特開 2022-146239 濃度測定方法および装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022146239

(43)【公開日】2022-10-05

(54)【発明の名称】濃度測定方法および装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/27 20060101AFI20220928BHJP

【ＦＩ】

G01N21/27 F

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021047095

(22)【出願日】2021-03-22

(71)【出願人】

【識別番号】000006666

【氏名又は名称】アズビル株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100098394

【弁理士】

【氏名又は名称】山川 茂樹

(72)【発明者】

【氏名】高橋 秀和

(72)【発明者】

【氏名】五所尾 康博

(72)【発明者】

【氏名】田中 佑弥

【テーマコード（参考）】

2G059

【Ｆターム（参考）】

2G059AA01

2G059BB04

2G059EE01

2G059EE11

2G059KK01

2G059MM01

2G059MM05

2G059MM12

2G059MM14

2G059NN02

(57)【要約】

【課題】温度計を用いることなく、薬液の濃度が求められるようにする。
【解決手段】第３処理部１０３は、第２処理部１０２により決定（算出）された重み係数ｂ_iを用い、吸光度温度特性Ｙ₁、Ｙ₂、・・・Ｙ_m毎に、波長λ_i（ｉ＝１～ｎ）と、吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_mi との関係を設定し、第４処理部１０４は、測定対象の薬液について、波長λ_iで測定された吸光度Ａ_iと重み係数ｂ_iとを用い、測定対象の薬液における吸光度の温度特性補正係数Ｙ’を求め、第５処理部１０５は、第３処理部１０３により設定された関係の中で、求めたＹ’に一致するＹ_jを決定し、一致したＹ_jの波長λ_iにおける吸光度Ｘ_jiより、測定対象の薬液における成分ｋの濃度Ｃ_kを求める。
【選択図】 図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

測定対象の薬液を既知の温度Ｔ₀とした状態の濃度変換係数ａ_i（ｉ＝１～ｎ）を求める第１ステップと、
各々異なるｍ個の温度で、波長λ_i（ｉ＝１～ｎ）における純水の吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_mi（ｍは温度パターン数）を測定し、測定した吸光度を用いて吸光度温度特性の補正係数Ｙを求めるための、各吸光度における重み係数ｂ_iを決定する第２ステップと、
決定した重み係数ｂ_iを用い、吸光度温度特性Ｙ₁、Ｙ₂、・・・Ｙ_m毎に、波長λ_i（ｉ＝１～ｎ）と、吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_miとの関係を設定する第３ステップと、
測定対象の薬液について、波長λ_iにおける吸光度Ａ_iを測定する第４ステップと、
測定した吸光度Ａ_iと重み係数ｂ_iとを用い、以下の式（Ａ）により、Ｙ’を求める第５ステップと、
前記第３ステップで設定した関係の中で、求めたＹ’に一致するＹ_jを決定し、一致したＹ_jの波長λ_iにおける吸光度Ｘ_jiより、以下の式（Ｂ）により、測定対象の薬液における成分ｋの濃度Ｃ_kを求める第６ステップと
を備える濃度測定方法。

【請求項2】

測定対象の薬液を既知の温度Ｔ₀とした状態の濃度変換係数ａ_i（ｉ＝１～ｎ）を求める第１ステップと、
各々異なるｍ個の温度で、波長λ_i（ｉ＝１～ｎ）における純水の吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_mi（ｍは温度パターン数）を測定し、測定した吸光度を用いて吸光度温度特性の補正係数Ｙを求めるための、各吸光度における重み係数ｂ_iを決定する第２ステップと、
決定した重み係数ｂ_iを用い、吸光度温度特性Ｙ₁、Ｙ₂、・・・Ｙ_m毎に、波長λ_i（ｉ＝１～ｎ）と、吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_miとの関係を設定する第３ステップと、
測定対象の薬液について、吸光度のスペクトルを測定する第４ステップと、
測定した吸光度のスペクトルと、前記第３ステップで設定した関係の中のいずれかの吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_miとを、フィッティングにより比較して、一致した吸光度Ｘ_iを求める第５ステップと、
一致した吸光度Ｘ_iを用いて以下の式（Ｂ）により、測定対象の薬液における成分ｋの濃度Ｃ_kを求める第６ステップと
を備える濃度測定方法。

