特開2022-147017IP Force 特許公報全文掲載

ホーム > 特許ランキング > 株式会社ブイ・テクノロジー > 特開2022-147017

技術分野

レーザリフトオフ装置およびレーザリフトオフ方法

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】成長用基板から剥離して個片化されたチップ部品にするまでのタクトタイムを減少させるレーザリフトオフ装置を提供すること。
【解決手段】所定の配列ピッチＰＣで行および列をなすようにマトリクス状に配置、固定されたチップ部品１２の群を備える成長用基板に対向するように、チップ部品１２の列のそれぞれに対して、チップ部品１２の平面輪郭と同程度の大きさのビームスポットＢＳを有するレーザビームを集光する集光レンズ６Ｂを１つずつ備えるように配置された集光レンズ６Ｂの１周期分集合体を含む集光レンズ群が配置され、１周期分集合体における集光レンズ６Ｂ同士は、互いに干渉しない位置に分散して配置されている。
【選択図】図５

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

のレーザリフトオフ装置では、光学系とともにレーザビームをジグザグ状に移動させるため、サファイア基板上のＬＥＤの配列におけるレーザビームの折り返し点付近においての移動方向が逆向きに変化するため、光学系の移動に加減速が必要となる。例えば直径が３００ｍｍ程度のサファイア基板に設けられた多数のＬＥＤのレーザリフトオフを行う場合には、多数の折り返し点付近の光学系の移動速度の加減速に伴い、タクトタイムが増加してしまうという問題がある。特に、マイクロＬＥＤディスプレイでは、多数のＬＥＤを用いるため、ＬＥＤの製造におけるタクトタイムの増加は、製造コストの増加を招いてしまうという課題がある。この課題は、レーザビームを生成する光学系を位置固定し、サファイア基板をＸＹステージに配置してＸＹステージ側を移動させる装置構成においても同様に存在する。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の態様は、一方の表面に、所定の配列ピッチで行および列をなすようにマトリクス状に配置、固定されたチップ部品の群を備える成長用基板に対して、前記チップ部品の平面輪郭と同程度の大きさのビームスポットを有するレーザビームを、前記成長用基板に対して列方向に沿って相対移動させ、前記チップ部品と前記成長用基板との界面にレーザビームを逐次照射して、前記チップ・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、成長用基板の表面にマトリクス状をなすように一体に形成された複数のチップ部品を、成長用基板から剥離して個片化されたチップ部品にするまでのタクトタイムを減少させることができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

知財ポータルサイト IP Force にログインして確認する (無料)

