作業を行うことがあり、このため、アクチュエータ１に対しても、切削液等の液体がかかることがある。

【0091】

一方で、アクチュエータ１は、スプライン外筒６１がスプライン外筒用ハウジング４３に覆われており、スプライン外筒用ハウジング４３が有する第２筒状部４３２は、上部４３２ａが、アーム取付部材７０が有する筒状部７２によって覆われている。このため、スプライン外筒用ハウジング４３における、内側から上方に向かって軸部材ＳＦが延びる部分である、第２筒状部４３２の上部４３２ａの上端の開口部分は、アーム取付部材７０が有する筒状部７２内に対して開口することなり、外部に対しては直接開口しなくなる。これにより、アクチュエータ１に液体がかかる環境においてアクチュエータ１を使用する場合でも、アクチュエータ１にかかった液体が、スプライン外筒用ハウジング４３内に入り込むことが抑制される。

【0092】

また、アーム取付部材７０は、軸部材ＳＦに取り付けられており、スプライン外筒用ハウジング４３は、第１モータハウジング４０に取り付けられている。このため、軸部材ＳＦが直動したり回転したりする際には、アーム取付部材７０が有する筒状部７２は、軸部材ＳＦの動作に伴ってスプライン外筒用ハウジング４３に対して相対移動をする。その際に、アーム取付部材７０が有する筒状部７２は、筒状部７２の内周面側に配置されている摺動シール７７が、スプライン外筒用ハウジング４３が有する第２筒状部４３２の上部４３２ａの外周面に摺動しながら、筒状部７２はスプライン外筒用ハウジング４３に対して相対移動をする。

【0093】

つまり、アーム取付部材７０の筒状部７２の内周面と、スプライン外筒用ハウジング４３が有する第２筒状部４３２の外周面との間には隙間が形成されているが、摺動シール７７が、第２筒状部４３２の外周面に摺動することにより、当該隙間が封止された状態が維持される。これにより、アーム取付部材７０の筒状部７２は、スプライン外筒用ハウジング４３が有する第２筒状部４３２との隙間の封止が維持された状態で、スプライン外筒用ハウジング４３に対して相対移動をする。このため、アクチュエータ１に液体がかかった場合でも、摺動シール７７により、アーム取付部材７０の筒状部７２と、スプライン外筒用ハウジング４３の第２筒状部４３２との間の隙間に液体が入り込むことが抑制される。従って、アクチュエータ１にかかった液体が、筒状部７２と第２筒状部４３２との間の隙間を通って第２筒状部４３２の内側に入り込むことが抑制される。

【0094】

ここで、アーム取付部材７０の筒状部７２がスプライン外筒用ハウジング４３に対して相対移動をする際には、摺動シール７７は、スプライン外筒用ハウジング４３の第２筒状部４３２に対して摺動をする。このため、摺動シール７７の摺動が繰り返された場合、摺動シール７７は摩耗することがある。

【0095】

図６は、摺動シール７７が摩耗した場合における摺動シール７７周りの模式図である。なお、図６は、摺動シール７７が摩耗した際における補助シール部材７８の役割を示す説明図になっている。このため、筒状部７２における摺動シール７７を配置する部分である凹部７２ａや、補助シール部材７８を配置する部分である切欠き部７２ｃについては図示していない。後述する図８、図９において同様である。

【0096】

摺動シール７７が摩耗した場合、摺動シール７７と第２筒状部４３２との間に隙間ｈが発生する可能性がある。この場合、アクチュエータ１にかかった液体は、摺動シール７７と第２筒状部４３２との間の隙間ｈを通って、筒状部７２と第２筒状部４３２との間の隙間ｇに入り込むことが考えられる。

【0097】

第１実施形態に係るアクチュエータ１では、筒状部７２の内周面における、摺動シール７７よりもアーム取付部材７０の連結部７１寄りの位置に、補助シール部材７８が配置されている。補助シール部材７８は、内径が筒状部７２の内径よりも小さい円筒形状で形成されているため、補助シール部材７８と第２筒状部４３２との間の隙間ｓは、筒状部７２と第２筒状部４３２との間の隙間ｇよりも小さくなっている。

【0098】

このため、アクチュエータ１にかかった液体が、摺動シール７７と第２筒状部４３２との間の隙間ｈを通過した場合、通過した液体Ｌは、補助シール部材７８と第２筒状部４３２との間の隙間ｓを、中心軸ＡＸの軸線方向における補助シール部材７８の長さｔに亘って通ることになる。これにより、補助シール部材７８と第２筒状部４３２との間の隙間ｓを通る液体Ｌは、狭い流路を通ることによる抵抗により、液体Ｌの動圧Ｐｖが小さくなる。

【0099】

一方で、筒状部７２と第２筒状部４３２との間の隙間ｇの雰囲気には、第２筒状部４３２の内側の雰囲気の圧力と同じ大きさの内圧Ｐｉが作用する。このため、補助シール部材７８と第２筒状部４３２との間の隙間ｓを通ることにより、動圧Ｐｖが低くなった液体Ｌは、筒状部７２と第２筒状部４３２との間の隙間ｇに作用する内圧Ｐｉにより流れが阻まれ、筒状部７２と第２筒状部４３２との間の隙間ｇには流れ込み難くなる。これにより、摺動シール７７と第２筒状部４３２との間の隙間ｈから流れ込んだ液体Ｌは、筒状部７２と第２筒状部４３２との間の隙間ｇを通って第２筒状部４３２の上部４３２ａの上端まで流れ難くなるため、液体Ｌは、第２筒状部４３２の内側に入り込み難くなる。