【請求項3】

請求項１または２記載の濃度測定方法において、
前記第２ステップは、温度Ｔ₀における重み係数ｂ₀を用い、「Ｙ＝ｂ₁・Ｘ₁＋ｂ₂・Ｘ₂＋…＋ｂ_n・Ｘ_n＋ｂ₀」をもとに、重み係数ｂ_iを決定することを特徴とする濃度測定方法。

【請求項4】

請求項１～３のいずれか１項に記載の濃度測定方法において、
前記第１ステップは、以下の式（Ｃ）により、濃度変換係数ａ_iを求めることを特徴とする濃度測定方法。

【請求項5】

測定対象の薬液を既知の温度Ｔ₀とした状態の濃度変換係数ａ_i（ｉ＝１～ｎ）を求めるように構成された第１処理部と、
各々異なるｍ個の温度における波長λ_i（ｉ＝１～ｎ）における純水の吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_mi（ｍは温度パターン数）の測定結果を用い、吸光度温度特性の補正係数Ｙを求めるための、測定された各吸光度における重み係数ｂ_iを決定するように構成された第２処理部と、
決定した重み係数ｂ_iを用い、吸光度温度特性Ｙ₁、Ｙ₂、・・・Ｙ_m毎に、波長λ_i（ｉ＝１～ｎ）と、吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_miとの関係を設定するように構成された第３処理部と、
測定対象の薬液について、波長λ_iで測定された吸光度Ａ_iと重み係数ｂ_iとを用い、以下の式（Ａ）により、Ｙ’を求めるように構成された第４処理部と、
前記第３処理部により設定された関係の中で、求めたＹ’に一致するＹ_jを決定し、一致したＹ_jの波長λ_iにおける吸光度Ｘ_jiより、以下の式（Ｂ）により、測定対象の薬液における成分ｋの濃度Ｃ_kを求めるように構成された第５処理部と
を備える濃度測定装置。

【請求項6】

測定対象の薬液を既知の温度Ｔ₀とした状態の濃度変換係数ａ_i（ｉ＝１～ｎ）を求めるように構成された第１処理部と、
各々異なるｍ個の温度における波長λ_i（ｉ＝１～ｎ）における純水の吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_mi（ｍは温度パターン数）の測定結果を用い、吸光度温度特性の補正係数Ｙを求めるための、測定された各吸光度における重み係数ｂ_iを決定するように構成された第２処理部と、
決定した重み係数ｂ_iを用い、吸光度温度特性Ｙ₁、Ｙ₂、・・・Ｙ_m毎に、波長λ_i（ｉ＝１～ｎ）と、吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_miとの関係を設定するように構成された第３処理部と、
測定対象の薬液について測定された吸光度のスペクトルと、前記第３処理部によって設定された関係の中のいずれかの吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_miとを、フィッティングにより比較して、一致した吸光度Ｘ_iを求めるように構成された第４処理部と、
一致した吸光度Ｘ_iを用いて以下の式（Ｂ）により、測定対象の薬液における成分ｋの濃度Ｃ_kを求めるように構成された第５処理部と
を備える濃度測定装置。

【請求項7】

請求項５または６記載の濃度測定装置において、
前記第２処理部は、温度Ｔ₀における重み係数ｂ₀を用い、「Ｙ＝ｂ₁・Ｘ₁＋ｂ₂・Ｘ₂＋…＋ｂ_n・Ｘ_n＋ｂ₀」をもとに、重み係数ｂ_iを決定することを特徴とする濃度測定装置。

【請求項8】

請求項５～７のいずれか１項に記載の濃度測定装置において、
前記第１処理部は、以下の式（Ｃ）により、濃度変換係数ａ_iを求めることを特徴とする濃度測定装置。

【数1】

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、濃度測定方法および装置に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、生産現場における薬液の使用においては、薬液の濃度を管理することが重要となる。薬液の濃度は、温度によって変化する。このため、従来、使用時における薬液の温度をもとに、薬液の濃度を求めている。例えば、事前に薬液の吸光度の温度特性を取得しておき、使用時に測定した薬液の温度から、薬液の吸光度の温度特性を補正して濃度算出する技術が知られている。