この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 図１は、本発明の第１の実施の形態に係るレーザリフトオフ装置の概略構成図である。
【図2】 図２は、本発明の第１の実施の形態に係るレーザリフトオフ装置でレーザリフトオフ処理が施されるサファイア基板の平面説明図である。
【図3】 図３は、本発明の第１の実施の形態に係るレーザリフトオフ装置の要部断面説明図である。
【図4】 図４は、本発明の第１の実施の形態に係るレーザリフトオフ装置で用いるマイクロレンズアレイの平面説明図である。
【図5】 図５は、本発明の第１の実施の形態に係るレーザリフトオフ装置を用いて１回目の照射を行う直前のＬＥＤの群に対するマイクロレンズアレイの配置状態を示す平面説明図である。
【図6】 図６は、本発明の第１の実施の形態に係るレーザリフトオフ装置を用いて２回目の照射を行う直前のＬＥＤの群に対するマイクロレンズアレイの配置状態を示す平面説明図である。
【図7】 図７は、本発明の第１の実施の形態に係るレーザリフトオフ装置を用いて３回目の照射を行う直前のＬＥＤの群に対するマイクロレンズアレイの配置状態を示す平面説明図である。
【図8】 図８は、本発明の第１の実施の形態に係るレーザリフトオフ装置を用いて４回目の照射を行う直前のＬＥＤの群に対するマイクロレンズアレイの配置状態を示す平面説明図である。
【図9】 図９は、本発明の第１の実施の形態に係るレーザリフトオフ装置を用いて５回目の照射を行う直前のＬＥＤの群に対するマイクロレンズアレイの配置状態を示す平面説明図である。
【図10】 図１０は、本発明の第１の実施の形態に係るレーザリフトオフ装置を用いて６回目の照射を行う直前のＬＥＤの群に対するマイクロレンズアレイの配置状態を示す平面説明図である。
【図11】 図１１は、本発明の第１の実施の形態に係るレーザリフトオフ装置を用いて７回目の照射を行う直前のＬＥＤの群に対するマイクロレンズアレイの配置状態を示す平面説明図である。
【図12】 図１２は、本発明の第１の実施の形態に係るレーザリフトオフ装置を用いて８回目の照射を行う直前のＬＥＤの群に対するマイクロレンズアレイの配置状態を示す平面説明図である。
【図13】 図１３は、本発明の第１の実施の形態に係るレーザリフトオフ装置を用いて９回目の照射を行う直前のＬＥＤの群に対するマイクロレンズアレイの配置状態を示す平面説明図である。
【図14】 図１４は、本発明の第２の実施の形態に係るレーザリフトオフ装置を用いて１回目の照射を行う直前のＬＥＤの群に対するマイクロレンズアレイの配置状態を示す平面説明図である。
【図15】 図１５は、本発明の第２の実施の形態に係るレーザリフトオフ装置を用いて２回目の照射を行う直前のＬＥＤの群に対するマイクロレンズアレイの配置状態を示す平面説明図である。
【図16】 図１６は、本発明の第２の実施の形態に係るレーザリフトオフ装置を用いて３回目の照射を行う直前のＬＥＤの群に対するマイクロレンズアレイの配置状態を示す平面説明図である。
【図17】 図１７は、本発明の第２の実施の形態に係るレーザリフトオフ装置を用いて４回目の照射を行う直前のＬＥＤの群に対するマイクロレンズアレイの配置状態を示す平面説明図である。
【図18】 図１８は、本発明の第２の実施の形態に係るレーザリフトオフ装置を用いて５回目の照射を行う直前のＬＥＤの群に対するマイクロレンズアレイの配置状態を示す平面説明図である。
【図19】 図１９は、本発明の第２の実施の形態に係るレーザリフトオフ装置を用いて６回目の照射を行う直前のＬＥＤの群に対するマイクロレンズアレイの配置状態を示す平面説明図である。
【図20】 図２０は、本発明の第２の実施の形態に係るレーザリフトオフ装置を用いて７回目の照射を行う直前のＬＥＤの群に対するマイクロレンズアレイの配置状態を示す平面説明図である。
【図21】 図２１は、本発明の第２の実施の形態に係るレーザリフトオフ装置を用いて８回目の照射を行う直前のＬＥＤの群に対するマイクロレンズアレイの配置状態を示す平面説明図である。
【図22】 図２２は、本発明の第２の実施の形態に係るレーザリフトオフ装置を用いて９回目の照射を行う直前のＬＥＤの群に対するマイクロレンズアレイの配置状態を示す平面説明図である。
【図23】 図２３は、本発明の第２の実施の形態に係るレーザリフトオフ装置を用いて１０回目の照射を行う直前のＬＥＤの群に対するマイクロレンズアレイの配置状態を示す平面説明図である。
【図24】 図２４は、本発明の第３の実施の形態に係るレーザリフトオフ装置を用いてレーザビームの照射を開始するときのＬＥＤの群に対するマイクロレンズアレイの配置状態を示す平面説明図である。

選択図 図5出願人が指定した本件の代表的な図

ＢＳ ビームスポット Ｃ 列方向 Ｄ 照射済み領域 ＬＢ レーザビーム ＯＳ オフセット ＰＬ ピッチ（マイクロレンズのレンズ行のピッチ） ＰＣ ピッチ（チップ部品の行方向のピッチ） Ｒ 行方向 Ｒ１ 第１レンズ行 Ｒ２ 第２レンズ行 Ｒ３ 第３レンズ行 Ｒ４ 第４レンズ行 Ｒ５ 第５レンズ行 Ｒ６ 第６レンズ行 Ｒ７ 第７レンズ行 Ｒ８ 第８レンズ行 Ｒ９ 第９レンズ行 Ｒ１０ 第１０レンズ行 Ｓ スキャン方向 １ レーザリフトオフ装置 ２ 搬送ステージ ３ レーザ光源 ６ マイクロレンズアレイ（集光レンズアレイ） ６Ａ アレイ基板 ６Ｂ マイクロレンズ（集光レンズ） ８Ａ，８Ｂ 遮光板 １１ サファイア基板（成長用基板） １２ ＬＥＤ（チップ部品） １２Ｒ１ ＬＥＤの群の相対移動方向の最も上流側の行 １２Ｒｎ ＬＥＤの群の相対移動方向の最も下流側の行 １３ ＬＥＤの群 １５ １周期分集合体

全ての図面はログインすると無料で閲覧できます。ログイン・ユーザー登録

［広告欄］

ログインすれば広告は減ります

ログインすれば広告は減ります

Copyright © Science Impact Inc. All Rights Reserved.