【0100】

従って、アーム取付部材７０が有する筒状部７２の内周面とスプライン外筒用ハウジング４３が有する第２筒状部４３２の外周面との間に配置される摺動シール７７が摩耗した際における、防水性能を確保することができる。この結果、防水性能の低下を抑制することができる。

【0101】

図７は、軸部材ＳＦが上昇した際におけるアクチュエータ１の上端付近を拡大した断面図である。アクチュエータ１は、アーム部８０をＺ方向に移動させる際には、軸部材ＳＦを中心軸ＡＸの軸線方向に移動させるが、軸部材ＳＦが中心軸ＡＸの軸線方向に移動した際には、アーム取付部材７０が有する筒状部７２も軸部材ＳＦと共に軸線方向に移動する。このため、軸部材ＳＦが中心軸ＡＸの軸線方向に移動した際には、アーム取付部材７０が有する筒状部７２は、スプライン外筒用ハウジング４３に対して相対移動をする。

【0102】

その際に、筒状部７２の内周面に配置される補助シール部材７８は、筒状部７２の移動状態に関わらず、軸線方向における補助シール部材７８の、アーム取付部材７０の連結部７１側の端部７８ａが、スプライン外筒用ハウジング４３における連結部７１側の端部４３ｂよりも、摺動シール７７寄りに位置している。このため、補助シール部材７８は、軸部材ＳＦに連結される連結部７１がスプライン外筒用ハウジング４３から離れる方向へ移動した際における、連結部７１とスプライン外筒用ハウジング４３との距離が最大となる状態においても、補助シール部材７８の連結部７１側の端部７８ａが、スプライン外筒用ハウジング４３の連結部７１側の端部４３ｂよりも、摺動シール７７寄りに位置している。

【0103】

これにより、摺動シール７７が摩耗した状態においても、軸線方向における軸部材ＳＦの移動状態に関わらず、アーム取付部材７０が有する筒状部７２の内周面とスプライン外筒用ハウジング４３が有する第２筒状部４３２の外周面との間の防水性能を、補助シール部材７８により確保することができる。この結果、より確実に防水性能の低下を抑制することができる。

【0104】

また、第１実施形態に係るアクチュエータ１は、スプライン外筒６１を介して軸部材ＳＦを中心軸ＡＸの軸回り方向に回転させる第１ロータ２０と、ナット部材５１を介して軸部材ＳＦを中心軸ＡＸの軸線方向に移動させる第２ロータ２０Ａとを軸部材ＳＦが貫通している。これにより、軸部材ＳＦに対して軸回り方向の回転と軸線方向の移動とを行わせるアクチュエータ１を、コンパクトに構成することができる。この結果、アクチュエータ１の省スペース化を図ることができる。

【0105】

[第２実施形態]
次いで、第２実施形態に係るアクチュエータ１について説明する。第１実施形態と同一の構成部位には、同一符号を付けて説明を省略する。以下、第１実施形態と相違する点を中心に説明する。

【0106】

図８は、第２実施形態のアクチュエータ１の要部断面図であり、摺動シール７７周りの模式図である。なお、図８は、摺動シール７７が摩耗した状態における模式図になっている。

【0107】

第２実施形態においても、アーム取付部材７０が有する筒状部７２には、内周面に補助シール部材７８が配置されている。第２実施形態では、第１実施形態とは異なり、補助シール部材７８は、中心軸ＡＸの軸線方向に離隔して複数が配置されている。第２実施形態は、補助シール部材７８として、第１補助シール部材７８ｂと第２補助シール部材７８ｃとの２つが配置されている。第１補助シール部材７８ｂは、中心軸ＡＸの軸線方向においてアーム取付部材７０が有する連結部寄りに位置する補助シール部材７８になっており、第２補助シール部材７８ｃは、摺動シール７７寄りに位置する補助シール部材７８になっている。第１補助シール部材７８ｂと第２補助シール部材７８ｃとは、軸線方向に離隔して配置されている。

【0108】

第２実施形態においても、補助シール部材７８は、アーム取付部材７０が有する筒状部７２の移動状態に関わらず、補助シール部材７８の連結部７１側の端部７８ａが、スプライン外筒用ハウジング４３の連結部７１側の端部４３ｂよりも、摺動シール７７寄りに位置するように形成されている。即ち、第１補助シール部材７８ｂの連結部７１側の端部７８ａは、アーム取付部材７０が有する連結部７１とスプライン外筒用ハウジング４３との距離が最大となる状態においても、スプライン外筒用ハウジング４３の連結部７１側の端部よりも摺動シール７７寄りに位置している。

【0109】

第２実施形態においても、摺動シール７７が摩耗した際には、摺動シール７７と第２筒状部４３２との間に隙間ｈが発生し、アクチュエータ１にかかった液体が、摺動シール７７と第２筒状部４３２との間の隙間ｈに入り込んで補助シール部材７８が位置する側に流れ込む可能性がある。補助シール部材７８が位置する側に流れ込んだ液体Ｌは、補助シール部材７８と第２筒状部４３２との間の隙間ｓに流れ込む。

【0110】

その際に、補助シール部材７８は、第１補助シール部材７８ｂと第２補助シール部材７８ｃを有しており、第１補助シール部材７８ｂと第２補助シール部材７８ｃとは、中心軸ＡＸの軸線方向に離隔して配置されている。このため、第１補助シール部材７８ｂと第２補助シール部材７８ｃとの間の部分では、液体Ｌは、筒状部７２と第２筒状部４３２との間の隙間を流れることになるが、筒状部７２と第２筒状部４３２との間の隙間は、補助シール部材７８と第２筒状部４３２との間の隙間ｓよりも大きくなっている。