【0003】

また、薬液温度から薬液吸光度の温度特性を補正して濃度算出し、濃度の変換係数を取得時の温度Ｔ１と、使用時の温度Ｔ１を用い、ｋ（Ｔ１－Ｔ０）で薬液吸光度の温度特性を補正する技術が知られている（特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特許第４２３１７５７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、上述した技術では、薬液を使用する時点の薬液の温度を測定する必要があり、別途に温度計を用いる必要があった。

【0006】

本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、温度計を用いることなく、薬液の濃度が求められるようにすることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明に係る濃度測定装置は、測定対象の薬液を既知の温度Ｔ₀とした状態の濃度変換係数ａ_i（ｉ＝１～ｎ）を求めるように構成された第１処理部と、各々異なるｍ個の温度における波長λ_i（ｉ＝１～ｎ）における純水の吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_mi（ｍは温度パターン数）の測定結果を用い、吸光度温度特性の補正係数Ｙを求めるための、測定された各吸光度における重み係数ｂ_iを決定するように構成された第２処理部と、決定した重み係数ｂ_iを用い、吸光度温度特性Ｙ₁、Ｙ₂、・・・Ｙ_m毎に、波長λ_i（ｉ＝１～ｎ）と、吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_miとの関係を設定するように構成された第３処理部と、測定対象の薬液について、波長λ_iで測定された吸光度Ａ_iと重み係数ｂ_iとを用い、以下の式（Ａ）により、Ｙ’を求めるように構成された第４処理部と、第３処理部により設定された関係の中で、求めたＹ’に一致するＹ_jを決定し、一致したＹ_jの波長λ_iにおける吸光度Ｘ_jiより、以下の式（Ｂ）により、測定対象の薬液における成分ｋの濃度Ｃ_kを求めるように構成された第５処理部とを備える。

【0008】

本発明に係る濃度測定装置は、測定対象の薬液を既知の温度Ｔ₀とした状態の濃度変換係数ａ_i（ｉ＝１～ｎ）を求めるように構成された第１処理部と、各々異なるｍ個の温度における波長λ_i（ｉ＝１～ｎ）における純水の吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_mi（ｍは温度パターン数）の測定結果を用い、吸光度温度特性の補正係数Ｙを求めるための、測定された各吸光度における重み係数ｂ_iを決定するように構成された第２処理部と、決定した重み係数ｂ_iを用い、吸光度温度特性Ｙ₁、Ｙ₂、・・・Ｙ_m毎に、波長λ_i（ｉ＝１～ｎ）と、吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_miとの関係を設定するように構成された第３処理部と、測定対象の薬液について測定された吸光度のスペクトルと、第３処理部によって設定された関係の中のいずれかの吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_miとを、フィッティングにより比較して、一致した吸光度Ｘ_iを求めるように構成された第４処理部と、一致した吸光度Ｘ_iを用いて以下の式（Ｂ）により、測定対象の薬液における成分ｋの濃度Ｃ_kを求めるように構成された第５処理部とを備える。

【0009】

上記濃度測定装置一構成例において、第２処理部は、温度Ｔ₀における重み係数ｂ₀を用い、「Ｙ＝ｂ₁・Ｘ₁＋ｂ₂・Ｘ₂＋…＋ｂ_n・Ｘ_n＋ｂ₀」をもとに、重み係数ｂ_iを決定する。