【0111】

これにより、補助シール部材７８が配置されている部分に液体Ｌが入り込んだ際における液体Ｌの流路の幅が、補助シール部材７８が位置する部分と、第１補助シール部材７８ｂと第２補助シール部材７８ｃとの間の部分とで大きく変化するため、液体Ｌの流れを乱すことができる。従って、液体Ｌが流れる際における抵抗を大きくすることができ、筒状部７２と第２筒状部４３２との間に入り込んだ液体Ｌが、第２筒状部４３２の上部４３２ａの上端まで流れて第２筒状部４３２の内側に入り込むことを、より確実に抑制することができる。この結果、より確実に防水性能の低下を抑制することができる。

【0112】

[第３実施形態]
次いで、第３実施形態に係るアクチュエータ１について説明する。第１実施形態と同一の構成部位には、同一符号を付けて説明を省略する。以下、第１実施形態と相違する点を中心に説明する。

【0113】

図９は、第３実施形態のアクチュエータ１の要部断面図であり、摺動シール７７周りの模式図である。なお、図９は、摺動シール７７が摩耗した状態における模式図になっている。

【0114】

第３実施形態においても、アーム取付部材７０が有する筒状部７２には、内周面に補助シール部材７８が配置されている。第３実施形態では、第１実施形態とは異なり、補助シール部材７８には、内周面７８ｄに円周方向に延びる中間溝部７８ｅが形成されている。中間溝部７８ｅは、補助シール部材７８の長さ方向における中央付近に位置しており、補助シール部材７８の内周面７８ｄからの深さが、円筒形状で形成される補助シール部材７８の厚さよりも浅い深さで、円周方向の１周に亘って形成される溝として形成されている。

【0115】

第３実施形態においても、補助シール部材７８は、アーム取付部材７０が有する連結部７１とスプライン外筒用ハウジング４３との距離が最大となる状態において、連結部７１側の端部７８ａが、スプライン外筒用ハウジング４３の連結部７１側の端部よりも摺動シール７７寄りに位置するように形成されている。

【0116】

第３実施形態においても、摺動シール７７が摩耗した際には、摺動シール７７と第２筒状部４３２との間に隙間ｈが発生し、アクチュエータ１にかかった液体が、摺動シール７７と第２筒状部４３２との間の隙間ｈに入り込んで補助シール部材７８が位置する側に流れ込む可能性がある。補助シール部材７８が位置する側に流れ込んだ液体Ｌは、補助シール部材７８と第２筒状部４３２との間の隙間ｓに流れ込む。

【0117】

その際に、補助シール部材７８には、内周面７８ｄに中間溝部７８ｅが形成されているため、中間溝部７８ｅの部分では、液体Ｌは、中間溝部７８ｅの内側にも入り込んで流れることになるが、中間溝部７８ｅと第２筒状部４３２との間隔は、中間溝部７８ｅ以外の部分の補助シール部材７８と第２筒状部４３２との隙間ｓよりも大きくなっている。

【0118】

これにより、補助シール部材７８が配置されている部分に液体Ｌが入り込んだ際における液体Ｌの流路の幅が、中間溝部７８ｅが形成されている部分と、中間溝部７８ｅ以外の部分とで大きく変化するため、液体Ｌの流れを乱すことができる。従って、液体Ｌが流れる際における抵抗を大きくすることができ、筒状部７２と第２筒状部４３２との間に入り込んだ液体Ｌが、第２筒状部４３２の上部４３２ａの上端まで流れて第２筒状部４３２の内側に入り込むことを、より確実に抑制することができる。この結果、より確実に防水性能の低下を抑制することができる。

【0119】

[第４実施形態]
次いで、第４実施形態に係るアクチュエータ１について説明する。第１実施形態と同一の構成部位には、同一符号を付けて説明を省略する。以下、第１実施形態と相違する点を中心に説明する。

【0120】

図１０は、第４実施形態に係るアクチュエータ１Ａの断面図である。図１１は、図１０に示す二軸一体型モータＭＰの詳細図である。図１２は、中心軸ＡＸと直交する平面による二軸一体型モータＭＰの断面図である。第４実施形態に係るアクチュエータ１Ａは、第１実施形態に係るアクチュエータ１と異なり、動力源に二軸一体型モータＭＰが用いられる。二軸一体型モータＭＰは、第１モータＭ１と第２モータＭ２とが一体となって構成されており、１つの二軸一体型モータＭＰは、第１モータＭＰ１の出力軸と、第２モータＭＰ２の出力軸とを有している。

【0121】

二軸一体型モータＭＰは、ステータ２１０と、第１ロータ２２０と、第２ロータ２３０と、ハウジング２４０と、第１回転検出部３０１と、第２回転検出部３０２と、を有する。第１ロータ２２０は、二軸一体型モータＭＰにおける第１モータＭＰ１の出力軸になっており、第２ロータ２３０は、二軸一体型モータＭＰにおける第２モータＭＰ２の出力軸になっている。ステータ２１０、第１ロータ２２０及び第２ロータ２３０は、中心軸ＡＸを中心として、互いに同軸に配置されている。ステータ２１０は、第１ロータ２２０と第２ロータ２３０との間に配置されている。例えば、第１ロータ２２０は、ステータ２１０の径方向外側に配置され、ステータ２１０に対して相対回転する。第２ロータ２３０は、ステータ２１０の径方向内側に配置され、ステータ２１０に対して相対回転する。