【0010】

上記濃度測定装置一構成例において、第１処理部は、以下の式（Ｃ）により、濃度変換係数ａ_iを求める。

【0011】

また、本発明に係る濃度測定方法は、測定対象の薬液を既知の温度Ｔ₀とした状態の濃度変換係数ａ_i（ｉ＝１～ｎ）を求める第１ステップと、各々異なるｍ個の温度で、波長λ_i（ｉ＝１～ｎ）における純水の吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_mi（ｍは温度パターン数）を測定し、測定した吸光度を用いて吸光度温度特性の補正係数Ｙを求めるための、各吸光度における重み係数ｂ_iを決定する第２ステップと、決定した重み係数ｂ_iを用い、吸光度温度特性Ｙ₁、Ｙ₂、・・・Ｙ_m毎に、波長λ_i（ｉ＝１～ｎ）と、吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_miとの関係を設定する第３ステップと、測定対象の薬液について、波長λ_iにおける吸光度Ａ_iを測定する第４ステップと、測定した吸光度Ａ_iと重み係数ｂ_iとを用い、以下の式（Ａ）により、Ｙ’を求める第５ステップと、第３ステップで設定した関係の中で、求めたＹ’に一致するＹ_jを決定し、一致したＹ_jの波長λ_iにおける吸光度Ｘ_jiより、以下の式（Ｂ）により、測定対象の薬液における成分ｋの濃度Ｃ_kを求める第６ステップとを備える。

【0012】

また、本発明に係る濃度測定方法は、測定対象の薬液を既知の温度Ｔ₀とした状態の濃度変換係数ａ_i（ｉ＝１～ｎ）を求める第１ステップと、各々異なるｍ個の温度で、波長λ_i（ｉ＝１～ｎ）における純水の吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_mi（ｍは温度パターン数）を測定し、測定した吸光度を用いて吸光度温度特性の補正係数Ｙを求めるための、各吸光度における重み係数ｂ_iを決定する第２ステップと、決定した重み係数ｂ_iを用い、吸光度温度特性Ｙ₁、Ｙ₂、・・・Ｙ_m毎に、波長λ_i（ｉ＝１～ｎ）と、吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_miとの関係を設定する第３ステップと、測定対象の薬液について、吸光度のスペクトルを測定する第４ステップと、測定した吸光度のスペクトルと、第３ステップで設定した関係の中のいずれかの吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_miとを、フィッティングにより比較して、一致した吸光度Ｘ_iを求める第５ステップと、一致した吸光度Ｘ_iを用いて以下の式（Ｂ）により、測定対象の薬液における成分ｋの濃度Ｃ_kを求める第６ステップとを備える。

【0013】

上記濃度測定方法一構成例において、第２ステップは、温度Ｔ₀における重み係数ｂ₀を用い、「Ｙ＝ｂ₁・Ｘ₁＋ｂ₂・Ｘ₂＋…＋ｂ_n・Ｘ_n＋ｂ₀」をもとに、重み係数ｂ_iを決定する。

【0014】

上記濃度測定方法一構成例において、第１ステップは、以下の式（Ｃ）により、濃度変換係数ａ_iを求める。

【0015】

【数1】

【発明の効果】

【0016】

以上説明したように、本発明によれば、吸光度温度特性Ｙ₁、Ｙ₂、・・・Ｙ_m毎に、波長λ_i（ｉ＝１～ｎ）と、吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_miとの関係を求めておくので、温度計を用いることなく、薬液の濃度を求めることができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】図１は、本発明の実施の形態に係る濃度測定装置の構成を示す構成図である。

【図2】図２は、本発明の実施の形態に係る濃度測定方法を説明するフローチャートである。

【図3】図３は、本発明の実施の形態に係る濃度測定装置のハードウエア構成を示す構成図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明の実施の形態に係る濃度測定装置について図１を参照して説明する。この濃度測定装置は、第１処理部１０１、第２処理部１０２、第３処理部１０３、第４処理部１０４、第５処理部１０５を備える。また、この濃度測定装置は、入力部１０６および表示部１０７を備える。

【0019】

第１処理部１０１は、測定対象の薬液を既知の温度Ｔ₀とした状態の濃度変換係数ａ_i（ｉ＝１～ｎ）を求める。第１処理部１０１により、初期の薬液の温度Ｔ₀で、以下の式（１）で示される濃度変換係数ａ_iを事前に求めておく。式（１）において、Ｃ_kは、成分ｋの濃度、ａ_iは、濃度変換係数、Ａ_iは、波長λ_iにおける吸光度である。例えば、入力部１０６により入力された各因子の数値をもとに、第１処理部１０１は、濃度変換係数を算出する。