【0122】

ステータ２１０は、ステータコア２１１と、第１励磁コイル２１２と、第２励磁コイル２１３と、を有する。図１２に示すように、ステータ２１０は、中心軸ＡＸの周りに筒状に設けられている。ステータコア２１１は、筒状のバックヨーク２１５と、バックヨーク２１５の径方向外側に配置された複数の第１ティース２１４と、バックヨーク２１５の径方向内側に配置された複数の第２ティース２１６と、を有する。第１励磁コイル２１２と第１ティース２１４、及び第１ロータ２２０は、第１モータＭＰ１を構成しており、第２励磁コイル２１３と第２ティース２１６、及び第２ロータ２３０は、第２モータＭＰ２を構成している。

【0123】

複数の第１ティース２１４は、バックヨーク２１５の外周に沿って並んでいる。複数の第１ティース２１４は、バックヨーク２１５と接続されている。第１励磁コイル２１２は、第１ティース２１４の周りに巻き回されている。第１励磁コイル２１２は、第１ドライバ３２１と電気的に接続されている。第１ドライバ３２１は、第１励磁コイル２１２に第１駆動電流Ｉ１を供給することにより、第１ロータ２２０を駆動する。

【0124】

第１励磁コイル２１２を励磁させて得られる回転磁界は、例えば３相である。第１励磁コイル２１２には、駆動信号の各位相が１２０°ずれたＵ相用、Ｖ相用及びＷ相用の励磁コイルが含まれる。

【0125】

複数の第２ティース２１６は、バックヨーク２１５の内周に沿って並んでいる。複数の第２ティース２１６は、バックヨーク２１５と接続されている。第２励磁コイル２１３は、第２ティース２１６の周りに巻き回されている。第２励磁コイル２１３は、第２ドライバ３２２と電気的に接続されている。第２ドライバ３２２は、第２励磁コイル２１３に第２駆動電流Ｉ２を供給することにより、第２ロータ２３０を駆動する。

【0126】

第２励磁コイル２１３を励磁させて得られる回転磁界は、例えば３相である。第２励磁コイル２１３には、駆動信号の各位相が１２０°ずれたＵ相用、Ｖ相用及びＷ相用の励磁コイルが含まれる。

【0127】

第１ドライバ３２１と第２ドライバ３２２は、コントローラー３２０と電気的に接続されている。コントローラー３２０は、第１ドライバ３２１と第２ドライバ３２２とを独立して制御する。コントローラー３２０は、第１駆動電流Ｉ１の電流量と第２駆動電流Ｉ２の電流量とを独立に制御する。第１駆動電流Ｉ１の電流量によって、第１ロータ２２０の回転角が制御される。第２駆動電流Ｉ２の電流量によって、第２ロータ２３０の回転角が制御される。コントローラー３２０は、第１ロータ２２０の回転角と第２ロータ２３０の回転角とを独立に制御する。

【0128】

第１ロータ２２０は、第１ロータブラケット２２１と、永久磁石によって構成された第１ロータコア２２２とを有する。第１ロータブラケット２２１は、第１ロータコア２２２の外周側に配置されている。図１２に示すように、第１ロータブラケット２２１は、中心軸ＡＸの周りに筒状に設けられており、二軸一体型モータＭＰにおける外径側の円筒出力軸になっている。第１ロータコア２２２は、Ｎ極のマグネット部とＳ極のマグネット部とを有する。Ｎ極のマグネット部とＳ極のマグネット部は、回転方向に交互に等間隔で配置されている。第１ロータコア２２２は、第１励磁コイル２１２が第１ティース２１４に励磁した回転磁界に応じて回転する。第１ロータコア２２２は、第１ロータブラケット２２１に内周面に貼り付けられてもよいし、第１ロータブラケット２２１の内部に埋め込まれてもよい。

【0129】

第２ロータ２３０は、第２ロータブラケット２３１と、永久磁石によって構成された第２ロータコア２３２と、後述のナット部材２５１に連結される連結ブラケット２３３、２３４を有する。図１２に示すように、第２ロータブラケット２３１は、中心軸ＡＸの周りに筒状に設けられており、二軸一体型モータＭＰにおける内径側の円筒出力軸になっている。第２ロータ２３０の内径は、後述のナット部材２５１及びスプライン外筒２６１の外径よりも小さくなっている。

【0130】

第２ロータコア２３２は、Ｎ極のマグネット部とＳ極のマグネット部とを有する。Ｎ極のマグネット部とＳ極のマグネット部は、回転方向に交互に等間隔で配置されている。第２ロータコア２３２は、第２励磁コイル２１３が第２ティース２１６に励磁した回転磁界に応じて回転する。第２ロータコア２３２は、第２ロータブラケット２３１に外周面に貼り付けられてもよいし、第２ロータコア２３２の内部に埋め込まれてもよい。

【0131】

連結ブラケット２３３は、筒状に形成され、第２ロータブラケット２３１の内周側に配置されている。第４実施形態において、連結ブラケット２３３は、第２ロータブラケット２３１の上端に固定され、第２ロータブラケット２３１の内周に沿って下方に延びている。連結ブラケット２３４は、連結ブラケット２３３の下端に固定され、連結ブラケット２３３から下方に延びている。

【0132】

第１ティース２１４及び第１励磁コイル２１２と、Ｚ方向において重ならない位置に、第１軸受２２５が配置されている。第１軸受２２５は、バックヨーク２１５と、第１ロータブラケット２２１との間にあり、第１ロータ２２０を回転自在に支持している。第１軸受２２５は、軸受２２５ａ及び軸受２２５ｂを有する複数組み合わせ軸受である。