【0020】

【数2】

【0021】

第２処理部１０２は、各々異なるｍ個の温度における波長λ_i（ｉ＝１～ｎ）における純水の吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_mi（ｍは温度パターン数）の測定結果を用い、吸光度温度特性の補正係数Ｙを求めるための、測定された各吸光度における重み係数ｂ_iを決定する。第２処理部１０２は、温度Ｔ₀における重み係数ｂ₀を用い、「Ｙ＝ｂ₁・Ｘ₁＋ｂ₂・Ｘ₂＋…＋ｂ_n・Ｘ_n＋ｂ₀」をもとに、重み係数ｂ_iを決定する。第２処理部１０２は、入力部１０６により入力された吸光度の測定結果を用い、重み係数を算出する。

【0022】

第３処理部１０３は、第２処理部１０２により決定（算出）された重み係数ｂ_iを用い、吸光度温度特性Ｙ₁、Ｙ₂、・・・Ｙ_m毎に、波長λ_i（ｉ＝１～ｎ）と、吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_miとの関係を設定する。

【0023】

第４処理部１０４は、測定対象の薬液について、波長λ_iで測定された吸光度Ａ_iと重み係数ｂ_iとを用い、後述する式（３）により、測定対象の薬液における吸光度の温度特性補正係数Ｙ’を求める。第４処理部１０４は、例えば、入力部１０６により入力された吸光度Ａ_iを用いて温度特性補正係数を算出する。

【0024】

第５処理部１０５は、第３処理部１０３により設定された関係の中で、求めたＹ’に一致するＹ_jを決定し、一致したＹ_jの波長λ_iにおける吸光度Ｘ_jiより、後述する式（４）により、測定対象の薬液における成分ｋの濃度Ｃ_kを求める。求められた濃度Ｃ_kは、例えば、表示部１０７に表示される。

【0025】

次に、本発明の実施の形態に係る濃度測定方法について、図２を参照して説明する。まず、第１ステップＳ１０１で、第１処理部１０１が、測定対象の薬液を既知の温度Ｔ₀とした状態の濃度変換係数ａ_iを求める。初期の薬液の温度Ｔ₀で、前述した式（１）で示される濃度変換係数ａ_iを事前に求めておく。

【0026】

次に、第２ステップＳ１０２で、第２処理部１０２が、各々異なるｍ個の温度で、波長λ_i（ｉ＝１～ｎ）における純水の吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_mi（ｍは温度パターン数）を測定し、測定した吸光度を用いて吸光度温度特性の補正係数Ｙを求めるための、各吸光度における重み係数ｂ_iを決定する。第２ステップＳ１０２では、温度Ｔ₀における重み係数ｂ₀を用い、「Ｙ＝ｂ₁・Ｘ₁＋ｂ₂・Ｘ₂＋…＋ｂ_n・Ｘ_n＋ｂ₀」をもとに、重み係数ｂ_iを決定する。温度を変化させ、波長λ_i（ｉ＝１～ｎ）における純水の吸光度：Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_mi（ｍは温度パターン数）を測定し、吸光度温度特性の補正係数Ｙを求める「Ｙ＝ｂ₁・Ｘ₁＋ｂ₂・Ｘ₂＋…＋ｂ_n・Ｘ_n＋ｂ₀・・・（２）」で示される重み係数ｂ_iを決定する。

【0027】

次に、第３ステップＳ１０３で、第３処理部１０３が、決定した重み係数ｂ_iを用い、吸光度温度特性Ｙ₁、Ｙ₂、・・・Ｙ_m毎に、以下の表１に示す、波長λ_i（ｉ＝１～ｎ）と、吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_miとの関係を設定する。表１において、吸光度は濃度変換係数の式（１）を取得した際の温度を基準とする。

【0028】

【表1】

【0029】

液温を目的変数Ｙとして多変量解析すると、本来、上述した式（２）のように表される。ここでｂ₀は、吸光度の基準温度Ｔ₀に相当する。ただし式（２）は、「Ｙ－ｂ₀＝ｂ₁・Ｘ₁＋ｂ₂・Ｘ₂＋…＋ｂ_n・Ｘ_n」とすることもできる。純水濃度が高い９５～１００［ｗｔ％］を想定すると、この範囲では、純水吸光度の温度特性≒薬液吸光度の温度特性とみなせる。ここで、重み係数ｂ_iは、濃度に対する吸光度変化は小さく、液温に対する吸光度変化が大きい波長の吸光度が強調されるように決定するが、例えば液温を目的変数として多変量解析などを用いて決めることができる。ただし式（２）の左辺と右辺の相関が保たれていれば「Ｙ₁，・・・，Ｙ_m」は、液温と一致する必要は無い。また、吸光度は、濃度変換係数ａ_i［式（１）］を取得した際の温度Ｔ₀を基準にする。なお、Ｙ_(1～m)は、吸光度温度特性の補正係数、ｂ_iは、重み係数、Ｘ_(1～mi)は、波長λ_iの吸光度、ｍは、温度パターン数である。

【0030】

【数3】

【0031】

次に、第４ステップＳ１０４で、測定対象の薬液について、波長λ_iにおける吸光度Ａ_iを測定する。

【0032】

次に、第５ステップＳ１０５で、第４処理部１０４が、測定した吸光度Ａ_iと重み係数ｂ_iとを用い、以下の式（３）により、測定対象の薬液における吸光度の温度特性補正係数Ｙ’を求める。式（３）の重み係数ｂ_iは、式（２）の値を使う。ここで、薬液の吸光度Ａ_iは、濃度変換係数ａ_iの式（１）を取得した際の温度Ｔ₀を基準にする。

【0033】

【数4】

【0034】

次に、第６ステップＳ１０６で、第５処理部１０５が、表１に示す第３ステップＳ１０３で設定した関係の中で、求めたＹ’に一致するＹ_jを決定し、一致したＹ_jの波長λ_iにおける吸光度Ｘ_jiより、以下の式（４）により、測定対象の薬液における成分ｋの濃度Ｃ_kを求める。ここでは、式（３）で求めた吸光度の温度特性補正係数Ｙと一致する値を、表１の吸光度の温度特性補正表の「Ｙ₁、・・・Ｙ_m」から抽出し、一致した値Ｙ_iの波長λ_iにおける吸光度の式（４）より薬液吸光度の温度特性補正後の薬液濃度を求める。式（４）において、Ｃ_kは、薬液における成分ｋの濃度、ａ_iは、濃度変換係数、Ａ_iは、波長λ_iの薬液温度特性を含む吸光度、Ｘ_jiは、波長λ_iの薬液温度特性に起因した吸光度である。

【0035】

【数5】

【0036】

ところで、上述した第５ステップにおいて、第４処理部で、測定対象の薬液について測定された吸光度のスペクトルと、第３ステップの第３処理部により設定された関係の中のいずれかの吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_miとを、フィッティングにより比較して、一致した吸光度Ｘ_iを求め、第６ステップにおいて、第５処理部で、一致した吸光度Ｘ_iを用いて式（４）により、測定対象の薬液における成分ｋの濃度Ｃ_kを求めることもできる。

【0037】

なお、上述した実施の形態に係る濃度測定装置は、図３に示すように、ＣＰＵ（Central Processing Unit；中央演算処理装置）３０１と主記憶装置３０２と外部記憶装置３０３とネットワーク接続装置３０４となどを備えたコンピュータ機器とし、主記憶装置３０２に展開されたプログラムによりＣＰＵ３０１が動作する（プログラムを実行する）ことで、上述した各処理部の機能（濃度測定方法）が実現されるようにすることもできる。上記プログラムは、上述した実施の形態で示した濃度測定方法をコンピュータが実行するためのプログラムである。ネットワーク接続装置３０４は、ネットワーク３０５に接続する。また、各機能は、複数のコンピュータ機器に分散させることもできる。

【0038】

以上に説明したように、本発明によれば、吸光度温度特性Ｙ₁、Ｙ₂、・・・Ｙ_m毎に、波長λ_i（ｉ＝１～ｎ）と、吸光度Ｘ_1i，Ｘ_2i，・・・，Ｘ_miとの関係を求めておくので、温度計を用いることなく、薬液の濃度を求めることができる。

【0039】

なお、本発明は以上に説明した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で、当分野において通常の知識を有する者により、多くの変形および組み合わせが実施可能であることは明白である。

【符号の説明】

【0040】

１０１…第１処理部、１０２…第２処理部、１０３…第３処理部、１０４…第４処理部、１０５…第５処理部、１０６…入力部、１０７…表示部。

【図1】

【図2】

【図3】