【0133】

第２ティース２１６及び第２励磁コイル２１３と、Ｚ方向において重ならない位置に、第２軸受２３５が配置されている。第２軸受２３５は、バックヨーク２１５と、第２ロータブラケット２３１との間にあり、第２ロータ２３０を回転自在に支持している。第２軸受２３５は、軸受２３５ａ及び軸受２３５ｂを有する複数組み合わせ軸受である。

【0134】

第１軸受２２５とＺ方向において重ならない位置に、第１回転検出部３０１が設けられている。第１回転検出部３０１は、ハウジング２４０に対する第１ロータブラケット２２１の回転角を検出し、コントローラー３２０（図１２参照）に供給する。

【0135】

第１回転検出部３０１は、例えば、レゾルバである。第１回転検出部３０１は、レゾルバロータ３０１ａと、レゾルバステータ３０１ｂと、を有する。レゾルバロータ３０１ａは、第１ロータブラケット２２１の内周面に固定されている。レゾルバロータ３０１ａは、レゾルバステータ３０１ｂの径方向において対向する位置に配置されている。コントローラー３２０は、第１ロータ２２０において所望の回転角を得られるように、第１回転検出部３０１の検出結果に基づいて第１駆動電流Ｉ１の電流量を調節する。

【0136】

第２軸受２３５とＺ方向において重ならない位置に、第２回転検出部３０２が設けられている。第２回転検出部３０２は、ハウジング２４０に対する第２ロータブラケット２３１の回転角を検出し、コントローラー３２０（図１２参照）に供給する。

【0137】

第２回転検出部３０２は、例えば、レゾルバである。第２回転検出部３０２は、レゾルバステータ３０２ａと、レゾルバロータ３０２ｂと、を有する。レゾルバロータ３０２ｂは、第２ロータブラケット２３１の外周面に固定されている。レゾルバステータ３０２ａは、レゾルバロータ３０２ｂの径方向において対向する位置に配置される。コントローラー３２０は、第２ロータ２３０において所望の回転角を得られるように、第２回転検出部３０２の検出結果に基づいて第２駆動電流Ｉ２の電流量を調節する。

【0138】

第１回転検出部３０１と、第２回転検出部３０２とは、円環板状のカバー２９９で覆われており、円環板状のカバー２９９は、第１回転検出部３０１と、第２回転検出部３０２との周囲に異物が侵入することを抑制している。

【0139】

軸部材ＳＦは、第１実施形態に係るアクチュエータ１と同様に、シャフト２６２とネジ軸２５２とを有している。シャフト２６２には、軸線方向に沿って延びるスプライン溝部２６２ａが周方向に複数並んで設けられる。ネジ軸２５２には、中心軸ＡＸを中心とする螺旋状に形成される雄ねじ部２５２ａが形成されている。これらのシャフト２６２とネジ軸２５２とは、アクチュエータ１Ａの使用態様における上側にシャフト２６２が位置し、下側にネジ軸２５２が位置する向きで同軸上に配置され、一体に連結されている。第４実施形態においては、ネジ軸２５２とシャフト２６２とが連結部２５６において圧入され、一体となって軸部材ＳＦを構成している。連結部２５６には、ネジ軸２５２とシャフト２６２とを圧入する際に空気を逃がす孔部２５６ａが設けられる。

【0140】

軸部材ＳＦは、第１ロータ２２０及び第２ロータ２３０を軸線方向に貫通することにより、第１ロータ２２０と第２ロータ２３０とに対して同軸に配置されている。具体的には、軸部材ＳＦは、二軸一体型モータＭＰにおける内径側の円筒出力軸である第２ロータブラケット２３１の内側を軸線方向に貫通して配置されている。

【0141】

第２ロータブラケット２３１の下方には、内周側に雌ねじ部が設けられるナット部材２５１が配置されている。ナット部材２５１は、第２ロータ２３０と同軸に配置され、第２ロータ２３０の回転とともに回転する。ナット部材２５１は、フランジ部２５１ａを有する。フランジ部２５１ａは、固定部材２５１ｂにより連結ブラケット２３４に固定されている。ナット部材２５１は、当該連結ブラケット２３４と、連結ブラケット２３３とを介して第２ロータブラケット２３１に連結されている。例えば、第２ロータブラケット２３１と連結ブラケット２３３との間は、固定部材２３６で固定されている。また、連結ブラケット２３３と連結ブラケット２３４との間は、固定部材２３７で固定されている。固定部材２３６、２３７としては、例えばボルト等が用いられる。ナット部材２５１は、連結ブラケット２３３、２３４により、第２ロータブラケット２３１と一体に設けられる。従って、ナット部材２５１は、第２ロータ２３０が回転する場合、第２ロータ２３０と一体で中心軸ＡＸの軸回り方向に回転する。

【0142】

軸部材ＳＦが有するネジ軸２５２は、第２ロータ２３０から下方に突出している。ネジ軸２５２は、ナット部材２５１の内径側に挿入され、ナット部材２５１を貫通している。ネジ軸２５２とナット部材２５１とは、ネジ軸２５２に形成される雄ねじ部２５２ａと、ナット部材２５１の内周側に形成される雌ねじ部とが、複数のボールを介して噛み合っている。これにより、ネジ軸２５２は、ナット部材２５１が回転すると、回転に応じて軸方向（Ｚ方向）に移動するように構成されている。

【0143】

ナット部材２５１の下方には、負作動電磁ブレーキ２５３が配置されている。負作動電磁ブレーキ２５３は、フィールド２５３ａと、サイドプレート２５３ｂと、アーマチュア２５３ｃと、ブレーキディスク２５３ｄと、電磁コイル２５３ｅとを有する。フィールド２５３ａ内には、不図示のコイルばねが配置されている。コイルばねは、アーマチュア２５３ｃをブレーキディスク２５３ｄ側に押し付ける。電磁コイル２５３ｅの通電時には、コイルばねの弾性力よりも強い力でアーマチュア２５３ｃがフィールド２５３ａ側に引き付けられ、ブレーキディスク２５３ｄが開放される。また、電磁コイル２５３ｅの非通電時には、電磁コイル２５３ｅによる引き付け力が作用しなくなるため、コイルばねの弾性力によりアーマチュア２５３ｃがブレーキディスク２５３ｄ側に急速に押し付けられる。ブレーキディスク２５３ｄは、連結ブラケット２３４の下方側の端部２３４ａに連結されており、当該連結ブラケット２３４を介してナット部材２５１に連結される。ブレーキディスク２５３ｄが開放される場合には、ナット部材２５１が回転可能となる。また、ブレーキディスク２５３ｄにアーマチュア２５３ｃが押し付けられる場合には、ブレーキディスク２５３ｄの回転が規制され、これによりナット部材２５１の回転が規制される。従って、電磁コイル２５３ｅの非通電時には、ネジ軸２５２の落下が抑制される。なお、負作動電磁ブレーキ２５３の構成については、上記構成に限定されず、他の構成であってもよい。

【0144】

ネジ軸２５２の下端部には、ストッパ２５４が取り付けられている。ストッパ２５４は、ネジ軸２５２の上昇を規制する。

【0145】

軸部材ＳＦが有するシャフト２６２は、スプライン外筒２６１の内側を貫通して配置されている。スプライン外筒２６１は、第１ロータブラケット２２１の上方に配置されている。つまり、スプライン外筒２６１は、第２ロータ２３０に対して軸線方向の上方の外側に配置されている。スプライン外筒２６１は、第１ロータ２２０と同軸に配置され、第１ロータ２２０の回転とともに回転する。スプライン外筒２６１は、連結ブラケット２２３を介して第１ロータブラケット２２１に連結されている。例えば、第１ロータブラケット２２１と連結ブラケット２２３との間は、固定部材２２６で固定されている。固定部材２２６としては、例えばボルト等が用いられる。スプライン外筒２６１は、連結ブラケット２２３により、第１ロータブラケット２２１と一体に設けられる。従って、スプライン外筒２６１は、第１ロータ２２０が回転する場合、第１ロータ２２０と一体で中心軸ＡＸの軸回り方向に回転する。

【0146】

スプライン外筒２６１の上端には、連結ブラケット２２４が配置されている。連結ブラケット２２４は、固定部材２２７により連結ブラケット２２３に固定されている。固定部材２２７としては、例えばボルト等が用いられる。

【0147】

シャフト２６２は、第２ロータ２３０から上方に突出している。これにより、シャフト２６２は、スプライン外筒２６１の内径側に挿入され、スプライン外筒２６１を貫通している。スプライン外筒２６１の内周面には、スプライン溝部２６２ａに係合可能な複数の凸部を有するスプライン部が設けられている。スプライン外筒２６１を貫通するシャフト２６２は、スプライン溝部２６２ａが、複数のボールを介してスプライン外筒２６１のスプライン部と係合している。これにより、スプライン外筒２６１が回転する場合、回転に応じてシャフト２６２が軸方向（Ｚ方向）に移動する。また、スプライン外筒２６１を回転させない状態でナット部材２５１の回転によりネジ軸２５２が中心軸ＡＸの軸線方向に移動する場合、シャフト２６２がネジ軸２５２と共に軸線方向に移動する。

【0148】

ハウジング２４０は、モータ用ハウジング２４１と、ナット用ハウジング２４２と、スプライン外筒用ハウジング２４３とを有する。モータ用ハウジング２４１は、例えば円筒状に形成され、二軸一体型モータＭＰを収容する。

【0149】

ナット用ハウジング２４２は、フランジ部２４２ａと、筒状部２４２ｂとを有する。フランジ部２４２ａは、円環状に形成され、固定部材２４４によりモータ用ハウジング２４１の下端に固定される。フランジ部２４２ａには、ステータコア固定ハウジング２１７を固定する固定部材２４５が取り付けられる。固定部材２４５により、ステータコア２１１がハウジング２４０に対して固定される。筒状部２４２ｂは、フランジ部２４２ａの内周から下方に延びている。筒状部２４２ｂは、ナット部材２５１を収容する。筒状部２４２ｂの下端には、負作動電磁ブレーキ２５３が固定される。

【0150】

また、ナット用ハウジング２４２は、連結ブラケット２３４との間で第４軸受２３８を保持する。第４軸受２３８は、ナット部材２５１を回転自在に支持している。第４軸受２３８は、例えば転がり軸受である。第４軸受２３８は、ウェーブワッシャ２３９ａ及び押さえ部材２３９ｂを介してフランジ部２４２ａに支持されている。第４軸受２３８は、ウェーブワッシャ２３９ａ及び押さえ部材２３９ｂにより、筒状部２４２ｂ側に押し付けられている。

【0151】

スプライン外筒用ハウジング２４３は、フランジ部２４３ａと、第１筒状部２４３ｂと、第２筒状部２４３ｃとを有する。フランジ部２４３ａは、円環状に形成され、固定部材２４６によりモータ用ハウジング２４１の上端に固定される。また、フランジ部２４３ａは、固定部材２４７により、固定台ＳＴに固定される。フランジ部２４３ａが固定台ＳＴに固定されることにより、アクチュエータ１が固定台ＳＴに固定される。

【0152】

図１３は、図１０に示す第４実施形態に係るアクチュエータ１Ａの上端付近を拡大した断面図である。第１筒状部２４３ｂは、円筒状に形成され、フランジ部２４３ａの内周から上方に延びており、内側にスプライン外筒２６１を収容している。第１筒状部２４３ｂは、第１段部２４３ｄ及び第２段部２４３ｅを介して第２筒状部２４３ｃに接続される。

【0153】

第１筒状部２４３ｂは、第１段部２４３ｄにおいて、連結ブラケット２２４との間で第３軸受２２８を保持する。第３軸受２２８は、ウェーブワッシャ２２９ａ及び押さえ部材２２９ｂを介して第２段部２４３ｅに支持されている。第３軸受２２８は、ウェーブワッシャ２２９ａ及び押さえ部材２２９ｂにより、連結ブラケット２２４側に押し付けられており、連結ブラケット２２４を介してスプライン外筒２６１を回転自在に支持している。

【0154】

第２段部２４３ｅには、外部と、第２筒状部２４３ｃとシャフト２６２との間に形成される空間との間を連通するエア供給部２４３ｆが設けられる。エア供給部２４３ｆは、エアパージ用のエア継手を取り付け可能である。エア供給部２４３ｆには、エア供給部２４３ｆに埃等の異物が入ることを抑制する、閉塞用のボルト２４３ｇが、着脱自在に配置されている。

【0155】

第２筒状部２４３ｃは、第１筒状部２４３ｂよりも径が小さい円筒状に形成され、第１筒状部２４３ｂの上端から上方に延びている。第２筒状部２４３ｃは、シャフト２６２の外周面の一部を覆って配置されている。

【0156】

軸部材ＳＦにおけるスプライン溝部２６２ａ側の端部、即ち、シャフト２６２の先端には、縮径部２６２ｂが形成されており、シャフト２６２の先端には、アーム取付部材２７０が連結される。アーム取付部材２７０は、連結部２７１と、筒状部２７２とを有する。連結部２７１は、シャフト２６２の縮径部２６２ｂに連結される。連結部２７１には、ワークを所望の位置に移送するアーム部２８０が取り付けられる。

【0157】

筒状部２７２は、第１実施形態と同様に円筒状に形成され、連結部２７１から下方に延びた状態で設けられる。筒状部２７２は、スプライン外筒用ハウジング２４３の第２筒状部２４３ｃよりも外側に配置され、第２筒状部２４３ｃの上部２４３ｃａを収容する。換言すると、筒状部２７２は、内径がスプライン外筒用ハウジング２４３が有する第２筒状部２４３ｃの上部２４３ｃａの外径よりも大きい円筒形状に形成され、アーム取付部材２７０の連結部２７１から軸部材ＳＦが位置する側に軸線方向に沿って延びる。これにより、筒状部２７２は、スプライン外筒用ハウジング２４３から離隔してスプライン外筒用ハウジング２４３の第２筒状部２４３ｃを覆う。

【0158】

筒状部２７２の下端には、第１実施形態と同様に凹部２７２ａが形成されており、凹部２７２ａには、摺動シール２７７が配置されている。摺動シール２７７は、筒状部２７２の内周面に配置されて、スプライン外筒用ハウジング２４３が有する第２筒状部２４３ｃの上部２４３ｃａに接触する。これにより、摺動シール２７７は、アーム取付部材２７０の筒状部２７２とスプライン外筒用ハウジング２４３が有する第２筒状部２４３ｃの上部２４３ｃａとの間に形成される隙間を封止する。なお、凹部２７２ａの下端部には、内側に突出する突起部２７２ｂが形成され、突起部２７２ｂにより、摺動シール２７７の落下が抑制される。また、電源遮断時においては、摺動シール２７７のシール抵抗により、シャフト２６２の回転、即ち、軸部材ＳＦの回転が抑制される。

【0159】

さらに、筒状部２７２の内周面には、摺動シール２７７よりも連結部２７１寄りの位置に、内径が筒状部２７２の内径よりも小さい円筒形状で形成される補助シール部材２７８が配置されている。補助シール部材２７８は、内径が筒状部２７２の内径よりも小さい円筒形状で形成され、筒状部２７２の内周面における摺動シール２７７よりも、連結部２７１寄りに配置されている。即ち、第１実施形態と同様に、筒状部２７２の内周面における凹部２７２ａの上側に、凹部２７２ａの径よりは小さい径で筒状部２７２の内周面が拡径されることにより形成される切欠き部２７２ｃが形成されており、補助シール部材２７８は、当該切欠き部２７２ｃに配置されている。

【0160】

補助シール部材２７８は、内径の大きさが、筒状部２７２の内周面における切欠き部２７２ｃよりも上側の部分の内径と、第２筒状部２４３ｃの上部２４３ｃａの外径との間の大きさになっている。また、補助シール部材２７８は、中心軸ＡＸの軸線方向における軸部材ＳＦの移動に伴う筒状部２７２の移動状態に関わらず、補助シール部材２７８におけるアーム取付部材２７０の連結部２７１側の端部２７８ａが、スプライン外筒用ハウジング２４３の連結部２７１側の端部２４３ｈよりも、摺動シール２７７寄りに位置するように形成されている。

【0161】

図１４は、図１０に示す第４実施形態に係るアクチュエータ１Ａの軸部材ＳＦが上昇した状態を示す説明図である。第４実施形態に係るアクチュエータ１Ａでは、第１ロータ２２０を回転させることにより、第１ロータ２２０と一体となって回転するスプライン外筒２６１を回転させる。これにより、スプライン外筒２６１の回転と共に、シャフト２６２を、中心軸ＡＸの軸回り方向に回転させることができる。また、第２ロータ２３０を回転させることにより、第２ロータ２３０と一体となって回転するナット部材２５１を回転させる。これにより、ナット部材２５１を、Ｚ方向に移動させることなくネジ軸２５２に対して相対的に回転させることができ、ナット部材２５１の回転に伴ってネジ軸２５２をＺ方向に移動させることができる。

【0162】

アクチュエータ１Ａは、これらのように、第１ロータ２２０や第２ロータ２３０を回転させることにより、シャフト２６２を中心軸ＡＸの軸線周り方向に回転させたり、ネジ軸２５２をＺ方向に移動させたりすることができる。即ち、第１ロータ２２０や第２ロータ２３０の回転を制御することにより、軸部材ＳＦを中心軸ＡＸの軸回り方向に回転させたり、Ｚ方向に移動させたりすることができる。従って、アーム取付部材２７０を介して軸部材ＳＦに取り付けられているアーム部２８０を、中心軸ＡＸの軸回り方向に回転させたり、Ｚ方向に移動させたりすることができ、アーム部２８０に対して、所望の動作を行わせることができる。

【0163】

なお、軸部材ＳＦを上方に移動させる場合、図１４に示すように、ネジ軸２５２の下端のストッパ２５４が連結ブラケット２３４の下端に当接し、軸部材ＳＦの上方への移動が規制される。また、軸部材ＳＦを下方に移動させる場合、図１０及び図１３に示すように、連結部２７１がスプライン外筒用ハウジング２４３の第２筒状部２４３ｃの上端に当接し、軸部材ＳＦの下方への移動が規制される。

【0164】

第４実施形態に係るアクチュエータ１Ａにおいても、スプライン外筒２６１がスプライン外筒用ハウジング２４３に覆われており、スプライン外筒用ハウジング２４３が有する第２筒状部２４３ｃは、上部２４３ｃａが、アーム取付部材７０が有する筒状部２７２によって覆われている。また、アーム取付部材２７０が有する筒状部２７２の内周面側には、スプライン外筒用ハウジング２４３が有する第２筒状部２４３ｃの上部２４３ｃａの外周面に対して接触する摺動シール２７７が配置されている。これらにより、アクチュエータ１Ａに液体がかかる環境においてアクチュエータ１Ａを使用する場合でも、アクチュエータ１Ａにかかった液体が、スプライン外筒用ハウジング２４３内に入り込むことが抑制される。

【0165】

また、軸部材ＳＦがＺ方向に直動したり、中心軸ＡＸの軸回り方向に回転したりする際には、アーム取付部材２７０が有する筒状部２７２は、軸部材ＳＦの動作に伴ってスプライン外筒用ハウジング２４３に対して相対移動をする。その際に、アーム取付部材２７０の筒状部２７２の内周面側に配置されている摺動シール２７７は、スプライン外筒用ハウジング２４３の第２筒状部２４３ｃに対して摺動するため、摺動によって摺動シール２７７は摩耗することがあるが、筒状部２７２の内周面には、補助シール部材２７８が配置されている。これにより、摺動シール２７７が摩耗することによって、摺動シール２７７と、第２筒状部２４３ｃの外周面との間の隙間が大きくなった場合でも、筒状部２７２と第２筒状部２４３ｃとの間の部分への液体の侵入を、補助シール部材２７８によって抑制することができる。

【0166】

従って、アクチュエータ１Ａの動力源に二軸一体型モータＭＰを用いた場合でも、アーム取付部材２７０の筒状部２７２とスプライン外筒用ハウジング２４３の第２筒状部２４３ｃとの間に配置される摺動シール２７７が摩耗した際における、防水性能を確保することができる。この結果、防水性能の低下を抑制することができる。

【0167】

以上、本発明の好適な実施形態を説明したが、本発明は上記の実施形態に記載されたものに限定されない。例えば、第２実施形態において、補助シール部材７８は３つ以上であってもよく、第３実施形態において、補助シール部材７８に形成する中間溝部７８ｅは２本以上であってもよい。また、第１実施形態～第４実施形態は、適宜組み合わせてもよい。

【符号の説明】

【0168】

１、１Ａ アクチュエータ
１０ 第１ステータ
１０Ａ 第２ステータ
２０、２２０ 第１ロータ
２０Ａ、２３０ 第２ロータ
２２、２２２ 第１ロータコア
２２Ａ、２３２ 第２ロータコア
４０ 第１モータハウジング
４０Ａ 第２モータハウジング
４２、２４２ ナット用ハウジング
４３、２４３ スプライン外筒用ハウジング
５１、２５１ ナット部材
５３、２５２ ネジ軸
６１、２６１ スプライン外筒
６３、２６２ シャフト
７０、２７０ アーム取付部材
７１、２７１ 連結部
７２、２７２ 筒状部
７２ａ、２７２ａ 凹部
７２ｃ、２７２ｃ 切欠き部
７７、２７７ 摺動シール
７８、２７８ 補助シール部材
７８ａ、２７８ａ 端部
７８ｂ 第１補助シール部材
７８ｃ 第２補助シール部材
７８ｄ 内周面
７８ｅ 中間溝部
８０、２８０ アーム部
１３０ クランプ機構
１５０ ネジ軸用ハウジング
４３２、２４３ｃ 第２筒状部
４３２ａ、２４３ｃａ 上部
５３３、２５２ａ 雄ねじ部
６３３、２６２ａ スプライン溝部
２４０ ハウジング
２４１ モータ用ハウジング
２５３ 負作動電磁ブレーキ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】